KR100469931B1 - 공작물반송시스템의제어장치 - Google Patents
공작물반송시스템의제어장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100469931B1 KR100469931B1 KR10-1998-0707398A KR19980707398A KR100469931B1 KR 100469931 B1 KR100469931 B1 KR 100469931B1 KR 19980707398 A KR19980707398 A KR 19980707398A KR 100469931 B1 KR100469931 B1 KR 100469931B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- transfer
- workpiece
- chamber
- movement
- point
- Prior art date
Links
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 510
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 345
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 75
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 38
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 30
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 claims description 6
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 description 1
- 101150077112 amt1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000007850 degeneration Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 239000003205 fragrance Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/4189—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the transport system
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/416—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control of velocity, acceleration or deceleration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/34—Director, elements to supervisory
- G05B2219/34387—Delay command as function of speed
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37225—Tool holder, measure forces in chuck, tool holder
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/43—Speed, acceleration, deceleration control ADC
- G05B2219/43006—Acceleration, deceleration control
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/43—Speed, acceleration, deceleration control ADC
- G05B2219/43162—Motion control, movement speed combined with position
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/50—Machine tool, machine tool null till machine tool work handling
- G05B2219/50391—Robot
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
공작물의 이동궤적 위에 공작물이 이송 소오스인 처리 체임버에서 이송 체임버로의 이동동작으로부터 이송 체임버 내의 이동동작으로 이행하는 제 1의 점과, 상기 이송 체임버 내의 이동 동작으로부터 이송 체임버에서 이송 목적지인 처리 체임버로의 이동동작으로 이행하는 제 2의 점을 설정하고,
공작물의 이송거리와 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소요되는 시간에 기초하여, 이동궤적 위의 상기 제 2의 점에 공작물이 도달한 시점에 이송 목적지의 게이트 밸브의 개방이 종료되고, 제 1의 점에서 제 2의 점까지의 이송시간이 상기 개폐시간 이상의 최단시간이 되도록 상기 이동궤적 위의 속도 패턴을 설정하고, 그 설정된 속도 패턴에 따라 공작물 반송 로봇을 속도 제어하도록 하여, 로봇을 가능한 한 일시 정지시킴이 없이 그리고 가능한 한 이송시간이 짧은 고속의 웨치퍼 등의 공작물 이송을 이룰 수 있도록 한다.
Description
본 발명은 반도체 제조장치 또는 액정표시장치(LCD)등에 적용되는 것으로, 공작물 반송 로봇을 설치한 1개의 이송 체임버에 인접하여 복수의 처리 체임버를 설치하고, 공작물 반송 로봇에 의해 공작물 또는 액정표시장치 등의 공작물을 어떤 처리 체임버에서 다른 처리 체임버로 반송하도록 한 다중 체임버형 제조장치에 있어서 상기 공작물 반송 로봇의 효율이 좋은 반송동작을 실현하기 위한 개량에 관한 것이다.
이러한 유형의 다중 체임버형 반도체 제조장치는, 예를 들어 도 16에 도시된 바와 같이 구성되어 있다.
도 16에 있어서, 웨이퍼 반송 로봇(1)이 설치되는 이송 체임버(2)의 주위에는 웨이퍼에 대하여 각종 반도체 가공처리를 실행하기 위한 처리 체임버(3a - 3e)와, 외부로부터 공작물을 반입하기 위한 공작물 반입 체임버실(4)와, 외부로 공작물을 반출하는 공작물 반출 체임버(5)가 설치되어 있다.
처리 체임버(3a - 3e)와 이송 체임버(2) 사이, 이송 체임버(2)와 공작물 반입 체임버(4) 사이, 그리고 이송 체임버(2)와 공작물 반출 체임버(5) 사이에는, 개폐가능한 게이트 밸브(6a - 6g)가 각각 설치되어 있고, 이들 게이트 밸브(6a - 6g)를 개방함으로써 각 체임버 사이가 연통하게 되어 있다. 또한, 이송 체임버(2), 처리 체임버(3a - 3e) 및 공작물 반입 반출 체임버(4)(5)는 진공상태로 유지되고, 공작물 반입 반출 체임버(4)(5) → 이송 체임버(2) → 처리 체임버(3a - 3e)의 순서로 진공도가 높아지도록 되어 있다. 또한, 게이트 밸브(6a - 6g)는 진공도를 확보하기 위하여 2개 이상의 게이트 밸브를 동시에 열리지 못하는 제한이 있다. 즉, 어떤 게이트 밸브를 열 때에 다른 게이트 밸브가 완전히 닫힌 상태로 소요의 게이트 밸브의 열림 제어를 개시한다.
또한, 공작물 반입 체임버(4) 및 공작물 반출 체임버(5)에 인접 설치되어 있는 공작물 반입 스테이션(7) 및 공작물 반출 스테이션(8)에는 공작물 반입 로봇(9), 공작물 반출 로봇(10)가 각각 설치되어 있고, 이들 공작물 반입 반출 로봇(9)(10)에 의해 외부와의 사이에서 공작물(웨이퍼)의 반입 및 반출을 실행한다. 또한, 도 16에서 A측 영역은 무인영역이고, B측 영역은 사람이 있는 청정실이다.
한편, 이송 체임버(2)에 설치되는 웨이퍼 반송 로봇(1)는, 예를 들어 도 17에 도시한 바와 같이, 선회 자유도를 갖는 2개의 암(11)(12)과, 지지대의 형상을 한 손(13)이 설치된 이른바 개구리 다리형 로봇이고, 손(13)에는 웨이퍼(W)가 적재되어 있는지의 여부를 검출하는 웨이퍼 검출 센서(도시되지 않음)가 내장되어 있다. 또한, 웨이퍼(W)는 처리 체임버(3) 내에서 승강가능한 승강기(도시되지 않음)에 의해 지지되어 있고, 로봇(1)의 손(13)에 웨이퍼(W)를 적재할 때에는 승강기가 하강하게 되어 있다.
이러한 구성에 있어서, 웨이퍼 반송 로봇(1)에 의해 웨이퍼(W)를 처리 체임버(3c)로부터 처리 체임버(3d)로 이송하는 경우의 순서는 다음과 같다.
우선, 처리 체임버(3c) 내에서 웨이퍼(W)를 지지하고 있는 승강기가 하강하고, 웨이퍼(W)가 로봇(1)의 손(13)에 적재되면 (도 17의 점 P1), 손(13)에 내장되어 있는 웨이퍼 검출 센서가 온으로 된다. 이 온이 확인되면, 로봇(1)은 암(11)(12)을 움츠려서 웨이퍼(W)를 점 P2로 이동시킨다. 그리고, 웨이퍼(W)의 점 P2로의 이동이 종료하면, 로봇(1)은 이 점 P2에서 일단 정지하고, 후퇴 종료신호를 시스템 전체를 제어하는 시스템 콘트롤러(도시되지 않음)에 출력한다.
시스템 콘트롤러에서는, 상기 후퇴 종료신호를 수신하면, 게이트 밸브(6c)를 닫는 제어를 개시한다. 그리고, 시스템 콘트롤러가 게이트 밸브(6c)의 폐쇄를 확인하면, 게이트 밸브(6d)를 여는 제어를 실행한다. 또한, 게이트 밸브(6c)(6d)가 개폐될 때, 2개 이상의 게이트 밸브를 통시에 열 수 없다고 하는 전술한 바와 같은 제한에 의해, 게이트 밸브(6c)의 폐쇄 후에 게이트 밸브(6d)를 열도록 하고 있다.
한편, 로봇(1)은 후퇴 종료신호를 시스템 콘트롤러에 출력하면, 상기 게이트 밸브(6c)(6d)의 개폐동작에 병행하여 점 P2로부터 점 P3로의 이동을 행하고, 점 P3에 도달하면 여기서 재차 정지한다. 그리고, 로봇(1)은 점 P3에서 정지한 시점에 게이트 밸브(6d)의 개폐상태를 확인하고, 게이트 밸브(6d)의 개방을 확인한 후에, 점 P4로의 이동을 개시한다. 즉, 로봇(1)은 게이트 밸브(6d)의 개방을 확인할 수 있을 때까지 점 P3에서 대시한다.
점 P4로 이동할 때, 로봇(1)은 처리 체임버(3d)의 웨이퍼(W)를 적재하여야 하는 위치 P4까지 암(11)(12)을 신장시키고, 위치 P4에서 위치결정 정지를 행한 후에 이동 종료신호를 시스템 콘트롤러에 반출한다.
이동 종료신호를 수힌한 시스템 콘트롤러에서는, 처리 체임버(3d)의 승강기를 상승시키고, 웨이퍼(W)를 로봇(1)의 손에서 승강기 위에 옮겨 싣는다. 이상이 일련의 웨이퍼 반송동작이다.
상기한 종래기술에 의한 각종 이동속도 패턴을 도 8(a), 도 9(a), 도 10(a)에 도시하였다.
또한, 이들 도면에 있어서, T는 게이트 밸브(6c)의 개방을 개시하고 나서 게이트 밸브(6d)의 개방을 종료할 때까지 소요되는 시간(시스템 고유의 고정값)이며, 이것은 모든 게이트 밸브에 공통된다.
도 8(a), 도 9(a), 도 10(a)를 통해서도 알 수 있는 바와 같이, 상기 종래기술에 의하면, 이동 소오스인 처리 체임버로부터의 후퇴점(P2)과 이동 목적지인 처리 체임버로의 진입점(P3)에서, 항상 로봇을 일단 정지시키기 때문에, 웨이퍼 반송에 시간이 걸리고, 효율이 좋은 웨이퍼 반송을 이룰 수 없으며, 가공 웨이퍼의 처리량(단위시간당 처리수)이 조금도 향상되지 않는다.
그래서, 간단히 상기 P2 및 P3에서의 일시 정지를 없앴다고 하자. 이 경우, 처리 체임버간의 거리가 충분히 떨어져 있는 때(선회각이 큰 때)에는 문제없지만, 처리 체임버간의 거리가 짧은 경우(선회각이 작은 경우), 점 P2에서 점 P3까지의 이동시간이 상기한 게이트 밸브의 개폐에 소요되는 시간 T보다도 짧아지면 웨이퍼가 게이트밸브에 충돌하게 된다. 또한, 이점을 고려하여 로봇 속도를 너무 낮추면, 무엇 때문에 P2 및 P3에서의 일시 정지를 없앴는지를 판별하지 못하게 된다.
본 발명은 이러한 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 로봇을 가능한 한 일시정지 시키지 않고 또한 가능한 한 이송시간이 짧은 고속의 공작물 이송을 이룰 수 있는 공작물 반송 시스템의 제어장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 점 1 및 점 2 사이의 속도 패턴의 연산설정순서를 보인 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 제어계의 구성예를 보인 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 이동궤적 등을 보인 도면이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 속도 패턴의 연산시에 이용되는 각종 파라미터 값을 보인 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 이용되는 속도 패턴의 일부를 보인 도면이다.
도 6은 점 S에서 점 1까지 및 점 2에서 점 E까지의 각종 속도 패턴을 예시한 도면이다.
도 7은 제 1 실시예에 따른 점 1에서 점 2까지의 속도 패턴을 보인 도면이다.
도 8은 종래 및 제 1 실시예에 따른 속도 패턴을 예시한 도면이다.
도 9는 종래 및 제 1 실시예에 따른 속도 패턴을 예시한 도면이다.
도 10은 종래 및 제 1 실시예에 따른 속도 패턴을 예시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 제 2 및 제 3 실시예에 따른 속도 패턴의 연산시에 사용되는 각종 파라미터 값을 보인 도면이다.
도 12는 제 2 실시예에 따른 점 1에서 점 2까지의 속도 패턴을 보인 도면이다.
도 13은 제 3 실시예에 따른 점 1에서 점 2까지의 속도 패턴을 보인 도면이다.
도 14는 제 3 실시예에서 사용되는 파라미터 값 N0를 설명하기 위한 도면이다.
도 15는 제 4 실시예에 따른 점 1에서 점 2까지의 속도 패턴을 보인 도면이다.
도 16은 웨이퍼 반송 로봇이 설치되는 멀티 체임버형의 제조장치를 보인 전체도이다.
도 17은 웨이퍼 반송 로봇이 설치되는 멀티 체임버형의 제조장치를 보인 부분 구성도이다.
도 18은 제 5 실시예에 따른 공작물 이송 경로를 보인 도면이다.
도 19는 제 5 실시예에 따른 속도 패턴을 예시한 도면이다.
도 20은 제 5 실시예의 웨이퍼 반송 동작을 보인 흐름도이다.
도 21은 제 6 실시예에 따른 공작물 이송 경로를 보인 도면이다.
청구범위 제1항에 대응하는 제 1 발명에서는, 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대한 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단을 구비한 공작물 가공장치와, 상기 복수의 처리 체임버 중에 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단, 상기 이송 체임버 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 경유하는 소정의 이동궤적을 따라 이송 목적지인 처리 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 갖추고, 이송이 이루어질 때, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐 동작에 소정의 개폐시간 T를 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,
상기 이동궤적 위에서, 공작물이 이송 소오스인 처리 체임버로부터 이송 체임버로의 이동동작으로부터 이송 체임버 내의 이동동작으로 이행하는 제 1의 점과, 상기 이송 체임버 내의 이동 동작으로부터 이송 체임버에서 이송 목적지인 처리 체임버로의 이동동작으로 이행하는 제 2의 점을 설정하고,
상기 공작물의 이송거리와 상기 개폐시간에 기초하여, 상기 이동궤적 위의 상기 제 2의 점에 공작물이 도달한 시점에 이송 목적지인 게이트 밸브의 개방이 종료되고, 제 1의 점에서 제 2의 점까지의 이송시간이 상기 개폐시간 T 이상의 최단시간이 되도록 상기 이동궤적 위의 속도 패턴을 설정하고, 그 설정된 속도 패턴에 따라 공작물 반송 로봇을 속도 제어하는 속도제어수단을 갖추도록 하고 있다.
이러한 제 1의 발명에서는, 제 2의 점을 로봇이 통과할 때에, 이송 목적지인 게이트 밸브의 개방이 종료되고, 제 1의 점에서 제 2의 점까지의 이송시간이 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐에 소요되는 시간 T 이상의 최단시간이 되도록 이송 소오스인 처리 체임버에서 이송 목적지인 처리 체임버까지의 이동속도 패턴을 설정하고, 이 연산된 속도 패턴으로 로봇을 구동하도록 하고 있기 때문에, 로봇이 이동하는 동안 도중에 정지하는 일이 없어지고, 이송시간이 짧은 고속의 공작물 이송을 이룰 수 있고, 이에 의해 공작물 제조의 처리량을 향상시킬 수 있다.
또한, 청구범위 제3항에 대응하는 제 2의 발명에서는, 상기 제 1의 발명의 속도 패턴의 조건에 대해, 상기 제 2의 점에서의 이동속도가 상기 이동궤적 위의 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 앞에 설정된 정지점에 공작물을 정지시키는 것이 가능하고, 상기 제 1의 점에서의 이동속도가 상기 제 2의 점에서의 이송속도로 감속될 수 있도록 조건을 추가하고,
또한, 상기 공작물 가공장치에 상기 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출 센서를 또한 구비하고,
이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 개폐 센서의 출력에 의해 상기 제 2의 점에 로봇이 도달한 시점에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태를 판정하는 개폐판정수단과, 이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 때에는 상기 정지점에서 정지시키지 않고 이송 목적지인 처리 체임버까지 반송함과 더불어, 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄가 확인된 때에는 상기 정지점에서 정지시키도록 로봇의 속도제어를 행하는 정지제어수단을 갖추도록 하고 있다.
이러한 제 2의 발명에 의하면, 제 1 및 제 2의 점간의 거리가 짧은 경우에도 정지함이 없이 이동할 수 있고, 또한 어떠한 이상이 발생되는 때 이외에는 로봇이 도중에 정지되는 것이 없어지고, 효율이 보다 좋은 공작물 반송 동작을 이룰 수 있다.
다음에, 청구범위 제4항에 대응하는 제 3의 발명에서는, 상기 제2의 발명에 대해, 상기 제 1의 점을 공작물이 통과한 후에 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 개폐 센서의 출력에 의하여 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐 상태를 항상 판정하는 제 2의 개폐판정수단과, 상기 제 2의 점에 공작물이 도달하기 전에 상기 제 2의 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단이 닫힌 것으로 판정되면, 이 판정시점에서 감속 동작을 행하는 경우에는 즉각 감속을 정지하고 가속 동작을 실행시키는 가감속 절환 제어수단을 또한 구비하도록 하고 있다.
이러한 제 3의 발명에서는, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단이 상기 제 1의 점에서 제 2의 점까지의 이동중에 열린 것으로 판정되면, 이 판정시점에서 감속 동작을 행하고 있는 경우에는 즉각 감속을 정지하고 가속동작을 실행시키는 가감속 절환 제어수단을 추가함으로써 더욱 단시간에 효율이 좋은 공작물 이송 동작을 이룰 수 있다.
청구범위 제6항에 대응하는 제 4의 발명에서는, 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출센서를 갖춘 공작물 가공장치와, 상기 복수의 처리 체임버 중에 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단, 상기 이송 체임버, 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 경유하는 소정의 이동궤적을 따라 이송 목적지인 처리실까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하고, 이송할 때에, 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,
상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단에 공작물이 도달하기 전의 이동궤적 위의 소정의 위치에 정지점을 미리 설정함과 더불어, 상기 정지점보다 앞의 이동궤적 위의 소정의 위치에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태를 확인하는 확인점을 미리 설정하고,
상기 정지점에 공작물을 정지시키는 것이 가능한 상한속도로 상기 확인점에서의 속도가 설정되는 것을 조건으로 하여 상기 이동궤적 위의 공작물 이동시간이 최단시간이 되도록 이송 소오스인 처리 체임버에서 이송 목적지인 처리 체임버까지의 상기 공작물 반송 로봇의 이동속도 패턴이 사전 설정되고, 이 설정된 이동속도 패턴에 따라 공작물 반송 로봇을 속도 제어하는 제 1의 속도제어수단과, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 개폐 센서의 출력에 의해 상기 확인점을 공작물이 통과한 시점에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태를 판정하는 개폐판정수단과, 이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 때에는 상기 제 1의 속도제어수단에 설정된 이동속도 패턴에 따라 공작물을 상기 정지점까지 정지시키지 않고 이송 목적지인 처리 체임버까지 반송함과 아울러, 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄가 확인된 때에는 상기 정지점에서 정지시키도록 로봇의 속도 제어를 행하는 제 2의 속도제어수단을 구비하도록 하고 있다.
이러한 제 4의 발명에 의하면, 로봇은 이송 목적지인 처리 체임버 앞의 소정의 정지점에서 정지할 수 있도록 속도 패턴이 설정되어 있기 때문에, 앞서의 제 1의 발명과 마찬가지로, 제 1의 점에서 제 2의 점까지의 이송시간이 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐시간 T 이상이 되도록 하기에는, 그 속도 패턴이 설정되어 있지 않다.
따라서, 이 제 4의 발명에 의하면, 로봇은 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄가 검출된 경우에 이송 목적지인 처리 체임버 앞의 소정의 정지점에서 정지할 수 있는 속도 패턴 중에 이송시간이 가장 짧은 속도 패턴으로 이동할 수 있게 된다.
청구범위 제7항에 대응하는 제 5의 발명에서는, 상기 제 4의 발명에 대하여, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단이 상기 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단을 공작물이 통과하고나서 상기 확인점까지의 이동중에 열린 것으로 판정되면, 이 판정시점에서 감속 동작을 행하고 있는 경우에는 즉각 감속을 정지하고 가속 동작을 실행시키는 가감속 절환 제어수단을 추가하도록 한 것이기 때문에, 더욱 단시간에 효율이 좋은 공작물 이송동작을 이룰 수 있다.
다음에, 청구범위 제 9항에 대응하는 제 6의 발명에서는, 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐 검출센서를 갖춘 공작물 가공장치와, 상기 처리 체임버와 상기 이송 체임버 사이의 공작물 이동에 관한 제 1의 이동운동 및 상기 이송 체임버 내에서의 공작물 이동동작에 관한 제 2의 이동운동이 가능한 공작물 지지용 암을 갖추고, 상기 복수의 처리 체임버 중에서 이송 목적지인 처리 체임버에 있는 공작물을 상기 제 1의 이동운동에 의해 그 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 통과시키고 이송 체임버 안까지 이송 시키고, 다음에 상기 제 2의 이동운동에 의해 공작물을 이송 체임버 내로 이송하고, 상기 제 1의 이동운동에 의해 이송 체임버 내에 있는 공작물을 이송 목적지인 이송 체임버의 게이트 수단을 통과시켜 이동 목적지인 이송 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며,
이송할 때에, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,
상기 제 2의 이동운동에 관한 가속에서 감속정지까지의 제 1의 속도 패턴과 상기 제2의 이동운동에 이어서 행해지는 이송 체임버 내에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지의 상기 제 1의 이동운동의 가속에서 감속정지까지에 관한 제 2의 속도 패턴이 각각 사전 설정되는 속도 패턴 설정수단과, 상기 제2의 이동운동에 의한 궤적 도중의 소정의 위치를 확인 개시점으로 하고, 이 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점에서 상기 게이트 개폐센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과, 이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 상기 제 1의 속도 패턴과 제 2의 속도 패턴을 중합시키는 속도 패턴 발생수단과, 상기 이송 체임버 내의 상기 확인 개시점까지의 공작물 이동에 관해서는 상기 제 1의 속도 패턴을 선택하고, 상기 확인 개시점으로부터 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지는 상기 속도 패턴 발생수단으로부터 발생된 속도 패턴을 선택하고, 그 선택된 속도 패턴에 따라 상기 공작물 반송 로봇의 속도 제어를 행하는 로봇 구동수단을 갖추도록 하고 있다.
이러한 제 6의 발명에 의하면, 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 처리 체임버 내의 공작물 이동에 관한 제 1의 속도 패턴과 처리 체임버로부터 이송 목적지인 처리 체임버로의 공작물 이동에 관한 제 2의 속도 패턴을 합성하고, 그 합성된 속도 패턴에 따라 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 대응하는 위치로부터 이송 목적지인 처리 체임버까지를 속도 제어하도록 하여, 공작물을 힘껏 정지시킴이 없이 공작물의 게이트 수단으로의 충돌을 회피하도록 하고 있기 때문에, 공작물이 실제로 정지하는 확률이 감소됨과 아울러, 로봇이 완전히 정지한 속도 0의 상태가 아니라 어느 정도의 속도를 갖는 상태에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버로의 가속동작을 행하는 일이 가능해진다. 또한, 이 제 6의 발명에서는, 속도 패턴의 합성에 의해 게이트 수단으로의 충돌회피제어를 행하도록 하고 있기 때문에, 1개의 경로에 대해서 미리 가지고 있는 속도 패턴이 적어져서, 메모리 용량을 절약할 수 있음은 물론, 그 제어 구성이 간단해진다.
다음으로, 청구범위 제10항에 대응하는 제 7의 발명에서는, 앞서의 제 6의 발명의 처리 체임버 내의 공작물 이동인 제 2의 이동운동이, 이송 체임버 내의 이송 소오스인 처리 체임버의 대략 정면위치에서 이송 체임버 내의 이송 목적지인 처리 체임버의 대략 정면위치까지의 이송운동인 것으로 규정하고 있다.
다음으로, 청구범위 제12항에 대응하는 제 8의 발명에서는, 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출 센서를 갖춘 공작물 가공장치와,
상기 처리 체임버와 상기 이송 체임버 간의 공작물 이동에 관한 제 1의 이동운동 및 상기 이송 체임버 내에서의 공작물 이동동작에 관한 제 2의 이동운동이 가능한 공작물 지지용의 암을 갖추고, 상기 복수의 처리 체임버 중에서 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 상기 제 1의 이동운동에 의해 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단을 통과시켜 이송 체임버 안까지 이동시키고, 다음에 상기 제 2의 이동운동에 의해 이송 체임버 내의 상기 이송 소오스인 처리 체임버의 대략 정면에 위치하는 공작물을 이송 체임버 내의 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 대략 정면의 위치까지 이송하고, 상기 제 1의 이동운동에 의해 이송 체임버 내의 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 대략 정면의 위치에 있는 공작물을 이송 목적지인 이송 체임버의 게이트 수단을 통과시켜 이동 목적지인 이송 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며,
이송할 때에, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,
상기 이송 소오스인 처리 체임버로부터 상기 이송 체임버로의 상기 제 1의 이동운동과 상기 제 2의 이동운동이 교차하는 제 1의 교차점까지의 제 1의 이동운동의 가속에서 감속정지까지에 대한 제 1의 속도 패턴과, 이 제 1의 교차점에서 상기 제 2의 이동운동과 상기 이송 체임버로부터 이송 목적지인 처리 체임버로의 제 1의 이동운동이 교차하는 제 2의 교차점까지의 상기 제 2의 이동운동의 가속에서 감속정지까지에 대한 제 2의 속도 패턴과, 상기 제 2의 교차점으로부터 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지의 상기 제 1의 이동운동의 가속에서 감속정지까지에 대한 제 3의 속도 패턴이 각각 사전에 설정되는 속도 패턴 설정수단과, 상기 이송경로상의 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단과 상기 제 1의 교차점 사이에 사전 설정된 소정의 위치를 공작물이 통과한 시점에 상기 제 1의 속도 패턴과 상기 제 2의 속도 패턴을 중합하는 제 1의 속도 패턴 발생수단과, 상기 제 2의 이동운동에 의한 궤적 도중의 소정의 위치를 확인 개시점으로 하고, 이 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점으로부터 상기 게이트 개폐 센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과,
이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 상기 제 2의 속도 패턴과 제 3의 속도 패턴을 중합한 제 2의 속도 패턴 발생수단과, 상기 이송 소오스인 처리 체임버로부터 상기 확인 개시점까지는, 상기 제1의 속도 패턴 발생수단을 선택하고, 상기 확인 개시점으로부터 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지는 상기 제 2의 속도 패턴 발생수단을 선택하고, 그 선택된 속도 패턴에 따라 상기 공작물 반송 로봇의 속도 제어를 행하는 로봇 구동수단을 구비하도록 하고 있다.
이러한 제 8의 발명에서는, 상기 이송경로상의 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단과 상기 제 1의 교차점 사이에 사전 설정된 소정의 위치를 공작물이 통과한 시점에, 이송 소오스인 처리 체임버에서 제 1의 교차점까지의 이동운동에 관한 제 1의 속도 패턴과 제 1의 교차점에서 제 2의 교차점까지의 이동운동에 관한 제 2의 속도 패턴을 중합하고, 이 중합된 패턴에 따라 속도 제어하도록 하고 있기 때문에, 이송 소오스인 처리 체임버로부터 이송 체임버까지의 이동운동으로부터 이송 체임버 내에서의 이동운동으로의 이행은 상기 제 1 및 제 2의 속도 패턴이 합성된 지름길 경로 위에서 행해진다.
또한, 제 8의 발명에서는, 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 제 2의 속도 패턴과 상기 제 2의 교차점에서 이송 목적지인 처리 체임버까지의 이동운동에 관한 제 3의 속도 패턴을 중합하고, 그 중합된 속도 패턴에 따라 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 대응하는 위치에서 이송 목적지인 처리 체임버까지를 속도 제어하도록 하고 있기 때문에, 확인 개시점으로부터 이송 목적지인 처리 체임버까지는 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 대응하는 위치에 따라 복수의 다른 지름길 경로중 하나의 경로를 이행하는 것이 된다.
단, 상기 공작물이 상기 제 2의 교차점에서 정지하기 전에, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인되지 않은 경우에는, 공작물은 상기 제 2의 교차점에서 일단 정지한 후, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에서 제 2의 교차점으로부터 이송 목적지인 처리 체임버까지 이송된다.
이와 같이 이 제 8의 발명에 의하면, 지름길 경로를 경유하여 공작물의 이송을 행하도록 하고 있기 때문에, 이송 소오스인 처리 체임버로부터 이송 목적지인 처리 체임버까지의 공작물 이송 거리가 짧아짐과 더불어, 경로상에 방향변환을 위한 급각도가 없어지고, 공작물을 완만한 곡선 위에서 고속 반송할 수 있고, 공작물 낙하 등의 사고를 방지할 수 있다.
또한 이 제 8의 발명에 의하면, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 속도 패턴을 합성하고, 이 합성 속도 패턴에 의해 속도 제어를 행하므로써, 상기 제 2의 교차점에서 공작물을 힘껏 정지시킴이 없이 공작물의 게이트 수단으로의 충돌을 회피할 수도 있도록 되어 있기 때문에, 공작물이 실제로 정지하는 확률이 줄어듬과 더불어, 로봇이 완전히 정지한 속도 0의 상태가 아닌 어느 정도의 속도를 갖는 상태에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버로의 가속동작을 행하는 일이 가능해진다.
또한 이 제8의 발명에서는, 속도 패턴의 합성에 의해 게이트 수단으로의 충돌 회피 제어를 행할 수 있도록 되어 있기 때문에, 1개의 경로에 대하여 사전에 가지고 있는 속도 패턴은 3개의 속도 패턴으로 이루어져서, 메모리 용향이 절약될 수 있음은 물론, 그 제어 구성이 간단해진다.
다음으로, 청구범위 제13항에 대응하는 제 9의 발명에서는, 앞서의 제 8의 발명에 있어서, 복수의 처리 체임버와 이송 체임버의 주위에 설치되어 있는 것을 규정하는 것과 아울러, 상기 공작물 지지용 암이 선회동작과 구심방향 및 원심방향으로의 직선이동동작이 가능한 것인 것을 규정하도록 하고 있다.
다음으로, 청구범위 제16항에 대응하는 제 10의 발명에서는, 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버의 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출센서를 갖춘 공작물 가공장치와, 상기 복수의 처리 체임버 중에서 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단, 상기 이송 체임버 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 경유한 소정의 이동궤적 위를 따라 이송 목적지인 처리 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며, 이송할 때, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,
상기 이동궤적 위에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단에 공작물이 접촉하기 전의 위치에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태의 확인을 개시하는 확인 개시점을 사전에 설정함과 더불어, 이 확인 개시점을 시점으로 하여 상기 이동궤적과는 다른 소정의 후퇴경로를 사전 설정함과 더불어,
상기 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점으로부터 상기 게이트 개폐센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과, 상기 확인 개시점을 공작물이 통과한 때에 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 때에는 상기 이동궤적 위를 이송 목적지인 처리 체임버가지 공작물을 이동시킴과 아울러, 상기 확인 개시점을 공작물이 통과하였을 때에 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인되지 않은 때에는 상기 후퇴경로를 선택하여 공작물을 이동시키고, 상기 후퇴경로 위에서 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에서 상기 이동궤적에 복귀시키도록 공작물 반송 로봇을 속도 제어하는 속도제어수단을 구비하도록 하고 있다.
이러한 제 10의 발명에서는, 확인 개시점을 공작물이 통과한 때에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 때에는 통상의 이동궤적 위를 이송 목적지인 처리 체임버가지 공작물을 이동시킴과 더불어, 상기 확인 개시점을 공작물이 통과한 때에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인되지 않은 때에는 후퇴 경로를 선택하여 공작물을 이동시키고, 이 후퇴경로 위에서 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에서 상기 이동궤적에 복귀시키도록 속도 제어를 행하고 있기 때문에, 공작물이 실제로 정지하는 확률이 줄어듬은 물론, 로봇이 완전히 정지한 속도 0의 상태라 아니라 어느 정도의 속도를 갖는 상태에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 가속 동작을 행하는 일이 가능해지고, 효율이 좋은 공작물 반송을 이룰 수 있다.
다음에, 청구범위 제 17항에 대응하는 제 11의 발명에서는, 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대해 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버 및 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출센서를 갖춘 공작물 가공장치와,
상기 복수의 처리 체임버 중에 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단, 상기 이송 체임버 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 경유하는 소정의 기준 이동궤적 위를 따라 이송 목적지인 처리 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며,
이송할 때에, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,
상기 기준 이동궤적 위에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단에 공작물이 접촉하는 앞의 위치에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태의 확인을 개시하는 확인 개시점을 사전 설정함과 더불어, 이 확인 개시점을 시점으로 하고 또한 사전 설정된 소정의 정지점까지 연장된 상기 기준 이동궤적과는 다른 소정의 후퇴경로와, 이 후퇴경로상의 각 위치로부터 상기 기준 경로에 복귀하는 복수의 다른 복귀경로를 사전 설정함과 아울러,
상기 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점으로부터 상기 게이트 개폐센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과, 상기 기준 이동궤적 위를 이송 소오스인 처리 체임버로부터 상기 확인 개시점까지 공작물을 이동시키는 제 1의 속도 패턴과, 상기 기준 이동궤적 위를 상기 확인 개시점으로부터 이송 목적지인 처리 체임버까지 공작물을 이동시키는 제 2의 속도 패턴과, 상기 확인 개시점으로부터 상기 후퇴경로 및 상기 복귀경로를 경유하여 상기 이송 목적지인 처리 체임버에 이르는 복수의 제 3의 속도 패턴이 각각 설정되는 속도 패턴 설정수단과, 상기 이송 소오스 처리 체임버로부터 상기 확인 개시점까지는, 상기 제 1의 속도 패턴을 선택하고, 상기 확인 개시점에서 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 개방이 확인된 경우에는 상기 제 2의 속도 패턴을 선택하고, 상기 확인 개시점에서 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 개방이 확인되지 않은 경우에는 상기 제 3의 속도 패턴을 선택하고, 이들 선택된 속도 패턴에 따라 상기 공작물 반송 로봇의 속도 제어를 행하는 로봇 구동 수단을 갖추고 있다.
이러한 제 11의 발명에서는, 확인 개시점을 공작물이 통과한 시점에 이동 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단이 개방되지 않는 경우에 대비하여, 통상의 기준 경로 이외에 공작물이 상기 게이트 수단과는 접촉하지 않는 후퇴경로와 이 후퇴경로로부터 상기 기준 경로로의 복귀경로를 사전 설정하고, 상기 확인 개시점에서 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 개방이 확인된 경우에는 통상의 기준 경로를 따라 공작물을 이송 목적지인 처리 체임버까지 이송하고, 확인 개시점에서 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 개방이 확인되지 않은 경우에는 공작물을 상기 후퇴경로를 따라 이송하고, 상기 이송 목적지인 처리 게이트의 개방이 확인된 시점에서 상기 복귀경로를 따라 이송을 개시하고, 그 후 이 복귀경로를 경유하여 이송 목적지인 처리 체임버까지 공작물을 이송한다.
따라서, 이 제 11의 발명에서는, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인되지 않은 경우에는, 후퇴경로에 공작물을 풀어주고, 상기 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에서 복귀경로를 통해 공작물을 이송 목적지인 처리 체임버까지 이송하는 것에 의해 힘껏 공작물을 정지시킴이 없이 공작물의 게이트 수단으로의 충돌을 회피할 수 있도록 되어 있기 때문에, 공작물이 실제로 정지하는 확률이 줄어듬과 더불어, 로봇이 완전히 정지한 속도 0의 상태가 아니라 어느 정도의 속도를 가진 상태에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버로의 가속동작을 행하는 것이 가능해진다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 2는, 본 발명의 실시예에 있어서 그 제어계의 구성예를 보인 것으로, 이 제어계 시스템은 앞서의 도 16 및 도 17에 도시한 멀티 체임버형의 웨이퍼 가공장치를 제어하는 것이다.
도 2에 있어서, 웨이버 검출센서(20)는 도 17의 웨이퍼 반송 로봇(1)의 손(13)에 부착된 것으로, 웨이퍼(W)가 손(13) 위에 놓였는지를 검출한다. 웨이퍼 검출신호는 시스템 콘트롤러(30) 및 로봇 콘트롤러(40)에 입력된다. 게이트 밸브 개폐 센서(6as - 6es)는 도 16의 각각의 처리 체임버(3a - 3e)에 설치된 게이트 밸브(6a - 6e)에 설치되어서, 각각의 게이트 밸브(6a - 6e)의 개폐상태를 검출한다. 각각의 게이트 밸브 개폐 센서(6as - 6es)에서 검출된 게이트 밸브 개폐신호는, 시스템 콘트롤러(30) 및 로봇 콘트롤러(40)에 입력된다.
시스템 콘트롤러(30)는 도 16에 도시한 각 구성요소를 총괄적으로 제어하는 것으로, 본 발명에 관계되는 제어로서는 이하의 제어를 실행한다.
(가) 게이트 밸브(6a -6e)의 개폐제어
(나) 로봇 콘트롤러(40)에 처리 체임버 사이에서의 웨이퍼 옮겨 싣기를 수행할 때, 그 때의 로봇 시동지령, 이송 소오스의 체임버 번호 및 이송 목적지의 체임버 번호를 지령한다.
(다) 이상 정지지령을 로봇 콘트롤러에 출력한다.
로봇 콘트롤러(40)는 웨이퍼 반송 로봇(1)을 구동 제어하는 것으로, 본 발명에 관계되는 제어로서는 이하의 제어를 실행한다.
(가) 처리 체임버 사이에서의 웨이퍼 옮겨 싣기를 수행하는 때에, 암을 오무려서 이송 소오스인 처리 체임버로부터 탈출하면, 후퇴 종료신호를 시스템 콘트롤러로 출력한다.
(나) 처리 체임버 사이에서의 웨이퍼 이송을 수행하는 때에, 이송 목적지인 처리 체임버에 도달하면, 이동 종료신호를 시스템 콘트롤러에 출력한다.
단, 본 발명을 실시하기 위하여, 로봇 콘트롤러(40)에는 이하의 2개의 기능이 탑재되어 있다.
(가) 로봇의 구동제어와 외부(시스템 콘트롤러 30 및 웨이퍼 반출 센서 20, 게이트 밸브 개폐 센서 6as - 6es)와의 신호의 수수처리를 병렬로 실행할 수 있는 병렬처리기능
(나) 시점 및 종점 이외의 교시점(도 17의 점 P2, P3 등)을 위치결정 정지하지 않고 통과할 수 있는 패스포인트 기능
이러한 구성에 따른 제 1 실시예를 설명한다.
이 제 1 실시예에 있어서는, 처리 체임버 사이에서의 웨이퍼 옮겨 싣기를 행하는 때에, 이동하는 처리 체임버 간의 거리, 각 체임버의 게이트 밸브를 개폐하는데 소요되는 시간 T에 기초하여, 적어도 이송 소오스인 처리 체임버로부터의 대기점(조 17의 P2) 및 이송 목적지인 처리 체임버로의 진입점(도 17의 P3)에서는 정지함이 없이 가능한 한 고속을 유지함과 아울러, 로봇이 이송 목적지인 처리 체임버의 진입점(도 17의 P3)에 도달한 때에는 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 밸브가 개방 동작을 종료하도록 하는 이동속도 패턴을 구하고, 이 이동속도 패턴을 가지고 로봇을 구동하도록 되어 있다.
예를 들어, 도 3에서의 파선 q는, 처리 체임버(3c)에서 처리 체임버(3d)로의 웨이퍼(W)의 중심의 이동경로를 보인 것이지만, 우선 이 도 3을 참조하여 제 1 실시예의 개략 동작에 대해 설명하기로 한다.
우선, 시스템 콘트롤러(30)로부터 로봇 콘트롤러(40)에 대해, 처리 체임버(3c)내의 웨이퍼(W)를 처리 체임버(3d)에 대해 이동시키는 명령이 입력된다. 로봇 콘트롤러(40)는 손(13)에 내장되어 잇는 웨이퍼 검출센서(20)의 검출신호로부터 웨이퍼(W)가 로봇(1)의 손(13)에 놓여 있는지를 검출하면(점 P1), 로봇(1)의 암(11)(12)을 오무려서 웨이퍼(W)를 점 P5까지 이동시킨다. 그리고, 로봇 콘트롤러(40)는 로봇(1)이 점 P5에 도달하면, 후퇴 종료신호를 시스템 콘트롤러(30)에 출력한다. 게다가, 점 P5에서 로봇은 정지하는 일은 없다.
시스템 콘트롤러(30)는, 상기 후퇴 종료신호를 수신하면, 우선 게이트 밸브(6c)를 닫는 제어를 행하고, 게이트 밸브 개폐 센서(6cs)의 출력에 의해 게이트 밸브(6c)의 폐쇄를 확인하면, 다음에 게이트 밸브(6d)를 개방하는 제어를 실행한다. 또한, 전술한 바와 같이, 게이트 밸브(6c)(6d)가 개폐될 때, 2개 이상의 게이트 밸브를 동시에 열 수 없는 제한에 의해, 게이트 밸브(6c)의 폐쇄 후에 게이트 밸브(6d)를 개방하도록 되어 있다.
한편, 상기 게이트 밸브(6c)(6d)의 개폐동작에 병행하여 로봇(1)은, 점 P5에서 점 P6, 점 P7을 경유하여 점 P8으로의 선회 이동을 수행한다. 본 실시예에서는, 로봇의 속도 제어에 의해 웨이퍼(W)가 점 P8에 도달한 시점에서 게이트 밸브(6d)의 개방이 종료되도록 하고 있다.
그리고, 로봇(1)은, 이 점 P8에 있어서도 정지하는 일 없이, 점 P4를 향한 이동을 속행한다. 로봇 콘트롤러(40)는 웨이퍼(W)가 점 P4에 도달하면, 이동 종료신호를 시스템 콘트롤러(30)에 송출한다. 이상이 웨이퍼 반송동작에 대한 개략적인 설명이다.
또한, 이 경우의 웨이퍼의 이동경로 q 는, 점 P5와 점 P6의 사이, 그리고 점 P7과 점 8 사이를, 원호 등의 곡선으로 결합한 지름길 궤적에 의해 이동하도록 하여, 이송 소오스인 처리 체임버(3c)로부터 이송 목적지인 처리 체임버(3d)까지의 공작물 이송거리를 단축시킴은 물론, 경로상에 방향변환을 위한 급각도를 없애서, 공작물을 완만한 곡선 상을 이송할 수도 있도록 하여, 공작물 낙하 등의 사고를 방지하도록 하고 있다.
다음에, 도 4 등을 이용하여 로봇(1)의 속도제어에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
도 4에 도시한 바와 같이, 어떤 처리 체임버 내의 소정의 웨이퍼 적재 위치를 시점 S(도 3의 P1에 대응)로 하고, 다른 처리 체임버 내의 소정의 웨이퍼 적재 위치를 종점 E(도 3의 P4에 대응)로 한 웨이퍼의 이동을 고려한다. 점 1은 로봇 암(11)(12)에 의한 암 축퇴의 종료점이고, 또 점 2는 선회동작의 종료점이다. 또한, 이 경우에는 암 신축동작과 선회동작을 합성한 지름길 궤적을 따라 공작물을 이행시키도록 하고 있기 때문에, 실제의 선회동작의 개시점은 점 1보다 약간 앞쪽의 위치이고, 또 암 신장의 개시점은 2보다 약간 앞쪽의 위치가 된다.
또한, 이 경우, 시점 S쪽의 게이트 밸브를 6S라 하고, 종점 E쪽의 게이트 밸브를 6E라 한다.
여기서, 이하의 파라미터를 설정한다.
vm: 로봇의 암 신축시의 최대 이동 속도
am: 로봇의 암 신축시의 최대 이동 가속도
t1: 점 S에서 점 1까지의 이동시간 (점 2에서 점 E까지의 이동시간)
L1: 점 S에서 점 1까지의 거리 (점 2에서 점 E까지의 거리)
ωm: 로봇의 최대 선회 속도
dωm: 로봇의 최대 선회 가속도
V1: 점 1을 통과하는 로봇의 속도 (정확하게는, 암의 축퇴동작에서 선회동작으로 이행할 때의 로봇의 속도로, 암의 축퇴속도와 선회 개시 속도의 합성속도가 된다)
V2: 점 2를 통과하는 로봇의 속도 (정확하게는, 암의 선회동작에서 암의 신장동작으로 이행할 때의 로봇의 속도로, 암의 신장속도와 선회 종료 속도의 합성속도가 된다)
θ: 선회각
T: 로봇이 시점 S쪽의 처리 체임버로부터 후퇴한 후에, 개방된 상태에 있는 게이트 밸브(6S)를 폐쇄한 후, 종점 E쪽의 게이트 밸브(6E)를 완전히 열리게 하는데 소요되는 시간 (시스템 고유의 고정값)
r: 선회반경
다음에, 이하에서 제 1 실시예의 속도제어를 행할 대의 전제조건을 보인다.
· 전제조건(a) : 시점 S에서 종점 E까지의 이동 속도 패턴은 시간축의 중점을 중심선으로 하여 선대칭이 된다(도 8(b), 도 9(b), 도 10(b) 참조). 따라서, 항상 V1 = V2이다.
· 전제조건(b) : 점 2에 대응하는 점(도 3에서는 점 P8)에 웨이퍼(W)가 도달하였을 때에, 게이트 밸브(6E)의 개방이 종료되도록 이동속도를 가감속 제어한다.
· 전제조건(c) : V1 및 V2는, 시점 S 및 종점 E에서 정지할 수 있고 또한 점 1에서 점 2까지의 이동시간이, 게이트 밸브(6S) 및 (6E)의 개폐에 요구되는 시간 T 이상이 되도록 하는 조건으로, 가능한 한 크게 한다.
· 전제조건(d) : 점 1에서 점 2까지의 이동시간은, 상기 게이트 밸브의 개폐의 합계 시간(T) 이상인 조건에서 가능한 한 작게 한다.
· 전제조건(e) : 웨이퍼가 손에서 벗어나거나 낙하하지 않도록 한계속도 Vlt 및 한계 가속도 alt를 설정한다.
제 1 실시예에서는, 상기 전제조건(a) - (d)를 모두 만족하도록 이동속도 패턴을 생성한다.
이하, 도 1의 흐름도에 따라 상기 전제조건(a) - (d)를 만족하는 제 1 실시예의 이동속도 패턴 도출 제어 순서에 대해 설명한다.
로봇 콘트롤러(40)에서는, 시스템 콘트롤러(30)로부터 웨이퍼 이동지령이 입력되면(단계 100), 점 1 (및 점 2)에서의 이동속도 V1 (= V2)를 결정하기 위해, 우선 이하의 4개의 값을 계산하고(단계 110), 이들 계산된 4개의 값 중에서 가장 작은 값을 점 1 (및 점 2)에서의 이동속도 V1 (= V2)로 한다(단계 120). 또한, √()는, () 내의 식이 √ 내에 포함되는 것을 나타내는 대용기호이다.
· vm
· √(2am·L1)
· rωm
·r·vc
우선, vm은 로봇의 암 신축시의 최대 이동 속도로, 이것은 로봇 고유의 값(고정값)이다. 즉, V1 (= V2)으로서 vm이 선택되는 경우, 시점 S를 출발하여 점 1에 도달하기 전에 최고속도 vm에 도달한 경우를 상정하고 있다.
다음에, √(2am·L1)은 시점 S에서 점 1까지 최대 가속도 am으로 계속 가속된 때의 점 1에서의 속도이다. 즉, √(2am·L1)은 이하의 식(1)에 의해 도출된다.
V1 = am·t1 = √(2am·L1)
왜냐하면, t1 = √(2L1/am) ... (1)
이 값 √(2am·L1)이 V1 (= V2)로서 선택되는 경우에는, 시점 S를 출발한 후에, 최고 가속도 am에서 가속되고 있는 상태이며, 최고 속도 vm에 도달하기 전에 점 1에 도달된 경우이다.
다음에, r·ωm은 점 1에서의 최대 선회 각속도이다. 즉, 점 1에 있어서, 예를 들어 로봇 암의 축퇴속도 (예컨대 vm)가 암의 선회 최고 속도 r·ωm을 상회하는 것이 가능하다고 하여도, 점 1의 속도 V1으로서 선회 최고 각속도 r·ωm보다도 큰 암 축퇴속도를 선택하면, 그 후의 선회시에 급격한 속도 저하를 강요할 수 있기 때문에, 암의 선회 최고 각속도 r·ωm이 vm이나 √(2am·L1)보다도 작은 경우에는, 점 1의 속도 V1으로소, 선회 최고 각속도 r·ωm을 선택한다.
다음에, r·vc이지만, 이 값은 vc(각속도)는, 처리 체임버 사이의 이동거리가 짧고 (선회각도 θ가 작다), 점 1에서 점 2까지의 이동시간을 상기 게이트 밸브(6S) 및 (6E)의 개폐에 요구되는 시간 T보다도 크도록 하고, 또한 V1 (=V2)를 가능한 한 큰 값으로 설정하고자 하는 경우에, 점 1에서 점 2로의 선회동작시에 적어도 어떠한 감속 → 가속동작이 필요하게 되는 경우를 상정하고, 도 5(a)(b)를 참조하여 vc에 대해 설명하기로 한다.
우선, 이 선회운동시의 감속 → 가속동작에 있어서는, V1 (=V2)를 가능한 한 큰 값으로 설정할 수 있도록 하였기 때문에, 도 5에 도시한 바와 같이, 로봇의 최대 선회 가속도 (= 최대 선회 감속도) dωm을 가지고 감속 → 가속동작을 실행한다.
여기서, 점 1의 각속도 (= 점 2의 각속도)를 vc로 한 경우, 도 5(a)에 도시한 바와 같이, 최대 선회 가속도 dωm을 가지고 속도 0까지 감속한 경우의 감속시간은 vc/dωm이 되고, 또한 속도 0의 상태로부터 재차 최대 선회 가속도 dωm을 가지고 vc까지 가속한 때의 가속시간도 vc/dωm이 된다. 또한, 도 5(a)에 있어서, 해칭 부분의 면적은 선회각 θ와 같기 때문에, 이하의 식(2)이 성립한다.
vc = √(dωm·θ)
왜냐하면, 2·(vc/2)·(vc/dωm) = θ ... (2)
따라서, 점 1의 속도를 vc = √(dωm·θ)로 하여 최대 선회 가속도 dωm을 가지고 속도 0까지 감속하고, 그 직후에 속도 0의 상태로부터 재차 최대 선회 가속도 dωm을 가지고 원래의 속도 vc까지 되돌아가는데 소요되는 시간은,
2√(dωm·θ)/dωm
이 된다.
따라서, 이 시간 2√(dωm·θ)/dωm을 상기 게이트 밸브(6S) 및 (6E)의 개폐에 소요되는 시간 T와 비교하여,
T ≥ 2√(dωm·θ)/dωm인 경우에는, vc = √(dωm·θ)로 하여, 도 5(a)에 도시한 속도 패턴을 점 1에서 점 2의 이송 속도 패턴으로서 채용한다.
즉, 이 도 5(a)에 도시한 속도 패턴에 있어서는, V1 (= V2)를 가능한 한 큰 값으로 설정하면서, 점 1에서 점 2까지의 이동시간이 상기 개폐시간 T에 일치하도록, 일시정지를 포함하는 선회 속도 제어를 행하도록 하고 있다.
다음에, T ＜ 2√(dωm·θ)/dωm인 경우에는, 점 1에서 점 2까지의 이동속도 패턴으로서, 도 5(b)에 도시한 패턴이 채용된다.
즉, 이 도 5(b)의 속도 패턴은, 점 1에서 점 2까지의 선회동작시에, 상기 도 5(a)의 속도 패턴과 마찬가지로, 최대 가속도 dωm을 가지고 감속 → 가속운동을 행하지만, 속도 0까지 저하시킴이 없이 점 1에서 점 2까지의 선회시간을 상기 게이트 밸브 개폐시간 T에 일치시킬 수 있는 경우이고, 이 경우의 vc는 다음과 같이 된다. 또한, ( )＾2는 ( ) 안을 제곱하는 것을 나타내는 대용기호이다.
즉, 도 5(b)에 있어서, 해칭 부분의 면적은 선회각 θ에 일치하기 때문에, 이하의 식이 성립된다.
θ = (T·dωm/2)·(T/2) + (vc - (T·dωm/2))·T
따라서,
vc = {θ + (T/2)＾2·dωm}/T ...(3)
이 된다.
즉, 도 1의 단계 110의 vc를 계산할 때,
T ≥ 2√(dωm·θ)/dωm인 경우에는,
vc = √(dωm·θ)
가 선택되고,
T ＜ 2√(dωm·θ)/dωm인 경우에는,
vc = {θ + (T/2)＾2·dωm}/T
가 선택된다.
다음에, 도 1의 단계 120에 있어서는, 전술한 바와 같이, 상기 계산된 4개의 파라미터 vm, √(2am·L1), rωm, rvc 중에서 가장 작은 값의 것을 점 1의 속도 V1 (= 점 2의 속도 V2)로서 결정한다.
우선, 상기 4개의 파라미터 중 vm 또는 √(2am·L1)이 선택되는 경우에 대해 설명하기로 한다(단계 130, 140).
vm이 선택된 경우, 시점 S에서 점 1까지 그리고 점 2에서 종점 E까지의 속도 패턴은, 통상 도 6(a)에 도시한 바와 같다. 즉, 시점 S에서 최고 암 신축 가속도 am을 가지고 가속하고, 점 1에 도달하기 전에 최고 속도 vm에 도달하는 것이다.
또한, √(2am·L1)이 선택된 경우, 시점 S에서 점 1까지 그리고 점 2에서 점 E까지의 속도 패턴은 통상 도 6(b)에 도시한 바와 같이, 즉, 시점 S에서 최고 암 신축 가속도 am을 가지고 가속하고, 최고 속도 vm에 도달하기 전에 점 1에 도달하는 것이다.
다음에, 점 1에서 점 2까지의 선회동작은, vm 및 √(2am·L1)중 어느 쪽이 선택된 경우에도, 동일한 속도 패턴을 선택한다.
즉, 단계 130에서 vm 또는 √(2am·L1)이 선택되었다는 것은, 선회 최고 속도 rωm은 이들의 값 V1 (= vm 또는 √(2am·L1))보다도 크다는 것이며, 따라서 그 V1 값으로부터의 가감속이 가능하다는 것을 의미한다.
그래서, 단계 140에 있어서, 그 V1 값에서 점 1 및 점 2 사이의 원호 거리 rθ를 이동한 때의 소요시간 rθ/V1을 상기 게이트 개폐시간 T와 비교하고, rθ/V1 ≥ T이면, 점 1 및 점 2 사이를 T 보다도 크게 그리고 가능한 한 짧은 시간에 선회할 수도 있도록, 도 7(a)에 도시한 바와 같은 증속 패턴 A를 채용한다(단계 150).
또한, rθ/V1 ＜ T 이면, 점 1 및 점 2 사이를 상기 게이트 개폐시간 T와 일치하는 시간에서 이동할 수 있도록, 도 7(b)에 도시한 바와 같은 감속 패턴 B를 채용한다(단계 160).
다음에, 상기 4개의 파라미터 중에서 rωm이 선택된 경우에 대해 설명한다(단계 130, 170).
최고 선회 속도 rωm이 선택된 경우, 시점 S에서 점 1까지 그리고 점 2에서 종점 E까지의 속도 패턴은, 예를 들어 도 6(c)에 도시한 바와 같다. 이 도 6(c)의 속도 패턴은 그 일례로, 시점 S에서 점 1까지의 경로에 대해 말하면, 점 1에서 rωm이 얻어지고 시점 S 및 점 1 사이를 가능한 한 단시간에 이동할 수 있도록 속도 패턴을 선택하게 된다.
다음에, rωm이 선택된 경우, 점 1에서 점 2까지의 선회동작은, 도 7(b)에 도시한 감속 패턴 B 및 도 7(e)에 도시한 등속 패턴 E중 어느 쪽이든 된다.
즉, rωm이 선택된 경우, 그 V1값 (= rωm)에서 점 1 및 점 2 사이의 원호거리 rθ를 이동한 때의 시간 θ/ωm을 상기 게이트 개폐시간 T와 비교하여, θ/ωm ≥ T 이면, 점 1 및 점 2 사이를 T 보다도 크게 그리고 가능한 한 단시간에 선회할 수 있도록, 도 7(e)에 도시한 바와 같은 등속 패턴 E를 채용한다(단계 180). 그리고, 이 경우에는, V1으로서 최고 선회 속도 rωm이 채용되기 때문에, 이 이상의 증속은 불가능하여, 등속제어가 된다.
또한, θ/ωm ＜ T 이면, 점 1 및 점 2 사이를 상기 게이트 개폐시간 T와 일치하는 시간에서 이동할 수 있도록, 도 7(b)에 도시한 바와 같은 감속 패턴 B를 채용한다(단계190).
다음에, 상기 4개의 파라미터 중에서 r·vc가 선택된 경우에 대해 설명하기로 한다(단계 130, 200).
rvc가 선택된 경우, 시점 S에서 점 1까지 그리고 점 2에서 종점 E까지의 속도 패턴은, 예를 들어 도 6(d)에 도시한 바와 같다. 이 도 6(d)의 속도 패턴은 그 일례로, 시점 S에서 점 1까지의 경로에 대하여 말하면, 점 1에서 속도 rvc가 얻어지고 또한 시점 S 및 점 1 사이를 가능한 한 단시간에 이동할 수 있도록 속도 패턴을 선택하도록 한다. 물론, 이 때의 vc 값은, 전술한 바와 같이, T ≥ 2√(dωm·θ)/dωm인 경우에는 vc = √(dωm·θ)가 선택되고, T ＜ 2√(dωm·θ)/dωm인 경우에는 vc = {θ + (T/2)＾2·dωm}/T가 선택된다.
다음에, rvc가 선택된 경우, 점 1에서 점 2까지의 선회동작은, 앞서의 도 5를 이용하여 설명한 바와 같이, T ≥ 2√(dωm·θ)/dωm인 경우에는 도 7(c)에 도시한 속도 패턴 C (= 도 5(a))가 선택되고 (단계 200, 210), T ＜ 2√(dωm·θ)/dωm인 경우에는 도 7(d)에 도시한 속도 패턴 D (= 도 5(b))가 선택된다 (단계 200, 220).
이와 같이 하여 시점 S에서 종점 E까지의 속도 패턴이 결정되면, 로봇 콘트롤러(400는 그 결정된 속도 패턴에 따라 로봇(1)을 속도 제어한다.
도 8, 도 9, 도 10은, 상기 제 1 실시예에 따른 속도 패턴과 종래 기술의 속도 패턴의 비교예를 보인 것이다. 또한, 이들 도면에 있어서, 각 시간축상의 점 P2, P3는 도 3 위의 점을 보여주고 있다.
도 8의 경우, 종래 기술에서는, 점 P3에서 정지하여 게이트 밸브(6d)의 개방을 기다리지만, 본 제 1 실시예에 의하면 점 P3에 도달한 때와 게이트 밸브(6d)가 완전 개방된 시점이 일치하고, 또한 전체의 이송시간도 종래에 비해 2ΔT 만큼 단축될 수 있다.
또한, 도 9의 경우에 있어서도, 본 제 1 실시예에 의하면, 전체의 이송시간도 종래에 비해 2ΔT 만큼 단축될 수 있다.
또한, 도 10의 경우에는, 종래에 있어서도 로봇 선회중에 게이트 밸브(6d)가 열리게 되어 대기하는 시간은 없지만, 본 제 1 실시예에 의하면 이러한 종래기술보다도 2ΔT + α만큼 웨이퍼 이송시간을 단축할 수 있다. 더욱이, α는 게이트 밸브(6d)가 열리고 나서 종래기술에 의해 종점 P4까지 도달할 때까지의 시간이다.
더욱이, 상기 제 1 실시예에서는, 시점 S에서 종점 E가지의 이동속도 패턴은 시간축의 중점을 중심선으로 하여 선대칭이 되도록 하였으나, 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 즉, V1 ≠ V2로 하여도 좋다.
다음에, 도 11에 따라 본 발명의 제 2 실시예에 대해서 설명한다.
이 제 2 실시예에 의하면, 도 11의 점 2에 도달한 때에 (실제로는, 점 2 위로는 통과하지 않기 때문에 점 2를 통과하여야 하는 시각에 대응하는 이동 궤적(지름길 궤적) 위의 점), 이송 목적지쪽의 게이트 밸브(6E)의 개폐상태를 검사하고, 게이트 밸브(6E)가 폐쇄된 경우에는 게이트 밸브(6E) 앞의 소정의 정지 위치 Q에서 정지하고, 게이트 밸브(6E)가 개방된 경우에는 정지 위치 Q에서 정지함이 없이 그 대로 종점 위치 E까지 이동하도록 한다. 이 때문에, 이 제 2 실시예에서는, 점 2로부터의 감속제어에 의해 점 Q에서 정지할 수 있도록 점 1의 속도 n, 점 1 및 점 2 사이의 이동속도, 점 2의 속도 u를 설정하도록 하고 있다. 단, 이 제 2 실시예에서는, 점 2에 있어서, 게이트 밸브(6E)의 개폐상태를 검사하도록 하고 있기 때문에, 점 1에서 점 2까지의 선회시간이 항상 게이트 밸브(6S)(6E)의 개폐에 요구되는 시간 T이상이 되도록 속도 패턴을 설정하도록 하고 있지는 않다.
우선, 점 Q에서 정지하기 위해서는 점 2의 속도 u는 이하의 식(4)을 만족하는 것이 조건이 된다.
u ≤ √(L3/L1)·√(2am·L1) ... (4)
즉, √(2am·L1)은 속도 0의 상태에서 암 신축시의 최대 이동 가속도 am으로 거리 L1만큼 계속 가속한 때의 속도이고, 이것을 √(L3/L1)으로 비례배분함으로써, 점 Q에서 정지하기 위한 점 2의 상한속도 u를 구할 수 있다.
더욱이, 점 1 및 점 2 사이는, 로봇의 최대 선회 가속도 dωm을 가지고 감속하려고 하면, 점 1에서의 속도 n은 이하의 식(5)에서 식(6)과 같이 된다. 또한, r＾2는 r의 제곱이고, u＾2는 u의 제곱이다.
((n+u)/2)·((n-u)/(r·dωm)) = rθ ... (5)
n = √(2r＾2·θ·dω + u＾2) ... (6)
즉, 이 제 2 실시예에 있어서는, 앞서의 제 1 실시예의 도 1의 단계 120)에 도시한 선택 조건식 min(vm, √(2am·L1), rωm, rvc)의 rvc를 n으로 치환한 이하의 식
min(vm, √(2am·L1), rωm, n)
에 따라 점 1에서의 최종적인 속도 V1을 결정하도록 하고 있다. 점 2에서의 최종적인 속도는 상기 상한 속도 u 이다.
따라서, V1으로서 n이 선택된 경우에는, 점 1에서 점 2까지의 선회 속도 패턴은 도 12(a)에 도시한 바와 같으며, 또한 V1으로서 n 이외의 것이 선택된 경우에는, 점 1에서 점 2까지의 선회 속도 패턴은 도 12(b)에 도시한 바와 같이 된다.
이 제 2 실시예에 있어서도, 시점 S에서 점 1 까지의 이동은 앞서의 제 1 실시예와 마찬가지이며, 결정된 점 1에서의 속도 V1을 실현하고, 가능한 한 조기에 점 1에 도달할 수 있도록 그 이동속도 패턴이 결정된다.
이와 같이 이 제 2 실시예에서는, 점 2에서 로봇은 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 밸브의 폐쇄가 검출된 경우에 이송 목적지인 처리 체임버 앞의 소정의 정지점 Q에서 정지할 수 있는 속도 패턴 중에서 가장 이송시간이 짧은 고속도 패턴으로 이동할 수 있게 된다.
또한, 상기 정지점 Q로서는, 가능한 한 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트(6E)에 가까운 위치가 바람직하지만, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트(6E)에 공작물이 도달하기 전의 이동 궤적 위의 위치이면, 그 위치는 임의로 설정하여도 좋다. 또한, 상기 게이트(6E)의 개방을 확인하기 위한 위치도 정지 위치 Q보다도 앞의 위치이면 점 2에 대응하는 위치로 한정하지 않고 임의로 선택할 수 있다.
다음에, 이 발명의 제 3 실시예에 대해 설명하기로 한다.
앞서의 제 2 실시예에서는, 점 1에서 점 2 까지의 선회시간이 항상 게이트 밸브(6S)(6E)의 개폐에 요구되는 시간 T 이상이 되도록 속도 패턴을 설정하지는 않았다. 그러나, 이 제 3 실시예에서는, 점 1에서 점 2까지의 선회시간이 항상 게이트 밸브(6S)(6E)의 개폐에 요구되는 시간 T 이상이 되고 또한 이 선회시간이 가능한 한 단시간이 되도록 이송 속도 패턴의 설정을 행하도록 하고 있다. 이 점이 제 3의 실시예와 제 2 실시예의 차이이다.
즉, 이 제 3 실시예에 있어서도,
min(vm, √(2am·L1), rωm, n)
에 따라 점 1에서의 최종적인 속도 V1을 결정하도록 하고 있으나, 상기 n의 내용이 앞서의 제 2 실시예와는 다르다.
즉, 이 제 3 실시예에서는, 점 2에서의 감속 제어에 의해 점 Q에서 정지될 수 있고, 또한 점 1에서 점 2까지의 선회시간이 항상 게이트 밸브(6S)(6E)의 개폐에 소요되는 시간 T 이상이 되고, 게다가 이 선회시간이 가능한 한 단시간이 되도록 점 1의 속도 n, 점 1 및 점 2 사이의 이동 속도, 점 2의 속도 u를 설정하도록 하고 있으나, 상기 시간 T를 고려하였기 때문에 n이 4종류의 다른 값이 취하게 된다. 또한, 점 2의 속도 u도 1 종류로는 되지 않는다.
이하, 제 3 실시예를 도 11을 참조하여 설명하기로 한다.
이 제 3 실시예에 있어서도, 점 Q에서 정지하기 위해서는, 점 2의 속도 u는 앞서의 (4)식으로부터,
u = √(L3/L1)·√(2am·L1) = U ...(7)
이면 좋다. 이 (7)식에 의해 결정되는 u를 U라 한다.
또한, 상기와 마찬가지로, 점 1 및 점 2 사이를 로봇의 최대 선회 가속도 dωm을 가지고 감속한다고 하면 점 1에서의 속도 n은 식(6)으로부터
n = √(2r＾2·θ·dω + u＾2) = N ... (8)
이 된다. 이 (8) 식에 의해 결정되는 n을 N이라 한다.
여기서, 점 1의 속도를 N이라 하고, 점 2의 속도를 U라 한 경우에, 점 1에서 점 2까지를 로봇의 최대 선회 가속도 dωm을 가지고 선회하기 위한 시간은, (N - U)/(r·dωm)이 되므로,
T ≤ (N - U)/(r·dω)의 경우에는,
n = N이 되고, u = U가 되고, 점 1에서 점 2까지의 선회 속도 패턴은 도 13(a)와 같이 된다.
그러나, T 〉(N - U)/(r·dω)의 경우에는, 점 1에서 점 2까지의 선회속도 패턴으로서, 도 13(b) - 도 13(e)에 도시한 패턴 중에 1개가 선택된다.
여기서, 도 14에 도시한 바와 같이, 최대 가속도 r·dωm으로 감속되고, 속도 0으로 된 시점에서 즉시 최대 가속도 r·dωm으로 가속되고, 그 후에 속도가 U와 같아질 때까지의 이동거리(선회거리)가 r·θ와 같아지도록 점 1에서의 속도 N0을 구하면,
(N0/2)·(N0/(r·dωm)) + (U/2)·U/(r·dωm)) = r·θ
의 관계에 의해,
N0 = √(2·r＾2·θ·dωm - U＾2) ... (9)
가 된다 .
다음에, T 〉(N - U)/(r·dω)인 때에는, 우선 도 13(b)에 도시한 2개의 다른 해칭 부분의 면적이 같아지도록 속도 n1을 구한다.
즉, T 〉(N - U)/(r·dω)인 때에는, 도 13(a)에 도시한 속도 패턴보다 전체적으로 속도를 떨어뜨려서, 점 1에서 점 2까지 (거리는 r·θ)의 선회시간이 T에 일치하게 할 필요가 있기 때문에, 이 경우에는, 감속 가속도 dωm은 변하지 않고 점 1 에서의 속도를 n1으로 내리고, 소정시간 t1이 경과한 후에, 가속도 dωm을 가지고 재가속함으로써 속도저하를 실현한다.
우선,
n1 - r·dωm·t1 + r·dωm·(T - t1) = U
보다
t1 = 1/2·{((n-1 - U)/(r·dωm)) + T} ... (10)
이 된다.
또한, 그 면적으로부터
n1·t1 - (1/2)·r·dωm·t1＾2 + U(T - t1) -
(1/2)·r·dωm·(T - t1)＾2 = r·θ
가 성립되고, 따라서 다음의 식(11)이 성립된다.
(n1 - U) t1 + U·T
- (1/2)·r·dωm·(T＾2 - 2Tt1 + 2t＾2) = r·θ ... (11)
상기 (10) 식 및 (11) 식에 의해 n1을 산출한다.
다음에, 이렇게 하여 산출한 n1을 앞서의 도 14에 따라 구한 N0와 비교하고, 이 비교결과에 기초하여 도 13(b) - 도 13(e)에 도시한 패턴 중에서 1개를 선택한다.
즉, n1 ≥ N0의 경우에는, n = n1 이고, 또한 u = U가 되고, 점 1에서 점 2까지의 선회속도 패턴은 도 13(b)와 같이 된다.
또한, n1 ＜ N0 의 경우에는, N0가 U보다 큰지 작은지에 따라 선택되는 속도 패턴이 다르다.
즉, n1 ＜ N0이고 N0 ＞ U인 경우에는, n = N0이고, 또한 u = U가되고, 점 1에서 점 2까지의 선회 속도 패턴은 도 13(c)와 같게 된다.
또한, n1 ＜ N0이고, N0 ＜ U인 경우에는, 점 1에서 점 2까지의 선회 속도 패턴은 도 13(e) 또는 도 13(e)중 어느 하나가 선택되고, 그 때의 n, u는 도 13(d), 도 13(e)에 도시한 속도 패턴이 성립될 수 있도록 값이 선택된다.
즉, N0 ＜ U이라는 것은, 점 1의 속도 n을 점 2의 속도 u보다도 늦어지게 한다는 것이기 때문에, 이것은 시점 S로부터 점 1 까지의 후퇴를 가능한 한 빠르게 한다고 하는 원칙에 벗어나는 것이 되기 때문에, 점 2에서의 속도 u를 U보다도 작게 하여 점 1에서의 속도 n을 가능한 한 크게 하도록 한 것이다.
여기서, 도 13(d) 또는 도 13(e)의 경우에는, n = u로 하여, n 및 u를 구할 때의 계산을 단순화하고 있다.
도 13(d)의 예에 있어서는,
n ·T - (1/2) ·T·(r·dωm·(1/2)) = r·θ
가 성립되기 때문에,
n = u = (r·θ/T) + (r·dωm·T·(1/4)) ... (12)
가 된다.
또한, 도 13(e)의 예에서는,
n·(n/(r·dωm)) = r·θ
가 성립되기 때문에
n = u = r √(dωm·θ)
가 된다.
게다가, 도 13(d) 또는 도 13(e)에 도시한 속도 패턴에 있어서는, n = u로 하였지만, n ＞ u가 성립되는 최적의 n 및 u를 결정하도록 하여도 좋다.
이와 같이 이 제 3 실시예에서는, 앞서의 제 2 실시예에 대하여, 점 2에 로봇이 도달한 때에 이송 목적지인 게이트 수단의 개방이 종료되고, 또한 점 1에서 점 2까지의 이송시간이 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 밸브의 개폐에 소요되는 시간 T 이상의 최단시간이 되는 조건을 추가하여 이동속도 패턴을 설정연산하도록 하고 있기 때문에, 어떠한 이상이 발생되는 때 이외에는 로봇이 도중에 정지하는 일이 없어지고, 보다 효율이 좋은 웨이퍼 운반동작을 이룰 수 있다.
다음에, 도 15에 따라 본 발명의 제 4 실시예에 대해 설명한다.
이 제 4 실시예는 앞서의 제 2 실시예 또는 제 3 실시예에 대하여, 1개의 기능을 추가한 것이다.
이 추가기능에서는, 도 15(a) 및 도 15(b)에 도시한 바와 같이, 점 1에서 점 2로의 이동중에, 순차적으로 게이트 밸브(6E)의 개방상태를 검사하고, 점 1에서 점 2로의 이동중에 게이트 밸브(6E)의 개방을 확인한 경우에는, 그 때의 상태가 감속중이라면, 그 시점에서 감속동작을 정지하고, 즉각 최고 가속도 dωm에서의 가속동작을 행하도록 하고 있다. 단, 가속동작시에는, 속도가 허용속도의 한계치 Vlt에 도달한 경우에는, 이 한계 속도 Vlt를 유지하도록 한다.
이 경우의 한계 속도 Vlt는 하기의 식과 같이, vm, rωm, √(2am·L1)중 최소치가 된다.
min(vm, rωm, √(2am·L1))
또한, 상기 식에 있어서, 암 신축속도에 관한 파라미터 vm, √(2am·L1)을 입력한 것은, 선회동작의 종료점인 점 2에서 상기 vm 또는 √(2am·L1)을 초과하면 종점 E에서 정지할 수 없게 되기 때문이다.
이 제 4 실시예에 있어서는, 점 1에서 점 2의 이동중에 게이트 밸브(6E)의 개방을 확인한 경우, 그 때의 상태가 감속중이라면, 그 시점에서 감속동작을 정지하고 즉시 최고 가속도 dωm 에서의 가속종작을 행하도록 하고 있기 때문에, 이송시간이 보다 짧은 웨이퍼 반송을 이룰 수 있다.
또한, 이 제 4 실시예에 있어서, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트(6E)의 개방의 확인을 개시하는 시기는 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트(6S)를 공작물이 통과한 후의 시점이라면 언제라도 좋다.
다음에, 도 18에 따라 본 발명의 제 5 실시예에 대하여 설명한다.
이 제 5 실시예에서는, 선회궤적을 게이트(6S)(6E)에 가까운 위치에 설정하도록 하고 있기 때문에, 점 2 근방에서 게이트(6e)를 향해 암 신장동작을 행한 경우, 게이트(6E)가 폐쇄된 경우에는 공작물이 게이트(6E)에 충돌하게 된다.
따라서, 이 제 5 실시예에서는, 선회궤적 위의 소정의 위치 Qc에 공작물이 도달한 시점에서 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트(6E)의 개방 확인을 개시하고, 게이트(6E)의 개방이 확인된 시점에서 게이트(6E)를 향하는 암의 신장동작을 개시하도록 하고 있다. 또한, 이 경우, 공작물의 선회 궤적과 암 신장궤적이 교차하는 점 2를 공작물 정지점으로 하여 설정하도록 하고 있다. 따라서, 공작물이 점 2에 도달할 때까지 게이트(6E)가 열리지 않는 경우에는, 공작물은 점 2에서 일단 정지하고, 게이트(6E)가 열린 시점으로부터 게이트(6E) 방향으로의 암 신장동작을 행하게 된다.
또한, 이 제 5 실시예에서는, 도 18에 도시한 바와 같이, 점 1 및 점 2 부근의 이동시에 적극적으로 지름길 궤적을 채용하여, 공작물의 이송 거리를 가능한 한 짧아지도록 하여, 공작물 이송 시간의 단축화를 도모하도록 하고 있다.
또한, 이 실시예에서는, 도 19에도 도시한 바와 같이, 시점 S에서 점 1(정확하게는 점 Qb) 까지 공작물을 구심방향으로 이송하여 정지시키기 위한 암 후퇴동작에 관한 제 1의 속도 패턴 K1과, 점 1에서 정지하고 있는 공작물을 가속 선회하여 점 2에서 정지시키도록 하기 위한 제 2의 속도 패턴 K2와, 점 2(정확하게는, 점 Qc)로부터 종점 E까지 공작물을 원심방향으로 이송하여 정지시키기 위한 암 신장동작에 관한 제 3의 속도 패턴 K3를 각각 준비하고, 이들을 중합(합성)함으로써, 시점 S에서 종점 E에 이르는 속도 패턴을 발생시키도록 하고 있다. 또한, 도 19에 도시한 속도 패턴은 단지 일례를 보인 것에 지나지 않는다.
이 경우, 제 1의 속도 패턴과 제 2의 속도 패턴을 합성하는 위치는 고정되어 있고, 공작물 중심이 게이트(6S)의 위치 Qa에 도달한 시점이 된다. 한편, 제 2의 소도 패턴과 제 3의 속도 패턴의 합성 위치는 고정되지 않고, 선회궤적 상의 점 Qc로부터 점 2까지의 사이의 위치에서 게이트(6E)의 개방이 확인된 위치가 된다.
또한, 이 경우에는, 점 2에 정지점을 설정하도록 하고 있기 때문에, 제 1 및 제 2의 속도 패턴은, 점 2에 정지하는 것이 가능할 것, 암 신축 및 선회동작의 한계 속도를 상회하지 않을 것, 시스템의 한계 속도 Vlt 및 한계 가속도 alt를 상회하지 않을 것을 조건으로 하여 가장 단시간에 시점 S 및 종점 E 간의 이송이 가능하도록 속도 패턴에 설정하도록 하고 있다. 또한, 제 3의 속도 패턴은 제 1의 속도 패턴과 동일한 패턴으로 한다.
또한, 이 경우에, 점 Qc의 위치는 다음과 같이 하여 설정한다.
즉, 암 후퇴동작의 최고 가속도를 am으로 하고, 선회동작의 최고 가속도를 dωm으로 하고, 점 2 및 점 Qd 사이의 거리를 Ld로 하고, 점 2 및 점 Qc 사이의 거리를 Lc로 하면, 최고 가속도에서 점 2에서 점 Qd 까지 이동하는 데에 소요되는 시간 T는,
T = √(2·Ld/am)
이기 때문에, 이 시간 T의 사이에 점 2에서 선회궤적 위를 역방향으로 최고 선회 가속도 dωm을 가지고 선회하는 것이 가능한 거리 Lc는, 점 Qc의 점 2로부터의 원호상의 거리로 하여 설정한다.
즉,
Lc = (Ld·dωm)/am
이다.
다음에, 이 제 5 실시예의 동작을 도 20의 흐름도에 따라 설명한다.
웨이퍼 이동 명령이 입력되면, 로봇 콘트롤러(40)는 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버 번호에 대응하는 속도 패턴을 도시하지 않은 메모리로부터 읽어내고, 그 읽어낸 속도 패턴 K1에 따라 암을 후퇴동작시킨다 (단계 300). 또한, 통상적으로 암 신축동작에 대응하는 상기 제 1 및 제 3의 속도 패턴 K1, K3는 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버 번호에 관계 없이 공통이며, 선회동작에 관한 제 2의 속도 패턴 K2가 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 번호에 따라 다르다. 또한, 제 1 및 제 3의 속도 패턴 K1, K3도 공통이다.
다음에, 로봇 콘트롤러(40)는 공작물 이동개시후, 공작물이 게이트(6S)의 위치에 대응하는 소정의 점 Qa를 통과하는데 소요되는 소정의 시간이 경과한 것을 검출하면 (단계 310), 암 후퇴동작에 관한 제 1의 속도 패턴 K1에 선회 동작에 고나한 제 2의 속도 패턴 K2를 합성하고, 이 합성된 속도 패턴에 따라 로봇을 구동함으로서 공작물을 점 Qa로부터 점 Qb를 향해 지름길 궤적을 따라 이송하고, 그 종점 Qb 및 Qc 사이를 선회 이동시킨다 (단계320).
다음에, 로봇 콘트롤러(40)는, 공작물이 점 Qc의 위치를 통과하는데 소용되는 소정의 시간이 경과한 것을 검출하면 (단계 330), 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트의 게이트 밸브 개폐 센서의 출력으로부터 그 게이트의 개방을 확인하고 (단계 340), 이 시점에서 그 게이트의 개방을 확인한 경우에는, 이 시점에서 선회동작에 관한 제 2의 속도 패턴 K2에 암 신장동작에 관한 제 3의 속도 패턴 K3를 합성하고, 이 합성된 속도 패턴에 따라 로봇을 구동함으로써, 공작물을 점 Qc로부터 점 Qd를 향해 지름길 궤적을 따라 이송하고, 그 후 점 Qd 및 종점 E 사이를 직선 이동시킨다 (단계 370). 이 경우, 공작물은 도 18의 루트 R1위를 이동하게 된다.
한편, 공작물이 점 Qc에 도달한 때에는, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트의 개방을 확인할 수 없는 때에는, 그대로 제 2의 속도 패턴에 따라 선회동작을 속행시킨다. 또한, 이 선회동작에 병행하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트의 게이트 밸브 개폐 센서의 출력에 기초하여 그 게이트의 개방을 상시 확인하도록 하고 있으며 (단계 350, 360), 그 게이트의 개방을 확인한 시점에서 선회동작에 관한 제 2의 속도 패턴 K2에 암 신장동작에 관한 제 3의 속도 패턴 K3를 합성하고, 이 합성된 속도 패턴에 따라 로봇을 구동한다 (단계 370).
따라서, 상기 게이트의 개방을 확인한 시점이 도 19의 Qc' 시점인 경우, 공작물은 도 18의 루트 R2를 따라 이송되게 되고, 또한 그 게이트의 개방이 확인된 시점이 도 19의 Qc" 시점인 경우, 공작물은 도 18의 루트 R3를 따라 이송되게 된다. 게다가, 공작물이 선회속도 패턴에 따라 점 2에서 정지한 후에, 상기 게이트의 개방이 확인된 경우에, 공작물은 점 2까지 선회하고 여기서 일시 정지한 후에, 점 2에서 종점 E를 향해 직선 이동하게 된다.
이와 같이 이 제 5 실시예에서는, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트의 개방이 확인된 시점에 선회운동의 속도 패턴과 암 신장운동의 속도 패턴을 합성하고, 이 합성 속도 패턴에 의해 속도 제어를 행함으로써, 상기 점 2에서 공작물을 힘껏 정지시킴이 없이 공작물의 게이트로의 충돌을 회피할 수 있도록 되어 있기 때문에, 공작물이 실제로 정지하는 확률이 줄어듬과 더불어 로봇이 완전히 정지한 속도 0의 상태가 아니라 어느 정도의 속도를 가진 상태에서 이송 목적지인 처리 체임버의 가속동작을 행할 수 있게 된다.
또한 이 제 5 실시예에서는, 속도 패턴의 합성에 의해 게이트로의 충돌 회피 제어를 행하도록 하고 있기 때문에, 1개의 이송경로에 관하여 사전 갖추고 있는 속도 패턴은 3개의 속도 패턴으로 좋아지고, 메모리 용량을 절약할 수 있음을 물론, 그 제어 구성이 간단해진다.
또한, 상기 제 5 실시예에 있어서, 제 1의 속도 패턴과 제 3의 속도 패턴을 합성하는 위치는, 점 Qa에 한정되지 않으며, 점 Qa 및 점 1 사이의 위치라면 임의의 위치를 설정하여도 좋다. 또한, 제 2의 속도 패턴과 제 3의 속도 패턴의 합성을 개시하는 위치도 전술한 조건식에서 구해진 거리 Lc에 의해 결정되는 점 Qc에 한정되지 않으며 임의로 설정할 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 점 Qa, 점 Qc를 공작물이 통과한 것을 판단하는 방법으로 하여, 이들 점을 통과하는데 소요되는 소정의 시간이 경과한 것을 검출하도록 하고 있으나, 공작물의 위치를 직접 구하여 상기 점을 통과한 것을 판단하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 제 5 실시예에 있어서, 정지점은 점 2에 설정하는 것이 좋지만, 선회궤적위의 임의의 점을 정지점으로 하여 설정하여도 좋다.
게다가, 이 제 5 실시예의 발상을 앞서의 제 2 실시예 또는 제 3 실시예에 대해 적용하여도 좋다.
다음에, 도 21을 참조하여 본 발명의 제 6 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
이 제 6 실시예에서는, 앞서의 제 5 실시예와 마찬가지로, 공작물 이송 궤적의 속도 패턴을 암 신축동작과 선회동작의 합성에 의해 발생시키는 것이 아니라, 통상의 기준경로 이동용의 속도 패턴과, 공작물이 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트에 충돌하는 것을 회피시키기 위한 후퇴경로용의 속도 패턴과, 이 후퇴경로로부터 기본경로로 복귀시키기 위한 복귀경로용의 속도 패턴을 각 이송경로 마다에 (이송 거리가 다른 경로 마다에) 미리 설정해 놓고, 공작물이 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트에 충돌하는 경우에는 후퇴경로 및 복귀경로를 이송시킴으로써 기준경로와는 다른 경로 위를 공작물이 이송하도록 하고 있다.
또한, 이 경우에, 도 21에 도시한 바와 같이, 기준경로 위의 2개의 지름길 경로는, 직선에 의한 의사 원호 보간으로 경로를 구성하도록 하고 있다.
즉, 이 제 6 실시예에 있어서, 기준 경로 M은 시점 S → 점 Qa → 점 Qb → 점 Qc → 점 Qd → 종점 E를 묶는 경로이며, 또한 후퇴경로 N은 점 Qc로부터 정지점 2에 이르는 경로이며, 또한 복귀 경로는 상기 후퇴경로로부터 기준경로로 복귀하는 J1, J2 등의 경로이다.
즉, 이 제 6 실시예에 있어서도, 앞서의 제 5 실시예와 마찬가지로, 점 Qc에 있어서, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트(6E)의 개방의 확인을 개시하고, 이 점 Qc에서 게이트(6E)의 개방을 확인한 경우에는, 통상의 기준경로 M을 따라 공작물을 이송시키지만, 점 Qc에서 게이트(6E)의 개방을 확인할 수 없는 때에는 미리 설정된 복귀경로 N 위를 공작물이 이송되도록 한다. 그리고, 이 복귀경로 N을 이송중에 게이트(6E)의 개방을 확인한 시점에서, 그 확인된 위치에 대응하여 사전 설정되어 있는 복귀경로를 선택하고, 그 선택된 복귀경로를 따라 공작물을 이송시킨다. 공작물이 정지점 2에 정지한 후에, 상기 게이트(6E)의 개방이 확인된 경우에는, 공작물은 정지점 2까지 이송되고 여기서 일시 정지한 후에, 종점 E를 향해 직선이동하게 된다.
즉, 이 제 6 실시예의 이송동작은 결과적으로는 앞서의 제 5 실시예와 동일하지만, 그 이송동작을 행하기 위한 속도제어의 방법은 다르다.
이와 같이 이 제 6 실시예에서는, 정지점에서 공작물을 힘껏 정지시킴이 없이 게이트로의 충돌을 회피하도록 하고 있기 때문에, 공작물이 실제로 정지될 확률이 줄어드는 것은 물론 로봇이 완전히 정지한 속도 0의 상태가 아니라 어느 정도의 속도를 갖춘 상태에서 이송 목적지인 처리 체임버로의 가속동작을 행하는 것이 가능해지고, 보다 효율이 좋은 웨이퍼 반송을 이룰 수 있다.
또한, 상기 제 6 실시예에 있어서도, 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트의 개방을 확인개시하는 위치 Qc와 정지점 2와는 다른 임의의 위치로 설정하도록 하여도 좋다.
더욱이, 상기 각각의 실시예에서는, 웨이퍼를 손에 올려 놓도록 하고 있으나, 진공 흡반 등에 의해 웨이퍼를 지지하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 각각의 실시예에서는, 개구리 다리형 로봇을 이용하고 있으나, 기타의 다관절 로봇을 이용하여도 좋다. 또한, 상기 각각의 실시예에서는, 점 1 및 점 2 사이를 로봇의 선회동작에 의해 웨이퍼 반송을 행하도록 하였으나, 암의 이동에 의해 점 1 및 점 2 사이에서 웨이퍼 반송을 행하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 실시예에서는, 본 발명을 웨이퍼를 가공하는 제조장치에 적용하도록 하였으나, 기타의 액정표시장치(LCD) 등의 공작물을 제조하는 제조장치에 본 발명을 적용하여도 좋다.
게다가, 상기 실시예에서는, 이송 체임버의 주위에 처리 체임버를 설치한 시스템에 본 발명을 적용하도록 하였으나, 이송 체임버에 인접하여 복수의 처리 체임버가 병렬 설치된 시스템에 본 발명을 적용하여도 좋다.
공작물 반송 로봇을 설치한 1개의 이송 체임버의 주위에 복수의 처리 체임버를 배치하고, 공작물 반송 로봇에 의해 웨이퍼 또는 액정표시장치(LCD) 등의 공작물을 어떤 처리 체임버에서 다른 처리 체임버로 반송하는 멀티 체임버형 가공장치에 적용할 수 있다.
Claims (18)
- 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대한 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단을 구비한 공작물 가공장치와,상기 복수의 처리 체임버 중에 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단, 상기 이송 체임버 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 경유하는 소정의 이동궤적을 따라 이송 목적지인 처리 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 갖추고,이송이 이루어질 때, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,상기 이동궤적 위에서, 공작물이 이송 소오스인 처리 체임버로부터 이송 체임버로의 이동동작으로부터 이송 체임버 내의 이동동작으로 이행하는 제 1의 점과, 상기 이송 체임버 내의 이동 동작으로부터 이송 체임버에서 이송 목적지인 처리 체임버로의 이동동작으로 이행하는 제 2의 점을 설정하고,상기 공작물의 이송거리와 상기 개폐시간에 기초하여, 상기 이동궤적 위의 상기 제 2의 점에 공작물이 도달한 시점에 이송 목적지인 게이트 밸브의 개방이 종료되고, 제 1의 점에서 제 2의 점까지의 이송시간이 상기 개폐시간 이상의 최단시간이 되도록 상기 이동궤적 위의 속도 패턴을 설정하고, 그 설정된 속도 패턴에 따라 공작물 반송 로봇을 속도 제어하는 속도제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제1항에 있어서, 상기 속도제어수단은 상기 제 1의 점 및 제 2의 점에서의 이동속도가 로봇의 한계속도 및 그 시스템의 제약속도를 초과하지 않는 범위의 최대값이 되도록 상기 이동궤적 위의 속도 패턴이 설정되는 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이동궤적 위의 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 앞에 공작물을 정지시키는 소정의 정지점을 설정하고,상기 공작물 가공장치에 상기 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출 센서를 또한 설치하고,상기 속도 제어수단은 상기 제 2의 점에서의 이동속도가 상기 정지점에 공작물을 정지시키는 것이 가능하고, 상기 제 1의 점에서의 이동속도가 상기 제 2의 점에서의 이동속도로 감속할 수 있도록 상기 이동궤적 위의 속도 패턴을 설정하고, 그 설정된 속도 패턴에 따라 공작물 반송 로봇을 속도제어하며,이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 개폐 센서의 출력에 의해 상기 제 2의 점에 로봇이 도달한 시점에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태를 판정하는 개폐판정수단과,이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 때에는 상기 정지점에서 정지시키지 않고 이송 목적지인 처리 체임버까지 반송함과 더불어, 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄가 확인된 때에는 상기 정지점에서 정지시키도록 로봇의 속도제어를 행하는 정지제어수단을 갖춘 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제3항에 있어서, 상기 제 1의 점을 공작물이 통과한 후에 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 개폐 센서의 출력에 의하여 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐 상태를 항상 판정하는 제 2의 개폐판정수단과, 상기 제 2의 점에 공작물이 도달하기 전에 상기 제 2의 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단이 닫힌 것으로 판정되면, 이 판정시점에서 감속 동작을 행하는 경우에는 즉각 감속을 정지하고 가속 동작을 실행시키는 가감속 절환 제어수단을 또한 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제4항에 있어서, 상기 가감속 절환 제어수단에 의한 가속동작은 로봇의 한계속도 및 그 시스템의 제어 속도를 초과하지 않도록 수행되는 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출센서를 갖춘 공작물 가공장치와,상기 복수의 처리 체임버 중에 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단, 상기 이송 체임버, 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 경유하는 소정의 이동궤적을 따라 이송 목적지인 처리실까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하고,이송할 때에, 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단에 공작물이 도달하기 전의 이동궤적 위의 소정의 위치에 정지점을 미리 설정함과 더불어, 상기 정지점보다 앞의 이동궤적 위의 소정의 위치에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태를 확인하는 확인점을 미리 설정하고,상기 정지점에 공작물을 정지시키는 것이 가능한 상한속도로 상기 확인점에서의 속도가 설정되는 것을 조건으로 하여 상기 이동궤적 위의 공작물 이동시간이 최단시간이 되도록 이송 소오스인 처리 체임버에서 이송 목적지인 처리 체임버까지의 상기 공작물 반송 로봇의 이동속도 패턴이 사전 설정되고, 이 설정된 이동속도 패턴에 따라 공작물 반송 로봇을 속도 제어하는 제 1의 속도제어수단과,이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 개폐 센서의 출력에 의해 상기 확인점을 공작물이 통과한 시점에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태를 판정하는 개폐판정수단과,이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 때에는 상기 제 1의 속도제어수단에 설정된 이동속도 패턴에 따라 공작물을 상기 정지점까지 정지시키지 않고 이송 목적지인 처리 체임버까지 반송함과 아울러, 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄가 확인된 때에는 상기 정지점에서 정지시키도록 로봇의 속도 제어를 행하는 제 2의 속도제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제6항에 있어서, 상기 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단을 공작물이 통과한 후에, 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 개폐 센서의 출력에 의해 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태를 항상 판정하는 제 2의 개폐판정수단과,상기 확인점에 도달하기 전에, 상기 제 2의 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단이 열린 것으로 판정되면, 그 판정시점에서 감속동작을 행하는 경우에는 즉시 감속을 정지하고 가속 동작을 실행시키는 가감속 절환 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제7항에 있어서, 상기 가감속 절환 제어수단에 의한 가속동작은 로봇의 한계속도 및 그 시스템의 제어 속도를 초과하지 않도록 수행되는 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐 검출센서를 갖춘 공작물 가공장치와,상기 처리 체임버와 상기 이송 체임버 사이의 공작물 이동에 관한 제 1의 이동운동 및 상기 이송 체임버 내에서의 공작물 이동동작에 관한 제 2의 이동운동이 가능한 공작물 지지용 암을 갖추고, 상기 복수의 처리 체임버 중에서 이송 목적지인 처리 체임버에 있는 공작물을 상기 제 1의 이동운동에 의해 그 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 통과시키고 이송 체임버 안까지 이송 시키고, 다음에 상기 제 2의 이동운동에 의해 공작물을 이송 체임버 내로 이송하고, 상기 제 1의 이동운동에 의해 이송 체임버 내에 있는 공작물을 이송 목적지인 이송 체임버의 게이트 수단을 통과시켜 이동 목적지인 이송 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며,이송할 때에, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,상기 제 2의 이동운동에 관한 가속에서 감속정지까지의 제 1의 속도 패턴과 상기 제2의 이동운동에 이어서 행해지는 이송 체임버 내에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지의 상기 제 1의 이동운동의 가속에서 감속정지까지에 관한 제 2의 속도 패턴이 각각 사전 설정되는 속도 패턴 설정수단과,상기 제2의 이동운동에 의한 궤적 도중의 소정의 위치를 확인 개시점으로 하고, 이 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점에서 상기 게이트 개폐센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과,이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 상기 제 1의 속도 패턴과 제 2의 속도 패턴을 중합시키는 속도 패턴 발생수단과,상기 이송 체임버 내의 상기 확인 개시점까지의 공작물 이동에 관해서는 상기 제 1의 속도 패턴을 선택하고, 상기 확인 개시점으로부터 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지는 상기 속도 패턴 발생수단으로부터 발생된 속도 패턴을 선택하고, 그 선택된 속도 패턴에 따라 상기 공작물 반송 로봇의 속도 제어를 행하는 로봇 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐 검출센서를 갖춘 공작물 가공장치와,상기 처리 체임버와 상기 이송 체임버 사이의 공작물 이동에 관한 제 1의 이동운동 및 상기 이송 체임버 내에서의 공작물 이동동작에 관한 제 2의 이동운동이 가능한 공작물 지지용 암을 갖추고, 상기 복수의 처리 체임버 중에서 이송 목적지인 처리 체임버에 있는 공작물을 상기 제 1의 이동운동에 의해 그 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 통과시키고 이송 체임버 안까지 이송 시키고, 다음에 상기 제 2의 이동운동에 의해 이송 체임버 내의 상기 이송 소오스인 처리 체임버의 대략 정면에 위치하는 공작물을 이송 체임버 내의 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 대략 정면의 위치까지 이송하고, 상기 제 1의 이동운동에 의해 이송 체임버 내의 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 대략 정면의 위치에 있는 공작물을 이송 목적지인 이송 체임버의 게이트 수단을 통과시켜 이동 목적지인 이송 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며,이송할 때에, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,상기 제 2의 이동운동과 상기 이송 체임버로부터 이송 목적지인 처리 체임버로의 제 1의 이동운동이 교차하는 교차점 까지의 상기 제 2의 이동운동의 가속에서 감속정지까지의 제 1의 속도 패턴과, 상기 교차점에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지의 상기 제 1의 이동운동의 가속에서 감속정지까지의 제 2의 속도 패턴이 각각 사전 설정되는 속도 패턴 설정수단과,상기 제2의 이동운동에 의한 궤적 도중의 소정의 위치를 확인 개시점으로 하고, 이 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점에서 상기 게이트 개폐센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과,이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 상기 제 1의 속도 패턴과 제 2의 속도 패턴을 중합시키는 속도 패턴 발생수단과,상기 이송 체임버 내의 이송 소오스인 처리 체임버의 대략 정면 위치로부터 상기 확인 개시점까지는 상기 제 1의 속도 패턴을 선택하고, 상기 확인 개시점으로부터 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지는 상기 속도 패턴 발생수단으로부터 발생된 속도 패턴을 선택하고, 그 선택된 속도 패턴에 따라 상기 공작물 반송 로봇의 속도 제어를 행하는 로봇 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 속도 패턴 설정수단에 설정되는 제 1 및 제 2 속도 패턴의 가감속동작은, 로봇의 한계속도 및 그 시스템의 제어 속도를 초과하지 않는 것을 조건으로 하여 최대 가속도 및 최대 감속도가 채용되는 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출 센서를 갖춘 공작물 가공장치와,상기 처리 체임버와 상기 이송 체임버 간의 공작물 이동에 관한 제 1의 이동운동 및 상기 이송 체임버 내에서의 공작물 이동동작에 관한 제 2의 이동운동이 가능한 공작물 지지용의 암을 갖추고, 상기 복수의 처리 체임버 중에서 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 상기 제 1의 이동운동에 의해 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단을 통과시켜 이송 체임버 안까지 이동시키고, 다음에 상기 제 2의 이동운동에 의해 이송 체임버 내의 상기 이송 소오스인 처리 체임버의 대략 정면에 위치하는 공작물을 이송 체임버 내의 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 대략 정면의 위치까지 이송하고, 상기 제 1의 이동운동에 의해 이송 체임버 내의 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 대략 정면의 위치에 있는 공작물을 이송 목적지인 이송 체임버의 게이트 수단을 통과시켜 이동 목적지인 이송 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며,이송할 때에, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,상기 이송 소오스인 처리 체임버로부터 상기 이송 체임버로의 상기 제 1의 이동운동과 상기 제 2의 이동운동이 교차하는 제 1의 교차점까지의 제 1의 이동운동의 가속에서 감속정지까지에 대한 제 1의 속도 패턴과, 이 제 1의 교차점에서 상기 제 2의 이동운동과 상기 이송 체임버로부터 이송 목적지인 처리 체임버로의 제 1의 이동운동이 교차하는 제 2의 교차점까지의 상기 제 2의 이동운동의 가속에서 감속정지까지에 대한 제 2의 속도 패턴과, 상기 제 2의 교차점으로부터 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지의 상기 제 1의 이동운동의 가속에서 감속정지까지에 대한 제 3의 속도 패턴이 각각 사전에 설정되는 속도 패턴 설정수단과, 상기 이송경로상의 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단과 상기 제 1의 교차점 사이에 사전 설정된 소정의 위치를 공작물이 통과한 시점에 상기 제 1의 속도 패턴과 상기 제 2의 속도 패턴을 중합하는 제 1의 속도 패턴 발생수단과, 상기 제 2의 이동운동에 의한 궤적 도중의 소정의 위치를 확인 개시점으로 하고, 이 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점으로부터 상기 게이트 개폐 센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과,이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 상기 제 2의 속도 패턴과 제 3의 속도 패턴을 중합한 제 2의 속도 패턴 발생수단과, 상기 이송 소오스인 처리 체임버로부터 상기 확인 개시점까지는, 상기 제1의 속도 패턴 발생수단을 선택하고, 상기 확인 개시점으로부터 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지는 상기 제 2의 속도 패턴 발생수단을 선택하고, 그 선택된 속도 패턴에 따라 상기 공작물 반송 로봇의 속도 제어를 행하는 로봇 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출 센서를 갖춘 공작물 가공장치와,선회동작과 구심방향 및 원심방향으로의 직선 이동동작이 가능한 공작물 지지용의 암을 갖추고, 상기 복수의 처리 체임버 중에서 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 상기 구심방향으로의 직선이동동작에 의해 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단을 통과시켜 이송 체임버 안까지 이동시키고, 다음에 상기 선회동작에 의해 이송 체임버 내의 상기 이송 소오스인 처리 체임버의 대략 정면에 위치하는 공작물을 이송 체임버 내의 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 대략 정면의 위치까지 이송하고, 상기 원심방향으로의 직선이동동작에 의해 이송 체임버 내의 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 대략 정면의 위치에 있는 공작물을 이송 목적지인 이송 체임버의 게이트 수단을 통과시켜 이동 목적지인 이송 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며,이송할 때에, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,상기 이송 소오스인 처리 체임버로부터 상기 구심방향으로의 직선이동운동과 상기 선회운동이 교차하는 제 1의 교차점까지의 상기 구심방향으로의 직선이동운동의 가속에서 감속정지까지에 대한 제 1의 속도 패턴과, 이 제 1의 교차점에서 상기 선회운동과 상기 원심방향으로의 직선이동운동이 교차하는 제 2의 교차점까지의 상기 선회운동의 가속에서 감속정지까지에 대한 제 2의 속도 패턴과, 상기 제 2의 교차점으로부터 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지의 상기 원심방향으로의 직선이동운동의 가속에서 감속정지까지에 대한 제 3의 속도 패턴이 각각 사전에 설정되는 속도 패턴 설정수단과,상기 이송경로상의 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단과 상기 제 1의 교차점 사이에 사전 설정된 소정의 위치를 공작물이 통과한 시점에 상기 제 1의 속도 패턴과 상기 제 2의 속도 패턴을 중합하는 제 1의 속도 패턴 발생수단과,상기 선회 궤적 도중의 소정의 위치를 확인 개시점으로 하고, 이 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점으로부터 상기 게이트 개폐 센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과,이 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에 상기 제 2의 속도 패턴과 제 3의 속도 패턴을 중합한 제 2의 속도 패턴 발생수단과,상기 이송 소오스인 처리 체임버로부터 상기 확인 개시점까지는, 상기 제1의 속도 패턴 발생수단을 선택하고, 상기 확인 개시점으로부터 상기 이송 목적지인 처리 체임버까지는 상기 제 2의 속도 패턴 발생수단을 선택하고, 그 선택된 속도 패턴에 따라 상기 공작물 반송 로봇의 속도 제어를 행하는 로봇 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 제 1의 속도 패턴 발생수단에서 설정되는 상기 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단과 상기 제 1의 교차점과의 사이의 소정의 위치는, 상기 게이트 수단의 설치 위치에 근접한 위치인 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 속도 패턴 설정수단에 설정되는 제 1, 제 2 및 제 3의 속도 패턴의 가감속동작은, 로봇의 한계속도 및 그 시스템의 제어 속도를 초과하지 않는 것을 조건으로 하여 최대 가속도 및 최대 감속도가 채용되는 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대하여 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버와 이송 체임버의 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출센서를 갖춘 공작물 가공장치와,상기 복수의 처리 체임버 중에서 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단, 상기 이송 체임버 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 경유한 소정의 이동궤적 위를 따라 이송 목적지인 처리 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며,이송할 때, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,상기 이동궤적 위에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단에 공작물이 접촉하기 전의 위치에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태의 확인을 개시하는 확인 개시점을 사전에 설정함과 더불어, 이 확인 개시점을 시점으로 하여 상기 이동궤적과는 다른 소정의 후퇴경로를 사전 설정함과 더불어,상기 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점으로부터 상기 게이트 개폐센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과,상기 확인 개시점을 공작물이 통과한 때에 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 때에는 상기 이동궤적 위를 이송 목적지인 처리 체임버까지 공작물을 이동시킴과 아울러, 상기 확인 개시점을 공작물이 통과하였을 때에 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인되지 않은 때에는 상기 후퇴경로를 선택하여 공작물을 이동시키고, 상기 후퇴경로 위에서 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방이 확인된 시점에서 상기 이동궤적에 복귀시키도록 공작물 반송 로봇을 속도 제어하는 속도제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 공작물 반송 로봇이 설치되는 이송 체임버와, 이 이송 체임버에 인접 배치되어 공작물에 대해 각종 가공처리를 행하는 복수의 처리 체임버와, 이들 각각의 처리 체임버 및 이송 체임버 사이에 각각 설치되는 복수의 게이트 수단과, 이들 복수의 게이트 수단의 개폐상태를 각각 검출하는 게이트 개폐검출센서를 갖춘 공작물 가공장치와,상기 복수의 처리 체임버 중에 이송 소오스인 처리 체임버에 있는 공작물을 그 이송 소오스인 처리 체임버의 게이트 수단, 상기 이송 체임버 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단을 경유하는 소정의 기준 이동궤적 위를 따라 이송 목적지인 처리 체임버까지 이송하는 공작물 반송 로봇을 구비하며,이송할 때에, 상기 이송 소오스 및 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 폐쇄 및 개방 동작에 소정의 개폐시간을 요하는 공작물 반송 시스템에 있어서,상기 기준 이동궤적 위에서 상기 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단에 공작물이 접촉하는 앞의 위치에 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐상태의 확인을 개시하는 확인 개시점을 사전 설정함과 더불어, 이 확인 개시점을 시점으로 하고 또한 사전 설정된 소정의 정지점까지 연장된 상기 기준 이동궤적과는 다른 소정의 후퇴경로와, 이 후퇴경로상의 각 위치로부터 상기 기준 경로에 복귀하는 복수의 다른 복귀경로를 사전 설정함과 아울러,상기 확인 개시점을 로봇이 통과한 시점으로부터 상기 게이트 개폐센서의 출력에 기초하여 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개폐의 판정을 개시하는 개폐판정수단과,상기 기준 이동궤적 위를 이송 소오스인 처리 체임버로부터 상기 확인 개시점까지 공작물을 이동시키는 제 1의 속도 패턴과, 상기 기준 이동궤적 위를 상기 확인 개시점으로부터 이송 목적지인 처리 체임버까지 공작물을 이동시키는 제 2의 속도 패턴과, 상기 확인 개시점으로부터 상기 후퇴경로 및 상기 복귀경로를 경유하여 상기 이송 목적지인 처리 체임버에 이르는 복수의 제 3의 속도 패턴이 각각 설정되는 속도 패턴 설정수단과,상기 이송 소오스 처리 체임버로부터 상기 확인 개시점까지는, 상기 제 1의 속도 패턴을 선택하고, 상기 확인 개시점에서 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 개방이 확인된 경우에는 상기 제 2의 속도 패턴을 선택하고, 상기 확인 개시점에서 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 개방이 확인되지 않은 경우에는 상기 제 3의 속도 패턴을 선택하고, 이들 선택된 속도 패턴에 따라 상기 공작물 반송 로봇의 속도 제어를 행하는 로봇 구동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
- 제17항에 있어서, 상기 로봇 구동수단은 상기 확인개시점에서 상기 개폐판정수단에 의해 이송 목적지인 처리 체임버의 개방이 확인되지 않은 경우에는, 상기 복수의 제 3의 속도 패턴 중에서 개폐판정수단에서 이송 목적지인 처리 체임버의 게이트 수단의 개방을 확인한 다른 지점에 대응하는 속도 패턴을 선택하고, 그 선택된 속도 패턴에 따라 상기 공작물 반송 로봇의 속도 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 공작물 반송 시스템의 제어장치.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6122796 | 1996-03-18 | ||
| JP61227/1996 | 1996-03-18 | ||
| PCT/JP1997/000832 WO1997034742A1 (fr) | 1996-03-18 | 1997-03-17 | Dispositif de commande d'un systeme de transport de pieces |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000064681A KR20000064681A (ko) | 2000-11-06 |
| KR100469931B1 true KR100469931B1 (ko) | 2005-04-06 |
Family
ID=13165127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR10-1998-0707398A KR100469931B1 (ko) | 1996-03-18 | 1997-03-17 | 공작물반송시스템의제어장치 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6246923B1 (ko) |
| EP (1) | EP0891840A4 (ko) |
| JP (1) | JP3105544B2 (ko) |
| KR (1) | KR100469931B1 (ko) |
| TW (1) | TW369463B (ko) |
| WO (1) | WO1997034742A1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8690516B2 (en) | 2008-08-28 | 2014-04-08 | Semes Co., Ltd. | Method of adjusting velocity of transfer member, method of transferring substrate using the method, and substrate-processing apparatus |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6152070A (en) | 1996-11-18 | 2000-11-28 | Applied Materials, Inc. | Tandem process chamber |
| JP3522075B2 (ja) | 1997-04-08 | 2004-04-26 | 株式会社小松製作所 | ハンドリング用ロボットの制御方法 |
| US6315512B1 (en) * | 1997-11-28 | 2001-11-13 | Mattson Technology, Inc. | Systems and methods for robotic transfer of workpieces between a storage area and a processing chamber |
| US6216058B1 (en) * | 1999-05-28 | 2001-04-10 | Brooks Automation, Inc. | System of trajectory planning for robotic manipulators based on pre-defined time-optimum trajectory shapes |
| KR100427522B1 (ko) * | 2000-10-28 | 2004-04-30 | (주)다사테크 | 연속이동경로 생성방법 |
| US6385508B1 (en) * | 2000-10-31 | 2002-05-07 | Fanuc Robotics North America, Inc. | Lead-through teach handle assembly and method of teaching a robot assembly |
| JPWO2002066210A1 (ja) | 2001-02-22 | 2004-06-17 | 三菱電機株式会社 | ロボット制御装置 |
| US6556887B2 (en) * | 2001-07-12 | 2003-04-29 | Applied Materials, Inc. | Method for determining a position of a robot |
| JP2003124286A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-25 | Mitsubishi Electric Corp | 工程間搬送システムおよび工程間搬送方法 |
| TWI256372B (en) | 2001-12-27 | 2006-06-11 | Tokyo Electron Ltd | Carrier system of polishing processing body and conveying method of polishing processing body |
| US6856858B2 (en) | 2002-06-21 | 2005-02-15 | Applied Materials, Inc. | Shared sensors for detecting substrate position/presence |
| US6883776B2 (en) | 2002-08-20 | 2005-04-26 | Asm America, Inc. | Slit valve for a semiconductor processing system |
| US20050220582A1 (en) * | 2002-09-13 | 2005-10-06 | Tokyo Electron Limited | Teaching method and processing system |
| KR100541434B1 (ko) | 2003-02-10 | 2006-01-10 | 삼성전자주식회사 | 물류반송시스템을 위한 레이아웃 모델링시스템 |
| US6900608B2 (en) * | 2003-04-17 | 2005-05-31 | Automated Assemblies Corporation | Apparatus for controlling a motor |
| US7130716B2 (en) * | 2003-04-22 | 2006-10-31 | Berkeley Process Control, Inc. | System of path planning for robotic manipulators based on maximum acceleration and finite jerk constraints |
| US20050107909A1 (en) * | 2003-11-14 | 2005-05-19 | Siemens Technology-To-Business Center Llc | Systems and methods for programming motion control |
| US20050107911A1 (en) * | 2003-11-14 | 2005-05-19 | Siemens Technology-To-Business Center Llc | Systems and methods for controlling load motion actuators |
| US7440091B2 (en) | 2004-10-26 | 2008-10-21 | Applied Materials, Inc. | Sensors for dynamically detecting substrate breakage and misalignment of a moving substrate |
| JP4610317B2 (ja) * | 2004-12-06 | 2011-01-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理装置の基板搬送方法 |
| JP4841183B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2011-12-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置，搬送装置，搬送装置の制御方法 |
| US7286890B2 (en) | 2005-06-28 | 2007-10-23 | Tokyo Electron Limited | Transfer apparatus for target object |
| US7387484B2 (en) * | 2005-12-21 | 2008-06-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer positioning systems and methods thereof |
| US20080101912A1 (en) * | 2006-10-26 | 2008-05-01 | Martin Todd W | Deposition analysis for robot motion correction |
| US9117870B2 (en) * | 2008-03-27 | 2015-08-25 | Lam Research Corporation | High throughput cleaner chamber |
| DE112009001843T5 (de) * | 2008-08-01 | 2011-06-22 | Ulvac Corp., Kanagawa | Verfahren zur Steuerung eines Überführungsroboters |
| US8276959B2 (en) | 2008-08-08 | 2012-10-02 | Applied Materials, Inc. | Magnetic pad for end-effectors |
| KR100980706B1 (ko) * | 2008-09-19 | 2010-09-08 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치, 이를 갖는 기판 처리 장치 및 이의 기판 이송 방법 |
| WO2011148782A1 (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | シャープ株式会社 | 基板処理装置および仮置き棚 |
| US9199373B2 (en) | 2010-11-26 | 2015-12-01 | Rorze Corporation | Robot control device and control method |
| KR102030051B1 (ko) * | 2012-09-18 | 2019-10-08 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 및 방법 |
| JP6309847B2 (ja) * | 2014-07-14 | 2018-04-11 | ファナック株式会社 | 定格ワークパラメータを超えるワークを搬送可能なロボット制御装置 |
| CN110949991A (zh) * | 2020-01-03 | 2020-04-03 | 佛亚智能装备（苏州）有限公司 | 一种多工位检测物料输送及电路控制方法 |
| KR102430980B1 (ko) * | 2020-11-11 | 2022-08-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 자동반송시스템의 제어방법 |
| CN115910886B (zh) * | 2022-12-28 | 2024-04-16 | 深圳市纳设智能装备股份有限公司 | 传输腔、半导体设备及晶圆传输方法 |
Family Cites Families (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3799057A (en) * | 1972-01-26 | 1974-03-26 | Palmer Shile Co | Electrical control system |
| US4260940A (en) * | 1975-10-28 | 1981-04-07 | Unimation, Inc. | Programmable automatic assembly system |
| US5280983A (en) * | 1985-01-22 | 1994-01-25 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing system with robotic autoloader and load lock |
| JPS6261104A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-17 | Fanuc Ltd | 水平関節型ロボツトの加減速制御方式 |
| US4699575A (en) * | 1986-02-12 | 1987-10-13 | Robotics, Inc. | Adhesive pump and it's control system |
| JPS63273107A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Fanuc Ltd | ロボット制御装置 |
| KR970004947B1 (ko) * | 1987-09-10 | 1997-04-10 | 도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤 | 핸들링장치 |
| US5012169A (en) * | 1988-07-20 | 1991-04-30 | Yokogawa Electric Corporation | Motor drive system |
| US5102280A (en) * | 1989-03-07 | 1992-04-07 | Ade Corporation | Robot prealigner |
| JPH02256483A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-17 | Kobe Steel Ltd | 産業用ロボットの速度制御装置 |
| DE69032945T2 (de) * | 1989-10-20 | 1999-09-16 | Applied Materials Inc | Robotereinrichtung |
| US5243690A (en) * | 1989-11-14 | 1993-09-07 | General Electric Company | Robot targeting using transit time control |
| JP2644912B2 (ja) * | 1990-08-29 | 1997-08-25 | 株式会社日立製作所 | 真空処理装置及びその運転方法 |
| JP3145420B2 (ja) * | 1991-03-20 | 2001-03-12 | 株式会社日立製作所 | ロボットおよびこのロボットを用いた被処理部材の処理方法 |
| JP3038972B2 (ja) * | 1991-04-03 | 2000-05-08 | ソニー株式会社 | 加減速パターン生成装置及びパターン生成方法 |
| JP3132176B2 (ja) * | 1992-07-31 | 2001-02-05 | ソニー株式会社 | ワーク移載ロボットとその動作制御方法および半導体の製造方法 |
| US5363872A (en) * | 1993-03-16 | 1994-11-15 | Applied Materials, Inc. | Low particulate slit valve system and method for controlling same |
| JPH0714908A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-17 | Nec Corp | 基板搬送装置 |
| EP0634784A1 (en) * | 1993-07-16 | 1995-01-18 | Applied Materials, Inc. | Variable speed wafer exchange robot |
| US5738767A (en) * | 1994-01-11 | 1998-04-14 | Intevac, Inc. | Substrate handling and processing system for flat panel displays |
| US5379984A (en) * | 1994-01-11 | 1995-01-10 | Intevac, Inc. | Gate valve for vacuum processing system |
| KR0161042B1 (ko) * | 1994-06-07 | 1999-01-15 | 김광호 | 로보트의 주행제어장치 및 그 방법 |
| US5706634A (en) * | 1994-06-10 | 1998-01-13 | Johnson & Johnson Vision Products, Inc. | Contact lens transfer device |
| US5655060A (en) * | 1995-03-31 | 1997-08-05 | Brooks Automation | Time optimal trajectory for cluster tool robots |
| KR100310249B1 (ko) * | 1995-08-05 | 2001-12-17 | 엔도 마코토 | 기판처리장치 |
| JP3114579B2 (ja) * | 1995-08-30 | 2000-12-04 | 松下電器産業株式会社 | 産業用ロボットおよびその制御装置 |
| US5801945A (en) * | 1996-06-28 | 1998-09-01 | Lam Research Corporation | Scheduling method for robotic manufacturing processes |
| US5944940A (en) * | 1996-07-09 | 1999-08-31 | Gamma Precision Technology, Inc. | Wafer transfer system and method of using the same |
| US5980194A (en) * | 1996-07-15 | 1999-11-09 | Applied Materials, Inc. | Wafer position error detection and correction system |
| US5961269A (en) * | 1996-11-18 | 1999-10-05 | Applied Materials, Inc. | Three chamber load lock apparatus |
| US5855681A (en) * | 1996-11-18 | 1999-01-05 | Applied Materials, Inc. | Ultra high throughput wafer vacuum processing system |
| US5838121A (en) * | 1996-11-18 | 1998-11-17 | Applied Materials, Inc. | Dual blade robot |
| US6007229A (en) * | 1997-06-05 | 1999-12-28 | Johnson & Johnson Vision Products, Inc. | Rapid robotic handling of mold parts used to fabricate contact lenses |
| US5943484A (en) * | 1997-09-26 | 1999-08-24 | International Business Machines Corporation | Advanced material requirements planning in microelectronics manufacturing |
-
1997
- 1997-03-17 WO PCT/JP1997/000832 patent/WO1997034742A1/ja active IP Right Grant
- 1997-03-17 JP JP09533350A patent/JP3105544B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-17 TW TW086103267A patent/TW369463B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-03-17 EP EP97907329A patent/EP0891840A4/en not_active Withdrawn
- 1997-03-17 KR KR10-1998-0707398A patent/KR100469931B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1998
- 1998-09-11 US US09/150,980 patent/US6246923B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8690516B2 (en) | 2008-08-28 | 2014-04-08 | Semes Co., Ltd. | Method of adjusting velocity of transfer member, method of transferring substrate using the method, and substrate-processing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW369463B (en) | 1999-09-11 |
| JP3105544B2 (ja) | 2000-11-06 |
| KR20000064681A (ko) | 2000-11-06 |
| WO1997034742A1 (fr) | 1997-09-25 |
| EP0891840A4 (en) | 2000-01-19 |
| US6246923B1 (en) | 2001-06-12 |
| EP0891840A1 (en) | 1999-01-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100469931B1 (ko) | 공작물반송시스템의제어장치 | |
| US6092678A (en) | Overhead hoist transfer | |
| US11929655B2 (en) | Transport system and processing system | |
| JP6256706B2 (ja) | マテリアル取扱システム | |
| CN101681863B (zh) | 基板传送装置 | |
| KR102404513B1 (ko) | 물품 반송 설비 | |
| US8473096B2 (en) | Substrate transfer robot, substrate transfer device, semiconductor manufacturing apparatus, and method for producing semiconductor | |
| EP3481602B1 (en) | Movable hardstop for a robotic component | |
| US6634484B2 (en) | Transfer and tilt apparatus | |
| US4349310A (en) | Unloading device for a press | |
| JP3971526B2 (ja) | 基板搬入搬出装置及び搬送システム | |
| US10908596B2 (en) | Conveyor system method of operating a conveyor system and flow devices for use in such conveyor system | |
| US8228015B2 (en) | Servomotor speed control | |
| CN115196346B (zh) | 工件搬运***及其控制方法 | |
| JPH10124132A (ja) | ロボット制御装置及びロボット | |
| CN113226662B (en) | Robot control device, robot system, and robot control method | |
| JPS6126110A (ja) | ロボットの制御方法 | |
| TWI719782B (zh) | 機器人控制裝置、機器人系統及機器人控制方法 | |
| US20240092590A1 (en) | Control method and control device for robot | |
| JP2000142921A (ja) | スタッカークレーンの運転制御方法 | |
| JP2007204186A (ja) | ライブラリ棚装置 | |
| SU1593916A1 (ru) | Гибка производственна система | |
| JP2000210890A (ja) | 位置検出装置 | |
| CN112670222A (zh) | 一种晶片的清洗*** | |
| JPH09146636A (ja) | スライダ走行軸システムにおける安全対策方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130125 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140128 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150126 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160113 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Expiration of term |