JP6693356B2 - 物品搬送装置 - Google Patents

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Description

本発明は、水平方向の一端側が固定された板状の載置部に物品を載置して支持した支持状態で、少なくとも鉛直方向に移動して物品を搬送する物品搬送装置に関する。
特開平６−１５６６２８号公報（特許文献１）には、垂直方向に設定されたマスト（５）に沿って昇降キャリッジ（７）を昇降させて物品（Ｗ）を搬送するスタッカークレーン（２）が開示されている。昇降キャリッジ（７）の載置部（７ｂ）は、水平方向の一端側がマスト（５）によって支持されて他端側が開放された構造、いわゆる片持ち構造である。このため、載置部（７ｂ）に物品（Ｗ）を載置して搬送している際に、昇降キャリッジ（７）が急停止して大きな加速度が加わる場合など、昇降キャリッジ（７）が大きな外力を受けると、載置部（７ｂ）の開放側の端部が垂直方向に振動する場合がある。そして、この振動によって載置部（７ｂ）に載置された物品（Ｗ）が位置ずれを生じたり、落下したりする場合がある。
このため、特許文献１のスタッカークレーン（２）は、物品（Ｗ）を載置部（７ｂ）に載置した後に、物品（Ｗ）の上方への移動を規制する押圧板（１５）を備えている。押圧板（１５）は、上下動するように構成されており、載置部（７ｂ）に物品（Ｗ）を載置する際には、上方に退避し、物品（Ｗ）を載置した後に下降して物品（Ｗ）の上部に当接する。つまり、載置部（７ｂ）と押圧板（１５）とで上下方向から物品（Ｗ）を挟み込みことで、昇降キャリッジ（７）が大きな外力を受けた場合でも、載置部（７ｂ）に載置された物品（Ｗ）が位置ずれを生じたり、落下したりすることを抑制している。
但し、この昇降キャリッジ（７）は、押圧版（１５）を上下動させるために電動シリンダ（１３）などのアクチュエータを必要とし、その制御回路も必要となる。このため、昇降キャリッジ（７）の構造が複雑となり、装置規模が大きくなったり、重量が増加したりする傾向がある。
特開平６−１５６６２８号公報
上記背景に鑑みて、載置部に載置された物品が搬送中に位置ずれを生じたり、落下したりすることを簡単な構造で抑制できる技術の提供が望まれる。
１つの態様として、上記に鑑みた物品搬送装置は、
水平面に沿った第１方向の一端側が基部に固定された固定端であり、前記第１方向の他端側が開放端である板状の載置部に物品を載置して支持する物品支持部を備え、前記物品支持部により前記物品を支持した支持状態で少なくとも鉛直方向に移動して前記物品を搬送する物品搬送装置であって、
水平面に沿うと共に前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、
前記支持状態における前記物品の前記第１方向に沿う方向を、前記物品の前後方向とし、前記支持状態における前記物品の前記第２方向に沿う方向を、前記物品の幅方向とし、
前記支持状態における前記物品の前記開放端の側を、前記前後方向における前記物品の前方側とし、前記支持状態における前記物品の前記固定端の側を、前記前後方向における前記物品の後方側とし、前記支持状態における前記物品の鉛直方向に沿う方向を前記物品の上下方向とし、
前記物品は、前記上下方向における上方側に、水平面に沿って広がる板状のフランジ部を有し、
前記物品支持部は、前記支持状態で前記フランジ部の前方側端面に対向するように設けられて、前記支持状態において前記物品が予め規定された移動距離以上、少なくとも前記前方側へ移動することを規制する規制部をさらに備え、
前記規制部は、前記第２方向において間隙を有して配置された一対の前方規制部対を備えて、前記基部に固定されている。
この構成によれば、載置部に載置された物品の前方側への移動は、前方規制部対によって規制される。また、当該物品の後方側は、載置部の固定端が位置しており、多くの場合、載置部を固定する部位が設けられているから、当該部材によって物品の後方側への移動も規制される。従って、前方規制部対を備えることによって、載置台に載置された物品が位置ずれを生じたり、載置台の開放端の側から落下したりすることを抑制することができる。また、前方規制部対を備えた規制部は、載置部と一体的に構成されている。つまり、物品支持部は、載置部に物品を載置した後に、別途、可動式の規制部材を所定位置に移動させることなく、物品の前方側への移動を規制することができる。従って、物品支持部は、規制部材を移動させるための駆動機構やアクチュエータ等も設ける必要がなく、物品搬送装置の構造の複雑化や大規模化が抑制される。このように、本構成によれば、載置部に載置された物品が搬送中に位置ずれを生じたり、落下したりすることを簡単な構造で抑制することができる。
ここで、前記物品の重心が、前記第１方向に沿った方向における前記物品の中央位置に対して、前記前方側、或いは後方側に位置していると好適である。
物品搬送装置による搬送対象の物品の重心が、物品を上下方向に見た平面視における幾何学的な中心（重心）に対して、物品の前後方向に偏心していると、物品支持部に衝撃等の外力が印加された場合に、載置部に載置された物品が前方側或いは後方側に傾き易い。物品が前方側に傾いた場合には、載置部の開放端の側から物品が落下するおそれがあるが、前方規制部対によって物品の前方側への移動が規制されることで、物品の落下が抑制される。
また、１つの態様として、前記物品が、前記上下方向において前記フランジ部よりも下方に、前記フランジ部を固定支持するフランジ支持部を有し、前記フランジ支持部の前記幅方向における長さである支持部幅が、前記フランジ部の前記幅方向における長さであるフランジ幅よりも短く、前記第２方向における前記前方規制部対の間の前記間隙が、前記支持部幅よりも長く設定されていると好適である。
第２方向における前方規制部対の間の間隙より支持部幅が短いことにより、載置部に対して物品を積み降ろしする際に、フランジ支持部が前方規制部対の間の間隙を通ることができる。つまり、この構成によれば、物品支持部により円滑に物品の積み降ろしを行うことができる。
また、１つの態様として、前記規制部は、前記支持状態において前記フランジ部の端面を囲う周壁部を備え、前記周壁部は、前記前方側端面に対向する位置に周壁開口部を有し、前記前方規制部対は、前記第１方向において前記前方側端面に対向すると共に、前記第２方向において前記周壁開口部を挟んで対向するように、前記周壁部に形成されていると好適である。
周壁部を備えることによって、規制部の強度を高めることができ、例えば物品が位置ずれ等を生じて規制部によって物品の移動が規制される際に、規制部が充分な応力を有することができる。また、周壁部により、前方規制部対による前方側への移動の規制に加えて、物品の幅方向への位置ずれも規制することができる。また、この構成によれば、上述したように規制部の剛性の強化、位置ずれ規制の多方向化を実現すると共に、周壁開口部を有することで、物品支持部により支障なく物品の積み卸しを行うことができる。
また、１つの態様として、規制部は、前記周壁部の上方側の端部から水平方向に屈曲した庇部を備えると好適である。
庇部を備えることによって、前方規制部対による前方側への移動の規制、及び、周壁部による物品の幅方向への位置ずれの規制に加えて、物品の上下方向における上方側への移動も規制することができる。また、周壁部が、周壁部の端部から屈曲した庇部を備えることにより、第２方向及び鉛直方向における規制部の曲げ応力が高くなり、規制部の剛性が高くなる。
また、１つの態様として、前記前方規制部対は、前記周壁部において下方に位置する部分に設けられ、前記周壁開口部は、前記第２方向における開口幅が、前記前方規制部対によって制限された第１開口幅である第１開口部と、前記第１開口部よりも上方に位置し、前記第２方向における開口幅が、前記前方規制部対によって制限されていない第２開口幅である第２開口部と、を有し、前記第２開口部は、前記第２開口幅が前記フランジ部の前記幅方向における長さであるフランジ幅よりも長く、鉛直方向における開口高さが、前記フランジ部の前記上下方向の厚みよりも長く形成されていると好適である。
例えば、周壁開口部を物品に対向させ、物品に向かって物品支持部が第１方向に沿って移動して、物品の下方に載置部を位置させた後、物品支持部を鉛直方向に上昇させることによって、物品を掬い取ることができる。この際、周壁開口部の内、第２開口部の第２開口幅は、フランジ幅よりも長いので、フランジ部は良好に第２開口部を通過することができる。この際、第２開口部よりも開口幅が短い第１開口部は、フランジ幅よりも短い支持部幅を有するフランジ支持部が通過することになるので、物品全体が、周壁開口部を通って、載置部の上方に導かれる。ここで、物品支持部を上昇させて、載置部と物品の底面とが接触し、物品が載置部に載置された状態になると、フランジ部の前方側、つまりフランジ部の前方側端面は、前方規制部対と対向することになる。従って、物品は前方への移動が規制された状態となる。つまり、本構成によれば、別途、可動式の規制部材を設けて、載置部に物品を載置させる前に当該規制部材を退避させ、物品を載置した後に、当該規制部材を所定位置に移動させるようなことをする必要はない。従って、物品支持部は、規制部材を移動させるための駆動機構やアクチュエータ等も設ける必要がなく、物品搬送装置の構造の複雑化や大規模化が抑制される。このように、本構成によれば、載置部に載置された物品が搬送中に位置ずれを生じたり、落下したりすることを簡単な構造で抑制することができる。
物品搬送装置のさらなる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。
物品保管設備の構成を模式的に示す図 容器の側面図 容器の上面図 物品収納棚の棚板を模式的に示す斜視図 フォークを模式的に示す斜視図 フォークが容器を受け取る際の両者の関係を示す縦断面図 フォークが容器を受け取る際の両者の関係を示す上面図 フォークに容器を載置した際の両者の関係を示す縦断面図 フォークに容器を載置した際の両者の関係を示す横断面図 容器の移動が規制される場合の例を模式的に示す縦断面図
以下、物品搬送装置の実施形態について、図面に基づいて説明する。図１は、物品搬送装置を備えた物品保管設備１００の一例を示している。物品保管設備１００は、物品収納棚１０２と、スタッカークレーン１（物品搬送装置）と、天井搬送車１０と、上方入出庫コンベヤ１０４と、下方入出庫コンベヤ１０５と、を備えている。物品収納棚１０２は、物品としての容器Ｗを収納する収納部１０１を複数備えている。詳細は、後述するが、本実施形態では、容器Ｗとしてレチクル（フォトマスク）を収容するレチクルポッドを例示している。
スタッカークレーン１及び天井搬送車１０は、容器Ｗを搬送する。物品収納棚１０２やスタッカークレーン１は、壁体１０６によって覆われた設置空間の内部に設置されている。スタッカークレーン１は、当該設置空間の内部で、容器Ｗを搬送する。上方入出庫コンベヤ１０４及び下方入出庫コンベヤ１０５は、壁体１０６を貫通する状態で配設されて、設置空間の内部と外部との間で、容器Ｗを載置搬送する。天井搬送車１０は、設置空間の外部で容器Ｗを搬送する。
物品収納棚１０２は、スタッカークレーン１のマスト１３（支柱）を挟んで対向する状態で一対備えられている。一対の物品収納棚１０２の夫々には、収納部１０１が上下方向及び棚横幅方向（図１の紙面に直交する方向）に並ぶ状態で複数備えられている。複数の収納部１０１の夫々には、収納した容器Ｗを載置支持する棚板９が備えられている。
上方入出庫コンベヤ１０４及び下方入出庫コンベヤ１０５は、壁体１０６の外側に位置する外部移載箇所と壁体１０６の内側に位置する内部移載箇所との間で容器Ｗを載置搬送する。相対的に高い位置に設置されている上方入出庫コンベヤ１０４の外部移載箇所に対しては、天井搬送車１０が容器Ｗの載せ降しを行い、相対的に低い位置に設置されている下方入出庫コンベヤ１０５の外部移載箇所に対しては、作業者が容器Ｗの載せ降しを行う。
上方入出庫コンベヤ１０４及び下方入出庫コンベヤ１０５の外部移載箇所に容器Ｗが載せられると、当該容器Ｗは、これらのコンベヤによって外部移載箇所から内部移載箇所に載置搬送される。スタッカークレーン１は、内部移載箇所から収納部１０１に容器Ｗを搬送して、棚板９に容器Ｗを載置する（入庫）。反対に、スタッカークレーン１は、収納部１０１の棚板９から容器Ｗを取り出し、上方入出庫コンベヤ１０４及び下方入出庫コンベヤ１０５の内部移載箇所に搬送する。当該容器Ｗは、これらのコンベヤによって内部移載箇所から外部移載箇所に載置搬送され、天井搬送車１０又は作業者にて外部移載箇所から降ろされる（出庫）。このように、スタッカークレーン１は、内部移載箇所と収納部１０１との間で容器Ｗを搬送する。
上述したように、本実施形態では、容器Ｗは、レチクルポッドである。図２及び図３に示すように、容器Ｗは、レチクルを収容する容器本体部６と、容器本体部６よりも上方に位置して容器Ｗの上端部に備えられたフランジ部７とを有している。また、容器Ｗは、フランジ部７よりも下方に、フランジ部７を固定支持するフランジ支持部８を有している。図１に示すように天井搬送車１０は、フランジ部７を掴むことによって容器Ｗを吊り下げ支持して、容器Ｗを搬送する。また、スタッカークレーン１は、容器本体部６の底面６１を載置部３によって載置支持した状態で容器Ｗを搬送する。
図２及び図３に示すように、容器本体部６の底面６１（容器Ｗの底面６１）には、上下方向Ｖの上方に向かって窪んだ底面凹部６２が３箇所に設けられている。底面凹部６２は、上方ほど細い先細り形状に形成されており、底面凹部６２の内面は傾斜面となっている。詳細は後述するが、この底面凹部６２には、スタッカークレーン１のフォーク５（物品支持部）に設けられたフォーク側位置決めピン３ｐや、収納部１０１の棚板９に設けられた棚板側位置決めピン９ｐが下方から係合する（図４、図８等参照）。容器Ｗが棚板９に載置される際や、フォーク５に掬い取られる際に、容器Ｗの位置が水平方向にずれている場合でも、これらの位置決めピンが底面凹部６２の内面によって案内される。これにより、フォーク５や棚板９に対する容器Ｗの水平方向の位置が適正な位置に修正される。
図４は、物品収納棚１０２の棚板９を模式的に示している。棚板９は、鉛直フレーム１０７に固定された水平フレーム１０８に、一端側が固定支持され、他方側が開放された片持ち姿勢で固定されている。図４に示すように、棚板９は、矩形状ではなく、Ｕ字状に形成されており、矩形状の容器Ｗの底面６１の３辺を支持する。棚板９には、棚板側位置決めピン９ｐが、Ｕ字の底部、及び両側部の３箇所に配置されている。上述したように、容器Ｗが棚板９に載置される際には、容器Ｗの３箇所の底面凹部６２に、３つの棚板側位置決めピン９ｐがそれぞれ係合し、容器Ｗは適切に棚板９に載置される。
図１に示すように、スタッカークレーン１は、一対の物品収納棚１０２の間に敷設されたレール１５に沿って走行する走行台車１２と、その走行台車１２に立設されたマスト１３に沿って昇降移動する昇降体１４と、昇降体１４に支持されて収納部１０１や内部移載箇所との間で容器Ｗを移載するフォーク５と、を備えている。スタッカークレーン１は、不図示の走行用アクチュエータによって走行台車１２を走行させ、不図示の昇降用アクチュエータによって昇降体１４を昇降させ、不図示のリンク機構及び移載用アクチュエータによってフォーク５を出退させて、内部移載箇所及び収納部１０１との間で容器Ｗを搬送する。
図５は、フォーク５（物品支持部）の模式的斜視図である。フォーク５は、基部２と、載置部３と、規制部４とを有して構成されている。載置部３は、水平面に沿った第１方向Ｘの一端側（Ｘｒ）が固定端Ｔ１であり、第１方向Ｘの他端側（Ｘｆ）が開放端Ｔ２である、いわゆる片持ち姿勢で基部２に固定されている。フォーク５は、この載置部３に容器Ｗを載置して支持する。上述したように、スタッカークレーン１は、フォーク５により容器Ｗを支持した支持状態で鉛直に設置されたマスト１３に沿って少なくとも鉛直方向に移動して容器Ｗを搬送する。
ここで、水平面に沿うと共に第１方向Ｘに直交する方向を第２方向Ｙとする（図５、図７、図９等参照）。また、容器Ｗを載置部３に載置支持した状態、即ち支持状態における容器Ｗの第１方向Ｘに沿う方向を、容器Ｗの前後方向Ｌとし、支持状態における容器Ｗの第２方向Ｙに沿う方向を、容器Ｗの幅方向Ｄとする（図２、図３、図６〜図９等参照）。また、支持状態における容器Ｗの開放端Ｔ２の側を、前後方向Ｌにおける容器Ｗの前方側Ｆとし、支持状態における容器Ｗの固定端Ｔ１の側を、前後方向Ｌにおける容器Ｗの後方側Ｒとし、支持状態における容器Ｗの鉛直方向Ｚに沿う方向を容器Ｗの上下方向Ｖとする（図２、図３、図６〜図９等参照）。
図２及び図３に示すように、容器Ｗは、上下方向Ｖにおける上方側に、水平面に沿って広がる板状のフランジ部７を有している。図５に示すように、フォーク５は、載置部３に加えて、載置部３に載置支持された容器Ｗが、予め規定された移動距離以上、少なくとも前方側Ｆ（開放端Ｔ２の側（Ｘｆ））へ移動することを規制する規制部４を有している。詳細は後述するが、規制部４は、容器Ｗが載置部３に載置支持された支持状態（図８等参照）で、フランジ部７の前方側端面７ｆに対向する部分（後述する前方規制部４３）を有している。図５に示すように、この前方規制部４３は、第２方向Ｙにおいて間隙を有して２つ形成されている。つまり、規制部４は、第２方向Ｙにおいて間隙を有して配置された一対の前方規制部対４３ｐを備えている。また、図５に示すように、規制部４も基部２に固定されており、規制部４と載置部３とは一体的に構成されている。
図２を参照して、上述したように、容器Ｗは、上下方向Ｖにおいてフランジ部７よりも下方に、フランジ部７を固定支持するフランジ支持部８を有している。また、図３に示すように、フランジ支持部８の幅方向Ｄにおける長さである支持部幅Ｄ１は、フランジ部７の幅方向Ｄにおける長さであるフランジ幅Ｄ２よりも短い。図５に示すように、第２方向Ｙにおける前方規制部対４３ｐの間の間隙（後述する第１開口幅Ｙ１）は、支持部幅Ｄ１よりも長く設定されている。
また、規制部４は、載置部３に容器Ｗを載置支持した支持状態においてフランジ部７の端面を囲う周壁部４１を備えている（図５、図６、図８参照）。図５及び図８に示すように、この周壁部４１は、支持状態においてフランジ部７の前方側端面７ｆに対向する位置に周壁開口部５０を有している。前方規制部対４３ｐは、第１方向Ｘにおいて支持状態の容器Ｗの前方側端面７ｆに対向すると共に、第２方向Ｙにおいて周壁開口部５０を挟んで対向するように、周壁部４１に形成されている。さらに、規制部４は、周壁部４１の上方側の端部から水平方向に屈曲した庇部４２を備えている。
このような周壁部４１を備えることによって、規制部４の強度を高めることができる。従って、容器Ｗが位置ずれ等を生じて規制部４によって容器Ｗの移動が規制される際に、規制部４が充分な応力を有することができる。また、周壁部４１により、前方規制部対４３ｐによる前方側Ｆへの移動の規制に加えて、容器Ｗの幅方向Ｄへの位置ずれも規制することができる。また、庇部４２を備えることによって、前方規制部対４３ｐによる前方側Ｆへの移動の規制、及び、周壁部４１による容器Ｗの幅方向Ｄへの位置ずれの規制に加えて、容器Ｗの上下方向Ｖにおける上方側への移動も規制することができる。また、周壁部４１が、周壁部４１の端部から屈曲した庇部４２を備えることにより、第２方向Ｙ及び鉛直方向Ｚにおける規制部４の曲げ応力が高くなり、規制部４の剛性が高くなる。
図５に示すように、前方規制部対４３ｐは、周壁部４１において下方に位置する部分に設けられている。また、周壁開口部５０は、第１開口部５１と第２開口部５２とを有している。第１開口部５１は、第２方向Ｙにおける開口幅が、前方規制部対４３ｐによって制限された第１開口幅Ｙ１である。第２開口部５２は、第１開口部５１よりも上方に位置し、第２方向Ｙにおける開口幅が、前方規制部対４３ｐによって制限されていない第２開口幅Ｙ２である。第２開口部５２は、第２開口幅Ｙ２がフランジ幅Ｄ２よりも長く、鉛直方向Ｚにおける開口高さ（第２開口高さＨ２：図６、図８等参照）が、フランジ部７の上下方向Ｖの厚み（フランジ厚７ｈ：図２、図６，図８等参照）よりも長く形成されている。尚、鉛直方向Ｚにおける第１開口部５１の開口高さは、第１開口高さＨ１である（図６、図８等参照）。
前方規制部対４３ｐは、周壁開口部５０における周壁部４１の両端面が、第２方向Ｙに沿って、それぞれ内側に屈曲することによって形成されている。フランジ部７の角は、面取りされており、２度屈曲している。前方規制部対４３ｐは、フランジ部７の側端面に沿うように形成されている。つまり、第１方向Ｘに沿った周壁部４１が、おおよそ４５度ずつ２度屈曲して第２方向Ｙに沿うように形成されている。このように、正常な姿勢での支持状態において、フランジ部７の側転面と前方規制部対４３ｐとの水平方向の隙間がほぼ一定となるように、前方規制部対４３ｐが形成されることで、容器Ｗが水平方向のどの方向にずれても、同じように容器Ｗの移動を規制することができる。また、前方規制部対４３ｐにも、上方側の端部から水平方向に折り返す小庇部３４ａが形成されている（図５、図７、図９、図１０等参照）。この小庇部３４ａにより、容器Ｗが鉛直方向Ｚに跳ね上がることも抑制できる。
以下、図６〜図９も参照して、フォーク５により収納部１０１の棚板９から容器Ｗを掬い取る動作について説明する。図６に示すように、フォーク５は、容器Ｗの前後方向Ｌの後方側Ｒに正対する。この時、フォーク５は、棚板９よりも、載置部３の天面３１が鉛直方向Ｚにおいて、下方設定距離だけ、下方となる状態で正対する。この下方設定距離は、フォーク側位置決めピン３ｐの高さ（フォークピン高さ３ｈ）よりも長い長さである。つまり、下方設定距離は、フォーク５が第１方向Ｘに沿って棚板９の方向（Ｘｆ）へ移動した場合に、容器Ｗの底面６１とフォーク側位置決めピン３ｐとが干渉しないように設定されている。また、下方設定距離は、鉛直方向Ｚにおける第１開口部５１の開口高さ（第１開口高さＨ１）及びフランジ部７の厚み（フランジ厚７ｈ）よりも長い長さでもある。つまり、下方設定距離は、第１開口部５１とフランジ部７とが第１方向Ｘに沿った方向に見て重複せず、フォーク５が第１方向Ｘに沿って棚板９の方向（Ｘｆ）へ移動した場合に、前方規制部４３とフランジ部７とが干渉しないようにも設定されている。
棚板９に載置支持された容器Ｗに正対したフォーク５は、第１方向Ｘに沿って容器Ｗの方向（Ｘｆ）に向かって突出する。上述したように、フォーク５は、載置部３の天面３１が鉛直方向Ｚにおいて、下方設定距離だけ下方となる状態で容器Ｗに正対しているので、フォーク側位置決めピン３ｐは、容器Ｗの底面６１の下を通過することができる。また、第１開口部５１は、容器Ｗのフランジ部７に対して鉛直方向Ｚの下方に位置して、フランジ支持部８と対向している。従って、フランジ部７には、第２開口部５２が対向している。図７及び図９に示すように、第１開口部５１の第１開口幅Ｙ１は、フランジ支持部８の支持部幅Ｄ１よりも長く（Ｙ１＞Ｄ１）、第２開口部５２の第２開口幅Ｙ２は、フランジ部７のフランジ幅Ｄ２よりも長い（Ｙ２＞Ｄ２）。従って、規制部４と容器Ｗとが接触することなく、フォーク５は、第１方向Ｘに沿って容器Ｗの方向（Ｘｆ）に突出することができる。
ところで、図６から明らかなように、フォーク５は、棚板９よりも下方設定距離だけ下方となる状態で容器Ｗに正対した場合に、フランジ部７が第２開口部５２に対向する必要がある。従って、第２開口部５２の高さ（第２開口高さＨ２）は、下方設定距離に応じて規定されていると好適である。例えば、フォーク５の停止位置の誤差等を考慮して、フォークピン高さ３ｈ及び第１開口高さＨ１及びフランジ厚７ｈの内、何れか大きいものの２〜４倍程度とすると好適である。
フォーク５を突出させた後、フォーク５を鉛直方向に上昇させると、載置部３の天面３１と容器Ｗの底面６１とが接触し、容器Ｗが載置部３に載置支持される。図８及び図９は、棚板９とフォーク５の双方に容器Ｗの荷重が掛かっている状態を例示している。図８に示すように、容器Ｗの底面凹部６２は、同時に棚板側位置決めピン９ｐとフォーク側位置決めピン３ｐとの双方が係合可能な大きさ及び形状を有して形成されている。棚板側位置決めピン９ｐのピン高さ“９ｈ”とフォーク側位置決めピン３ｐのピン高さ“３ｈ”とは、ほぼ同じである。また、底面凹部６２は、上方ほど細い先細り形状に形成されており、底面凹部６２の内面は傾斜面となっている。従って、フォーク５と容器Ｗの位置が水平方向にずれている場合でも、フォーク側位置決めピン３ｐが底面凹部６２の内面によって案内され、容器Ｗは適正な位置で載置部３に載置支持される。
図８の状態から、さらにフォーク５を上昇させると、容器Ｗは棚板９から離れ、フォーク５によって掬い取られた状態となる（図示は省略する）。この際、フォーク５を上昇させる距離も上方設定距離として予め規定されている。この上方設定距離は、収納部１０１の鉛直方向Ｚにおける間隔に応じて、上の棚板９に容器Ｗやフォーク５が接触しないような範囲で設定されると好適である。容器Ｗを掬い取ったフォーク５は、マスト１３の側へ引退する。スタッカークレーン１は、搬送先へ容器Ｗを搬送し、上記とは逆の手順により容器Ｗを積み降ろす。積み降ろしの手順は、当業者であれば容易に理解可能であるので、詳細な説明は省略する。
図８及び図９に示すように、容器Ｗがフォーク５の載置部３に載置支持された支持状態では、フランジ部７の前方側端面７ｆと、規制部４の前方規制部対４３ｐとが対向し、第１方向Ｘに沿った方向に見て重複する。従って、支持状態においてフォーク５に衝撃等が生じても、容器Ｗが予め規定された移動距離以上、少なくとも前方側Ｆへ移動することが規制される。この移動距離は、通常の搬送時などに生じる揺れ等による容器Ｗの移動量よりも大きく、フォーク側位置決めピン３ｐと底面凹部６２との係合が解除される移動量未満であると好適である。例えば、規制対象の移動距離は、フォーク側位置決めピン３ｐの半径以上、底面凹部６２の底面６１における前後方向Ｌに沿った長さの１／２未満の長さ等、に設定することができる。
図１０は、フォーク５に容器Ｗを載置支持している際に、急停止による衝撃等が生じて、載置部３の上で容器Ｗが振動し、容器Ｗの後方側Ｒが浮き上がって、容器Ｗが前方側Ｆに傾倒した状態を例示している。図１０に示すように、容器Ｗが前傾しても、前方規制部対４３ｐによって容器Ｗが前方側Ｆへ移動することが規制される。また、前方規制部対４３ｐの上方側の端部から水平方向に折り返す小庇部３４ａにより、フランジ部７が第２開口部５２へと飛び出すことも抑制されている。従って、フォーク５に衝撃が生じた場合でも、容器Ｗがフォーク５から落下するようなことが抑制される。また、本実施形態では、規制部４が庇部４２を有しており、容器Ｗが全体的に鉛直方向Ｚに沿って跳ね上がっても、フランジ部７の上面と庇部４２の下面とが接触することによって、容器Ｗの動きが規制される。
ところで、このような容器Ｗの重心は、第１方向Ｘに沿った方向における容器Ｗの中央位置にあるとは限らず、中央位置からずれていることが多い。つまり、重心は、当該中央位置に対して、前方側Ｆ或いは後方側Ｒに位置していることが多い。このような場合には、フォーク５に衝撃が加わった場合に、容器Ｗが振動し易くなる。しかし、本実施形態のように、規制部４を有することで、容器Ｗの移動が規制され、フォーク５からの落下等が適切に抑制される。
〔その他の実施形態〕
以下、その他の実施形態について説明する。尚、以下に説明する各実施形態の構成は、それぞれ単独で適用されるものに限られず、矛盾が生じない限り、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
（１）上記においては、本図３に示すように、幅方向Ｄの長さがフランジ幅Ｄ２よりも長い容器本体部６を有し、容器本体部６とフランジ部７との間に、幅方向Ｄの長さがフランジ幅Ｄ２よりも短いフランジ支持部８を有する容器Ｗを例示した。つまり、容器Ｗが前後方向Ｌに沿った方向に見て、アルファベットの“Ｈ”を寝かせたような形状である形態を例示した。しかし、例えば容器本体部６の幅方向Ｄの長さがフランジ幅Ｄ２よりも短い形状であってもよい。つまり、容器Ｗが前後方向Ｌに沿った方向に見て、アルファベットの“Ｔ”のような形状であってもよい。即ち、容器Ｗは、前後方向Ｌに沿った方向に見て、フランジ部７よりも下方に、幅方向Ｄの長さがフランジ幅Ｄ２よりも短い部位を有していればよい。
（２）上記においては、物品搬送装置による搬送対象の容器Ｗとしてレチクルポッドを例示した。しかし、容器Ｗは、複数枚の半導体ウェハを収納するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）であってもよい。尚、当然ながら、搬送対象となる物品は、物を収容する容器に限定されるものではない。
（３）上記においては、規制部４が周壁部４１を有し、周壁部４１から延伸して前方規制部対４３ｐが形成される形態を例示した。しかし、そのような周壁部４１を備えることなく、前方規制部対４３ｐのみが設けられていてもよい。例えば、基部２に固定された枠体の先端部に前方規制部対４３ｐが設けられていてもよい。
（４）上記においては、物品搬送装置としてスタッカークレーン１を例示したが、物品を載置支持して鉛直方向に物品を搬送する装置であれば、他の機構による搬送装置であってもよい。
１ ：スタッカークレーン（物品搬送装置）
３ ：載置部
４ ：規制部
５ ：フォーク（物品支持部）
７ ：フランジ部
７ｆ ：前方側端面
７ｈ ：フランジ厚
８ ：フランジ支持部
４１ ：周壁部
４２ ：庇部
４３ｐ ：前方規制部対
５０ ：周壁開口部
５１ ：第１開口部
５２ ：第２開口部
Ｄ ：幅方向
Ｄ１ ：支持部幅
Ｄ２ ：フランジ幅
Ｆ ：前方側
Ｈ２ ：第２開口高さ
Ｌ ：前後方向
Ｒ ：後方側
Ｔ１ ：固定端
Ｔ２ ：開放端
Ｖ ：上下方向
Ｗ ：容器（物品）
Ｘ ：第１方向
Ｙ ：第２方向
Ｙ１ ：第１開口幅
Ｙ２ ：第２開口幅
Ｚ ：鉛直方向

Claims (6)

  1. 水平面に沿った第１方向の一端側が基部に固定された固定端であり、前記第１方向の他端側が開放端である板状の載置部に物品を載置して支持する物品支持部を備え、前記物品支持部により前記物品を支持した支持状態で少なくとも鉛直方向に移動して前記物品を搬送する物品搬送装置であって、
    水平面に沿うと共に前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、
    前記支持状態における前記物品の前記第１方向に沿う方向を、前記物品の前後方向とし、前記支持状態における前記物品の前記第２方向に沿う方向を、前記物品の幅方向とし、
    前記支持状態における前記物品の前記開放端の側を、前記前後方向における前記物品の前方側とし、前記支持状態における前記物品の前記固定端の側を、前記前後方向における前記物品の後方側とし、前記支持状態における前記物品の鉛直方向に沿う方向を前記物品の上下方向とし、
    前記物品は、前記上下方向における上方側に、水平面に沿って広がる板状のフランジ部を有し、
    前記物品支持部は、前記支持状態で前記フランジ部の前方側端面に対向するように設けられて、前記支持状態において前記物品が予め規定された移動距離以上、少なくとも前記前方側へ移動することを規制する規制部をさらに備え、
    前記規制部は、前記第２方向において間隙を有して配置された一対の前方規制部対を備えて、前記基部に固定されている、物品搬送装置。
  2. 前記物品は、前記上下方向において前記フランジ部よりも下方に、前記フランジ部を固定支持するフランジ支持部を有し、
    前記フランジ支持部の前記幅方向における長さである支持部幅は、前記フランジ部の前記幅方向における長さであるフランジ幅よりも短く、
    前記第２方向における前記前方規制部対の間の前記間隙は、前記支持部幅よりも長く設定されている、請求項１に記載の物品搬送装置。
  3. 前記規制部は、前記支持状態において前記フランジ部の端面を囲う周壁部を備え、
    前記周壁部は、前記前方側端面に対向する位置に周壁開口部を有し、
    前記前方規制部対は、前記第１方向において前記前方側端面に対向すると共に、前記第２方向において前記周壁開口部を挟んで対向するように、前記周壁部に形成されている、請求項１又は２に記載の物品搬送装置。
  4. 前記規制部は、前記周壁部の上方側の端部から水平方向に屈曲した庇部を備える、請求項３に記載の物品搬送装置。
  5. 前記前方規制部対は、前記周壁部において下方に位置する部分に設けられ、
    前記周壁開口部は、前記第２方向における開口幅が、前記前方規制部対によって制限された第１開口幅である第１開口部と、前記第１開口部よりも上方に位置し、前記第２方向における開口幅が、前記前方規制部対によって制限されていない第２開口幅である第２開口部と、を有し、
    前記第２開口部は、前記第２開口幅が前記フランジ部の前記幅方向における長さであるフランジ幅よりも長く、鉛直方向における開口高さが、前記フランジ部の前記上下方向の厚みよりも長く形成されている、請求項４に記載の物品搬送装置。
  6. 前記物品の重心は、前記第１方向に沿った方向における前記物品の中央位置に対して、前記前方側、或いは後方側に位置している、請求項１から５の何れか一項に記載の物品搬送装置。
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