KR20120044920A - 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 - Google Patents
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Abstract
기판의 상면과 상면에 개구되는 오목부의 바닥면을 인쇄 대상으로 하는 스크린 인쇄에 있어서, 양호한 인쇄 품질을 확보하면서 양호한 효율로 인쇄 작업을 실행할 수 있는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법이 제공된다.
상면 전극이 형성된 상면 인쇄 영역과 오목부의 바닥면에 설정되고 바닥면 전극이 형성된 바닥면 인쇄 영역을 인쇄 대상으로 하여, 제1 미끄럼 접촉판(44A) 및 제2 미끄럼 접촉판(44B)을 구비하는 밀폐형 스키지 기구(13)에 의해서 페이스트를 스크린 인쇄하는 경우에, 바닥면 인쇄용 영역(12a)을 인쇄 대상으로 할 때에는, 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제1 미끄럼 접촉판(44A)에 의해서 요입부에 잔류하는 페이스트를 퍼 올려 요입부로부터 제거하고, 상면 인쇄용 영역(12b)을 인쇄 대상으로 할 때에는, 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제2 미끄럼 접촉판(44B)에 의해서 상면에 부착되는 페이스트를 긁어낸다.
상면 전극이 형성된 상면 인쇄 영역과 오목부의 바닥면에 설정되고 바닥면 전극이 형성된 바닥면 인쇄 영역을 인쇄 대상으로 하여, 제1 미끄럼 접촉판(44A) 및 제2 미끄럼 접촉판(44B)을 구비하는 밀폐형 스키지 기구(13)에 의해서 페이스트를 스크린 인쇄하는 경우에, 바닥면 인쇄용 영역(12a)을 인쇄 대상으로 할 때에는, 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제1 미끄럼 접촉판(44A)에 의해서 요입부에 잔류하는 페이스트를 퍼 올려 요입부로부터 제거하고, 상면 인쇄용 영역(12b)을 인쇄 대상으로 할 때에는, 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제2 미끄럼 접촉판(44B)에 의해서 상면에 부착되는 페이스트를 긁어낸다.
Description
본 발명은, 기판의 상면과, 기판의 상면에 개구되는 오목부의 바닥면을 인쇄 대상으로 하여 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법에 관한 것이다.
기판에 전자 부품을 실장한 패키지 기판을 제조하는 전자 부품 패키징 라인에 있어서는, 기판에 반도체 등의 전자 부품을 탑재하는 전자 부품 탑재 장치의 상류측에, 기판에 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 장치가 접속되어 있다. 전자 부품이 패키징되는 기판의 형식 중 하나로서, 기판의 상면과 기판의 상면에 개구되는 오목부의 바닥면의 양방에 전극 패턴이 형성되어 있는 캐비티 기판이 통상적으로 공지되어 있으며, 이러한 캐비티 기판은 경량의 고밀도 기판으로서 다양한 기기에서 이용되고 있다(특허문헌 1). 이와 같은 캐비티 기판을 인쇄 대상으로 하여 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄하기 위한 스크린 인쇄에 있어서는, 기판의 상면에 접촉하는 평판부와 이 평판부로부터 하향 돌출하도록 형성되어 오목부에 감합되는 감합부를 구비하는 스크린 마스크가 이용된다. 이와 같이 입체적인 스크린 마스크를 이용하는 것에 의해, 기판의 상면과 오목부의 바닥면 양방에 동시에 페이스트를 인쇄할 수 있다.
전술한 캐비티 기판을 인쇄 대상으로 하는 스크린 인쇄에 있어서는, 입체적인 스크린 마스크를 이용하는 것에 기인하여, 여러 가지의 제약이나 문제가 존재하여, 양호한 인쇄 품질을 확보하면서 양호한 효율로 인쇄 작업을 실행하는 것이 곤란하였다. 예컨대, 번짐이나 이지러짐을 발생시키지 않으면서 페이스트를 기판에 인쇄하기 위해서는, 스크린 마스크에 마련된 패턴 구멍에 페이스트를 적절하게 충전해야 하지만, 평판부에 마련된 패턴 구멍에서의 페이스트 충전 조건이 감합부에 마련된 패턴 구멍에서의 페이스트 충전 조건과 본질적으로 상이하므로, 동일한 스크린 인쇄 기구를 이용하여, 평판부와 감합부 양방에서의 양호한 인쇄 품질을 확보하는 것이 어렵다. 이 때문에, 양호한 인쇄 품질을 확보하면서 양호한 효율로 캐비티 기판 상에서의 인쇄 작업을 실행하기 위한 대책이 요구되고 있다.
이에 따라, 본 발명의 목적은, 기판의 상면 및 상면에 개구되는 오목부의 바닥면을 인쇄 대상으로 하는 스크린 인쇄에 있어서, 양호한 인쇄 품질을 확보하면서 양호한 효율로 인쇄 작업을 실행할 수 있는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 스크린 인쇄 장치는, 기판의 상면에 설정되고 상면 전극이 형성된 상면 인쇄 영역과, 상기 상면에 개구되는 오목부의 바닥면에 설정되고 바닥면 전극이 형성된 바닥면 인쇄 영역을 인쇄 대상으로 하여 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 장치로서, 이 스크린 인쇄 장치는, 상기 바닥면 인쇄 영역에 대응하여 설치되고 상기 오목부에 감합되는 감합부와 이 감합부에 상기 바닥면 전극에 대응하여 형성된 패턴 구멍을 갖는 바닥면 인쇄용 영역과, 상기 상면 인쇄 영역에 대응하여 설치되고 상기 상면 전극에 대응하여 형성된 패턴 구멍을 갖는 상면 인쇄용 영역을 구비하는 스크린 마스크; 상류측으로부터 전달된 기판을 유지하고, 이 기판을 상기 바닥면 인쇄용 영역 또는 상기 상면 인쇄용 영역과 선택적으로 정렬하는 기판 위치결정 유닛; 상기 페이스트를 저류하는 본체부의 하면측으로부터, 대향 방향을 스퀴징 방향과 정렬시킨 상태로 사이의 거리가 점진적으로 좁아지도록 하향 연장되는 한 쌍의 대향 미끄럼 접촉판을 구비하는 밀폐형 스퀴지 기구로서, 상기 본체부에 저류된 상기 페이스트를 가압하면서 상기 바닥면 인쇄용 영역 또는 상기 상면 인쇄용 영역의 상면에 상기 미끄럼 접촉판을 접촉시킨 상태로 스퀴징 방향으로 미끄럼 이동하여, 상기 페이스트를 상기 미끄럼 접촉판들 사이에 마련된 인쇄 개구를 통해 상기 감합부 내에 공급하거나 또는 상기 패턴 구멍 내에 충전하는 것인 밀폐형 스퀴지 기구를 구비하고, 상기 밀폐형 스퀴지 기구의 상기 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서, 상기 바닥면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제1 미끄럼 접촉판은, 스퀴징 동작에 있어서 상기 감합부의 상면측의 요입부에 잔류하는 페이스트를 퍼 올려 상기 요입부로부터 제거하고, 상기 상면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제2 미끄럼 접촉판은, 스퀴징 동작에 있어서 상기 상면 인쇄용 마스크의 상면에 부착되는 페이스트를 긁어낸다.
본 발명의 스크린 인쇄 방법은, 기판의 상면에 설정되고 상면 전극이 형성된 상면 인쇄 영역과, 상기 상면에 개구되는 오목부의 바닥면에 설정되고 바닥면 전극이 형성된 바닥면 인쇄 영역을 인쇄 대상으로 하여 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 방법으로서, 이 스크린 인쇄 방법은, 상기 바닥면 인쇄 영역에 대응하여 설치되고 상기 오목부에 감합되는 감합부와 이 감합부에 상기 바닥면 전극에 대응하여 형성된 패턴 구멍을 갖는 바닥면 인쇄용 영역과, 상기 상면 인쇄 영역에 대응하여 설치되고 상기 상면 전극에 대응하여 형성된 패턴 구멍을 갖는 상면 인쇄용 영역을 구비하는 스크린 마스크; 상류측으로부터 전달된 기판을 유지하고, 이 기판을 상기 바닥면 인쇄용 영역 또는 상기 상면 인쇄용 영역과 선택적으로 정렬하는 기판 위치결정 유닛; 상기 페이스트를 저류하는 본체부의 하면측으로부터, 대향 방향을 스퀴징 방향과 정렬시킨 상태로 사이의 거리가 점진적으로 좁아지도록 하향 연장되는 한 쌍의 대향 미끄럼 접촉판을 구비하는 밀폐형 스퀴지 기구로서, 상기 본체부에 저류된 상기 페이스트를 가압하면서 상기 바닥면 인쇄용 영역 또는 상기 상면 인쇄용 영역의 상면에 상기 미끄럼 접촉판을 접촉시킨 상태로 스퀴징 방향으로 미끄럼 이동하여, 상기 페이스트를 상기 미끄럼 접촉판들 사이에 마련된 인쇄 개구를 통해 상기 감합부 내에 공급하거나 또는 상기 패턴 구멍 내에 충전하는 것인 밀폐형 스퀴지 기구를 구비하는 스크린 인쇄 장치를 채용하여, 상기 바닥면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 상기 밀폐형 스퀴지 기구의 상기 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서 상기 스퀴징 동작 시의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제1 미끄럼 접촉판에 의해서 상기 감합부의 상면측의 요입부에 잔류하는 페이스트를 퍼 올려 상기 요입부로부터 제거하고, 상기 상면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 상기 밀폐형 스퀴지 기구의 상기 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서 상기 스퀴징 동작 시의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제2 미끄럼 접촉판에 의해서 상기 상면 인쇄용 마스크의 상면에 부착되는 페이스트를 긁어내는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 기판의 상면에 설정되고 상면 전극이 형성된 상면 인쇄 영역과 상면에 개구되는 오목부의 바닥면에 설정되고 바닥면 전극이 형성된 바닥면 인쇄 영역을 대상으로 하여 동일한 밀폐형 스퀴지 기구에 의해서 전자 부품 접합용의 페이스트를 스크린 인쇄할 때, 상기 바닥면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 상기 밀폐형 스퀴지 기구의 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서 상기 스퀴징 동작 시의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제1 미끄럼 접촉판에 의해서 감합부의 상면측의 요입부에 잔류하는 페이스트를 퍼 올려 요입부로부터 제거하고, 상기 상면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 상기 밀폐형 스퀴지 기구의 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서 상기 스퀴징 동작 시의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제2 미끄럼 접촉판에 의해서 상면 인쇄용 영역의 상면에 부착되는 페이스트를 긁어냄으로써, 양호한 인쇄 품질을 확보하면서 양호한 효율로 인쇄 작업을 실행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 부분 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 단면도이다.
도 3의 (a), (b)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 인쇄 대상을 구성하는 기판의 구성 설명도이다.
도 4의 (a), (b)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치에 구비되는 스크린 마스크의 부분 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치에 이용되는 밀폐형 스퀴지 기구의 구성 설명도이다.
도 6의 (a), (b)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 동작 설명도이다.
도 7의 (a), (b), (c)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 동작 설명도이다.
도 8의 (a), (b)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 동작 설명도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 단면도이다.
도 3의 (a), (b)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 인쇄 대상을 구성하는 기판의 구성 설명도이다.
도 4의 (a), (b)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치에 구비되는 스크린 마스크의 부분 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치에 이용되는 밀폐형 스퀴지 기구의 구성 설명도이다.
도 6의 (a), (b)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 동작 설명도이다.
도 7의 (a), (b), (c)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 동작 설명도이다.
도 8의 (a), (b)는 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치의 동작 설명도이다.
다음으로 본 발명의 일 실시형태의 스크린 인쇄 장치(1)를 도면을 참조하여 설명한다. 먼저, 도 1 및 도 2를 참조하여, 스크린 인쇄 장치(1)의 전체 구성을 설명한다. 스크린 인쇄 장치(1)는, 기판의 상면 및 기판의 상면에 개구되는 오목부의 바닥면의 쌍방에 전극 패턴이 형성된 캐비티 기판을 인쇄 대상으로 하도록 설계되고, 전극에 페이스트를 스크린 인쇄하는 기능을 갖는다.
도 1 및 도 2에 있어서, 스크린 인쇄 장치(1)는, 베이스(2)의 중앙부에 스크린 인쇄를 실행하는 스크린 인쇄 유닛(3)이 배치되고, 스크린 인쇄 유닛(3)에 인쇄 대상을 구성하는 기판(5)을 반송하는 기판 반송 기구(4)가 X 방향을 따라 연장하도록 배치되게 구성되어 있다. 기판 반송 기구(4)는, 반입 컨베이어(4a), 인쇄 컨베이어(4b) 및 반출 컨베이어(4c)로 구성된다. 반입 컨베이어(4a)는 스크린 인쇄 장치(10)의 상류측으로부터 반입된 기판(5)을 수취하고, 그 기판(5)을 인쇄 컨베이어(4b)에 전달한다. 인쇄 컨베이어(4b)는 그와 같이 전달된 기판(5)을 스크린 인쇄 유닛(3)에 의한 인쇄가 실행되는 인쇄 위치에 반송한다. 반출 컨베이어(4c)는 스크린 인쇄 유닛(3)에 의한 인쇄 작업이 종료한 후의 기판(5)을 인쇄 컨베이어(4b)로부터 전달되고, 그 기판(5)을 스크린 인쇄 장치(1)의 하류측으로 반출한다.
도 2에 있어서, 베이스(2)의 상면에는 기판(5)을 유지하여 인쇄 위치에 위치 결정하는 기능을 갖는 기판 위치결정 유닛(30)이 배치되어 있다. 기판 위치결정 유닛(30)은, Y축 테이블(31), X축 테이블(32), θ축 테이블(33)이 서로 적층되고, θ축 테이블(33)에 고정된 베이스 플레이트(34)의 상측에 제1 승강 플레이트(35)와 제2 승강 플레이트(36)가 더 겹쳐지도록 구성되어 있다. Y축 테이블(31), X축 테이블(32) 및 θ축 테이블(33)을 구동함으로써, 베이스 플레이트(34)가 X방향, Y방향 및 θ방향으로 이동한다. 제1 승강 플레이트(35) 및 제2 승강 플레이트(36)는 각각 자체의 승강 구동 기구를 구비한다. 제1 승강 플레이트(35)는 베이스 플레이트(34)에 대하여 상하로 승강되고, 제2 승강 플레이트(36)는 제1 승강 플레이트(35)에 대하여 상하로 승강된다. 제1 승강 플레이트(35)와 함께 상하로 승강하는 승강축(35a)의 상단부에는, 기판 반송 기구(4)를 구성하는 인쇄 컨베이어(4b) 및 인쇄 컨베이어(4b)의 상측에서 기판(5)을 Y방향의 양쪽으로부터 사이에 두고 클램프하는 클램프 부재(38)가 배치되어 있다.
제2 승강 플레이트(36)의 상면에는 하부 지지 부재(37)가 고착된다. 제2 승강 플레이트(36)를 상승시킴으로써, 하부 지지 부재(37)는 인쇄 컨베이어(4b)에 의해서 반송된 기판(5)의 하면측에 접촉하여, 기판(5)을 인쇄 높이 위치에 유지한다. 기판(5)은 이 상태로 클램프 부재(38)들 사이에서 적소에 고정 유지된다. 이 상태에서 제1 승강 플레이트(35)를 상승시킴으로써, 인쇄 대상의 기판(5)은 이하에 설명하는 스크린 마스크(12)에 대하여 그 하면측으로부터 접촉한다. 이때에, 기판 위치결정 유닛(30)을 구동함으로써, 인쇄 대상의 기판(5)을 스크린 마스크(12)에 대하여 X, Y 및 θ의 각 방향으로 정렬할 수 있다.
기판 위치결정 유닛(30)의 상측에는, 스크린 인쇄 유닛(3)을 구성하는 스크린 마스크(12)가 수평 자세로 배치되어 있다. 스크린 마스크(12)는 사각형의 마스크 프레임(11)을 가로질러 연장되고, 마스크 프레임(11)은 X 방향으로 서로 대향하여 배치된 한 쌍의 마스크 홀더(10)에 의해서 유지되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 스크린 마스크(12)에 2개의 인쇄용 영역이 설정되어 있다. 도 1에 도시한 바와 같이, 스크린 마스크(12)는 중심선(CL)의 일측(도 1의 상측)에 바닥면 인쇄용 영역(12a)이 형성되어 있고, 중심선(CL)의 타측(도 1의 하측)에 상면 인쇄용 영역(12b)이 형성되어 있다.
여기서, 스크린 인쇄 장치(1)의 인쇄 대상을 이루는 기판(5) 및, 기판(5)과 전술한 인쇄용 영역 사이의 관계에 관해서, 도 3의 (a) 및 (b), 도 4의 (a)를 참조하여 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 기판(5)은 높이가 상이한 두 타입의 인쇄면을 갖는 형태로 되어 있다. 즉, 도 3에 도시한 바와 같이, 기판(5)의 중앙부의 상면(5a)에는, 복수의 상면 전극(6a)이 각각 형성된 상면 인쇄 영역(5d)이 복수(여기서는 2개소) 설정되어 있다. 또한, 기판(5)의 각 코너부의 근방에는, 상면(5a)보다 높이 위치가 낮은 바닥면(5c)을 갖는 오목부(5b)가 형성되어 있고, 바닥면(5c)에 설정된 바닥면 인쇄 영역(5e)에는, 복수의 바닥면 전극(6b)이 형성되어 있다. 본 실시형태에서 도시하는 스크린 인쇄 장치(1)는, 오목부(5b) 내에 설정된 바닥면 인쇄 영역(5e)과 상면(5a)에 설정된 상면 인쇄 영역(5d) 각각에 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄한다.
스크린 마스크(12)에 있어서, 바닥면 인쇄용 영역(12a)에는 바닥면 인쇄 영역(5e)에 대응하여 마스크 패턴이 마련되고, 상면 인쇄용 영역(12b)에는 상면 인쇄 영역(5d)에 대응하여 마스크 패턴이 마련된다. 즉, 도 4의 (a)에 도시한 바와 같이, 바닥면 인쇄용 영역(12a)에는, 기판(5) 상의 오목부(5b)의 배열에 대응하여, 각각 대응 오목부(5b)에 감합될 수 있는 형상의 감합부(12c)가 스크린 마스크(12)로부터 하면측으로 돌출하여 마련되어 있다. 각 감합부(12c)의 상면은 스크린 마스크(12)로부터 오목하게 되어 요입부(12e)로 되어 있다. 요입부(12e)의 내부에는, 오목부(5b) 내에서의 바닥면 전극(6b)의 배열에 대응하여 패턴 구멍(12d)이 형성되어 있다. 또한, 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 상면 인쇄용 영역(12b)에는 기판(5)의 상면(5a) 상의 상면 전극(6a)의 배열에 대응하여, 패턴 구멍(12f)이 형성되어 있다.
즉, 본 실시형태에 있어서, 스크린 마스크(12)는, 바닥면 인쇄 영역(5e)에 대응하여 마련되고 오목부(5b)에 감합되는 감합부(12c) 및 이 감합부(12c)에 바닥면 전극(6b)에 대응하여 형성된 패턴 구멍(12d)을 갖는 바닥면 인쇄용 영역(12a)과, 상면 인쇄 영역(5d)에 대응하여 설치되고 상면 전극(6a)에 대응하여 형성된 패턴 구멍(12f)을 갖는 상면 인쇄용 영역(12b)을 구비한다. 상류측으로부터 반입되고 기판 위치결정 유닛(30)에 의해서 유지된 기판(5)은, 기판 위치결정 유닛을 구동함으로써 바닥면 인쇄용 영역(12a) 또는 상면 인쇄용 영역(12b)과 선택적으로 정렬된다.
베이스(2)의 상면에는, 스크린 마스크(12)의 측방의 위치에, 카메라 X축 테이블(9X) 및 카메라 Y축 테이블(9Y)로 이루어지는 카메라 이동 기구(9)가 배치되어 있다. 카메라 X축 테이블(9X)에는 카메라 유닛(8)이 장착되어 있고, 카메라 이동 기구(9)를 구동함으로써, 카메라 유닛(8)은 X방향 및 Y방향으로 이동한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 카메라 유닛(8)은 촬상 방향이 각각 하향 및 상향의 기판 인식 카메라(8a) 및 마스크 인식 카메라(8b)의 2개의 카메라를 갖추고 있다. 기판 인식 카메라(8a) 및 마스크 인식 카메라(8b)를 기판 위치결정 유닛(30)에 의해 유지된 기판(5)의 상측에 위치시킴으로써, 기판 인식 카메라(8a)에 의해서 기판(5)에 형성된 인식 마크를 촬상할 수 있고, 이 촬상 작업의 결과를 인식 처리함으로써, 기판(5)의 위치가 검출된다. 또한, 마스크 인식 카메라(8b)를 바닥면 인쇄용 영역(12a) 및 상면 인쇄용 영역(12b)에 각각 설치된 인식 마크의 하측에 위치시킴으로써, 이들 인식 마크를 촬상할 수 있고, 이 촬상 작업의 결과를 인식 처리함으로써, 바닥면 인쇄용 영역(12a) 및 상면 인쇄용 영역(12b)의 위치가 검출된다.
스크린 마스크(12)의 상측에는, 스퀴지 유닛인 밀폐형 스퀴지 기구(13)가 스퀴지 이동 기구(20)에 의해서 이동 가능하게 배치되어 있다. 밀폐형 스퀴지 기구(13)는, 결합 부재(15)에 의해서 유지되는 인쇄 유닛(14)을 구비하고, 인쇄 유닛(14)의 내부에 저류된 페이스트(P)가 실린더(16)에 의해서 가압되어 스크린 마스크(12)의 감합부(12c)의 요입부(12e) 또는 패턴 구멍(12f)에 충전되는 구성으로 되어 있다. 바닥면 인쇄용 영역(12a) 및 상면 인쇄용 영역(12b)을 인쇄 대상으로 하는 경우에는, 도 2에 도시한 바와 같이, 밀폐형 스퀴지 기구(13)를 중심선(CL)으로부터 각각 화살표 a 및 화살표 b로 나타낸 방향으로 이동시킨다.
다음으로, 도 5를 참조하여, 밀폐형 스퀴지 기구(13) 및 스퀴지 이동 기구(20)의 구성을 설명한다. 스퀴지 이동 기구(20)는, 이동 플레이트(22)를 Y방향( 스퀴징 동작 방향)으로 이동시키는 Y축 이동 기구(21) 및 이동 플레이트(22)의 상면에 설치된 스퀴지 승강 기구(23)를 구비한다. 스퀴지 승강 기구(23)는 에어 실린더를 구비하고, 밀폐형 스퀴지 기구(13)는 결합 부재(15)를 통해, 스퀴지 승강 기구(23)로부터 하향 연장되는 승강축(23a)의 하단부에 결합되어 있다. 스퀴지 승강 기구(23)를 구동함으로써, 밀폐형 스퀴지 기구(13)는 스크린 마스크(12)에 대하여 상하로 승강하고, 밀폐형 스퀴지 기구(13)는 스크린 마스크(12)에 대하여 규정의 인쇄압으로 압박될 수 있다.
Y축 이동 기구(21)의 구성을 설명한다. 이동 플레이트(22)의 하면에는 너트 부재(26)가 결합되고, 너트 부재(26)에 나사 결합된 이송 나사(25)가 모터(27)에 의해서 회전 구동된다. 모터(27)를 구동함으로써, 이동 플레이트(22)가 수평으로 이동하고, 이에 따라 스퀴지 승강 기구(23)에 결합된 밀폐형 스퀴지 기구(13)도 수평으로 이동한다. 밀폐형 스퀴지 기구(13)가 하강된 상태로, 모터(27)를 구동함으로써, 밀폐형 스퀴지 기구(13)가 스크린 마스크(12) 상에서 수평으로 이동한다. 즉, 모터(27), 이송 나사(25) 및 너트 부재(26)는, 밀폐형 스퀴지 기구(13)를 스크린 마스크(12) 상에서 수평 이동시키는 Y축 이동 기구(21)를 구성한다.
밀폐형 스퀴지 기구(13)의 하부에는, 스크린 마스크(12)의 표면에 접촉하여 페이스트(P)를 패턴 구멍에 충전하는 인쇄 유닛(14)이 설치된다. 인쇄 유닛(14)을 구성하는 본체부(40)는, 스크린 마스크(12)의 폭방향으로 가늘고 긴 블록형의 부재이다. 본체부(40)의 길이 치수는 인쇄 대상을 이루는 기판(5)의 폭 치수를 커버하 도록 설정된다. 본체부(40)에는, 페이스트(P)를 저장하는 카트리지(41)가 착탈 가능하게 장착된다.
카트리지(41)에는 미리 소정량의 페이스트(P)가 저장되어 있고, 카트리지(41)의 상면의 개구에는, 카트리지(41)의 내부의 페이스트(P)를 가압하는 가압판(42)이 끼워져 있다. 가압판(42)은 상측에 배치된 실린더(16)의 로드(16a)와 결합되고, 실린더(16)를 구동함으로써, 가압판(42)이 카트리지(41) 내에서 상하로 이동한다. 실린더(16)를 소정의 압력으로 구동함으로써, 카트리지(41) 내의 페이스트(P)가 가압판(42)에 의해서 소정의 압력으로 하향 압박된다(화살표 c).
카트리지(41)의 바닥면이 페이스트(P)를 압출하는 스크린판(41a)을 구성하고, 스크린판(41a)에는 다수의 개구(41b)가 마련된다. 가압판(42)을 실린더(16)에 의해 하향 압박함으로써, 카트리지(41)내의 페이스트(P)는 가압되고, 스크린판(41a)의 개구(41b)를 통하여 압착되면서 하향 압출된다. 전술한 방식으로 페이스트(P)가 압착됨으로써, 페이스트(P)의 점도가 저하되어 스크린 인쇄에 알맞은 성질을 갖도록 개질된다.
한 쌍의 대향 미끄럼 접촉판[제1 미끄럼 접촉판(44A), 제2 미끄럼 접촉판(44B)]이, 본체부(40)의 하면측으로부터, 대향 방향을 스퀴징 방향(Y 방향)과 정렬시킨 상태로 접촉판들 사이의 거리가 좁아지도록 하향 내측으로 경사지게 연장된다. 제1 미끄럼 접촉판(44A) 및 제2 미끄럼 접촉판(44B)은 각각 판형 부재이고, 스퀴징 방향에서 보아 인쇄 공간(45)의 전후벽을 구성한다. 밀폐형 스퀴지 기구(13)가 하강된 상태에서는, 제1 미끄럼 접촉판(44A) 및 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 하단부가 스크린 마스크(12)의 표면에 접촉한다.
스크린 인쇄에 있어서는, 카트리지(41) 내부의 페이스트(P)가 가압판(42)에 의해 가압되고, 스크린판(41a)을 통해 압출된 페이스트(P)는, 본체부(40)의 하측에 구획된 공간, 즉 제1 미끄럼 접촉판(44A), 제2 미끄럼 접촉판(44B) 및 본체부(40)의 하면으로 둘러싸인 인쇄 공간(45)에 도달한다. 그 후, 페이스트(P)가 인쇄 공간(45) 내에 채워진 상태의 밀폐형 스퀴지 기구(13)를, 스크린 마스크(12) 상에서 미끄럼 이동시킨다. 이에 따라, 인쇄 공간(45) 내의 페이스트(P)는 제1 미끄럼 접촉판(44A)과 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 사이에 마련된 인쇄 개구를 통해 스크린 마스크(12)의 감합부(12c)의 요입부(12e) 또는 패턴 구멍(12f) 내에 충전된다.
이와 같이, 밀폐형 스퀴지 기구(13)를 이동시킴으로써 페이스트(P)가 패턴 구멍(12f) 내에 순차적으로 충전된다. 즉, 밀폐형 스퀴지 기구(13)는, 본체부(40)에 저류된 페이스트(P)를 가압하면서 바닥면 인쇄용 영역(12a) 또는 상면 인쇄용 영역(12b)의 상면에 제1 미끄럼 접촉판(44A) 및 제2 미끄럼 접촉판(44B)을 접촉시킨 상태로 스퀴징 방향으로 미끄럼 이동함으로써, 페이스트(P)를 제1 미끄럼 접촉판(44A)과 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 사이에 마련된 인쇄 개구를 통해 스크린 마스크(12)의 감합부(12c)의 요입부(12e) 또는 패턴 구멍(12f)에 충전하는 기능을 갖는다.
여기서, 본 실시형태에서 요구되는 제1 미끄럼 접촉판(44A) 및 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 기능은 상이하고, 이들 기능에 따라 제1 미끄럼 접촉판(44A) 및 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 재질 및 두께가 다르다. 즉, 바닥면 인쇄용 영역(12a)의 바닥면 인쇄 영역(5e)을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 상기 스퀴징 동작에 있어서 감합부(12c)의 상면의 요입부(12e) 내에 잔류하는 여분의 페이스트를 퍼 올려 요입부(12e)로부터 제거할 목적으로 제1 미끄럼 접촉판(44A)이 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 위치 관계로 있다.
이 때문에, 제1 미끄럼 접촉판(44A)의 재질로는, 스크린 마스크(12) 상에서의 미끄럼 이동 중에 제1 미끄럼 접촉판(44A)이 요입부(12e)를 통과할 때에, 제1 미끄럼 접촉판(44A)의 하단부가 요입부(12e) 내에 진입하여 페이스트를 긁어내는 기능을 하도록 가요성이 풍부한 재질, 예컨대 우레탄 수지와 같은 수지 재질의 것이 선정된다. 재질의 선정에 더하여, 제1 미끄럼 접촉판(44A)의 두께 치수는, 본체부(40)를 스크린 마스크(12)에 대하여 압박하는 인쇄압에 의해서 제1 미끄럼 접촉판(44A)이 소정의 휘어진 형태로 변형되도록 적절하게 설정된다. 전술한 바와 같이 가요성이 풍부한 재질을 적절하게 선정하고 두께 치수를 적절하게 선정함으로써, 제1 미끄럼 접촉판(44A)은 경사 하측으로 연장되는 방향뿐만 아니라, 길이 방향(X방향)으로도 변형이 허용된다. 이러한 구성에 의해, 제1 미끄럼 접촉판(44A)이 요입부(12e)를 통과하는 때에, 요입부(12e)의 X방향의 범위에 대응하는 폭 범위 내에서, 제1 미끄럼 접촉판(44A)의 하단부가 요입부(12e) 내에 진입한다.
이에 대하여, 상면 인쇄용 영역(12b)의 상면(5a)을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 상면 인쇄용 영역(12b)의 상면(12g)에 부착되는 여분의 페이스트를 확실하게 긁어낼 목적으로 제2 미끄럼 접촉판(44B)이 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 위치 관계로 있다. 이 때문에, 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 재질로는, 스크린 마스크(12) 상에서의 미끄럼 이동시에 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 하단부가 상면(12g)에 대하여 가압되어 밀착되도록, 강성이 큰 재질, 예컨대 스테인리스강 등의 금속 재질의 것이 선정된다. 재질의 선정에 더하여, 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 두께 치수가, 본체부(40)를 스크린 마스크(12)에 대하여 압박하는 인쇄압에 의해서 제2 미끄럼 접촉판(44B)이 소정의 휘어진 형태로 변형되도록 적절히 설정된다.
기판(5)을 인쇄 대상으로 하는 스크린 인쇄 장치(1)에 의한 스크린 인쇄에 있어서는, 기판(5)을 스크린 마스크(12)의 바닥면 인쇄용 영역(12a) 및 상면 인쇄용 영역(12b)에 대하여 순차적으로 정렬하고, 밀폐형 스퀴지 기구(13)에 의해서 페이스트(P)를 인쇄한다. 이들 2개의 인쇄용 영역에 대한 스크린 인쇄를, 도 6, 도 7 및 도 8을 참조하여 설명한다. 먼저, 도 6의 (a)는, 바닥면 인쇄용 영역(12a)을 인쇄 대상으로 하는 인쇄 동작을 도시하고 있다. 이 경우에는, 기판 위치결정 유닛(30)을 바닥면 인쇄용 영역(12a)의 하면측에 정렬하고, 하부 지지 부재(37)에 의해서 아래로부터 지지된 기판(5)을 스크린 마스크(12)의 하면측으로부터 접촉시킨다.
이와 같이 하여, 도 7의 (a)에 도시한 바와 같이, 스크린 마스크(12)의 감합부(12c)가 기판(5)의 오목부(5b) 내에 끼워진다. 그리고 이 상태에서, 밀폐형 스퀴지 기구(13)를 하강시켜(화살표 f), 제1 미끄럼 접촉판(44A) 및 제2 미끄럼 접촉판(44B)을 스크린 마스크(12)에 접촉시킨다. 이어서, 밀폐형 스퀴지 기구(13)를 스퀴징 방향(화살표 g)으로 이동시킨다. 이때에, 제1 미끄럼 접촉판(44A)이 스퀴징 방향의 후방측에 위치하도록, 밀폐형 스퀴지 기구(13)의 이동 방향이 설정된다.
도 7의 (b), (c)는, 제1 미끄럼 접촉판(44A)이 요입부(12e)를 통과할 때의 거동을 도시하고 있다. 즉, 본체부(40)가 인쇄압(F)에 의해서 스크린 마스크(12)에 대하여 압박됨으로써 제1 미끄럼 접촉판(44A)에 휘어짐이 발생하고(화살표 h), 이 상태에서 인쇄 유닛(14)이 스퀴징 동작을 실행한다. 그리고, 인쇄 유닛(14)이 진행하여 제1 미끄럼 접촉판(44A)이 요입부(12e) 내로 이동하면, 제1 미끄럼 접촉판(44A)이 가요성이 풍부한 재질로 제작되어 있기 때문에, 도 7의 (c)에 도시한 바와 같이, 하단부(44e)가 휘어짐 변형에 의해 발생된 탄발력에 의해서 도 7의 (b)에 도시한 상태로부터 요입부(12e) 내로 진입하는 방향으로 변형된다. 이러한 변형에 의해, 요입부(12e) 내에 잔류하고 있는 페이스트(P)가 제1 미끄럼 접촉판(44A)에 의해서 퍼 올려져 제거된다. 즉, 본 실시형태에 있어서, 제1 미끄럼 접촉판(44A)의 두께 및 재질은, 스퀴징 동작에 있어서 밀폐형 스퀴지 기구(13)를 바닥면 인쇄용 영역(12a)의 상면에 대하여 압박하는 인쇄압에 의해 제1 미끄럼 접촉판(44A)이 휘어져 변형되고, 이 휘어짐 변형의 탄발력에 의해 하단부(44e)가 요입부(12e)에 진입하도록 선정된다.
다음으로, 도 6의 (b)는, 상면 인쇄용 영역(12b)을 인쇄 대상으로 하는 인쇄 동작을 도시하고 있다. 이 경우에는, 기판 위치결정 유닛(30)을 상면 인쇄용 영역(12b)의 하면측과 정렬하여, 하부 지지 부재(37)에 의해서 하측으로부터 지지된 기판(5)을 스크린 마스크(12)의 하면측으로부터 접촉시키고 있다. 이러한 기판(5)과 스크린 마스크(12)의 접촉의 결과로서, 도 8의 (a)에 도시한 바와 같이, 스크린 마스크(12)의 요입부(12e)가 기판(5)의 상면 전극(6a)에 정렬된 상태로 된다. 그리고 이 상태에서, 밀폐형 스퀴지 기구(13)를 하강시켜(화살표 j), 제1 미끄럼 접촉판(44A) 및 제2 미끄럼 접촉판(44B)을 스크린 마스크(12)에 접촉시킨다. 이어서, 밀폐형 스퀴지 기구(13)를 스퀴징 방향(화살표 k)으로 이동시킨다. 이때, 제2 미끄럼 접촉판(44B)이 스퀴징 방향의 후방측에 위치하도록, 밀폐형 스퀴지 기구(13)의 이동 방향이 설정된다.
도 8의 (b)는, 제2 미끄럼 접촉판(44B)이 스크린 마스크(12)의 상면(12g) 위에서 미끄럼 이동할 때의 거동을 도시하고 있다. 즉, 본체부(40)가 인쇄압(F)에 의해서 스크린 마스크(12)에 대하여 압박됨으로써 제2 미끄럼 접촉판(44B)에 휘어짐이 발생하고(화살표 l), 이 상태에서 인쇄 유닛(14)이 스퀴징 동작을 실행한다. 그리고 인쇄 유닛(14)이 진행하여 스퀴징 동작을 계속하는 경우에는, 제2 미끄럼 접촉판(44B)이 강성을 갖는 재질로 제작되어 있기 때문에, 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 하단부(44e)가 인쇄압(F)에 따른 휘어짐으로 인한 반력에 의해 상면(12g)에 대하여 압박되고, 이로써 상면(12g)에 밀착되게 된다.
하단부(44e)가 상면(12g)에 밀착됨으로써, 상면(12g)에 부착된 페이스트(P)는 제2 미끄럼 접촉판(44B)에 의해서 상면(12g)으로부터 박리되어 긁어 내어진다. 즉 본 실시형태에 있어서, 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 두께 및 재질은, 스퀴징 동작에 있어서 밀폐형 스퀴지 기구(13)를 상면 인쇄용 영역(12b)의 상면(12g)에 대하여 압박하는 인쇄압에 의해 제2 미끄럼 접촉판(44B)의 하단부(44e)가 상면(12g)에 밀착되어, 상면(12g)에 부착되는 페이스트(P)를 상면(12g)으로부터 박리시켜 긁어내도록 선정되어 있다.
이와 같이, 기판의 상면에 설정되고 상면 전극이 형성된 상면 인쇄 영역 및 상기 상면에 개구되는 오목부의 바닥면에 설정되는 바닥면 인쇄 영역을 인쇄 대상으로 하여 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 방법에 있어서, 바닥면 인쇄용 영역(12a)을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 밀폐형 스퀴지 기구(13)의 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서 상기 스퀴징 동작 시의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제1 미끄럼 접촉판(44A)에 의해서 감합부(12c)의 상면측의 요입부(12e)에 잔류하는 페이스트(P)를 퍼 올려 요입부(12e)로부터 제거하고 있다. 또한, 상면 인쇄용 영역(12b)을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 밀폐형 스퀴지 기구(13)의 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서 상ㄱ이 스퀴징 동작 시의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제2 미끄럼 접촉판(44B)에 의해서 상면 인쇄용 영역(12b)의 상면에 부착되는 페이스트(P)를 긁어내고 있다.
이와 같은 스크린 인쇄 방법을 채용함으로써, 캐비티 기판을 인쇄 대상으로 하는 종래의 스크린 인쇄에 있어서 존재하였던 여러 가지의 제약이나 문제를 해결하고, 기판의 상면 및 상면에 개구되는 오목부의 바닥면을 인쇄 대상으로 하는 스크린 인쇄에 있어서, 양호한 인쇄 품질을 확보하면서 양호한 효율로 인쇄 작업을 실행할 수 있다.
본 특허 출원은, 2009년 7월 13일자로 출원된 일본 특허 출원(2009-164744)에 기초하는 것으로, 이 특허 출원의 내용은 본원 명세서에 참조로서 인용된다.
본 발명의 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법은, 기판의 상면 및 상면에 개구되는 오목부의 바닥면을 인쇄 대상으로 하는 스크린 인쇄에 있어서, 양호한 인쇄 품질을 확보하면서 양호한 효율로 인쇄 작업을 실행할 수 있는 효과를 가지며, 캐비티 기판 등과 같이 높이가 다른 인쇄 영역을 인쇄 대상으로 하여 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄하는 분야에서 유용하다.
1 스크린 인쇄 장치; 2 베이스; 3 스크린 인쇄 유닛; 4 기판 반송 기구; 5 기판; 5b 오목부; 5e 바닥면 인쇄 영역; 6a 상면 전극; 6b 바닥면 전극; 12 스크린 마스크; 12a 바닥면 인쇄용 영역: 12b 상면 인쇄용 영역: 12c 감합부; 12d 패턴 구멍; 12e 요입부(凹入部); 13 밀폐형 스퀴지 기구; 14 인쇄 유닛; 20 스퀴지 이동 기구; 30 기판 위치결정 유닛; 44A 제1 미끄럼 접촉판; 44B 제2 미끄럼 접촉판
Claims (4)
- 기판의 상면에 설정되고 상면 전극이 형성된 상면 인쇄 영역과, 상기 상면에 개구되는 오목부의 바닥면에 설정되고 바닥면 전극이 형성된 바닥면 인쇄 영역을 인쇄 대상으로 하여 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 장치로서,
상기 바닥면 인쇄 영역에 대응하여 설치되고 상기 오목부에 감합되는 감합부와 이 감합부에 상기 바닥면 전극에 대응하여 형성된 패턴 구멍을 갖는 바닥면 인쇄용 영역과, 상기 상면 인쇄 영역에 대응하여 설치되고 상기 상면 전극에 대응하여 형성된 패턴 구멍을 갖는 상면 인쇄용 영역을 구비하는 스크린 마스크와,
상류측으로부터 전달된 기판을 유지하고, 이 기판을 상기 바닥면 인쇄용 영역 또는 상기 상면 인쇄용 영역과 선택적으로 정렬하는 기판 위치결정 유닛과,
상기 페이스트를 저류하는 본체부의 하면측으로부터, 대향 방향을 스퀴징 방향과 정렬시킨 상태로 사이의 거리가 점진적으로 좁아지도록 하향 연장되는 한 쌍의 대향 미끄럼 접촉판을 구비하는 밀폐형 스퀴지 기구로서, 상기 본체부에 저류된 상기 페이스트를 가압하면서 상기 바닥면 인쇄용 영역 또는 상기 상면 인쇄용 영역의 상면에 상기 미끄럼 접촉판을 접촉시킨 상태로 스퀴징 방향으로 미끄럼 이동하여, 상기 페이스트를 상기 미끄럼 접촉판들 사이에 마련된 인쇄 개구를 통해 상기 감합부 내에 공급하거나 또는 상기 패턴 구멍 내에 충전하는 것인 밀폐형 스퀴지 기구
를 구비하고,
상기 밀폐형 스퀴지 기구의 상기 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서, 상기 바닥면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제1 미끄럼 접촉판은, 스퀴징 동작에 있어서 상기 감합부의 상면측의 요입부에 잔류하는 페이스트를 퍼 올려 상기 요입부로부터 제거하고, 상기 상면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제2 미끄럼 접촉판은, 스퀴징 동작에 있어서 상기 상면 인쇄용 마스크의 상면에 부착되는 페이스트를 긁어내는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치. - 제1항에 있어서, 상기 제1 미끄럼 접촉판의 두께 및 재질은, 상기 스퀴징 동작 시에 상기 밀폐형 스퀴지 기구를 상기 바닥면 인쇄용 영역의 상면에 대하여 압박하는 인쇄압에 의해 상기 제1 미끄럼 접촉판이 휘어져 변형되고, 이러한 휘어짐 변형으로 인한 탄발력(spring-back force)에 의해 상기 제1 미끄럼 접촉판의 하단부가 상기 요입부에 진입하도록 선정되는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 미끄럼 접촉판의 두께 및 재질은, 상기 스퀴징 동작 시에 상기 밀폐형 스퀴지 기구를 상기 상면 인쇄용 영역의 상면에 대하여 압박하는 인쇄압에 의해 제2 미끄럼 접촉판의 하단부가 상기 상면에 밀착되어, 상기 상면의 부착 페이스트를 박리시켜 긁어내도록 선정되는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
- 기판의 상면에 설정되고 상면 전극이 형성된 상면 인쇄 영역과, 상기 상면에 개구되는 오목부의 바닥면에 설정되고 바닥면 전극이 형성된 바닥면 인쇄 영역을 인쇄 대상으로 하여 전자 부품 접합용의 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 방법으로서,
상기 바닥면 인쇄 영역에 대응하여 설치되고 상기 오목부에 감합되는 감합부와 이 감합부에 상기 바닥면 전극에 대응하여 형성된 패턴 구멍을 갖는 바닥면 인쇄용 영역과, 상기 상면 인쇄 영역에 대응하여 설치되고 상기 상면 전극에 대응하여 형성된 패턴 구멍을 갖는 상면 인쇄용 영역을 구비하는 스크린 마스크; 상류측으로부터 전달된 기판을 유지하고, 이 기판을 상기 바닥면 인쇄용 영역 또는 상기 상면 인쇄용 영역과 선택적으로 정렬하는 기판 위치결정 유닛; 상기 페이스트를 저류하는 본체부의 하면측으로부터, 대향 방향을 스퀴징 방향과 정렬시킨 상태로 사이의 거리가 점진적으로 좁아지도록 하향 연장되는 한 쌍의 대향 미끄럼 접촉판을 구비하는 밀폐형 스퀴지 기구로서, 상기 본체부에 저류된 상기 페이스트를 가압하면서 상기 바닥면 인쇄용 영역 또는 상기 상면 인쇄용 영역의 상면에 상기 미끄럼 접촉판을 접촉시킨 상태로 스퀴징 방향으로 미끄럼 이동하여, 상기 페이스트를 상기 미끄럼 접촉판들 사이에 마련된 인쇄 개구를 통해 상기 감합부 내에 공급하거나 또는 상기 패턴 구멍 내에 충전하는 것인 밀폐형 스퀴지 기구를 구비하는 스크린 인쇄 장치를 채용하여,
상기 바닥면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 상기 밀폐형 스퀴지 기구의 상기 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서 상기 스퀴징 동작 시의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제1 미끄럼 접촉판에 의해서 상기 감합부의 상면측의 요입부에 잔류하는 페이스트를 퍼 올려 상기 요입부로부터 제거하고,
상기 상면 인쇄용 영역을 인쇄 대상으로 하는 스퀴징 동작에 있어서는, 상기 밀폐형 스퀴지 기구의 상기 한 쌍의 미끄럼 접촉판 중에서 상기 스퀴징 동작 시의 스퀴징 방향의 후방측에 위치하는 제2 미끄럼 접촉판에 의해서 상기 상면 인쇄용 마스크의 상면에 부착되는 페이스트를 긁어내는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.
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