KR100956547B1 - 3차원형상 측정장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 조명원 및 상기 조명원의 일측에 설치되어 상기 조명원에서 조사되는 조명을 격자무늬조명으로 변환시키며 X-Y축 평면에서 Y축 방향으로 경사지게 설치된 격자소자를 포함하는 투영부,상기 투영부의 하측에 설치되어 검사대상물을 이송시키는 이송테이블,상기 투영부와 상기 이송테이블 사이에 설치되어 검사대상물에서 반사되는 격자무늬 이미지를 분리하여 통과시키는 빔 분리부,상기 빔 분리부의 하측에 서로 원주방향으로 이격되도록 설치되어 검사대상물에서 반사되는 격자무늬 이미지가 조사되면 이를 반사시키는 다수의 반사거울들, 및상기 빔 분리부와 상기 반사거울들의 일측에 각각 설치되어 상기 빔 분리부에서 통과되는 격자무늬 이미지와 상기 반사거울들에서 반사되는 격자무늬 이미지를 동시에 촬영하는 다수의 결상부들을 포함하는 3차원형상 측정장치.
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- 조명원 및 상기 조명원의 일측에 설치되어 상기 조명원에서 조사되는 조명을 격자무늬조명으로 변환시키는 격자소자를 포함하는 투영부,상기 투영부의 일측에 설치되어 검사대상물을 이송시키는 이송테이블,상기 이송테이블의 상측에 설치되어 상기 검사대상물로 조명을 조사하는 원형램프부,상기 투명부에서 조사된 격자무늬조명이 상기 검사대상물에 의해 여러 방향으로 반사되는 격자무늬 이미지를 동시에 촬영하고, 상기 원형램프부에서 상기 검사대상물로 조사된 조명이 상기 검사대상물에 의해 반사되는 조명 이미지를 촬영하기 위하여 다수의 방향으로 배치된 다수의 결상부들, 및상기 결상부들에서 촬영된 상기 격자무늬 이미지와 상기 조명 이미지를 수신받아 상기 검사대상물의 3차원형상을 산출하는 제어부를 포함하는 3차원형상 측정장치.
- 제5항에 있어서, 상기 원형램프부는관통구를 갖는 원형 링부재, 및상기 원형 링부재의 하측에 설치되어 조명을 발생시키는 발광소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 이송테이블에 의해 검사대상물을 측정위치로 이송시키는 단계,상기 검사대상물이 측정위치로 이송되면 격자이송기구에 의해 격자소자를 이송시키는 단계,상기 격자소자가 이송되면 투영부의 조명원을 온시켜 격자무늬조명을 상기 검사대상물로 조사하는 단계,상기 검사대상물로 격자무늬조명이 조사되면 상기 검사대상물에서 반사되는 격자무늬 이미지를 다수의 결상부들에서 동시에 촬영하는 단계,상기 격자소자가 N+1 번째 피치이송인지 여부를 확인하는 단계,원형램프부를 온시킨 후 상기 검사대상물에서 반사되는 조명 이미지를 상기 결상부들 중 적어도 하나 이상에서 촬영하는 단계,상기 검사대상물을 상기 결상부들이 촬영하면 상기 검사대상물의 측정이 완료되었는지 여부를 확인하는 단계, 및상기 검사대상물의 측정이 완료되면 제어부는 상기 결상부들에서 촬영된 상기 격자무늬 이미지와 상기 조명 이미지를 이용하여 상기 검사대상물의 3차원형상을 산출하는 단계를 포함하는 3차원형상 측정방법.
- 삭제
- 제7항에 있어서, 상기 원형램프부를 온시킨 후 상기 검사대상물을 상기 다수의 결상부들로 촬영하는 단계는,상기 격자소자가 N+1 번째 피치 이송이면 상기 원형램프부를 온시키는 단계, 및상기 원형램프부가 온되면 상기 다수의 결상부들에서 각각 검사대상물을 촬영하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정방법.
- 삭제
- 제5항에 있어서,상기 다수의 결상부들은 여러 방향으로 반사되는 상기 조명 이미지를 동시에 촬영하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 조명원과 상기 조명원의 일측에 설치되어 상기 조명원에서 조사되는 조명을 격자무늬조명으로 변환시키는 격자소자를 포함하는 투영부,상기 투영부의 일측에 설치되어 검사대상물을 이송하는 이송테이블,상기 검사대상물에 의해 여러 방향으로 반사되는 격자무늬 이미지를 촬영하기 위해 다수의 방향으로 배치된 다수의 결상부들을 포함하며,상기 다수의 결상부들은 상기 격자무늬 이미지를 동시에 촬영하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제12항에 있어서,상기 격자소자는 X-Y축 평명에서 Y축 방향을 기준으로 경사지게 설치된 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제12항에 있어서,상기 투영부와 상기 이송테이블 사이에 설치되어 상기 검사대상물에서 반사되는 상기 격자무늬 이미지를 분리하여 통과시키는 빔 분리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
- 제12항에 있어서,상기 이송테이블 상측에 서로 이격되도록 설치되어 상기 검사대상물에 의해 반사되는 상기 격자무늬 이미지를 상기 결상부들로 반사시키는 다수의 반사거울들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
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