JPH0743115A - 距離測定方法および距離測定装置 - Google Patents

距離測定方法および距離測定装置

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JPH0743115A
JPH0743115A JP5183635A JP18363593A JPH0743115A JP H0743115 A JPH0743115 A JP H0743115A JP 5183635 A JP5183635 A JP 5183635A JP 18363593 A JP18363593 A JP 18363593A JP H0743115 A JPH0743115 A JP H0743115A
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distance
light
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Atsushi Yokoyama
敦 横山
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 対象物の距離とともに、その濃淡値または色
の情報を得るようにしたものである。 【構成】 測定対象物体4からの反射光をミラー8によ
って赤外光とそれを含まない光とに分離する。赤外光は
距離画像撮像素子62上に測定対象物体の像を結像し、
距離画像処理部5によって処理された情報と、スキャン
ニングミラー3の位置から測定対象物体4までの距離が
求められる。赤外光以外の光は濃淡画像撮像素子61上
に結像し、それによって濃淡値が得られる。また、ミラ
ー8の位置を若干ずらせ、ずらす前の像と、ずらした後
の像を重ね合わせることによって解像度を向上した像が
得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、3次元物体の形状測定
に用いて好適な距離測定方法および距離測定装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】測定対象物体の表面の三次元座標位置測
定、すなわち三次元形状を計測するために、スリット光
を走査しながらリアルタイムに計測対象物体までの距離
を求めるものが、例えば特開昭62−228106号公
報に開示されている。これは、スリット光を走査して測
定対象物体からの反射スリット光を、非走査型撮像素子
等の距離画像撮像素子を用いてリアルタイムで検出し、
空間に座標を一意的に設定するものである。
【0003】図3は、このような装置の構成例を示し、
レーザ源等からなる光源1により照射された光は、光学
系2によりスリット化され、このスリット光は、スキャ
ンニングミラー3を回転させることにより測定対象物体
4上で走査される。
【0004】測定対象物体4から反射された光は、光学
系7によって、距離画像撮像素子6上に結像される。測
定対象物体4からの反射スリット光が距離画像撮像素子
6内で二次元に配列された各セル6Cを横切るタイミン
グが、距離画像処理部5の微分回路等を用いて求めら
れ、そのときのスキャンニングミラー3の回転位置が求
められる。このスキャンニングミラー3の回転位置関係
から、三角測量の原理で距離画像撮像素子6の各セル6
C毎に測定対象物体4までの距離が測定される。すなわ
ち、この場合に得られる距離画像の解像度は、距離画像
撮像素子6に配列されている各セル6Cの数のみで決定
される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらロボット
によるハンドリング作業、各種検査作業等において、測
定対象物体の三次元位置座標の他に、それに対応する濃
淡値を必要とする場合がある。すなわち、距離画像では
距離画像撮像素子6の各セル6Cに対応する測定対象物
体4の三次元座標位置が得られるが、この三次元位置に
おける濃淡値が必要になる場合が多々ある。
【0006】しかし、従来の距離測定装置においては、
距離画像撮像素子の各セルに対応する三次元座標位置デ
ータしか得られず、この三次元位置に対応する測定対象
物体表面の明るさ、すなわち濃淡画像は得られなかっ
た。
【0007】この問題を解決するものとして、従来の一
般的な測定対象物体の表面の明るさを、CCDカメラ等
の走査型の画像入力装置を用いて画像信号の形で測定す
ることが考えられる。
【0008】図4は、異なる位置から距離画像撮像素子
を含む距離画像入力装置6Dおよび、CCDカメラ等の
濃淡画像入力装置6Tを用いて測定対象物体4の三次元
座標位置と、その明るさまたは色とを各々測定する態様
を示す。しかしながら、濃淡画像入力装置6Tによって
測定された各明るさ、または色が、距離画像撮像素子6
Dによって求められた三次元座標位置の、どこに相当す
るのかを正確に判定することは非常に困難であった。
【0009】また、CCD等の濃淡画像撮像素子による
画像取り込み時に測定対象物体上をスリット光が走査す
ると、その走査によるノイズが画像に混入する。これを
回避するために、測定対象物体上にスリット光が照射さ
れていないときに、濃淡画像撮像素子による画像取り込
みを行うことになるが、その構成をとると、測定対象物
体の三次元座標位置とその明るさ、または色とを同時に
測定できなくなり、測定に長時間を要することになる。
【0010】また、距離画像撮像素子6内に配列されて
いる各セル6Cの数は、前記距離画像撮像素子6の製造
プロセスの問題等に起因して一定数以上にすることが不
可能であるため、必要十分な解像度を持つ距離画像が得
られないことがある。
【0011】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
もので、ノイズの影響を受けることなく測定対象物の濃
淡値または色の情報を得るとともに、必要十分な解像度
を得るようにしたものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために請求項1の発明は、測定対象物体の表面にスリ
ット光を投射し、測定対象物体からの反射光が撮像面を
構成するセルを通過するタイミングを検出して、測定対
象物体までの距離を測定する距離測定方法において、反
射光を分光してその一方の光によって測定対象物体まで
の距離を測定し他方の光によって測定対象物体の濃淡値
または色を測定することを特徴とする。
【0013】請求項2の発明は、赤外光または紫外光の
いずれか一方の光を取り出したものと、その取り出した
光を含まないものに分けることを特徴とする。
【0014】請求項3の発明は、その分光させる物理的
位置を移動自在にしたことを特徴とする。
【0015】請求項4の発明は、分光位置を移動させた
結果得られた像を重ね合わせることを特徴とする。
【0016】請求項5の発明は、測定対象物体の表面に
スリット光を投射し、測定対象物体からの反射光が撮像
面を構成するセルを通過するタイミングを検出して、測
定対象物体までの距離を測定する距離測定装置におい
て、反射光を分光する分光手段(例えばミラー8)と、
分光された一方の光によって測定対象物体までの距離を
測定する距離画像測定手段(例えば距離画像撮像素子6
2および距離画像処理部5)と、分光された他方の光に
よって測定対象物体の距離測定部分の濃淡値または色を
測定する濃淡画像処理手段(例えば濃淡画像撮像素子6
1および濃淡画像処理部11)とを備えることを特徴と
する。
【0017】請求項6に記載の発明は、分光手段を光軸
方向に移動させる移動手段(例えばリニアモータ9およ
び制御部10)と、移動前および移動後の画像を重ね合
わせる加算手段(例えばバッファメモリ19)を更に備
えることを特徴とする。
【0018】
【作用】請求項1、2、5の発明は、測定対象物体から
反射されたスリット光が可視光を含む光と、可視光を含
まない光とに分光され、一方の光によって距離が測定さ
れ、他方の光によって濃淡値または色が測定される。
【0019】請求項3、4、6の発明は、位置の若干ず
れた画像が重ね合わされることによって実質的に画素数
が増えたことになり解像度の良い画像が得られる。
【0020】
【実施例】図1は、本発明による距離測定装置の一実施
例を示す光学経路図である。この実施例は、測定対象物
体の表面の三次元座標位置と明るさとを、リアルタイム
で同時に測定するものである。不可視光である赤外光レ
ーザ源等からなる光源1により出射された光(赤外線)
は、光学系2によりスリット状にされ、このスリット光
は、ガルバノミラー等からなるスキャンニングミラー3
を用いて反射される。スリット光は、スキャンニングミ
ラー3を制御部14で駆動されるモータ15により回転
させることにより、測定対象物体4上で走査される。
【0021】赤外線に対して感応する距離画像撮像素子
62と、可視光に対して感応するCCD等からなる濃淡
画像撮像素子61は、測定対象物体4の映像が光学系7
およびミラー(ダイクロイックミラー)8により結像す
る位置に配置されており、ミラー8は赤外光のみを反射
して、それ以外の可視光を透過し、後述するように光軸
上を自在に移動できる構成となっている。
【0022】すなわち、光学系7を介した測定対象物体
4からの光は、ミラー8に達すると、赤外光はミラー8
で反射されるが、その表面に施されているコーティング
によって赤外光より波長が短い可視光を透過するように
なっている。
【0023】このため、赤外光はミラー8で反射され、
距離画像撮像素子62上に結像し、それ以外の光(測定
対象物体4には、通常の可視光も照射されており、その
反射光)は、ミラー8を透過して濃淡画像撮像素子61
上に結像する。距離画像撮像素子62および濃淡画像撮
像素子61を構成する個々のセル62Cと61Cは、適
当なキャリブレーション等により対応付けがされてい
る。
【0024】このように構成することによって、距離画
像撮像素子62上で赤外光のスリット光が結像され、従
来と同様に距離画像処理部5でリアルタイムで距離が測
定される。すなわち、可視光が、濃淡画像撮像素子61
に結像されると同時に、その濃淡画像撮像素子61に結
像されたと同じ部分の赤外光による像が、測定対象物体
4の画像として距離画像撮像素子62に結像される。こ
こで、濃淡画像撮像素子61の各セル61Cと、距離画
像撮像素子62の各セル62Cの各々の位置関係は、一
意的に決まり、セル16Cの出力より濃淡画像処理部1
1において、求められた測定対象物体4の各三次元座標
位置における明るさが、対応するセル62Cの出力より
距離画像処理部5において同定できる。
【0025】図1の例によれば、ミラー8を用いて入射
光を分割することにより、距離画像撮像素子62により
測定された測定対象物体4の三次元座標位置と、CCD
等の濃淡画像撮像素子61により測定された明るさとの
正確な対応付けが可能となる。
【0026】また、赤外光のみを反射する特性を持つミ
ラー8を用いることにより、大部分の赤外スリット光の
反射光を距離画像撮像素子62に結像させることがで
き、これにより、分光による光強度の減衰を防ぐことが
できる。また、可視光を含む赤外光よりも波長が短い光
は、ミラー8を透過し、CCD等の濃淡画像撮像素子6
1に結像され、測定対象物体4の三次元座標位置を測定
するために用いられるスリット光(赤外線)による影響
が除去される。このことにより、測定対象物体の三次元
座標位置の明るさを正確に測定できる。
【0027】図1の制御部10は、リニアモータ9を駆
動し、定量的にミラー8の位置を光軸方向に移動させ
る。これにより、距離画像撮像素子62に結像する像の
位置を精度良く、任意の量だけ平行移動させることが可
能になる。
【0028】図2は、図1のミラー8の位置をリニアモ
ータ9によって移動させることにより、高解像度の像を
得る距離画像生成方法の一例の構成を示す。すなわち図
2の例は、図1において、ミラー8を入射光軸方向に平
行移動する制御部10を持つリニアモータ9により、ミ
ラー8の位置を入射光方向に所定の距離だけ平行移動さ
せて、距離画像撮像素子62のセル62C間隔(すなわ
ち、ピッチP)の半分だけ像を横方向に移動させて撮像
した像と、移動前に撮像した像とを、加算器18で合成
することにより、横方向の解像度を2倍にする例であ
る。
【0029】まず図2(a)は、ミラー8が移動する前
に、距離画像撮像素子62上に像12Aが結像されてい
る状態を示している。すなわち、図1のスキャンニング
ミラー3によって測定対象物体4上をスリット光を走査
することによって、距離画像撮像素子62上で距離画像
が得られていることを示している。
【0030】図2(b)は、ミラー8を所定の距離だけ
移動させ、距離画像撮像素子62上の像12Bが横方向
のセル62Cの間隔の半分、すなわちP/2だけ横にず
れ、結像した状態を示す。すなわち、ここでも、図1の
スキャンニングミラー3によって測定対象物体4上をス
リット光が走査し、距離画像撮像素子62上で距離画像
が得られていることを示している。ミラー8の移動は、
スキャンニングミラー3により測定対象物体4上でのス
リット光の走査を開始する直前のタイミングに行う。
【0031】図2(c)は、図2(a)に示されている
状態で、距離画像撮像素子62上に結像されている像1
2Aを、距離画像撮像素子62内に配列されている各セ
ル62Cが感知しているところを示している。すなわ
ち、図2(c)は、黒く塗り潰されているセル62C上
に、三角形の像が結像されていることを示しており、こ
の像の解像度は、距離画像撮像素子62内のセル62C
の数で決定される。
【0032】図2(d)は、図2(b)に示されている
状態で、距離画像撮像素子62上に結像されている像1
2Bを、距離画像撮像素子62内に配列されている各セ
ル62Cが感知しているところを示している。すなわち
図2(d)は、黒く塗り潰されているセル62C上に、
三角形の像が撮像されているところを示している。
【0033】図2(e)は、図4(b)のようにして撮
像された像と、図2(d)のようにして撮像された像と
を加算器18で合成、すなわち重ね合わせることにより
得られる像を示している。このように位置をずらせて得
られた像を重ね合わせると、横方向の解像度が2倍にな
った距離画像13が得られる。
【0034】すなわち、図2(c)のようにして撮像さ
れた距離画像を、図1における距離画像処理部5内のバ
ッファメモリ19に記憶し、図2(d)のようにして撮
像された距離画像も同様にバッファメモリ19に記憶
し、図2(c)の撮像により得られた距離画像の横方向
の各画素間に、図4(d)の撮像により得られた距離画
像以内の対応する画素を埋め込む。これにより、2回の
スリット光の走査を行うことにより、横方向の解像度が
2倍になった1枚の距離画像が生成される。
【0035】図1の例では、ミラー8として赤外光のみ
を反射させて、それより波長が短い光可視光を透過させ
るミラーを用いて入射光を分光したが、ミラーの代わり
にプリズム等の光学素子を用いても良い。
【0036】図1の例では、白黒濃淡画像撮像素子を用
いたが、カラーの画像を撮像するときは、この代わりに
カラー画像撮像素子を用いても良い。例えば、カラー画
像撮像素子として用いられるものとしては、CCD撮像
素子の各画素上にR(赤)、G(緑)、B(青)の三色
のフィルタを均等に配列させたカラーCCD撮像素子が
あげられる。これはRのフィルタの下にある画素につい
ては撮像素子に対する入射光の中で、R(赤)の成分だ
けがその明るさとして感知されるものである。G
(緑)、B(青)についても同様で、これによりR,
G,B各々についての像が生成され、カラー画像が読み
取られる。
【0037】図1の例では赤外光を用いてスリット光を
生成したが、紫外光を用いることもできる。このとき、
紫外光のみを反射する分光ミラーと、紫外光に対する感
光特性がある距離画像撮像素子を用いることになる。
【0038】図2の例では解像度を2倍にする例である
が、距離画像撮像素子に結像する像の移動量を小さく
し、その分多くの像を撮像し、そこで得られた数多くの
像を合成することにより、解像度をより高めることが可
能となる。
【0039】図1と図2の例では、距離画像の解像度を
横方向に向上させる例であるが、図1のミラー8を入射
光軸を中心にして90度回転させ、それに伴い距離画像
撮像素子62とリニアモータ9を所定の位置に配置さ
せ、同様な処理を行うと、距離画像の解像度を縦方向に
向上させることが可能となる。
【0040】図1の例では、分光ミラーを移動させる方
法として、リニアモータを使用したが、正確な位置決め
ができるピエゾ素子など、直線動作を行うアクチュエー
タを用いても良い。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように請求項1、2、5の
発明は、測定対象物体から反射されたスリット光が可視
光を含む光と、可視光を含まない光とに分光され、一方
の光によって距離が測定され、他方の光によって濃淡値
または色が測定されるので、測定対象物体までの距離
と、その距離を測定した部分の濃淡値または色が同時に
測定できるという効果を有する。
【0042】請求項3、4、6の発明は、位置の若干ず
れた位置画像が重ね合わされることによって実質的に画
素数が増えたことになり、解像度の良い画像が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
【図2】距離画像撮像素子に位置をずらせて測定対象の
像を結像させ、それを合成した状態を示す図である。
【図3】従来の測定方法の一例を示すブロック図であ
る。
【図4】従来の方法において距離情報と濃淡値情報を同
時に得る手段の一例を示す図である。
【符号の説明】
1 光源 2 光学系 3 スキャンニングミラー 4 測定対象物体 5 距離画像処理部 6 距離画像撮像素子 7、7A 光学系 8 ミラー 9 リニアモータ 10 制御部 13 画像 18 加算器 19 バッファメモリ 61 濃淡画像撮像素子 62 距離画像撮像素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G06T 7/00 1/00 7/60 8837−5L G06F 15/70 350 J

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定対象物体の表面にスリット光を投射
    し、前記測定対象物体からの反射光が撮像面を構成する
    セルを通過するタイミングを検出して、前記測定対象物
    体までの距離を測定する距離測定方法において、 前記反射光を分光してその一方の光によって前記測定対
    象物体までの距離を測定し、他方の光によって前記測定
    対象物体の濃淡値または色を測定することを特徴とする
    距離測定方法。
  2. 【請求項2】 前記分光は、赤外光または紫外光のいず
    れか一方の光を取り出したものと、その取りだした光を
    含まないものに分けることを特徴とする請求項1に記載
    の距離測定方法。
  3. 【請求項3】 前記分光させる物理的位置を移動自在に
    したことを特徴とする請求項1に記載の距離測定方法。
  4. 【請求項4】 前記分光位置を移動させた結果得られた
    像を重ね合わせることを特徴とする請求項3に記載の距
    離測定方法。
  5. 【請求項5】 測定対象物体の表面にスリット光を投射
    し、前記測定対象物体からの反射光が撮像面を構成する
    セルを通過するタイミングを検出して、前記測定対象物
    体までの距離を測定する距離測定装置において、 前記反射光を分光する分光手段と、 前記分光された一方の光によって前記測定対象物体まで
    の距離を測定する距離画像測定手段と、 前記分光された他方の光によって前記測定対象物体の距
    離測定部分の濃淡値または色を測定する濃淡画像処理手
    段とを備えることを特徴とする距離測定装置。
  6. 【請求項6】 前記分光手段を光軸方向に移動させる移
    動手段と、 前記移動手段による移動前に得られる距離画像と、移動
    後に得られる距離画像を重ね合わせる加算手段を更に備
    えることを特徴とする請求項5に記載の距離測定装置。
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