JP6460015B2 - 容器搬送設備 - Google Patents
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Description
また、保管用支持部には、不活性気体供給装置の接続部が支持されており、容器の底面部には、被接続部が備えられている。保管用支持部によって容器の底面部を下方から支持した状態では、不活性気体供給装置の接続部が容器の被接続部に接続されて、容器の内部に不活性気体を供給できるようになっている。
そして、保管部の横側方に設定された移載用停止位置に搬送用移動体が停止している状態において、保管部が、スライド駆動部により保管用支持部を突出させた後、搬送用移動体が、昇降駆動部により搬送用支持部を昇降させ、その後、保管部が、スライド駆動部により保管用支持部を引退させて、容器を保管部に保管する、又は、容器を保管部から取り出すようになっている。
前記保管部は、前記容器の底面部における前記第1被支持部とは異なる部分で且つ前記被接続部が存在しない第2被支持部を下方から支持する第2支持部と、前記第2支持部を昇降させる昇降駆動部と、を備え、前記昇降駆動部により前記第2支持部が昇降することで第1状態と第2状態とに変更可能に構成され、前記第1支持部により支持される前記容器の高さを第1高さとし、前記第1高さより高い高さで支持されている前記容器の高さを第2高さとして、前記第1状態は、前記第1高さの前記容器における前記第2被支持部より下方に前記第2支持部を下降させ、前記容器を前記第1高さで前記第1支持部により支持可能な状態であり、前記第2状態は、前記第1高さの前記容器における前記第2被支持部より上方に前記第2被支持部を上昇させ、前記容器を前記第2高さで前記第2支持部により支持可能であり、前記不活性気体供給装置は、前記保管部が前記第1状態に変更されている状態では、前記第1高さの前記容器の前記被接続部に前記接続部が接続され、前記保管部が前記第2状態に変更されている状態では、前記第2高さの前記容器の前記被接続部から前記接続部が下方に分離されて、前記容器の前記底面部と前記接続部との間に移載用空間が形成される高さに、前記接続部を備え、前記搬送用移動体は、前記容器の底面部における前記第2被支持部とは異なる第3被支持部を下方から支持する第3支持部と、前記保管部の横側方に設定された移載用停止位置に前記搬送用移動体が停止している状態において前記搬送用移動体と前記保管部とが並ぶ並び方向に沿って前記第3支持部を出退させる出退駆動部と、を備え、前記第3支持部は、前記出退駆動部により出退移動するときの移動軌跡が、上下方向に見て前記接続部と重なり、前記搬送用移動体は、前記出退駆動部により前記第3支持部を出退移動させて、前記第3支持部を前記第2状態の前記保管部における前記移載用空間に突入させ、前記容器を前記第3支持部により支持する状態として前記容器を前記保管部から取り出す、又は、前記容器を前記第2支持部により支持する状態として前記容器を前記保管部に保管する点にある。
そして、保管部を第1状態に変更している状態では、容器の被接続部に不活性気体供給装置の接続部が接続されているため、容器の内部に不活性気体を供給できる。また、保管部を第2状態に変更している状態では、第2支持部により支持している容器と不活性気体供給装置の接続部との間には、移載用空間が形成されている。従って、搬送用移動体の第3支持部が、出退駆動部により出退移動するときの移動軌跡が、上下方向に見て接続部と重なる場合でも、第3支持部を移載用空間に突入させるように出退移動させることで、接続部と干渉することなく、第3支持部を出退移動させることができる。
そのため、第3支持部の形状を設定するにあたり、第3支持部を出退移動させたときの接続部との干渉を考慮せずに平面視形状を設定できる。そのため、保管部の第1支持体に不活性気体供給装置の接続部を支持させながら、第3支持部の形状を、容器を安定よく支持できる形状に形成し易い。
従って、搬送用移動体が、容器の底面部を下方から安定よく支持できながら、保管部に保管している容器に不活性気体を供給できる容器搬送設備を提供できるに至った。
このように第3支持部を幅方向に幅広に形成した場合では、第3支持部の移動軌跡が、上下方向に見て一対の被支持部のうちの少なくとも一方と重複するが、保管部を第2状態に変更して容器の保管又は取り出しを行うことで、第3支持部が接続部に干渉することなく容器の保管又は取り出しを行うことができる。
図1に示すように、容器搬送設備には、容器搬送車1と走行レール2と保管部3と窒素ガス供給装置4とが備えられている。走行レール2は、走行経路に沿って設置されており、天井に吊り下げ支持されている。容器搬送車1は、移動経路に沿って走行レール2上を走行して容器Wを搬送する。この容器搬送車1は、移動経路に沿って移動して容器Wを搬送する搬送用移動体に相当する。保管部3は、天井に吊り下げ支持されており、1つの容器Wを保管可能に構成されている。窒素ガス供給装置4は、保管部3に保管されている容器Wの内部に不活性気体として窒素ガスを供給する。この窒素ガス供給装置4は、不活性気体を供給する不活性気体供給装置に相当する。
そして、保管部3の横側方に設定された移載用停止位置に容器搬送車1が停止している状態において、並び方向Xで容器搬送車1に対して保管部3が存在する方向を第1方向X1と称し、その反対方向を第2方向X2と称する。
容器搬送車1は、容器Wを保管部3に搬送して容器Wを保管部3に保管するとともに、保管部3に保管されている容器Wを保管部3から取り出して搬送する。
保管部3は、容器搬送車1の走行経路の横側方に設置されており、幅方向Yに沿って複数設置されている。
図2に示すように、容器Wには、前面部9に形成された基板出し入れ用の基板出入口を閉じる着脱自在な蓋体(図示せず)が備えられている。容器Wは、前方が第1方向X1を向き、後方が第2方向X2を向く状態で、保管部3に保管される。尚、容器Wの説明における幅方向Y及び並び方向Xは、容器Wが保管部3に保管されている状態に基づいて方向を定めている。
一対の第1被接続部12aは、幅方向Y(容器Wの左右方向)に並んで配置されており、幅方向Yに見て一対の第1被接続部12aは重なっている。一対の第2被接続部12bも、一対の第1被接続部12aと同様に、幅方向Y(容器Wの左右方向)に並んで配置されており、幅方向Yに見て一対の第2被接続部12bは重なっている。
一対の第2被接続部12bの設置間隔は、一対の第1被接続部12aの設置間隔より狭く、一対の第2被接続部12bは、幅方向Yにおいて一対の第1被接続部12aの間に設置されている。
給気部12iは、窒素ガス供給装置4の給気用接続部24iから吐出された不活性気体を容器Wの内部に給気するための部分であり、給気部12iには、給気用開閉弁(図示せず)が備えられている。排気部12oは、容器Wの内部の気体を排気するための部分であり、この排気部12oには、排気用開閉弁(図示せず)が備えられている。つまり、容器Wは、基板出入口を蓋体にて閉じ、3つの給気部12i及び1つの排気部12oを開閉弁にて閉じることで、気密性を有するように構成されている。
また、排気部12oの排気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、窒素ガス供給装置4による窒素ガスの供給により容器Wの内部の圧力が高まるとその圧力により排気用開閉弁が開き操作されて、容器Wの内部の気体が排気される。
第1被支持部13及び第3被支持部15について、凹部11をその長手方向の中心で2分割し、その凹部11における2分割した2つの部分のうちの底面基準位置Pに近い部分を、第3被支持部15とし、凹部11における残りの部分を、第1被支持部13としている。また、容器Wの底面部10において、一対の第1被接続部12aに対して幅方向Yで外側の部分を、第2被支持部14としている。
このように、容器Wの第2被支持部14は、容器Wの第1被支持部13とは異なる部分であり且つ被接続部12が存在しない部分である。また、容器Wの第3被支持部15は、容器Wの第1被支持部13や第2被支持部14とは異なる部分であり且つ被接続部12が存在しない部分である。
図3から図5に示すように、保管部3は、第1支持部17と第2支持部18と基部19とを備えている。
第1支持部17及び基部19は、天井に接続された支持部材により天井から吊り下げ支持されて天井に対して固定状態で設置されている。第1支持部17は、板状の第1基板17aと、この第1基板17aから上方に突出する3つの第1係合部17bと、を備えている。
そして、第1支持部17は、3つの第1係合部17bが容器Wにおける3つの凹部11に係合した状態で、これら3つの第1係合部17bにより、容器Wの第1被支持部13を下方から支持する。このように第1支持部17は、容器Wの底面部10における第1被支持部13を下方から支持する。
次に、保管部3の第1状態と第2状態とについて説明するが、第1支持部17により支持される容器Wの高さを第1高さ(図4に示す高さ)とし、第1高さより高い高さで支持されている容器Wの高さを第2高さ(図5に示す高さ)として、説明する。
図5に示すように、第2状態は、第2支持部18を支持高さに上昇させた状態である。この第2状態では、第1高さの容器Wにおける第2被支持部14より上方に第2被支持部14が上昇しており、第2支持部18により容器Wを第2高さで支持可能な状態となっている。
この状態から、第2支持部18を上昇させることで、第2支持部18が退避高さから支持高さまで上昇する途中において、第2支持部18が容器Wの第2被支持部14に接触する。そして、第2支持部18を支持高さまで上昇させて保管部3を第2状態に変更させることで、第1支持部17に支持されていた容器Wは第2支持部18により第2高さで支持され、第1支持部17は、容器Wの第1被支持部13に対して下方に離間する。
この状態から、第2支持部18を下降させることで、第2支持部18が支持高さから退避高さまで下降する途中において、第1支持部17が容器Wの第1被支持部13に接触(第1支持部17における3つの第1係合部17bが容器Wの3つの凹部11に係合)して、第2支持部18に支持されていた容器Wは第1支持部17により第1高さで支持される。そして、第2支持部18を退避高さまで下降させて保管部3を第1状態に変更させることで、第2支持部18は、容器Wの第2被支持部14に対して下方に離間する。
ちなみに、第1支持部17が容器Wの第1被支持部13に接触して容器Wを支持するときに、第1支持部17における3つの第1係合部17bが容器Wにおける3つの凹部11に下方から係合する。このように第1支持部17が容器Wに係合するときに、第1支持部17に支持される容器Wが第1支持部17の適正支持位置に対して水平方向にずれている場合は、第1係合部17bが凹部11の内側面に案内されて容器Wが水平方向に移動し、容器Wの水平方向での位置が第1支持部17の適正支持位置に修正される。
図1及び図3に示すように、窒素ガス供給装置4は、1つの保管部3に対して1つ設けられており、窒素ガス供給装置4の夫々は、3つの給気用接続部24iと、1つの排気用接続部24oと、3つの給気用接続部24iに接続されている配管23と、を備えている。
3つの給気用接続部24iは、容器Wが第1支持部17に支持されている状態で容器Wの3つの給気部12iに接続されるように、第1支持部17に支持されている。1つの排気用接続部24oは、容器Wが第1支持部17に支持されている状態で容器Wの1つの排気部12oに接続されるように、第1支持部17に支持されている。
このように、窒素ガス供給装置4には、1つの保管部3に対して、容器Wが第1支持部17に支持されている状態で容器Wの被接続部12に接続される接続部24が4つ(給気用接続部24iが3つと排気用接続部24oが1つ)備えられている。尚、4つの接続部24のうち、容器Wの第1被接続部12aに接続される2つの接続部24を第1接続部24aと称し、容器Wの第2被接続部12bに接続される2つの接続部24を第2接続部24bと称する。
保管部3が第2状態に変更されている状態では、容器Wの底面部10と窒素ガス供給装置4の接続部24との間に、移載用空間Sが形成される。
図6に示すように、容器搬送車1は、天井に支持された走行レール2上を走行する走行部31と、走行レール2の下方に位置するように走行部31に吊り下げ支持された本体部32と、を備えている。
走行部31には、走行レール2の上面を転動する駆動輪34と、駆動輪34を回転駆動させる走行用モータ35と、が備えられている。そして、走行部31は、走行用モータ35により駆動輪34を回転駆動させることで、走行部31が走行経路に沿って走行するように構成されている。
昇降操作機構38は、昇降用モータにより昇降用リンク機構38aを上下方向に伸縮することで、第3支持部37が、上昇高さ(図8及び図9に示す高さ)と、この上昇高さより高さが低い下降高さ(図10及び図11に示す高さ)と、に昇降する。
出退操作機構39は、伸縮用モータにより伸縮用リンク機構39aを伸縮させることで、第3支持部37を並び方向Xに移動させて、第3支持部37がカバー体40の内部に位置する引退位置(図8及び図11に示す位置)と、第3支持部37がカバー体40の内部から並び方向Xの一方側(第1方向X1側)に突出する突出位置(図9及び図10に示す位置)と、に移動させる。尚、出退操作機構39が、並び方向Xに沿って第3支持部37を出退させる出退駆動部に相当する。
また、第3支持部37が突出位置に位置する状態では、第3支持部37の先端は、保管部3の第1支持部17の先端や第2支持部18の先端より第1方向X1側に位置しており、この第3支持部37の先端は、一対の第1接続部24aはもとより、一対の第2接続部24bよりも第1方向X1側に位置している。
図8に示すように、容器搬送車1は容器Wを支持しており、容器Wを上昇高さで支持している。また、保管部3は、容器Wを保管しておらず、第2状態となっている。
容器Wを支持する容器搬送車1を、保管対象の保管部3に対応する移載用停止位置まで走行させる。そして、容器搬送車1を移載用停止位置に停止させ、且つ、保管部3が第2状態に変更されている状態で、図9に示すように、第3支持部37を引退位置から突出位置に突出させた後、図10に示すように、第3支持部37を上昇高さから下降高さに下降させて、容器Wを第3支持部37上から第2支持部18上に移載し、その後、図11に示すように、第3支持部37を突出位置から引退位置に引退させる。
保管部3は、図5に示すように、第2支持部18を支持高さから引退高さに下降させて、第2状態から第1状態に変更し、容器Wを第2支持部18上から第1支持部17上に移載させる。また、保管部3では、第1支持部17上に容器Wが存在することが存否センサ25にて検出されると、窒素ガス供給装置4による窒素ガスの供給が開始される。
図11に示すように、容器Wを支持しない容器搬送車1を、取り出し対象の保管部3に対応する移載用停止位置まで走行させる。また、第2支持部18を退避高さから支持高さに上昇させて、保管部3を第1状態から第2状態に変更し、容器Wを第1支持部上から第2支持部上に移載させる。また、保管部3では、第1支持部上に容器Wが存在することが存否センサ25にて検出されなくなると、窒素ガス供給装置4による窒素ガスの供給が停止される。
そして、容器搬送車1を移載用停止位置に停止させ、且つ、保管部3が第2状態に変更されている状態で、図10に示すように、第3支持部37を引退位置から突出位置に突出させた後、図9に示すように、第3支持部37を下降高さから上昇高さに上昇させて、容器Wを第2支持部18上から第3支持部37上に移載し、その後、図8に示すように、第3支持部37を突出位置から引退位置に引退させる。
そして、保管部3を第1状態に変更している状態では、容器Wの被接続部12に窒素ガス供給装置4の接続部24が接続されるため、容器Wの内部に窒素ガスを供給できる。また、保管部3を第2状態に変更している状態では、容器Wと接続部24との間には移載用空間Sが形成されるため、その移載用空間Sに第3支持部37を突入させるように第3支持部37を出退移動させることで、容器Wを保管部3から取り出すこと、及び、容器Wを保管部3に保管することができる。
(1)上記実施形態では、第3支持部を、上下方向に見て矩形状に形成したが、第3支持部の形状としては、出退駆動部により出退移動するときの移動軌跡が、上下方向に見て接続部と重なる形状であればよい。具体的には、例えば、突出位置に位置する状態において、第2接続部より先端側の部分を一対の第2接続部より幅広に形成し、第2接続部と並び方向で同じ部分や第2接続部より基端側の部分を一対の第2接続部より幅狭に形成して。第3支持部を、上下方向に見てT字状に形成してもよい。
具体的には、接続部として、一対の第2接続部のみを備えてもよい。また、接続部として、3つの給気用接続部のみを備えてもよい。
3 保管部
4 窒素ガス供給装置(不活性気体供給装置)
10 底面部
11 凹部(被係合部)
12 被接続部
12a 第1被接続部
12b 第2被接続部
13 第1被支持部
14 第2被支持部
15 第3被支持部
17 第1支持部
18 第2支持部
19 昇降駆動部
24 接続部
37 第3支持部
37b 第3係合部(係合部)
39 出退操作機構(出退駆動部)
S 移載用空間
W 容器
X 幅方向
X1 第1方向
X2 第2方向
Y 並び方向
Claims (5)
- 移動経路に沿って移動して容器を搬送する搬送用移動体と、前記容器を保管する保管部と、前記保管部に保管されている前記容器の内部に不活性気体を供給する不活性気体供給装置と、を備え、
前記容器は、底面部に被接続部を備え、
前記保管部は、前記容器の底面部における第1被支持部を下方から支持する第1支持部を備え、
前記不活性気体供給装置は、前記容器が前記第1支持部に支持されている状態で前記容器の前記被接続部に接続される接続部を備え、前記接続部から前記被接続部を介して前記容器の内部に不活性気体を供給する容器搬送設備であって、
前記保管部は、前記容器の底面部における前記第1被支持部とは異なる部分で且つ前記被接続部が存在しない第2被支持部を下方から支持する第2支持部と、前記第2支持部を昇降させる昇降駆動部と、を備え、前記昇降駆動部により前記第2支持部が昇降することで第1状態と第2状態とに変更可能に構成され、
前記第1支持部により支持される前記容器の高さを第1高さとし、前記第1高さより高い高さで支持されている前記容器の高さを第2高さとして、
前記第1状態は、前記第1高さの前記容器における前記第2被支持部より下方に前記第2支持部を下降させ、前記容器を前記第1高さで前記第1支持部により支持可能な状態であり、
前記第2状態は、前記第1高さの前記容器における前記第2被支持部より上方に前記第2被支持部を上昇させ、前記容器を前記第2高さで前記第2支持部により支持可能であり、
前記不活性気体供給装置は、前記保管部が前記第1状態に変更されている状態では、前記第1高さの前記容器の前記被接続部に前記接続部が接続され、前記保管部が前記第2状態に変更されている状態では、前記第2高さの前記容器の前記被接続部から前記接続部が下方に分離されて、前記容器の前記底面部と前記接続部との間に移載用空間が形成される高さに、前記接続部を備え、
前記搬送用移動体は、前記容器の底面部における前記第2被支持部とは異なる第3被支持部を下方から支持する第3支持部と、前記保管部の横側方に設定された移載用停止位置に前記搬送用移動体が停止している状態において前記搬送用移動体と前記保管部とが並ぶ並び方向に沿って前記第3支持部を出退させる出退駆動部と、を備え、
前記第3支持部は、前記出退駆動部により出退移動するときの移動軌跡が、上下方向に見て前記接続部と重なり、
前記搬送用移動体は、前記出退駆動部により前記第3支持部を出退移動させて、前記第3支持部を前記第2状態の前記保管部における前記移載用空間に突入させ、前記容器を前記第3支持部により支持する状態として前記容器を前記保管部から取り出す、又は、前記容器を前記第2支持部により支持する状態として前記容器を前記保管部に保管する容器搬送設備。 - 前記並び方向で前記搬送用移動体に対して前記保管部が存在する方向を第1方向とするとともに、上下方向に見て前記並び方向に対して直交する方向を幅方向として、
前記第3支持部は、係合部を備え、
前記容器は、前記係合部が上下方向に係合する被係合部を、前記底面部における前記被接続部よりも前記第1方向側に備え、
前記被係合部は、前記並び方向に見て前記被接続部と重複する部分を有している請求項1に記載の容器搬送設備。 - 上下方向に見て前記並び方向に対して直交する方向を幅方向として、
前記容器は、前記幅方向に並ぶ状態で少なくとも一対の前記被接続部を備え、
前記第3支持部の前記幅方向の大きさが、一対の前記被接続部における前記幅方向の間隔より大きい請求項1又は2に記載の容器搬送設備。 - 前記並び方向で前記搬送用移動体に対して前記保管部が存在する方向を第1方向とし、その反対方向を第2方向とするとともに、上下方向に見て前記並び方向に対して直交する方向を幅方向として、
前記容器は、前記被接続部として、上下方向に見て前記容器の中心より第1方向側に位置する一対の第1被接続部と、上下方向に見て前記容器の中心より第2方向側に備えられた一対の第2被接続部と、を備え、
前記一対の第1被接続部は、前記幅方向に並んで配置され、
前記一対の第2被接続部は、前記幅方向において前記一対の第1被接続部の間に配置され、
前記第3支持部は、前記容器の前記底面部における前記一対の第1被接続部の間の部分を支持する請求項1から3のいずれか1項に記載の容器搬送設備。 - 前記並び方向で前記搬送用移動体に対して前記保管部が存在する方向を第1方向として、
前記昇降駆動部は、前記第1支持部に対して前記第1方向に設置されている請求項1から4のいずれか1項に記載の容器搬送設備。
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