KR20040071593A - 3차원형상 측정장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 3차원형상을 측정하는 장치에 있어서,베이스부재의 상측에 설치된 XYZ축이송수단과;상기 베이스부재에 설치되어 측정대상물을 측정위치로 이송시킨 후 지지함과 아울러 일측에 소정의 기준면이 설정된 워크스테이지와;상기 XYZ축이송수단에 의해 X축, Y축 및 Z축으로 이송되어 상기 워크스테이지에 지지되어 고정된 측정대상물의 일측에 격자이미지를 N번 주사하여 측정대상물에 의해 변형된 격자이미지를 N번 획득하고 교대로 측정대상물의 타측에 N번 주사하여 측정대상물에 의해 변형된 격자이미지를 N번 획득하는 이미지획득수단과;상기 이미지획득수단의 일측에 설치되어 소정의 파장을 갖는 광을 발생하여 입사하는 발광수단과; 및상기 워크스테이지와 상기 XYZ축이송수단을 제어하여 상기 이미지획득수단의 일측에 설치된 상기 발광수단에서 발생된 광이 상기 워크스테이지의 일측에 설정된 기준면으로 입사시킨 후 반사되는 광이미지를 상기 이미지획득수단을 통해 수신받아 수직거리를 측정하여 측정대상물과 이미지획득수단의 초점거리를 일정하게 유지시킴과 아울러 상기 이미지획득수단에서 획득된 변형된 격자이미지를 각각 수신받아 측정대상물의 3차원형상을 산출하는 제어부로 구비됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 XYZ축이송수단은 상기 이미지획득수단을 X, Y 및 Z축으로 각각 이송시키기 위해 리니어 모터나 볼스크류 중 어느 하나가 적용됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 베이스부재에 고정되도록 설치됨과 아울러 일측에 소정의 기준면이 설정되는 제1가이드와;상기 제1가이드를 기준으로 측정대상물의 크기에 따라 이송되도록 설치되는 제2가이드와; 및상기 제1가이드와 상기 제2가이드와 각각 직교되도록 설치되어 제1가이드를 기준으로 제2가이드를 이송시키는 가이드이송장치로 구성됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 가이드이송장치는 볼스크류가 적용됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 이미지획득수단은 광을 발산하는 광원과, 상기 광원에서 발산하는 광을 입사받도록 광원의 하측에 설치되어 격자이송장치에 의해 이송되는 회절격자를 통해 격자이미지를 생성시켜 회절격자의 하측에 설치된 투영광학계를 통해 투과시키는 투영부와;상기 투영부의 하부에 설치되어 투영부의 투영광학계를 통해 입사되는 격자이미지를 미러이송장치에 의해 이송되는 제1 및 제2미러를 통해 분배하여 제1 및 제2미러의 좌/우측에 각각 수평이 되도록 설치된 제3미러 및 제4미러와 제1필터 및 제2필터를 통해 격자이미지를 분배하는 분배기와; 및상기 분배기의 하부에 설치되어 상기 분배기의 제1필터와 제2필터를 통해 투과되어 측정대상물에 입사된 후 반사되는 변형된 격자이미지를 결상미러를 통해 수평방향으로 반사시켜 결상렌즈와 결상소자를 통해 변형된 격자이미지를 카메라로 획득하는 결상부로 구비됨을 특징으로 하는 3차원 형상측정장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 투영부의 회절격자는 액정회절격자가 적용될 수 있음을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 투영부의 격자이송장치는 PZT엑추에이터가 적용됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 분배기의 제1 및 제2미러는 경사진 미러면의 중심선이 서로 교차되도록 접합시켜 형성됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 분배기의 제1 및 제2미러는 삼각거울이 적용됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 미러이송장치는 에어실린더, 리니어모터, 및 볼스크류 중 어느 하나가 적용됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 분배기의 제1 및 제2미러는 회전거울이 적용됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 회전거울을 소정의 각도로 회전시키기 위해 회전장치가 구비됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 12 항에 있어서,상기 회전장치는 갈바노 미러 미터가 적용됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 발광수단은 레이저 포인터가 사용됨을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
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