JP7003945B2 - 移載装置及びスタッカクレーン - Google Patents

Description

本発明は、移載装置及びスタッカクレーンに関する。

例えば特許文献１には、搬送物を載置する載置部を進退させて搬送物を移載する移載装置（ロボット）を備えたスタッカクレーンが記載されている。特許文献１に記載されたスタッカクレーンは、載置部から搬送物が落下するのを防止するために、載置部に載置された搬送物を上方から押さえる押圧支持手段を備えている。

特許第４８２６９４１号公報

上述したような技術では、高速で搬送物を搬送すると、載置部上の搬送物が水平方向において傾いたり振動が基準内に収まり難くなったりする場合がある。よって、例えば搬送物が傾かない速度まで搬送速度を下げる必要があり、高速で搬送物を搬送する場合であっても、載置部上の搬送物の水平方向における姿勢を安定させることが望まれる。

本発明の目的は、高速で搬送物を搬送する場合であっても、載置部上の搬送物の水平方向における姿勢を安定させることが可能な移載装置及びスタッカクレーンを提供することにある。

本発明に係る移載装置は、搬送物を載置する載置部を進退させて搬送物を移載する移載装置であって、載置部に載置された搬送物を水平方向において把持する把持部を備える。

この移載装置では、載置部に載置された搬送物が把持部により水平方向において把持される。よって、高速で搬送物を搬送する場合であっても、載置部上の搬送物の水平方向における姿勢を安定させることが可能となる。また、所定値以上の摩擦力で搬送物を把持することにより、水平方向のみではなく、垂直方向においても搬送物の姿勢を安定させることができ、載置部から搬送物が落下することも防止することができる。

本発明に係る移載装置では、把持部は、搬送物を把持しない開状態と搬送物を把持する閉状態との間で開閉可能に構成され、載置部の進退と把持部の開閉とを連動させる連動機構を更に備えていてもよい。この構成では、把持部の開閉動作の時間がアイドルタイムとなることがなく、搬送物の移載に要される時間（いわゆるサイクルタイム）に当該開閉動作が与える影響を抑制することができる。

本発明に係る移載装置では、連動機構は、載置部の進退に応じて回転するように構成されたカムと、カムに接触して水平方向に沿って従動するフォロワと、フォロワを把持部に連結する連結部と、を含んでいてもよい。この構成では、連動機構による連動を効率的に実現することができる。

本発明に係る移載装置では、カムは、載置部が一定距離以上進出した場合に把持部が一定の開き幅となるカム形状を有していてもよい。この構成では、載置部の進出の際、把持部が一定の開き幅よりも開き過ぎないため、移載先（例えばストッカの収納棚等）において搬送物の周囲にクリアランスが少ない場合にも対応することが可能となる。

本発明に係る移載装置では、搬送物は、把持部の把持方向としての水平方向において最大幅よりも狭い幅を有する狭幅部を含み、把持部は、搬送物の狭幅部を把持してもよい。この構成では、搬送物を把持している状態における把持部の当該把持方向の幅を小さくすることができる。そのため、移載先において搬送物の周囲にクリアランスが少ない場合にも対応することが可能となる。

本発明に係る移載装置は、載置部上に立設され、搬送物を支持する複数の位置決めピンを更に備えていてもよい。このような複数の位置決めピンを備える場合に、例えば載置部に載置された搬送物を上方から押さえると、搬送物の浮き（複数の位置決めピンの何れかを支点にして搬送物が傾くこと）が生じ得る。この点、把持部は、載置部上の搬送物を水平方向において把持することから、複数の位置決めピンを備えている場合でも、搬送物の浮きが生じること回避することができる。

本発明に係るスタッカクレーンは、上記移載装置と、移載装置を旋回させる旋回部と、移載装置を昇降させる昇降部と、を備える。

このスタッカクレーンにおいても、上記移載装置を備えることから、上記効果、すなわち、高速で搬送物を搬送する（特に旋回させる）場合であっても、載置部上の搬送物の水平方向における姿勢を安定させるという効果を奏する。

本発明によれば、高速で搬送物を搬送する場合であっても、載置部上の搬送物の水平方向における姿勢を安定させることが可能となる。

一実施形態に係るスタッカクレーンを備えたストッカを示す断面図である。 図１の移載装置において把持部が閉状態の場合を示す斜視図である。 図１の移載装置のハンド及びアーム部を示す平面図である。 図１の移載装置のハンド及びアーム部を示す正面図である。 図１の移載装置の連動機構を拡大して示す平面図である。 （ａ）は、図１の移載装置においてハンドが原点に位置する場合のハンド及び把持部を示す平面図である。（ｂ）は、図１の移載装置においてハンドが図６（ａ）の位置から所定距離進出した場合のハンド及び把持部を示す平面図である。 （ａ）は、図１の移載装置においてハンドが第２原点に位置する場合のハンド及び把持部を示す平面図である。（ｂ）は、図１の移載装置においてハンドが図７（ａ）の位置から所定距離進出した場合のハンド及び把持部を示す平面図である。 （ａ）は、図１の移載装置においてハンドが図８（ｂ）の位置から所定距離進出した場合のハンド及び把持部を示す平面図である。（ｂ）は、図１の移載装置においてハンドが移載点に位置する場合のハンド及び把持部を示す平面図である。 図１の移載装置において把持部が開状態の場合を示す斜視図である。

以下、図面を参照して、本発明の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

一実施形態に係るスタッカクレーンを備えたストッカについて説明する。図１に示されるように、ストッカ１は、半導体ウエハ及びガラス基板等の被格納物が格納されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の格納容器（搬送物）９０を保管する保管庫としての機能を有している。ストッカ１は、例えば、クリーンルームに設けられる。ストッカ１は、本体部３、ラック４、スタッカクレーン７、及び、コントローラ８０を主に備えている。

本体部３は、ストッカ１の内部空間Ａを画成する部分であり、複数のパーティションにより形成されている。ラック４は、格納容器９０を載置する部分であり、通常、１～２列（ここでは、２列）設けられている。各ラック４は、Ｘ方向（幅方向）に延在しており、隣り合う２つのラック４，４が対向するように略平行に配置されている。

各ラック４は、格納容器９０を載置して保管する収納棚５０を有している。収納棚５０は、Ｘ方向及びＺ方向（鉛直方向）に沿って配列されている。なお、以下においては、スタッカクレーン７から見て収納棚５０が配置される側を前側、その反対側を後側とし、前側への動を進出、後側への移動を退出として説明する。

スタッカクレーン７は、格納容器９０を収納棚５０に対して出し入れすると共に、収納棚５０間を移動させる機構である。スタッカクレーン７は、対向するラック４，４に挟まれた領域に配置されている。スタッカクレーン７は、ラック４の延在方向（Ｘ方向）に沿って、床面に配置された軌道（図示せず）を走行することにより、ラック４に沿ってＸ方向に移動することができる。

スタッカクレーン７は、走行部７１と、昇降部７４と、旋回部７５と、移載装置１００と、を備える。走行部７１は、モータ等の走行駆動部によって軌道をＸ方向に走行可能に設けられている。昇降部７４は、移載装置１００を昇降させる。昇降部７４は、支持柱７２及び荷台７３を含む。支持柱７２は、走行部７１の上部に設けられ、鉛直方向に延在する部材である。荷台７３には、移載装置１００が旋回部７５を介して搭載されている。荷台７３は、モータ等の昇降駆動部によって、支持柱７２に沿って昇降可能に設けられている。

旋回部７５は、移載装置１００を旋回させる。旋回部７５には、移載装置１００が搭載されている。旋回部７５は、当該移載装置１００をＺ方向に沿う軸回り回転方向に回転させる。なお、走行部７１、昇降部７４及び旋回部７５の構成、機構ないし配置については、特に限定されない。走行部７１、昇降部７４及び旋回部７５としては、公知の種々の機構ないし装置を採用することができる。

コントローラ８０（図１参照）は、スタッカクレーン７における各部を制御する。コントローラ８０は、例えば、本体部３の内部に配置される。コントローラ８０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read Only Memory）等を有している。コントローラ８０では、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のハードウェアと、プログラム等のソフトウェアとが協働することによって、各種制御を実行する。

次に、移載装置１００について詳細に説明する。

図２及び図３に示されるように、移載装置１００は、ハンド（載置部）１１０、アーム部１２０、把持部１３０、及び連動機構１４０を備える。移載装置１００は、ハンド１１０を進退（進出及び退出）させて格納容器９０を移載する。

格納容器９０は、容器本体９１及び作業者により搬送する際に使用するグリップ９２を有する。グリップ９２は、容器本体９１においてＸ方向に対向する側面９１ａにそれぞれ設けられている。グリップ９２は、Ｘ方向に突出する凸部を構成する。このような格納容器９０では、一方及び他方のグリップ９２を含む幅がＸ方向の最大幅Ｌ２であり、容器本体９１が有するＸ方向の幅Ｌ１は、当該最大幅よりも狭い。つまり、容器本体９１は、狭幅部に対応する。幅Ｌ１は、一方の側面９１ａから他方の側面９１ａまでの距離に相当する。

ハンド１１０は、格納容器９０が載置される部材である。ハンド１１０は、Ｙ方向に長尺状でＺ方向を厚さ方向とする板状部材である。ハンド１１０は、複数の位置決めピンＰを有する。位置決めピンＰは、ハンド１１０上に立設され、格納容器９０を支持する。図示する例では、位置決めピンＰは、ハンド１１０の上面において一直線上にない３点に設けられている。

図３及び図４に示されるように、アーム部１２０は、ハンド１１０を進退させるアーム式の駆動装置である。アーム部１２０は、アームベース１２１、第１アーム１２２、第２アーム１２３、旋回モータ１２４及び伸縮モータ１２５を有する。第１アーム１２２の一端部は、アームベース１２１に対して、Ｚ方向に沿う軸回りに旋回自在（揺動自在）に連結されている。第２アーム１２３の一端部は、第１アーム１２２の他端部に対して、Ｚ方向に沿う軸回りに旋回自在に連結されている。ハンド１１０の後端部は、第２アーム１２３の他端部に対して、Ｚ方向に沿う軸回りに旋回自在に連結されている。

アーム部１２０では、プーリＰ１がシャフトＳ１に固定され、シャフトＳ１が第１アーム１２２に締結されている。旋回モータ１２４によってベルトＢ１を介してプーリＰ１に駆動力を与えることで、第１アーム１２２の旋回動作を実現することができる。また、アーム部１２０では、プーリＰ２がシャフトＳ２に固定され、シャフトＳ２にプーリＰ３が固定されている。プーリＰ３がベルトＢ２を介してプーリＰ４に連結され、プーリＰ４がシャフトＳ４に固定され、シャフトＳ４が第２アーム１２３に締結されている。プーリＰ５がシャフトＳ５に固定され、シャフトＳ５が第１アーム１２２に締結されている。プーリＰ５がベルトＢ３を介してプーリＰ６に連結され、プーリＰ６がシャフトＳ６に固定され、シャフトＳ６がハンド１１０に締結されている。伸縮モータ１２５によってプーリＰ０及びベルトＢ４を介してプーリＰ２に駆動力を与えることで、第２アーム１２３及びハンド１１０の旋回動作を実現することができる。

このようなアーム部１２０では、旋回モータ１２４及び伸縮モータ１２５を協働させることで、ハンド１１０をＹ方向に直線的に動作、すなわち、ハンド１１０を進退させる。なお、旋回モータ１２４及び伸縮モータ１２５は、減速機及びプーリを更に含んでいてもよい。旋回モータ１２４及び伸縮モータ１２５としては、特に限定されず、種々の公知の伸縮モータ及び旋回モータを用いることができる。

図２に戻り、把持部１３０は、ハンド１１０に載置された格納容器９０をＸ方向（水平方向）において把持する。具体的には、把持部１３０は、ハンド１１０に載置された格納容器９０の容器本体９１を把持する。把持部１３０は、格納容器９０を把持しない開状態と格納容器９０を把持する閉状態との間で開閉可能に構成されている。

把持部１３０は、ハンド１１０に設けられている。把持部１３０は、一対のクランプ１３１及び一対のスプリング（弾性部材）１３２を有する。一対のクランプ１３１は、格納容器９０を挟持する部材である。クランプ１３１は、上方から見て先端部が屈折するＬ字状の板状を呈する。クランプ１３１の先端部には、格納容器９０の容器本体９１の側面９１ａに当接する当接部１３１ａが設けられている。クランプ１３１は、ハンド１１０上の支持フレーム１１２に対して、Ｘ方向に移動可能に支持されている。一対のクランプ１３１は、それぞれの当接部１３１ａが対向する向きで配置されている。

一対のスプリング１３２のそれぞれは、一対のクランプ１３１のそれぞれに対して、格納容器９０を挟持する方向に一定の弾性力を加える。スプリング１３２の一端は、支持フレーム１１２に連結されている。スプリング１３２の他端は、クランプ１３１の基端側に連結されている。スプリング１３２は、例えば圧縮された状態で配置され、クランプ１３１をＸ方向に付勢する。

図２及び図５に示されるように、連動機構１４０は、ハンド１１０の進退と把持部１３０の開閉とを連動させる機構である。連動機構１４０は、カム１４１、フォロワ１４２、連結部１４３、大歯車１４４及び小歯車１４５を含む。

カム１４１は、ハンド１１０上において、Ｚ方向に沿う中心軸回りに回転可能に支持されている。カム１４１は、ハンド１１０の進退に応じて回転するように構成されている。ここでのカム１４１は、大歯車１４４及び小歯車１４５により、ハンド１１０と第２アーム１２３との間の角度α（以下、単に「角度α」という：図６参照）の変化に伴って回転するように構成されている（詳しくは後述）。角度αは、Ｚ方向から見て、ハンド１１０の長手方向（中心線）と第２アーム１２３の長手方向（中心線）とが成す角度である。換言すると、角度αは、第２アーム１２３に対するハンド１１０のＺ方向に沿う軸回りの相対的な角度である。

フォロワ１４２は、カム１４１に接触してＸ方向に沿って従動する。フォロワ１４２は、Ｚ方向に沿う中心軸回りに回転可能なローラである。フォロワ１４２は、Ｘ方向にカム１４１を挟むように一対配置されている。フォロワ１４２は、カム１４１の側面としてのカム面１４１ａに接触し、カム１４１の回転に伴ってＸ方向に従動する。連結部１４３は、一対のフォロワ１４２のそれぞれを一対のクランプ１３１のそれぞれに連結する。図示する例では、連結部１４３は、フォロワ１４２をクランプ１３１の基端部に連結する。このような構成によれば、フォロワ１４２のＸ方向における従動に同期してクランプ１３１がＸ方向に移動し、把持部１３０が開閉する。

大歯車１４４は、第２アーム１２３に固定されている。大歯車１４４は、ハンド１１０を第２アーム１２３に対して旋回自在に連結する軸と同軸になるようにして、ブラケット１４８を介して第２アーム１２３に支持されている。小歯車１４５は、大歯車１４４に噛み合って回転する。小歯車１４５は、ハンド１１０上において、カム１４１の中心軸と同軸になるようにして当該カム１４１に連結されている。小歯車１４５は、カム１４１と一体的に中心軸回りに回転可能に支持されている。このような構成によれば、ハンド１１０が進退するに伴って角度αが変化すると、大歯車１４４に噛み合う小歯車１４５が回転し、それに伴ってカム１４１が回転する。

図５に示されるように、カム１４１は、ハンド１１０が一定距離以上進出した場合に把持部１３０が一定の開時開き幅（一定の開き幅）となるカム形状を有する。具体的には、カム１４１のカム面１４１ａは、Ｚ方向から見て直径が第１径の第１円形領域と、Ｚ方向から見て直径が第１径よりも大きい第２径の第２円形領域と、Ｚ方向から見て第１円形領域と第２円形領域とを繋ぐようにこれらに滑らかに連続する連続領域と、を有する。

第１円形領域は、例えばハンド１１０が第２原点よりも後側に退出している場合にフォロワ１４２が接触する領域であって、把持部１３０を閉状態とさせ、把持部１３０を一定の閉時開き幅とする領域である。第２円形領域は、例えばハンド１１０が一定距離以上進出（ここでは、第２原点の前側で且つ移載点の後側の位置よりも進出）している場合にフォロワ１４２が接触する領域であって、把持部１３０を開状態とさせ、把持部１３０を一定の開時開き幅とする領域である。連続領域は、把持部１３０を開閉させ、把持部１３０の開き幅を閉時開き幅と開時開き幅との間で変化させる領域である。

第２原点は、ハンド１１０に格納容器９０が載置されていないときのハンド１１０の基準位置である。移載点は、ハンド１１０から収納棚５０へ格納容器９０を降ろす又は収納棚５０からハンド１１０へ格納容器９０を積むときのハンド１１０の基準位置である。後述する第１原点は、ハンド１１０に格納容器９０が載置されているときのハンド１１０の基準位置である。

次に、把持部１３０の開閉動作について説明する。以下の説明においては、ハンド１１０上の格納容器９０を収納棚５０上へ移載する際に、ハンド１１０を第１原点の位置から第２原点の位置を通り移載点の位置まで進出させる場合を例示する。

図６（ａ）に示されるように、ハンド１１０が第１原点の位置に位置している場合、フォロワ１４２がカム面１４１ａの第１円形領域に接触しており、フォロワ１４２が最もカム１４１側の位置（下死点）に位置する。一対のクランプ１３１はＸ方向に互いに最も接近した位置関係にあり、把持部１３０は閉状態であり、把持部１３０の開き幅は閉時開き幅Ｈ０である。格納容器９０は、一対のクランプ１３１によりＸ方向に挟持される。

図６（ｂ）に示されるように、ハンド１１０が所定距離進出すると、角度αが大きくなり、それに伴ってカム１４１が回転する。カム１４１が回転するが、フォロワ１４２はカム面１４１ａの第１円形領域に引き続き接触し、フォロワ１４２は移動せずに下死点に引き続き位置する。把持部１３０は閉状態を維持し、引き続き把持部１３０の開き幅は閉時開き幅Ｈ０である。格納容器９０は、引き続き一対のクランプ１３１によりＸ方向に挟持される。

図７（ａ）に示されるように、ハンド１１０が第２原点の位置まで更に進出すると、角度αが更に大きくなり、それに伴ってカム１４１が更に回転する。フォロワ１４２はカム面１４１ａの連続領域に接触することになり、フォロワ１４２はカム１４１から離れる側へ移動する。一対のクランプ１３１はＸ方向に互いに離れるように移動し、把持部１３０は閉状態から開状態へ遷移する。把持部１３０の開き幅は、閉時開き幅Ｈ０よりも大きい第１遷移時開き幅Ｈ１となる。

図７（ｂ）に示されるように、ハンド１１０が更に所定距離進出すると、角度αが更に大きくなり、それに伴ってカム１４１が更に回転する。フォロワ１４２はカム面１４１ａの連続領域に引き続き接触し、フォロワ１４２はカム１４１から離れる側へ引き続き移動する。一対のクランプ１３１はＸ方向に互いに離れるように引き続き移動する。把持部１３０の開き幅は、第１遷移時開き幅Ｈ１よりも大きい第２遷移時開き幅Ｈ２となる。

図８（ａ）に示されるように、ハンド１１０が更に所定距離進出すると、角度αが更に大きくなり、それに伴ってカム１４１が更に回転する。フォロワ１４２はカム面１４１ａの第２円形領域に接触することになり、フォロワ１４２は最もカム１４１から離れる側の位置（上死点）に位置する。一対のクランプ１３１はＸ方向に互いに最も離れた位置関係となり、把持部１３０は開状態となり、把持部１３０の開き幅は開時開き幅Ｈ３となる。格納容器９０は一対のクランプ１３１によりＸ方向に挟持されず、格納容器９０とクランプ１３１の当接部１３１ａとの間には隙間が形成される。

図８（ｂ）及び図９に示されるように、ハンド１１０が移載点の位置まで更に進出すると、角度αが更に大きくなり、それに伴ってカム１４１が更に回転する。カム１４１が更に回転するが、フォロワ１４２はカム面１４１ａの第２円形領域に引き続き接触し、フォロワ１４２は移動せずに上死点に引き続き位置する。一対のクランプ１３１はＸ方向にそれ以上離れず、把持部１３０は開状態を維持し、引き続き把持部１３０の開き幅は開時開き幅Ｈ３となる。以上、ハンド１１０を進出させる進出動作を説明したが、ハンド１１０を移載点の位置から第１原点の位置まで退出させる場合の退出動作は、当該進出動作と逆に進展する。

以上、移載装置１００では、ハンド１１０に載置された格納容器９０が把持部１３０によりＸ方向において把持される。よって、高速で格納容器９０を搬送する場合であっても、ハンド１１０上の格納容器９０のＸ方向における姿勢を安定させることが可能となる。また、ハンド１１０上での格納容器９０の転倒を防止することができる。さらには、ハンド１１０上での格納容器９０の振動を基準内に収めることができる。また、所定値以上の摩擦力で格納容器９０を把持することにより、Ｘ方向のみではなく、Ｚ方向においても格納容器９０の姿勢を安定させることができ、ハンド１１０から格納容器９０が落下することも防止することができる。

なお、格納容器９０の移載に要される時間（いわゆるサイクルタイム）の短縮が要求されており、この場合、移載装置１００ひいてはハンド１１０の速度及び加減速度がサイクルタイムの短縮に伴って増加するため、ハンド１１０上の格納容器９０が不安定になりやすい。よってこの場合には、ハンド１１０上の格納容器９０の姿勢を安定させる移載装置１００は、特に有効である。

移載装置１００では、把持部１３０は、開状態と閉状態との間で開閉可能に構成されている。移載装置１００は、ハンド１１０の進退と把持部１３０の開閉とを連動させる連動機構１４０を備える。この構成では、把持部１３０の開閉動作の時間がアイドルタイムとなることがなく、サイクルタイムに当該開閉動作が与える影響を抑制することができる。別途のモータで把持部１３０を駆動する場合に比べて、動作時間が余分に発生することなく、サイクルタイムが長くなることを抑制することが可能となる。

移載装置１００では、連動機構１４０は、ハンド１１０の進退に応じて回転するように構成されたカム１４１と、カム１４１に接触してＸ方向に沿って従動するフォロワ１４２と、フォロワ１４２を把持部１３０に連結する連結部１４３と、を含む。この構成では、連動機構１４０によるハンド１１０の進退と把持部１３０の開閉との連動を、効率的に実現することができる。

移載装置１００では、カム１４１は、ハンド１１０が一定距離以上進出した場合に把持部１３０が一定の開時開き幅Ｈ３となるカム形状を有する。この構成では、ハンド１１０の進出の際、把持部１３０が開時開き幅Ｈ３よりも開き過ぎないため、収納棚５０において格納容器９０の周囲にクリアランスが少ない場合にも対応することが可能となる。

移載装置１００では、格納容器９０は、Ｘ方向において最大幅Ｌ２よりも狭い幅Ｌ１を有する容器本体９１を含む。把持部１３０は、格納容器９０の容器本体９１を把持する。この構成では、格納容器９０を把持部１３０で把持している状態において、把持部１３０の把持方向としてのＸ方向の幅を小さくすることができる。そのため、収納棚５０において格納容器９０の周囲にクリアランスが少ない場合にも対応することが可能となる。

移載装置１００は、ハンド１１０上に立設された位置決めピンＰを更に備える。複数の位置決めピンＰを備えている場合、例えばハンド１１０に載置された格納容器９０を上方から押さえると、格納容器９０の浮き（複数の位置決めピンＰの何れかを支点にして格納容器９０が傾くこと）が生じ得る。この点、把持部１３０は、ハンド１１０上の格納容器９０をＸ方向において把持するため、複数の位置決めピンＰを備えている場合でも、格納容器９０の浮きが生じること回避することができる。また、位置決めピンＰによって、格納容器９０を位置決めすることができる。

スタッカクレーン７は、移載装置１００、昇降部７４及び旋回部７５を備える。スタッカクレーン７においても、移載装置１００を備えることから、上記効果、すなわち、高速で格納容器９０を搬送する（特に旋回させる）場合であっても、ハンド１１０上の格納容器９０のＸ方向における姿勢を安定させるという効果を奏する。また、旋回部７５による旋回時、及び、昇降部７４による昇降時においても、格納容器９０の姿勢を安定させることができる。

移載装置１００では、スプリング１３２が設けられており、格納容器９０を挟持する方向において一定の弾性力がクランプ１３１に作用される。これにより、格納容器９０の保持力をスプリング１３２で管理し、常に一定以上の力で格納容器９０を保持することが可能となる。

以上、一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態では、上述のスタッカクレーン７とは異なる構成のスタッカクレーンに移載装置１００を適用してもよい。移載装置１００は、水平方向又は上下方向の何れかの方向にのみ移動可能な搬送装置、或いは、床面上ではなく天井付近に敷設された軌道に沿って水平方向に移動可能な搬送装置等にも適用可能である。

上記実施形態では、搬送物の例としてＦＯＵＰのような格納容器９０を例に挙げて説明したが、レチクルを格納するレチクルポッドであってもよい。また、段ボール、通函等の搬送物であってもよい。

７…スタッカクレーン、７５…旋回部、７４…昇降部、９０…格納容器（搬送物）、９１…容器本体（狭幅部）、１００…移載装置、１１０…ハンド（載置部）、１３０…把持部、１４０…連動機構、１４１…カム、１４２…フォロワ、１４３…連結部、Ｐ…位置決めピン。

Claims (5)

1. 搬送物を載置する載置部を進退させて搬送物を移載する移載装置であって、
   前記載置部に載置された前記搬送物を水平方向において把持し、前記搬送物を把持しない開状態と前記搬送物を把持する閉状態との間で開閉可能に構成された把持部と、
   前記載置部の進退と前記把持部の開閉とを連動させる連動機構と、
   前記載置部を進退させるアーム式の駆動装置であり、アームベース、第１アーム及び第２アームを有するアーム部と、を備え、
   前記アーム部では、前記第１アームの一端部が前記アームベースに対して鉛直方向に沿う軸回りに旋回自在に連結され、前記第２アームの一端部が前記第１アームの他端部に対して鉛直方向に沿う軸回りに旋回自在に連結され、前記載置部の後端部が前記第２アームの他端部に対して鉛直方向に沿う軸回りに旋回自在に連結され、
   前記連動機構は、
   前記載置部の進退に応じて回転するように構成されたカムと、
   前記カムに接触して水平方向に沿って従動するフォロワと、
   前記フォロワを前記把持部に連結する連結部と、
   前記第２アームにおいて前記載置部を前記第２アームに対して旋回自在に連結する軸から離れて設けられたブラケットを介して、当該軸と同軸になるようにして前記第２アームに支持された大歯車と、
   前記大歯車と噛み合い、前記載置部上において前記カムの中心軸と同軸になるようにして前記カムに連結され、前記カムと一体的に回転可能に支持された小歯車と、を含む、移載装置。
2. 前記カムは、前記載置部が一定距離以上進出した場合に前記把持部が一定の開き幅となるカム形状を有する、請求項１に記載の移載装置。
3. 前記搬送物は、前記把持部の把持方向としての水平方向において最大幅よりも狭い幅を有する狭幅部を含み、
   前記把持部は、前記搬送物の前記狭幅部を把持する、請求項１又は２に記載の移載装置。
4. 前記載置部上に立設され、前記搬送物を支持する複数の位置決めピンを更に備える、請求項１～３の何れか一項に記載の移載装置。
5. 請求項１～４の何れか一項に記載の移載装置と、
   前記移載装置を旋回させる旋回部と、
   前記移載装置を昇降させる昇降部と、を備える、スタッカクレーン。

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