KR20140132856A - 테스트 핸들러용 테스트 트레이 - Google Patents

테스트 핸들러용 테스트 트레이 Download PDF

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Abstract

테스트 핸들러용 테스트 트레이는 테스트를 위한 반도체 소자가 안착될 수 있는 다수개의 인서트를 구비하는 테스트 핸들러용 테스트 트레이에 있어서, 상기 인서트는, 상기 반도체 소자가 안착될 수 있는 공간을 제공하는 본체; 상기 반도체 소자가 안착될 때 상기 반도체 소자의 접속 단자와 마주하게 위치하도록 상기 본체 하부에 구비되는 인쇄회로기판; 상기 반도체 소자가 상기 본체에 안착될 때 상기 반도체 소자의 접속 단자와 마주하게 위치하는 상기 인쇄회로기판의 일면에 상기 반도체 소자의 접속 단자와 접촉함에 의해 상기 반도체 소자의 접속 단자와 전기적으로 연결됨과 아울러 상기 인쇄회로기판의 배선과 전기적으로 연결되는 전기 접속부; 및 상기 전기 접속부의 주변을 둘러싸도록 구비되고, 상기 반도체 소자의 접속 단자가 상기 전기 접속부에 접속할 때 상기 반도체 소자의 접속 단자와 상기 전기 접속부 사이를 정렬시키는 접속 정렬부를 포함할 수 있다.

Description

테스트 핸들러용 테스트 트레이{Test tray for using test handler}
본 발명은 테스트 핸들러용 테스트 트레이에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 테스트를 위한 반도체 소자가 안착될 수 있는 다수개의 인서트를 구비하는 테스트 핸들러용 테스트 트레이에 관한 것이다.
집적회로 소자 등과 같은 전자 부품의 제조에서는 패키징된 집적회로 소자(이하, '반도체 소자'라 함)를 대상으로 전기적 성능, 열적 스트레스 등과 같은 테스트를 수행한다. 특히, 언급한 반도체 소자를 전기적 테스트를 위한 장치의 예로서는 테스트 핸들러를 들 수 있다. 그리고 테스트 핸들러를 이용한 반도체 소자의 테스트는 주로 테스트 트레이에 수용되는 반도체 소자들을 테스트 보드의 테스트 소켓에 전기적으로 접속시킴에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 언급한 테스트 트레이에 수용되는 반도체 소자들 각각은 테스트 트레이에 구비되는 인서트 각각에 안착되는 구조를 갖는다. 즉, 테스트 트레이는 테스트를 위한 반도체 소자가 안착될 수 있는 다수개의 인서트를 구비하는 구조를 갖는 것이다. 그리고 언급한 테스트 트레이를 사용하는 반도체 소자의 테스트에서는 테스트 트레이의 인서트에 안착되는 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자를 전기적으로 접속시킴에 의해 달성될 수 있다.
그러나 테스트 트레이의 인서트에 안착되는 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자 사이에서의 전기적 접속에서는 인서트의 구조, 테스트 소켓의 접속 단자의 길이 등으로 인하여 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자의 전기적 접속에 간섭이 발생하고, 그 결과 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자의 전기적 접속이 용이하게 이루어지지 않는 상황이 빈번하게 발생한다.
언급한 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자 사이에서 발생하는 접속에 따른 간섭을 해결하기 위한 일 예가 대한민국 특허출원 제2004-7002474호(이하, '인용 문헌'이라 함)에 개시되어 있다. 특히, 언급한 인용 문헌에는 테스트 소켓과 마주하는 부분에 지지부를 구비하는 인서트가 개시되어 있다. 이에, 언급한 지지부를 구비하는 인서트를 사용함에 의해 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자의 전기적 접속에 따른 간섭을 배제하고 있다.
그러나 언급한 지지부는 주로 초음파를 사용한 융착에 의해 인서트 하부에 구비될 수 있기 때문에 융착에 따른 제조 시간이 증가하는 문제점이 있고, 그리고 지지부의 손상시 인서트의 재사용이 불가하고 인서트 전체를 교체해야 하기 때문에 인서트의 사용에 따른 수명이 단축되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자의 접속에 따른 간섭을 충분하게 배제할 수 있을 뿐만 아니라 조립이 용이하고 수명을 연장시킬 수 있는 테스트 핸들러용 테스트 트레이를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러용 테스트 트레이는 테스트를 위한 반도체 소자가 안착될 수 있는 다수개의 인서트를 구비하는 테스트 핸들러용 테스트 트레이에 있어서, 상기 인서트는, 상기 반도체 소자가 안착될 수 있는 공간을 제공하는 본체; 상기 반도체 소자가 안착될 때 상기 반도체 소자의 접속 단자와 마주하게 위치하도록 상기 본체 하부에 구비되는 인쇄회로기판; 상기 반도체 소자가 상기 본체에 안착될 때 상기 반도체 소자의 접속 단자와 마주하게 위치하는 상기 인쇄회로기판의 일면에 상기 반도체 소자의 접속 단자와 접촉함에 의해 상기 반도체 소자의 접속 단자와 전기적으로 연결됨과 아울러 상기 인쇄회로기판의 배선과 전기적으로 연결되는 전기 접속부; 및 상기 전기 접속부의 주변을 둘러싸도록 구비되고, 상기 반도체 소자의 접속 단자가 상기 전기 접속부에 접속할 때 상기 반도체 소자의 접속 단자와 상기 전기 접속부 사이를 정렬시키는 접속 정렬부를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러용 테스트 트레이에서, 상기 인쇄회로기판은 상기 본체에 볼트 조립에 의해 결합되는 구조를 갖도록 구비할 수 있고, 상기 전기 접속부는 도전성 고무 재질로 이루어질 수 있고, 상기 전기 접속부 및 상기 접속 정렬부는 증착 공정을 수행함에 의해 상기 인쇄회로기판의 일면에 형성되도록 구비할 수 있다.
언급한 본 발명의 테스트 핸들러용 테스트 트레이는 인서트 본체 하부에 반도체 소자가 안착될 때 반도체 소자의 접속 단자와 마주하게 위치하도록 인쇄회로기판을 구비하고, 아울러 인쇄회로기판의 일면에 반도체 소자의 접속 단자와 접촉함에 의해 반도체 소자의 접속 단자와 전기적으로 연결됨과 아울러 인쇄회로기판의 배선과 전기적으로 연결되는 전기 접속부를 구비할 수 있다.
이에, 언급한 인쇄회로기판을 하부에 구비하는 인서트를 사용함으로써 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자의 접속에 따른 간섭을 충분하게 배제할 수 있기 때문에 반도체 소자의 테스트에 따른 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.
또한, 인쇄회로기판의 경우에는 볼트 결합을 통하여 인쇄회로기판의 하부에 구비할 수 있기 때문에 조립이 용이한 이점을 기대할 수 있고, 또한 인쇄회로기판이 손상될 경우 인쇄회로기판 자제만 교체할 수 있기 때문에 인서트 전체에 대한 수명이 연장되는 이점을 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러용 테스트 트레이를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 2는 도 1의 테스트 핸들러용 테스트 트레이에 구비되는 인서트를 나타내는 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
먼저, 도시하지는 않았지만 본 발명의 테스트 핸들러는 테스트 트레이, 로딩 부재, 속(soak) 챔버, 테스트 챔버, 푸싱 부재, 디속 챔버(desoak), 언로딩 부재 등을 구비할 수 있다.
테스트 트레이는 후술하는 바와 같이 반도체 소자가 안착될 수 있는 다수개의 인서트를 구비하고, 테스트를 위하여 다수의 이송 부재 등에 의해 정해진 폐쇄 경로를 따라 순환한다.
언급한 로딩 부재는 고객 트레이에 적재되어 있는 테스트할 반도체 소자를 로딩 위치에 있는 테스트 트레이로 로딩시킨다.
언급한 속 챔버는 로딩 위치로부터 이송되어 온 테스트 트레이에 로딩되어 있는 반도체 소자를 테스트를 수행하기에 앞서 테스트 환경 조건에 따라 예열 또는 예냉시키기 위해 마련된다.
언급한 테스트 챔버는 속 챔버에서 예열 또는 예냉시킨 후 테스트 위치로 이송되어 온 테스트 트레이에 로딩되어 있는 반도체 소자를 테스트하기 위해 마련된다.
언급한 푸싱 부재는 테스트 챔버 내에 있는 테스트 트레이에 로딩되어 인서트에 안착되어 있는 반도체 소자를 테스터 챔버에 도킹되어 있는 테스터 장치의 테스트 소켓 쪽으로 푸싱시켜 반도체 소자를 테스터 장치, 즉 테스트 보드의 테스트 소켓에 전기적으로 접속시키기 위해 마련된다.
디속 챔버에서는 테스트 챔버로부터 이송되어 온 테스트 트레이에 로딩되어 있는 가열 또는 냉각된 반도체 소자를 상온으로 회귀시키기 위해 마련된다.
언로딩 부재는 디속 챔버로부터 언로딩 위치로 온 테스트 트레이에 로딩되어 있는 반도체 소자를 테스트 등급별로 분류하여 빈 고객 트레이로 언로딩시킨다.
언급한 바와 같이, 반도체 소자는 테스트 트레이에 로딩되어 인서트에 안착된 상태로 로딩위치로부터 속 챔버, 테스트 챔버, 디속 챔버를 거쳐 언로딩 위치로 이동하는 폐쇄경로를 따라 순환하는 구조를 갖는다.
언급한 테스트 핸들러를 사용한 반도체 소자의 테스트에서는 테스트 트레이의 인서트에 안착되는 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자를 전기적으로 접속시킴에 의해 달성될 수 있다. 즉, 테스트 트레이를 테스트 장치 쪽을 향하게 위치시킨 후 푸싱 부재를 사용하여 테스트 트레이를 테스트 장치 쪽으로 푸싱시킴에 의해 테스트 트레이의 인서트에 안착되는 반도체 소자의 접속 단자를 테스트 장치 측의 테스트 소켓의 접속 단자에 전기적으로 접속시킴에 의해 달성될 수 있는 것이다.
이하에서는 도면들을 참조하여 언급한 인서트를 구비하는 테스트 트레이에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러용 테스트 트레이를 개략적으로 나타내는 구성도이고, 도 2는 도 1의 테스트 핸들러용 테스트 트레이에 구비되는 인서트를 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 언급한 바와 같이 테스트 트레이(100)는 다수개의 반도체 소자(13) 각각을 수용한 상태로 반송하기 위한 것으로써, 사각틀 형태의 금속 프레임에 반도체 소자 각각을 안착하기 위한 인서트(11)를 구비한다. 특히, 언급한 인서트(11) 각각은 반도체 소자(13) 각각을 안착시킬 때 반도체 소자(13) 각각을 고정 및 해제할 수 있는 부재 등이 구비될 수 있고, 아울러 금속 프레임에 탄성 부재를 매개로 결합되는 구조를 가짐으로써 금속 프레임에 대하여 탄력적으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다.
그리고 본 발명의 인서트(11)는 본체(21), 인쇄회로기판(31), 전기 접속부(33), 접속 정렬부(35) 등을 구비할 수 있다.
언급한 본체(21)는 반도체 소자(13)가 안착될 수 있는 공간(23)을 제공할 수 있다.
언급한 인쇄회로기판(31)은 반도체 소자(13)가 안착될 때 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 마주하게 위치하도록 본체(21) 하부에 구비될 수 있다. 특히, 본 발명의 인쇄회로기판(31)은 본체(21)와 볼트(41) 조립에 의해 결합되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 본 발명의 인서터(11)는 테스트 장치의 테스트 보드를 향하는 본체(21)의 하부에 볼트(41) 조립에 의해 언급한 인쇄회로기판(31)이 조립되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다. 아울러, 언급한 인쇄회로기판(31)에는 전기적 전달을 위한 전기 배선(37)들이 설계 패턴에 따라 형성될 수 있다.
언급한 전기 접속부(33)는 반도체 소자(13)가 본체(21)에 안착될 때 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 마주하게 위치하는 인쇄회로기판(31)의 일면에 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 접촉함에 의해 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 전기적으로 연결됨과 아울러 인쇄회로기판(31)의 배선(37)과 전기적으로 연결되도록 구비될 수 있다. 즉, 전기 접속부(33)는 인쇄회로기판(31)의 일면에 인쇄회로기판(31)의 전기 배선(37)과 연결되도록 구비될 수 있는 것으로써 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 접속시 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)에 충격을 완화시킬 수 있도록 주로 도전성 고무 재질로 이루어질 수 있다. 특히, 반도체 소자(13)의 테스트시 푸싱 부재를 이용하여 반도체 소자(13)를 푸싱시킬 때 가해지는 충격까지 고려할 경우 언급한 전기 접속부(33)는 도전성 고무 재질을 사용하여 형성하는 것이 바람직하다.
언급한 접속 정렬부(35)는 전기 접속부(33)의 주변을 둘러싸도록 구비될 수 있다. 이에, 접속 정렬부(35)는 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)가 전기 접속부(33)에 접속할 때 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 전기 접속부(33) 사이를 정렬시킬 수 있다. 즉, 접속 정렬부(35)가 전기 접속부(33)를 둘러싸도록 구비됨으로써 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)가 전기 접속부(33)에 접속할 때 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)가 접속 정렬부(35)에 수용되기 때문에 언급한 바와 같이 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 전기 접속부(33) 사이를 정렬시킬 수 있는 것이다. 여기서, 언급한 접속 정렬부(35)는 단지 정렬을 위하여 구비되는 것으로써 전기가 통하지 않는 부재로 마련할 필요가 있다. 이에, 본 발명에서는 전기가 통하지 않는 고무 재질로 접속 정렬부(35)를 형성할 수 있다. 아울러, 접속 정렬부(35)를 고무 재질로 형성하는 것은 언급한 전기 접속부(33)와 마찬가지로 정렬시 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)에 가해지는 충격을 완화시키기 위함이다.
그리고 언급한 전기 접속부(33) 및 접속 정렬부(35)는 증착 공정을 수행함에 의해 인쇄회로기판(31)의 일면에 형성되도록 구비할 수 있다.
또한, 전기 접속부(33) 및 접속 정렬부(35)의 모양은 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)에 의존하는 것으로써 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)가 원형의 볼 구조를 가질 경우 전기 접속부(33)는 원형 모양을 갖도록 구비될 수 있고, 접속 정렬부(35)는 원형 모양의 전기 접속부(33)를 둘러싸는 원통형 모양을 갖도록 구비될 수 있다.
아울러, 전기 접속부(33)의 간격은 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)의 간격과 동일하게 형성할 수도 있고, 전기 접속부(33)와 반도체 소자(13)의 접속 단자(15) 사이에서의 전기적 접속에 지장을 끼치지 않을 경우에는 가변 구조를 갖도록 형성할 수도 있다.
이와 같이, 본 발명의 테스트 트레이(100)는 언급한 구조를 갖는 인서트(11)를 구비함으로써 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 테스트 보드의 테스트 소켓의 접속시 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 테스트 보드의 테스트 소켓이 직접적으로 접속하는 것이 아니라 인쇄회로기판(31)의 전기 접속부(33)를 통하여 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 테스트 소켓의 접속 단자가 접속하기 때문에 반도체 소자(13)의 접속 단자(15)와 테스트 소켓의 접속 단자의 접속에 따른 간섭을 충분하게 배제할 수 있다.
또한, 인쇄회로기판(31)을 볼트(41) 조립에 의해 인서트(11)의 본체(21)에 결합시킬 수 있기 때문에 조립의 용이성을 도모할 수 있다.
아울러, 인서트(11)의 사용시 인쇄회로기판(31)이 손상될 경우 인쇄회로기판(31) 자체만을 교체할 수 있기 때문에 인서트(11) 전체에 대한 수명을 연장시킬 수 있다.
언급한 본 발명의 테스트 핸들러용 테스트 트레이는 반도체 소자의 접속 단자와 테스트 소켓의 접속 단자의 접속에 따른 간섭을 충분하게 배제함에 의해 반도체 소자의 테스트에 따른 신뢰도를 향상시킬 수 있기 때문에 반도체 소자의 제조에 따른 신뢰도의 향상을 통하여 제품 경쟁력의 강화를 기대할 수 있다.
또한, 언급한 본 발명의 테스트 핸들러용 테스트 트레이는 조립의 용이성 및 테스트 트레이 자체에 대한 수명의 연장에 의해 반도체 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 통하여 가격 경쟁력의 강화를 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 인서트 13 : 반도체 소자
15 : 접속 단자 21 : 본체
23 : 공간 31 : 인쇄회로기판
33 : 전기 접속부 35 : 접속 정렬부
37 : 배선 41 : 볼트
100 : 테스트 트레이

Claims (2)

  1. 테스트를 위한 반도체 소자가 안착될 수 있는 다수개의 인서트를 구비하는 테스트 핸들러용 테스트 트레이에 있어서,
    상기 인서트는,
    상기 반도체 소자가 안착될 수 있는 공간을 제공하는 본체;
    상기 반도체 소자가 안착될 때 상기 반도체 소자의 접속 단자와 마주하게 위치하도록 상기 본체 하부에 구비되는 인쇄회로기판;
    상기 반도체 소자가 상기 본체에 안착될 때 상기 반도체 소자의 접속 단자와 마주하게 위치하는 상기 인쇄회로기판의 일면에 상기 반도체 소자의 접속 단자와 접촉함에 의해 상기 반도체 소자의 접속 단자와 전기적으로 연결됨과 아울러 상기 인쇄회로기판의 배선과 전기적으로 연결되는 전기 접속부; 및
    상기 전기 접속부의 주변을 둘러싸도록 구비되고, 상기 반도체 소자의 접속 단자가 상기 전기 접속부에 접속할 때 상기 반도체 소자의 접속 단자와 상기 전기 접속부 사이를 정렬시키는 접속 정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 테스트 트레이.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 인쇄회로기판은 상기 본체에 볼트 조립에 의해 결합되는 구조를 갖도록 구비하고, 상기 전기 접속부는 도전성 고무 재질로 이루어지고, 상기 전기 접속부 및 상기 접속 정렬부는 증착 공정을 수행함에 의해 상기 인쇄회로기판의 일면에 형성되도록 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 테스트 트레이.
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