JP3522075B2 - ハンドリング用ロボットの制御方法 - Google Patents
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Description
や、LCD製造装置等のように、1つのトランスファチ
ャンバの周囲に複数のステーションとなるプロセスチャ
ンバを配設し、各プロセスチャンバにて加工処理される
ウエハ等の薄板状のワークを、トランスファチャンバを
経由して、このトランスファチャンバに設けたハンドリ
ング用ロボットにて、1つのプロセスチャンバから他の
プロセスチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバ
タイプの製造装置における上記ハンドリング用ロボット
の制御方法に関するものである。
は図1に示すようになっていて、トランスファチャンバ
1の周囲に、複数のプロセスチャンバからなるステーシ
ョン2a,2b,2c,2d,2eと、外部に対してワ
ークを受け渡しを行うワーク受け渡しステーション3と
が配設されており、トランスファチャンバ1内は常時真
空装置にて真空状態が保たれている。
に示すようになっていて、これの中心部にハンドリング
用ロボットAが旋回可能に備えてあり、周壁で、かつ各
ステーション2a,2b,2c,2d,2e及びワーク
受け渡しステーション3に対向する仕切り壁5には各ス
テーションへのワークの出入口となるゲート6が設けて
ある。このゲート6はトランスファチャンバ2の内側に
各ゲート6に対向して設けられた図示しない開閉扉にて
開閉されるようになっている。
フロッグレッグ式の双腕型といわれているものが用いら
れていて、その構成は図3から図6に示すようになって
いる。
a,7bがそれぞれ回転可能に設けられている。一方同
一形状の2つの搬送台8a,8bを回転中心に対して両
側に位置して有しており、この各搬送台8a,8bの基
部に、同長の2本のリンク9a,9bの一端が連結され
ている。この両リンク9a,9bの一端は搬送台8a,
8bに対してフロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を
介して連結されており、両リンク9a,9bは各搬送台
8a,8bに対して完全に対称方向に回転するようにな
っている。そして各搬送台8a,8bに連結した2本の
リンクのうちの一方のリンクは一方のアームに、他方の
リンクは他方のアームにそれぞれ連結されている。
規制機構を示すもので、搬送台8a,8bに連結される
2本のリンク9a,9bの先端部は図4(a)に示すよ
うに互いに噛合う歯車9c,9cからなる歯車構成によ
り結合されており、搬送台8a,8bに対するリンク9
a,9bの姿勢角θR,θLが常に同じになるようにし
ている。これにより、搬送台8a,8bは常にトランス
ファチャンバ1の半径方向に向けられると共に、半径方
向へ動作される。上記リンク9a,9bの連結は歯車に
代えて、図4(b)に示すようにたすき掛けしたベルト
9dによるものもある。
立して回転するための機構を示すものである。各アーム
7a,7bの基部はそれぞれリング状になっていて、こ
の各リング状ボス10a,10bは回転中心に対して同
軸状にしてトランスファチャンバ1に対して回転自在に
支持されている。
には円板状ボス11a,11bがそれぞれに対向されて
同じ同心状に配置されており、この各対向するリング状
ボスと円板状ボスとがマグネットカップリング12a,
12bにて回転方向に磁気力にて連結されている。
れの回転軸13a,13bは同心状に配置されていて、
このそれぞれの回転軸13a,13bはトランスファチ
ャンバ1のフレーム1aに同心状にして軸方向に位置を
ずらせて支持されたモータユニット14a,14bの出
力部に連結されている。
えばACサーボモータを用いたモータ15と、ハーモニ
ックドライブ(商品名、以下同じ)を用いた減速機16
が一体状に結合されていて、各減速機16,16の出力
部が上記各回転軸13a,13bの基端に連結されてい
る。アーム7a,7bが位置されるトランスファチャン
バ1内は真空状態に維持されることから、このアーム回
転機構のリング状ボス10a,10bと円板状ボス11
a,11bとの間に密閉用の隔壁17が設けてある。
ンドリング用ロボットAの作用を示すもので、図6
(a)に示すように、両アーム7a,7bが回転中心に
対して直径方向に対称位置にあるときには、両搬送台8
a,8bに対してリンク9a,9bが最も拡開するよう
回転された状態となり、従って両搬送台8a,8bは旋
回中心側へ移動されている。
に回転することにより、両搬送台8a,8bは半径方向
の位置を維持したまま回転中心に対して旋回される。ま
た図6(a)に示す状態から、両アーム7a,7bを、
これらが互いに近付く方向(互いに逆方向)に回転する
ことにより、図6(b)に示すように両アーム7a,7
bでなす角度が小さくなる方に位置する搬送台8aがリ
ンク9a,9bに押されて放射方向外側へ突出動されて
トランスファチャンバ1に対して放射方向外側に隣接し
て設けられた上記ステーション2a,2b,2c,2
d,2e,3の1つのステーションのプロセスチャンバ
内に突入する。
動されるが、各アーム7a,7bとリンク9a,9bと
のなす角度の関係上、その移動量はわずかとなる。
ては、搬送台が2個あることにより、この2個の搬送台
を各ステーションに対して交互に、あるいは連続して用
いることができ、双腕ロボットとしての作用効果が期待
されていたが、現実には次のような問題がある。
り、各ステーションで処理したウエハを各ステーション
に順番に送っていく場合において、各ステーション内に
は処理中または処理済みのウエハがある。このとき、あ
るステーション内の処理済みのウエハを未処理のウエハ
と交換する場合、この従来のハンドリング用ロボットA
では、図7から図11に示すように、まず、一方の搬送
台8aに未処理のウエハW1 を支持してからハンドリン
グ用ロボットAを旋回して空いている方の搬送台8bを
交換しようとするステーション2eに対向させる(図
7)。
ステーション2e内へ突入させてこれの上に処理済みの
ウエハW2 を受け取り(図8)、トランスファチャンバ
1内へ搬送する。その後、ハンドリング用ロボットAを
180度旋回して(図9)、未処理のウエハW1 を支持
している搬送台8aを上記ステーション2eに対向させ
てからこれをステーション2e内へ突入動(図10)し
て未処理のウエハW1をこのステーション2e内へ搬入
し、空になった搬送台8aはトランスファチャンバ1内
に没入動される(図11)。
ボットAでは、1つのステーションに対してウエハを交
換する度に180度旋回しなければならず、その上、こ
のハンドリング用ロボットAの旋回は、各搬送台8a,
8bが各ステーション2a〜2eから、トランスファチ
ャンバ1内の所定の位置まで完全に没入動作してから行
われるようになっていたため、ウエハ交換のサイクルタ
イムが長くなってしまうという問題があった。
平8−324237号にて提案したように、1つのステ
ーションに対してハンドリング用ロボットを45°程度
のわずかな角度にわたって回転するだけで、ステーショ
ン内の処理済みのウエハと、トランスファチャンバ内の
未処理のウエハを交換することができるようにしてウエ
ハ交換のサイクルタイムを短縮できるようにした第2・
第3のハンドリング用ロボットA′,A″がある。
図12から図14に示すようになっている。トランスフ
ァチャンバの中心部に第1・第2の2個のリング状ボス
20a,20bがそれぞれ同心状にして下側から順に重
ね合わせた状態で、かつ図示しない軸受を介して個々に
回転自在に支持されている。そして上記各リング状ボス
20a,20bのそれぞれに対向する内側には円板状ボ
ス21a,21bが軸方向に重ね合わせ状にしてトラン
スファチャンバ1のフレーム1a側に図示しない軸受を
介して個々に回転自在に支持されている。
a,20bと円板状ボス21a,21bのそれぞれはマ
グネットカップリング22a,22bにて磁気力にて連
結されている。そしてこの両ボスの間に、トランスファ
チャンバ内の真空状態を維持するために、隔壁23が設
けてある。
れは、これらの軸心部に同心状に配置された回転軸24
a,24bに結合されている。この両回転軸のうち、第
1の回転軸24aが中空になっていて、これに第2の回
転軸24bが嵌挿されており、各回転軸24a,24b
はタイミンクベルト等の連結機構を介して第1・第2の
各モータユニット25a,25bの各出力軸26a,2
6bに連結されている。
ーボモータと減速機を組合わせたもの、またはモータの
みが用いられ、それぞれの出力軸26a,26bは極め
て大きな減速比でもって減速されると共に、正転、逆転
が正確に制御されるようになっている。また各出力軸2
6a,26bと各回転軸24a,24bとを連結する連
結機構の連結回転比は同一になっている。
第1・第2のアーム27a,27bが、第2のリング状
ボス20bの側面には第3のアーム27cが、またこの
第2のリング状ボス20bの頂面の軸心部に脚柱27e
を介して第4のアーム27dがそれぞれ放射方向に突設
されており、それぞれのアームの先端部上面が回転支点
となっている。
回転支点の半径Rは同一寸法になっている。そして上記
第1・第4のアーム27a,27bの回転支点は上下方
向で同一位置になっており、また第2・第3のアーム2
7b,27cの回転支点は上下方向同一位置で、かつ上
記第1・第4のアーム27a,27dのそれより低くな
っている。
は同長で、かつ上記各アームの長さRより長くした第1
・第2・第3・第4のリンク28a,28b,28c,
28dの一端が回転自在に連結されている。そして上記
第1・第4のリング28a,28dの先端の下面にフロ
ッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を介して第1の搬送
台8aが連結されている。また第2・第3のリング38
b,38cの先端上面に搬送台姿勢規制機構を介して第
2の搬送台8bが連結されている。
4の両アーム27a,27dが直径方向に一直線状にな
った状態でいわゆる待機状態となるようになっている。
また同様に、第2の搬送台8bは第2・第3のアーム2
7b,27cが直径方向に一直線状になったときに待機
状態となるようになっている。そしてこの待機状態の両
搬送台8a,8bがリング状ボスの回転方向に位置がず
れており、この状態(図14)がハンドリング用ロボッ
トの待機状態となり、この状態から、各リング状ボスの
回転により各搬送台8a,8bがリング状ボスの半径方
向に出没作動され、またこの待機状態でハンドリング用
ロボットが旋回されるようになっている。このとき、両
搬送台8a,8bは旋回方向に重複しないので、図13
に示すように、上下方向に同一位置となっている。ま
た、第1のアーム27aの先端部は、第3のアーム27
cの先端部が干渉しないように外側へ湾曲されている。
ットA′は図15から図19に示すような動作を行う。
すなわち、一方の搬送台に未処理のウエハW1 を載置し
た状態で、ウエハを載置していない方、すなわちの空い
ている方の搬送台が処理済みのウエハW2 があるステー
ション2eに対向するように待機状態で回転する(図1
5)。
ション2e内に突入させて、この上に載置して上記処理
済みのウエハW2 を搬出する(図16)。ついで、未処
理のウエハW1 を載置している方の搬送台を、これの処
理を行うステーション2eに対向するよう全体で旋回す
る(図17)。このときの回転角は両搬送台の回転方向
のずれ分だけで、例えば約45°である。
いる搬送台をステーション2e内に突入してこのウエハ
W1 をステーション内にセットする(図18)。ついで
空いた搬送台をトランスファチャンバ側へ没入させ、他
方の搬送台上の処理済みのウエハW2 が次のプロセスを
行うステーション2aの方へ旋回し、上記と同様の動作
を繰り返す。
図20から図22に示すようになっている。図中30は
トランスファチャンバのフレームに回転自在に支承され
た回転台であり、この回転台30の回転中心に駆動軸3
1がこの回転台30に対して回転自在に支承されてい
る。そして上記回転台30はトランスファチャンバ1の
フレーム1a側に固着された第1のモータユニット32
aにて正転及び逆転方向に駆動されるようになってお
り、また、駆動軸31は回転台30側に固着された第2
のモータユニット32bにて正転及び逆転方向に駆動さ
れるようになっている。
て両側に配置される第1・第2のロボットリンク機構B
1 ,B2 の平行リンク構成にしたそれぞれの駆動リンク
機構であり、この第1・第2の駆動リンク機構33,3
4はそれぞれ平行に配置される駆動リンク33a,34
aと、従動リンク33b,34bと、各両リンク33
a,33b,34a,34bのそれぞれの先端を連結す
る連結リンク33c,34cとからなっている。
それぞれの駆動リンク33a,34aの基端部は上記駆
動軸31に固着結合されている。またそれぞれの従動リ
ンク33b,34bの基端は、回転台30の回転中心に
対して離間角度α(60°)だけ離間する位置となるよ
うにして回転台30に枢支されている。各駆動リンク機
構33,34の連結リンク33c,34cの両端の支持
軸35a,35b,36a,36bにはそれぞれ同一歯
数で、かつ互いに各両リンクのもの相互で歯合する歯車
37a,37b,37c,37dが各支持軸と一体構成
にて設けてある。この各支持軸のうち、駆動リンク33
a,34aの先端に位置する支持軸75a,76aが各
駆動リンク33a,34aに一体結合され、他のものは
それぞれリンクに対して回転自在となっている。
ンク機構B1 ,B2 のそれぞれの駆動リンク機構33,
34の先端側に連結され、かつ各駆動リンク機構33,
34と同一大きさの平行リンク構成にした第1・第2の
従動リンク機構であり、この各従動リンク機構38,3
9はそれぞれ平行に配置される駆動リンク38a,39
aと、従動リンク38b,39bからなっており、各リ
ンクの基端のうち、駆動リンク38a,39aの基端が
上記第1・第2の駆動リンク機構33,34のそれぞれ
の従動リンク33b,34b側の支持軸35b,36b
に一体結合され、従動リンク38b,39bの基端は各
支持軸35a,36aに回転自在に連結されている。そ
して各従動リンク機構38,39のリンクの先端側のリ
ンク40a,40bにこれと一体状にして搬送台8a,
8bが連結されている。両従動リンク機構78,79の
各リンク形状及び両搬送台8a,8bの形状から両搬送
台8a,8bは図22に示すように上下方向に同一位置
となっている。また搬送台8a,8bの基端部も相互に
干渉しないようになっている。
動リンク機構38,39の先端側のリンク40a,40
bの延長線上に向けて配置されており、従ってこの両搬
送台8a,8bは回転台30の回転中心に対して上記離
間角度αだけ回転方向に位置がずれされている。なお図
22において、41は磁性流体シールである。
作用を以下に説明する。図21に示す待機状態で、第2
のモータユニット32bを正転あるいは逆転して駆動軸
31を,例えば右回転すると、第1・第2のロボットリ
ンク機構B1 ,B2 のそれぞれの駆動リンク機構33,
34のそれぞれの駆動リンク33a,34aが一体状に
右方向に回転される。
第2の従動リンク機構38,39は歯車37a,37
b,37c,37dの作動により、左方向に回動し、第
1のロボットリンク機構B1 の搬送台8aは突出動作
し、第2のロボットリンク機構B2 の搬送台8b′は没
入動作する。このときのそれぞれの搬送台8a,8bは
それぞれの第1・第2の駆動リンク機構33,34のそ
れぞれの従動リンク33b,34bの離間角度αのそれ
ぞれの角度α1 ,α2 方向に出没動作される。
転すると、上記動作は逆になり、第1のロボットリンク
機構B1 の搬送台8aは角度α1 に沿って没入動され、
第2のロボットリンク機構B2 の搬送台8bは角度α2
に沿って突出動される。
ニット32aを駆動することにより回転台30が回転さ
れて、第1・第2のロボットリンク機構B1 ,B2 は一
体状となって回転される。
ハンドリング用ロボットA′,A″は、一対の搬送台が
45°あるいは60°の方向に向けて出没するようにな
っているので、第1のハンドリング用ロボットAのよう
に180°位相がずれているものより、ウエハ交換の際
のロボット全体の旋回角が少なくてすむが、いくら少な
いといっても、ウエハ交換時にはロボット全体を45°
あるいは60°にわたって旋回しなければならない。そ
してこの第2・第3のハンドリング用ボットA′,A″
も、第1のハンドリング用ボットと同様に、ステーショ
ン内に突入動作した搬送台が、トランスファチャンバ内
に没入して、待機状態になってから、ロボット全体が旋
回するようになっているため、搬送台の突入、没入動作
時の動作時間がロスタイムになることは変わらず、単に
旋回角度が180°から45°あるいは60°になった
分しかサイクルタイムを短縮することができなかった。
ので、ハンドリング用ロボットの旋回及び搬送台の突
入、没入動作における全体のサイクルタイムを短縮でき
るようにしたハンドリング用ロボットの制御方法を提供
することを目的とするものである。
ハンドリング用ロボットの制御方法は、周囲の外周壁を
介して配設され、この外周壁に形成された各ゲートを介
して連通する複数のプロセスチャンバステーションを有
するトランスファチャンバ内に設けられたハンドリング
用ロボットであって、このロボットがロボットの旋回中
心のまわりに角度方向にずらされた第1及び第2の搬送
台を備え、上記ロボットが上記第1及び第2の搬送台を
アームを介して機械的に連動させながら旋回及び突入ま
たは没入させる駆動手段を備え、上記駆動手段が、上記
第1及び第2の搬送台を上記トランスファチャンバ内に
て一緒に同時に旋回させると共に、上記第1及び第2の
搬送台の一方を上記ゲートを通って上記プロセスチャン
バステーション内に突入させ、かつ同時に上記第1及び
第2の搬送台の他方を前記トランスファチャンバ内に没
入させるようになっている、ハンドリング用ロボットの
制御方法において、前記第1及び第2の搬送台のアーム
を介した機械的な連動は、該第1及び第2の搬送台のう
ち、一方の搬送台に突入動作を行わせると、これに連動
して他方の搬送台が没入動作となり、また、一方の搬送
台に没入動作を行わせると、これに連動して他方の搬送
台が突入動作となるような連動であり、この第1及び第
2の搬送台の動作は、待機状態での旋回軌跡よりプロセ
スチャンバステーション側での突入・没入動作を行わせ
る一方の搬送台が、プロセスチャンバステーションのゲ
ートに干渉しないように、突入・没入動作を該一方の搬
送台の旋回動作と重複して行うようにし、他方の搬送台
は、前記一方の搬送台の動作に機械的に連動して待機状
態での旋回軌跡より旋回中心側での没入・突入動作を該
他方の搬送台の旋回動作と重複して行うようにしたこと
を特徴とする。
重複して行われる搬送台の突入及び没入動作が、ゲート
と干渉しないように行う。
法によれば、ハンドリング用ロボットの旋回動作と各搬
送台の突入、没入の各動作の組み合わせにて行われて、
この両動作が重複されることになり、ハンドリング用ロ
ボットの旋回及び搬送台の出没動作における全体のサイ
クルタイムを短縮することができる。
2のハンドリング用ロボットA′について説明する。こ
の第2のハンドリング用ロボットA′の一対の搬送台8
a,8bの従来の動作は図15から図19に示すように
なり、このときの両搬送台8a,8bの先端部の動きを
細かく分析すると、第1の搬送台8aの動作は図23
(a)に、第2の搬送台8bの動作は図23(b)にそ
れぞれ示すようになる。なお以下に示すt0 ,t0 ′〜
t6 ,t6 ′の各点及びこれを結ぶ線は各搬送台8a,
8bの先端中央部及びこれの軌跡を示す。
ときの第1の搬送台8aは図23(a)でt0 、第2の
搬送台8bは図23(b)でt0 ′に位置されている。
そしてこの図23(a),(b)において、t1 ,
t1 ′は、図16に示す状態の直前、すなわち、第2の
搬送台8bが対象のステーション2eに対向しての待機
状態を示す。t2 ,t2 ′は第2の搬送台8bがステー
ション2e内にゲート6を通って所定ストロークにわた
って突入した状態を示す。このとき、待機側である第1
の搬送台8aは、第2の搬送台8bの動きに連動してト
ランスファチャンバの内側へ少し没入動作してt2 の位
置となる。
ション2eからゲート6を通ってトランスファチャンバ
側へ没入して待機状態になったときで、第1の搬送台8
aも待機状態となる。t4 ,t4 ′は第1の搬送台8a
を対象のステーション2eに向けるために、両搬送台8
a,8bの配置角度、例えば45°だけ旋回した状態を
示す。t5 は第1の搬送台8aがステーション2e内に
ゲート6を通って突入した状態で、第2の搬送台8bは
これに連動して内側にt5 ′まで没入する。t6 ,
t6 ′は第1の搬送台8aがステーション2eからゲー
ト6を通ってトランスファチャンバ側へ没入して待機位
置になったときの第1・第2の搬送台8a,8bの位置
である。
没入の各動作とロボット全体の旋回動作が別々になって
いたため、第1の搬送台8aが最没入位置t2 (第2の
搬送台8bは突入位置t2 ′)から45°にわたって旋
回し、ついでステーション2e内にt5 まで突入するま
でのサイクルタイムTは T=(t3 −t2 )+(t4 −t3 )+(t5 −t4 ) =(t3 ′−t2 ′)+(t4 ′−t3 ′)+(t5 ′−t4 ′) となり、旋回動作の動作タイム(t4 −t3 )、
(t4 ′−t3 ′)が直接的に加算されている。
入動作と旋回動作において、搬送台8a,8bの突入、
没入動作を行いながら旋回動作を行って全体のサイクル
タイムの短縮を図ろうとするものである。
19を参照しながら第2のハンドリング用ロボットA′
について図24(a),(b)に基づいて説明する。図
15で示した待機状態では、第1の搬送台8aは図24
(a)でt00、第2の搬送台8bは図24(b)で
t00′に位置される。なお、以下に示すt00,t00′〜
t05,t05′の各点及びこれを結ぶ線は上記の場合と同
様に各搬送台8a,8bの先端中央部及びこれの軌跡を
示す。
第2の搬送台8bを1つのステーション2eに対向させ
ると共に、このステーション2e内へゲート6を通して
突入し、ついでトランスファステーション1側へ没入さ
せ、ついで第1の搬送台8aを同じステーション2e内
に突入し、ついでこれをトランスファステーション1側
へ没入させる一連の動作について説明する。
aは図24(a)のt00、第2の搬送台8bは図24
(b)のt00′に位置されている。この状態からθだけ
旋回する間に、第2の搬送台8bを徐々に突入動作を行
う。このときの第2の搬送台8bの軌跡は、例えば、円
弧やクロソイド曲線のような曲線を描いてステーション
2eに対向する位置に至る。そしてこのときの旋回途中
での搬送台8bの突入速度及びストロークは旋回速度と
ゲート6の大きさに関係して相対的に決められる。
渉する位置までの突入速度は旋回速度に対してゆっくり
とし、ある旋回角まで旋回し、ゲート6に干渉しない状
態になった時点t01′から旋回速度に対して高速で
t02′まで突入動作する。なお、搬送台8b(あるいは
ウエハ)の大きさに対してゲート6の旋回方向の大きさ
が十分大きい場合には突入動作の終端位置t02′まで旋
回動作と共に、突入動作を行うようにしてもよい。ま
た、上記突入速度は一定であってもよい。
は第2の搬送台8bの動きに連動してトランスファチャ
ンバの内側へ少し没入動作してt01を経由してt02の位
置となる。
2eからゲート6を通ってトランスファチャンバ側へ没
入させ、45°にわたって旋回した第1の搬送台8aを
ステーション2eに突入する動作がなされるが、このと
きの第2の搬送台8bはt02′からt01′まで、すなわ
ち、ゲート6に対して旋回方向に干渉する位置までは、
旋回しない状態で、あるいは極めてゆっくり旋回させな
がら第2の搬送台8bを没入動作し、ついでロボット全
体をステーション2eの位置から45°にわたって旋回
させながら第2の搬送台8bが没入動作する。
テーション2eに対して突入動作する第1の搬送台8a
は、上記第2の搬送台8bの突入動作と同様に旋回しな
がら突入動作が行われ、ゲート6に干渉しない状態にな
った時点t03から高速でt04まで突入動作する。このと
き、第2の搬送台8bは、この第1の搬送台8aの動作
に連動して没入動作が行われてt04′になる。
動作と組み合わせる場合、すなわち、旋回してこの第1
の搬送台8a、あるいは第2の搬送台8bを次のステー
ションに突出させる場合には、上記突入動作の場合と同
様に、ゲート6と旋回方向に干渉しない位置t03まで没
入させてから、この没入動作中に旋回動作させてt05の
位置まで移動する。このとき、第2の搬送台8bは
t05′になる。
入の各動作において、第1の搬送台8aが最没入位置t
02(第2の搬送台8bは突入位置t02′)から45°に
わたって旋回し、ついでステーション2e内にt04まで
突入するまでのサイクルタイムT0 は T0 =(t01−t02)+(t03−t01)+(t04−t03) =(t01′−t02′)+(t03′−t01′)+(t04′−t03′) となる。
−t01)、(t05−t03)は、従来のサイクルタイムT
においての搬送台8a,8bの突入、没入の軌跡と旋回
軌跡との交点であるt3 ,t4 及びt6 の部分をショー
トカットした曲線となり、また、(t01′−t00′)、
(t03′−t01′)も、従来のサイクルタイムTにおい
ての両軌跡の交点であるt1 ′,t3 ′及びt4 ′の部
分をショートカットした曲線となり、従って、この両サ
イクルタイムT,T0 を比較したときに、明らかに、T
>T0 となり、本発明の実施の形態により、搬送台8
a,8bの旋回及び突入、没入のサイクルが短縮され
た。
8bが旋回しながら突入動作するときにゲート6に対す
る干渉しない位置t03,t01′はゲート6の旋回方向の
大きさ、及び搬送台、あるいはこれに載せるウエハの大
きさ、さらには速度・加速度等の動作条件によって決め
られる。
0 を描くには、ハンドリング用ロボットA′の旋回動作
と各搬送台8a,8bの突入、没入の各動作の組み合わ
せにて行われる。そしてこの動作は、これらを駆動する
モータユニット25a,25bの制御にて行われる。こ
のとき、この両モータユニット25a,25bは図示し
ない制御装置にて正転、逆転及び回転速度が正確に、か
つ任意に制御されるようにする。
用ロボットA′について説明したが、図20に示した他
のハンドリング用ロボットA″においても同様に実施す
ることができる。また、図24(a)、(b)におい
て、搬送台8a,8bのt01→t03、t01′→t03′の
軌跡が、両搬送台8a,8bの待機状態での旋回軌跡と
単に交差でもよく、あるいは接線状を経て交差し、接線
状に離間するようにしてもよい。
半導体製造装置の概略的な平面図である。
ロボットの関係を示す分解斜視図である。
ある。
明図である。
構を示す断面図である。
トの作用説明図である。
ションに対する作用説明図である。
ションに対する作用説明図である。
ションに対する作用説明図である。
ーションに対する作用説明図である。
ーションに対する作用説明図である。
す断面図である。
である。
である。
のステーションに対する作用説明図である。
のステーションに対する作用説明図である。
のステーションに対する作用説明図である。
のステーションに対する作用説明図である。
のステーションに対する作用説明図である。
示す平面図である。
示す平面図である。
断面図である。
ットにおける搬送台の動作軌跡を示す線図である。
グ用ロボットの搬送台の動作軌跡を示す線図である。
ーション 3…ワーク受け渡しステーション 5…仕切り壁 6…ゲート 7a,7b,27a,27b,27c,27d…アーム 8a,8b…搬送台 9a,9b,28a,28b,28c,28d…リンク 10a,10b,20a,20bリング状ボス 11a,11b,21a,21b…円板状ボス 13a,13b,24a,24b…回転軸 14a,14b,25a,25b,32a,32b…モ
ータユニット 17,23…隔壁 27e…脚柱 30…回転台 31…駆動軸 33,34…駆動リンク機構 38,39…従動リンク機構
Claims (2)
- 【請求項1】周囲の外周壁を介して配設され、この外周
壁に形成された各ゲートを介して連通する複数のプロセ
スチャンバステーションを有するトランスファチャンバ
内に設けられたハンドリング用ロボットであって、 このロボットがロボットの旋回中心のまわりに角度方向
にずらされた第1及び第2の搬送台を備え、 上記ロボットが上記第1及び第2の搬送台をアームを介
して機械的に連動させながら旋回及び突入または没入さ
せる駆動手段を備え、 上記駆動手段が、上記第1及び第2の搬送台を上記トラ
ンスファチャンバ内にて一緒に同時に旋回させると共
に、上記第1及び第2の搬送台の一方を上記ゲートを通
って上記プロセスチャンバステーション内に突入させ、
かつ同時に上記第1及び第2の搬送台の他方を前記トラ
ンスファチャンバ内に没入させるようになっている、ハ
ンドリング用ロボットの制御方法において、前記第1及び第2の搬送台のアームを介した機械的な連
動は、該第1及び第2の搬送台のうち、一方の搬送台に
突入動作を行わせると、これに連動して他方の搬送台が
没入動作となり、また、一方の搬送台に没入動作を行わ
せると、これに連動して他方の搬送台が突入動作となる
ような連動であり、 この 第1及び第2の搬送台の動作は、待機状態での旋回
軌跡よりプロセスチャンバステーション側での突入・没
入動作を行わせる一方の搬送台が、プロセスチャンバス
テーションのゲートに干渉しないように、突入・没入動
作を該一方の搬送台の旋回動作と重複して行うように
し、他方の搬送台は、前記一方の搬送台の動作に機械的
に連動して待機状態での旋回軌跡より旋回中心側での没
入・突入動作を該他方の搬送台の旋回動作と重複して行
うようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボット
の制御方法。 - 【請求項2】旋回動作と重複して行われる搬送台の突入
動作及び没入動作が、ゲートと干渉しないように行うこ
とを特徴とする請求項1記載のハンドリング用ロボット
の制御方法。
Priority Applications (4)
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