JP2000210890A - 位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ワーク搬送ロボットのハンド上に載置されたワ
ークとワーク以外の物体とが近接した状態で搬送される
場合であっても、ワークのハンドに対する位置ずれを確
実に検出することができる。 【解決手段】許容位置ずれ設定部１３は、ハンド８ｂに
対してワークＷ２が位置ずれなく載置された場合にセン
サ群ＳＳ２によって検出されるワークの基準位置に対す
るワークＷ２の許容位置ずれ量を予め設定し、ワーク検
出判定部１２は、センサが検出動作をした場合にワーク
Ｗ２の基準位置とセンサの各検出位置との差を求め、こ
の差の最小値を算出し、この最小値が許容位置ずれ量に
比べて大きい場合、センサはワークＷ２以外の物体、例
えばアーム５６ａを検出したと判断し、この判断結果を
もとに位置ずれ算出部１４はワークＷ２のエッジ検出位
置からワークの中心位置を求め、ワークＷ２の位置ずれ
量を算出し、ハンド位置補正部１５によってワークが正
規位置で搬送されるようにハンドの補正量が算出され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハ等のワーク
をワーク搬送ロボットのハンド上に載置して所定の搬送
経路上を搬送させる際、ハンドに対するワークの位置ず
れを確実かつ高精度に検出する位置検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ワーク搬送ロボットを用いて
ガラス基板やウェハ等のワークを複数のチャンバから取
り出し、あるいは格納させる搬送処理を行い、各チャン
バ内では予め設定された加工処理をワークに対して施
し、一連の加工処理をワークに対して行って複数のワー
クに対する効率的な加工処理を行うようにしている。

【０００３】図１３は、ワーク搬送ロボットを用いたマ
ルチチャンバタイプの半導体製造装置の概略的な平面図
を示し、ワーク搬送ロボットは、トランスファチャンバ
１内に配置される。トランスファチャンバ１の周囲に
は、複数のプロセスチャンバ２ａ〜２ｅと、外部に対し
てウェハ等のワークの受け渡しを行う受け渡しチャンバ
３とが配設されている。また、トランスファチャンバ１
内は常時真空状態に保たれている。受け渡しチャンバ３
の一方に配置されたワークはトランスファチャンバ１内
に配置された後述する図１４に示すワーク搬送ロボット
Ａ１によって取り出され、例えばプロセスチャンバ２ｃ
→２ｄ→２ｅ→２ａ→２ｂの順にワークを搬送して各プ
ロセスチャンバによって加工処理させ、一連の加工処理
が施されたワークは、受け渡しチャンバ３の他方に搬送
される。ワーク搬送ロボットＡ１は、各プロセスチャン
バにおける処理を効率的に行うため、各プロセスチャン
バにおける加工処理を例えばパイプライン的処理等の制
御処理によってワークに対する加工処理を並行的に行
う。そして、未処理のワークは外部から順次受け渡しチ
ャンバの一方を介して持ち込まれ、処理済みのワークは
順次受け渡しチャンバの他方を介して外部に取り出され
る。

【０００４】トランスファチャンバ１は、図１４に示す
ような構造であり、この中心部にワーク搬送ロボットＡ
１が旋回可能に備え付けられ、周壁で、かつ各プロセス
チャンバ２ａ〜２ｅおよび受け渡しチャンバ３に対向す
る仕切壁５には各プロセスチャンバ２ａ〜２ｅへのワー
ク出入口となるゲート６が設けてある。このゲート６
は、トランスファチャンバ１の内側に各ゲート６に対向
して設けられた図示しないゲートバルブによって開閉さ
れるようになっている。

【０００５】このワーク搬送ロボットＡ１は、フロッグ
レッグ式の双腕型のワーク搬送ロボットである。図１５
（ａ）に示すようにワーク搬送ロボットＡ１は、軸４１
を中心に旋回し、この軸４１に垂直で旋回面に沿って回
動するアーム４２ａ，４２ｂを有する。このアーム４２
ａ，４２ｂの先端にはアーム４２ａ，４２ｂにそれぞれ
その基部が連結された従動アーム４３ａ，４４ａおよび
従動アーム４３ｂ，４４ｂを有する。従動アーム４３
ａ，４３ｂの先端にはハンド４５ｂが連結され、また従
動アーム４４ａ，４４ｂの先端にはハンド４５ａが連結
されている。従って、アーム４２ａ，４２ｂをハンド４
５ｂの方に互いに近接させる旋回を行うことによってハ
ンド４５ｂが軸４１から大きく離れて伸長し、ハンド４
５ａはそれに引きずられて軸４１に接近する。一方、ア
ーム４２ａ，４２ｂをハンド４５ａの方に互いに近接さ
せる旋回を行うことによってハンド４５ａが軸４１から
大きく離れて伸長し、ハンド４５ｂはそれに引きずられ
て軸４１に接近する。

【０００６】図１５および図１６を参照してワーク搬送
ロボットＡ１の具体的搬送動作の一例について説明す
る。

【０００７】まず、図１５（ａ）ではハンド４５ｂがプ
ロセスチャンバ２ｄに対向した状態で、一方のハンド４
５ａに既にウェハであるワークＷ１が載置されている。
ここで、ワーク搬送ロボットＡ１はプロセスチャンバ２
ｅ内のワークＷ２を取り出すため、軸４１を右に旋回
し、ハンド４５ｂをプロセスチャンバ２ｅに対向させ
る。その後、アーム４２ａ，４２ｂをハンド４５ｂの方
に旋回させることによってハンド４５ｂをプロセスチャ
ンバ２ｅ内に挿入し、ワークＷ２をハンド４５ｂ上に載
置する。その後、図１５（ｂ）に示すようにアーム４２
ａ，４２ｂをもとの初期状態に復帰させる旋回を行い、
ハンド４５ｂを縮めることによってハンド４５ｂ上に載
置されたワークＷ２をプロセスチャンバ２ｅから取り出
す。その後、図１６（ａ）に示すように、軸４１を右方
向に１８０度旋回させ、ハンド４５ａをプロセスチャン
バ２ｅに対向させる。その後、ハンド４５ａをプロセス
チャンバ２ｅ内に挿入させることによってハンド４５ａ
上に載置されたワークＷ１をプロセスチャンバ２ｅ内の
所定位置に搬送し、ワークＷ１をプロセスチャンバ２ｅ
内に置いて、ハンド４５ａを縮める動作を行う。これに
より、プロセスチャンバ２ｅ内において所定済みのワー
クＷ２が取り出され、未処理のワークＷ１がプロセスチ
ャンバ２ｅ内に置かれて、このワークＷ１に対する処理
が実行されることになる。すなわち、ワークＷ１とワー
クＷ２との交換が行われることになる。このような処理
が各プロセスチャンバ２ａ〜２ｅに対して行われること
になる。

【０００８】ところで、このようなワーク搬送ロボット
Ａ１では、ワークをハンド上に載置しているのみである
ので、ワークの搬送途中において、ワークがハンドに対
して位置ずれしてしまうことがある。この位置ずれが生
じると、ハンドを正確に搬送制御しても、ワークの位置
が異なるため、ワークがゲート６を通過する際、ゲート
６の縁に当たってしまい、ワークの破損が生じ、さらに
は、この破損によるパーティクルによってトランスファ
チャンバ１等が汚れ、その他のワークをも汚してしまう
ことになる。しかも、トランスファチャンバ１等の真空
度をも悪くしてしまう。なお、ワークをハンド上に載置
して搬送するのは、トランスファチャンバ１等内が真空
状態であるからである。

【０００９】そこで、ワーク搬送ロボットは、このよう
なワークのハンドに対する位置ずれを検出してワークを
基準として搬送動作を行うようにしている。例えば、特
開平６−２２４２８４号公報に記載された処理チャンバ
内の基板を自動的に位置決めするためのシステム及び方
法では、ウェハとこれを載置するハンドの円弧軌道に対
してほぼ横方向に配置されたセンサアレイを設け、この
センサアレイによってウェハのハンドに対する相対的位
置を検出し、この検出結果を用いてハンドの搬送制御を
行うようにしている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したワ
ーク搬送ロボットＡ１はその構成からワーク搬送動作時
に軸４１を１８０度回転しなければならず、ワーク交換
のサイクルタイムが長くなってしまうことから、図１７
に示すようなワーク搬送ロボットＡ２が用いられるよう
になってきている。このワーク搬送ロボットＡ２では、
ワーク交換時における軸４１の旋回角を隣接するプロセ
スチャンバの配置角程度にすることができる。

【００１１】図１７および図１８を参照してこのワーク
搬送ロボットＡ２の構成について説明すると、ワーク搬
送ロボットＡ２は、トランスファチャンバ１の中心部に
位置され、第１および第２のリング状ボス５０ａ，５０
ｂが同心状にして下側から順に重ね合わせた状態し、か
つ図示しない軸受を介して個々に回転自在に支持されて
いる。第１のリング状ボス５０ａの側面には第１および
第２のアーム５６ａ，５６ｂが、第２のリング状ボス５
０ｂの側面には第３のアーム５６ｃが、またこの第２の
リング状ボス５０ｂの頂面には脚柱５６ｅを介して第４
のアーム５６ｄがそれぞれ放射方向に突設されており、
第４のアーム５６ｄの先端部下面が回転支点となってお
り、他のアームは、それぞれのアームの先端部上面が回
転支点となっている。

【００１２】各アーム５６ａ〜５６ｄのそれぞれの回転
支点の半径は同一寸法になっており、各アーム５６ａ〜
５６ｄの回転支点には実質的に同長の第１〜第４のリン
ク５７ａ〜５７ｄの一端が回転自在に連結されている。
第１のアーム５６ａの先端上面側に設けられた回転支点
に連結された第１のリンク５７ａの先端部が、この先端
の回転支点部を外側へオーバハング状に上方に折り曲げ
られてコの字状になっている。

【００１３】第１のリンク５７ａと第４のリンク５７ｄ
の先端部に、ハンド姿勢規制機構を介して第１のハンド
８ａが連結されており、これによって第１のロボットリ
ンク機構Ｂ１が構成される。このとき、第１のリング５
７ａのコの字状の立ち上がり高さは、ハンド８ａがリン
グ状ボスより上側に位置し、かつ後述する第２のロボッ
トリンク機構Ｂ２のハンド８ｂおよび一方のアーム５６
ｃとリンク５７ｃがこの第１のアーム５６ａとリンク５
７ａの間をくぐり抜けて移動できるようにしてある。ま
た、第２および第３のリンク５７ｂ，５７ｃの先端部に
ハンド姿勢規制機構を介して第２のハンド８ｂが連結さ
れており、このよって第２のロボットリンク機構Ｂ２が
構成されている。この両ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２
のハンド８ａ，８ｂは旋回方向に、α（例えば６０度）
だけずれていて旋回方向に重複しないようになってお
り、かつ上下方向に同一位置となっている。

【００１４】ワーク搬送ロボットＡ２は、第２のロボッ
トリンク機構Ｂ２の第２および第３のアーム５６ｂ，５
６ｃが直径方向に一直線状になったときに待機状態とな
るようになっている。この待機状態の両ハンド８ａ，８
ｂが旋回方向にずれており、（図１８参照）がワーク搬
送ロボットＡ２の待機状態となり、この待機状態から、
各リング状ボスの互いの逆方向への回転によって各ハン
ド８ａ，８ｂがリング状ボスの半径方向に出没作動さ
れ、また、この待機状態でワーク搬送ロボットＡ２が旋
回されるようになっている。また、脚柱５６ｅの位置
は、両ハンド８ａ，８ｂのずれ角の中間２等分線Ｍ上
で、かつハンド８ａ，８ｂから離れる方向にリング上ボ
スの軸中心からずれた位置となっている。

【００１５】このワーク搬送ロボットＡ２において、第
１および第２のロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２の各リン
ク５７ａ〜５７ｄは、各ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２
の出没動作時に、トランスファチャンバ１のゲート６や
第い２のリング状ボス５０ｂの頂面に設けた脚柱５６ｅ
に干渉しないように水平方向に湾曲されている。すなわ
ち、各ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２のそれぞれの一対
のリンク５７ａ，５７ｄおよび５７ｂ，５７ｃのアーム
との連結部に近い部分が、互いに近づく方向に湾曲して
おり、ハンドとの連結部に近い部分が、互いに遠ざかる
方向に湾曲されている。

【００１６】なお、図１９は、第２のリンク機構Ｂ２の
ハンド８ｂをゲート６を介してプロセスチャンバ内に挿
入させた状態を示している。

【００１７】ところが、このワーク搬送ロボットＡ２を
用いてハンド８ａ，８ｂ上に載置されたワークの位置ず
れを検出する場合、ハンド８ａ，８ｂに載置されたワー
クとアーム５６ａ，５６ｂおよびリンク５７ａ，５７ｂ
との間隔が非常に狭く、近接した状態で旋回動作が行わ
れるため、センサ群ＳＳがワークを検出しているのか、
ワーク以外のアームあるいはリンクを検出しているのか
を判断しておらず、ワーク以外の物体、例えば近接する
アームあるいはリンクを検出している場合には、実際に
は、ワークのハンドに対する位置ずれがほとんどない場
合であっても、ワークがハンドに対して大きな位置ずれ
が生じていると認識され、この場合には、ハンドの搬送
経路が大きく不正に補正され、ワークがゲートに衝突
し、ワークを破損し、さらにはそのパーティクルによっ
て処理中のワークにも影響を及ぼしてしまうという問題
点があった。

【００１８】また、センサ群ＳＳは、プロセスチャンバ
２ａ，２ｂ間のトランスファチャンバ１内に設けられる
が、特開平６−２２４２８４号公報に記載されるよう
に、同様にして隣接する各プロセスチャンバ２ａ〜２
ｅ，受け渡しチャンバ３間にも同様なセンサ群ＳＳがト
ランスファチャンバ１内に複数設けられ、ワーク搬送時
にワークの位置検出を行う。このような複数のセンサ群
ＳＳ単位に位置ずれを検出するようにしたのは、複数の
センサ群ＳＳ内の各センサ全てについて独立して検出す
るとセンサの入出力ポート数がかなり多くなるからであ
るとともに、搬送経路が固定であるためにセンサ群ＳＳ
内の各センサがワークを検出する順序が決まっているか
らである。

【００１９】従って、ワーク搬送ロボットが、複数の搬
送経路のうちの選択された一つの搬送経路を描いてセン
サ群ＳＳを通過してワークを搬送する場合や、任意の搬
送経路を描いてセンサ群ＳＳを通過してワークを搬送す
る場合には、センサ群ＳＳ内の各センサの検出順序が異
なる場合があり、センサ群ＳＳ内のどのセンサが検出し
た信号なのかを認識することができず、入出力ポート数
を少なくできるセンサ群ＳＳをそのまま用いることがで
きないという問題点があった。

【００２０】一方、たとえワークのハンドに対する位置
検出を行うことができたとしても、センサがセンサのオ
ン／オフのチャタリング防止のためにヒステリシス特性
を有する場合には、ワーク端面のセンサに対する進入方
向によってワーク検出位置が異なるため、ワークの位置
検出を精度高く行うことができない場合が生ずる。

【００２１】そこで、本発明は、かかる問題点を除去
し、ハンド上に載置されたワークとワーク以外の物体と
が近接した状態で搬送される場合であっても、ワークの
ハンドに対する位置ずれを確実に検出することができる
位置検出装置およびその方法を提供することを目的とす
る。

【００２２】また、本発明は、ヒステリシス特性を有す
るセンサを用いてワークのハンドに対する位置ずれを検
出する場合でも精度高く位置ずれを検出することができ
る位置検出装置を提供することを目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段および効果】請求項１の発
明に係る位置検出装置は、複数の搬送経路パターンを有
し、この複数の搬送経路パターンのうちのいずれかの搬
送経路パターンに従って搬送されるワーク搬送ロボット
のハンド上に載置されたワークの該ハンドに対する位置
を検出する位置検出装置において、前記複数の搬送経路
パターンに共通の搬送経路位置に設けられ、前記ハンド
上に載置されたワークを複数点で検出する複数の検出セ
ンサと、現在使用中の搬送経路パターンに対応して前記
複数の検出センサによる前記複数点の検出順序を決定す
る決定手段と、前記複数の検出センサから順次読み取ら
れる検出情報を前記決定手段によって決定された検出順
序で読み取られた前記複数点の検出情報として認識し、
該検出情報をもとに前記ハンドに対する前記ワークの位
置を算出する算出手段とを備えたことを特徴とする。

【００２４】請求項１の発明によれば、予め複数の搬送
経路パターンを有し、ワーク搬送ロボットのハンド上に
載置されたワークは、この複数の搬送経路パターンのう
ちの１つの搬送経路パターンに沿って搬送される。複数
の検出センサは、複数の搬送経路パターンに共通の搬送
経路位置に設けられ、ワークがこの搬送経路位置を横切
ったときの複数点を検出し、決定手段は、現在設定され
ている搬送経路パターンに対応した複数点の検出順序を
決定しており、算出手段は、複数の検出センサから順次
読み取られる検出情報を決定手段によって決定された検
出順序で読み取られた複数点の検出情報として認識し、
この検出情報をもとにハンドに対するワークの位置を算
出するようにしているので、複数の搬送経路によってワ
ークを搬送させる場合にも、最小限の検出センサで簡易
かつ効率的にワークの位置を検出することができ、特に
ハンドに対するワークの位置を検出することによってワ
ークの位置ずれを確実に検出し、もってこのワークの位
置ずれに対応したハンドの移動制御を適正に行うことが
できる。

【００２５】請求項２の発明に係る位置検出装置は、ワ
ーク搬送ロボットのハンド上に載置されたワークの搬送
経路上の所定位置に設けられた複数の検出センサを用い
て該ハンドに対するワークの位置ずれを検出する位置検
出装置において、前記ハンドに対して前記ワークが位置
ずれなく載置された場合に前記複数の検出センサによっ
て検出される該ワークの基準位置に対する前記ワークの
許容位置ずれ量を予め設定する設定手段と、前記複数の
検出センサのいずれかが検出動作をした場合に前記ワー
クの基準位置と前記複数の検出センサの各検出位置との
差を求め、この差の最小値を算出する算出手段と、前記
算出手段が算出した最小値が前記ワークの許容位置ずれ
量に比べて大きい場合、前記複数の検出センサは前記ワ
ーク以外の物体を検出したと判断する判断手段とを備え
たことを特徴とする。

【００２６】請求項２の発明によれば、ハンド上に載置
されたワークは、任意の搬送経路上に沿って搬送され、
この任意の搬送経路上の所定位置に設けられた複数の検
出センサによって、搬送途中にハンドに対するワークの
位置ずれを検出する際、設定手段は、ハンドに対してワ
ークが位置ずれなく載置された場合に複数の検出センサ
によって検出される該ワークの基準位置に対するワーク
の許容位置ずれ量を設定しておき、算出手段は、複数の
検出センサのいずれかが検出動作をした場合にワークの
基準位置と複数のセンサの各検出位置との差を求め、こ
の差の最小値を算出し、判断手段は、この算出手段が算
出した最小値がワークの許容位置ずれ量に比べて大きい
場合、複数の検出センサは前記ワーク以外の物体を検出
したと判断するようにしているので、ハンド上に載置さ
れたワークの搬送過程で、該ワークに近接する物体、例
えばハンドの駆動を支持制御するアームが存在する場
合、複数の検出センサがワークを検出したのかワークに
近接する物体を検出したのかを確実に峻別することがで
き、ワークの位置ずれの検出を誤らず、確実かつ精度の
高いワークの位置ずれ検出を行うことができ、もってこ
のワークの位置ずれに対応したハンドの移動制御を適正
に行うことができる。

【００２７】請求項３の発明に係る位置検出装置は、物
体の検出を示すオン動作と物体の非検出を示すオフ動作
とに対して所定のヒステリシス特性をもたせた検出セン
サを有し、この検出センサによって検出される該物体の
検出位置を補正する位置検出装置において、検出時の物
体の移動方向とこの移動方向に対する物体の検出エッジ
角度とに基づいて前記物体の移動方向に対する補正ヒス
テリシス移動量を算出する算出手段と、前記検出センサ
のオン／オフ動作に対応して前記物体の検出位置の移動
方向成分に前記補正ヒステリシス移動量を増減させる位
置補正手段とを備えたことを特徴とする。

【００２８】請求項３の発明によれば、算出手段は、物
体の検出を示すオン動作と物体の非検出を示すオフ動作
とに対して所定のヒステリシス特性をもたせた検出セン
サによる物体の検出時の移動方向とこの移動方向に対す
る物体の検出エッジ角度とに基づいて物体の移動方向に
対する補正ヒステリシス移動量を算出し、位置補正手段
は、検出センサのオン／オフ動作に対応して物体の検出
位置の移動方向成分に補正ヒステリシス移動量を増減さ
せるようにしている。この補正ヒステリシス移動量は、
例えばオン動作とオフ動作との間での物体のヒステリシ
ス移動量の半分の移動量であり、位置補正手段は、検出
センサがオン動作を行う場合には、物体の検出位置から
移動方向とは逆方向にこの半分の移動量を減算し、検出
センサがオフ動作を行う場合には、物体の検出位置から
移動方向とは逆方向にこの半分の移動量を減算するよう
にしている。このため、物体の検出エッジ角度の変化に
伴う物体の検出位置のゆがみがなくなり、物体の位置を
精度よく検出することができ、物体がハンド上に載置さ
れたワークである場合には、ハンドに対するワークの位
置ずれを一層精度よく検出することができる。

【００２９】請求項４の発明に係る位置検出装置は、複
数の搬送経路パターンを有し、この複数の搬送経路パタ
ーンのうちのいずれかの搬送経路パターンに従って搬送
されるワーク搬送ロボットのハンド上に載置されたワー
クの該ハンドに対する位置を検出する位置検出装置にお
いて、前記複数の搬送経路パターンに共通の搬送経路位
置に設けられ、前記ワークの検出を示すオン動作と前記
ワークの非検出を示すオフ動作とに対して所定のヒステ
リシス特性をそれぞれ有して前記ワークを複数点で検出
する複数の検出センサと、前記複数の検出センサによる
検出時に、ワークの搬送方向とこの搬送方向に対するワ
ークの検出エッジ角度とに基づいて前記ワークの搬送方
向に対する補正ヒステリシス移動量を算出する補正量算
出手段と、前記検出センサのオン／オフ動作に対応して
前記ワークの検出位置の搬送方向成分に前記補正ヒステ
リシス移動量を増減させる位置補正手段と、前記ハンド
に対して前記ワークが位置ずれなく載置された場合に前
記複数の検出センサによって検出される該ワークの基準
位置に対する前記ワークの許容位置ずれ量を予め設定す
る設定手段と、前記複数の検出センサのいずれかが検出
動作をした場合に前記ワークの基準位置と前記複数の検
出センサの各検出位置との差を求め、この差の最小値を
算出する最小値算出手段と、前記最小値算出手段が算出
した最小値が前記ワークの許容位置ずれ量に比べて大き
い場合、前記複数の検出センサは前記ワーク以外の物体
を検出したと判断する判断手段と、前記判断手段によっ
てワークの検出であると判断された前記複数の検出セン
サからの検出情報をもとに前記ハンドに対する前記ワー
クの位置ずれ量を求める位置ずれ量算出手段とを備えた
ことを特徴とする。

【００３０】請求項４の発明によれば、複数の検出セン
サは、複数の搬送経路パターンに共通の搬送経路位置に
設けられ、ワークの検出を示すオン動作とワークの非検
出を示すオフ動作とに対して所定のヒステリシス特性を
それぞれ有して前記ワークを複数点で検出する。この
際、補正量算出手段は、前記複数の検出センサによる検
出時に、ワークの搬送方向とこの搬送方向に対するワー
クの検出エッジ角度とに基づいて前記ワークの搬送方向
に対する補正ヒステリシス移動量を算出し、位置補正手
段は、前記検出センサのオン／オフ動作に対応して前記
ワークの検出位置の搬送方向成分に前記補正ヒステリシ
ス移動量を増減させる検出位置補正を行う。一方、設定
手段によって、前記ハンドに対して前記ワークが位置ず
れなく載置された場合に前記複数の検出センサによって
検出される該ワークの基準位置に対する前記ワークの許
容位置ずれ量を予め設定され、最小値算出手段は、前記
複数の検出センサのいずれかが検出動作をした場合に前
記ワークの基準位置と前記複数の検出センサの各検出位
置との差を求め、この差の最小値を算出し、判断手段
は、この最小値が前記ワークの許容位置ずれ量に比べて
大きい場合、前記複数の検出センサは前記ワーク以外の
物体を検出したと判断し、最小値が前記ワークの許容位
置ずれ量に比べて大きくない場合、前記複数のセンサは
前記ワークを検出したと判断する。位置ずれ量算出手段
は、前記判断手段によってワークの検出であると判断さ
れた検出情報をもとに前記ハンドに対する前記ワークの
位置ずれ量を求めるようにしている。

【００３１】これにより、物体の検出エッジ角度の変化
に伴う物体の検出位置のゆがみがなくなり、物体の位置
を精度よく検出することができるという検出センサの検
出精度自体を向上させることができ、また、ワークの検
出かワーク以外の物体の検出かを判断しているので、ハ
ンド上に載置されたワークの搬送過程で、該ワークに近
接する物体、例えばハンドの駆動を支持制御するアーム
が存在する場合、複数の検出センサがワークを検出した
のかワークに近接する物体を検出したのかを確実に峻別
することができ、ワークの位置ずれの検出を誤らず、確
実かつ精度の高いワークの位置ずれ検出を行うことがで
き、もってこのワークの位置ずれ量に対応したハンドの
移動制御を適正に行うことができる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。

【００３３】図１は、本発明の第１の実施の形態である
位置検出装置を含む半導体製造装置の概要構成を示す図
である。

【００３４】図１においてワーク搬送ロボットＡ２は図
１７〜図２０で示したものであり、トランスファチャン
バ１の中心に位置され、ワーク搬送ロボットＡ２は、そ
れぞれ対応する加工処理を施すプロセスチャンバ２ａ〜
２ｅに対して円形盤状のウェハであるワークＷ１，Ｗ２
をゲート６を介して出し入れする搬送動作を行う。

【００３５】ワーク搬送ロボットＡ２のハンド８ａ，８
ｂ上に載置されたワークＷ１，Ｗ２のハンド８ａ，８ｂ
に対する位置ずれを検出するため、トランスファチャン
バ１には、複数のセンサ群ＳＳ１，ＳＳ２が設けられて
いる。このセンサ群は、ワーク搬送ロボットＡ２がトラ
ンスファチャンバ１内でワークを搬送する搬送経路に沿
って配置され、例えば図１に示すようにハンド８ａ，８
ｂが待機状態のまま、旋回動作をする際、ワークＷ１，
Ｗ２がセンサ群ＳＳ１，ＳＳ２を横切るように、それぞ
れ軸４１に対して放射状に配置される。なお、図１で
は、センサ群ＳＳ１，ＳＳ２のみを示したが、このセン
サ群ＳＳ１，ＳＳ２と同様なセンサ群が各隣接するプロ
セスチャンバ間に設けられる。

【００３６】検出部１１は、センサ群ＳＳ１，ＳＳ２を
構成する各センサの検出信号を検出し、その検出結果を
ワーク検出判定部１２に送出する。センサ群ＳＳ１，Ｓ
Ｓ２を構成する各センサは、例えばレーザ光を送出する
送信部と送信部からのレーザ光を受信する受信部とから
なり、この一対の送信部と受信部との間のレーザ光をワ
ークが遮った場合にオンとなり、ワークが遮らない場合
にはオフの状態を呈するオン／オフセンサである。もち
ろん、ワークの端面を検出できるものであれば、その他
のセンサを用いてもよい。

【００３７】ワーク検出判定部１２は、許容位置ずれ量
設定部１３を有する。許容位置ずれ量設定部１３には、
センサがワークを検出したのかワーク以外の物体を検出
したのかの判断に用いる後述する許容位置ずれ量が予め
設定されている。この許容位置ずれ量は、ワーク搬送ロ
ボットの構成形態、例えばアーム等の位置とワークの位
置とによって決定される量である。ワーク検出判定部１
２は、現在のハンド８ａ，８ｂの位置情報をもとに、セ
ンサ群ＳＳ１，ＳＳ２内のどのセンサからの検出信号な
のかを判定するとともに、このセンサがワークを検出し
たのかワーク以外の物体を検出したのかの判定を行い、
この判定結果に基づいてワークを検出した場合の検出情
報のみを位置ずれ算出部１４に送出する。このワーク検
出判定部１２の処理については後述する。

【００３８】位置ずれ算出部１４は、ワーク検出判定部
１２から送られた検出情報をもとにワークの中心位置を
求める。このワークの中心位置は、ワークが円形である
と仮定すれば、少なくともワークの端面の３点が求まれ
ばワークの円中心が求まる。例えば、このワークの円中
心は、３つの検出点が存在すれば、２つの検出点を結ん
だ直線が少なくとも２つ得ることができ、これら２つの
直線の垂直２等分線上の交点位置を求めることによっ
て、円中心を求めることができる。センサ群は３つのセ
ンサを有し、検出部１１は、１つのワークがセンサ群を
横切り始めた時点と横切り過ぎた時点との計６点を求
め、この６点からワークの中心位置の平均を算出するよ
うにしている。位置ずれ算出部１４は、ワークＷ１，Ｗ
２がハンド８ａ，８ｂに位置ずれなく正常に載置された
場合のワークＷ１，Ｗ２の中心位置に対応するハンド８
ａ，８ｂの中心位置を把握しており、このハンド８ａ，
８ｂの中心位置と、算出されたワークＷ１，Ｗ２の中心
位置との距離を位置ずれ量として算出し、この算出結果
をハンド位置補正部１５に送出する。

【００３９】ハンド位置補正部１５は、この算出結果を
もとにハンド位置の補正量を算出し、この補正量をコン
トローラＣに送出する。

【００４０】コントローラＣは、ワーク搬送ロボットＡ
２の駆動制御を行う。この際、コントローラＣは、ハン
ド位置補正部１５から送出された補正量をもとに、ワー
クの中心位置がハンドの中心位置となるような補正を行
ってワーク搬送ロボットＡ２を駆動制御する。これによ
り、ハンド上に載置されたワークが位置ずれを生じたと
しても、ワーク自体は正規の搬送経路に搬送され、ゲー
ト６に衝突することもなく、ワークをプロセスチャンバ
２ａ〜２ｅに搬送することができる。また、上述したよ
うに、コントローラＣは、ワーク検出判定部１２に現在
のハンド８ａ，８ｂの位置情報を送出する。

【００４１】次に、図２のフローチャートを参照してワ
ークの位置ずれを検出するワーク位置ずれ検出処理につ
いて説明する。

【００４２】まず、ワーク検出判定部１２は、コントロ
ーラＣから送られるハンド８ａ，８ｂの位置情報をもと
にセンサ群内のどのセンサが検出したのかの判定し、さ
らにこの判定されたセンサがワークを検出したか否かの
判定を行うワーク検出判定処理を行う（ステップ１０
１）。その後、位置ずれ算出部１４は、ワーク検出判定
部１２から送出された検出情報をもとに、ハンドに対す
るワークの中心位置を算出し（ステップ１０２）、さら
にワークが位置ずれなくハンドに載置された状態のワー
クの基準中心位置から、算出されたワークの中心位置ま
での位置ずれ情報を算出する（ステップ１０３）。その
後、ハンド位置補正部１５は、算出された位置ずれ情報
をもとにハンド位置の補正情報を算出し（ステップ１０
４）、本処理を終了する。

【００４３】次に、図３のフローチャートおよび図４を
参照して、ステップ１０１におけるワーク検出判定処理
の処理手順を詳細に説明する。

【００４４】図３において、ワーク検出判定部１２は、
まず検出部１１から検出出力があったか否かを判断する
（ステップ２０１）。この検出出力があったか否かは、
センサがオン状態からオフ状態、あるいはオフ状態から
オン状態に変化したか否かを判断することである。

【００４５】検出出力があった場合（ステップ２０１，
ＹＥＳ）、図４に示すように、ハンド８ｂの基準中心位
置Ｐ１からセンサＳ１までの距離Ｌ１とワークＷ２の半
径Ｒとの差の絶対値ΔＬ１、ハンド８ｂの基準中心位置
Ｐ１からセンサＳ２までの距離Ｌ２とワークＷ２の半径
Ｒとの差の絶対値ΔＬ２、およびハンド８ｂの基準中心
位置Ｐ１からセンサＳ３までの距離Ｌ３との差の絶対値
ΔＬ３を求める（ステップ２０２）。センサＳ１〜Ｓ３
の位置は予め分かっており、またハンド８ｂの基準中心
位置Ｐ１は、コントローラＣによって知ることができ
る。

【００４６】その後、絶対値ΔＬ１〜ΔＬ３のうちの最
小値を求める（ステップ２０３）。そして、ワーク検出
判定部１２は、ワークのエッジを検出したセンサの候補
を、ステップ２０３で求めた最小値を有するセンサとし
て決定する（ステップ２０４）。

【００４７】その後、ステップ２０３で求めた最小値が
許容位置ずれ量設定部１３によって設定された許容位置
ずれ量より小さいか否かを判断する（ステップ２０
５）。この許容位置ずれ量とは、もともとワークの位置
ずれ量は小さいものであることを考慮し、ワークが極端
に位置ずれを生じてアーム５６ａに接近するとは考えら
れない位置ＷＷの距離量βを言う。

【００４８】ステップ２０５において、最小値が許容位
置ずれ量より小さいと判断した場合（ステップ２０５，
ＹＥＳ）には、ステップ２０４で決定した候補のセンサ
を、ワークのエッジを検出したものと決定し（ステップ
２０６）、この決定されたセンサの検出情報を位置ずれ
算出部１４に出力する（ステップ２０７）。すなわち、
センサがワークを検出したものとして判断し、その検出
したセンサを示す番号等の情報とオンまたはオフとなっ
た情報とからなる検出情報を位置ずれ算出部１４に出力
する。

【００４９】一方、ステップ２０５において、最小値が
許容位置ずれ量より小さくないと判断した場合（ステッ
プ２０５，ＮＯ）には、候補のセンサは、ワーク以外の
エッジを検出したもの、例えばアーム５６ａを検出した
ものとして決定し、センサが検出した情報を位置ずれ算
出部１４には送出しない（ステップ２０８）。

【００５０】このワーク検出判定処理によれば、各セン
サＳ１〜Ｓ３のうちのどのセンサが検出したか、および
ワークのエッジを検出したか否かを判断することがで
き、ワーク８ｂに近接するアーム５６ａ等が存在する場
合でも、許容位置ずれ量を適切に設定することにより、
確実にワークのエッジを検出することができる。

【００５１】ところで、上述した第１の実施の形態で
は、ワークＷ１，Ｗ２がセンサ群ＳＳ１，ＳＳ２を横切
るような位置にセンサ群ＳＳ１，ＳＳ２を配置するよう
にし、このセンサ群ＳＳ１，ＳＳ２を横切るような任意
の搬送経路によってワークを搬送しても上述した位置検
出処理を行うことができる。しかし、実際のワーク搬送
処理に当たっては、予め設定された搬送経路を描いてワ
ークを搬送させるのが一般的である。例えば、図５
（ａ）に示すように、最初ハンドのみを縮める動作を行
って待機状態にし、その後軸４１のみを旋回動作させる
搬送制御を行う。一方、図５（ｂ）に示すように、搬送
時間を短縮させるため、ワークがゲートを出たときか
ら、最短搬送距離を描いて搬送させる、いわゆるショー
トパスを行わせる場合がある。このショートパスは、ワ
ークを伸縮させると同時に軸４１をも旋回制御させるこ
とになる。このような搬送制御は、コントローラＣによ
って選択可能であり、予め決定しておくことができる。

【００５２】この場合、配置されたセンサＳ１〜Ｓ３に
よるワーク検出の順序は、搬送経路によって予め決定さ
れることになる。例えば、図５（ａ）に示す搬送経路を
描く場合には、センサＳ２→Ｓ１→Ｓ３→Ｓ３→Ｓ１→
Ｓ２の順序でそれぞれワークのエッジを検出することに
なり、図５（ｂ）に示す搬送経路を描く場合には、セン
サＳ２→Ｓ３→Ｓ１→Ｓ３→Ｓ１→Ｓ２の順序でそれぞ
れワークのエッジを検出することになる。

【００５３】そこで、図６に示す第２の実施の形態で
は、この予め決定された搬送経路を選択する搬送経路パ
ターン決定部１６を設け、この搬送経路パターン決定部
１６によって決定された搬送経路、例えば図５（ａ）ま
たは図５（ｂ）に示すような搬送経路をもとにワークの
位置を検出するようにしている。搬送経路パターン決定
部１６は、決定された搬送経路の情報をコントローラＣ
に送出するとともに、決定された搬送経路に対応するセ
ンサ群内の各センサの検出順序をワーク検出判定部１２
に送出する。また、その他の構成については図１に示す
構成と同様である。

【００５４】次に、この第２の実施の形態による位置検
出動作について図７のフローチャートを参照して説明す
る。

【００５５】図７において、コントローラＣは、搬送経
路パターン決定部１６によって決定された搬送経路を取
得し（ステップ３０１）、その決定された搬送経路に従
って、ワーク搬送ロボットＡ２を駆動制御する。一方、
搬送経路パターン決定部１６は、決定された搬送経路に
対応するセンサ群内の各センサの検出順序を設定し（ス
テップ３０２）、この検出順序をワーク検出判定部１２
に送出する。

【００５６】その後、ワーク検出判定部１２は、搬送経
路パターン決定部１６から送出された検出順序をもと
に、検出部１１から送られる検出信号が、センサ群内の
どのセンサによってワークのエッジを検出したものであ
るかを判定する（ステップ３０３）。この場合、搬送経
路は予め決定されているので、センサによって検出され
た対象がワークであるかワーク以外の物体であるか否か
は必要なく、コントローラＣから送出されるハンドの位
置情報をもとに直ちにワークのエッジ位置を検出したの
としている。この判定された各センサの検出情報とハン
ドの位置情報とは位置ずれ算出部１４に送出される。

【００５７】その後、位置ずれ算出部１４は、ワーク検
出判定部１２から送出された各センサの検出情報をもと
に、ハンドに対するワークの中心位置を算出し（ステッ
プ３０４）、さらにハンドの位置情報をもとに求められ
る、ワークが位置ずれなくハンドに載置された状態のワ
ークの基準中心位置から、ステップ３０４で算出された
ワークの中心位置までの位置ずれ情報を算出する（ステ
ップ３０５）。その後、ハンド位置補正部１５は、算出
された位置ずれ情報をもとにハンド位置の補正情報を算
出し（ステップ３０６）、本処理を終了する。

【００５８】この第２の実施の形態によれば、第１の実
施の形態に対する位置検出処理よりも簡単な処理によっ
て位置ずれを検出することができる。

【００５９】次に、第３の実施の形態に対応する位置検
出装置について説明する。この第３の実施の形態では、
第１の実施の形態の構成にさらにヒステリシス移動量補
正部１７をワーク検出判定部１２と位置ずれ算出部１４
との間に設け、このヒステリシス移動量補正部１７によ
って、センサのヒステリシス特性に基づく検出誤差を補
正するようにしている。その他の構成は第１の実施の形
態と同様である。

【００６０】このヒステリシス特性は、図９に示すよう
にセンサＳの検出領域にワークＷが進入あるいは退出し
てセンサＳがオン／オフする場合にオン／オフする位置
を異ならせるようにし、これにより、ワークＷがオン／
オフするきわどい位置に存在する場合におけるチャタリ
ング等を防止している。

【００６１】ところが、図１０に示すように、ウェハ等
のワークがセンサＳの検出領域に進入あるいは退出する
場合に、センサＳに対するワークのエッジ角度が異なる
ことにより、ワークのエッジの検出位置が各センサによ
って異なる場合が生じる。すなわち、図１０（ａ）に示
すように、センサＳに対するワークのエッジ角度が垂直
に進入／退出する場合には、距離ΔＬのヒステリシス移
動量を呈するが、図１０（ｂ）に示すように、センサＳ
に対するワークのエッジ角度が斜めに進入／退出する場
合には、距離ΔＬに比べて大きな移動量の距離ΔＬＬと
なる。従って、センサＳ１〜Ｓ３のようにセンサが横に
並べられて円板状のワークがこれらのセンサＳ１〜Ｓ３
を横切る場合には、各センサの検出位置がヒステリシス
移動量に対応して誤差が生じることになる。

【００６２】そこで、ヒステリシス移動量補正部１７
は、このヒステリシス移動量の補正を行うが、この補正
処理について図１１を参照して説明する。

【００６３】図１１において、まず搬送されるワークの
エッジがセンサに対して垂直な場合のヒステリシス移動
量をｄ（図１０の距離ΔＬに相当）とする。また、基準
中心位置Ｐ１を零点としたハンド座標系において、搬送
されるワークの進行方向角度をθｖとする。さらに、ハ
ンド座標系において、センサを横切るワークのエッジ位
置の方向角度をθｐとする。

【００６４】ワークが搬送されてワークのエッジがセン
サをオン／オフするヒステリシス移動量をΔとすると、
このヒステリシス移動量Δはハンド座標系において、 Δ＝ｄ／｜cos（θｖ−θｐ）｜ となり、ハンド座標系におけるヒステリシス移動量Δの
ｘ成分Δｘとｙ成分Δｙとはそれぞれ、 Δｘ＝Δcosθｖ Δｙ＝Δsinθｖ となる。

【００６５】そこで、ワークのエッジ位置の進入／退出
角度にかかわらず同じ位置で検出されたものとするた
め、 Δｘ’＝Δｘ／２ Δｙ’＝Δｙ／２ とする補正を行う。これにより、ワークのエッジ位置の
進入／退出角度にかかわらず、各センサは同一の位置、
すなわち破線ＬＡ上でワークのエッジを検出することが
でき、このため、ワークのエッジ位置の検出精度を格段
に向上させることができる。

【００６６】このようなヒステリシス移動量の補正処理
を行うヒステリシス移動量補正部１７がワーク検出判定
部１２と位置ずれ算出部１４との間に設けられることに
より、さらに検出精度の高い位置検出装置が実現され
る。

【００６７】すなわち、ヒステリシス移動量補正部１７
は、ハンドの位置情報をもとにして、ハンドの現在位置
と移動方向とを求め、さらにヒステリシス移動量を求
め、検出情報の補正を行うようにしている。

【００６８】同様にして、図１２に示す第４の実施の形
態では、第２の実施の形態にヒステリシス移動量補正部
１７をワーク検出判定部１２と位置ずれ算出部１４との
間に設けた構成としており、第３の実施の形態と同様な
作用効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態である位置検出装置
を含む半導体製造装置の概要構成を示す図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態による位置検出処理
手順を示すフローチャートである。

【図３】図２のステップ１０１におけるワーク検出判定
処理手順を示す詳細フローチャートである。

【図４】ワーク検出判定処理に伴う具体的状態を示す説
明図である。

【図５】搬送経路パターンの具体例を示す図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態である位置検出装置
を含む半導体製造装置の概要構成を示す図である。

【図７】本発明の第２の実施の形態による位置検出処理
手順を示すフローチャートである。

【図８】本発明の第３の実施の形態による位置検出装置
を含む半導体製造装置の概要構成を示す図である。

【図９】センサのヒステリシス特性を示す説明図であ
る。

【図１０】ワークのエッジの進入角度による変化するヒ
ステリシス移動量の具体例を示す図である。

【図１１】ヒステリシス移動量の補正処理を説明する説
明図である。

【図１２】本発明の第４の実施の形態による位置検出装
置を含む半導体製造装置の概要構成を示す図である。

【図１３】従来の半導体製造装置の概要構成を示す図で
ある。

【図１４】ワーク搬送ロボットと半導体製造装置との位
置関係を示す分解斜視図である。

【図１５】従来のワーク搬送ロボットの搬送動作の一例
を示す説明図である。

【図１６】従来のワーク搬送ロボットの搬送動作の一例
を示す説明図である。

【図１７】本発明に用いられるワーク搬送ロボットの正
面図である。

【図１８】本発明に用いられるワーク搬送ロボットの平
面図である。

【図１９】本発明に用いられるワーク搬送ロボットの出
没動作状態を示す斜視図である。

【図２０】本発明に用いられるワーク搬送ロボットとハ
ンド上に載置されたワークとの位置関係を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

１…トランスファチャンバ ２ａ〜２ｅ…プロセスチャ
ンバ ３…受け渡しチャンバ ６…ゲート ８ａ,８ｂ…ハン
ド １１…検出部 １２…ワーク検出判定部 １３…許容位置ずれ設定部 １４…位置ずれ算出部 １５…ハンド位置補正部 １６…搬送経路パターン決定部 １７…ヒステリシス移
動量補正部 ５６ａ…アーム Ｓ１〜Ｓ３…センサ Ａ２…ワーク搬
送ロボット Ｗ１，Ｗ２…ワーク

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の搬送経路パターンを有し、この複
   数の搬送経路パターンのうちのいずれかの搬送経路パタ
   ーンに従って搬送されるワーク搬送ロボットのハンド上
   に載置されたワークの該ハンドに対する位置を検出する
   位置検出装置において、 前記複数の搬送経路パターンに共通の搬送経路位置に設
   けられ、前記ハンド上に載置されたワークを複数点で検
   出する複数の検出センサと、 現在使用中の搬送経路パターンに対応して前記複数の検
   出センサによる前記複数点の検出順序を決定する決定手
   段と、 前記複数の検出センサから順次読み取られる検出情報を
   前記決定手段によって決定された検出順序で読み取られ
   た前記複数点の検出情報として認識し、該検出情報をも
   とに前記ハンドに対する前記ワークの位置を算出する算
   出手段とを備えたことを特徴とする位置検出装置。
2. 【請求項２】 ワーク搬送ロボットのハンド上に載置さ
   れたワークの搬送経路上の所定位置に設けられた複数の
   検出センサを用いて該ハンドに対するワークの位置ずれ
   を検出する位置検出装置において、 前記ハンドに対して前記ワークが位置ずれなく載置され
   た場合に前記複数の検出センサによって検出される該ワ
   ークの基準位置に対する前記ワークの許容位置ずれ量を
   予め設定する設定手段と、 前記複数の検出センサのいずれかが検出動作をした場合
   に前記ワークの基準位置と前記複数の検出センサの各検
   出位置との差を求め、この差の最小値を算出する算出手
   段と、 前記算出手段が算出した最小値が前記ワークの許容位置
   ずれ量に比べて大きい場合、前記複数の検出センサは前
   記ワーク以外の物体を検出したと判断する判断手段とを
   備えたことを特徴とする位置検出装置。
3. 【請求項３】 物体の検出を示すオン動作と物体の非検
   出を示すオフ動作とに対して所定のヒステリシス特性を
   もたせた検出センサを有し、この検出センサによって検
   出される該物体の検出位置を補正する位置検出装置にお
   いて、 検出時の物体の移動方向とこの移動方向に対する物体の
   検出エッジ角度とに基づいて前記物体の移動方向に対す
   る補正ヒステリシス移動量を算出する算出手段と、 前記検出センサのオン／オフ動作に対応して前記物体の
   検出位置の移動方向成分に前記補正ヒステリシス移動量
   を増減させる位置補正手段とを備えたことを特徴とする
   位置検出装置。
4. 【請求項４】 複数の搬送経路パターンを有し、この複
   数の搬送経路パターンのうちのいずれかの搬送経路パタ
   ーンに従って搬送されるワーク搬送ロボットのハンド上
   に載置されたワークの該ハンドに対する位置を検出する
   位置検出装置において、 前記複数の搬送経路パターンに共通の搬送経路位置に設
   けられ、前記ワークの検出を示すオン動作と前記ワーク
   の非検出を示すオフ動作とに対して所定のヒステリシス
   特性をそれぞれ有して前記ワークを複数点で検出する複
   数の検出センサと、 前記複数の検出センサによる検出時に、ワークの搬送方
   向とこの搬送方向に対するワークの検出エッジ角度とに
   基づいて前記ワークの搬送方向に対する補正ヒステリシ
   ス移動量を算出する補正量算出手段と、 前記検出センサのオン／オフ動作に対応して前記ワーク
   の検出位置の搬送方向成分に前記補正ヒステリシス移動
   量を増減させる位置補正手段と、 前記ハンドに対して前記ワークが位置ずれなく載置され
   た場合に前記複数の検出センサによって検出される該ワ
   ークの基準位置に対する前記ワークの許容位置ずれ量を
   予め設定する設定手段と、 前記複数の検出センサのいずれかが検出動作をした場合
   に前記ワークの基準位置と前記複数の検出センサの各検
   出位置との差を求め、この差の最小値を算出する最小値
   算出手段と、 前記最小値算出手段が算出した最小値が前記ワークの許
   容位置ずれ量に比べて大きい場合、前記複数の検出セン
   サは前記ワーク以外の物体を検出したと判断する判断手
   段と、 前記判断手段によってワークの検出であると判断された
   前記複数の検出センサからの検出情報をもとに前記ハン
   ドに対する前記ワークの位置ずれ量を求める位置ずれ量
   算出手段とを備えたことを特徴とする位置検出装置。