KR100652404B1 - 핸들러용 테스트 트레이 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 테스트 트레이(test tray)는 사각틀 형태의 프레임(frame)과, 상기 프레임 내에 복수개의 반도체 소자들이 탑재되는 운반 모듈과, 핸들러내에서 이동하는 방향과 평행한 방향으로 상기 프레임의 양측면부에 설치되어 위치를 정밀하게 결정하고 고정할 수 있는 정밀 위치 결정부를 포함한다. 상기 정밀 위치 결정부는 위치 결정과 고정을 수행하는 포지션너(positioner)가 삽입되는 록킹홀(locking hole)과, 상기 록킹홀에 삽입되어 상기 록킹홀의 마모를 방지할 수 있는 부싱(bushing)을 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 정밀 위치 결정부로 인하여 테스트 트레이는 반도체 소자를 로딩, 언로딩 및 테스트할 때 위치를 정밀하게 결정할 수 있기 때문에 테스트된 반도체 소자의 수율이 떨어지지 않게 하고, 핸들러가 고장을 일으키거나 순간적으로 정지하지 않게 한다. 상기 정밀 위치 결정부의 록킹홀에는 부싱이 삽입되어 있기 때문에 반영구적으로 사용할 수 있다.

Description

핸들러용 테스트 트레이{Test tray for handler}
도 1은 본 발명에 이용되는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 예를 도시한 도면이고,
도 2는 도 1의 핸들러에 포함되는 테스트 트레이의 위치 결정 과정을 설명하기 위한 도면이고,
도 3은 본 발명에 의한 테스트 트레이를 나타낸 사시도이고,
도 4는 도 3의 테스트 트레이의 정밀 위치 결정부의 분해도이고,
도 5 및 6은 각각 도 3의 테스트 트레이의 정밀 위치 결정부의 확대도 및 단면도이고,
도 7 및 도 8은 각각 본 발명의 테스트 트레이의 정밀 위치 결정부의 록킹홀 내에 부싱이 없는 경우와 있는 경우의 록킹홀의 마모 상태를 도시한 도면이다.
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에 사용되는 테스트 트레이(test tray)에 관한 것으로, 특히 복수개의 반도체 소자들을 장착하여 핸들러(handler)의 각 공정간으로 이송되며 반도체 소자들을 테스트하는 핸들러용 테스트 트레이에 관 한 것이다.
일반적으로, 메모리 반도체 소자, 비메모리 반도체 소자u하나의 기판 상에 회로적으로 구성한 모듈 IC 등의 반도체 소자("반도체 IC"라 칭하기도 함)들은 여러 가지 테스트 과정을 거친 후 출하된다. 상기 핸들러는 상기와 같은 반도체 소자들을 자동적으로 테스트하는데 사용되는 장치를 말한다.
상기 핸들러에는 테스트 트레이가 사용된다. 상기 테스트 트레이는 반도체 소자를 로딩(탑재)하거나, 상기 탑재된 반도체 소자를 포함하는 테스트 트레이를 테스트 헤드부로 이송할 때, 테스트 헤드부에서 탑재된 반도체 소자를 직접적으로 테스트할 때, 또는 테스트 완료된 반도체 소자를 언로딩할 때 이용된다.
그런데, 상기 테스트 트레이는 테스트 헤드부에서 반도체 소자를 테스트할 때나 반도체 소자를 로딩하거나 언로딩할 때 상기 테스트 트레이의 위치가 정밀하게 결정되어야 한다. 상기 테스트 트레이의 위치가 정밀하게 결정되어지지 않으면 테스트된 반도체 소자의 수율이 떨어지거나, 핸들러가 고장을 일으키거나 순간적으로 정지하게 된다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 테스트 헤드부에서나 반도체 소자의 로딩이나 언로딩시 정밀하게 위치결정을 할 수 있고, 반영구적으로 이용할 수 있는 테스트 트레이를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 테스트 트레이는 사각틀 형태의 프레임(frame)과, 상기 프레임 내에 복수개의 반도체 소자들이 탑재되는 운반 모듈과, 핸들러내에서 이동하는 방향과 평행한 방향으로 상기 프레임의 양측면부에 설치되어 위치를 정밀하게 결정하고 고정할 수 있는 정밀 위치 결정부를 포함한다.
상기 정밀 위치 결정부는 위치 결정과 고정을 수행하는 포지션너(positioner)가 삽입되는 록킹홀(locking hole)과, 상기 록킹홀에 삽입되어 상기 록킹홀의 마모를 방지할 수 있는 부싱(bushing)을 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 포지션너는 선단부에 돌기부가 포함되어 있고, 상기 로킹홀에는 돌기부가 삽입되어 테스트 트레이의 위치가 정밀하게 결정되고 고정될 수 있다. 상기 부싱은 탄소 섬유가 포함된 폴리머로 구성될 수 있다. 상기 정밀 위치 결정부는 상기 프레임 및 부싱을 커버하는 보호대와, 상기 보호대와 프레임을 체결하는 연결홀 및 볼트를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 프레임에는 복수의 영역으로 구획하도록 핸들러내에서 이동하는 방향과 평행한 방향으로 상기 프레임 양측을 가로지로도록 형성된 가로대를 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 운반 모듈은 가로대를 따라 설치될 수 있다.
삭제
상기 정밀 위치 결정부로 인하여 본 발명의 테스트 트레이는 반도체 소자를 로딩, 언로딩 및 테스트할 때 위치를 정밀하게 결정하기 때문에 테스트된 반도체 소자의 수율이 떨어지지 않게 하고, 핸들러가 고장을 일으키거나 순간적으로 정지하지 않게 한다.
본 발명의 테스트 트레이는 상기 정밀 위치 결정부의 록킹홀 내에는 마모를 방지하는 부싱이 삽입되어 있기 때문에 반도체 소자를 로딩, 언로딩 및 테스트할 때 록킹홀의 마모를 방지할 수 있어 반영구적으로 사용될 수 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 다음에 예시하는 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예 는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다.
도 1은 본 발명에 이용되는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 예를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 핸들러에 포함되는 테스트 트레이의 위치 결정 과정을 설명하기 위한 도면이다.
구체적으로, 도 1에 있어서는 주로 반도체 소자(11)를 이송하는 수단으로서 테스트 트레이(100)가 이용된다. 물론, 본 발명의 테스트 트레이(100)는 앞서 설명한 바와 같이 반도체 소자(11)를 로딩(탑재)하거나, 반도체 소자(11)를 직접적으로 테스트할 때, 또는 테스트 완료된 반도체 소자(11)를 언로딩할 때도 이용된다. 이하 설명에서는 편의상 테스트 헤드부에서만 테스트 트레이(100)의 위치를 정밀하게 결정하는 정밀 위치 결정부(130)를 이용하는 것으로 설명하였으나, 공급부나 배출부에서도 정밀 위치 결정부를 이용할 수 있다.
보다 상세하게, 공급부에 테스트 트레이(100)가 위치한다. 테스트 트레이(100) 내의 복수개의 운반 모듈(110)에는 각각 복수개의 반도체 소자(11)가 탑재된다. 상기 반도체 소자(11)가 탑재된 테스트 트레이(100)는 테스트 헤드부로 이송된다. 테스트 트레이(100)가 테스트 헤드부로 이송될 때, 테스트 트레이(100)는 컨베이어 벨트(19) 상에서 모터(17)에 의한 구동력이 의하여 도 2의 화살표 방향으로 이송되고, 전면부(21)에 위치하는 스톱퍼(13, stopper) 선단의 돌기부(12)에 의하여 멈추게 된다. 상기 스톱퍼(13) 선단의 돌기부(12)는 앞뒤로 들어가거나 나오는 기능을 갖는다.
상기 스톱퍼(13)에 의하여 멈쳐진 테스트 트레이(100)는 양측면부(23)에 위치하는 정밀 위치 결정부(130) 및 포지션너(15, positioner)에 의하여 정밀하게 위치가 결정되고 고정된다. 상기 테스트 트레이(100)의 정밀 위치 결정부(130) 내에는 도 2에 도시한 바와 같이 록킹홀(locking hole, 140)이 포함되어 있고, 상기 록킹홀(140)에는 포지션너(15) 선단의 돌기부(14)가 삽입되어 위치가 정밀하게 결정되고 고정된다. 상기 포지션너(15)의 돌기부(14)는 삽입이 용이하게 앞 부분이 원추 모양으로 구성된다. 상기 포지션너(15)는 선단의 돌기부(14)가 앞뒤로 들어가거나 나오도록 구성할 수도 있고, 상기 포지션너(15) 자체가 앞뒤로 들어가거나, 나오도록 구성할 수도 있다.
특히, 본 발명의 테스트 트레이(100)의 록킹홀(140) 내에는 후에 자세히 설명하는 바와 같이 마모를 방지하는 부싱(bushing, 도 4 및 도 5의 145)이 삽입되어 있어 테스트 트레이(100)를 반영구적으로 사용할 수 있다. 물론, 상기 부싱(도 4 및 도 5의 145)이 마모되거나 손상되면 테스트 트레이(100) 전체를 교체하지 않고 부싱(도 4 및 도 5의 145)만 교체하면 되므로 테스트 트레이(100) 자체는 반영구적으로 사용할 수 있다.
상기 테스트 트레이(100)의 정밀한 위치가 결정되면 테스트 트레이(100)에 탑재된 반도체 소자(11)는 테스트가 수행된다. 상기 반도체 소자(11)는 아래쪽으로 눌러져서 하부에 위치하는 소켓(또는 핀 카드, 미도시)과 전기적으로 콘택하여 테스트가 수행된다. 상기 반도체 소자(11)와 소켓간의 전기적 콘택부분은 복수개 설치하여 복수개의 반도체 소자가 동시에 테스트된다.
상기 반도체 소자(11)의 테스트시 상기 포지션너(15)의 돌기부는 록킹홀에 삽입된 상태일 수도 있고, 그렇지 않을 수도 있다. 물론, 상기 록킹홀에 삽입된 상태일 경우에는 테스트 트레이(100)가 보다 안정적으로 고정된 상태로 테스트가 수행된다. 상기 테스트가 수행된 테스트 트레이(100)는 배출부 이송되어 반도체 소자(11)가 양불량으로 분류되어 언로딩된다.
도 3은 본 발명에 의한 테스트 트레이를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 테스트 트레이의 정밀 위치 결정부의 분해도이고, 도 5 및 6은 각각 도 3의 테스트 트레이의 정밀 위치 결정부의 확대도 및 단면도이다.
구체적으로, 본 발명의 테스트 트레이(100)는 사각틀 형태의 프레임(105)과, 상기 프레임(105)을 복수의 영역으로 구획하도록 프레임(105) 양측을 가로지로도록 형성된 가로대(120)와, 상기 가로대(120)를 따라 복수개의 반도체 소자들이 탑재되는 운반 모듈(110)과, 상기 프레임(105)의 표면에 설치된 트레이 인식부(125)가 위치한다. 상기 운반모듈(110) 내의 참조번호 115는 반도체 소자들이 탑재되는 반도체 소자 삽입부를 나타낸다.
특히, 본 발명의 테스트 트레이(100)의 양측면부(도 2의 23부분)에 테스트 트레이의 위치를 정밀하게 결정되고 고정될 수 있는 정밀 위치 결정부(130)가 위치한다. 상기 정밀 위치 결정부(130)는 도 2에 도시한 바와 같이 핸들러 내에서 테스트 트레이가 이동하는 방향에 평행한 방향의 양측면부에 위치한다.
상기 정밀 위치 결정부(130)는 프레임(105)에 설치된 록킹홀(140)과, 상기 록킹홀(140)에 삽입되어 상기 록킹홀(140)의 마모를 방지할 수 있는 부싱(145)과, 상기 프레임(105) 및 부싱(145)을 커버하는 보호대(135)와, 상기 보호대(135)에는 상기 보호대(135)와 프레임(105)을 체결하는 연결홀(142) 및 볼트(150)로 구성된다. 상기 보호대(135)는 상기 프레임(105)의 양측면의 오목부에 삽입되어 체결된다.
상기 부싱(145)은 탄소 섬유가 포함된 폴리머로 구성한다. 상기 부싱(145)을 탄소 섬유가 포함된 폴리머로 구성할 경우 압축력(compressive strength)과 견고성(stiffness)을 증가시키고, 팽창률을 감소시킬 수 있다. 또한, 부싱을 탄소 섬유가 포함된 폴리머로 구성할 경우 마모 저항력 및 하중 운반력(load carrying capability)도 우수하고, 열전도율(thermal conductivity)도 우수하다.
그리고, 앞서 설명한 바와 같이 상기 정밀 위치 결정부(130)의 록킹홀(140)에는 포지션너(도 2의 15)가 삽입되어 위치가 정밀하게 결정되고 고정된다. 더욱이, 상기 록킹홀(140) 내에는 마모를 방지하는 부싱(bushing, 145)이 삽입되어 있어 테스트 트레이를 반영구적으로 사용할 수 있다.
도 7 및 도 8은 각각 본 발명의 테스트 트레이의 정밀 위치 결정부의 록킹홀 내에 부싱이 없는 경우와 있는 경우의 록킹홀의 마모 상태를 도시한 도면이다.
구체적으로, 도 8과 같이 본 발명과 같이 테스트 트레이의 정밀 위치 결정부의 록킹홀 내에 부싱(145)이 있는 경우에는 도 8의 참조번호 160으로 표시한 바와 같이 마모가 발생하지 않는다. 그러나, 비교예로 도 7과 같이 부싱이 없는 경우에는 참조번호 155로 표시한 바와 같이 심한 마모, 특히 편마모가 발생한다. 따라서, 본 발명과 같이 테스트 트레이의 정밀 위치 결정부의 록킹홀 내에 부싱을 삽입하면 록킹홀의 마모를 방지하여 테스트 트레이를 반영구적으로 사용할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 테스트 트레이는 핸들러 내에서 이동하는 방향과 평행한 방향으로 양측면부에 정밀하게 위치를 결정하고 고정될 수 있는 정밀 위치 결정부를 포함한다. 상기 정밀 위치 결정부에는 포지션너가 삽입될 수 있는 록킹홀과, 상기 록킹홀의 마모를 방지할 수 있는 부싱과, 상기 프레임 및 부싱을 커버하는 보호대와, 상기 보호대와 프레임을 체결하는 연결홀 및 볼트를 포함한다.
이에 따라, 본 발명의 테스트 트레이는 반도체 소자를 로딩, 언로딩 및 테스트할 때 위치를 정밀하게 결정할 수 있기 때문에 테스트된 반도체 소자의 수율이 떨어지거나, 핸들러가 고장을 일으키거나 순간적으로 정지하는 종래의 문제점을 해결할 수 있다.
더하여, 본 발명의 테스트 트레이는 록킹홀 내에는 마모를 방지하는 부싱이 삽입되어 있기 때문에 테스트 헤드부, 공급부 또는 배출부에서 반도체 소자가 탑재된 테스트 트레이의 정밀 위치 결정시 록킹홀의 마모를 방지할 수 있어 반영구적으로 사용될 수 있다.

Claims (12)

  1. 사각틀 형태의 프레임;
    상기 프레임 내에 복수개의 반도체 소자들이 탑재되는 운반 모듈; 및
    핸들러내에서 이동하는 방향과 평행한 방향으로 상기 프레임의 양측면부에 설치되어 위치를 정밀하게 결정하고 고정할 수 있는 정밀 위치 결정부를 포함하여 이루어지되,
    상기 정밀 위치 결정부는 위치 결정과 고정을 수행하는 포지션너가 삽입되는 록킹홀과, 상기 록킹홀에 삽입되어 상기 록킹홀의 마모를 방지할 수 있는 부싱을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  2. 제1항에 있어서, 상기 프레임에는 복수의 영역으로 구획하도록 핸들러내에서 이동하는 방향과 평행한 방향으로 상기 프레임 양측을 가로지로도록 형성된 가로대를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  3. 제2항에 있어서, 상기 운반 모듈은 가로대를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 정밀 위치 결정부는 상기 프레임 및 부싱을 커버하는 보호대와, 상기 보호대와 프레임을 체결하는 연결홀 및 볼트를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이
  6. 사각틀 형태의 프레임;
    상기 프레임에는 복수의 영역으로 구획하도록 핸들러내에서 이동하는 방향과 평행한 방향으로 상기 프레임 양측을 가로지로도록 형성된 가로대;
    상기 가로대를 따라 복수개의 반도체 소자들이 탑재되는 운반 모듈; 및
    핸들러내에서 이동하는 방향과 평행한 방향으로 상기 프레임의 양측면부에 위치를 정밀하게 결정하고 고정할 수 있는 정밀 위치 결정부를 포함하여 이루어지되,
    상기 정밀 위치 결정부는 위치 결정과 고정을 수행하는 포지션너가 삽입되는 록킹홀과, 상기 록킹홀에 삽입되어 상기 록킹홀의 마모를 방지할 수 있는 부싱을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  7. 삭제
  8. 제6항에 있어서, 상기 정밀 위치 결정부는 상기 프레임 및 부싱을 커버하는 보호대와, 상기 보호대와 프레임을 체결하는 연결홀 및 볼트를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이
  9. 제1항에 있어서, 상기 포지션너는 선단부에 돌기부가 포함되어 있고, 상기 록킹홀에는 상기 돌기부가 삽입되어 위치가 정밀하게 결정되고 고정되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  10. 제1항에 있어서, 상기 부싱은 탄소 섬유가 포함된 폴리머로 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  11. 제6항에 있어서, 상기 포지션너는 선단부에 돌기부가 포함되어 있고, 상기 로킹홀에는 상기 돌기부가 삽입되어 위치가 정밀하게 결정되고 고정되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  12. 제6항에 있어서, 상기 부싱은 탄소 섬유가 포함된 폴리머로 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
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