JP2010118535A - 運搬装置 - Google Patents

運搬装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2010118535A
JP2010118535A JP2008291204A JP2008291204A JP2010118535A JP 2010118535 A JP2010118535 A JP 2010118535A JP 2008291204 A JP2008291204 A JP 2008291204A JP 2008291204 A JP2008291204 A JP 2008291204A JP 2010118535 A JP2010118535 A JP 2010118535A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
load
main body
foup
support
holding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008291204A
Other languages
English (en)
Inventor
Masanao Murata
正直 村田
Takashi Yamaji
孝 山路
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Muratec Automation Co Ltd
Original Assignee
Muratec Automation Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Muratec Automation Co Ltd filed Critical Muratec Automation Co Ltd
Priority to JP2008291204A priority Critical patent/JP2010118535A/ja
Priority to KR1020090101164A priority patent/KR20100054085A/ko
Priority to TW098138419A priority patent/TW201022091A/zh
Priority to US12/616,934 priority patent/US20100117391A1/en
Publication of JP2010118535A publication Critical patent/JP2010118535A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67379Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775Docking arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00Material or article handling
    • Y10S414/135Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14Wafer cassette transporting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板を収容するFOUP等の荷を搬送する運搬装置において、荷を小型化しつつ、比較的容易にして該荷を経路上から取り外して運搬する。
【解決手段】運搬装置(10)は、内部空間を規定すると共に内部空間が外部空間に開いている開口を規定し、開口を介して外部空間から内部空間に、荷を収容可能な本体部と、本体部における内部空間に面する又は接する位置に配置されており、収容された荷を内部空間内にて保持可能な保持手段(20)と、本体部における外部空間に面する又は接する位置に配置されており、外部空間側から把持可能な一又は複数の取っ手(11)とを備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板を収容するFOUP(Front Opening Unified Pod)等の容器である荷を運搬する運搬装置の技術分野に関する。
この種の容器として、例えば口径が300mmである半導体ウェハを複数枚収容可能なFOUPが開示されている(特許文献1参照)。具体的には、このようなFOUPは、主に、経路に沿った複数の工程間又は各工程内で、半導体ウェハを搬送することに使用される。こうしたFOUPにおいて、人手による搬送を容易にするために、例えば特許文献1における図2の符号3dで示されるような取っ手(例えば、「サイドフランジ」と称される)を両側面に各々設けることが、一般的となっている。
特開2007−123673号公報
上述した特許文献1の容器によれば、収納される半導体ウェハについて、その口径が300mmであるが、近年、300mmより大きい大口径化が図られている。これに伴って、ウェハケースが大型化及び大重量化しており、例えば口径が450mmの半導体ウェハが促進されつつある。
一般には知られていないものの本願発明者の実験或いは研究の成果によれば、その口径のサイズでは、保管スペースの確保等により、ウェハケースのサイズを最小限とすることが望ましい。このため、取っ手は付けないことが標準化されることが予想される。しかしながら、例えば搬送システムにより、搬送スケジュールに従って搬送が自動化されても、走行手段の故障、障害物との衝突、及び搬送車の脱線等のトラブルにより、搬送システムが緊急停止される。この場合に、搬送車を経路上から取り外したり、取り外された搬送車を経路上に戻すように、ウェハケースを持ち運ぶための取っ手等を備えていなければ、特に大重量化されたウェハケースを素手で保持した場合に、誤ってウェハケースが落下して半導体ウェハが損壊し兼ねないという技術的問題点がある。
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、ウェハケース等の容器である荷を小型化しつつ、比較的容易にして該荷を経路上から取り外して運搬することを可能ならしめる運搬装置を提供することを課題とする。
本発明に係る運搬装置は上記課題を解決するために、内部空間を規定すると共に前記内部空間が外部空間に開いている開口を規定し、該開口を介して前記外部空間から前記内部空間に、荷を収容可能な本体部と、前記本体部における前記内部空間に面する又は接する位置に配置されており、前記収容された荷を前記内部空間内にて保持可能な保持手段と、前記本体部における前記外部空間に面する又は接する位置に配置されており、前記外部空間側から把持可能な一又は複数の取っ手とを備える。
本発明の運搬装置によれば、当該運搬装置は、例えばFOUP等の荷を収容すると共に、該収容された荷を人手により運搬するための装置である。ここで「荷」は、例えばビークル、OHT(Overhead Hoist Transport)等の搬送車により、工場等内に敷設された経路に沿って搬送される。この経路上には、例えばストッカ、製造装置等との間で入出庫するためのポートが設けられている。例えば、搬送車による搬送中に、ポート等の故障により、経路上で荷が立ち往生してしまう。
このような場合に、例えば搬送システムの管理者等の人手により、一又は複数の取っ手が把持され、本体部が外部空間に在る荷の上方或いは側方へ移動されると共に、荷を覆うように荷に向けて移動され、開口を介して荷を内部空間に収容する。ここで「本体部」とは、例えば面を有する筐体、或いは面を持たず骨組みだけを有するフレーム等を意味する。このような本体部に規定される「内部空間」とは、例えば荷をすっぽり囲うことが可能な空間であって、本体部の内側の空間を意味する。一方、内部空間に対する「外部空間」とは、例えば本体部より外側の空間を意味する。また「開口」とは、例えば内部空間が外部空間に対して開いており、内部空間と外部空間とを隔てる開口であって、内部空間と外部空間との間で荷を相通可能なサイズを有する。続いて、荷が内部空間に収容されると、例えば保持手段が荷を保持するように駆動され、荷が内部空間にて保持される。ここで「保持手段」とは、例えばホイスト機構等の保持機構を意味する。該保持手段は、本体部における内部空間に対向する天壁或いは内壁等に配置されている。荷が内部空間にて保持された状態で、人手により、再び一又は複数の取っ手が把持され、本体部及び該本体部に収容された荷が自由に持ち運ばれる。これにより、経路上で立ち往生している荷が経路外へ移動される。
この後に、人手により、荷が収容された本体部が、例えば工場等内に設けられた所定の棚上へ移動される。すると、保持手段が荷を解放するように駆動され、荷及び本体部が別離される。
以上のように、荷に取っ手を直接に取り付けることなく、取っ手付きの当該運搬装置を用いて、管理者等が自由に行き来可能な場所へ荷が移動される。従って、荷を小型化しつつ、経路上から取り外して運搬することが可能となる。
本発明の運搬装置の一態様では、前記開口は、少なくとも下方に開いており、前記本体部は、前記荷が前記開口を介して前記下方から収容されるように構成されている。
この態様によれば、開口は、内部空間の下方に開いている。例えば、経路上で荷が立ち往生してしまった場合に、人手により、本体部が、外部空間に在る荷の上方へ移動されると共に、荷を覆うように荷に向かって下方へ移動される。これにより、荷が、開口を介して内部空間の下方から内部空間に収容される。
この態様では、前記保持手段は、前記荷を支持する支持位置、及び前記荷を解放する解放位置間で変位する支持部と、前記支持部を変位させる際に操作される操作部と、前記操作部及び前記支持部間に配置され、前記操作部の操作に応じて前記支持部が変位するように前記操作部及び前記支持部を連結する連結部とを備えてもよい。
このように構成すれば、保持手段により荷が保持される際に、本体部が荷を覆った状態で、人手により、操作部が操作される。すると、連結部を介して支持部が支持位置に変位される。一方、保持手段により荷が解放される際に、人手により、操作部が操作されると、連結部を介して支持部が解放位置に変位される。ここで「連結部」とは、例えば一連の複数の歯車を含んでおり、駆動された操作部の動力を支持部に伝達する機構を意味する。具体的には、例えば一連の複数の歯車のうち、一端の歯車の歯が操作部の駆動軸に係合されており、他端の歯車の歯が支持部の駆動軸に係合されていてもよい。こうして保持手段を構成することにより、人手であっても容易にして、荷及び本体部を固定又は別離させることが可能となる。尚、支持部は、本体部内部(言い換えれば、内部空間)にて保持可能に、例えば本体部内部の天壁又は側壁に配置されていてもよい。また、操作部は、人手により本体部外部側(言い換えれば、外部空間側)から操作可能に、例えば本体部の上面又は側面に配置されていてもよい。
この態様では、前記支持部は、前記荷の上面に取り付けられた凸状の掛かり部、又は前記荷の上部に設けられた凹状の掛かり部を支持してもよい。
このように構成すれば、保持手段により荷が保持される際に、支持部により、荷における凸状の掛かり部、又は凹状の掛かり部(詳細には、例えば鍔部分)が直接に支持される。ここで「凸状の掛かり部」とは、例えばFOUPにおける外フランジを意味する。具体的には、該凸状の掛かり部は、例えば半導体ウェハを収容するFOUP本体の上面に取り付けられた、T字形の突起であって、支持部により両側端部を下面側から支持されてもよい。「凹状の掛かり部」とは、例えばFOUPにおける内フランジを意味する。具体的には、該凹状の掛かり部は、例えばFOUP本体の上部に形成された、逆様のT字型の開口であって、支持部が両側部に位置することにより支持されてもよい。このような様々な形体の掛かり部に対して、支持部を適用することが可能である。特に、凹状の掛かり部に適用される支持部を含む当該運搬装置について、凸状の掛かり部の場合よりも、掛かり部を支持する支持位置が下がった分、小型化することが可能である。
本発明の運搬装置の他の態様では、前記開口は、少なくとも側方に開いており、前記本体部は、前記荷が前記開口を介して前記側方から収容されるように構成されている。
この態様によれば、開口は、内部空間の側方に開いている。例えば、経路上で荷が立ち往生してしまった場合に、人手により、本体部が、外部空間に在る荷の側方へ移動されると共に、荷を覆うように荷に向かって水平方向に移動される。この際に、荷が保持手段に導かれ、開口を介して内部空間の側方から内部空間に収容されると、荷が内部空間にて保持されている。ここで「保持手段」とは、例えば荷を懸架可能な懸架機構を意味する。具体的には、例えば懸架機構における懸架部(言い換えれば、支持部)は、荷における例えば外フランジ又は内フランジ等の掛かり部に係合可能に、例えば本体部内部の天壁或いは側壁に配置される、又は本体部の上面に一体に形成されてもよい。荷が内部空間にて保持された状態で、人手により、継続して一又は複数の取っ手が把持され、本体部及び該本体部に収容された荷が自由に持ち運ばれる。これにより、経路上で立ち往生している荷が経路外へ移動される。
以上のように、開口が内部空間の下方に開いている場合と同様にして、荷に取っ手を直接に取り付けることなく、取っ手付きの当該運搬装置を用いて、管理者等が自由に行き来可能な場所へ荷が移動される。従って、開口が内部空間の側方に開いている場合も同様にして、荷を小型化しつつ、経路上から取り外して運搬することが可能となる。
この態様では、前記保持手段は、前記荷の上面に取り付けられた凸状の掛かり部、又は前記荷の上部に設けられた凹状の掛かり部を支持する支持部を有してもよい。
このように構成すれば、保持手段により荷が保持される際に、支持部により、荷における凸状の掛かり部、又は凹状の掛かり部(詳細には、例えば鍔部分)が直接に支持される。ここで「支持部」とは、例えば本体部内部の天壁に固定された一対の平面部材の先端部分を夫々内側又は外側に屈曲させた部材を意味する。具体的には、例えば屈曲された先端部分により、例えば上述した外フランジ又は内フランジが支持されてもよい。このような支持部は、様々な形体の掛かり部に適用することが可能である。特に、開口が内部空間の側方に開いている場合に適用される懸架機構等の保持手段は、人手による操作の手間が省かれるので使い勝手がよく、上述した操作部及び連結部等の複雑な機構を備える保持手段と比較して低コストに構成することが可能である。
この態様では、前記一又は複数の取っ手は、前記本体部において、前記側方より他の複数の側方に対応する複数の側面の各々に取り付けられていてもよい。
この態様によれば、一又は複数の取っ手は、例えば本体部が複数の面を有する場合に、開口に夫々隣り合う2つの側面に取り付けられている。この場合に、例えば2人の管理者等により、2つの側面の一又は複数の取っ手が夫々把持され、本体部(言い換えれば、本体部内部の荷)が持ち運ばれてもよい。また、一又は複数の取っ手は、例えば上述した2つの側面に加えて、開口に対向する1つの側面に取り付けられている場合に、例えば3人の管理者等により、3つの側面の一又は複数の取っ手が夫々把持され、本体部が持ち運ばれてもよい。このように、取っ手は、例えば荷の重量等に応じて、複数個、複数面に取り付けることも可能である。従って、当該運搬装置をより使い勝手よく構成することが可能である。
この態様では、前記一又は複数の取っ手は、前記複数の側面に加えて前記本体部の上面に取り付けられていてもよい。
このように構成すれば、例えば一人の管理者等により、本体部の上面の一又は複数の取っ手が把持され、本体部が持ち運ばれてもよい。これにより、例えば管理者等の人手が少ない場合等に、一人でも容易に本体部を移動させることが可能である。従って、当該運搬装置を更により使い勝手よく構成することが可能である。
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
<第1実施形態>
先ず、第1実施形態に係る運搬装置の構成について図1から図3を参照して説明する。ここに図1は、第1実施形態に係る運搬装置を概略的に示す正面図であり、図2は、第1実施形態の保持手段を上面側から視た上面図であり、図3は、特に図2の連結部を上面側から視た上面図である。尚、図1(a)、図2(a)及び図3(a)は、第1実施形態に係る支持部における支持位置を示し、図1(b)、図2(b)及び図3(b)は、該支持部の解放位置を示す。
図1において、本実施形態の運搬装置10は、本体部10a、保持部20、及び取っ手11を備える。運搬装置10は、本体部10a内部に、FOUP3を収容すると共に、収容されたFOUP3を移動させるための装置である。FOUP3は、本発明に係る「荷」の一例として、本実施形態では、上面に、T字型のフランジ4(即ち、本発明に係る「凸状の掛かり部」の一例)を備える。
本体部10aは、FOUP3が収容される内部空間の前面(即ち、図1における正面)及び下面を開いている。
保持部20は、本発明に係る「保持手段」の一例として、FOUP3を保持可能に構成されている。保持部20は、本体部10a上面に組み付けられている。保持部20は、操作摘み21、連結部22、及び支持部24を備える。
操作摘み21は、本発明に係る「操作部」の一例として、本体部10a上面に回動自在に設けられている。操作摘み21は、搬送システムの管理者により軸C1を中心として回転操作される。操作摘み21の回転軸の先端部には、回転部材21aが固定されている。
図2において、連結部22は、操作摘み21及び支持部24を連結しており、操作摘み21の回転操作により連動し、支持部24を変位させる。連結部22は、接続部22a、スライドガイド22b、及び移動部22cを備える。
図3において、接続部22aは、一対のヒンジ部材である。一対のヒンジ部材の各々において、一方の支点が回転部材21aに接合されており、他方の支点が移動部22cに接合されている。接続部22aの作用について、具体的には、図3(a)に示すように、一対のヒンジ部材が平行している状態にあって、操作摘み21の右回りの回転操作により、回転部材21aが右回りに回転された場合に、図3(b)に示すように、一対のヒンジ部材が同一線上に並んだ状態となる。一方、図3(b)に示すように、一対のヒンジ部材が同一線上に並んだ状態にあって、操作摘み21の左回りの回転操作により、回転部材21aが左回りに回転された場合に、図3(a)に示すように、一対のヒンジ部材が平行している状態となる。この作用により、接続部22aは、移動部22cを水平一方向に移動させる。
スライドガイド22bは、本体部10a内部に固定されている。移動部22cは、一対の平面部材であって、操作摘み21の回転操作に応じて、スライドガイド22bに沿って移動するように構成されている。移動部22cの移動について、具体的には、図2(a)に示すように、一対の平面部材が極近づいた状態にあって、回転部材21aが右回りに回転された場合に、図2(b)に示すように、一対の平面部材が左右に離れた状態となる。一方、図2(b)に示すように、一対の平面部材が左右に離れた状態にあって、回転部材21aが左回りに回転された場合に、図2(a)に示すように、一対の平面部材が極近づいた状態となる。一対の平面部材の各々の下面には、支持部24が固定されている。
支持部24は、左右対称に形成された一対の支持部材である。一対の支持部材の各々において、先端部が内側に屈曲されている。一対の支持部材は、操作摘み21の回転操作に応じて、支持位置及び解放位置間で変位される。一対の支持部材の変位について、具体的には、図1(a)及び図2(a)に示すように、一対の支持部材がフランジ4の両端部の下面側に位置し、FOUP3を支持した状態(即ち、支持位置)にあって、回転部材21aが右回りに回転された場合に、図1(b)及び図2(b)に示すように、一対の支持部材がフランジ4の両端部の側方に位置し、FOUP3を解放した状態(即ち、解放位置)となる。一方、図1(b)及び図2(b)に示すように、一対の支持部材がフランジ4の両端部の側方に位置し、FOUP3を解放した状態にあって、回転部材21aが左回りに回転された場合に、図1(a)及び図2(a)に示すように、一対の支持部材がフランジ4の両端部の下面側に位置し、FOUP3を支持した状態となる。
取っ手11は、本体部10aにおける2つの側面(即ち、図1における左右の側面)に、本体部10aの外部空間から把持可能に夫々取り付けられている。取っ手11は、通常、本体部10a(言い換えれば、保持部20に保持されているFOUP3)が移動される際に、搬送システムの管理者に把持される。
次に、本実施形態の運搬装置10を使用して、不図示の経路上で立ち往生しているFOUP3を経路外へ移動させる動作について、図1及び図2を参照して説明する。
搬送システムにおいて、経路上で立ち往生しているFOUP3が検出された場合に、先ず少なくとも一人の管理者により、FOUP3を収容していない運搬装置10の取っ手11が把持され、本体部10aが、立ち往生しているFOUP3の上方まで移動される。続いて、本体部10a内部にFOUP3を収容するように、本体部10aが下方に移動される。この際に、支持部24が解放位置に変位されている。
続いて、一人の管理者により、操作摘み21が右回りに回転操作されるのに伴って、支持部24が支持位置に変位される。この変位により、FOUP3のフランジ4が本体部10aに固定される。続いて、少なくとも一人の管理者により、取っ手11が把持され、FOUP3を保持した本体部10aが経路外へ移動される。
尚、経路外へ移動された本体部10aからFOUP3が取り出される際に、操作摘み21が左回りに回転操作されるのに伴って、支持部24が解放位置に変位される。この変位により、本体部10aからフランジ4が解放され、運搬装置10からFOUP3が取り出される。
このように、第1実施形態の動作によれば、FOUP3に取っ手11を直接に取り付けることなく、取っ手11付きの運搬装置10を用いて、少なくとも一人の管理者が自由に行き来可能な場所へFOUP3が移動される。従って、FOUP3を小型化しつつ、経路上から取り外して運搬することが可能となる。
尚、第1実施形態の動作では、フランジ4を上面に有するFOUP3を移動させるが、保持部20の構成を一部変更することにより、他の形体のFOUPを移動させることも可能である。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態に係る運搬装置の構成について図4を参照して説明する。ここに図4は、第2実施形態に係る運搬装置を概略的に示す正面図である。尚、図4(a)は、第2実施形態に係る支持部の支持位置を示し、図4(b)は、該支持部の解放位置を示す。また、第2実施形態では、第1実施形態の運搬装置10と略同様に構成される部位について、第1実施形態の運搬装置10の場合と同一の符号を付すと共に、その説明を省略する。
図4において、本実施形態は、図1のFOUP3と比較して、FOUP103の形態が異なる。これに対応して、本実施形態の運搬装置110は、図1の運搬装置10と比較して、保持部120の形態が異なる。
FOUP103は、図1のフランジ4の代わりに、FOUP3本体の上部に、逆様のT字型の掛かり部104(即ち、本発明に係る「凹状の掛かり部」の一例)を有する。
保持部120は、図1の保持部20と同様にして、本体部110a上面に組み付けられており、操作摘み21、連結部122、及び支持部124を備える。連結部122について、図1の連結部22と比較して、その形状のみが異なる。
支持部124は、図1の支持部24と比較して、その形状が異なる。支持部124は、一対の支持部材であって、一対の支持部材の各々において、先端部が外側に屈曲されている。一対の支持部材の変位について、具体的には、図4(a)に示すように、一対の支持部材が左右に離されて掛かり部104の両端部に位置し、FOUP103を支持した状態にあって、操作摘み21が右回りに回転された場合に、図4(b)に示すように、一対の支持部材が近づけられて掛かり部104の中央部に位置し、FOUP3を解放した状態(即ち、解放位置)となる。一方、図4(b)に示すように、一対の支持部材が掛かり部104の中央部に位置し、FOUP3を解放した状態にあって、操作摘み21が左回りに回転された場合に、図4(a)に示すように、一対の支持部材が掛かり部104の両端部に位置し、FOUP3を支持した状態となる。
次に、本実施形態の運搬装置110を使用して、経路上で立ち往生しているFOUP103を経路外へ移動させる動作について、図4を参照して説明する。
搬送システムにおいて、経路上で立ち往生しているFOUP103が検出された場合に、第1実施形態における動作と同様にして、先ず少なくとも一人の管理者により、運搬装置110の取っ手11が把持され、内部にFOUP103を収容するように、本体部110aが移動される。すると、一人の管理者により、操作摘み21が右回りに回転操作されるのに伴って、FOUP103の掛かり部104が本体部110aに固定される。続いて、少なくとも一人の管理者により、取っ手11が把持され、FOUP103を保持した本体部110aが経路外へ移動される。
尚、経路外へ移動された本体部110aからFOUP103が取り出される際に、操作摘み21が左回りに回転操作されるのに伴って、本体部110aから掛かり部104が解放され、運搬装置110からFOUP103が取り出される。
このように、第2実施形態の動作によっても、FOUP103に取っ手11を直接に取り付けることなく、取っ手11付きの運搬装置110を用いて、少なくとも一人の管理者が自由に行き来可能な場所へFOUP103が移動される。従って、FOUP103を小型化しつつ、経路上から取り外して運搬することが可能となる。また、凸型のフランジの代わりに凹型の掛かり部104を有するFOUP3では、より小型化することが可能となる。
尚、第1実施形態及び第2実施形態では、支持位置及び解放位置間を水平一方向に変位する支持部24,124を備える保持部20,120を適用したが、本発明はこのような保持手段に限定されない。
図5及び図6は、上述した図1及び図4の保持部20,120より他の例として、本発明に係る保持手段の一例を概略的に示す正面図である。
図5において、保持部220は、操作ローラ221、連結部222、及び支持部224を備える。操作ローラ221は、回転部材であって、本体部210a上面に回動自在に設けられている。操作ローラ221は、管理者により、左右に外周面をなぞるように回転操作される。操作ローラ221の回転歯には、連結部222が係合されている。連結部222は、一連の3つの歯車からなっており、操作ローラ221の回転操作により回転し、支持部224を変位させる。支持部224は、左右対称に形成された一対の支持部材であって、操作ローラ221の操作に応じて、支持位置及び解放位置間を孤を描くように変位される。
図6において、保持部320は、操作摘み321、連結部322、及び支持部324を備える。操作摘み321は、本体部310aにおいて開いている一側面の上部に回動自在に設けられている。操作摘み321は、管理者により矢印方向に回転操作される。操作摘み321の不図示の回転軸の先端部には、回転部材321aが固定されている。回転部材321aの回転歯には、連結部322が係合されている。連結部322は、一連の3つの歯車からなっており、操作摘み321の回転操作により回転し、支持部324を変位させる。支持部324は、図5の支持部224と同様にして、左右対称に形成された一対の支持部材であって、操作摘み321の操作に応じて、支持位置及び解放位置間を孤を描くように変位される。
このように、上述した保持部220,320は、操作ローラ221又は操作摘み321の回転操作により、一連の複数の歯車からなる連結部222,322を介して、支持部224,324を連動させる。
尚、第1実施形態及び第2実施形態では、フランジ4又は掛かり部104を単に支持する支持部24,124を適用したが、本発明はこのような支持部に限定されない。
図7は、図6の支持部324より他の例として、本発明に係る支持部の一例を示す斜視図である。図7において、支持部424は、一対の支持部材である。一対の支持部材の各々は、FOUP3のフランジ4を下面側から支持する支持面424aの他に、該支持面424aに夫々隣い合う2つの側面424bを備える。これら2つの側面424bは、支持すべきフランジ4が所定の位置で保持されるように機能すると共に、管理者により本体部が持ち運ばれる際に、内部に保持されたフランジ4が本体部内から滑り落ちないように機能する。即ち、2つの側面424bによりフランジ4が確実に固定されるので、FOUP3を安定して運搬することが可能となる。
尚、第1実施形態及び第2実施形態、並びに図5及び図6では、回転操作される操作摘み21,321又は操作ローラ221を適用したが、本発明はこのような操作部に限定されない。
図8は、図6の操作摘み321より他の例として、本発明に係る操作部の一例を示す斜視図である。図8において、操作レバー521は、図6の操作摘み321に代わる操作の手段であって、管理者により矢印方向に回動操作される。操作レバー521の支点には、回転部材321aが固定されている。
<第3実施形態>
次に、第3実施形態に係る運搬装置の構成について図9を参照して説明する。ここに図9は、第3実施形態に係る運搬装置を概略的に示す斜視図である。尚、第3実施形態では、第1実施形態及び第2実施形態の運搬装置10,110と略同様に構成される部位について、それら運搬装置10,110の場合と同一の符号を付すと共に、その説明を省略する。
図9において、本実施形態は、図1及び図4の運搬装置10,110と比較して、保持部620の形態が異なる。本実施形態では、本体部610aにおいて、少なくとも正面(即ち、図9におけるFOUP3に対向する面)が開いている。本実施形態では、適用されるFOUP3は、第1実施形態と同一のものであって、上面に、フランジ4を備える。
保持部620は、本体部610a内部の天壁に取り付けられており、支持部624、及びストッパ630を備える。支持部624は、図1の支持部24と同様にして、先端部が内側に屈曲された一対の支持部材であるが、図1の支持部24と異なり、変位すること無しに、本体部610aと一体に構成されている。一対の支持部材は、フランジ4の両端部に対応する間隔を相互に保ち、FOUP3本体と、フランジ4の両端部との間に水平方向に嵌入可能な厚みを有する。また、一対の支持部材は、FOUP3が保持される際に、本体部610a内部でFOUP3を所定の保持位置に導くように、少なくともフランジ4に対応する奥行きを有する。一対の支持部材において、本体部610aの正面(即ち、図9におけるFOUP3に対向する面)側には、ストッパ630が夫々取り付けられている。ストッパ630は、管理者により本体部610aが持ち上げられて運ばれる際に、所定の保持位置に保持されたFOUP3が該正面側へ落下することを防止するように機能する。尚、本実施形態では、一対の支持部材の厚みは、フランジ4の両端部がストッパ630の上方を相通可能に設定されている。
次に、本実施形態の運搬装置610を使用して、FOUP3を移動させる動作について説明する。
先ず少なくとも一人の管理者により、運搬装置610の取っ手11が把持され、本体部610aがFOUP3の側方まで移動される。この際に、本体部610aの正面(即ち、図9におけるFOUP3に対向する面)がFOUP3に対向している。続いて、本体部610a内部にFOUP3を収容するように、本体部610aがFOUP3に向かって水平方向に移動される。この際に、一対の支持部材(即ち、支持部624)がフランジ4の両端部の下方に嵌入する高さで、且つFOUP3の前面(即ち、図9における本体部610aに対向する面)が本体部610a内部の壁面に当接するまで、本体部610aが移動される。この水平移動により、FOUP3の後面がストッパ630より内側に来るまで水平移動されると、FOUP3が本体部610a内部で所定の保持位置に保持される。続いて、少なくとも一人の管理者により、取っ手11が把持され、FOUP3を保持した本体部610aが移動される。
尚、移動された本体部610aからFOUP3が取り出される際に、FOUP3が接地された状態で、本体部610aがFOUP3から離れるように水平方向に移動される。この際に、一対の支持部材がFOUP3本体、及びフランジ4の両端部間を相通する高さで、本体部610aが移動される。この水平移動により、FOUP3の前面がストッパ630より外側に来るまで水平移動されると、本体部610aからフランジ4が解放され、運搬装置610からFOUP3が取り出される。
このように、第3実施形態の動作によれば、第1実施形態及び第2実施形態と同様にして、FOUP3に取っ手11を直接に取り付けることなく、取っ手11付きの運搬装置610を用いて、少なくとも一人の管理者が自由に行き来可能な場所へFOUP3が移動される。従って、FOUP3を小型化しつつ、経路上から取り外して運搬することも可能となる。特に、保持部620は、支持部624を変位させる操作の手間が省かれるので使い勝手がよく、複雑な機構を備える必要がないので低コストに構成することが可能である。
尚、第3実施形態の動作では、保持部620を本体部内に配置したが、本発明はこのような保持手段に限定されない。
図10は、上述した図9の保持部620より他の例として、本発明に係る保持手段の一例を概略的に示す斜視図である。
図10において、適用されるFOUP3は、第1実施形態及び第3実施形態と同一のものであって、上面に、フランジ4を備える。本体部710aにおいて、上面の中央部が開いている。開いている部分について、幅が、FOUP3本体にフランジ4を接続している接続部4aの幅方向(即ち、フランジ4の両端部を通る方向)の長さに若干の有余を加えた長さを有し、奥行きが、少なくともフランジ4の奥行き(即ち、該幅方向に直交する方向)の長さを有する。
保持部720は、本体部710aの上面に一体に形成されており、支持部724、及びストッパ730を備える。支持部724は、該上面の開いている部分に沿って、該上面より一段低く形成された掛かり部である。掛かり部は、FOUP3本体と、フランジ4の両端部との間に水平方向に嵌入可能な厚みを有する。また、掛かり部は、FOUP3が保持される際に、本体部710a内部でFOUP3を所定の保持位置に導くように、少なくともフランジ4に対応する奥行きを有する。掛かり部において、本体部710aの正面(即ち、図10におけるFOUP3に対向する面)側には、第3実施形態と同様にして、ストッパ730が取り付けられている。
このように、上述した保持部720は、図9の保持部620と同様にして、支持部724を変位させる操作の手間が省かれるので使い勝手がよく、複雑な機構(即ち、上述した操作摘み又は操作ローラ、及び連結部等)を備える必要がないので低コストに構成することが可能である。
尚、第3実施形態の保持部620及び上述した保持部720は、フランジ4を有するFOUP3を保持するが、逆様のT字型の掛かり部104を有する保持部103を保持するように構成されてもよい。
尚、上述した全ての実施形態では、取っ手11を、相互に対向する2つの側面に夫々取り付けているが、本発明はこのような取り付けに限定されない。
図11は、図9の取っ手11の取り付け方法より他の例として、本発明に係る取っ手の取り付け方法の一例を示す斜視図である。図11において、本体部810aの正面に隣り合う2つの側面には、第1取っ手811a、及び第2取っ手811bが夫々取り付けられている。第1取っ手811aは、比較的短く構成されており、その長手方向が垂直方向になるように取り付けられている。第2取っ手811bは、比較的長く構成されており、その長手方向が水平方向になるように取り付けられている。
図12は、図9の取っ手11の取り付け方法より他の例として、本発明に係る取っ手の取り付け方法の一例を示す斜視図である。図12において、本体部910aの正面に隣り合う2つの側面、及び本体部910aの背面には、第3取っ手911aが2個ずつ取り付けられている。また、本体部910aの上面には、第4取っ手911bが2個取り付けられている。第4取っ手911bは、比較的短く構成されており、その長手方向が水平方向になるように取り付けられている。
このように、取っ手が一側面につき2個以上、相異なる向きにも取り付けられるので、保持すべきFOUPの重量に応じて、持ち運ぶ人員を調整することが可能である。特にFOUP3の大重量化が進んでも、対応可能となるので実用上大変有利となる。また、取っ手が上面に取り付けられている場合に、一人でも容易に持ち運ぶことも可能である。
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う運搬装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
第1実施形態に係る運搬装置を示す正面図である。 図1の保持手段を示す上面図である。 図2の連結部を示す上面図である。 第2実施形態に係る運搬装置を示す正面図である。 本発明に係る保持手段の一例を示す正面図である。 本発明に係る保持手段の一例を示す正面図である。 本発明に係る支持部の一例を示す斜視図である。 本発明に係る支持部の一例を示す斜視図である。 第3実施形態に係る運搬装置を示す斜視図である。 本発明に係る保持手段の一例を示す斜視図である。 本発明に係る取っ手の取り付け方法の一例を示す斜視図である。 本発明に係る取っ手の取り付け方法の一例を示す斜視図である。
符号の説明
3…荷、10…運搬装置、11…取っ手、20…把持部

Claims (8)

  1. 内部空間を規定すると共に前記内部空間が外部空間に開いている開口を規定し、該開口を介して前記外部空間から前記内部空間に、荷を収容可能な本体部と、
    前記本体部における前記内部空間に面する又は接する位置に配置されており、前記収容された荷を前記内部空間内にて保持可能な保持手段と、
    前記本体部における前記外部空間に面する又は接する位置に配置されており、前記外部空間側から把持可能な一又は複数の取っ手と
    を備えることを特徴とする運搬装置。
  2. 前記開口は、少なくとも下方に開いており、
    前記本体部は、前記荷が前記開口を介して前記下方から収容されるように構成されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の運搬装置。
  3. 前記保持手段は、
    前記荷を支持する支持位置、及び前記荷を解放する解放位置間で変位する支持部と、
    前記支持部を変位させる際に操作される操作部と、
    前記操作部及び前記支持部間に配置され、前記操作部の操作に応じて前記支持部が変位するように前記操作部及び前記支持部を連結する連結部と
    を備えることを特徴とする請求項2に記載の運搬装置。
  4. 前記支持部は、前記荷の上面に取り付けられた凸状の掛かり部、又は前記荷の上部に設けられた凹状の掛かり部を支持することを特徴とする請求項3に記載の運搬装置。
  5. 前記開口は、少なくとも側方に開いており、
    前記本体部は、前記荷が前記開口を介して前記側方から収容されるように構成されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の運搬装置。
  6. 前記保持手段は、前記荷の上面に取り付けられた凸状の掛かり部、又は前記荷の上部に設けられた凹状の掛かり部を支持する支持部を有する
    ことを特徴とする請求項5に記載の運搬装置。
  7. 前記一又は複数の取っ手は、前記本体部において、前記側方より他の複数の側方に対応する複数の側面の各々に取り付けられていることを特徴とする請求項5又は6に記載の運搬装置。
  8. 前記一又は複数の取っ手は、前記複数の側面に加えて前記本体部の上面に取り付けられていることを特徴とする請求項7に記載の運搬装置。
JP2008291204A 2008-11-13 2008-11-13 運搬装置 Pending JP2010118535A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008291204A JP2010118535A (ja) 2008-11-13 2008-11-13 運搬装置
KR1020090101164A KR20100054085A (ko) 2008-11-13 2009-10-23 운반 장치
TW098138419A TW201022091A (en) 2008-11-13 2009-11-12 Transportation device
US12/616,934 US20100117391A1 (en) 2008-11-13 2009-11-12 Transporting apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008291204A JP2010118535A (ja) 2008-11-13 2008-11-13 運搬装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010118535A true JP2010118535A (ja) 2010-05-27

Family

ID=42164515

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008291204A Pending JP2010118535A (ja) 2008-11-13 2008-11-13 運搬装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20100117391A1 (ja)
JP (1) JP2010118535A (ja)
KR (1) KR20100054085A (ja)
TW (1) TW201022091A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180065876A (ko) * 2016-12-07 2018-06-18 가부시키가이샤 다이후쿠 이송기

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102127113B1 (ko) 2013-10-29 2020-06-29 삼성전자 주식회사 카세트 이송장치 및 이를 이용하여 카세트 이송방법
TWI569351B (zh) 2015-04-30 2017-02-01 環球晶圓股份有限公司 晶圓旋轉裝置
JP6693356B2 (ja) * 2016-09-09 2020-05-13 株式会社ダイフク 物品搬送装置
TWI693671B (zh) * 2019-04-16 2020-05-11 家登精密工業股份有限公司 光罩盒及其夾持件

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001343621A (ja) * 2000-05-31 2001-12-14 Sharp Corp 液晶表示装置の搬送方法および搬送システム
JP2003229477A (ja) * 2002-02-04 2003-08-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 標準製造インターフェイス装置
JP2005500954A (ja) * 2001-08-27 2005-01-13 エンテグリス・インコーポレーテッド 半導体ウエハディスクおよび同様物品のモジュールキャリア
JP2005194009A (ja) * 2004-01-05 2005-07-21 Asyst Shinko Inc 懸垂型搬送台車
JP2008085025A (ja) * 2006-09-27 2008-04-10 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板の取り扱い装置及び基板の取り扱い方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3258091A (en) * 1963-11-22 1966-06-28 E Z Bag Inc Automatic bottom-loading bowling bag
US3756450A (en) * 1972-04-07 1973-09-04 R Crose Hood for pressurized container
US3795420A (en) * 1973-03-07 1974-03-05 Atomic Energy Commission Lift coupling
FR2486480A1 (fr) * 1980-07-11 1982-01-15 Commins Eric Jean Caisson porte-bouteille de gaz
US5845809A (en) * 1997-06-27 1998-12-08 Garrett; James Kelly Protective cover for a compressed gas bottle
AU6059600A (en) * 1999-07-01 2001-01-22 Duke M. Jordan Exercise support bar
US6926489B2 (en) * 2002-05-09 2005-08-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Latch sensor for pod transport gripper

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001343621A (ja) * 2000-05-31 2001-12-14 Sharp Corp 液晶表示装置の搬送方法および搬送システム
JP2005500954A (ja) * 2001-08-27 2005-01-13 エンテグリス・インコーポレーテッド 半導体ウエハディスクおよび同様物品のモジュールキャリア
JP2003229477A (ja) * 2002-02-04 2003-08-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 標準製造インターフェイス装置
JP2005194009A (ja) * 2004-01-05 2005-07-21 Asyst Shinko Inc 懸垂型搬送台車
JP2008085025A (ja) * 2006-09-27 2008-04-10 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板の取り扱い装置及び基板の取り扱い方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180065876A (ko) * 2016-12-07 2018-06-18 가부시키가이샤 다이후쿠 이송기
TWI717553B (zh) 2016-12-07 2021-02-01 日商大福股份有限公司 移載機
KR102356962B1 (ko) 2016-12-07 2022-01-28 가부시키가이샤 다이후쿠 이송기

Also Published As

Publication number Publication date
TW201022091A (en) 2010-06-16
KR20100054085A (ko) 2010-05-24
US20100117391A1 (en) 2010-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010118535A (ja) 運搬装置
TWI344438B (en) Article transport facility
JP6064940B2 (ja) 物品搬送車
US7686176B2 (en) Suspended type transporting carriage and transporting system
US9027735B2 (en) Transport device
US8807616B2 (en) Robot hand
US11084505B2 (en) Overhead conveyance vehicle
JP4842879B2 (ja) 基板収納容器及びそのハンドル
JP2010171314A (ja) ストッカー装置及び基板処理装置
JP4681485B2 (ja) ウエハケースの運用方法、ウエハケースの搬送方法及びウエハケース搬送用保持部品
JP6087734B2 (ja) 施錠装置および蓋体装置
CN105142563A (zh) 医疗配件固定架
TW201833018A (zh) 物品搬送車
JP5442226B2 (ja) 基板処理装置
KR20210080524A (ko) 로봇 핸드 및 이를 구비하는 로봇
JP4745002B2 (ja) スライドガラスカセット
JP6232253B2 (ja) ウェーハカセット
JP4450249B2 (ja) 収容容器の蓋開閉システム及び当該システムを用いた基板処理方法
JP2008100802A (ja) 基板保管庫
JP3857653B2 (ja) 半導体ウエハ搬送用オープンカセット及びカセット開閉装置
JP4475637B2 (ja) 回転防止部材付き基板収納容器及びその梱包方法
JP3611806B2 (ja) 食器収納装置
JPH05175092A (ja) マスク保管装置
JP2008010567A (ja) クリーンルーム内で使用するための物品搬送用ポッド、及びこれを採用した物品搬送システム
JP2001338973A (ja) 基板収納ボックス

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110819

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20120420

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120928

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121002

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130226