KR101415999B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판처리장치는 기판이 탑재된 트레이가 챔버 내로 이동하여 상기 기판에 대한 소정의 공정을 진행하는 기판처리장치에 있어서, 상기 트레이가 상기 챔버 내부에서 정위치에 위치하도록 상기 트레이의 위치를 결정하는 위치결정수단을 포함하고, 상기 위치결정수단은 상기 트레이의 중앙부가 상기 챔버 내부의 정위치에 위치하도록 상기 트레이의 중앙부를 기준으로 위치를 상기 트레이의 위치를 결정하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판처리장치 {Substrate treating apparatus}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판이 안착되는 트레이를 챔버 내부의 정위치에 안착시킬 수 있는 기판처리장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 또는 태양광 발전에 사용되는 솔라셀(solar cell) 등의 기판 상에 박막을 형성하기 위한 증착법으로 화학기상증착법(CVD : Chemical Vapor Deposition), 플라즈마 화학기상증착법(PECVD : Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), 원자층증착법(ALD : Atomic Layer Deposition) 및 플라즈마 원자층증착법(PEALD : Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) 등의 다양한 기술이 사용되고 있다.
상기 기판이 트레이 등에 안착되어 증착공정을 수행하는 챔버 내부로 반입되는 경우에 챔버 내부의 정위치, 즉 챔버 내부의 중앙부에 위치하는 것이 중요하다. 기판과 챔버의 내벽면 사이의 거리가 일정하게 유지되어야 공정가스가 공급되는 경우에 기판의 모든 영역에서 가스의 유동이 일정하여 기판 표면에 균일한 두께를 가지는 박막이 형성될 수 있기 때문이다.
그런데, 일반적으로 기판이 챔버 내부로 반입되기 전에 공정시간의 단축을 위하여 기판을 예열하는 공정을 거치게 된다. 상기 예열공정을 거친 트레이가 챔버 내부로 반입되는 경우에 가열에 의해 열팽창이 발생하게 되며, 열팽창으로 인하여 트레이 중앙부와 챔버 내부의 중앙부의 정렬이 어긋날 수 있다. 이러한 정렬의 어긋남은 기판과 챔버 내벽면 사이의 거리를 일정하게 유지할 수 없게 하여 가스 유동의 불균일을 초래하여 박막의 품질을 떨어뜨리게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 기판이 안착된 트레이가 챔버 내부로 이동하는 경우에 트레이가 챔버 내부의 정위치에 위치할 수 있도록 하는 기판처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 트레이가 가열되어 열팽창을 하는 경우에도 트레이와 챔버의 정렬이 어긋나지 않도록 하는 기판처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
나아가, 본 발명은 단순한 구조에 의해 트레이와 챔버의 정렬을 용이하게 맞출 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 본 발명의 목적은 기판이 탑재된 트레이가 챔버 내로 이동하여 상기 기판에 대한 소정의 공정을 진행하는 기판처리장치에 있어서, 상기 트레이가 상기 챔버 내부에서 정위치에 위치하도록 상기 트레이의 위치를 결정하는 위치결정수단을 포함하고, 상기 위치결정수단은 상기 트레이의 중앙부가 상기 챔버 내부의 정위치에 위치하도록 상기 트레이의 중앙부를 기준으로 위치를 결정하게 된다.
여기서, 상기 위치결정수단은 상기 트레이 및 상기 챔버의 어느 하나에 구비되는 수용부와, 다른 하나에 구비되어 상기 수용부에 수용되며 상기 트레이의 위치를 결정하는 위치결정부재를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 위치결정수단은 상기 트레이의 측면 또는 하면에 구비된 수용부와, 상기 수용부에 수용되어 상기 트레이의 위치를 결정하는 위치결정부재를 포함할 수 있다. 나아가, 기판 및 트레이의 회전을 방지하기 위하여 상기 수용부와 위치결정돌기는 한 쌍 이상 구비될 수 있다.
구체적으로, 일 실시예에서 상기 수용부는 상기 트레이의 측면 또는 하면을 따라 일단에서 상기 트레이의 중앙까지 연장 형성된 가이드슬릿을 포함할 수 있다. 또한, 상기 위치결정부재는 상기 트레이가 상기 챔버 내부로 진입하는 경우에 상기 가이드슬릿에 선택적으로 삽입되는 위치결정바를 포함할 수 있다.
한편, 다른 실시예에서 상기 수용부는 상기 트레이의 측면 또는 하면의 중앙부에 구비된 수용홈을 포함할 수 있으며, 상기 위치결정부재는 소정의 탄성력에 의해 상기 트레이를 향해 가압되는 위치결정돌기를 구비할 수 있으며, 상기 트레이가 정위치에 위치하는 경우에 상기 위치결정돌기는 상기 탄성력에 의해 상기 수용홈에 삽입되어 상기 트레이의 위치가 결정될 수 있다. 즉, 상기 위치결정부재는 상기 트레이를 향해 소정거리 왕복 직선운동 가능하게 구비되는 하우징, 상기 하우징에서 돌출 가능하게 구비되는 위치결정돌기 및 상기 위치결정돌기가 돌출되도록 가압하는 탄성부재를 구비할 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 기판처리장치에 따르면, 기판이 안착된 트레이가 챔버 내부로 이동하는 경우에 트레이가 챔버 내부의 정위치에 정확하게 위치할 수 있도록 한다. 또한, 트레이가 예열 또는 가열에 의해 열팽창을 하는 경우에도 트레이와 챔버의 정렬이 어긋나지 않도록 한다. 나아가, 본 발명의 기판처리장치는 단순한 구조에 의해 트레이와 챔버의 정렬을 용이하게 맞출 수 있도록 하여 기판처리장치의 설치면적(footprint)을 최소화할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 기판처리장치를 도시한 측단면도,
도 2는 다른 실시예에 따른 기판처리장치를 도시한 측단면도,
도 3은 트레이의 평면도,
도 4 및 도 5는 기판이 안착되는 트레이를 도시한 사시도,
도 6은 다른 실시예에 따른 트레이를 도시한 사시도,
도 7은 도 6에서 위치결정부재의 구조를 도시한 사시도,
도 8은 도 6에 따른 위치결정수단에 의해 트레이의 위치가 고정된 상태를 도시한 일부 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 기판처리장치에 대해서 상세하게 살펴보도록 한다.
도 1은 일 실시예에 따른 기판처리장치(1000)를 도시한 측단면도이다.
도 1을 참조하면, 기판처리장치(1000)는 기판(1)이 수용되어 상기 기판(1)에 대한 소정의 공정을 진행하는 챔버(10)를 구비한다. 상기 챔버(10)는 상부가 개구된 몸체(14)와, 몸체(14)의 상부에 연결되어 몸체(14)와 사이에 기판(1)이 수용되어 공정을 진행하는 반응공간(16)을 형성하는 챔버리드(12)를 구비할 수 있다.
챔버(10)는 내부에 기판(1)을 수용하여 기판(1)에 대한 소정의 공정, 예를 들어, 원료가스 및/또는 반응가스를 공급하여 기판(1)에 대해 박막을 증착하는 증착공정을 수행할 수 있다. 챔버리드(12)의 상부에는 소정의 원료가스 및/또는 반응가스를 공급할 수 있는 가스공급부(20)를 구비하며, 상기 가스공급부(20)로 가스를 공급하는 가스공급원(미도시) 및 상기 가스공급원과 가스공급부(20)를 연결하는 공급라인(22)을 구비한다. 한편, 도면에 도시되지는 않았지만, 상기 증착공정을 촉진시키고 박막의 품질을 높이기 위하여 공정가스를 활성화시켜 활성화 원자 또는 라디칼 형태의 공정가스를 공급하는 가스활성화유닛(미도시)을 더 구비할 수 있다. 예를 들어, 상기 가스활성화유닛은 플라즈마 발생부, 초고주파 발생부, 자외선 조사부, 레이저 조사부 중 어느 하나의 형태로 제공될 수 있다.
한편, 챔버(10)의 몸체(14)에는 트레이(70)가 반입되거나, 또는 반출될 수 있는 개구부(40)를 구비할 수 있다. 상기 개구부(40)는 도면에 도시된 바와 같이 몸체(14)에 한 쌍 구비될 수 있다. 개구부(40)는 도어장치(18)에 의해 개방되거나 폐쇄될 수 있다.
트레이(70)는 롤러(72)와 같은 구름부재를 구비하며, 실린더(미도시) 등의 구동에 의해 챔버(10) 내부로 이동하게 된다. 본 실시예에 따른 기판처리장치(1000)는 트레이(70)의 상부에 기판(1)이 안착되고, 트레이(70)가 이동하여 공정을 진행하게 된다.
몸체(14)의 내부에는 트레이(70)가 안착되며 트레이(100) 및 기판(1)을 가열하는 히터부(30)를 구비한다. 본 실시예에서는 트레이(70)에 기판(1)이 안착되어 챔버(10) 내부로 이동하게 된다. 따라서, 챔버(10) 내부로 트레이(70)가 이동한 경우에 하부에서 히터부(30)가 상승하면서 트레이(70)가 히터부(30)의 상부에 안착된다. 이를 위하여, 히터부(30)는 트레이(70)가 안착되는 안착부(32)와 안착부(32)에서 연장되어 모터와 같은 구동부에 연결되어 승하강하는 승강축(34)을 구비한다.
상기와 같은 구성을 가지는 기판처리장치(1000)의 동작을 살펴보면, 먼저 일측 개구부(40)의 도어장치(18)가 개방되어 기판(1)이 안착된 트레이(70)가 챔버(10) 내부로 반입된다. 트레이(70)가 챔버(10) 내부의 정위치, 즉 챔버(10) 내부의 중앙부에 위치하게 되면 하부의 히터부(30)가 상승하여 트레이(70)가 히터부(30)의 상부에 안착된다. 이어서, 히터부(30)의 구동에 의해 기판(1)을 가열하며, 가스공급부(20)의 구동에 의해 소정의 원료가스 및/또는 반응가스를 공정에 따라 공급하게 된다. 한편, 트레이(70) 및 기판(1)은 상기 챔버(10) 내부로 반입되기에 앞서 소정의 온도로 가열되는 예열공정을 거칠 수 있다. 챔버(10) 내부로 반입된 상태에서 히터부(30)의 구동에 의해 공정온도로 가열하게 되면 가열시간이 많이 소요될 수 있으므로 챔버(10) 내부로 반입되기 전에 미리 가열하는 예열공정을 거치게 된다. 상기 예열공정은 예를 들어 트레이(70)를 대략 400℃ 정도로 가열할 수 있다.
그런데, 전술한 바와 같이 예열과정 또는 챔버(10) 내부의 히터부(30)에 의해 트레이(70)가 가열되면 트레이(70)는 열팽창을 하게 된다. 트레이(70)의 크기에 따라 열팽창 정도가 달라지지만, 예를 들어 최근 기판의 대형화 추세에 따라 트레이(70)가 대형화되는 경우에 상기 가열에 의해 트레이(70)는 대략 10 ~ 15mm 정도 팽창할 수 있다. 이와 같이 트레이(70)가 열팽창을 하게 되면 트레이(70)가 챔버(10) 내부에 안착된 경우에 트레이(70)와 챔버(10)의 정렬이 어긋날 수 있다.
예를 들어, 트레이(70)가 챔버(10) 내부로 진입하는 경우에 트레이(70)의 진행방향을 따라 전방에 트레이(70)의 위치를 결정하는 스토퍼(60)를 구비할 수 있다. 트레이(70)가 챔버(10) 내부로 진입하는 경우에 트레이(70)의 위치를 결정하기 위하여 스토퍼(60)는 하부에서 상부로 돌출할 수 있다. 즉, 트레이(70)가 진행하는 중에 트레이(70)의 전방이 상기 스토퍼에 의해 고정되는 경우에 트레이(70)의 위치가 고정되는 것이다.
그런데, 상기와 같이 트레이(70)의 전방을 기준으로 위치를 고정하게 되면, 트레이(70)가 가열되어 열팽창을 하는 경우에 트레이(70)의 측면 및 후방을 향해서 열팽창을 하게 된다. 트레이(70)의 전방은 스토퍼에 의해 위치가 고정되므로 트레이(70)가 모든 방향을 향해서 열팽창을 하게 되면 트레이(70)의 측면 및 후방을 향해 늘어나기 때문이다. 이와 같이, 트레이(70)의 어느 한쪽이 열팽창을 하게 되면 결국 트레이(70)와 챔버(10)의 중심의 정렬이 어긋나게 되며, 나아가 트레이(70)와 챔버(10) 내벽 간의 거리가 달라지게 된다. 도면에 도시된 바와 같이, 트레이(70)의 전방과 챔버(10) 내벽 사이의 거리(L1)에 비해 트레이(70)의 후방과 챔버(10) 내벽 사이의 거리(L2)가 더 짧아진다. 이처럼, 트레이(70)와 챔버(10) 내벽의 거리가 달라지면, 후속하는 증착공정 등에서 분사된 가스의 유동 패턴이 트레이(70)와 챔버(10) 내벽 사이의 거리에 따라 달라져 결국 기판에 증착되는 박막의 두께가 균일하지 않고 불균일하게 증착될 수 있다. 이하에서는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 위치결정수단을 구비한 기판처리장치에 대해서 살펴보기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치(1000)를 도시한다. 도 2에 따른 기판처리장치(1000)는 트레이(100)의 위치를 결정하는 경우에 트레이(100)의 중앙부를 고정하여 트레이(100)의 위치를 고정한다는 점에서 전술한 실시예와 차이가 있다. 한편, 도 1과 동일한 부재에 대해서는 동일한 도면번호를 사용하였음을 밝혀둔다. 이하, 차이점을 중심으로 살펴본다.
도 2를 참조하면, 기판처리장치(1000)는 트레이(100)가 챔버(10) 내부에서 정위치에 위치하도록 트레이(100)의 위치를 결정하는 위치결정수단을 포함한다. 여기서, 상기 위치결정수단은 트레이(100)의 중앙부가 챔버(10) 내부의 중앙부에 위치하는 경우에 트레이(100)의 중앙부를 기준으로 정렬을 하게 된다.
도 3은 트레이(100)의 중앙부를 지나는 임의의 선(A)을 기준으로 챔버(10) 중앙부와 정렬을 한 상태를 도시한다. 상기와 같은 경우에 트레이(100)의 위치를 고정하는 경우에 트레이(100)를 중앙부를 지나는 선(A)을 따라 트레이(100)를 고정할 수 있다. 따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 트레이(100)의 중앙부를 기준으로 정렬을 하게 되면 트레이(100)가 열팽창을 하는 경우에도 트레이(100')의 모든 방향을 향해 열팽창을 하게 되므로 트레이(100')의 중앙부는 여전히 챔버(10) 중앙부와 정렬을 유지할 수 있다. 결국, 후속하는 증착공정 등에서 분사된 가스의 유동 패턴을 일정하게 유지할 수 있어, 기판에 증착되는 박막의 두께를 균일하게 유지할 수 있다. 이하에서는 도면을 참조하여 다양한 실시예들에 따른 위치결정수단을 살펴보기로 한다.
도 4 및 도 5는 일 실시예에 따른 위치결정수단을 구비한 트레이(100)를 도시한다. 도 4는 트레이(100)가 챔버(10) 내부로 진입하는 경우를 도시하며, 도 5는 트레이(100)가 상기 위치결정수단에 의해 위치가 결정된 상태를 도시한다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 위치결정수단은 전술한 바와 같이 트레이(100)의 위치를 결정하는 경우에 트레이(100)의 중앙부를 기준으로 챔버(10)와 정렬을 하게 되며, 보다 구체적으로는 트레이(100)의 중앙부를 고정하여 트레이(100)의 위치를 결정하게 된다
이를 위하여, 상기 위치결정수단은 트레이(100) 및 챔버(10)의 어느 하나에 구비되는 수용부(120)와, 다른 하나에 구비되어 수용부에 수용되며 트레이(100)의 위치를 결정하는 위치결정부재(200)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 수용부는 홈 또는 슬릿과 같은 형태로 구비될 수 있으며, 상기 위치결정부재는 상기 수용부에 선택적으로 삽입될 수 있는 돌기 형태로 구비될 수 있다.
본 실시예에서 상기 수용부(120)는 트레이(100)의 측면 또는 하면에 구비될 수 있으며, 상기 위치결정부재(200)는 상기 수용부에 대응하여 상기 챔버(10)의 일측에 구비될 수 있다.
한편, 상기 수용부와 위치결정부재는 도면에 도시된 바와 같이 한 쌍 구비될 수 있으며, 보다 구체적으로 트레이(100)의 진행방향에 대해 수직한 방향으로 소정거리 이격되어 구비될 수 있다. 도면에서는 트레이(100)의 양측면에 한 쌍의 수용부(120)를 구비하고, 이에 대응하여 챔버(10)에 한 쌍의 위치결정부재(200)를 구비한 예를 도시한다. 그런데, 상기 실시예는 일예를 들어 설명한 것에 지나지 않으며, 예를 들어 트레이(100)의 하면에 소정거리 이격된 수용부를 구비하고, 챔버(10)의 바닥에 상기 수용부에 대응하는 위치결정부재를 구비하는 것도 물론 가능하다.
한편, 본 실시예에서 위치결정수단을 적어도 한 쌍 구비하는 이유는 트레이(100)가 진행방향을 따라 회전 또는 틸팅(tilting)하는 것을 방지하기 위함이다. 즉, 위치결정수단이 예를 들어 트레이(100)의 일측에만 구비된다면 트레이(100)가 위치결정수단에 의해 멈추는 경우에 위치결정수단을 기준으로 소정의 회동 또는 틸팅을 할 수 있다. 이러한 회전 또는 틸팅은 트레이(100)와 챔버(10)이 정렬을 어긋나게 하는 요인으로 작용하므로 상기 문제점을 해결하기 위하여 본 실시예에서는 적어도 한 쌍의 위치결정수단을 구비하는 것이다. 즉, 트레이(100)의 양측면을 따라 한 쌍의 위치결정수단을 구비하게 되면 위치결정수단에 의해 트레이가 멈추는 경우에 트레이(100)의 회전 또는 틸팅 없이 트레이(100)를 멈추는 것이 가능하다.
본 실시예에서 수용부(120)는 트레이(100)의 일단에서 트레이(100)의 측면 또는 하면을 따라 중앙까지 연장 형성된 가이드부(122)를 포함할 수 있다. 또한, 위치결정부재(200)는 트레이(100)가 챔버(10) 내부로 진입하는 경우에 상기 가이드부(122)에 선택적으로 결합되는 위치결정바(220)를 구비할 수 있다. 이하에서는 도면에 도시된 바와 같이 트레이(100)의 측면에 가이드부(122)가 구비된 경우를 상정하여 설명한다.
예를 들어, 상기 가이드부(122)는 슬릿 형상을 가질 수 있으며, 위치결정바(220)는 상기 슬릿에 삽입되도록 구비된다. 가이드부(122)는 트레이(100)의 진행방향을 따라 전방에서 후방을 향해 연장 형성되며, 트레이(100)의 중앙부를 지나는 임의의 선(A)까지 연장될 수 있다. 가이드부(122)는 소정 깊이로 형성되며, 후술하는 위치결정부재(200)가 삽입되기에 충분한 깊이로 결정될 수 있다.
한편, 위치결정부재(200)는 트레이(100)가 챔버(10) 내부로 진입하는 경우에 가이드부(122)에 선택적으로 삽입 및/또는 결합되는 위치결정바(220)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 위치결정부재(200)는 트레이(100)를 향해 소정거리 직선 왕복운동 가능하게 구비되는 바디부(210)와 상기 바디부(210)에서 소정길이 연장 형성된 위치결정바(220)를 구비할 수 있다.
따라서, 챔버(10) 내부로 트레이(100)가 실린더(미도시) 등의 구동에 의해 롤러(110)의 구름에 의해 진입하게 되면, 위치결정부재(200)는 트레이(100)를 향해 소정거리 이동하게 된다. 이어서, 트레이(100)가 진행방향을 따라 진입하는 경우에 위치결정부재(200)의 위치결정바(220)는 트레이(100)의 가이드부(122)에 삽입된다. 트레이(100)가 계속 진행하여 도 5와 같이 위치결정바(220)가 가이드부(122)의 단부에 이르게 되면, 트레이(100)는 더 이상 진행하지 못하고 위치가 결정된다. 이와 같이, 트레이(100)의 위치가 결정되는 경우에 트레이(100)는 중앙부를 지나는 임의의 선(A)을 기준으로 정렬이 이루어지며, 트레이(100)의 양측 중앙부를 고정하게 되어 열팽창이 발생하여도 트레이(100)와 챔버(10)의 정렬이 어긋나지 않게 된다.
한편, 상기와 같은 상태에서 기판에 대한 공정이 종료되어 트레이(100)가 챔버(10)의 외부로 반출되고자 하는 경우, 먼저 위치결정부재(200)가 트레이(100)에서 멀어지는 방향으로 소정거리 이동하여 위치결정바(220)가 가이드부(122)에서 반출된다. 이에 의해 트레이(100)가 자유롭게 이동 가능한 상태가 되면, 실린더(미도시) 등의 구동에 의해 트레이(100)가 이동하여 챔버(10)에서 반출된다.
도 6은 다른 실시예에 따른 위치결정수단을 구비한 기판처리장치의 트레이를 도시한다.
도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 위치결정수단에서 수용부는 트레이(100)의 측면 또는 하면의 중앙부에 구비된 수용홈(350)으로 이루어질 수 있으며, 위치결정부재(300)는 소정의 탄성력에 의해 트레이(100)를 향해 가압되는 위치결정돌기(320, 도 7 참조)를 구비할 수 있다. 즉, 트레이(100)가 정위치에 위치하는 경우에 위치결정돌기(320)는 상기 탄성력에 의해 수용홈(350)에 삽입되며, 이에 의해 트레이(100)의 위치가 결정된다.
상기 수용홈(350)은 도면에 도시된 바와 같이 트레이(100)의 양측면에 중앙부를 지나는 선(A)을 따라 형성된다. 한편, 도면에는 도시되지 않았지만 수용홈은 트레이(100)의 하면에도 형성될 수 있다. 이 경우, 전술한 바와 같이 트레이의 회전 또는 틸팅을 방지하기 위하여 진행방향에 대해 수직한 방향으로 소정거리 이격되어 한 쌍 구비될 수 있다.
한편, 위치결정부재(300)는 탄성력에 의해 돌출되는 위치결정돌기(320)를 구비하게 되며, 다양한 형태로 실현 가능하다. 도 7은 일 실시예에 따른 위치결정부재(300)의 구성을 도시한 단면도이다.
도 7을 참조하면, 위치결정부재(300)는 트레이(100)를 향해 소정거리 왕복 직선운동 가능하게 구비되는 하우징(310), 하우징(310)에서 돌출 가능하게 구비되는 위치결정돌기(320) 및 위치결정돌기(320)가 돌출되도록 가압하는 탄성부재(340)를 구비할 수 있다.
하우징(310)은 내부에 수용공간이 형성되며 일측에 위치결정돌기(320)가 돌출되는 개구부(312)를 구비한다. 위치결정돌기(320)는 하우징(310)의 내부에서 상기 개구부(312)를 통하여 소정길이 돌출되도록 구비된다. 이 경우, 위치결정돌기(320)가 개구부(312)에서 완전히 빠지는 것을 방지하기 위하여 걸림턱(330)을 구비할 수 있다. 탄성부재(340)의 탄성력에 의해 위치결정돌기(320)가 돌출되는 경우에도 걸림턱(330)이 개구부(312)의 가장자리에 간섭되어 위치결정돌기(320)가 더 이상 돌출되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 하우징(310)의 내부에는 탄성부재(340)가 위치결정돌기(320)에 소정의 탄성력을 제공하도록 구비된다. 도면에서 탄성부재(340)는 코일스프링 형태로 도시되었지만, 이에 한정되지 않으며 판 스프링 등의 다양한 형태로 구비될 수 있다.
도 8은 본 실시예에 따른 위치결정수단의 구동을 도시한 개략도이다.
도 8을 참조하면, 트레이(100)가 챔버(10) 내부로 진입하면 위치결정부재(300)가 도면에 도시된 바와 같이 '①'의 위치에서 트레이(100)를 향해 '②'의 위치로 이동하게 된다. 위치결정부재(300)가 '①'의 위치에 위치한 경우, 위치결정돌기(320)는 탄성부재(340)의 탄성력에 의해 소정길이 돌출된다. 이어서, 위치결정부재(300)가 '②'의 위치로 이동하게 되는데, 상기 '②'의 위치는 위치결정부재(300)의 하우징(310)이 트레이(100)의 측면에 밀착한 경우에 해당한다. 따라서, 위치결정부재(300)가 '②'의 위치로 이동하게 되면, 위치결정돌기(320)는 트레이(100)에 밀려서 하우징(310)의 내부로 삽입된다. 이어서, 트레이(100)가 이동하여 위치결정부재(300)가 트레이(100)의 측면에 구비된 수용홈(350)에 이르게 되면, 위치결정부재(300)의 위치결정돌기(320)가 탄성력에 의해 돌출되어 수용홈(350)으로 삽입된다. 이에 의해, 트레이(100)의 위치가 결정되어 후속하는 각종 공정이 진행된다. 한편, 트레이(100)가 챔버(10)에서 반출되는 경우에는 위치결정돌기(320)가 수용홈(350)에 삽입된 상태에서 트레이(100)에서 멀어지는 방향으로 소정거리 이동한 다음, 트레이(100)가 이동하게 된다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.
10...챔버 20...가스공급부
30...히터부 100...트레이
120...수용부 122...가이드부
200, 300...위치결정부재

Claims (10)

  1. 기판이 탑재된 트레이가 챔버 내로 이동하여 상기 기판에 대한 소정의 공정을 진행하는 기판처리장치에 있어서,
    상기 트레이가 상기 챔버 내부에서 정위치에 위치하도록 상기 트레이의 위치를 결정하는 위치결정수단을 포함하고,
    상기 위치결정수단은 상기 트레이의 중앙부가 상기 챔버 내부의 정위치에 위치하도록 상기 트레이의 중앙부를 기준으로 위치를 결정하며,
    상기 위치결정수단은 상기 트레이의 측면 또는 하면을 따라 상기 트레이의 일단에서 상기 트레이의 중앙까지 연장 형성된 가이드부를 포함하는 수용부와, 상기 수용부에 선택적으로 수용되어 상기 트레이의 위치를 결정하는 위치결정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 수용부는 상기 트레이의 진행방향에 대해 수직한 방향으로 소정거리 이격되어 한 쌍 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 위치결정부재는
    상기 트레이가 상기 챔버 내부로 진입하는 경우에 상기 가이드부에 선택적으로 결합되는 위치결정바를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 가이드부는 슬릿 형상을 가지고, 상기 위치결정바는 상기 슬릿에 선택적으로 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
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