JPH0714908A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JPH0714908A JPH0714908A JP15181893A JP15181893A JPH0714908A JP H0714908 A JPH0714908 A JP H0714908A JP 15181893 A JP15181893 A JP 15181893A JP 15181893 A JP15181893 A JP 15181893A JP H0714908 A JPH0714908 A JP H0714908A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 使用に伴い搬送ロボットに生ずる機械的誤差
を加味して、基板の搬出入位置を修正する。 【構成】 基板搬送装置において、搬送ロボットのサー
ボ制御による正規の基板搬出入位置に機械的誤差検出用
の位置決めピン８を起立して設ける。また搬送ロボット
１のアーム１２Ａ，１２Ｂ先端には凹陥部１１を設け、
搬送ロボット１の機械的誤差に比例した位置で凹陥部１
１を位置決めピン８に係合させる。位置決めピン８に対
する凹陥部１１のずれ量に基づいて、搬送ロボット１を
機械的誤差を検出し、搬出入位置の修正信号を出力し、
その検出位置修正信号により基板の搬出入位置を修正す
る。
を加味して、基板の搬出入位置を修正する。 【構成】 基板搬送装置において、搬送ロボットのサー
ボ制御による正規の基板搬出入位置に機械的誤差検出用
の位置決めピン８を起立して設ける。また搬送ロボット
１のアーム１２Ａ，１２Ｂ先端には凹陥部１１を設け、
搬送ロボット１の機械的誤差に比例した位置で凹陥部１
１を位置決めピン８に係合させる。位置決めピン８に対
する凹陥部１１のずれ量に基づいて、搬送ロボット１を
機械的誤差を検出し、搬出入位置の修正信号を出力し、
その検出位置修正信号により基板の搬出入位置を修正す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板搬送装置に関し、
特に半導体基板を搬送ロボットにより搬送する基板搬送
装置に関する。
特に半導体基板を搬送ロボットにより搬送する基板搬送
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の半導体製造装置の一つで
あるプラズマ気相成長装置を示す概略図である。装置の
概要について説明する。ローダー側１３ａにある搬送ロ
ボット１は、３基のキャリア３の中から、半導体基板
（以下、ウェハーという）２を一枚取り出し、これをロ
ードロックドア５の前まで搬送する。ロードロックドア
５は、通常閉であり、ロードロックドア５は搬送ロボッ
ト１が反応炉内のウェハー受６へ搬送する時に開く。ロ
ードロックドア５が開いた後、搬送ロボット１は反応炉
側１３ｂへ入り、ウェハー２をウェハー受６に置き、図
５に示す位置へ戻る。そしてロードロックドア５は閉
じ、反応炉内の真空引きを行い、プラズマ状態で薄膜を
ウェハー２に成長させる。
あるプラズマ気相成長装置を示す概略図である。装置の
概要について説明する。ローダー側１３ａにある搬送ロ
ボット１は、３基のキャリア３の中から、半導体基板
（以下、ウェハーという）２を一枚取り出し、これをロ
ードロックドア５の前まで搬送する。ロードロックドア
５は、通常閉であり、ロードロックドア５は搬送ロボッ
ト１が反応炉内のウェハー受６へ搬送する時に開く。ロ
ードロックドア５が開いた後、搬送ロボット１は反応炉
側１３ｂへ入り、ウェハー２をウェハー受６に置き、図
５に示す位置へ戻る。そしてロードロックドア５は閉
じ、反応炉内の真空引きを行い、プラズマ状態で薄膜を
ウェハー２に成長させる。
【０００３】反応炉での作業終了後、ロードロックドア
５が開き、搬送ロボット１が反応炉側１３ｂの半導体ウ
ェハー２を取り出し、ローダー側１３ａのキャリア３へ
搬送する。
５が開き、搬送ロボット１が反応炉側１３ｂの半導体ウ
ェハー２を取り出し、ローダー側１３ａのキャリア３へ
搬送する。
【０００４】次に搬送ロボットの動作について説明す
る。搬送ロボット１は図６，図７に示すように２つのア
ーム１２Ａ，１２Ｂでウェハー台４を前後に伸縮するよ
うになっている。搬送ロボットのアーム１２Ａ，１２Ｂ
は、上下，左右，前後の方向へ３つのサーボモータでサ
ーボ制御され、キャリアと反応炉内でのアームの位置決
めは、プログラムで決定している。ウェハー２を取りに
行く場合、搬送ロボット１の左右制御モータで左右の位
置合わせを行い、次に上下制御モータで上下の位置合わ
せを行い、最後に前後制御モータでウェハーのある場所
にウェハー台を持っていく。キャリア３へウェハー２を
戻す場合も同様の動きをする。
る。搬送ロボット１は図６，図７に示すように２つのア
ーム１２Ａ，１２Ｂでウェハー台４を前後に伸縮するよ
うになっている。搬送ロボットのアーム１２Ａ，１２Ｂ
は、上下，左右，前後の方向へ３つのサーボモータでサ
ーボ制御され、キャリアと反応炉内でのアームの位置決
めは、プログラムで決定している。ウェハー２を取りに
行く場合、搬送ロボット１の左右制御モータで左右の位
置合わせを行い、次に上下制御モータで上下の位置合わ
せを行い、最後に前後制御モータでウェハーのある場所
にウェハー台を持っていく。キャリア３へウェハー２を
戻す場合も同様の動きをする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来装置でウェハ
ーを搬送した場合、突発的に搬送ロボット１がウェハー
受６と接触するという事故が１ケ月に１回くらいの頻度
で発生していた。接触事故を起こすと、ウェハー受６に
ウェハー２が乗らず、ウェハー２が割れてしまい、装置
を洗浄する必要がある場合もあり、稼動率が著しく低下
することになる。
ーを搬送した場合、突発的に搬送ロボット１がウェハー
受６と接触するという事故が１ケ月に１回くらいの頻度
で発生していた。接触事故を起こすと、ウェハー受６に
ウェハー２が乗らず、ウェハー２が割れてしまい、装置
を洗浄する必要がある場合もあり、稼動率が著しく低下
することになる。
【０００６】事故の原因を解析すると、多くは搬送ロボ
ット１の左右のアーム１２Ａ，１２Ｂのバランスがずれ
るためであった。基板支持用アームは図６に示すように
２つのアーム１２Ａ，１２Ｂによりウェハー台４を前後
させるダブルアームである。長い間使用していると、左
右のアームのバネの力が変化し、また軸の摩擦の大きさ
も変化するため、左右のアーム１２Ａ，１２Ｂのバラン
スがずれると考えられる。そのため、コンピユータが原
点復帰を行っても、搬送時にはアームが左右へ微妙にず
れてウェハー受６にぶつかってしまうのである。
ット１の左右のアーム１２Ａ，１２Ｂのバランスがずれ
るためであった。基板支持用アームは図６に示すように
２つのアーム１２Ａ，１２Ｂによりウェハー台４を前後
させるダブルアームである。長い間使用していると、左
右のアームのバネの力が変化し、また軸の摩擦の大きさ
も変化するため、左右のアーム１２Ａ，１２Ｂのバラン
スがずれると考えられる。そのため、コンピユータが原
点復帰を行っても、搬送時にはアームが左右へ微妙にず
れてウェハー受６にぶつかってしまうのである。
【０００７】本発明の目的は、使用にともない搬送ロボ
ットに生ずる機械的誤差を検出し、その検出データに基
づいて搬送ロボットによる基板の搬出入位置を補正する
ようにした基板搬送装置を提供することにある。
ットに生ずる機械的誤差を検出し、その検出データに基
づいて搬送ロボットによる基板の搬出入位置を補正する
ようにした基板搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る基板搬送装置は、誤差検出機構を有
し、規定枚数の半導体基板を搬送ロボットに支持させ、
該基板を搬送ロボットにより搬送して所定位置で停止さ
せる基板搬送装置であって、搬送ロボットは、サーボ制
御されるものであり、誤差検出機構は、搬送ロボットの
サーボ制御による正規な基板の搬出入位置を初期値と
し、該初期値に対する経年変化に基づく基板の搬出入位
置のずれを検出し、搬出入位置の修正信号を出力するも
のであり、搬出入位置の修正信号は、使用に伴う搬送ロ
ボットの機械的誤差を表わすものである。
め、本発明に係る基板搬送装置は、誤差検出機構を有
し、規定枚数の半導体基板を搬送ロボットに支持させ、
該基板を搬送ロボットにより搬送して所定位置で停止さ
せる基板搬送装置であって、搬送ロボットは、サーボ制
御されるものであり、誤差検出機構は、搬送ロボットの
サーボ制御による正規な基板の搬出入位置を初期値と
し、該初期値に対する経年変化に基づく基板の搬出入位
置のずれを検出し、搬出入位置の修正信号を出力するも
のであり、搬出入位置の修正信号は、使用に伴う搬送ロ
ボットの機械的誤差を表わすものである。
【０００９】また、誤差検出機構は、位置決めピンと凹
陥部とを有し、位置決めピンは、搬送ロボットのサーボ
制御による正規の基板搬出入位置に起立して設けられた
ものであり、凹陥部は、位置決めピンに外装するもので
あって、搬送ロボットの基板支持用アームの先端に位置
決めピンと向き合わせに備えられ、搬送ロボットの機械
的誤差に比例した位置で位置決めピンに係合するもので
ある。
陥部とを有し、位置決めピンは、搬送ロボットのサーボ
制御による正規の基板搬出入位置に起立して設けられた
ものであり、凹陥部は、位置決めピンに外装するもので
あって、搬送ロボットの基板支持用アームの先端に位置
決めピンと向き合わせに備えられ、搬送ロボットの機械
的誤差に比例した位置で位置決めピンに係合するもので
ある。
【００１０】また、誤差検出機構は、発光部と受光部の
対を有し、発光部と受光部のうち一方は、搬送ロボット
のサーボ制御による正規の基板搬出入位置に固定して設
けられ、他方は、搬送ロボットに設けられ、発光部は、
光を発光するものであり、受光部は、発光部からの搬送
ロボットの機械的誤差に比例した光量を受光するもので
ある。
対を有し、発光部と受光部のうち一方は、搬送ロボット
のサーボ制御による正規の基板搬出入位置に固定して設
けられ、他方は、搬送ロボットに設けられ、発光部は、
光を発光するものであり、受光部は、発光部からの搬送
ロボットの機械的誤差に比例した光量を受光するもので
ある。
【００１１】
【作用】搬送ロボットのサーボ制御による正規の基板の
搬出入位置を初期値とし、該初期値に対する経年変化に
基づく基板の搬出入位置のずれを検出し、その検出デー
タに基づいて搬送ロボットによる基板の搬出入位置を修
正する。
搬出入位置を初期値とし、該初期値に対する経年変化に
基づく基板の搬出入位置のずれを検出し、その検出デー
タに基づいて搬送ロボットによる基板の搬出入位置を修
正する。
【００１２】尚、経年変化に基づく基板の搬出入位置の
ずれは、使用に伴う搬送ロボットの機械的誤差に基づい
て生じる。
ずれは、使用に伴う搬送ロボットの機械的誤差に基づい
て生じる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図により説明する。
【００１４】（実施例１）図１は、本発明の実施例１を
示す構成図、図３は、本発明の実施例１に用いた誤差検
出機構を示す図である。
示す構成図、図３は、本発明の実施例１に用いた誤差検
出機構を示す図である。
【００１５】図１は、プラズマ気相成長装置を示すもの
であり、装置は、ローダー側（収納部）１３ａと反応炉
側（処理部）１３ｂとにロードロックドア５に隔離さ
れ、ローダー側１３ａ内にはキャリア３が設置され、ロ
ーダー側１３ａと反応炉側１３ｂとの間にウェハー２を
搬送ロボット１により搬出入するようになっている。こ
の構成は、従来のものと同じである。
であり、装置は、ローダー側（収納部）１３ａと反応炉
側（処理部）１３ｂとにロードロックドア５に隔離さ
れ、ローダー側１３ａ内にはキャリア３が設置され、ロ
ーダー側１３ａと反応炉側１３ｂとの間にウェハー２を
搬送ロボット１により搬出入するようになっている。こ
の構成は、従来のものと同じである。
【００１６】本発明は、誤差検出機構を備えている。誤
差検出機構は、搬送ロボット１のサーボ制御による正規
の基板の搬出入位置を初期値とし、該初期値に対する経
年変化に基づく基板の搬出入位置のずれを検出するよう
になっており、位置決めピン２８と凹陥部１１との組を
有している。前記経年変化に基づく基板の搬出入位置の
ずれは、搬送ロボット１の機械的誤差に基づいて生ず
る。搬送ロボット１の機械的誤差は、左右のアーム１２
Ａ，１２Ｂのバネの力の変化，軸の摩擦等により発生す
る。
差検出機構は、搬送ロボット１のサーボ制御による正規
の基板の搬出入位置を初期値とし、該初期値に対する経
年変化に基づく基板の搬出入位置のずれを検出するよう
になっており、位置決めピン２８と凹陥部１１との組を
有している。前記経年変化に基づく基板の搬出入位置の
ずれは、搬送ロボット１の機械的誤差に基づいて生ず
る。搬送ロボット１の機械的誤差は、左右のアーム１２
Ａ，１２Ｂのバネの力の変化，軸の摩擦等により発生す
る。
【００１７】図１，図３に示すように位置決めピン８
は、搬送ロボット１のサーボ制御による正規の基板搬出
入位置に起立して植設されている。凹陥部１１は、位置
決めピン８に外装するものであって、搬送ロボット１の
基板支持用アーム１２ａ，１２Ｂの先端に設けたウェハ
ー受６に位置決めピン８と向き合わせに刻設され、搬送
ロボット１の機械的誤差に比例した位置で位置決めピン
８に係合するようになっている。
は、搬送ロボット１のサーボ制御による正規の基板搬出
入位置に起立して植設されている。凹陥部１１は、位置
決めピン８に外装するものであって、搬送ロボット１の
基板支持用アーム１２ａ，１２Ｂの先端に設けたウェハ
ー受６に位置決めピン８と向き合わせに刻設され、搬送
ロボット１の機械的誤差に比例した位置で位置決めピン
８に係合するようになっている。
【００１８】本実施例の動作について説明する。まず搬
送ロボット１はキャリア３に収納されているウェハー２
を取り出し、これを反応炉の前まで移動してくる。反応
炉にウェハー２を挿入する前に、ロードロックドア５に
設置された位置決めピン８で１回位置決めを行うことに
より、上下左右の微調整が行われ、調整後、搬送ロボッ
ト１はウェハー受６と接触することなく、反応炉内へウ
ェハー２を置きに行くことができる。
送ロボット１はキャリア３に収納されているウェハー２
を取り出し、これを反応炉の前まで移動してくる。反応
炉にウェハー２を挿入する前に、ロードロックドア５に
設置された位置決めピン８で１回位置決めを行うことに
より、上下左右の微調整が行われ、調整後、搬送ロボッ
ト１はウェハー受６と接触することなく、反応炉内へウ
ェハー２を置きに行くことができる。
【００１９】位置決めピン８での位置決め方法を図３に
基づいて説明する。ウェハー台４の先端はピン１つ分位
の凹陥部１１になっている。位置決めするときは、搬送
ロボット１は、凹陥部１１内に位置決めピン８が入るま
で前進してくる。位置決めピン８が凹陥部１１に入り、
ウェハー台と接触すると電気信号が流れ、装置が接触し
たと判断し停止する。次に左右モータで左右に搬送ロボ
ットを動かし、凹陥部１１の両端の側壁１１ａ，１１ａ
にピン８が接触したことで左右の位置を割り出し、中心
位置を検出する。
基づいて説明する。ウェハー台４の先端はピン１つ分位
の凹陥部１１になっている。位置決めするときは、搬送
ロボット１は、凹陥部１１内に位置決めピン８が入るま
で前進してくる。位置決めピン８が凹陥部１１に入り、
ウェハー台と接触すると電気信号が流れ、装置が接触し
たと判断し停止する。次に左右モータで左右に搬送ロボ
ットを動かし、凹陥部１１の両端の側壁１１ａ，１１ａ
にピン８が接触したことで左右の位置を割り出し、中心
位置を検出する。
【００２０】そして上下モータで上下に搬送ロボットを
動かし、凹陥部１１が位置決めピン８から離れると、電
流が流れなくなる。すると、位置決めピン８が離れた時
の位置を割り出し、上下方向の位置を検出する。このよ
うにして、使用に伴う搬送ロボット１の機械的誤差を検
出し、その検出データを加味して、搬送ロボットのサー
ボ制御による基板の搬出入位置に修正する。これによ
り、接触事故によるウェハー割れなどを無くすことがで
き、稼動率が４０％から６０％へ向上した。
動かし、凹陥部１１が位置決めピン８から離れると、電
流が流れなくなる。すると、位置決めピン８が離れた時
の位置を割り出し、上下方向の位置を検出する。このよ
うにして、使用に伴う搬送ロボット１の機械的誤差を検
出し、その検出データを加味して、搬送ロボットのサー
ボ制御による基板の搬出入位置に修正する。これによ
り、接触事故によるウェハー割れなどを無くすことがで
き、稼動率が４０％から６０％へ向上した。
【００２１】（実施例２）図２，図４は、本発明の実施
例２を示す図である。前記実施例は、出し入れの際に位
置決めを行っているので、スループットが悪くなるが、
本実施例では、スループットを向上するようにしたもの
である。
例２を示す図である。前記実施例は、出し入れの際に位
置決めを行っているので、スループットが悪くなるが、
本実施例では、スループットを向上するようにしたもの
である。
【００２２】搬送ロボット１の動作は同じであるが、反
応炉内のウェハー受６に搬送ロボット１が入っていく前
に搬送ロボット１のウェハー台４と反応炉内に設置され
た光センサー７により上下左右の微調整が行われ指定位
置にセットされる。光センサー７は、発光部としての光
照射装置１４と、受光部との対からなる。ここで光セン
サー７について説明する。
応炉内のウェハー受６に搬送ロボット１が入っていく前
に搬送ロボット１のウェハー台４と反応炉内に設置され
た光センサー７により上下左右の微調整が行われ指定位
置にセットされる。光センサー７は、発光部としての光
照射装置１４と、受光部との対からなる。ここで光セン
サー７について説明する。
【００２３】搬送ロボット１には光を照射する光照射装
置１４を取付け、ウェハー受６には光を感知するセンサ
ーを取り付ける。感知センサー１０は図４のように、前
方に受光部としての穴のあいたスリット９を備えてい
る。スリット９には、真中に一番大きい穴があいてい
て、周りへ向かうほど小さい穴が並んでいる。光が照射
されると、光はスリット９の穴を抜けて感知センサー１
０にあたる。この時、スリットにぶつかった光は感知セ
ンサー１０には届かない。感知センサー１０は届いた光
の量により電流を発生し、ある一定量の電流を確保した
時（真中の大きな穴に光が入った時）、搬送ロボット１
は指定の位置にセットしたと判断し、停止する。電流が
一定量確保できるまで、搬送ロボット１は、位置の微調
整を繰り返し、電流がより多く確保できる方向へ移動す
る。
置１４を取付け、ウェハー受６には光を感知するセンサ
ーを取り付ける。感知センサー１０は図４のように、前
方に受光部としての穴のあいたスリット９を備えてい
る。スリット９には、真中に一番大きい穴があいてい
て、周りへ向かうほど小さい穴が並んでいる。光が照射
されると、光はスリット９の穴を抜けて感知センサー１
０にあたる。この時、スリットにぶつかった光は感知セ
ンサー１０には届かない。感知センサー１０は届いた光
の量により電流を発生し、ある一定量の電流を確保した
時（真中の大きな穴に光が入った時）、搬送ロボット１
は指定の位置にセットしたと判断し、停止する。電流が
一定量確保できるまで、搬送ロボット１は、位置の微調
整を繰り返し、電流がより多く確保できる方向へ移動す
る。
【００２４】これにより搬送ロボット１は、機械的誤差
により停止位置がずれていたとしても、正確に位置を修
正することができる。このように本実施例によれば、搬
送ロボットの上下左右方向を検知し補正することによっ
て、搬送ロボット１の位置ずれを決められた位置へ持っ
ていくことができる。これにより搬送ロボット１の接触
事故はなくなり、スループットが向上し、１ケ月の装置
の稼動率が４０％から７０％へ上昇した。
により停止位置がずれていたとしても、正確に位置を修
正することができる。このように本実施例によれば、搬
送ロボットの上下左右方向を検知し補正することによっ
て、搬送ロボット１の位置ずれを決められた位置へ持っ
ていくことができる。これにより搬送ロボット１の接触
事故はなくなり、スループットが向上し、１ケ月の装置
の稼動率が４０％から７０％へ上昇した。
【００２５】本発明はプラズマ気相成長装置の搬送につ
いて例を示したが、他の真空系の装置にも適用できる。
いて例を示したが、他の真空系の装置にも適用できる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、搬送ロボ
ットのサーボ制御による正規の基板の搬出入位置を初期
値とし、該初期値に対する搬送ロボットの機械的誤差に
よるズレを検出し、その検出データに基づいて基板の搬
出入位置を修正するため、搬送ロボットの基板支持用ア
ームをウェハー受に接触させてウェハーに損傷を与える
という事故を解決することができる。
ットのサーボ制御による正規の基板の搬出入位置を初期
値とし、該初期値に対する搬送ロボットの機械的誤差に
よるズレを検出し、その検出データに基づいて基板の搬
出入位置を修正するため、搬送ロボットの基板支持用ア
ームをウェハー受に接触させてウェハーに損傷を与える
という事故を解決することができる。
【００２７】さらに、誤差検出機構に光センサーを用い
ることにより、無接触で誤差を検出することができ、位
置修正時に装置を一旦停止させることがなく、装置の稼
動率を向上できる。
ることにより、無接触で誤差を検出することができ、位
置修正時に装置を一旦停止させることがなく、装置の稼
動率を向上できる。
【図１】本発明の実施例１を示す構成図である。
【図２】本発明の実施例２を示す構成図である。
【図３】（ａ）は本発明の実施例１に用いた誤差検出機
構を示す平面図、（ｂ）は、同側面図である。
構を示す平面図、（ｂ）は、同側面図である。
【図４】本発明の実施例２に用いた誤差検出機構を示す
図である。
図である。
【図５】従来の気相成長装置を示す構成図である。
【図６】従来の搬送ロボットを示す平面図である。
【図７】従来の搬送ロボットを示す側面図である。
１ 搬送ロボット ２ 半導体基板（ウェハー） ３ キャリア ４ ウェハー台 ５ ロードロックドア ６ ウェハー受 ７ 光センサー ８ 位置決めピン ９ スリット １０ 感知センサー １１ 凹陥部 １２Ａ，１２Ｂ アーム １４ 光照射装置
Claims (3)
- 【請求項１】 誤差検出機構を有し、規定枚数の半導体
基板を搬送ロボットに支持させ、該基板を搬送ロボット
により搬送して所定位置で停止させる基板搬送装置であ
って、 搬送ロボットは、サーボ制御されるものであり、 誤差検出機構は、搬送ロボットのサーボ制御による正規
な基板の搬出入位置を初期値とし、該初期値に対する経
年変化に基づく基板の搬出入位置のずれを検出し、搬出
入位置の修正信号を出力するものであり、 搬出入位置の修正信号は、使用に伴う搬送ロボットの機
械的誤差を表わすものであることを特徴とする基板搬送
装置。 - 【請求項２】 誤差検出機構は、位置決めピンと凹陥部
とを有し、 位置決めピンは、搬送ロボットのサーボ制御による正規
の基板搬出入位置に起立して設けられたものであり、 凹陥部は、位置決めピンに外装するものであって、搬送
ロボットの基板支持用アームの先端に位置決めピンと向
き合わせに備えられ、搬送ロボットの機械的誤差に比例
した位置で位置決めピンに係合するものであることを特
徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 誤差検出機構は、発光部と受光部の対を
有し、 発光部と受光部のうち一方は、搬送ロボットのサーボ制
御による正規の基板搬出入位置に固定して設けられ、他
方は、搬送ロボットに設けられ、 発光部は、光を発光するものであり、 受光部は、発光部からの搬送ロボットの機械的誤差に比
例した光量を受光するものであることを特徴とする請求
項１に記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15181893A JPH0714908A (ja) | 1993-06-23 | 1993-06-23 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15181893A JPH0714908A (ja) | 1993-06-23 | 1993-06-23 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0714908A true JPH0714908A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15526990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15181893A Pending JPH0714908A (ja) | 1993-06-23 | 1993-06-23 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714908A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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