KR20050009066A - 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 - Google Patents

반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 Download PDF

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KR20050009066A
KR20050009066A KR1020030048319A KR20030048319A KR20050009066A KR 20050009066 A KR20050009066 A KR 20050009066A KR 1020030048319 A KR1020030048319 A KR 1020030048319A KR 20030048319 A KR20030048319 A KR 20030048319A KR 20050009066 A KR20050009066 A KR 20050009066A
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이기현
김성봉
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미래산업 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈에 관한 것으로, 테스트 대상 반도체 소자의 종류 및 크기에 따라 캐리어 모듈 전체를 교체하지 않고 반도체 소자가 안착되는 부분만을 용이하게 교체하여 사용할 수 있도록 하여 범용성 및 정밀도를 향상시킨 것이다.
이를 위해 본 발명은, 하부면에 통전(通電)을 위한 복수개의 볼이 형성된 반도체 소자를 착탈 가능하게 장착하는 캐리어 모듈에 있어서, 테스트 트레이에 설치되는 캐리어 모듈 몸체와; 상기 캐리어 모듈 몸체와는 개별체로 구성되며, 반도체 소자가 안착되고 그 하부면에는 반도체 소자의 볼들이 외측으로 노출되도록 관통공이 형성되어 있는 안착부를 구비한 소자 안착용 셔틀과; 상기 캐리어 모듈 몸체의 일면에서 상기 소자 안착용 셔틀을 고정 및 해제하도록 설치되어 상기 소자 안착용 셔틀을 캐리어 모듈 몸체의 일면에 부착 및 분리시키는 착탈유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공한다.

Description

반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈{Carrier Module for Semiconductor Test Handler}
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러 장비에서 테스트 트레이에 장착되는 캐리어 모듈에 관한 것으로, 특히 핸들러의 테스트 트레이에 장착되어 개별 반도체 소자를 착탈가능하게 고정하는 캐리어 모듈에 있어서, 테스트하는 반도체 소자의 종류가 달라질 때 캐리어 모듈 전체를 교체하지 않고 일부분만 용이하게 교체하여 사용할 수 있도록 함으로써 범용성을 향상시킬 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러는 생산현장에서 제조된 반도체 소자 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장비이다.
이러한 핸들러에서는 작업자가 테스트할 반도체 소자를 수납한 트레이들을 핸들러의 로딩스택커에 적재한 후, 로딩스택커의 반도체 소자들을 별도의 테스트 트레이에 재장착하고, 이 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 보내 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트 소켓의 컨넥터에 전기적으로 접속시켜 소정의 테스트를 수행한 다음, 다시 테스트 트레이의 반도체 소자들을 분리하여 언로딩스택커의 고객 트레이에 테스트 결과에 따라 분류장착하는 과정으로 테스트를 수행한다.
첨부된 도면의 도 1과 도 2는 상기와 같이 핸들러에서 반도체 소자를 테스트 공정간에 이송하기 위한 테스트 트레이와 이 테스트 트레이에 장착되어 개별 반도체 소자들을 착탈가능하게 홀딩하도록 된 종래의 BGA 타입 반도체 소자 테스트용 캐리어 모듈의 구조를 나타낸 것으로, 테스트 트레이(1)는 금속재질의 사각 프레임(11)에 반도체 소자를 착탈가능하게 장착하는 복수개의 캐리어 모듈(2)이 일정 간격으로 배열되어 구성된다.
상기 캐리어 모듈(2)은 직사각형 형태의 몸체(2a) 상에 반도체 소자(D)가 안착되는 소자안착부(2b)가 구비되고, 이 소자안착부(2b)의 양측에 반도체 소자(D)를 홀딩하는 한 쌍의 랫치(2c)가 설치되어 구성된다.
여기서, 상기 랫치(2c)는 몸체(2a) 내부에 설치된 힌지축(미도시)을 중심으로 상하로 선회하면서 벌어졌다 오므려졌다 하며 소자안착부(2b) 상에 안착된 반도체 소자(D)의 양측 가장자리의 볼(Db)이 형성되지 않은 부분을 홀딩하게 된다.
상기와 같은 종래의 캐리어 모듈(2)은 볼형성면이 외측을 향하도록 반도체 소자(D)를 홀딩하게 되는데, 이렇게 반도체 소자(D)가 장착된 테스트 트레이(1)가 핸들러의 테스트 사이트로 이송되면, 테스트 사이트에 설치된 인덱스유니트(Index Unit)가 상기 캐리어 모듈(2)을 테스트 소켓 쪽으로 밀어 반도체 소자(D)의 볼(Db)이 소켓의 단자핀(미도시)과 접속되도록 함으로써 소정의 테스트를 수행한다.
그런데, 상기와 같은 종래의 볼그리어레이(BGA) 타입 반도체 소자를 홀딩하는 캐리어 모듈들은 반도체 소자를 홀딩하기 위한 주요 구성요소들이 하나의 몸체내에 일체로 통합되어 구성되어 있으므로, 테스트하고자 하는 반도체 소자의 종류 및 크기가 바뀔 때마다 캐리어 모듈을 해당 소자 종류에 맞는 것으로 교체해주어야 하고, 이에 따라 교체에 따른 비용과 노력이 증가되는 문제가 있었다.
특히, 테스트하고자 하는 반도체 소자가 칩사이즈패키지(CSP)와 같이 매우 작고 랫치(2c)로 홀딩할 수 있는 영역이 매우 협소한 반도체 소자를 테스트하고자 할 경우에는 종래의 캐리어 모듈과 같은 구조로는 반도체 소자를 홀딩하기가 매우 어려웠다.
이러한 문제를 해결하고자, 일본 공개특허공보 특개2001-33519호(2001.2.9 공개)에 인서트(insert)에 BGA 또는 CSP IC칩이 안착되는 가이드코어를 IC칩 종류에 따라 용이하게 분리하여 착탈할 수 있도록 구성하여 정밀도 및 범용성을 향상시킨 '전자부품 시험장치용 인서트'가 개발되었다.
그러나, 상기와 같은 전자부품 시험장치용 인서트는 가이드코어를 인서트에 조립시켜 사용해야 하기 때문에 소자의 종류가 바뀔때마다 기존 가이드코어를 분리하고 해당 종류에 대응하는 가이드코어를 인서트에 조립시켜야 하므로 모든 인서트에 가이드코어를 조립하는데 따른 시간이 비교적 많이 소요되며, 별도 부품인 인서트와 가이드코어를 조립시 조립 오차가 발생할 경우 이러한 오차를 보정하기가 매우 어려워 정밀도가 저하되는 문제가 있었다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 테스트하고자 하는 반도체 소자의 종류가 달라질 때 테스트 트레이의 캐리어 모듈 전체를 교체하지 않고 반도체 소자가 안착되는 부분만을 용이하게 교체하여 사용할 수 있도록 하여 범용성을 향상시킨 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공함에 그 목적이 있다.
그리고, 본 발명의 다른 목적은 반도체 소자가 캐리어 모듈에 안착될 때 반도체 소자가 캐리어 모듈의 지정된 위치에 정위치될 수 있도록 함으로써 정밀도를 향상시키는 것이다.
도 1은 종래의 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈이 설치된 테스트 트레이의 구조를 나타낸 정면도
도 2는 도 1의 캐리어 모듈의 사시도
도 3은 본 발명에 따른 캐리어 모듈이 적용되는 반도체 소자 테스트 핸들러의 구성의 일례를 개략적으로 나타낸 평면 구성도
도 4는 본 발명에 따른 캐리어 모듈을 나타낸 요부 단면도
도 5는 도 4의 캐리어 모듈의 소자 안착용 셔틀의 평면도
도 6은 도 4의 캐리어 모듈의 소자 안착용 셔틀의 다른 실시예를 나타낸 평면도
도 7 내지 도 9는 각각 도 4의 캐리어 모듈의 작동례를 나타낸 요부 단면도
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
51 : 얼라이너 51a : 소자 안착홈
200 : 캐리어 모듈 210 : 캐리어 모듈 몸체
211 : 랫치 215 : 가이드리브
220, 230 : 소자 안착용 셔틀 221, 231 : 안착홈
222, 232 : 관통공 223 : 가이드홈
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 하부면에 통전(通電)을 위한 복수개의 볼이 형성된 반도체 소자를 착탈 가능하게 장착하는 캐리어 모듈에 있어서, 테스트 트레이에 설치되는 캐리어 모듈 몸체와; 상기 캐리어 모듈 몸체와는 개별체로 구성되며, 반도체 소자가 안착되고 그 하부면에는 반도체 소자의 볼들이 외측으로 노출되도록 관통공이 형성되어 있는 안착부를 구비한 소자 안착용 셔틀과; 상기 캐리어 모듈 몸체의 일면에서 상기 소자 안착용 셔틀을 고정 및 해제하도록 설치되어 상기 소자 안착용 셔틀을 캐리어 모듈 몸체의 일면에 부착 및 분리시키는 착탈유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공한다.
이와 같은 본 발명에 따르면, 소자가 안착되는 소자 안착용 셔틀이 캐리어 모듈 몸체와는 개별체로 구성되어, 테스트 과정에서 필요에 따라 착탈유닛에 의해 캐리어 모듈 몸체의 일면에 탈부착된다.
따라서, 반도체 소자의 종류가 달라질 경우 해당 종류에 맞는 소자 안착용셔틀을 캐리어 모듈 몸체에서 분리 및 조립하는 과정없이 테스트할 반도체 소자가 로딩되는 위치에 놓기만 하면, 테스트 과정에서 상기 착탈유닛이 소자 안착용 셔틀을 캐리어 모듈 몸체에 탈부착시키면서 테스트를 수행할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 이해를 돕기 위하여 본 발명의 캐리어 모듈이 적용되는 반도체 소자 테스트 핸들러의 구성의 일례를 첨부된 도면의 도 3을 참조하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.
도 3에 도시된 것과 같이, 핸들러의 전방부에는 테스트할 반도체 소자들이 다수개 수납되어 있는 고객용 트레이들이 적재되는 로딩스택커(10)가 설치되고, 이 로딩스택커(10)의 일측부에는 테스트 완료된 반도체 소자들이 테스트결과에 따라 분류되어 고객용 트레이에 수납되는 언로딩스택커(20)가 설치된다.
그리고, 핸들러의 중간부분의 양측부에는 상기 로딩스택커(10)로부터 이송되어 온 반도체 소자들을 일시적으로 장착하는 버퍼부(40)가 전후진가능하게 설치되어 있으며, 이들 버퍼부(40) 사이에는 버퍼부(40)의 테스트할 반도체 소자를 이송하여 테스트 트레이(T)에 재장착하는 작업과 테스트 트레이(T)의 테스트 완료된 반도체 소자를 버퍼부(40)에 장착하는 작업이 이루어지게 되는 교환부(50)가 설치되어 있다.
상기 로딩스택커(10) 및 언로딩스택커(20)가 배치된 핸들러 전방부와, 상기교환부(50) 및 버퍼부(40)가 배치된 핸들러 중간부 사이에는 X-Y축으로 선형 운동하며 반도체 소자들을 픽업하여 이송하는 제 1픽커(31)(picker)와 제 2픽커(32)가 각각 설치되어, 상기 제 1픽커(31)는 로딩스택커(10) 및 언로딩스택커(20)와 버퍼부(40) 사이를 이동하며 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 역할을 하고, 상기 제 2픽커(32)는 버퍼부(40)와 교환부(50) 사이를 이동하며 반도체 소자들을 픽업하여 이송하는 역할을 한다.
그리고, 핸들러의 후방부에는 예열챔버(71)와 테스트챔버(72) 및 디프로스팅챔버(73)의 다수개로 분할된 밀폐 챔버들 내에 고온 또는 저온의 환경을 조성한 뒤 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이(T)들을 각 챔버 간에 순차적으로 이송하며 소정의 온도 조건하에서 반도체 소자의 성능을 테스트하는 테스트사이트(70)가 위치된다.
상기 테스트챔버(73)의 후방에는 외부의 테스터(Tester)에 전기적으로 연결된 테스트보드(85)가 설치되며, 이 테스트보드(85)에는 테스트 트레이에 장착되는 반도체 소자의 갯수와 동일한 갯수의 테스트소켓(미도시)이 설치되는 바, 상기 테스트챔버(73)로 반송된 테스트 트레이의 반도체 소자들은 테스트소켓에 1대1로 전기적으로 접속되면서 테스트가 수행된다.
한편, 도 4는 발명에 따른 캐리어 모듈로서 볼그리드어레이(BGA) 타입의 반도체 소자를 홀딩하여 테스트하는 캐리어 모듈의 구조를 나타내고, 도 5는 상기 캐리어 모듈의 소자 안착용 셔틀의 일 실시예의 구조를 보여주는 도면들로, 캐리어 모듈(200)은 대략 직육면체 형태의 캐리어 모듈 몸체(210)와, 상기 캐리어 모듈 몸체(210)와는 개별체로 되어 반도체 소자를 안착하는 소자 안착용 셔틀(220)과, 상기 캐리어 모듈 몸체(210)의 하부에 설치되어 상기 소자 안착용 셔틀(220)의 양측면부를 착탈 가능하게 고정하는 한 쌍의 랫치(211)로 구성된다.
상기 소자 안착용 셔틀(220)은 테스트할 반도체 소자(D)의 크기에 상응하는 크기의 안착홈(221)이 형성되고, 이 안착홈(221)의 하부면에는 반도체 소자(D)의 볼(Db)이 소자 안착용 셔틀(220)의 외측으로 노출되도록 관통공(222)이 형성된다.
그리고, 상기 랫치(211)는 캐리어 모듈 몸체(210)의 하부면에서 벌어졌다 오므려지면서 반도체 소자의 양측면부를 홀딩할 수 있는 공지된 임의의 구성을 채택하여 구성할 수 있다.
예를 들어, 도 4에 도시된 것처럼 랫치(211)가 캐리어 모듈 몸체(210) 내측에 설치된 힌지축(214)을 중심으로 회전가능하게 설치되고, 캐리어 모듈 몸체(210)의 반대편에는 상기 랫치(211)의 내측단부와 연결되는 누름부재(212)가 몸체 내측으로 이동가능하게 설치되며, 상기 누름부재(212)는 캐리어 모듈 몸체(210) 내부에 설치되는 압축코일스프링(213)에 의해 탄성적으로 지지되도록 구성한다.
이와 같이 구성된 캐리어 모듈(200)은 상기 캐리어 모듈 몸체(210)의 외부에서 상기 누름부재(212)를 누르면 누름부재(212)에 연결된 랫치(211)가 힌지축(214)을 중심으로 선회하여 랫치(211)의 외측단부가 벌어지게 되고, 소자 안착용 셔틀(220)을 잡을 수 있는 상태로 된다.
이 상태에서 누름부재(212)에 가해지는 외력을 제거하면 압축코일스프링(213)의 탄성력에 의해 누름부재(212)가 원래의 위치로 복원되면서랫치(211)가 오므려지며 반도체 소자의 양측면부를 고정하게 된다.
물론, 이와는 다르게 본 출원인에 의해 출원되어 등록된 등록특허공보 10-0316807호(2001년 11월 24일 등록)의 캐리어 모듈에 적용된 랫치 구조를 채용하여 구성할 수도 있을 것이다.
한편, 상기 캐리어 모듈 몸체(210)의 하부에는 상기 랫치(211)에 의해 소자 안착용 셔틀(220)이 캐리어 모듈 몸체(210)에 부착될 때 부착위치를 안내하기 위한 4개의 가이드리브(215)들이 돌출되게 형성되고, 상기 소자 안착용 셔틀(220)의 네 가장자리 부분에는 상기 가이드리브(215)이 상응하여 삽입되는 가이드홈(223)이 형성된다.
따라서, 상기 랫치(211)가 소자 안착용 셔틀(220)을 캐리어 모듈 몸체(210)에 고정시킬 때 소자 안착용 셔틀(220)의 가이드홈(223)에 가이드리브(215)이 삽입되면서 소자 안착용 셔틀(220)이 캐리어 모듈 몸체(210)의 정확한 위치로 안내될 수 있으며, 결과적으로 캐리어 모듈에 대한 반도체 소자의 위치 정밀도가 향상되는 이점을 얻을 수 있다.
상기 가이드리브(215)과 가이드홈(223)은 캐리어 모듈 몸체(210)에 대한 소자 안착용 셔틀(220)의 위치를 가이드함으로써 정밀도를 향상시킬 수 있도록 한 것이나, 이와는 다르게, 상기 캐리어 모듈 몸체(210)의 하부에 상기 소자 안착용 셔틀(220) 상의 반도체 소자(D)들의 각 가장자리 외측과 연접하게 되는 복수개의 소자 가이드돌기(미도시)를 형성하여, 상기 소자 가이드돌기(미도시)들이 캐리어 모듈 몸체(210)에 대한 반도체 소자(D)의 위치를 가이드하여 정밀도를 향상시킬 수도있다. 이 경우, 캐리어 모듈 몸체에 대한 반도체 소자의 위치 정밀도는 향상되나 범용성은 저하되는 특징이 있다.
한편, 도 6은 소자 안착용 셔틀의 다른 실시예의 구조를 나타낸 것으로, 이 실시예에서는 소자 안착용 셔틀(230)의 안착홈(231)의 하부면 전체가 관통공으로 형성되지 않고, 안착홈(231)의 하부면에 반도체 소자의 각각의 볼(Db)과 1대1로 대응하도록 복수개의 관통공(232)들이 형성된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 캐리어 모듈의 작동을 도 7 내지 도 9를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 핸들러를 가동하기 전에 작업자가 테스트 대상 반도체 소자의 종류에 대응하는 소자 안착용 셔틀(220)을 얼라이너(51)의 각 소자 안착홈(51a) 상에 놓는 작업이 선행되는데, 물론 이러한 작업이 선행된다고 하더라도 소자 안착용 셔틀을 캐리어 모듈 몸체에 조립하는 것보다는 훨씬 수월하므로 작업 시간 및 노력이 기존보다는 절감될 것이다.
상기와 같이 얼라이너(51) 상에 소자 안착용 셔틀(220)이 놓여진 상태에서 핸들러가 가동되면, 제 1픽커(31)가 로딩스택커(10) 상의 테스트할 반도체 소자를 버퍼부(40)로 이송하여 놓는다.
이어서, 제 2픽커(32)가 버퍼부(40) 상의 반도체 소자를 픽업하여 교환부(50)의 얼라이너(51) 상으로 반송하는 작업을 수행하게 되는데, 이 때 상기 얼라이너(51)의 각 소자 안착홈(51a) 상에는 소자 안착용 셔틀(220)이 놓여져 있으므로 반도체 소자는 각 소자 안착용 셔틀(220)의 안착홈(221)에 놓여진다.
얼라이너(51) 상의 모든 소자 안착용 셔틀(220) 상에 반도체 소자(D)들이 놓여지면, 얼라이너(51)는 후방으로 이동하여 테스트 트레이(T)의 각 캐리어 모듈(200)의 캐리어 모듈 몸체(210)의 하측에 정렬된다.
이어서, 도 7에 도시된 것과 같이 테스트 트레이(T)의 상측에서 상부 푸싱유닛(55)이 하강하여 테스트 트레이(T)의 각 캐리어 모듈 몸체(210)의 누름부재(212)를 눌러 랫치(211)를 벌린다. 그리고, 하부 푸싱유닛(미도시)이 상기 얼라이너(51)를 일정량 상승시켜 얼라이너(51)의 소자 안착용 셔틀(220)을 캐리어 모듈 몸체(210)와 거의 연접하도록 한다.
이 상태에서 상기 상부 푸싱유닛(55)이 상승하여 상기 누름부재(212)를 누르고 있던 외력이 제거되면 도 8에 도시된 것과 같이 랫치(211)가 오므려지면서 얼라이너(51) 상의 소자 안착용 셔틀(220)을 고정하여 캐리어 모듈 몸체(210)에 부착시키게 되는데, 이 때 상기 소자 안착용 셔틀(220)은 그의 가이드홈(223)에 캐리어 모듈 몸체(210)의 가이드리브(215)이 삽입되면서 캐리어 모듈 몸체(210)의 하부면의 지정된 위치로 정확히 안내된다.
이와 같은 과정으로 테스트 트레이(T)의 각 캐리어 모듈 몸체(210)에 소자 안착용 셔틀(220)이 장착되면, 테스트 트레이(T)는 후방으로 반송되어 예열챔버(71) 및 테스트챔버(72)로 차례로 이동하고, 도 9에 도시된 것과 같이, 테스트챔버(72)에서 테스트 트레이(T)의 각 반도체 소자(D)들의 볼(Db)들이 테스트보드(85)의 테스트소켓 단자핀(86)에 전기적으로 접속되어 테스트된다.
테스트가 완료되면 테스트 트레이(T)는 디프로스팅챔버(73)를 거친 다음 다시 교환부(50)로 반송되고, 각각의 캐리어 모듈(200)의 랫치(211)가 벌어져 소자 안착용 셔틀(220)들이 상기 얼라이너(51)에 다시 놓여진다. 테스트 트레이(T)의 각 캐리어 모듈(200)들의 소자 안착용 셔틀(220)을 얼라이너(51)의 각 소자 안착홈(51a) 상에 언로딩하는 과정은 전술한 과정을 역으로 진행하면 되므로 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
얼라이너(51) 상에 소자 안착용 셔틀(220)이 모두 놓여지면 얼라이너(51)가 다시 전방으로 이동하고, 제 2픽커(32)가 얼라이너(51) 상의 반도체 소자들을 흡착하여 버퍼부(40)에 놓는다. 제 1픽커(31)는 버퍼부(40) 상의 반도체 소자들을 언로딩스택커(20)의 각 트레이에 테스트 결과별로 분류하여 장착한다.
상기와 같이 구성되어 작동되는 본 발명의 캐리어 모듈(200)은 사용자가 다른 종류 또는 크기의 반도체 소자를 테스트하고자 할 경우 캐리어 모듈(200)의 각 랫치(211)에 구속된 소자 안착용 셔틀(220)을 해방시켜 분리하고, 해당 반도체 소자의 종류와 크기에 맞는 소자 안착용 셔틀(220)을 얼라이너(51)의 각 소자 안착홈(51a) 상에 놓고 테스트를 진행하면 된다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 테스트하고자 하는 반도체 소자의 종류가 바뀔때 캐리어 모듈 전체를 교체하거나 캐리어 모듈에 반도체 소자를 안착하는 부분을 별도로 분리 및 조립할 필요없이, 반도체 소자가 안착되는 소자 안착용 셔틀을 캐리어 모듈과는 개별체로 구성하여 테스트 과정 중 필요에 따라 캐리어 모듈에 탈부착하기만 하면 되므로, 테스트 대상 반도체 소자의 교체시 해당 소자에 맞는 소자 안착용 셔틀만을 매우 용이하게 교체하여 사용할 수 있다.
따라서, 캐리어 모듈 교체에 따른 시간과 노력 및 비용을 대폭 감소시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 캐리어 모듈은 반도체 소자가 안착되는 소자 안착용 셔틀을 랫치와 같은 수단에 의해 몸체에 탈부착하고, 부착시 가이드핀 및 가이드홈과 같은 가이드수단에 의해 반도체 소자가 부착되는 위치를 정확하게 결정할 수 있으므로 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있는 효과도 있다.

Claims (11)

  1. 하부면에 통전(通電)을 위한 복수개의 볼이 형성된 반도체 소자를 착탈 가능하게 장착하는 캐리어 모듈에 있어서,
    테스트 트레이에 설치되는 캐리어 모듈 몸체와;
    상기 캐리어 모듈 몸체와는 개별체로 구성되며, 반도체 소자가 안착되고 그 하부면에 반도체 소자의 볼들이 외측으로 노출되도록 관통공이 형성된 안착부를 구비한 소자 안착용 셔틀과;
    테스트 공정 진행 중 외부 장치에 의해 상기 캐리어 모듈 몸체의 일면에서 상기 소자 안착용 셔틀을 임시적으로 고정 및 해제 작동하도록 설치되어, 상기 소자 안착용 셔틀을 캐리어 모듈 몸체의 일면에 부착 및 분리시키는 착탈유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 소자 안착용 셔틀이 착탈용 랫치에 의해 캐리어 모듈 몸체에 부착될 때 부착 위치를 안내하기 위한 가이드수단을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 가이드수단은, 상기 캐리어 모듈 몸체의 일면에 돌출되게 형성되어 캐리어 모듈 몸체에 부착되는 상기 소자 안착용 셔틀의 가장자리 외측면과 연접하며 안내하도록 된 적어도 1개의 가이드돌기로 구성된 것을 특징으로하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 캐리어 모듈 몸체의 가이드돌기는 소자 안착용 셔틀의 네 가장자리 외측면과 접하면서 가이드하도록 4개가 소정 간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  5. 제 2항에 있어서, 상기 가이드수단은, 상기 캐리어 모듈 몸체의 일면에 돌출되게 형성되는 적어도 1개의 가이드핀과, 상기 소자 안착용 셔틀에 상기 가이드핀에 대응하도록 형성되어 가이드핀이 삽입되는 가이드홈로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 가이드홈은 소자 안착용 셔틀의 각 가장자리 부분에 형성되고, 상기 가이드핀은 4개가 상기 각 가이드홈과 대응되는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 소자 안착용 셔틀의 소자 안착부는 소자의 크기 및 형태와 상응하는 크기와 형태를 갖도록 오목한 홈 형태로 형성되고, 상기 관통공은 상기 소자 안착부에 안착되는 반도체 소자의 가장자리 부분과 대응하는 부분을 제외한 전 영역에 걸쳐 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 소자 안착용 셔틀의 소자 안착부는 소자의 크기 및 형태와 상응하는 크기와 형태를 갖도록 오목한 홈 형태로 형성되고, 상기 관통공은 상기 소자 안착부에 안착되는 반도체 소자의 각 볼과 대응하도록 복수개가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 소자 안착용 셔틀이 캐리어 모듈 몸체에 부착될 때 상기 소자 안착용 셔틀 상에 안착된 반도체 소자의 위치를 안내하기 위한 소자 위치 가이드수단을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 소자 위치 가이드수단은 상기 캐리어 모듈 몸체의 일면에 돌출되게 형성되어 상기 소자 안착용 셔틀 상의 반도체 소자의 가장자리 외측면과 연접하면서 안내하는 적어도 1개의 가이드돌기로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 착탈유닛은 상기 캐리어 모듈 몸체의 일면에 소정간격 이격된 위치에 선회가능하게 대향 설치되어 소자 안착용 셔틀의 양측 하단부를 고정하는 한 쌍의 랫치와, 상기 랫치의 반대편에서 랫치에 결합되도록 설치되어 외부 장치에 의해 상기 랫치를 선회 작동시키는 작동부재와, 상기 캐리어 모듈 몸체내에서 상기 작동부재를 탄성적으로 지지하도록 설치되어 외부 장치의 외력이 제거되면 상기 작동부재를 원래 위치로 복귀시키며 랫치를 원래 상태로 선회시키는 탄성부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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