JP2000068348A - 移載装置 - Google Patents
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- JP2000068348A JP2000068348A JP23142898A JP23142898A JP2000068348A JP 2000068348 A JP2000068348 A JP 2000068348A JP 23142898 A JP23142898 A JP 23142898A JP 23142898 A JP23142898 A JP 23142898A JP 2000068348 A JP2000068348 A JP 2000068348A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 物品の下方に、物品をすくいあげるための大
きな作業空間を必要とせず、物品を支持している状態で
物品の落下を防止することのできる移載装置を提供する
ことである。 【解決手段】 物品Wを下方から支持して移載する移載
装置1において、物品Wを支持する物品支持部材21a
と、物品支持部材21aに支持された物品Wの移動を規
制するストッパー部材22,23とを設け、物品支持部
材21aで物品Wを支持することにより、物品支持部材
Wに対してストッパー部材22,23が相対的に上方に
位置するように変位することを特徴とするものである。
きな作業空間を必要とせず、物品を支持している状態で
物品の落下を防止することのできる移載装置を提供する
ことである。 【解決手段】 物品Wを下方から支持して移載する移載
装置1において、物品Wを支持する物品支持部材21a
と、物品支持部材21aに支持された物品Wの移動を規
制するストッパー部材22,23とを設け、物品支持部
材21aで物品Wを支持することにより、物品支持部材
Wに対してストッパー部材22,23が相対的に上方に
位置するように変位することを特徴とするものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、物品を下方から支
持して移載する移載装置に関するものである。
持して移載する移載装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、移載装置としては、複数の部材を
連結して伸縮自在としたアームの先端にハンドを設け、
このハンドを物品の底に進入させ、すくいあげることで
物品の下方を支持し、移載するものが知られている。ハ
ンドには、支持された物品が移載中にズレないように物
品の移動を規制するストッパーが上面の四方に突出する
ように設けられている。
連結して伸縮自在としたアームの先端にハンドを設け、
このハンドを物品の底に進入させ、すくいあげることで
物品の下方を支持し、移載するものが知られている。ハ
ンドには、支持された物品が移載中にズレないように物
品の移動を規制するストッパーが上面の四方に突出する
ように設けられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】したがって、従来の搬
送装置にあっては、物品の下方にハンドを進入させる
際、ハンドの進入方向の奥側において物品の移動を規制
するストッパーが物品と干渉しないように、ハンドをよ
り低い位置に進入させなければならず、物品の下方に大
きな作業空間が必要となる問題があった。
送装置にあっては、物品の下方にハンドを進入させる
際、ハンドの進入方向の奥側において物品の移動を規制
するストッパーが物品と干渉しないように、ハンドをよ
り低い位置に進入させなければならず、物品の下方に大
きな作業空間が必要となる問題があった。
【0004】本発明の課題は、物品の下方に、物品をす
くいあげるための大きな作業空間を必要とせず、物品を
支持している状態で物品の落下を防止することのできる
移載装置を提供することである。
くいあげるための大きな作業空間を必要とせず、物品を
支持している状態で物品の落下を防止することのできる
移載装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、請求項1に記載の発明においては、物品を下方から
支持して移載する移載装置において、物品を支持する物
品支持部材と、物品支持部材に支持された物品の移動を
規制するストッパー部材とを設け、物品支持部材で物品
を支持した状態においては、物品支持部材に対しストッ
パー部材が相対的に上方に位置するように変位すること
を特徴とするものである。
に、請求項1に記載の発明においては、物品を下方から
支持して移載する移載装置において、物品を支持する物
品支持部材と、物品支持部材に支持された物品の移動を
規制するストッパー部材とを設け、物品支持部材で物品
を支持した状態においては、物品支持部材に対しストッ
パー部材が相対的に上方に位置するように変位すること
を特徴とするものである。
【0006】請求項2に記載の発明では、請求項1に記
載の発明において、物品支持部材は、物品を支持してい
ない状態ではストッパー部材と略同じ高さ位置となるよ
う常に上方に付勢されており、物品支持部材で物品を支
持すると、物品の荷重によって物品支持部材の上昇が制
限されることにより、物品支持部材に対しストッパー部
材が相対的に上方に変位するようにしたことを特徴とす
るものである。
載の発明において、物品支持部材は、物品を支持してい
ない状態ではストッパー部材と略同じ高さ位置となるよ
う常に上方に付勢されており、物品支持部材で物品を支
持すると、物品の荷重によって物品支持部材の上昇が制
限されることにより、物品支持部材に対しストッパー部
材が相対的に上方に変位するようにしたことを特徴とす
るものである。
【0007】請求項3に記載の発明では、請求項1また
は請求項2に記載の発明において、ストッパー部材は、
物品を物品支持部材の所定位置へガイドするためのテー
パー面を備えていることを特徴とするものである。
は請求項2に記載の発明において、ストッパー部材は、
物品を物品支持部材の所定位置へガイドするためのテー
パー面を備えていることを特徴とするものである。
【0008】従って、請求項1に記載の発明では、物品
支持部材で物品を支持した状態においては、ストッパー
部材が上方に変位するため、物品の下方に物品支持部材
を進入させる際には、ストッパー部材を低い位置にして
おくことが可能となる。そして、ストッパー部材を上方
に変位させることにより、物品を支持した後は物品の移
動を規制することができる。
支持部材で物品を支持した状態においては、ストッパー
部材が上方に変位するため、物品の下方に物品支持部材
を進入させる際には、ストッパー部材を低い位置にして
おくことが可能となる。そして、ストッパー部材を上方
に変位させることにより、物品を支持した後は物品の移
動を規制することができる。
【0009】請求項2に記載の発明では、請求項1に記
載の発明の作用に加えて、物品支持部材が,物品を支持
していない状態ではストッパー部材と略同じ高さ位置と
なるように常に上方に付勢されているため、ストッパー
部材を物品支持部材から突出させず、換言すれば、スト
ッパー部材が設けられていない場合と同様に、物品支持
部材を物品の下方に進入させることができる。そして、
物品支持部材で物品を支持することにより、物品の荷重
で、物品支持部材の上昇が制限されるため、専用の駆動
源を用いることなく、物品支持部材に対しストッパー部
材を相対的に上方に変位させることができる。
載の発明の作用に加えて、物品支持部材が,物品を支持
していない状態ではストッパー部材と略同じ高さ位置と
なるように常に上方に付勢されているため、ストッパー
部材を物品支持部材から突出させず、換言すれば、スト
ッパー部材が設けられていない場合と同様に、物品支持
部材を物品の下方に進入させることができる。そして、
物品支持部材で物品を支持することにより、物品の荷重
で、物品支持部材の上昇が制限されるため、専用の駆動
源を用いることなく、物品支持部材に対しストッパー部
材を相対的に上方に変位させることができる。
【0010】請求項3に記載の発明では、請求項1また
は請求項2に記載の発明の作用に加えて、ストッパー部
材に設けられたテーパー面に、物品を沿わすことで、物
品支持部材の所定位置に物品をガイドすることができ
る。
は請求項2に記載の発明の作用に加えて、ストッパー部
材に設けられたテーパー面に、物品を沿わすことで、物
品支持部材の所定位置に物品をガイドすることができ
る。
【0011】
【実施の形態】本実施の形態の移載装置1を図面を参照
しながら説明する。図1は、本実施の形態の移載装置1
が設けられた搬送装置3を示す概要図である。本実施の
形態の移載装置1は、例えば、クリーンルーム2内の半
導体等の処理装置の移載ステーションSの上に載置され
たカセットウエハ等の物品Wを、自動倉庫の入出庫ステ
ーションまで搬送するための搬送装置3に設けられるも
のである。
しながら説明する。図1は、本実施の形態の移載装置1
が設けられた搬送装置3を示す概要図である。本実施の
形態の移載装置1は、例えば、クリーンルーム2内の半
導体等の処理装置の移載ステーションSの上に載置され
たカセットウエハ等の物品Wを、自動倉庫の入出庫ステ
ーションまで搬送するための搬送装置3に設けられるも
のである。
【0012】搬送装置3は、床面5より高く、天井6よ
り低い高さ位置に敷設されたレール4に、つり下げられ
た状態で走行する走行台車11と、走行台車11の下方
に物品Wを移載するための移載装置1とを備えたもので
ある。床面5は、グレーティングが施してあり、天井6
から吹き出されるクリーンエアーを、床面5の下方に設
けられる不図示の吸引手段により吸引することで、クリ
ーンルーム2内のクリーン度を維持するようになってい
る。レール4は、搬送装置3への給電線や信号線等も含
んでおり、支柱7により支持されている。
り低い高さ位置に敷設されたレール4に、つり下げられ
た状態で走行する走行台車11と、走行台車11の下方
に物品Wを移載するための移載装置1とを備えたもので
ある。床面5は、グレーティングが施してあり、天井6
から吹き出されるクリーンエアーを、床面5の下方に設
けられる不図示の吸引手段により吸引することで、クリ
ーンルーム2内のクリーン度を維持するようになってい
る。レール4は、搬送装置3への給電線や信号線等も含
んでおり、支柱7により支持されている。
【0013】走行台車11は、レール4に係合する車輪
およびその駆動モータ等が組み込まれた走行部12と、
ファンやフィルタ等からなるクリーンユニットが内蔵さ
れている台車本体13とを備え、台車本体13の底部に
は、移載装置1が取り付けられている。クリーンユニッ
トは、その下部の移載装置1で発生した塵埃を吸引し、
浄化した空気をクリーンルーム2内に放出するようにな
っている。移載装置1は、アーム旋回モータ14で二段
のアーム15、16を互いに反対方向に旋回させて、下
部アーム16の先端に取り付けたフォーク昇降部17を
レール4と直交するように前後進させるようにしたもの
である。フォーク昇降部17には、ハンド部材18が昇
降自在に取り付けられ、ハンド部材18が物品Wのフラ
ンジWfの下部を支持するようになっている。
およびその駆動モータ等が組み込まれた走行部12と、
ファンやフィルタ等からなるクリーンユニットが内蔵さ
れている台車本体13とを備え、台車本体13の底部に
は、移載装置1が取り付けられている。クリーンユニッ
トは、その下部の移載装置1で発生した塵埃を吸引し、
浄化した空気をクリーンルーム2内に放出するようにな
っている。移載装置1は、アーム旋回モータ14で二段
のアーム15、16を互いに反対方向に旋回させて、下
部アーム16の先端に取り付けたフォーク昇降部17を
レール4と直交するように前後進させるようにしたもの
である。フォーク昇降部17には、ハンド部材18が昇
降自在に取り付けられ、ハンド部材18が物品Wのフラ
ンジWfの下部を支持するようになっている。
【0014】ハンド部材18は、図2および図3に示す
ように、物品Wを支持するための物品支持部材21a
と、物品支持部材21aに支持された物品Wの移動を規
制するストッパー部材22,23a,23bとを備え、
物品支持部材21aに対してストッパー部材22,23
a,23bの高さ位置が変位可能となっている。具体的
には、平面視でコの字型のフレーム24aに、ストッパ
ー部材22およびストッパー部材23a,23bが固定
され、物品支持部材21aが昇降する部位には、物品支
持部材21aの形状に合わせて切欠きが設けられてい
る。ストッパ部材22,23aでフランジWfの左右方
向の移動を規制し、ストッパ部材22,23bでフラン
ジWfの前後方向の移動を規制するようになっている。
ストッパー部材22,23a,23bの上部にはテーパ
ー面29が設けられ、すくい取る際に、物品Wを物品支
持部材21aの所定位置へガイドするようになってい
る。各物品支持部材21aは、上方へ突出する支持片2
1bを有しており、支持片21bにプレート25が固定
されて、全ての物品支持部材21aが同時に昇降するよ
うになっている。
ように、物品Wを支持するための物品支持部材21a
と、物品支持部材21aに支持された物品Wの移動を規
制するストッパー部材22,23a,23bとを備え、
物品支持部材21aに対してストッパー部材22,23
a,23bの高さ位置が変位可能となっている。具体的
には、平面視でコの字型のフレーム24aに、ストッパ
ー部材22およびストッパー部材23a,23bが固定
され、物品支持部材21aが昇降する部位には、物品支
持部材21aの形状に合わせて切欠きが設けられてい
る。ストッパ部材22,23aでフランジWfの左右方
向の移動を規制し、ストッパ部材22,23bでフラン
ジWfの前後方向の移動を規制するようになっている。
ストッパー部材22,23a,23bの上部にはテーパ
ー面29が設けられ、すくい取る際に、物品Wを物品支
持部材21aの所定位置へガイドするようになってい
る。各物品支持部材21aは、上方へ突出する支持片2
1bを有しており、支持片21bにプレート25が固定
されて、全ての物品支持部材21aが同時に昇降するよ
うになっている。
【0015】その他、フレーム24aには、上方に突出
するように下降規制部材26が固定される。フレーム2
4aの外縁に、下降規制部材26より上方へ高く立ち上
がる連結部材27が設けられ、その上にフレーム24b
が固定される。下降規制部材26とフレーム24bとの
間に、プレート25を配置することで、プレート25の
上昇及び下降を制限し、物品支持部材21aの昇降量が
決まるようになっている。また、フレーム24aには、
スプリング等の弾性部材28が設けられ、物品支持部材
21aがストッパー部材22,23a,23bと略同じ
高さ位置となるように常に上方に付勢するようになって
いる。
するように下降規制部材26が固定される。フレーム2
4aの外縁に、下降規制部材26より上方へ高く立ち上
がる連結部材27が設けられ、その上にフレーム24b
が固定される。下降規制部材26とフレーム24bとの
間に、プレート25を配置することで、プレート25の
上昇及び下降を制限し、物品支持部材21aの昇降量が
決まるようになっている。また、フレーム24aには、
スプリング等の弾性部材28が設けられ、物品支持部材
21aがストッパー部材22,23a,23bと略同じ
高さ位置となるように常に上方に付勢するようになって
いる。
【0016】物品Wを支持した際のハンド部材18の動
きを、図1および図4を参照しながら説明する。先ず、
ハンド部材18の物品支持部材21aが、物品Wのフラ
ンジWfの下方まで進入するように、アーム旋回モータ
14を駆動させ、アーム15,16を伸長する。この際
に、物品支持部材21aは、弾性部材28により上方に
付勢され、ストッパー部材22,23a,23bと略同
じ高さ位置となっている。したがって、物品支持部材2
1aがフランジWfに干渉しない高さ位置にハンド部材
18を進入させれば、ストッパー部材22,23a,2
3bがフランジWfに干渉することはない。(図4
(a))
きを、図1および図4を参照しながら説明する。先ず、
ハンド部材18の物品支持部材21aが、物品Wのフラ
ンジWfの下方まで進入するように、アーム旋回モータ
14を駆動させ、アーム15,16を伸長する。この際
に、物品支持部材21aは、弾性部材28により上方に
付勢され、ストッパー部材22,23a,23bと略同
じ高さ位置となっている。したがって、物品支持部材2
1aがフランジWfに干渉しない高さ位置にハンド部材
18を進入させれば、ストッパー部材22,23a,2
3bがフランジWfに干渉することはない。(図4
(a))
【0017】フォーク昇降部17を作動させ、フレーム
24a,24bを上昇させると、物品支持部材21aが
フランジWfに当接する。さらにフレーム24a,24
bを上昇させると、物品Wの荷重により、物品支持部材
21aの高さ位置は変わらずに、フレーム24a,24
bだけが上昇する。この結果、ストッパー部材22,2
3a,23bが物品支持面21に対して相対的に上方に
位置することになる。この際に、テーパー面29により
物品Wが物品支持部材21aの所定位置に移動する。ス
トッパー部材22,23a,23bがフランジWfの四
方を囲む状態となり、物品Wの移動を規制する。(図4
(b))
24a,24bを上昇させると、物品支持部材21aが
フランジWfに当接する。さらにフレーム24a,24
bを上昇させると、物品Wの荷重により、物品支持部材
21aの高さ位置は変わらずに、フレーム24a,24
bだけが上昇する。この結果、ストッパー部材22,2
3a,23bが物品支持面21に対して相対的に上方に
位置することになる。この際に、テーパー面29により
物品Wが物品支持部材21aの所定位置に移動する。ス
トッパー部材22,23a,23bがフランジWfの四
方を囲む状態となり、物品Wの移動を規制する。(図4
(b))
【0018】さらにフォーク昇降部17を作動させ、フ
レーム24a,24bを昇降させると、プレート25が
下降規制部材26に当接し、フレーム24a,24bと
ともにプレート25が持ち上がり、物品Wが完全に物品
支持部材21aで支持される。
レーム24a,24bを昇降させると、プレート25が
下降規制部材26に当接し、フレーム24a,24bと
ともにプレート25が持ち上がり、物品Wが完全に物品
支持部材21aで支持される。
【0019】このように、本実施の形態では、物品支持
部材21aで支持する対象が下方に大きな作業空間がな
いフランジWfであっても、物品支持部材21aを進入
させることができ、支持した後はストッパー部材22,
23a,23bで物品Wの移動を確実に規制することが
できる。
部材21aで支持する対象が下方に大きな作業空間がな
いフランジWfであっても、物品支持部材21aを進入
させることができ、支持した後はストッパー部材22,
23a,23bで物品Wの移動を確実に規制することが
できる。
【0020】なお、この発明は以下のようにして具体化
しても良い。本実施の形態では、物品Wの荷重を利用
し、ハンド部材を上昇させる一連の動作の中で、ストッ
パー部材22,23a,23bを物品支持部材21aに
対して相対的に上昇させるようになっているが、ストッ
パー部材22,23a,23bを物品支持部材21aに
対して上昇させる専用の駆動源を別に設け、物品支持部
材21aが物品Wを支持したことをセンサ等で検出し、
駆動源を作動させてストッパ部材22,23a,23b
を上昇させるようにしても良い。
しても良い。本実施の形態では、物品Wの荷重を利用
し、ハンド部材を上昇させる一連の動作の中で、ストッ
パー部材22,23a,23bを物品支持部材21aに
対して相対的に上昇させるようになっているが、ストッ
パー部材22,23a,23bを物品支持部材21aに
対して上昇させる専用の駆動源を別に設け、物品支持部
材21aが物品Wを支持したことをセンサ等で検出し、
駆動源を作動させてストッパ部材22,23a,23b
を上昇させるようにしても良い。
【0021】また、本実施の形態では、物品支持部材2
1aで物品WのフランジWfを支持したが、物品支持部
材21aで物品Wの底部を支持するようにしても良い。
1aで物品WのフランジWfを支持したが、物品支持部
材21aで物品Wの底部を支持するようにしても良い。
【0022】また、本実施の形態では、移載装置1を移
載ステーションSから自動倉庫の入出庫ステーションに
物品Wを搬送する搬送装置3に取り付けたが、自動倉庫
に用いられるクレーンに取り付けても良い。その場合、
物品収納棚の下方に必要な作業空間が小さくて済むた
め、自動倉庫の収納効率を高めることができる。また、
移載装置1は、無人搬送車やその他の搬送装置に取り付
けるようにしても良い。
載ステーションSから自動倉庫の入出庫ステーションに
物品Wを搬送する搬送装置3に取り付けたが、自動倉庫
に用いられるクレーンに取り付けても良い。その場合、
物品収納棚の下方に必要な作業空間が小さくて済むた
め、自動倉庫の収納効率を高めることができる。また、
移載装置1は、無人搬送車やその他の搬送装置に取り付
けるようにしても良い。
【0023】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0024】請求項1に記載の発明によれば、物品支持
部材で物品を支持した状態においては、ストッパー部材
が上方に変位するため、物品の下方に物品支持部材を進
入させる際には、ストッパー部材を低い位置にしておく
ことが可能であり、物品支持部材からストッパー部材を
突出させずに、物品に進入させることが可能となること
から、物品支持部材を進入させるための作業空間が余り
ない場合でも進入させることが可能となる。また、物品
支持部材で物品を支持した状態においては、物品支持部
材に対してストッパー部材が上方に変位することから、
物品支持部材により支持されている物品の移動をストッ
パー部材により規制することができ、物品の落下を確実
に防止することができる。さらに、同じ作業空間であれ
ばストッパー部材の高さを従来に比し高くすることがで
き、物品の移動をより確実に規制することができる。
部材で物品を支持した状態においては、ストッパー部材
が上方に変位するため、物品の下方に物品支持部材を進
入させる際には、ストッパー部材を低い位置にしておく
ことが可能であり、物品支持部材からストッパー部材を
突出させずに、物品に進入させることが可能となること
から、物品支持部材を進入させるための作業空間が余り
ない場合でも進入させることが可能となる。また、物品
支持部材で物品を支持した状態においては、物品支持部
材に対してストッパー部材が上方に変位することから、
物品支持部材により支持されている物品の移動をストッ
パー部材により規制することができ、物品の落下を確実
に防止することができる。さらに、同じ作業空間であれ
ばストッパー部材の高さを従来に比し高くすることがで
き、物品の移動をより確実に規制することができる。
【0025】請求項2に記載の発明によれば、請求項1
に記載の発明の効果に加えて、物品支持部材が,物品を
支持していない状態ではストッパー部材と略同じ高さ位
置となるように常に上方に付勢されており、ストッパー
部材を物品支持部材に対して突出させずに物品に進入さ
せることで、物品支持部材を進入させるための作業空間
が余りない場合でも進入させることができる。また、物
品支持部材で物品を支持することにより、物品の荷重
で、物品支持部材の上昇を規制し、物品支持部材に対し
ストッパー部材を相対的に上方に変位させることができ
るため、ストッパー部材を上昇させる専用の駆動源が不
要となる。
に記載の発明の効果に加えて、物品支持部材が,物品を
支持していない状態ではストッパー部材と略同じ高さ位
置となるように常に上方に付勢されており、ストッパー
部材を物品支持部材に対して突出させずに物品に進入さ
せることで、物品支持部材を進入させるための作業空間
が余りない場合でも進入させることができる。また、物
品支持部材で物品を支持することにより、物品の荷重
で、物品支持部材の上昇を規制し、物品支持部材に対し
ストッパー部材を相対的に上方に変位させることができ
るため、ストッパー部材を上昇させる専用の駆動源が不
要となる。
【0026】請求項3に記載の発明によれば、請求項1
または請求項2に記載の発明の効果に加えて、ストッパ
ー部材にテーパー面を設けることで、物品と物品支持部
材との位置が、所定よりずれていても物品支持部材の所
定位置に物品をガイドすることができる。
または請求項2に記載の発明の効果に加えて、ストッパ
ー部材にテーパー面を設けることで、物品と物品支持部
材との位置が、所定よりずれていても物品支持部材の所
定位置に物品をガイドすることができる。
【図1】実施の形態の移載装置が設けられた搬送装置を
示す概要図である。
示す概要図である。
【図2】本実施の形態の移載装置の物品支持部材とスト
ッパー部材を示す要部平面図である。
ッパー部材を示す要部平面図である。
【図3】図2のA−A線断面図である。
【図4】(a)(b)は、本実施の形態の移載装置の動
きを示す、図2のB−B線断面図である。
きを示す、図2のB−B線断面図である。
1 移載装置 21a 物品支持部材 22 ストッパー部材 23 ストッパー部材 W 物品
Claims (3)
- 【請求項1】 物品を下方から支持して移載する移載装
置において、物品を支持する物品支持部材と、物品支持
部材に支持された物品の移動を規制するストッパー部材
とを設け、物品支持部材で物品を支持した状態において
は、物品支持部材に対しストッパー部材が相対的に上方
に変位するようにしたことを特徴とする移載装置。 - 【請求項2】 物品支持部材は、物品を支持していない
状態ではストッパー部材と略同じ高さ位置となるよう常
に上方に付勢されており、物品支持部材で物品を支持す
ると、物品の荷重によって物品支持部材の上昇が制限さ
れることにより、物品支持部材に対しストッパー部材が
相対的に上方に変位するようにしたことを特徴とする請
求項1に記載の移載装置。 - 【請求項3】 ストッパー部材は、物品を物品支持部材
の所定位置へガイドするためのテーパー面を備えている
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の移載
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23142898A JP2000068348A (ja) | 1998-08-18 | 1998-08-18 | 移載装置 |
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JP23142898A JP2000068348A (ja) | 1998-08-18 | 1998-08-18 | 移載装置 |
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ID=16923423
Family Applications (1)
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JP (1) | JP2000068348A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012066933A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
KR20180028973A (ko) * | 2016-09-09 | 2018-03-19 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 장치 |
-
1998
- 1998-08-18 JP JP23142898A patent/JP2000068348A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012066933A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
US9045147B2 (en) | 2010-09-27 | 2015-06-02 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility |
KR20180028973A (ko) * | 2016-09-09 | 2018-03-19 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 장치 |
KR102397716B1 (ko) * | 2016-09-09 | 2022-05-12 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 장치 |
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