JP6064940B2 - 物品搬送車 - Google Patents
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Description
本発明は、走行レールに沿って走行する走行体と、前記走行体に備えられて搬送対象の物品の上端部を把持する一対の把持部と、前記一対の把持部を駆動する把持駆動部と、が設けられ、前記一対の把持部及び前記把持駆動部を授受用位置と走行用位置との間で位置切換えする移動操作部が設けられ、前記授受用位置は、前記走行レールから離れた位置に設けられた物品授受箇所に対応する位置として設定され、前記走行用位置は、前記走行体に近接する位置として設定され、前記搬送対象の物品は、側面に形成された開口を開閉自在な蓋体を着脱自在に備えた容器にて構成され、前記走行体は、前記一対の把持部が前記走行用位置に位置する状態で走行し、前記把持駆動部は、前記授受用位置において、前記一対の把持部を、互いに接近して前記容器の上端部を把持する把持位置と、互いに離間した把持解除位置とに切り換えるように構成された物品搬送車に関する。
このような物品搬送車の従来例として、走行体に昇降自在に備えられた昇降体に、一対の把持部が備えられた天井搬送車がある（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１においては、走行レールが天井に架設され、その走行レールの下方に離れた位置に、物品授受箇所が設けられている。天井搬送車は、搬送元の物品授受箇所から、搬送先の物品授受箇所まで物品を搬送する。そして、搬送元の物品授受箇所に位置する容器を受け取る場合は、物品搬送車は次のように動作する。すなわち、搬送元の物品授受箇所に対応する走行位置に走行体を停止させた状態で移動操作部によって昇降体を下降させ、昇降体に備えられた把持部にて授受用位置に位置する容器の上端部を把持し、そのまま一対の把持部を走行用位置まで移動操作部によって上昇させることで、物品授受箇所から容器を受け取る。搬送元の物品授受箇所から容器を受け取った後は、一対の把持部を走行用位置に維持したまま、搬送先の物品授受箇所に対応する走行位置まで走行する。また、搬送先の物品授受箇所に容器を受け渡す場合は、一対の把持部を走行用位置から授受用位置まで移動させ、授受用位置において把持を解除することにより、容器が搬送先の物品授受箇所に渡される。
特許文献１においては、走行レールが天井に架設され、その走行レールの下方に離れた位置に、物品授受箇所が設けられている。天井搬送車は、搬送元の物品授受箇所から、搬送先の物品授受箇所まで物品を搬送する。そして、搬送元の物品授受箇所に位置する容器を受け取る場合は、物品搬送車は次のように動作する。すなわち、搬送元の物品授受箇所に対応する走行位置に走行体を停止させた状態で移動操作部によって昇降体を下降させ、昇降体に備えられた把持部にて授受用位置に位置する容器の上端部を把持し、そのまま一対の把持部を走行用位置まで移動操作部によって上昇させることで、物品授受箇所から容器を受け取る。搬送元の物品授受箇所から容器を受け取った後は、一対の把持部を走行用位置に維持したまま、搬送先の物品授受箇所に対応する走行位置まで走行する。また、搬送先の物品授受箇所に容器を受け渡す場合は、一対の把持部を走行用位置から授受用位置まで移動させ、授受用位置において把持を解除することにより、容器が搬送先の物品授受箇所に渡される。
特許文献１の天井搬送車の一対の把持部は、蓋体により閉じられた容器の開口が位置する側面が平面視で走行体の走行方向と直交する方向を向く姿勢にて容器を把持するようになっている。また、走行体には、容器が走行用位置に位置するときの当該容器の走行方向の前後を覆うカバー部が設けられている。カバー部には、容器の蓋体の外面側において蓋体に近接して蓋体の落下を防止する近接位置と、蓋体から離間して容器の昇降を許容する離間位置と、に切換え自在な蓋落下防止体と、当該蓋落下防止体の位置を上記近接位置と離間位置との間で切換える駆動部が設けられている。
特許文献１の物品搬送車は、物品授受箇所にある容器を受け取る際、昇降体を走行用位置まで上昇させるまでは蓋落下防止体を離間位置に維持し、昇降体を走行用位置まで上昇させた後に蓋落下防止体を近接位置に切り換えるように構成されている。蓋落下防止体をこのようなタイミングで切換えることで、昇降体を上昇させて容器を上方に移動させている間に、昇降体及びそれに支持されている容器が揺れた場合に、蓋落下防止体と容器とが接触することを回避している。
そして、容器が走行用位置に達した後に蓋落下防止体を近接位置に切り換えることによって、その後搬送中に容器から蓋体が外れる向きの蓋体の移動を蓋落下防止体により規制して、蓋体が容器から落下する事態を防止するようになっている。
そして、容器が走行用位置に達した後に蓋落下防止体を近接位置に切り換えることによって、その後搬送中に容器から蓋体が外れる向きの蓋体の移動を蓋落下防止体により規制して、蓋体が容器から落下する事態を防止するようになっている。
しかしながら、特許文献１における蓋落下防止体は、走行体におけるカバー部に取り付けられているため、容器が走行用位置に位置しないとき、すなわち、容器が授受用位置から走行用位置まで上昇する間は、蓋体に蓋落下防止体を作用させることができず、上昇中の容器から蓋体が落下することを防止することができなかった。
特許文献１において、容器が授受用位置から走行用位置まで上昇する間も蓋体の落下を防止するために、走行体に設けられている蓋落下防止体を昇降体に取り付けることも考えられる。しかしながら、特許文献１の蓋落下防止体は、蓋落下防止体の位置を近接位置と離間位置との間で切換えるために駆動用モータが必要となるため、昇降体の大型化や重量の増大を招く虞がある。特に、特許文献１のような天井搬送車における昇降体は、ワイヤ等で吊り下げられるものであるから、昇降体の重量が重くなるとワイヤ等にかかる負荷が大きくなるという問題が生じる。一方、この問題を解決するべく、駆動用モータを走行体に備えたまま、昇降体に蓋落下防止体を備えた構成が考えられるが、この構成の場合、上記駆動用モータの駆動力を伝達しつつ昇降体の昇降を許容しなければならず、構成の複雑化を招くという問題が生じる。
特許文献１において、容器が授受用位置から走行用位置まで上昇する間も蓋体の落下を防止するために、走行体に設けられている蓋落下防止体を昇降体に取り付けることも考えられる。しかしながら、特許文献１の蓋落下防止体は、蓋落下防止体の位置を近接位置と離間位置との間で切換えるために駆動用モータが必要となるため、昇降体の大型化や重量の増大を招く虞がある。特に、特許文献１のような天井搬送車における昇降体は、ワイヤ等で吊り下げられるものであるから、昇降体の重量が重くなるとワイヤ等にかかる負荷が大きくなるという問題が生じる。一方、この問題を解決するべく、駆動用モータを走行体に備えたまま、昇降体に蓋落下防止体を備えた構成が考えられるが、この構成の場合、上記駆動用モータの駆動力を伝達しつつ昇降体の昇降を許容しなければならず、構成の複雑化を招くという問題が生じる。
また、同様の問題は、例えば、物品搬送車を床面上に敷設された走行レールを走行する走行体を備えた物品搬送台車にて構成した場合にも起こり得る。すなわち、走行体に移動操作部としてのスカラアームを設け、一対の把持部及び把持駆動部をスカラーアームの先端に設けた支持部にて支持し、スカラアームによって前記支持部に設けた一対の把持部及び把持駆動部を平面視で走行レールから離れた位置に設けられた物品授受箇所に対応する授受用位置と走行体に近接する走行用位置との間で位置切換えするように構成した場合、容器が授受用位置から走行用位置まで移動する間も蓋体の落下を防止するためには、前記支持部に蓋落下防止体を位置切り換えするための駆動用モータを備えることが考えられる。その結果、上述の天井搬送車の場合と同様に、支持部の大型化や重量の増大を招く虞があり、スカラアームにかかる負荷が大きくなる。一方、駆動用モータを走行体に備えて、支持部に備えた蓋落下防止体に上記駆動用モータの駆動力を伝達する構成とした場合、駆動用モータの駆動力を蓋落下防止体に伝達しつつ支持部の移動を許容しなければならず、構成の複雑化を招くという問題が生じる。
このように、従来の物品搬送車においては、容器の上端を把持した一対の把持部が走行用位置に達した後は蓋体の落下を防止することができるものの、容器の上端を把持した一対の把持部が授受用位置から走行用位置まで移動する間は、蓋体の落下を防止することができないという問題があり、適切な解決手段は提案されていない。
そこで、装置の大型化や構成の複雑化を招くことなく、容器の搬送元から搬送先までの間にわたって蓋体の落下を防止することができる物品搬送車の実現が望まれていた。
そこで、装置の大型化や構成の複雑化を招くことなく、容器の搬送元から搬送先までの間にわたって蓋体の落下を防止することができる物品搬送車の実現が望まれていた。
上記課題を解決するための本発明に係る物品搬送車は、走行レールに沿って走行する走行体と、前記走行体に備えられて搬送対象の物品の上端部を把持する一対の把持部と、前記一対の把持部を駆動する把持駆動部と、が設けられ、前記一対の把持部及び前記把持駆動部を授受用位置と走行用位置との間で位置切換えする移動操作部が設けられ、前記授受用位置は、前記走行レールから離れた位置であり、前記走行用位置は、前記走行体に近接する位置であり、前記搬送対象の物品は、側面に形成された開口を開閉自在な蓋体を着脱自在に備えた容器にて構成され、前記走行体は、前記一対の把持部が前記走行用位置に位置する状態で走行し、前記把持駆動部は、前記授受用位置において、前記一対の把持部を、互いに接近して前記容器の上端部を把持する把持位置と、互いに離間した把持解除位置とに切り換えるように構成されたものであって、
前記蓋体の落下を防止する蓋落下防止体が設けられ、前記蓋落下防止体は、前記蓋体の外面側において前記蓋体に近接して前記蓋体の落下を防止する近接位置と、前記蓋体から離間して前記蓋体の着脱を許容する離間位置と、に切換え自在に構成され、前記一対の把持部が前記把持駆動部により前記把持位置から前記把持解除位置に切換えられるに伴って、前記蓋落下防止体を前記近接位置から前記離間位置に切り換え、かつ、前記一対の把持部が前記把持駆動部により前記把持解除位置から前記把持位置に切換えられるに伴って、前記蓋落下防止体を前記離間位置から前記近接位置に切り換える連動機構が設けられている点に特徴を有する。
前記蓋体の落下を防止する蓋落下防止体が設けられ、前記蓋落下防止体は、前記蓋体の外面側において前記蓋体に近接して前記蓋体の落下を防止する近接位置と、前記蓋体から離間して前記蓋体の着脱を許容する離間位置と、に切換え自在に構成され、前記一対の把持部が前記把持駆動部により前記把持位置から前記把持解除位置に切換えられるに伴って、前記蓋落下防止体を前記近接位置から前記離間位置に切り換え、かつ、前記一対の把持部が前記把持駆動部により前記把持解除位置から前記把持位置に切換えられるに伴って、前記蓋落下防止体を前記離間位置から前記近接位置に切り換える連動機構が設けられている点に特徴を有する。
すなわち、移動操作部の作動により一対の把持部及び把持駆動部を授受用位置に位置させた状態で一対の把持部を把持解除位置から把持位置に切り換えて物品の上端部を把持し、その後、移動操作部の作動により一対の把持部及び把持駆動部の位置を走行用位置に切り換えて、一対の把持部が前記走行用位置に位置する状態で走行体を走行させることにより、物品を異なる複数の物品授受箇所の間で搬送する。
蓋落下防止体は、連動機構によって、一対の把持部が把持解除位置から把持位置に切り換えられるのに連動して、蓋体の外面側において蓋体から離間して蓋体の着脱を許容する離間位置から蓋体に近接して蓋体の落下を防止する近接位置に切換えられる。このため、蓋落下防止体を近接位置と離間位置との間で切換えるための駆動部を別途備えることなく、蓋落下防止体を近接位置と離間位置との間で切換えることができる。
また、蓋落下防止体は、一対の把持部が把持解除位置から把持位置に切り換えられるのに連動して、蓋体の外面側において蓋体から離間して蓋体の着脱を許容する離間位置から蓋体に近接して蓋体の落下を防止する近接位置に切換えられる。このため、授受用位置にて一対の把持部が把持位置に切り換えられた時点で、蓋落下防止体の近接位置への切換えが完了しており、物品授受箇所から容器を取り出す際の容器からの蓋体の落下を適確に防止することができる。
したがって、装置の大型化や構成の複雑化を招くことなく、容器の搬送元から搬送先までの間にわたって蓋体の落下を防止することができる。
蓋落下防止体は、連動機構によって、一対の把持部が把持解除位置から把持位置に切り換えられるのに連動して、蓋体の外面側において蓋体から離間して蓋体の着脱を許容する離間位置から蓋体に近接して蓋体の落下を防止する近接位置に切換えられる。このため、蓋落下防止体を近接位置と離間位置との間で切換えるための駆動部を別途備えることなく、蓋落下防止体を近接位置と離間位置との間で切換えることができる。
また、蓋落下防止体は、一対の把持部が把持解除位置から把持位置に切り換えられるのに連動して、蓋体の外面側において蓋体から離間して蓋体の着脱を許容する離間位置から蓋体に近接して蓋体の落下を防止する近接位置に切換えられる。このため、授受用位置にて一対の把持部が把持位置に切り換えられた時点で、蓋落下防止体の近接位置への切換えが完了しており、物品授受箇所から容器を取り出す際の容器からの蓋体の落下を適確に防止することができる。
したがって、装置の大型化や構成の複雑化を招くことなく、容器の搬送元から搬送先までの間にわたって蓋体の落下を防止することができる。
本発明の物品搬送車においては、前記走行体に対して上昇移動及び下降移動自在な昇降体が設けられ、前記把持部、前記把持駆動部、前記連動機構、及び、前記蓋落下防止体が、前記昇降体に設けられていることが好ましい。
すなわち、走行体に対して上昇移動及び下降移動自在な昇降体が設けられた天井搬送車においては、昇降体の重量を極力軽量化したい、という要請がある。
上述のように、蓋落下防止体の近接位置と離間位置との間の切り換えを、一対の把持部の把持作動に連動するように構成すれば、把持駆動部以外に、蓋落下防止体を近接位置と離間位置とに切換えるための駆動部を別途備える必要がなく、昇降体の重量の増大を抑制できる。
上述のように、蓋落下防止体の近接位置と離間位置との間の切り換えを、一対の把持部の把持作動に連動するように構成すれば、把持駆動部以外に、蓋落下防止体を近接位置と離間位置とに切換えるための駆動部を別途備える必要がなく、昇降体の重量の増大を抑制できる。
本発明の物品搬送車においては、前記蓋落下防止体が、前記近接位置において、その一部が前記容器の開口を前記蓋体にて閉塞している場合における前記蓋体の上端部に近接するように構成されていることが好ましい。
すなわち、蓋落下防止体は容器の上方に位置する昇降体に備えられているから、蓋落下防止体を、近接位置においては当該蓋落下防止体の一部が容器の開口を蓋体にて閉塞している場合における蓋体の上端部に近接するように構成することによって、蓋落下防止体の大型化を抑制することができる。そして、蓋体が容器の開口から外れかけている場合には、蓋体の上端部と、近接位置に位置する蓋落下防止体の一部とが当接することで、容器の蓋体の上端部分の容器外方への移動を抑制し、蓋体が容器から落下する事態を抑制することができる。
本発明の物品搬送車においては、前記把持部は、前記容器の蓋体が前記走行体の走行方向に対して平面視で直交する方向の一方側に位置する状態で前記容器の上端部を把持するように構成され、前記蓋落下防止体は、平面視で前記走行体の走行方向と直交する方向に薄い板状体にて構成され、かつ、前記走行体の走行方向に沿って前記近接位置と前記離間位置とに切換え自在に構成されていることが好ましい。
すなわち、走行体の走行方向に対して平面視で直交する方向の一方側に向く蓋体の落下を防止すべく設けられる蓋落下防止体が、平面視で走行体の走行方向と直交する方向に薄い板状体にて構成され、かつ、走行体の走行方向に沿って近接位置と離間位置とに切換えられるものであるから、蓋落下防止体は、走行体の走行方向に対して平面視で直交する方向の大きさを小さくできる。したがって、昇降体を授受用位置と走行用位置との間で昇降させたときの落下防止体の占める空間が小さくて済むため、処理装置等の他の設備を設置する場合において、蓋落下防止体との干渉による設置上の制約が少なく、他の設備の設置の自由度が向上する。
本発明の物品搬送車においては、前記把持部が、スライド移動によって前記把持位置と前記把持解除位置とに位置切替えされるように構成され、前記蓋落下防止体は、水平軸芯周りに回動して前記近接位置と前記離間位置とに姿勢を切替えられるように構成され、前記連動機構は、前記把持部のスライド移動を前記蓋落下防止体の回動移動に変換するリンク機構にて構成されていることが好ましい。
すなわち、把持部のスライド移動を板状体の回動移動に変換するリンク機構を用いることで、把持部のスライド移動に伴って、蓋落下防止体が水平軸芯周りに回動して近接位置と離間位置とに姿勢を切換えられる。このように、簡易な機構を用いて蓋落下防止体の位置を近接位置と離間位置とに切換えできる。
本発明の物品搬送車について、天井側に設けられた走行レール２に沿って走行する天井搬送車を例に、その実施形態を説明する。
図１に示すように、天井搬送車１は、天井から吊り下げられた走行レール２上を走行自在な走行体１１と、走行体１１に連結軸により連結された本体部１２とを備えている。走行体１１は、走行レール２上を転動する複数の走行車輪Ｗを備えている。
天井搬送車１は、側面に形成された開口を開閉自在な蓋体Ｂｔを着脱自在に備えたＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）等の半導体容器（以降、容器Ｂと称する）を搬送対象の物品として、複数の処理装置の夫々についての授受箇所として設定される複数の授受用載置台（物品授受箇所）の間で容器Ｂを搬送するように構成されている。授受用載置台は、走行レール２の下方に離間した位置に設けられている。なお、処理装置は、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理（パターン露光やエッチング等）を行うように構成されており、平面視で走行体１１の走行経路の側方に設けられている。このため、天井搬送車１は、容器Ｂを、その開口側（すなわち蓋体Ｂｔの存在側）の側面を平面視で走行体１１の走行方向と直交する方向に向けて、容器Ｂを把持し搬送する。
図１に示すように、天井搬送車１は、天井から吊り下げられた走行レール２上を走行自在な走行体１１と、走行体１１に連結軸により連結された本体部１２とを備えている。走行体１１は、走行レール２上を転動する複数の走行車輪Ｗを備えている。
天井搬送車１は、側面に形成された開口を開閉自在な蓋体Ｂｔを着脱自在に備えたＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）等の半導体容器（以降、容器Ｂと称する）を搬送対象の物品として、複数の処理装置の夫々についての授受箇所として設定される複数の授受用載置台（物品授受箇所）の間で容器Ｂを搬送するように構成されている。授受用載置台は、走行レール２の下方に離間した位置に設けられている。なお、処理装置は、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理（パターン露光やエッチング等）を行うように構成されており、平面視で走行体１１の走行経路の側方に設けられている。このため、天井搬送車１は、容器Ｂを、その開口側（すなわち蓋体Ｂｔの存在側）の側面を平面視で走行体１１の走行方向と直交する方向に向けて、容器Ｂを把持し搬送する。
本体部１２は、走行体１１の走行方向において前後にカバー部１２Ｃを備えており、図１に示す如く、側面視で下方に開口した逆Ｕ字状に形成されている。本体部１２は水平姿勢の支持板１２Ｓにて上下に区切られており、支持板１２Ｓの上方側に昇降駆動部Ｍが支持されている。昇降駆動部Ｍは、昇降用モータ１９ｍと、その昇降用モータ１９ｍにて回転駆動されてワイヤ１９ａを巻き取り又は繰り出しすべくワイヤ１９ａの一端が接続された昇降用ドラム１９ｄと、を備えている。支持板１２Ｓには、ワイヤ１９ａが通過する孔部（図示省略）が設けられており、昇降用ドラム１９ｄにて巻き取り又は繰り出しされるワイヤ１９ａの他端部は支持板１２Ｓの下方にて昇降体３０に接続されている。昇降体３０は、ワイヤ１９ａによって吊り下げられており、昇降用モータ１９ｍの正転駆動又は逆転駆動によってワイヤ１９ａが昇降用ドラム１９ｄにて巻き取り又は繰り出しされることで、昇降体３０を上昇又は下降させることができるようになっている。
図２に示すように、昇降体３０は、容器Ｂの上端に備えているフランジ部Ｂｆを把持する一対の把持部３１と、一対の把持部３１を接近離間移動させる把持部駆動機構Ｋとを備えている。把持部駆動機構Ｋは、駆動用モータ３０ｍによって回動駆動されるネジ軸３３を備えている。ネジ軸３３は、長手方向中央部にて螺旋の進行方向が逆転するように構成されている。
図２〜６に示すように、一対の把持部３１の夫々は、容器Ｂのフランジ部Ｂｆと係合する水平部を備えた把持ブロック３１ｈと、ネジ軸３３と螺合する移動ブロック３１ｋと、把持ブロック３１ｈと移動ブロック３１ｋとを接続する接続部３１ｓとを備えている。
また、一対の把持部３１の上端部の移動ブロック３１ｋの夫々は、上記ネジ軸３３において螺旋の進行方向の異なる部分と螺合部３１ａにて螺合している。
そして、駆動用モータ３０ｍの駆動によってネジ軸３３を一方の回転方向に回転させることにより、一対の移動ブロック３１ｋを互いに接近するように移動させ、それに伴って把持ブロック３１ｈを互いに接近移動させることができる。したがって、一対の把持部３１は、駆動用モータ３０ｍの駆動によって接近状態とされることによって、容器Ｂにおける容器本体Ｂｈの上端に取り付けられているフランジ部Ｂｆと係合する形態で容器Ｂを把持するようになっている。
また、一対の把持部３１の上端部の移動ブロック３１ｋの夫々は、上記ネジ軸３３において螺旋の進行方向の異なる部分と螺合部３１ａにて螺合している。
そして、駆動用モータ３０ｍの駆動によってネジ軸３３を一方の回転方向に回転させることにより、一対の移動ブロック３１ｋを互いに接近するように移動させ、それに伴って把持ブロック３１ｈを互いに接近移動させることができる。したがって、一対の把持部３１は、駆動用モータ３０ｍの駆動によって接近状態とされることによって、容器Ｂにおける容器本体Ｂｈの上端に取り付けられているフランジ部Ｂｆと係合する形態で容器Ｂを把持するようになっている。
また、ネジ軸３３を他方の回転方向に回転させることにより、一対の移動ブロック３１ｋを互いに離間するように移動させ、それに伴って把持ブロック３１ｈを互いに離間移動させることができる。したがって、一対の把持部３１は、駆動用モータ３０ｍの駆動によって離間状態とされることによって、フランジ部Ｂｆとの係合を解除して容器Ｂを把持状態から解放するようになっている。つまり、一対の把持部３１が、把持ブロック３１ｈの水平部が平面視で容器Ｂのフランジ部Ｂｆと重複する規定の接近距離まで接近した位置が本発明の把持位置に相当し、一対の把持部３１が、把持ブロック３１ｈの水平部が平面視で容器Ｂのフランジ部Ｂｆと重複しない規定の離間距離まで離間した位置が本発明の把持解除位置に相当する。
すなわち、把持部３１が、スライド移動によって把持位置と把持解除位置とに位置切替えされるように構成されている。
なお、一対の把持部３１とフランジ部Ｂｆとは、一対の把持部３１が容器Ｂを安定して把持できるように、平面視で規定された位置関係にて係合するように構成されている。
すなわち、把持部３１が、スライド移動によって把持位置と把持解除位置とに位置切替えされるように構成されている。
なお、一対の把持部３１とフランジ部Ｂｆとは、一対の把持部３１が容器Ｂを安定して把持できるように、平面視で規定された位置関係にて係合するように構成されている。
そして、駆動用モータ３０ｍによって一対の把持部３１を駆動するものであるから、本実施形態において、駆動用モータ３０ｍが本発明の把持駆動部に相当する。
天井搬送車１は、昇降駆動部Ｍの作動により、昇降体３０を授受用載置台に対応する位置（本発明の授受用位置に相当）に位置させて、駆動用モータ３０ｍを作動させることにより、一対の把持部３１を互いに接近させて、授受用載置台に載置された容器Ｂのフランジ部Ｂｆを把持する。その後、昇降駆動部Ｍの作動により、昇降体３０を、把持部３１にて把持した容器Ｂとカバー部１２Ｃとが水平方向視で重複する位置（本発明の走行用位置に相当）まで上昇させ、昇降体３０が走行用位置に位置する状態で走行体１１を走行させることにより、容器Ｂを異なる授受用載置台に対応する走行位置まで移動させる。
天井搬送車１は、昇降駆動部Ｍの作動により、昇降体３０を授受用載置台に対応する位置（本発明の授受用位置に相当）に位置させて、駆動用モータ３０ｍを作動させることにより、一対の把持部３１を互いに接近させて、授受用載置台に載置された容器Ｂのフランジ部Ｂｆを把持する。その後、昇降駆動部Ｍの作動により、昇降体３０を、把持部３１にて把持した容器Ｂとカバー部１２Ｃとが水平方向視で重複する位置（本発明の走行用位置に相当）まで上昇させ、昇降体３０が走行用位置に位置する状態で走行体１１を走行させることにより、容器Ｂを異なる授受用載置台に対応する走行位置まで移動させる。
すなわち、天井搬送車１には、走行体１１に備えられて搬送対象の容器Ｂの上端部に備えているフランジ部Ｂｆを把持する一対の把持部３１と、一対の把持部３１を駆動する駆動用モータ３０ｍと、が設けられている。
そして、授受用位置が走行レール２から離れた位置に設けられた授受用載置台に対応する位置として設定され、走行用位置が走行体１１に近接する位置として設定されている。
また、一対の把持部３１と駆動用モータ３０ｍとを備える昇降体３０を昇降移動する昇降駆動部Ｍが本発明の移動操作部に相当し、当該昇降駆動部Ｍが、一対の把持部３１及び駆動用モータ３０ｍを授受用位置と走行用位置との間で位置切換えする。
なお、上述したように、本実施形態では処理装置が平面視で走行体１１の走行経路の側方に設けられているため、把持部３１は、容器Ｂの蓋体Ｂｔが走行体１１の走行方向に対して平面視で直交する方向の一方側に位置する状態で容器Ｂの上端部のフランジ部Ｂｆと係合して、容器Ｂを把持するように構成されている。
そして、授受用位置が走行レール２から離れた位置に設けられた授受用載置台に対応する位置として設定され、走行用位置が走行体１１に近接する位置として設定されている。
また、一対の把持部３１と駆動用モータ３０ｍとを備える昇降体３０を昇降移動する昇降駆動部Ｍが本発明の移動操作部に相当し、当該昇降駆動部Ｍが、一対の把持部３１及び駆動用モータ３０ｍを授受用位置と走行用位置との間で位置切換えする。
なお、上述したように、本実施形態では処理装置が平面視で走行体１１の走行経路の側方に設けられているため、把持部３１は、容器Ｂの蓋体Ｂｔが走行体１１の走行方向に対して平面視で直交する方向の一方側に位置する状態で容器Ｂの上端部のフランジ部Ｂｆと係合して、容器Ｂを把持するように構成されている。
昇降体３０には、さらに、容器Ｂから蓋体Ｂｔが落下することを防止する蓋落下防止体３２が設けられている。
また、昇降体３０には、一対の把持部３１が駆動用モータ３０ｍにより把持位置から把持解除位置に切換えられるに伴って、水平軸芯３２ｊ周りに回動し、走行体１１の走行方向に沿って蓋落下防止体３２を近接位置から離間位置に切り換え、かつ、一対の把持部３１が駆動用モータ３０ｍにより把持解除位置から把持位置に切換えられるに伴って、蓋落下防止体を離間位置から近接位置に切り換える連動機構が設けられている。
以下、蓋落下防止体３２について、図２〜６に基づいてその構成及び作用を説明する。
また、昇降体３０には、一対の把持部３１が駆動用モータ３０ｍにより把持位置から把持解除位置に切換えられるに伴って、水平軸芯３２ｊ周りに回動し、走行体１１の走行方向に沿って蓋落下防止体３２を近接位置から離間位置に切り換え、かつ、一対の把持部３１が駆動用モータ３０ｍにより把持解除位置から把持位置に切換えられるに伴って、蓋落下防止体を離間位置から近接位置に切り換える連動機構が設けられている。
以下、蓋落下防止体３２について、図２〜６に基づいてその構成及び作用を説明する。
蓋落下防止体３２は、図３に示すように、走行体１１の走行方向と直交する方向に薄い板状体にて構成されている。
なお、一対の蓋落下防止体３２は、走行体１１の走行方向と直交する方向に沿う方向視で左右対称に構成されており、以下の説明は、一対の蓋落下防止体３２のうちの一方のみについて説明するが、他方に関しても同様である。
なお、一対の蓋落下防止体３２は、走行体１１の走行方向と直交する方向に沿う方向視で左右対称に構成されており、以下の説明は、一対の蓋落下防止体３２のうちの一方のみについて説明するが、他方に関しても同様である。
図３に示すように、蓋落下防止体３２は細長くかつ薄い板状体に形成され、その長手方向の端部が、平面視で走行体１１の走行方向と直交する方向に沿う水平軸芯３２ｊの一端側に固定接続されている。水平軸芯３２ｊは、支持板１２Ｓの下面に突出状態で設けられている軸支持体３２ｓに回動自在に支持されている。また、水平軸芯３２ｊの他端側には、長孔３２ｈが形成されたリンク係合部３２ｔが、蓋落下防止体３２の長手方向と長孔３２ｈの長手方向とが所定の角度を形成するように固定されている。
また、一対の把持部３１には、図２に示すように、係合ピン３１ｐが、平面視でネジ軸３３の長手方向（把持部３１の移動方向に沿う方向）と直交する向きに突出する形態で設けられており、この係合ピン３１ｐは、長孔３２ｈの長手方向に沿って遊動自在に長孔３２ｈと係合している。
また、一対の把持部３１には、図２に示すように、係合ピン３１ｐが、平面視でネジ軸３３の長手方向（把持部３１の移動方向に沿う方向）と直交する向きに突出する形態で設けられており、この係合ピン３１ｐは、長孔３２ｈの長手方向に沿って遊動自在に長孔３２ｈと係合している。
そして、図５に示すように、把持部３１を把持解除位置から把持位置に移動操作するに伴って、係合ピン３１ｐが長孔３２ｈ内部をスライドしながらリンク係合部３２ｔを回動操作し、それに伴って蓋落下防止体３２が離間位置から近接位置に移動操作される。
また、図６に示すように、把持部３１を把持位置から把持解除位置に移動操作するに伴って、係合ピン３１ｐが長孔３２ｈ内部をスライドしながらリンク係合部３２ｔを回動操作し、それに伴って蓋落下防止体３２が近接位置から離間位置に移動操作される。
また、図６に示すように、把持部３１を把持位置から把持解除位置に移動操作するに伴って、係合ピン３１ｐが長孔３２ｈ内部をスライドしながらリンク係合部３２ｔを回動操作し、それに伴って蓋落下防止体３２が近接位置から離間位置に移動操作される。
本実施形態において、係合ピン３１ｐと長孔３２ｈが形成されたリンク係合部３２ｔとからなるリンク機構が、本発明の連動機構Ｒに相当する。
すなわち、連動機構Ｒにより、図５の矢印Ｙ１及び図６の矢印Ｙ２に示すように、把持部３１のスライド移動が蓋落下防止体３２の板状体の回動移動に変換される。そして、蓋落下防止体３２は、図２及び図３に示すように蓋体Ｂｔの外面側において蓋体Ｂｔに近接して蓋体Ｂｔの落下を防止する近接位置と、図４に示すように、蓋体Ｂｔから離間して蓋体Ｂｔの着脱を許容する離間位置と、に切換え自在に構成されている。また、蓋落下防止体３２は、近接位置において、その一部が容器Ｂの開口を蓋体Ｂｔにて閉塞している場合における蓋体Ｂｔの上端部に近接するように構成されている。
すなわち、連動機構Ｒにより、図５の矢印Ｙ１及び図６の矢印Ｙ２に示すように、把持部３１のスライド移動が蓋落下防止体３２の板状体の回動移動に変換される。そして、蓋落下防止体３２は、図２及び図３に示すように蓋体Ｂｔの外面側において蓋体Ｂｔに近接して蓋体Ｂｔの落下を防止する近接位置と、図４に示すように、蓋体Ｂｔから離間して蓋体Ｂｔの着脱を許容する離間位置と、に切換え自在に構成されている。また、蓋落下防止体３２は、近接位置において、その一部が容器Ｂの開口を蓋体Ｂｔにて閉塞している場合における蓋体Ｂｔの上端部に近接するように構成されている。
すなわち、一対の把持部３１が駆動用モータ３０ｍにより把持位置から把持解除位置に切換えられるに伴って、水平軸芯３２ｊ周りに回動する形態で、走行体１１の走行方向に沿って蓋落下防止体３２を近接位置から離間位置に切り換え、かつ、一対の把持部３１が駆動用モータ３０ｍにより把持解除位置から把持位置に切換えられるに伴って、蓋落下防止体を離間位置から近接位置に切り換える連動機構Ｒが設けられている。
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、本発明の物品搬送車を、容器を搬送する天井搬送車にて構成した例を示したが、これに限らず、例えば、床面に設置したレール上を走行する走行体と、一対の把持部及び把持駆動部を先端に備え、基端部が走行体に連結されるスカラアームと、を備えた移動体とを備える物品搬送車にて構成してもよい。
この場合、スカラアーム及びそれを駆動する駆動モータによって、一対の把持部を平面視で走行レールから離れた位置に設けられた物品授受箇所に対応する授受用位置と平面視で走行体に近接する走行用位置との間で位置切換えする。したがって、この場合には、スカラアーム及びそれを駆動する駆動モータが本発明における移動操作部に相当する。
また、上記実施形態では、本発明の物品搬送車を、半導体基板搬送用の容器（ＦＯＵＰ）を搬送するためのものとして説明したが、搬送対象の物品はＦＯＵＰに限定されるものではなく、側面に開口が設けられ、その開口部を開閉する蓋体を備える容器であれば、その用途は問わない。
（１）上記実施形態では、本発明の物品搬送車を、容器を搬送する天井搬送車にて構成した例を示したが、これに限らず、例えば、床面に設置したレール上を走行する走行体と、一対の把持部及び把持駆動部を先端に備え、基端部が走行体に連結されるスカラアームと、を備えた移動体とを備える物品搬送車にて構成してもよい。
この場合、スカラアーム及びそれを駆動する駆動モータによって、一対の把持部を平面視で走行レールから離れた位置に設けられた物品授受箇所に対応する授受用位置と平面視で走行体に近接する走行用位置との間で位置切換えする。したがって、この場合には、スカラアーム及びそれを駆動する駆動モータが本発明における移動操作部に相当する。
また、上記実施形態では、本発明の物品搬送車を、半導体基板搬送用の容器（ＦＯＵＰ）を搬送するためのものとして説明したが、搬送対象の物品はＦＯＵＰに限定されるものではなく、側面に開口が設けられ、その開口部を開閉する蓋体を備える容器であれば、その用途は問わない。
（２）上記実施形態では、連動機構Ｒを、係合ピン３１ｐと長孔３２ｈが形成されたリンク係合部３２ｔとからなるリンク機構にて構成する例を示したが、連動機構Ｒはこのような構成に限定されるものではない。
例えば、図７及び図８に示すように、ネジ軸３３の長手方向で把持部３１との相対位置を維持するように支持体４１Ｓにて保持されたギヤＧと、そのギヤＧと一体回動するように接続された蓋落下防止体４２とを備え、かつ、支持板１２Ｓの上面に、ギヤＧと噛み合うラックＬを設け、把持部４１のネジ軸３３の長手方向に沿う移動に伴うギヤＧの回動に連動して、蓋落下防止体４２が離間位置（図７参照）と接近位置（図８参照）とに切換えられるように構成してもよい。この場合、ギヤＧ及びラックＬによって連動機構Ｒが構成される。
例えば、図７及び図８に示すように、ネジ軸３３の長手方向で把持部３１との相対位置を維持するように支持体４１Ｓにて保持されたギヤＧと、そのギヤＧと一体回動するように接続された蓋落下防止体４２とを備え、かつ、支持板１２Ｓの上面に、ギヤＧと噛み合うラックＬを設け、把持部４１のネジ軸３３の長手方向に沿う移動に伴うギヤＧの回動に連動して、蓋落下防止体４２が離間位置（図７参照）と接近位置（図８参照）とに切換えられるように構成してもよい。この場合、ギヤＧ及びラックＬによって連動機構Ｒが構成される。
また、図９及び図１０に示すように、把持部５１を、平面視で走行体１１の走行方向に直交する方向に沿う軸５１ｊ周りで回動自在で、かつ、駆動モータ５０ｍによって水平部５１ｈが下方に向く姿勢となる把持解除位置（図９参照）と、水平部５１ｈが水平方向に沿う姿勢となる把持位置（図１０参照）とに切り換え自在に構成し、軸５１ｊと一体回動する第１ギヤＧ１と、蓋落下防止体５２と一体回動する第３ギヤＧ３と、第１ギヤＧ１と第３ギヤＧ３との双方に噛み合う第２ギヤＧ２とを備え、駆動モータ５０ｍによって水平部５１ｈが把持解除位置に移動操作されるに伴って蓋落下防止体５２が離間位置（図９参照）に切換えられ、水平部５１ｈが把持位置に移動操作されるに伴って蓋落下防止体５２が接近位置（図１０参照）に切換えられるように構成してもよい。この場合、第１ギヤＧ１、第２ギヤＧ２、及び第３ギヤＧ３によって連動機構Ｒが構成される。
（３）上記実施形態では、搬送元及び搬送先の物品授受箇所として、半導体の処理装置における授受用載置台を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、保管設備の入出庫口や仮置き部等を搬送元又は搬送先の物品授受箇所としてもよい。
１１ 走行体
３０ 昇降体
３０ｍ、５０ｍ 把持駆動部
３１、４１、５１ 把持部
３１ｐ、３２ｔ リンク機構
３２、４２、５２ 蓋落下防止体
Ｂ 容器
Ｂｔ 蓋体
Ｒ 連動機構
Ｍ 移動操作部
３０ 昇降体
３０ｍ、５０ｍ 把持駆動部
３１、４１、５１ 把持部
３１ｐ、３２ｔ リンク機構
３２、４２、５２ 蓋落下防止体
Ｂ 容器
Ｂｔ 蓋体
Ｒ 連動機構
Ｍ 移動操作部
Claims (5)
- 走行レールに沿って走行する走行体と、
前記走行体に備えられて搬送対象の物品の上端部を把持する一対の把持部と、
前記一対の把持部を駆動する把持駆動部と、が設けられ、
前記一対の把持部及び前記把持駆動部を授受用位置と走行用位置との間で位置切換えする移動操作部が設けられ、
前記授受用位置は、前記走行レールから離れた位置であり、
前記走行用位置は、前記走行体に近接する位置であり、
前記搬送対象の物品は、側面に形成された開口を開閉自在な蓋体を着脱自在に備えた容器にて構成され、
前記走行体は、前記一対の把持部が前記走行用位置に位置する状態で走行し、
前記把持駆動部は、前記授受用位置において、前記一対の把持部を、互いに接近して前記容器の上端部を把持する把持位置と、互いに離間した把持解除位置とに切り換えるように構成された物品搬送車であって、
前記蓋体の落下を防止する蓋落下防止体が設けられ、
前記蓋落下防止体は、前記蓋体の外面側において前記蓋体に近接して前記蓋体の落下を防止する近接位置と、前記蓋体から離間して前記蓋体の着脱を許容する離間位置と、に切換え自在に構成され、
前記一対の把持部が前記把持駆動部により前記把持位置から前記把持解除位置に切換えられるに伴って、前記蓋落下防止体を前記近接位置から前記離間位置に切り換え、かつ、前記一対の把持部が前記把持駆動部により前記把持解除位置から前記把持位置に切換えられるに伴って、前記蓋落下防止体を前記離間位置から前記近接位置に切り換える連動機構が設けられている物品搬送車。 - 前記走行体に対して上昇移動及び下降移動自在な昇降体が設けられ、
前記把持部、前記把持駆動部、前記連動機構、及び、前記蓋落下防止体が、前記昇降体に設けられている請求項１に記載の物品搬送車。 - 前記蓋落下防止体が、前記近接位置において、その一部が前記容器の開口を前記蓋体にて閉塞している場合における前記蓋体の上端部に近接するように構成されている請求項２に記載の物品搬送車。
- 前記把持部は、前記容器の蓋体が前記走行体の走行方向に対して平面視で直交する方向の一方側に位置する状態で前記容器の上端部を把持するように構成され、
前記蓋落下防止体は、平面視で前記走行体の走行方向と直交する方向に薄い板状体にて構成され、かつ、前記走行体の走行方向に沿って前記近接位置と前記離間位置とに切換え自在に構成されている請求項１〜３の何れか１項に記載の物品搬送車。 - 前記把持部が、スライド移動によって前記把持位置と前記把持解除位置とに位置切替えされるように構成され、
前記蓋落下防止体は、水平軸芯周りに回動して前記近接位置と前記離間位置とに姿勢を切替えられるように構成され、
前記連動機構は、前記把持部のスライド移動を前記蓋落下防止体の回動移動に変換するリンク機構にて構成されている請求項１〜４の何れか１項に記載の物品搬送車。
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