JP2001326135A - 積層型電子部品の製造方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層型電子部品の製造効率向上に有効な積層
型電子部品の製造方法及び装置を提供する。 【解決手段】 供給台１から第１保持テーブル２０又は
第２保持テーブル３０に交互にグリーンシート１０を供
給し、第１保持テーブルに保持されたグリーンシート１
０は第１印刷装置４０で導電性ペーストを印刷し、第２
保持テーブルに保持されたグリーンシート１０は第２印
刷装置５０で前記第１印刷装置４０と異なるパターンで
導電性ペーストを印刷する。各印刷装置で印刷処理され
たグリーンシート１０は、交互に搬送ベルト６０により
搬送され、乾燥装置７０による乾燥の後、印刷装置に対
応して収容台２又は３に収容される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層コンデンサな
どの積層型電子部品の製造方法及び製造装置に関し、特
にグリーンシートに所定パターンの導体を印刷する工程
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】積層コンデンサ等の積層型電子部品は、
以下のようにして製造される。ここでは積層型電子部品
の一例として積層コンデンサについて説明する。まず、
ドクターブレード法などを用いてセラミックスラリーか
ら矩形のセラミックグリーンシートを作成する。次い
で、このセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法
などを用いて導電性ペーストを所定パターンで印刷す
る。次いで導電性ペーストが塗布されたセラミックグリ
ーンシート及び塗布されていないセラミックグリーンシ
ートを所定順序で積層・圧着して多層シートを作成す
る。次いで、この多層シートを単位部品に対応した形状
に切断して未焼成チップを作成する。次いで、この未焼
成チップの端部に外部電極用の導電性ペーストを塗布
し、これを焼成して積層コンデンサを得る。なお、未焼
成チップと外部電極用の導電性ペーストとを同時に焼成
せずに、まず未焼成チップのみを焼成した後に外部電極
用の導電性ペーストを塗布し、その後に導電性ペースト
を焼き付けてもよい。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
製造過程では、セラミックグリーンシートに対する導電
性ペーストの印刷工程に先立って、印刷対象となる矩形
のセラミックグリーンシートを予め多数積み重ねて用意
しておく場合がある。このような場合には、通常はセラ
ミックグリーンシートを印刷装置に対して手差しで供給
していたため、製造効率が非常に悪いものであった。

【０００４】一方、近年の小型化・高密度化に対応する
ためにはセラミックグリーンシートに対する導電性ペー
ストの印刷精度が重要である。通常の積層型電子部品の
製造では、一種類の積層電子部品に対して複数種類のパ
ターンで導体が印刷されたセラミックグリーンシートを
用いている。そこで、複数種類のパターンでの導体の印
刷工程を高精度に行うことが課題としてあった。

【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、積層型電子部品の製
造効率向上に有効な積層型電子部品の製造方法及び装置
を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１では、所定形状のグリーンシートの表面に
所定パターンの導体を印刷する印刷工程と、グリーンシ
ートに印刷された導体を乾燥させる乾燥工程とを含む積
層型電子部品の製造方法において、吸着面にグリーンシ
ートを吸着保持する保持テーブルに対してグリーンシー
トを供給する工程と、グリーンシートが保持された保持
テーブルを印刷位置まで搬送する工程と、搬送された保
持テーブルに保持されているグリーンシートの表面に所
定パターンの導体を印刷する前記印刷工程と、導体が印
刷されたグリーンシートを保持テーブルから取り出し、
取り出したグリーンシートを搬送手段に供給する工程
と、搬送手段による搬送途中においてグリーンシートに
印刷された導体を乾燥させる前記乾燥工程と、グリーン
シートを搬送手段から取り出し、取り出したグリーンシ
ートを所定の保管場所に搬送する工程とを備えたことを
特徴とするものを提案する。

【０００７】本発明によれば、所定形状のグリーンシー
トは、まず保持テーブルに搬送されて該保持テーブルに
保持される。そして、該保持テーブルは導体の印刷位置
まで搬送され、ここで所定パターンの導体が印刷され
る。この後に、グリーンシートが保持テーブルから取り
出され、搬送手段により搬送されながら印刷された導体
の乾燥が行われる。最後に、グリーンシートは所定の保
管場所に搬送される。このように、所定形状のグリーン
シートに対して、順次、導体の印刷及び乾燥、収納が行
われるので、積層型電子部品の製造効率が向上する。

【０００８】また、請求項２では、請求項１記載の積層
型電子部品の製造方法において、前記印刷工程で用いる
印刷手段をそれぞれ印刷位置が異なる場所に複数配置
し、連続して供給されるグリーンシートに対して、所定
のルールに基づきグリーンシートの供給毎に前記複数の
印刷手段から一の印刷手段を選択し、グリーンシートが
保持された保持テーブルを選択された印刷手段における
印刷位置に搬送することを特徴とするものを提案する。

【０００９】本発明によれば、複数の印刷手段を備えて
いるので、各印刷手段において異なるパターンの導体を
印刷することができる。これにより、供給されたグリー
ンシートに対して種々の印刷パターンを有するグリーン
シートを任意の順番で得ることができる。

【００１０】さらに、請求項３では、請求項１記載の積
層型電子部品の製造方法において、前記印刷工程で用い
る印刷手段をそれぞれ印刷位置が異なる場所に複数配置
するとともに、各印刷手段に対応して保持テーブルを複
数設け、連続して供給されるグリーンシートに対して、
所定のルールに基づきグリーンシートの供給毎に前記複
数の印刷手段から一の印刷手段を選択し、選択された印
刷手段に対応する保持テーブルにグリーンシートを供給
し、グリーンシートが保持された保持テーブルを選択さ
れた印刷手段における印刷位置に搬送することを特徴と
するものを提案する。

【００１１】本発明によれば、請求項２記載の発明と同
様に、供給されたグリーンシートに対して種々の印刷パ
ターンを有するグリーンシートを任意の順番で得ること
ができる。また、保持テーブルを複数備えているので、
例えば一の印刷手段で印刷処理を実施している間に、他
の印刷手段に対応する保持テーブルへのグリーンシート
供給を実施するなど、印刷処理と搬送処理の並列化を図
ることができる。これにより、積層型電子部品の製造効
率が更に向上する。

【００１２】さらに、請求項４では、請求項２又は３何
れか１項記載の積層型電子部品の製造方法において、グ
リーンシートの保管場所を複数の印刷手段に対応して複
数配置し、前記グリーンシートの保管場所への搬送は、
搬送するグリーンシートの印刷が行われた印刷手段に対
応した保管場所に対して行うことを特徴とするものを提
案する。

【００１３】本発明によれば、異なる印刷手段で印刷さ
れたグリーンシートは、それぞれ異なる保管場所に搬送
される。したがって、後工程においてグリーンシートを
選別する必要がないので、積層型電子部品の製造効率が
更に向上する。

【００１４】さらに、請求項５では、請求項１乃至４何
れか１項記載の積層型電子部品の製造方法において、前
記印刷工程では、所定のルールに基づいて印刷毎にグリ
ーンシートに対する印刷位置を印刷面と平行な方向に相
対的にずらしてから印刷することを特徴とするものを提
案する。

【００１５】本発明によれば、印刷面が相対的に平行移
動して印刷されるので、印刷手段が有するパターンを変
更することなく、グリーンシートに複数種類の導体パタ
ーンを形成することができる。また、同一の印刷手段を
用いてグリーンシートに複数種類の導体パターンを形成
することができるので、異なる印刷手段を用いて印刷し
た場合と比較して、印刷精度のばらつきが少ないものと
なる。これにより、積層型電子部品の製造効率の向上及
び高精度化が図れる。

【００１６】さらに、請求項６では、請求項５記載の積
層型電子部品の製造方法において、グリーンシートの保
管場所を前記印刷工程における印刷位置に対応して複数
配置し、前記グリーンシートの保管場所への搬送は、搬
送するグリーンシートの印刷が行われた印刷位置に対応
した保管場所に対して行うことを特徴とするものを提案
する。

【００１７】本発明によれば、請求項４と同様に、異な
る印刷位置で印刷されたグリーンシートは、それぞれ異
なる保管場所に搬送される。したがって、後工程におい
てグリーンシートを選別する必要がないので、積層型電
子部品の製造効率が更に向上する。

【００１８】さらに、請求項７では、所定形状のグリー
ンシートの表面に所定パターンの導体を印刷する印刷手
段と、グリーンシートに印刷された導体を乾燥させる乾
燥手段とを備えた積層型電子部品の製造装置において、
吸着面にグリーンシートを吸着保持する保持テーブル
と、保持テーブルにグリーンシートを供給するグリーン
シート供給手段と、グリーンシートが保持された保持テ
ーブルをグリーンシートの供給位置から前記印刷手段に
よる印刷位置まで搬送する保持テーブル搬送手段と、グ
リーンシートの搬送途中においてグリーンシートに印刷
された導体を前記乾燥手段を用いてを乾燥可能なグリー
ンシート搬送手段と、導体が印刷されたグリーンシート
を保持テーブルからグリーンシート搬送手段に移動させ
るグリーンシート移動手段と、乾燥処理されたグリーン
シートをシート搬送手段から取り出し、取り出したグリ
ーンシートを所定の保管場所に搬送するグリーンシート
取り出し手段とを備えたことを特徴とするものを提案す
る。

【００１９】さらに、請求項８では、請求項７記載の積
層型電子部品の製造装置において、前記印刷手段をそれ
ぞれ印刷位置が異なる場所に複数備えるとともに、前記
保持テーブル搬送手段は、前記グリーンシート供給手段
により連続して供給されるグリーンシートに対して、所
定のルールに基づきグリーンシートの供給毎に前記複数
の印刷手段から一の印刷手段を選択し、グリーンシート
が保持された保持テーブルを選択された印刷手段におけ
る印刷位置に搬送することを特徴とするものを提案す
る。

【００２０】さらに、請求項９では、請求項７記載の積
層型電子部品の製造装置において、前記印刷手段をそれ
ぞれ印刷位置が異なる場所に複数備えるとともに前記保
持テーブルを各印刷手段に対応して複数備え、前記保持
テーブル搬送手段は、前記グリーンシート供給手段連続
して供給されるグリーンシートに対して、所定のルール
に基づきグリーンシートの供給毎に前記複数の印刷手段
から一の印刷手段を選択し、選択された印刷手段に対応
する保持テーブルにグリーンシートを供給し、グリーン
シートが保持された保持テーブルを選択された印刷手段
における印刷位置に搬送することを特徴とするものを提
案する。

【００２１】さらに、請求項１０では、請求項８又は９
何れか１項記載の積層型電子部品の製造装置において、
グリーンシートの保管場所を複数の印刷手段に対応して
複数配置し、前記グリーンシート取り出し手段は、グリ
ーンシートの印刷が行われた印刷手段に対応した保管場
所に該グリーンシートを搬送することを特徴とするもの
を提案する。

【００２２】さらに、請求項１１では、請求項７乃至１
０何れか１項記載の積層型電子部品の製造装置におい
て、前記印刷手段は、グリーンシートに対する印刷位置
を印刷面と平行な方向に相対的にずらす移動手段を備
え、所定のルールに基づいて印刷毎に前記移動手段によ
り印刷位置をずらしてから印刷することを特徴とするも
のを提案する。

【００２３】さらに、請求項１２では、請求項１１記載
の積層型電子部品の製造装置において、グリーンシート
の保管場所を前記印刷手段における印刷位置に対応して
複数配置し、前記グリーンシート取り出し手段は、グリ
ーンシートの印刷が行われた印刷位置に対応した保管場
所に該グリーンシートを搬送することを特徴とするもの
を提案する。

【００２４】これらの発明の積層型電子部品の製造装置
によれば、前記請求項１乃至６に記載した発明を確実に
実施することができる。すなわち、本発明に係る積層型
電子部品の製造装置は製造効率の高いものとなる。

【００２５】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）本発明の第
１の実施の形態について図１及び図２を参照して説明す
る。図１はグリーンシートに対する導体の印刷・乾燥工
程を行う装置の概略上面図、図２は図１のＡＡ’線矢視
図、図３は保持テーブルの外観斜視図、図４はシート搬
送機の側面図である。

【００２６】この装置は、供給台１に予め積み重ねて収
容されている矩形のセラミックグリーンシート１０に対
して導電性ペーストを印刷・乾燥する工程を実施する。
グリーンシート１０は、搬送時の保護等のために同形の
ＰＥＴシート（図示省略）上に形成されている。なお、
必要に応じてＰＥＴシートは無くてもよい。また、グリ
ーンシート１０は、例えばドクターブレード法など従来
と同様の手法により製造可能なので、ここでは説明を省
略する。

【００２７】供給台１の近傍には、図１及び図２に示す
ように、グリーンシート１０を上面に吸着保持する２つ
の第１保持テーブル２０及び第２保持テーブル３０が配
置されている。この第１保持テーブル２０は、図３に示
すように、上面に形成された吸着面２２を有する保持部
２１と、保持部２１を支持するとともに保持部２１をＸ
方向・Ｙ方向・θ方向に移動させる駆動部２３と、基台
２４とを備えている。これにより、駆動部２３の駆動に
より、吸着面２２を平行に維持しつつ保持部２１を移動
可能となっている。

【００２８】第１保持テーブル２０の吸着面２２は、例
えばセラミック焼結体、更に具体的にはジルコニア焼結
金属体などの通気性を有する多孔質部材からなる。保持
部２１の側面にはエアポンプ（図示省略）と接続した吸
気ホース２５が接続されている。このエアポンプを駆動
することにより、保持部２１の内側に形成された気室に
負圧が作用し、吸着面２２にグリーンシート１０が吸着
保持される。

【００２９】第１保持テーブル２０の基台２４は、下部
四隅に設けられたレールガイド２６と、レールガイド２
６の間に設けられたナット２７を備えている。レールガ
イド２６には左右一対で互いに平行に敷設されたレール
３１が挿通している。また、ナット２７にはレール３１
と平行に敷設されたネジ３２が螺合している。ネジ３２
の一端には、アクチュエータ等の駆動装置３３が接続さ
れている。この駆動装置３３によりネジ３２を回転する
と、第１保持テーブル２０はレール３１に沿って移動す
る。

【００３０】第２保持テーブル３０は、第１保持テーブ
ル２０と同様の構成を有している。また、第２保持テー
ブル３０は第１保持テーブル２０と所定距離をおいてレ
ール３１及びネジ３２と同軸に接続している。これによ
り、前記駆動装置３３の駆動により、第１保持テーブル
２０と第２保持テーブル３０は所定間隔を維持しつつレ
ール３１に沿って移動する。

【００３１】図１に示すように、第２保持テーブル３０
が供給台１の脇（図中の移し替え位置１０１）に位置す
るときの第１保持テーブル２０の上方には第１印刷装置
４０が設けられている。一方、第１保持テーブル２０が
供給台１の脇（図中の移し替え位置１０１）に位置する
ときの第２保持テーブル３０の上方には第２印刷装置５
０が設けられている。各印刷装置４０，５０は、それぞ
れスクリーン，スキージ，導電性ペースト供給部等を備
えている。この印刷装置４０，５０により保持テーブル
２０，３０上のグリーンシート１０の表面に所定パター
ンの導電性ペーストを塗布・印刷できる。

【００３２】供給台１と移し替え位置１０１との延長線
上には、グリーンシート１０を搬送する搬送ベルト６０
が設置されている。搬送ベルト６０は、ベルト６１と駆
動ローラ６２とを備えており、駆動ローラ６２を連続的
又は間欠的に駆動することでベルト６１上に載置したグ
リーンシート１０を所定方向に搬送する。本実施の形態
では、図に示すように、レール３１と直交する方向に搬
送している。

【００３３】搬送ベルト６０の中央付近には、グリーン
シート１０に印刷された導電性ペーストを、搬送ベルト
６０による搬送途中に乾燥させる乾燥装置７０が設置さ
れている。乾燥装置７０は内蔵するヒータなどの加熱手
段（図示省略）によりベルト６１上を移動するグリーン
シートを加熱する。

【００３４】図２に示すように、供給台１から搬送ベル
ト６０の始端に亘る領域の上方には第１シート搬送機８
０が設けられている。第１シート搬送機８０は、供給台
１に積み重ねて収容しているグリーンシート１０を吸着
保持し、これを移し替え位置１０１に停止している第１
保持テーブル２０又は第２保持テーブル３０に供給す
る。また、第１シート搬送機８０は、第１保持テーブル
２０又は第２保持テーブル３０が移し替え位置１０１に
ある場合に、各保持テーブル２０又は３０に保持されて
いる印刷後のグリーンシート１０を吸着保持し、これを
搬送ベルト６０の搬送始点に搬送する。

【００３５】図４に示すように、第１シート搬送機８０
は、スライダ８１と、スライダ８１の下面に支柱８２ａ
を介して設けられたベース板８２と、下面に多数の吸着
孔８３ａが形成された吸着ヘッド８３と、吸着ヘッド８
３を上下移動させるためにベース板８２に設けられたシ
リンダ８４と、吸着ヘッド８３の上下移動を案内するた
めに設けられた２本のガイドロッド８５とを備えてい
る。スライダ８１の上面にはロッド８６にスライド可能
に嵌合したガイド８１ａが設けられている。シリンダ８
４のロッド８４ａは吸着ヘッド８３に連結されている。
ロッド８６の端部には、シート搬送機８０をロッド８６
の長手方向に移動させるための駆動モータ８７が設けら
れている。

【００３６】搬送ベルト６０の終端位置の近傍には、グ
リーンシート１０の保管場所である第１収容台２と第２
収容台３が設置されている。ここで、搬送ベルト６０の
終端位置・第１収容台２・第２収容台３は、ほぼ一直線
上に並んでいる。第１収容台２は、第１印刷装置４０で
印刷されたグリーンシート１０を積み重ねて収納する。
また、第２収容台３は、第２印刷装置５０で印刷された
グリーンシート１０を積み重ねて収納する。

【００３７】図２に示すように、搬送ベルト６０終端位
置から第２収容台３に亘る領域の上方には第２シート搬
送機９０が設けられている。第２シート搬送機９０は、
搬送ベルト６０により搬送されたグリーンシート１０を
吸着保持し、これを第１収容台２又は第２収容台３に搬
送する。第２シート搬送機９０の構成については、図４
を参照して前述した第１シート搬送機９０と同様であ
り、吸着ヘッド９３にグリーンシートを保持可能として
おり、また、第２シート搬送機９０は駆動モータ９７の
駆動によりロッド９６に沿って移動する。

【００３８】ここで、本実施の形態における製造対象で
ある積層電子部品について図５及び図６を参照して説明
する。本実施の形態では、積層電子部品の一例として積
層コンデンサを製造する。図５は積層コンデンサの一部
切り欠き斜視図、図６は積層体における積層構造を説明
する分解斜視図である。

【００３９】図５に示すように、積層コンデンサ２００
は、略直方体形状の誘電体セラミックからなり内部電極
２０２が埋設された積層体２０１と、該積層体２０１の
両端部に形成された外部電極２０３とを備えている。積
層体２０１は、図６に示すように、表面に矩形の内部電
極２０２が形成された誘電体セラミック層２０２を多数
積層した構造となっている。ここで、内部電極２０２
は、複数の誘電体セラミック層２０２において一方又は
他方の側の端部に交互に露出し、該端部に形成された外
部電極２０３と接続している。

【００４０】このような積層コンデンサ２００は、前述
したように、例えばスクリーン印刷装置などを用いて内
部電極２０２を形成する導電性ペーストを一枚のグリー
ンシートに対して一度に多数個分印刷する。ここで、ス
クリーン印刷装置では、２種類のスクリーンが用いられ
る。これは、図６に示したように、隣り合う誘電体セラ
ミック層２０２で異なるパターンで内部電極２０２を形
成する必要があるためである。

【００４１】この２種類のスクリーンについて図７及び
図８を参照して説明する。図７はスクリーン印刷で用い
る第１スクリーンの上面図、図８はスクリーン印刷で用
いる第２スクリーンの上面図である。なお、図７及び図
８ではスクリーンの半分を省略して記載してある。ま
た、図において、点線は印刷・積層後にグリーンシート
の積層体を切断する位置を示しており、点線により区切
られた区域を表すために紙面上下方向を行方向、紙面左
右方向を列方向と表す。

【００４２】第１スクリーン３０１は、図７に示すよう
に、スクリーン本体３０２とスクリーンを支持する枠体
３０３とを備えている。スクリーン本体３０２には、所
定個数（図では１２行×６列＝７２個）の積層コンデン
サ用のパターン３０４が形成されている。ここで、１行
におけるパターン３０４は、隣り合う行において列方向
に互いに１列分だけずれて配置されている。すなわち、
奇数行目のパターン３０４はそれぞれ同一パターンであ
り、偶数行目のパターン３０４もそれぞれ同一パターン
である。

【００４３】第２スクリーン３１１は、図８に示すよう
に、第１スクリーン３０１と同様に、スクリーン本体３
１２とスクリーンを支持する枠体３１３とを備えてい
る。スクリーン本体３１２には、所定個数（図では１２
行×６列＝７２個）の積層コンデンサ用のパターン３１
４が形成されている。ここで、第２スクリーン３１１
は、第１スクリーン３０１のパターンを行方向又は列方
向（図では行方向）に１行又は１列ずらして形成されて
いる。すなわち、第２スクリーン３１１の奇数行目のパ
ターン３１４は第１スクリーン３０１の偶数行目のパタ
ーン３０４と同一であり、第２スクリーン３１１の偶数
行目のパターン３１４は第１スクリーン３０１の奇数行
目のパターン３０４と同一である。

【００４４】このような第１スクリーン３０１を用いて
導体を印刷したグリーンシートと、第２スクリーン３１
１を用いて導体を印刷したグリーンシートとを交互に積
層し、このシート積層体を切断することにより、図６で
示したように、外部電極との接続部が積層体の端部に交
互に形成される。

【００４５】次に、本実施の形態に係るスクリーン印刷
及び乾燥の工程を図９乃至図１４を参照して説明する。
図９乃至図１４は図１及び図２に示した装置の動作説明
図である。

【００４６】まず、図９に示すように、第１シート搬送
機８０を用いて供給台１に積み重ねてあるグリーンシー
ト１０ａを移し替え位置１０１に停止している第１保持
テーブル２０に供給する。具体的には、第１シート搬送
機８０を供給台１の上方に移動させる。そして、シリン
ダ８４を駆動させることにより、吸着面がグリーンシー
ト１０ａ上面に接する位置又は近傍まで吸着ヘッド８３
を下降させる。そして、吸着面に負圧を作用させて吸着
ヘッド８３にグリーンシート１０ａを保持する。次い
で、吸着ヘッド８３を上昇させてから第１シート搬送機
８０を第１保持テーブル２０の上方まで移動させる。次
いで、吸着ヘッド８３を下降させる。次いで、吸着面に
おける負圧の作用を解除する。これにより、グリーンシ
ート１０ａが第１保持テーブル２０上に載置される。こ
こで、第１保持テーブル２０は吸着面２２に負圧を作用
させてグリーンシート１０ａの保持を確実にしている。

【００４７】次に、図１０に示すように、駆動装置３３
を駆動させて、第１保持テーブル２０を移し替え位置１
０１から第１印刷装置４０における印刷位置まで移動さ
せる。このとき、駆動装置３３が駆動制御するネジ３２
には第１保持テーブル２０と第２保持テーブル３０の双
方が同軸に結合しているので、第２保持テーブル３０は
第１保持テーブル２０と連動して第２印刷装置５０にお
ける印刷位置から移し替え位置１０１まで移動する。な
お、この過程において第２保持テーブル３０に保持され
ているグリーンシート１０ｂは第２印刷装置５０による
印刷処理が終了したものである。

【００４８】次に、図１１に示すように、第１印刷装置
４０において、第１保持テーブル２０に保持されている
グリーンシート１０ａに対して所定パターンで導電性ペ
ーストを印刷する。具体的には、まず、位置合わせ用の
ＣＣＤカメラ４１で撮像した画像情報に基づき、第１保
持テーブル４０の駆動部２３を駆動させて保持部２１を
印刷面に対して平行移動させることによりグリーンシー
ト１０ａの位置調整を行う。そして、前述した第１スク
リーン３０１とスキージ４２を用いて、グリーンシート
１０ａに導電性ペーストを塗布・印刷する。

【００４９】次に、図１２に示すように、駆動装置３３
を駆動させて、第１保持テーブル２０を第１印刷装置４
０における印刷位置から移し替え位置１０１まで移動さ
せる。このとき、駆動装置３３が駆動制御するネジ３２
には第１保持テーブル２０と第２保持テーブル３０の双
方が同軸に結合しているので、第２保持テーブル３０は
第１保持テーブル２０と連動して移し替え位置１０１か
ら第２印刷装置５０における印刷位置まで移動する。な
お、この過程において第２保持テーブル３０に保持され
ているグリーンシート１０ｂは、第１シート搬送機８０
により供給台１から供給されたグリーンシートである。
この第２保持テーブル３０へのグリーンシートの供給
は、第１印刷装置４０における印刷処理中に実施され
る。

【００５０】次に、図１３に示すように、第１シート搬
送機８０を用いて、第１保持テーブル２０に保持されて
いるグリーンシート１０ａを搬送ベルト６０に移し替え
る。搬送ベルト６０に載置されたグリーンシート１０ａ
は、該搬送ベルト６０による搬送途中において乾燥装置
７０を通過する。これによりグリーンシート１０ａに印
刷された導電性ペーストが乾燥する。

【００５１】以上の工程により、グリーンシート１０ａ
は、第１保持テーブル２０に保持され、第１印刷装置４
０により印刷処理が実施され、搬送ベルト６０に供給さ
れる。ここで、第１印刷装置４０による印刷処理時に
は、第２保持テーブル３０が移し替え位置１０１に停止
している。そこで、次のグリーンシート１０ｂを第１シ
ート搬送機８０を用いて第２保持テーブル３０に供給す
る。そして、第２保持テーブル３０に保持されたグリー
ンシート１０ｂは第２印刷装置５０において印刷処理が
行われる。この第２印刷装置５０では前述した第２スク
リーン３１１が用いられる。この印刷処理の実施中に、
第１保持テーブル２０に保持されているグリーンシート
１０ａは搬送ベルト６０に移送され、さらに次のグリー
ンシート１０ａが第１保持テーブル２０に供給される。
第２の印刷装置５０において印刷処理されたグリーンシ
ート１０ｂは、搬送ベルト６０に移送されたグリーンシ
ート１０ａに続いて搬送ベルト６０に移送される。

【００５２】このように、第１シート搬送機８０により
順次供給されるグリーンシートは、第１保持テーブル２
０又は第２保持テーブル３０に対して交互に供給され
る。各保持テーブル２０又は３０に供給されたグリーン
シート１０は、それぞれ対応する印刷装置４０又は５０
において、互いの異なるスクリーン３０１又は３１１を
用いて導電性ペーストが印刷される。そして、搬送ベル
ト６０には、各印刷装置４０又は５０により印刷された
グリーンシート１０ａ又は１０ｂが交互に供給される。

【００５３】一方、搬送ベルト６０により終端位置まで
搬送されたグリーンシート１０ａ又は１０ｂは、図１４
に示すように、第２シート搬送機９０を用いて第１収容
台２又は第２収容台３に交互に搬送される。前述したよ
うに、搬送ベルト６０には、印刷装置４０又は５０で印
刷されたグリーンシート１０ａ又は１０ｂが交互に供給
される。したがって、第１収容台２には第１印刷装置４
０により印刷されたグリーンシート１０ａが収納され、
第２収容台３には第２印刷装置５０により印刷されたグ
リーンシート１０ｂが収納される。なお、第２シート搬
送機９０による具体的な搬送動作については第１シート
搬送機８０と同様なのでここでは説明は省略する。

【００５４】以上詳述したように、本実施の形態によれ
ば、供給台１に積み重ねてあるグリーンシート１０は、
第１保持テーブル２０又は第２保持テーブル３０に交互
に供給され、それぞれ対応する印刷装置４０又は５０で
印刷処理が実施される。そして、各印刷装置４０又は５
０で印刷処理が施されたグリーンシート１０は、一つの
搬送ベルト６０による搬送中に乾燥装置７０で乾燥され
る。そして、印刷・乾燥後のグリーンシート１０は、該
グリーンシート１０に対する印刷処理が行われた印刷装
置４０又は５０に対応する収容台２又は３に収容され
る。このように、所定形状のグリーンシート１０に対す
る導体の印刷・乾燥・収納処理が順次行われるので、積
層コンデンサ等の積層型電子部品の製造効率が向上す
る。

【００５５】特に、本実施の形態では、それぞれ異なる
パターンのスクリーンを有する２つの印刷装置４０又は
５０を用いるので、異なる導体パターンが形成されたグ
リーンシート１０ａ又は１０ｂを同時期に製造すること
ができる。これは、積層型電子部品の組成について均質
化を向上できるという点で有利である。また、異なる導
体パターンが形成されたグリーンシート１０ａ又は１０
ｂは、それぞれ異なる収容台２又は３に収容されるの
で、後工程においてグリーンシートの選別を行う必要が
なく、製造効率が更に向上する。

【００５６】更に、本実施の形態では、各印刷装置４０
又は５０に対応して、それぞれ保持テーブル２０又は３
０を備え、各保持テーブル２０又は３０に対して交互に
グリーンシート１０を供給しているので、各印刷装置４
０又は５０による印刷処理と保持テーブル２０又は３０
に対するグリーンシート１０の供給又は取り出しの処理
とを並列して同時に行うことができる。これにより、製
造効率が更に向上したものとなる。

【００５７】なお、本実施の形態では、グリーンシート
１０を第１保持テーブル２０又は第２保持テーブル３０
に対して交互に供給していたが、本発明はこれに限定さ
れるものではない。すなわち、任意のルールに基づき供
給先の保持テーブルを決定すればよい。なお、この場合
には、第２シート搬送機９０によるグリーンシート１０
の収容工程も、供給時のルールに対応させるとよい。

【００５８】また、本実施の形態では、保持テーブル及
びこれに対応する印刷装置をそれぞれ２つ用いたが、本
発明はこれに限定されるものではない。すなわち、製造
対象となる積層型電子部品に応じて３台以上の印刷装置
を用いてもよい。

【００５９】（第２の実施の形態）本発明の第２の実施
の形態について図１５を参照して説明する。図１５はグ
リーンシートに対する導体の印刷・乾燥工程を行う装置
の概略上面図である。図において、第１の実施の形態と
同様の構成について同一の符号を付した。

【００６０】この装置は、供給台１に予め積み重ねて収
容されている矩形のセラミックグリーンシート１０に対
して導電性ペーストを印刷・乾燥する工程を実施する。
供給台１の近傍には、図１５に示すように、グリーンシ
ート１０を上面に吸着保持する保持テーブル４００が配
置されている。この保持テーブル４００は、駆動装置３
３の駆動によりネジ３２を回転させることによりレール
３１に沿って移動可能である。この保持テーブル４００
は、図中の移し替え位置１０１から印刷装置４１０にお
ける印刷位置に亘って移動可能に設けられている。な
お、保持テーブル４００の具体的な構成については、第
１の実施の形態に係る第１保持テーブル２０及び第２保
持テーブル３０と同様である。

【００６１】供給台１と移し替え位置１０１との延長線
上には、グリーンシート１０を搬送する搬送ベルト６０
が設置されている。搬送ベルト６０は、ベルトと駆動ロ
ーラ（共に図示省略）とを備えており、駆動ローラを連
続的又は間欠的に駆動することでベルト上に載置したグ
リーンシート１０を所定方向に搬送する。本実施の形態
では、図に示すように、レール３１と直交する方向に搬
送している。

【００６２】搬送ベルト６０の中央付近には、搬送途中
のグリーンシート１０に印刷された導電性ペーストを、
搬送ベルト６０による搬送途中に乾燥させる乾燥装置７
０が設置されている。乾燥装置７０は内蔵するヒータな
どの加熱手段（図示省略）によりベルト６１上を移動す
るグリーンシートを加熱する。

【００６３】供給台１から搬送ベルト６０の始端に亘る
領域の上方には第１シート搬送機（図示省略）が設けら
れている。第１シート搬送機は、供給台１に積み重ねて
収容しているグリーンシート１０を吸着保持し、これを
移し替え位置１０１にある保持テーブル４００に供給す
る。また、第１シート搬送機８０は、保持テーブル４０
０が移し替え位置１０１にある場合に、該保持テーブル
４００に保持されている印刷後のグリーンシート１０を
吸着保持し、これを搬送ベルト６０の搬送始点に搬送す
る。なお、第１シート搬送機の構成については、第１の
実施の形態と同様なので説明を省略する。

【００６４】搬送ベルト６０の終端位置の近傍には、グ
リーンシート１０の保管場所である第１収容台２と第２
収容台３が設置されている。ここで、搬送ベルト６０の
終端位置・第１収容台２・第２収容台３は、ほぼ一直線
上に並んでいる。第１収容台２及び第２収容台３は、そ
れぞれ印刷装置４１０で印刷されたグリーンシート１０
を積み重ねて収納する。

【００６５】搬送ベルト６０終端位置から第２収容台３
に亘る領域の上方には第２シート搬送機（図示省略）が
設けられている。第２シート搬送機は、搬送ベルト６０
により搬送されたグリーンシート１０を吸着保持し、こ
れを第１収容台２又は第２収容台３に搬送する。第２シ
ート搬送機９０の構成については、第１の実施の形態と
同様なので説明を省略する。

【００６６】次に、本実施の形態に係るスクリーン印刷
及び乾燥の工程を図１６を参照して説明する。図１６は
グリーンシートへの導電性ペーストの印刷パターンを説
明する図である。

【００６７】まず、第１シート搬送機を用いて、移し替
え位置１０１に停止している保持テーブル４００にグリ
ーンシート１０を供給する。次に、保持テーブル４００
を印刷装置４１０の印刷位置まで移動させる。

【００６８】次いで、印刷装置４１０を用いて保持テー
ブル４００に保持されているグリーンシート１０に対し
て導電性ペーストの印刷を実施する。このとき、印刷を
実施する毎に保持テーブル４００の保持部（図示省略）
を印刷面に対して平行な方向に移動させる。これによ
り、グリーンシート１０に印刷された導電性ペーストの
パターンが印刷毎に異なったものとなる。すなわち、グ
リーンシート１０に対して複数の位置で印刷を実施す
る。本実施の形態では、前述した第１スクリーン３０１
を用いて、それぞれ図１６（ａ）及び（ｂ）に示すよう
な導電性ペースト１１が形成されるように、順次供給さ
れるグリーンシート１０に対して保持テーブル４００の
保持部を印刷毎に交互に移動させる。図１６（ｂ）で
は、図１６（ａ）における印刷位置に対して、紙面上方
向に、一つの単位部品における幅と等しい距離だけ保持
テーブル４００を移動させて印刷している。これによ
り、図１６に示すように、同図（ａ）と（ｂ）を積層
し、同図の点線に沿って単位部品形状に切断すると、単
位部品の積層体は異なるパターンの内部電極が積層され
た構造となる。

【００６９】次に、駆動装置３３を駆動させて、保持テ
ーブル４００を印刷装置４１０における印刷位置から移
し替え位置１０１まで移動させる。次いで、第１シート
搬送機を用いて、保持テーブル４００に保持されている
印刷済みのグリーンシートを搬送テーブル６０に移し替
える。搬送テーブル６０に載置されたグリーンシート１
０は、搬送途中において乾燥装置７０を通過する。これ
によりグリーンシート１０に印刷された導電性ペースト
が乾燥される。

【００７０】次に、搬送ベルト６０により終端位置まで
搬送されたグリーンシート１０は、第２シート搬送機を
用いて第１収容台２又は第２収容台３に交互に搬送され
る。前述したように、搬送ベルト６０には、印刷装置４
１０において２つの印刷位置で印刷されたグリーンシー
ト１０が交互に供給される。したがって、第１収容台２
には図１６（ａ）に示すグリーンシート１０が、第２収
容台３には同図（ｂ）に示すグリーンシート１０がそれ
ぞれ収納される。

【００７１】以上詳述したように、本実施の形態によれ
ば、供給台１に積み重ねてあるグリーンシート１０は、
保持テーブル４００に供給され、印刷装置４１０で印刷
毎に印刷位置を交互に変更して印刷される。そして、印
刷装置４１０で印刷処理が施されたグリーンシート１０
は、搬送ベルト６０による搬送中に乾燥装置７０で乾燥
される。そして、グリーンシート１０は、該グリーンシ
ート１０に対する印刷処理が行われた印刷位置に対応す
る収容台２又は３に収容される。このように、所定形状
のグリーンシート１０に対する導体の印刷・乾燥・収納
処理が順次行われるので、積層コンデンサ等の積層型電
子部品の製造効率が向上する。

【００７２】特に、本実施の形態では、順次供給される
グリーンシートに対して一つのスクリーンを用いて複数
のパターンの導電性ペーストを印刷できるので、異なる
スクリーンを用いることによる生じる印刷精度のばらつ
きを軽減することができる。これにより積層型電子部品
の製造効率の向上及び高精度化を図ることができる。ま
た、グリーンシートは、印刷された導電性ペーストのパ
ターンにそれぞれ対応した収容台２又は３に収容される
ので、後工程においてグリーンシートの選別を行う必要
がなく、製造効率が更に向上する。

【００７３】なお、本実施の形態では、印刷装置４１０
の印刷時に、保持テーブル４００の保持部を複数の位置
に印刷毎にずらしてから印刷しているが、本発明はこれ
に限定されるものではない。印刷装置とグリーンシート
との印刷面を相対的に移動可能であればよく、保持テー
ブル４００を固定したまま印刷装置４１０を移動させる
ようにしてもよい。さらに、本実施の形態では、２つの
印刷位置において印刷を行うことによりグリーンシート
１０に対して図１６（ａ）（ｂ）に示すようなパターン
で導電性ペースト１１を塗布したが、３つ以上の印刷位
置において印刷するようにしてもよい。

【００７４】さらに、本実施の形態では、保持テーブル
４００をずらす方向として、グリーンシート１０に形成
される導体パターンに対して、積層型電子部品の幅方向
を採用したが、本発明はこれに限定するものではない。
積層型電子部品の長さ方向と平行となるようにグリーン
シート１０を相対的にずらしてもよい。

【００７５】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
所定形状のグリーンシートに対して、順次導体の印刷及
び乾燥、収納が行われるので、積層型電子部品の製造効
率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態に係るグリーンシートに対す
る導体の印刷・乾燥工程を行う装置の概略上面図

【図２】図１のＡＡ’線矢視図

【図３】保持テーブルの外観斜視図

【図４】シート搬送機の側面図

【図５】積層コンデンサの一部切り欠き斜視図

【図６】積層体における積層構造を説明する分解斜視図

【図７】スクリーン印刷で用いる第１スクリーンの上面
図

【図８】スクリーン印刷で用いる第２スクリーンの上面
図

【図９】図１及び図２に示した装置の動作説明図

【図１０】図１及び図２に示した装置の動作説明図

【図１１】図１及び図２に示した装置の動作説明図

【図１２】図１及び図２に示した装置の動作説明図

【図１３】図１及び図２に示した装置の動作説明図

【図１４】図１及び図２に示した装置の動作説明図

【図１５】第２の実施の形態に係るグリーンシートに対
する導体の印刷・乾燥工程を行う装置の概略上面図

【図１６】グリーンシートへの導電性ペーストの印刷パ
ターンを説明する図

【符号の説明】

１…供給台、２…第１収容台、３…第２収容台、１０…
グリーンシート、２０…第１保持テーブル、３０…第２
保持テーブル、４０…第１印刷装置、５０…第２印刷装
置、６０…搬送ベルト、７０…乾燥装置、８０…第１シ
ート搬送機、９０…第２シート搬送機、１０１…移し替
え位置、３０１…第１スクリーン、３１１…第２スクリ
ーン、４００…保持テーブル、４１０…印刷装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ４１Ｆ 15/26 Ｂ４１Ｆ 15/26 Ａ Ｈ０１Ｇ 4/30 ３１１ Ｈ０１Ｇ 4/30 ３１１Ｄ 13/00 ３３１ 13/00 ３３１Ａ ３３１Ｅ ３３１Ｃ Ｈ０５Ｋ 3/46 Ｈ０５Ｋ 3/46 Ｈ Ｙ (72)発明者 小泉 勝男 東京都台東区上野６丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FA23 FA25 FA27 FA30 FB26 FB27 FC08 FD01 FD52 FF22 4G055 AA08 AC01 BA31 5E001 AB03 AF06 AH01 AH05 AH06 AH08 AJ01 AJ02 5E082 AA01 AB03 BC38 BC40 EE04 EE35 FG06 FG26 GG10 GG28 HH43 JJ03 JJ23 LL01 LL02 LL03 MM11 MM13 MM21 MM23 MM24 5E346 AA02 AA12 AA15 AA22 AA32 AA51 CC16 DD02 DD13 DD34 EE24 EE29 EE30 GG04 GG06 GG08 GG09 HH33

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定形状のグリーンシートの表面に所定
   パターンの導体を印刷する印刷工程と、グリーンシート
   に印刷された導体を乾燥させる乾燥工程とを含む積層型
   電子部品の製造方法において、 吸着面にグリーンシートを吸着保持する保持テーブルに
   対してグリーンシートを供給する工程と、 グリーンシートが保持された保持テーブルを印刷位置ま
   で搬送する工程と、 搬送された保持テーブルに保持されているグリーンシー
   トの表面に所定パターンの導体を印刷する前記印刷工程
   と、 導体が印刷されたグリーンシートを保持テーブルから取
   り出し、取り出したグリーンシートを搬送手段に供給す
   る工程と、 搬送手段による搬送途中においてグリーンシートに印刷
   された導体を乾燥させる前記乾燥工程と、 グリーンシートを搬送手段から取り出し、取り出したグ
   リーンシートを所定の保管場所に搬送する工程とを備え
   たことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
2. 【請求項２】 前記印刷工程で用いる印刷手段をそれぞ
   れ印刷位置が異なる場所に複数配置し、 連続して供給されるグリーンシートに対して、所定のル
   ールに基づきグリーンシートの供給毎に前記複数の印刷
   手段から一の印刷手段を選択し、グリーンシートが保持
   された保持テーブルを選択された印刷手段における印刷
   位置に搬送することを特徴とする請求項１記載の積層型
   電子部品の製造方法。
3. 【請求項３】 前記印刷工程で用いる印刷手段をそれぞ
   れ印刷位置が異なる場所に複数配置するとともに、各印
   刷手段に対応して保持テーブルを複数設け、 連続して供給されるグリーンシートに対して、所定のル
   ールに基づきグリーンシートの供給毎に前記複数の印刷
   手段から一の印刷手段を選択し、選択された印刷手段に
   対応する保持テーブルにグリーンシートを供給し、グリ
   ーンシートが保持された保持テーブルを選択された印刷
   手段における印刷位置に搬送することを特徴とする請求
   項１記載の積層型電子部品の製造方法。
4. 【請求項４】 グリーンシートの保管場所を複数の印刷
   手段に対応して複数配置し、 前記グリーンシートの保管場所への搬送は、搬送するグ
   リーンシートの印刷が行われた印刷手段に対応した保管
   場所に対して行うことを特徴とする請求項２又は３何れ
   か１項記載の積層型電子部品の製造方法。
5. 【請求項５】 前記印刷工程では、所定のルールに基づ
   いて印刷毎にグリーンシートに対する印刷位置を印刷面
   と平行な方向に相対的にずらしてから印刷することを特
   徴とする請求項１乃至４何れか１項記載の積層型電子部
   品の製造方法。
6. 【請求項６】 グリーンシートの保管場所を前記印刷工
   程における印刷位置に対応して複数配置し、 前記グリーンシートの保管場所への搬送は、搬送するグ
   リーンシートの印刷が行われた印刷位置に対応した保管
   場所に対して行うことを特徴とする請求項５記載の積層
   型電子部品の製造方法。
7. 【請求項７】 所定形状のグリーンシートの表面に所定
   パターンの導体を印刷する印刷手段と、グリーンシート
   に印刷された導体を乾燥させる乾燥手段とを備えた積層
   型電子部品の製造装置において、 吸着面にグリーンシートを吸着保持する保持テーブル
   と、 保持テーブルにグリーンシートを供給するグリーンシー
   ト供給手段と、 グリーンシートが保持された保持テーブルをグリーンシ
   ートの供給位置から前記印刷手段による印刷位置まで搬
   送する保持テーブル搬送手段と、 グリーンシートの搬送途中においてグリーンシートに印
   刷された導体を前記乾燥手段を用いてを乾燥可能なグリ
   ーンシート搬送手段と、 導体が印刷されたグリーンシートを保持テーブルからグ
   リーンシート搬送手段に移動させるグリーンシート移動
   手段と、 乾燥処理されたグリーンシートをシート搬送手段から取
   り出し、取り出したグリーンシートを所定の保管場所に
   搬送するグリーンシート取り出し手段とを備えたことを
   特徴とする積層型電子部品の製造装置。
8. 【請求項８】 前記印刷手段をそれぞれ印刷位置が異な
   る場所に複数備えるとともに、 前記保持テーブル搬送手段は、前記グリーンシート供給
   手段により連続して供給されるグリーンシートに対し
   て、所定のルールに基づきグリーンシートの供給毎に前
   記複数の印刷手段から一の印刷手段を選択し、グリーン
   シートが保持された保持テーブルを選択された印刷手段
   における印刷位置に搬送することを特徴とする請求項７
   記載の積層型電子部品の製造装置。
9. 【請求項９】 前記印刷手段をそれぞれ印刷位置が異な
   る場所に複数備えるとともに前記保持テーブルを各印刷
   手段に対応して複数備え、 前記保持テーブル搬送手段は、前記グリーンシート供給
   手段連続して供給されるグリーンシートに対して、所定
   のルールに基づきグリーンシートの供給毎に前記複数の
   印刷手段から一の印刷手段を選択し、選択された印刷手
   段に対応する保持テーブルにグリーンシートを供給し、
   グリーンシートが保持された保持テーブルを選択された
   印刷手段における印刷位置に搬送することを特徴とする
   請求項７記載の積層型電子部品の製造装置。
10. 【請求項１０】 グリーンシートの保管場所を複数の印
    刷手段に対応して複数配置し、 前記グリーンシート取り出し手段は、グリーンシートの
    印刷が行われた印刷手段に対応した保管場所に該グリー
    ンシートを搬送することを特徴とする請求項８又は９何
    れか１項記載の積層型電子部品の製造装置。
11. 【請求項１１】 前記印刷手段は、グリーンシートに対
    する印刷位置を印刷面と平行な方向に相対的にずらす移
    動手段を備え、所定のルールに基づいて印刷毎に前記移
    動手段により印刷位置をずらしてから印刷することを特
    徴とする請求項７乃至１０何れか１項記載の積層型電子
    部品の製造装置。
12. 【請求項１２】 グリーンシートの保管場所を前記印刷
    手段における印刷位置に対応して複数配置し、 前記グリーンシート取り出し手段は、グリーンシートの
    印刷が行われた印刷位置に対応した保管場所に該グリー
    ンシートを搬送することを特徴とする請求項１１記載の
    積層型電子部品の製造装置。