JP5904875B2 - ワークを搬送する装置のための可動範囲調整機構 - Google Patents
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Description
た不連続な把持位置を画定するように構成される。
図1(a)は、本発明の一実施形態によるワークの搬送装置の搬送機構10を示す斜視図である。図1(b)は、図1(a)の搬送機構10の一対のアームを拡大して示す斜視図である。搬送機構10は、ワークとして半導体ウェハ12を搬送する装置として図示されている。また、図1の搬送機構10は、たとえば、図12に示される半導体ウェハの研磨装置1000における洗浄機1004で用いられるものとすることができる。かかる半導体ウェハの研磨装置1000は、半導体ウェハが格納されたフロントロード部1020から、ロボット1022により半導体ウェハを研磨部1003に搬送し、研磨部1003で半導体ウェハを研磨し、各種の半導体ウェハ搬送機構により、半導体ウェハを洗浄機1004に移動させる。半導体ウェハの研磨装置1000の全体については、たとえば、国際公開第2007/099976号パンフレット(特許文献4)に開示のものを利用することができる。
に把持する把持機構としての4つのチャッキングユニット14、16、18、20を備えている。これらのチャッキングユニット14、16、18、20は、それぞれ1対のアーム14a、14b;16a、16b;18a、18b;20a、20bを備える。図示の実施形態において、アームには、それぞれ2つのチャックコマ14c、16c、18c、20cが設けられている。それゆえ、1つのチャッキングユニットには、それぞれ4つのチャックコマが設けられていることになる。図示の実施形態において、1対のアームは、以下でより詳細に説明されるように、エアシリンダ22、24により開閉されて、アームに設けられた4つのチャッキングコマによりウェハ12を把持および解放することができる。エアシリンダ22、24は、メインフレーム25に固定されている。
図4に示されるように、オス部材100は、ネジ部102を備え、ネジ部はオス部材100の頭部104から延びる。
の実施形態の場合、ナット300を緩めてオス部材100を約90°回転させ、再度ナット300でオス部材100をメス部材200に固定するだけであり、極めて容易にアームの可動範囲を変更できる。たとえば、ネジの挿入位置により、アームの可動範囲を連続的に変更できるような機構は、可動範囲を調整するたびに誤差が発生し得る。しかし、本実施形態においては、アームの可動範囲の調整精度は、オス部材100およびメス部材200の機械加工精度によるので、アームの可動範囲を調整する段階で誤差が発生することはない。
以下に、一例として、直径300mmの半導体ウェハと直径301mmの半導体ウェハのための実施例について説明する。図9に示すように、寸法の異なるウェハをアームにより適切に把持するためには、アームの停止位置をそれぞれのウェハの寸法に適合する位置に調整する必要がある。アームの停止位置が適切に調節されなければ、上述したような問題が生じ得る。図9(a)は、301mmの直径のウェハ12を実線で示し、参考として300mmの直径のウェハを破線で示している。図9(a)において、直径301mmのウェハ12は、アーム18aの4つのチャックコマ18cにより把持されている。図9(b)は、300mmの直径のウェハを実線で示し、参考として301mmの直径のウェハを破線で示している。図9(b)において、直径300mmのウェハ12は、アーム18aの4つのチャックコマ18cにより把持されている。図示のように、アームおよびチャックコマが配置される場合、直径300mmのウェハと直径301mmのウェハでは、アームの停止位置は約0.56mm変更する必要がある。もちろん、この変更範囲は、アームのチャックコマの取付位置により変わる。この場合、オス部材100の突出部110の高さを0.56mmとすることで、アームの停止位置を調節できるようになる。突出部110の高さの加工精度、すなわちアームの停止位置の調整制度は、0.01mm程度とすることが好ましい。
上述の実施形態においては、アーム18aの連結部材18dに接する側をオス部材としたが、他の実施形態として、図示のオス部材とメス部材の位置を反対にして、連結部材に接する側を、ネジ部を備えるメス部材として、オス部材をメインフレームに固定するように構成することもできる。
種類のアクチュエータを使用してもよい。たとえば、液圧アクチュエータ、ロータリーアクチュエータなどを用いることができる。
12 ウェハ
14、16、18、20 チャッキングユニット
14a、16a,18a,20a アーム
14b,16b,18b,20b アーム
14c,16c,18c,20c チャックコマ
14d,16d,18d,20d 連結部材
22 エアシリンダ
24 エアシリンダ
25 メインフレーム
26、28、30 剛体ロッド
50 停止装置
100 オス部材
200 メス部材
102 ネジ部
104 頭部
106 停止表面
108 第1の面
110 突出部
112 第2の面
202 孔
204 第1の面
206 凹部
208 第2の面
300 ナット
Claims (14)
- ワークを搬送するためのワーク搬送装置であって、
前記ワークを把持および解放するように動作するように構成されるワーク把持機構と、
前記ワーク把持機構を駆動するために、前記ワーク把持機構に直接的または間接的に連結される可動部材を備えるアクチュエータと、
オス部材およびメス部材を有する停止装置とを有し、
前記オス部材および前記メス部材のうちの一方は、第1平面、および前記第1平面とは異なる平面に位置する第2平面を有し、
前記オス部材および前記メス部材の他方は、前記第1平面および前記第2平面に選択的に接触する接触面を有し、
前記オス部材および前記メス部材は、互いに異なる第1配置および第2配置で係合可能であり、
前記第1配置は、前記第1平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第2配置は、前記第2平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第1配置および前記第2配置は、前記可動部材に連結される前記ワーク把持機構のための、少なくとも2つの予め画定された不連続な把持位置を画定する、ワーク搬送装置。 - 請求項1に記載の装置であって、前記オス部材または前記メス部材のいずれか一方は停止表面を画定し、前記ワーク把持機構または前記ワーク把持機構に連結される連結部材が前記停止表面に接触することで前記ワーク把持機構の駆動が停止されて、前記ワーク把持機構の把持位置が画定される、ワーク搬送装置。
- 請求項1または2に記載の装置であって、前記オス部材および前記メス部材のいずれか一方はネジ付きボルトを有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記ネジ付きボルトに係合するナットにより、前記第1配置および前記第2配置を含む互いに少なくとも2つの異なる配置で固定されるように構成される、ワーク搬送装置。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の装置であって、前記オス部材は突出部を有し、前記メス部材は前記オス部材の前記突出部を受け入れるように形成される凹部を有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記オス部材の前記突出部が前記メス部材の前記凹部に受け入れられる配置、および前記オス部材の前記突出部が前記メス部材の前記凹部に受け入れられない配置において係合することができ、それにより前記アクチュエータの前記可動部材に連結された前記ワーク把持機構のための少なくとも2つの予め画定された不連続な把持位置を画定するように構成される、ワーク搬送装置。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の装置であって、前記アクチュエータは、流体シリンダおよびシャフトを有し、前記シャフトの一端は前記シリンダに連結され、前記シャフトの他端は前記ワーク把持機構に直接的または間接的に連結され、前記シャフトは前記シリンダ内の流体の圧力により駆動される、ワーク搬送装置。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の装置であって、前記ワークは半導体ウェハである、ワーク搬送装置。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の装置であって、前記ワーク把持機構は、ワークを把持するように開閉可能に構成される少なくとも一対のアームを有する、ワーク搬送装置。
- 請求項7に記載の装置であって、前記アームは少なくとも1つのワークを把持するように構成されるコマを有する、ワーク搬送装置
- ワーク把持機構のための、少なくとも2つの予め画定された不連続な把持位置を画定する停止装置であって、
前記停止装置は、オス部材とメス部材とを有し、
前記オス部材および前記メス部材のうちの一方は、第1平面および前記第1平面とは異なる平面に位置する第2平面を有し、
前記オス部材および前記メス部材の他方は、前記第1平面および前記第2平面に選択的に接触する接触面を有し、
前記オス部材および前記メス部材は、互いに異なる第1配置および第2配置で係合可能であり、
前記第1配置は、前記第1平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第2配置は、前記第2平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第1配置および前記第2配置は、前記ワーク把持機構のための、少なくとも2つの予め画定された不連続な把持位置を画定する、停止装置。 - 請求項9に記載の停止装置であって、前記オス部材または前記メス部材のいずれか一方は停止表面を画定し、前記ワーク把持機構または前記ワーク把持機構に連結される連結部材が前記停止表面に接触することで前記ワーク把持機構の駆動が停止されて、前記ワーク把持機構の把持位置が画定される、停止装置。
- 請求項9または10に記載の停止装置であって、前記オス部材および前記メス部材のいずれか一方はネジ付きボルトを有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記ネジ付きボルトに係合するナットにより、前記第1配置および前記第2配置を含む互いに少なくとも2つの異なる配置で固定されるように構成される、停止装置。
- 請求項9乃至11のいずれか一項に記載の停止装置であって、前記オス部材は突出部を有し、前記メス部材は前記オス部材の前記突出部を受け入れるように形成される凹部を有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記オス部材の前記突出部が前記メス部材の前記凹部に受け入れられる配置、および前記オス部材の前記突出部が前記メス部材の前記凹部に受け入れられない配置において係合することができ、それにより前記ワーク把持機構のための少なくとも2つの予め画定された不連続な把持位置を画定するように構成される、停止装置。
- 停止装置を用いて、ワーク把持機構の把持位置を調整する方法であって、
前記停止装置は、オス部材とメス部材とを有し、
前記オス部材および前記メス部材のうちの一方は、第1平面、および前記第1平面とは異なる平面に位置する第2平面を有し、
前記オス部材および前記メス部材の他方は、前記第1平面および前記第2平面に選択的に接触する接触面を有し、
前記オス部材および前記メス部材は、互いに異なる第1配置および第2配置で係合可能であり、
前記第1配置は、前記第1平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第2配置は、前記第2平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第1配置および前記第2配置は、前記ワーク把持機構のための、少なくとも2つの予め画定された不連続な把持位置を画定し、
前記方法は、前記オス部材と前記メス部材との相対的な係合位置を変更するステップ、を有する、方法。 - 停止装置を用いて、ワーク把持機構の把持位置を調整する方法であって、
前記停止装置は、オス部材とメス部材とを有し、
前記オス部材および前記メス部材のうちの一方は、第1平面、および前記第1平面とは異なる平面に位置する第2平面を有し、
前記オス部材および前記メス部材の他方は、前記第1平面および前記第2平面に選択的に接触する接触面を有し、
前記オス部材および前記メス部材は、互いに異なる第1配置および第2配置で係合可能であり、
前記第1配置は、前記第1平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第2配置は、前記第2平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第1配置および前記第2配置は、前記ワーク把持機構のための、少なくとも2つの予め画定された不連続な把持位置を画定し、
前記オス部材および前記メス部材のいずれか一方はネジ付きボルトを有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記ネジ付きボルトに係合するナットにより、選択的に前記第1配置および前記第2配置で固定されるように構成され、
前記方法は、
前記ナットを緩めるステップと、
前記オス部材と前記メス部材との相対的な係合位置を変更するステップと、
前記ナットを締めて、変更された係合位置で前記オス部材と前記メス部材とを固定するステップと、を有する、方法。
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