KR102030051B1 - 기판 이송 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 방법이 개시된다. 기판 이송 방법은 수납 용기에 적재된 기판을 픽업한 핸드가 상기 수납 용기 외측으로 후퇴하는 이송 구간에서, 상기 이송 구간은 상기 핸드가 메인 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 메인 이송 구간과, 상기 메인 속도보다 느린 댐핑 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 댐핑 이송 구간을 포함한다.

Description

기판 이송 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 이송 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 소자 제조에 제공되는 기판 처리 시스템은 로드 포트, 인덱스 로봇, 버퍼부, 메인 이송 로봇, 그리고 복수의 공정 유닛들을 포함한다. 로드 포트에는 카세트가 놓인다. 카세트와 버퍼부는 기판을 적재하는 수납 용기로 제공된다. 인덱스 로봇과 메인 이송 로봇은 기판을 이송하는 기판 이송 장치로 제공된다. 인덱스 로봇은 카세트와 버퍼부 간에 기판을 이송하고, 메인 이송 로봇은 버퍼부와 공정 유닛들 간에 기판을 이송한다.
기판 이송 장치는 수납 용기에 적재된 기판을 픽업하는 핸드를 가지며, 핸드는 기판을 픽업 후 수납 용기 외측으로 후퇴한다. 핸드는 도 1에 도시된 바와 같이 가속 구간(AS), 등속 구간(CS), 그리고 감속 구간(RS)을 순차적으로 거치면서 후퇴 및 정지한다. 이러한 핸드 속도 제어는 전체 이송 구간에서 가속 구간(AS)과 감속 구간(RS)을 상대적으로 길게 형성한다. 이로 인하여 핸드에 형성된 가이드와 기판이 큰 힘으로 충돌되어 기판이 손상될 수 있다.
한국등록특허 제10-0978127호
본 발명은 이송되는 기판의 손상을 예방할 수 있는 기판 이송 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명은 기판 이송 방볍을 제공한다. 기판 이송 방법은 수납 용기에 적재된 기판을 픽업한 핸드가 상기 수납 용기 외측으로 후퇴하는 이송 구간에서, 상기 이송 구간은 상기 핸드가 메인 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 메인 이송 구간과, 상기 메인 속도보다 느린 댐핑 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 댐핑 이송 구간을 포함한다.
또한, 상기 댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 상기 메인 속도로 등속 이동하기 전, 제1댐핑 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 제1댐핑 이송 구간; 및 상기 핸드가 상기 메인 속도로 등속 이동 후, 제2댐핑 속도로 등속 이송하는 구간을 갖는 제2댐핑 이송 구간을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1댐핑 속도와 상기 제2대핑 속도는 크기가 동일할 수 있다.
또한, 상기 메인 이송 구간은, 상기 핸드가 가속되어 상기 메인 속도에 이르는 메인 가속 구간과, 상기 메인 속도로부터 감속되는 메인 감속 구간을 가지며, 상기 제1댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 상기 제1댐핑 속도로부터 감속되는 제1댐핑 감속 구간을 가지고, 상기 제2댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 가속되어 상기 제2댐핑 속도에 이르는 제2댐핑 가속 구간을 가지고, 상기 제1댐핑 감속 구간은 상기 메인 가속 구간과 연속적이고, 상기 제2댐핑 가속 구간은 상기 메인 감속 구간과 연속적일 수 있다.
또한, 상기 메인 이송 구간은, 상기 핸드가 가속되어 상기 메인 속도에 이르는 메인 가속 구간과, 상기 메인 속도로부터 감속되는 메인 감속 구간을 가지며, 상기 제1댐핑 이송 구간의 등속구간은 상기 메인 가속 구간과 연속적이며, 상기 제2댐핑 이송 구간의 등속구간은 상기 메인 감속 구간과 연속적일 수 있다.
또한, 본 발명은 기판 이송 장치를 제공한다. 기판 이송 장치는 수납용기에 적재된 기판을 픽업하고, 픽업된 기판을 이송하며, 기판을 픽업하며, 픽업된 기판이 놓이는 핸드; 기판을 픽업한 상기 핸드를 상기 수납 용기 외측으로 후퇴시키는 핸드 구동부; 및 상기 핸드가 상기 수납용기 외측으로 후퇴하는 이송 구간에 메인 이송 구간과 댐핑 이송 구간이 포함되도록 상기 핸드 구동부를 제어하는 제어부를 포함하되, 상기 메인 이송 구간은 상기 핸드가 메인 속도로 등속 이동하는 구간을 포함하고, 상기 댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 상기 메인 속도보다 느린 댐핑 속도로 등속 이동하는 구간을 포함한다.
또한, 상기 댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 상기 메인 속도로 등속 이동하기 전, 제1댐핑 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 제1댐핑 이송 구간; 및 상기 핸드가 상기 메인 속도로 등속 이동 후, 제2댐핑 속도로 등속 이송하는 구간을 갖는 제2댐핑 이송 구간을 포함할 수 있다.
또한, 상기 메인 이송 구간은, 상기 핸드가 가속되어 상기 메인 속도에 이르는 메인 가속 구간과, 상기 메인 속도로부터 감속되는 메인 감속 구간을 가지고, 상기 제1댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 상기 제1댐핑 속도로부터 감속되는 제1댐핑 감속 구간을 가지고, 상기 제2댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 가속되어 상기 제2댐핑 속도에 이르는 제2댐핑 가속 구간을 가지며, 상기 제1댐핑 감속 구간은 상기 메인 가속 구간과 연속적이고, 상기 제2댐핑 가속 구간은 상기 메인 감속 구간과 연속적일 수 있다.
또한, 상기 메인 이송 구간은, 상기 핸드가 가속되어 상기 메인 속도에 이르는 메인 가속 구간과, 상기 메인 속도로부터 감속되는 메인 감속 구간을 가지며, 상기 제1댐핑 이송 구간의 등속구간은 상기 메인 가속 구간과 연속적이며, 상기 제2댐핑 이송 구간의 등속구간은 상기 메인 감속 구간과 연속적일 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 이송 과정에서 기판과 가이드의 충격력이 감소되므로 기판의 손상이 예방될 수 있다.
도 1은 종래의 핸드 속도 제어를 나타내는 그래프이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 간략하게 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 핸드가 기판을 픽업하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 핸드 속도 제어를 나타내는 그래프이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 핸드 속도 제어를 나타내는 그래프이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 간략하게 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 기판 처리 시스템(1000)은 로드 포트(load fort, 10), 인덱스 모듈(indext module)(20), 그리고 공정 모듈(30)을 포함한다. 로드 포트(10), 인덱스 모듈(20), 그리고 공정 모듈(30)은 순차적으로 일 방향으로 일렬로 배치된다. 이하, 로드 포트(10), 인덱스 모듈(20), 그리고 공정 모듈(30)이 배치되는 방향을 제1방향(3)이라 칭하고, 상부에서 바라볼 때 제 1 방향(3)에 수직한 방향을 제2방향(4)이라 칭하고, 제1방향(3) 및 제2방향(4)과 각각 수직한 방향을 제3방향(5)이라 칭한다. 이하, 각 구성에 대해 상세하게 설명한다.
로드 포트(10)는 카세트(12)가 놓여지는 재치대(11)를 가진다. 카세트(12)는 기판들이 적재되는 수납 용기로 제공된다. 재치대(11)는 복수개가 제공되며, 제2방향(4)을 따라 일렬로 배치된다. 일 실시예에서는 4개의 재치대(11)가 제공되었다.
인덱스 모듈(20)은 재치대(11)에 놓인 카세트(12)와 버퍼부(40)간에 기판(W)을 이송한다. 인덱스 모듈(20)은 프레임(21), 인덱스 로봇(22), 그리고 가이드 레일(23)을 가진다. 프레임(21)은 대체로 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 로드 포트(10)와 버퍼부(40) 사이에 배치된다. 도시되지는 않았지만, 프레임(21)에는 카세트(12)의 도어를 개폐하는 도어 오프너가 더 제공된다. 프레임(21) 내에는 인덱스 로봇(22)과 가이드 레일(23)이 배치된다.
인덱스 로봇(22)은 카세트(12)에 적재된 기판을 픽업하고, 픽업된 기판을 버퍼부(40)로 이송하거나, 버퍼부(40)에 적재된 기판을 픽업하여 카세트(12)로 이송하는 기판 이송 장치로 제공된다. 인덱스 로봇(22)은 가이드 레일(23)을 따라 직선 이동 가능하도록 가이드 레일(23)과 결합한다.
공정 모듈(30)은 버퍼부(40), 이송 통로(50), 메인 이송 로봇(Main Transfer Robot)(60), 그리고 다수의 기판 처리 장치(70)를 포함한다.
이송 통로(50)는 공정 모듈(30)내에 제 1 방향(3)을 따라 구비되며, 메인 이송 로봇(60)이 이동하는 통로를 제공한다. 이송 통로(50)의 양측에는 기판 처리 장치들(70)이 서로 마주보며 제1방향(3)을 따라 배치된다. 이송통로(50)에는 메인 이송 로봇(60)이 제1방향(3)을 따라 이동할 수 있고, 기판 처리 장치(70)의 상하층, 그리고 버퍼부(40)의 상하층으로 승강할 수 있는 이송 레일(51)이 설치된다.
버퍼부(40)는 메인 이송 로봇(60)에 의해 미처리된 기판이 기판 처리 장치(70)로 제공되기 전, 또는 기판 처리 장치(70)에서 공정이 완료된 기판이 인덱스 로봇(22)에 의해 로드 포트(10)로 반송되기 전에 일시적으로 적재되는 수납 용기로 제공된다. 버퍼부(40)는 이송통로(50)의 제1방향(3) 전방에 위치하며, 상층 또는 하층으로 상호 분리된 복층 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 버퍼부(40)의 상층은 공정 처리가 끝난 기판이 카세트(12)로 이송되기 전에 대기하는 장소로 제공되고, 하층은 미처리된 기판이 각 기판 처리 장치(70)로 이송되기 전에 대기하는 장소로 제공될 수 있다.
메인 이송 로봇(60)은 이송 통로(50)에 설치되며, 각 기판 처리 장치(70)들 및 버퍼부(40) 간에 기판을 이송하는 기판 이송 장치로 제공된다. 메인 이송 로봇(60)은 버퍼부(40)에 대기하는 미처리된 기판을 각 기판 처리 장치(70)로 제공하거나, 기판 처리 장치(70)에서 공정이 완료된 기판을 버퍼부(40)로 이송한다.
기판 처리 장치(70)들은 기판에 대한 다양한 공정 처리를 수행한다. 기판 처리 장치들(70)은 공정 모듈(30) 내부에서 이송통로(60)를 사이에 두고 서로 마주보도록 제1방향(3)을 따라 배치되며, 상층과 하층의 복층 구조를 가질 수 있다. 실시예에 의하면, 기판 처리 장치(70)는 이송통로(50)의 양측에 각각 두 개의 기판 처리 장치(70)가 제1방향(3)을 따라 공정처리부(30)의 하층에 배치된다. 공정처리부(30)의 상층에는 하층과 동일한 형태로 기판 처리 장치(70)가 배치된다. 기판 처리 장치(70)들은 독립적인 모듈의 형태로 제공될 수 있다. 모듈이라 함은 각 기판 처리 장치(70)들이 각각의 기판 처리 기능을 수행함에 있어서 독립적인 동작이 가능하도록 관련 파트들이 하나의 독립적인 하우징 내에 설치된 것을 말한다. 모듈의 형태로 제공되는 기판 처리 장치(70)는 기판 처리 설비의 레이아웃에 따라 공정 모듈(30)을 구성하게 된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 사시도이다. 기판 이송 장치(100)는 상술한 인덱스 로봇(도 2의 22)과 메인 이송 로봇(도 2의 60)으로 제공될 수 있다. 도 3을 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 핸드(110), 핸드 구동부(120), 제어부(미도시), 회전부(140), 수직 이동부(150), 그리고 수평 이동부(160)를 포함한다.
핸드(110)는 1매의 기판을 적재할 수 있다. 핸드(110)는 복수개 제공되며, 제3방향(5)으로 서로 마주하여 나란하게 배치된다. 실시예에 의하면, 핸드(110)는 4개 제공될 수 있다. 상부에 위치한 두 개의 핸드(110)는 공정 처리가 완료된 기판을 적재하고, 하부에 위치한 두 개의 핸드(110)는 미처리 기판을 적재할 수 있다. 핸드(110)의 상면에는 전방 가이드(111)와 후방 가이드(112)가 형성된다. 전방 가이드(111)는 핸드(110)의 상면 전방에 형성되고, 후방 가이드(112)는 핸드(110)의 상면 후방에 형성된다. 기판은 전방 가이드(111)와 후방 가이드(112) 사이 영역에 적재된다. 전방 및 후방 가이드(111, 112)는 핸드(110)의 이동시 기판이 이탈되는 것을 방지한다.
핸드 구동부(120)는 핸드(110)들의 하부에 위치하며, 핸드(110)들을 수평 방향으로 개별 이동시킨다. 제어부는 핸드 구동부(120)을 제어한다. 제어부가 핸드 구동부(120)를 제어하는 방법에 대해서는 아래에서 자세하게 설명한다.
회전부(140)는 핸드 구동부(120)의 하부에서 핸드 구동부(120)와 결합한다. 회전부(140)는 회전하여 핸드 구동부(120)를 회전시킨다. 이에 따라 핸드(110)들은 핸드 구동부(120)와 함께 회전한다.
회전부(140)의 아래에는 수직 이동부(150)가 설치된다. 수직 이동부(150)는 회전부(140)를 승강 및 하강시키며, 이에 의해 핸드 구동부(120) 및 핸드(110)들의 높이가 조절될 수 있다.
수평 이동부(160)는 수직 이동부(150)의 하부에 결합하며, 이송 레일(도 2의 23, 51)을 따라 수평이동한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 핸드가 기판을 픽업하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 핸드(110)는 핸드 구동부(120)의 구동에 의하여 수납 용기(12, 40)에 적재된 기판(W)을 픽업한 후, 수납 용기(12, 40)의 외측으로 후퇴한다. 제어부(130)는 기판(W)을 적재한 핸드(110)가 후퇴하는 이송 구간에서 핸드(110)의 이송 속도를 제어한다.
제어부(130)는 도 5와 같이, 이송 구간에서 핸드(110)가 서로 상이한 크기의 속도로 등속 이동하는 구간이 적어도 두 개 이상 포함되도록 핸드 구동부(120)를 제어한다. 실시예에 의하면, 이송 구간은 제1댐핑 이송 구간(S1), 메인 이송 구간(S2), 그리고 제2댐핑 이송 구간(S3)을 포함한다. 제1댐핑 이송 구간(S1), 메인 이송 구간(S2), 그리고 제2댐핑 이송 구간(S3)은 순차적이고 연속적인 구간이며, 기판(W)을 픽업한 핸드(110)가 정지상태에서 수납 용기(C)의 외측으로 이동한 후 다시 정지하기까지의 구간이다.
제1댐핑 이송 구간(S1)은 제1댐핑 가속 구간(AS1), 제1댐핑 등속 구간(CS1), 그리고 제1댐핑 감속 구간(DS1)을 가진다. 기판(W)을 픽업한 핸드(110)는 수평 방향으로 정지상태이다. 핸드(110)는 제1댐핑 가속 구간(AS1)에서 기설정된 크기의 가속도로 가속하여 제1댐핑 속도(V1)에 도달한다. 제1댐핑 등속 구간(CS1)에서 핸드(110)는 일정시간 동안 제1댐핑 속도(V1)로 등속 이동한다. 등속 이동 후, 핸드(110)는 제1댐핑 감속 구간(DS1)에서 감속되어 제1댐핑 속도(V1)보다 낮은 속도로 이동한다.
메인 이송 구간(S2)은 이송 구간에서 기판(W)이 이송되는 구간의 대부분을 차지하는 구간으로, 메인 가속 구간(AS2), 메인 등속 구간(CS2), 그리고 메인 감속 구간(DS2)을 가진다.
메인 가속 구간(AS2)은 제1댐핑 감속 구간(DS1)과 연속되며, 핸드(110)의 이송속도가 기설정된 크기의 가속도로 가속하여 메인 속도(V2)에 도달한다. 메인 속도(V2)는 제1댐핑 속도(V1)보다 빠르다. 메인 등속 구간(CS2)에서 핸드(110)는 일정시간 동안 메인 속도(V2)로 등속 이동한다. 등속 이동 후, 핸드(110)는 메인 감속 구간(DS2)에서 감속되어 제1댐핑 속도(V1)보다 낮은 속도로 이동한다. 메인 감속 구간(DS2)에서 핸드(110)는 제1댐핑 등속 구간(CS1)의 제1댐핑 속도(V1)보다 느린 속도로 감속될 수 있다.
제2댐핑 이송 구간(S3)은 제2댐핑 가속 구간(AS3), 제2댐핑 등속 구간(CS3), 그리고 제2댐핑 감속 구간(DS3)을 포함한다. 제2댐핑 가속 구간(AS3)은 메인 감속 구간(DS2)과 연속되며, 핸드(110)의 이송 속도가 기설정된 크기의 가속도로 가속하여 제2댐핑 속도(V3)에 도달한다. 제2댐핑 속도(V3)는 메인 속도(V2)보다 느리다. 제2댐핑 속도(V3)은 제1댐핑 속도(V1)와 동일할 수 있다. 이와 달리, 제2댐핑 속도(V3)은 제1댐핑 속도(V1)와 상이할 수 있다. 제2댐핑 등속 구간(CS3)에서 핸드(110)는 일정시간 동안 제2댐핑 속도(V3)로 등속 이동한다. 등속 이동 후, 핸드(110)는 제2댐핑 감속 구간(DS3)에서 감속된다. 제2댐핑 감속 구간(DS3)을 지나면서 핸드(110)는 정지된다.
상술한 바와 같이 이송 구간은 서로 상이한 크기의 속도로 등속 이동하는 구간을 복수 개 포함한다. 이로 인해 이송 구간에서 가속 및 감속 구간은 도 1의 이송 구간에 비하여 짧게 형성된다. 가속 및 감속 구간이 짧게 형성되므로, 핸드(110)에 놓인 기판(W)과 가이드(111, 112)의 충격력은 도 1에서의 기판과 가이드의 충격력에 비하여 작다. 때문에, 기판(W)이 안정적으로 이송될 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 핸드 속도 제어를 나타내는 그래프이다.
도 6을 참조하면, 이송 구간은 제1댐핑 이송 구간(S1), 메인 이송 구간(S2), 그리고 제2댐핑 이송 구간(S3)을 포함한다. 제1댐핑 이송 구간(S1), 메인 이송 구간(S2), 그리고 제2댐핑 이송 구간(S3)은 순차적이고 연속적이다.
제1댐핑 이송 구간(S1)은 제1댐핑 가속 구간(AS1)과 제1댐핑 등속 구간(CS1)을 가진다. 핸드(110)는 제1댐핑 가속 구간(AS1)에서 기설정된 크기의 가속도로 가속하여 제1댐핑 속도(V1)에 도달한다. 제1댐핑 등속 구간(AS1)에서 핸드(110)는 일정시간 동안 제1댐핑 속도(V2)로 등속 이동한다.
메인 이송 구간(S2)은 메인 가속 구간(AS2), 메인 등속 구간(CS2), 메인 감속 구간(DS2)을 가진다. 메인 가속 구간(AS2)은 제1댐핑 등속 구간(CS1)과 연속되며, 핸드(110)의 이송속도가 기설정된 크기의 가속도로 가속하여 메인 속도(V2)에 도달한다. 메인 속도(V2)는 제1댐핑 속도(V1)보다 빠르다. 메인 등속 구간(CS2)에서 핸드(110)는 일정시간 동안 메인 속도(V2)로 등속 이동한다. 등속 이동 후, 핸드는 메인 감속 구간(DS2)에서 감속된다.
제2댐핑 이송 구간(S3)은 제2댐핑 등속 구간(CS3)과 제2댐핑 감속 구간(DS3)을 포함한다. 제2댐핑 등속 구간(CS3)은 메인 감속 구간(DS2)과 연속되며, 제2댐핑 속도(V3)로 일정시간 동안 등속 이동한다. 제2댐핑 속도(V3)는 메인 속도(V2)보다 느리다. 제2댐핑 속도(V3)는 제1댐핑 속도(V1)와 동일할 수 있다. 이와 달리, 제2댐핑 속도(V3)은 제1댐핑 속도(V1)와 상이할 수 있다. 등속 이동 후, 핸드(110)는 제2댐핑 감속 구간(S3)에서 감속된다. 제2댐핑 감속 구간(S3)을 지나면서 핸드(110)는 정지된다.
상술한 이송 구간에서 가속 및 감속 구간은 도 1의 이송 구간에 비하여 짧게 형성된다. 가속 및 감속 구간이 짧게 형성됨으로 인해, 핸드(110)에 놓인 기판(W)과 가이드(111, 112)의 충격력이 감소 될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당 업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100: 기판 이송 장치 110: 핸드
120: 핸드 구동부 130: 제어부
140: 회전부 150: 수직 이동부
160: 수평 이동부 S1: 제1댐핑 이송 구간
S2: 메인 이송 구간 S3: 제2댐핑 이송 구간
AS1: 제1댐핑 가속 구간 AS2: 메인 가속 구간
AS3: 제2댐핑 가속 구간 CS1: 제1댐핑 등속 구간
CS2: 메인 등속 구간 CS3: 제2댐핑 등속 구간
DS1: 제1댐핑 감속 구간 DS2: 메인 감속 구간
DS3: 제2댐핑 감속 구간

Claims (9)

  1. 수납 용기에 적재된 기판을 픽업한 핸드가 상기 수납 용기 외측으로 후퇴하는 이송 구간에서,
    상기 이송 구간은 상기 핸드가 메인 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 메인 이송 구간과, 상기 메인 속도보다 느린 댐핑 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 댐핑 이송 구간을 포함하고,
    상기 댐핑 이송 구간은
    상기 핸드가 상기 메인 속도로 등속 이동하기 전, 제1댐핑 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 제1댐핑 이송 구간; 및
    상기 핸드가 상기 메인 속도로 등속 이동 후, 제2댐핑 속도로 등속 이송하는 구간을 갖는 제2댐핑 이송 구간을 포함하는 기판 이송 방법.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제1댐핑 속도와 상기 제2댐핑 속도는 크기가 동일한 기판 이송 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 메인 이송 구간은, 상기 핸드가 가속되어 상기 메인 속도에 이르는 메인 가속 구간과, 상기 메인 속도로부터 감속되는 메인 감속 구간을 가지며,
    상기 제1댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 상기 제1댐핑 속도로부터 감속되는 제1댐핑 감속 구간을 가지고,
    상기 제2댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 가속되어 상기 제2댐핑 속도에 이르는 제2댐핑 가속 구간을 가지고,
    상기 제1댐핑 감속 구간은 상기 메인 가속 구간과 연속적이고,
    상기 제2댐핑 가속 구간은 상기 메인 감속 구간과 연속적인 기판 이송 방법.
  5. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 메인 이송 구간은, 상기 핸드가 가속되어 상기 메인 속도에 이르는 메인 가속 구간과, 상기 메인 속도로부터 감속되는 메인 감속 구간을 가지며,
    상기 제1댐핑 이송 구간의 등속구간은 상기 메인 가속 구간과 연속적이며,
    상기 제2댐핑 이송 구간의 등속구간은 상기 메인 감속 구간과 연속적인 기판 이송 방법.
  6. 수납용기에 적재된 기판을 픽업하고, 픽업된 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 있어서,
    기판을 픽업하며, 픽업된 기판이 놓이는 핸드;
    기판을 픽업한 상기 핸드를 상기 수납 용기 외측으로 후퇴시키는 핸드 구동부; 및
    상기 핸드가 상기 수납용기 외측으로 후퇴하는 이송 구간에 메인 이송 구간과 댐핑 이송 구간이 포함되도록 상기 핸드 구동부를 제어하는 제어부를 포함하되,
    상기 메인 이송 구간은 상기 핸드가 메인 속도로 등속 이동하는 구간을 포함하고, 상기 댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 상기 메인 속도보다 느린 댐핑 속도로 등속 이동하는 구간을 포함하고,
    상기 댐핑 이송 구간은
    상기 핸드가 상기 메인 속도로 등속 이동하기 전, 제1댐핑 속도로 등속 이동하는 구간을 갖는 제1댐핑 이송 구간; 및
    상기 핸드가 상기 메인 속도로 등속 이동 후, 제2댐핑 속도로 등속 이송하는 구간을 갖는 제2댐핑 이송 구간을 포함하는 기판 이송 장치.
  7. 삭제
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 메인 이송 구간은, 상기 핸드가 가속되어 상기 메인 속도에 이르는 메인 가속 구간과, 상기 메인 속도로부터 감속되는 메인 감속 구간을 가지고,
    상기 제1댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 상기 제1댐핑 속도로부터 감속되는 제1댐핑 감속 구간을 가지고,
    상기 제2댐핑 이송 구간은 상기 핸드가 가속되어 상기 제2댐핑 속도에 이르는 제2댐핑 가속 구간을 가지며,
    상기 제1댐핑 감속 구간은 상기 메인 가속 구간과 연속적이고,
    상기 제2댐핑 가속 구간은 상기 메인 감속 구간과 연속적인 기판 이송 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 메인 이송 구간은, 상기 핸드가 가속되어 상기 메인 속도에 이르는 메인 가속 구간과, 상기 메인 속도로부터 감속되는 메인 감속 구간을 가지며,
    상기 제1댐핑 이송 구간의 등속구간은 상기 메인 가속 구간과 연속적이며,
    상기 제2댐핑 이송 구간의 등속구간은 상기 메인 감속 구간과 연속적인 기판 이송 장치.
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