JP6327124B2 - 物品搬送車 - Google Patents

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Description

本発明は、走行経路に沿って走行する走行体と、搬送物を吊り下げ支持する支持体と、前記支持体を前記走行体に対して昇降させる昇降用駆動部と、を備え、前記支持体が、前記昇降用駆動部にて昇降される昇降部と、前記搬送物の被支持部を支持する搬送物支持部と、前記被支持部の直下に位置する支持用位置及び前記被支持部の直下の位置から退避させた退避用位置に前記搬送物支持部を移動させる支持用駆動部と、を備えている物品搬送車に関する。
かかる物品搬送車の従来例が、特開2006−298535号公報(特許文献1)に記載されている。特許文献1の物品搬送車では、支持体に、搬送物支持部を支持用位置及び退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持体を備え、搬送物支持部の上面に上下方向に弾性変形自在な緩衝体を備えている。
特開2006−298535号公報
このような物品搬送車は、搬送物支持部の上面に備えた緩衝体により、支持対象の搬送物の荷重を受け止めている。つまり、搬送物支持部と支持する搬送物の被支持部との間に緩衝体を介在させることで、走行体が走行するときや昇降部が昇降するときの振動が搬送物に伝わることを抑制している。
しかし、搬送物支持部の上面に、上下方向に弾性変形自在な緩衝体を備えることで、搬送物支持部が上下方向に厚くなる。そのため、搬送物支持部にて搬送物の被支持部を支持するべく、搬送物支持部を退避用位置から支持用位置に移動させたときに、搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し易くなる。
そこで、走行体が走行するときや昇降部が昇降するときの振動が搬送物に伝わることを抑制できながら搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し難い物品搬送車が求められる。
本発明に係る物品搬送車の特徴構成は、走行経路に沿って走行する走行体と、搬送物を吊り下げ支持する支持体と、前記支持体を前記走行体に対して昇降させる昇降用駆動部と、を備え、前記支持体が、前記昇降用駆動部にて昇降される昇降部と、前記搬送物の被支持部を支持する搬送物支持部と、前記被支持部の直下に位置する支持用位置及び前記被支持部の直下の位置から退避させた退避用位置に前記搬送物支持部を移動させる支持用駆動部と、を備えている物品搬送車において、
前記搬送物支持部が、前記搬送物支持部を前記支持用位置及び前記退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持部と、前記昇降部と前記案内支持部との間に位置して前記案内支持部の荷重を受ける上下方向に弾性変形自在な緩衝体と、を備えて、前記支持部が前記搬送物を吊り下げ支持している状態で、前記緩衝体が上下方向に弾性変形自在となるように、前記案内支持部と前記昇降部との間に上下方向に隙間が形成されている点にある。
この特徴構成によれば、昇降部と案内支持部との間に緩衝体が位置しているため、走行体が走行するときの昇降部の振動や昇降部が昇降するときの昇降部の振動を緩衝体にて吸収させることで、搬送物に伝わる振動を抑制できる。
そして、緩衝体を昇降部と案内支持部との間に備えることで、搬送物支持部の上面に緩衝体を備える必要がなく、搬送物支持部の上面に緩衝体を備える場合に比べ、搬送物支持部を上下方向の薄く形成できる。そのため、搬送物支持部にて搬送物の被支持部を支持するべく、搬送物支持部を退避用位置から支持用位置に移動させたときに、搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し難くできる。
このように、緩衝体を、昇降部と案内支持部との間に案内支持部の荷重を受ける状態で備えることで、走行体が走行するときや昇降部が昇降するときに搬送物に伝わる振動を抑制できながら、搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し難くできる。
ここで、前記案内支持部が前記昇降部に対して水平方向に沿って移動することを規制する水平規制体が設けられていると好適である。
この構成によれば、案内支持部が昇降部に対して水平方向に移動することが水平規制体にて規制されるため、昇降部を昇降させて物品を移載するときに、案内支持部や搬送物支持部、並びに、搬送物支持部に支持されている物品が水平方向に移動し難いため、昇降部の昇降による物品の移載を適切な位置に移載し易くなる。
また、前記昇降部が、前記緩衝体を載置支持する載置部分を備え、前記案内支持部が、前記載置部分より上方に位置して前記緩衝体にて載置支持される被載置部分を備え、前記搬送物支持部が、前記昇降部より下方に位置していると好適である。
この構成によれば、緩衝体は、昇降部の載置部分と案内支持部の被載置部分の間に圧縮状態で備えられる。そのため、緩衝体を、昇降部の載置部分と案内支持部の被載置部分の間に引張状態で設ける場合に比べて、載置部分や被載置部分に対する取付強度は小さくて済むため、緩衝体の設置が容易になる。
また、前記昇降部は、前記載置部分を着脱自在に備えていると好適である。
この構成によれば、載置部分を昇降部から離脱させることで、緩衝体の下方を開放する、又は、離脱させた載置部分とともに緩衝体を一体的に取り外すことができるため、緩衝体の交換等の緩衝体に対するメンテナンス作業を容易に行える。
物品搬送設備の側面図 天井搬送車の側面図 一対の搬送物支持部が支持用位置に位置している支持機構の縦断側面図 一対の搬送物支持部が退避用位置に位置している支持機構の縦断側面図 支持機構の平面図
以下、本発明にかかる物品搬送車を物品搬送設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、物品搬送設備には、天井側に移動経路に沿って配設された走行レール2に案内支持されて移動経路に沿って走行自在な物品搬送車としての天井搬送車1と、搬送物6に収容されている基板に対して処理を行う処理装置3と、その処理装置3に隣接する状態で床面上に設置された支持台4と、が設けられている。天井搬送車1にて搬送される搬送物6は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、収容物として複数の半導体基板を収容するFOUPである。
〔搬送物〕
図3に示すように、搬送物6には、複数枚の基板を収容する本体部7と、この本体部7より上方に位置して搬送物6の上端部に備えられた被支持部9と、本体部7と被支持部9とを連結する連結部8と、本体部7の前面に形成された基板出し入れ用の開口を閉じる着脱自在な蓋体(図示せず)と、が備えられている。
被支持部9は、連結部8から容器前後方向及び容器左右方向に突出する形状に形成されている。そして、本体部7の上面と被支持部9の下面との間に挿入用空間12が形成されている。挿入用空間12は、搬送物6における被支持部9の下方に形成されており、この挿入用空間12が、搬送物6における被支持部9の下方に備えられて後述の一対の搬送物支持部32が容器左右方向に挿入される空間となっている。
〔天井搬送車〕
次に、天井搬送車1について説明を加える。尚、天井搬送車1を説明するにあたり、天井搬送車1の走行方向に沿う方向を前後方向Xと称し、その前後方向Xと平面視で直交する方向を左右方向Yと称して説明する。
また、昇降支持部17には、搬送物6はその容器左右方向が天井搬送車1の前後方向Xに沿う状態で支持される。そのため、以下、搬送物6が昇降支持部17にて支持されている状態を想定して、搬送物6の容器左右方向を前後方向Xとし、搬送物6の容器前後方向を左右方向Yとして説明する。
図1及び図2に示すように、天井搬送車1は、走行レール2上を移動経路に沿って走行する走行移動部16と、走行レール2の下方に位置するように走行移動部16に吊り下げ支持され且つ搬送物6を支持する支持機構23を昇降移動自在に支持する昇降支持部17と、を備えて構成されている。尚、走行移動部16が、移動経路に沿って移動する走行体に相当し、支持機構23が、搬送物6を吊り下げ支持する支持体に相当する。
図2に示すように、走行移動部16には、走行用モータ19にて回転駆動されて走行レール2の上面を転動する駆動輪20と、走行レール2の側面に当接する回転自在な案内輪21と、が設けられている。そして、走行移動部16は、走行用モータ19にて駆動輪20を回転駆動し、案内輪21が走行レール2にて接触案内されることにより、走行移動部16が走行レール2に案内されて移動経路に沿って走行するように構成されている。
昇降支持部17には、搬送物6を吊り下げ支持する上述の支持機構23と、支持機構23を昇降させる昇降操作機構24と、支持機構23に支持されて支持用高さに位置する搬送物6(図2及び図3参照)の上方側及び前後方向Xの両側を覆うカバー部25と、支持機構23にて支持用高さで支持された搬送物6の落下を防止する落下防止体26と、を備えている。
昇降操作機構24は、先端部に支持機構23を連結支持した巻き取りベルト24aを巻回する巻回体28と、巻回体28を回転駆動する昇降用モータ29と、を備えている。そして、昇降用モータ29にて巻回体28を正逆に回転駆動させて、巻き取りベルト24aを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構23を走行移動部16に対して昇降移動させるように構成されている。尚、昇降用モータ29が、昇降用駆動部に相当する。
昇降操作機構24は、搬送物6の被支持部9における前後方向Xの両端部を下方から支持する一対の搬送物支持部32を備えており、上述の如く昇降用モータ29にて巻回体28を正逆に回転駆動させて支持機構23を昇降移動させることで、一対の搬送物支持部32を、上昇高さ(図1参照)と、当該支持用高さより低い下降高さとに、昇降移動させるように構成されている。
一対の搬送物支持部32が上昇高さであると、その一対の搬送物支持部32にて支持されている搬送物6は支持用高さに位置する。また、一対の搬送物支持部32が下降高さであると、当該一対の搬送物支持部32は支持台4上で移載用高さ位置する搬送物6の挿入用空間12と同じ高さに位置する。
つまり、昇降操作機構24は、巻き取りベルト24aを巻き取って一対の搬送物支持部32を上昇高さまで上昇させることで、支持機構23に支持されている搬送物6が支持用高さまで上昇し、巻き取りベルト24aを繰り出して一対の搬送物支持部32を下降高さまで下降させることで、支持機構23に支持された搬送物6が移載用高さまで下降するようになっている。
落下防止体26は、前後方向Xに並ぶ状態で一対設けられており、一対の落下防止体26の間隔を、搬送物6の前後方向Xの幅より幅狭な受止用間隔(図2参照)と、搬送物6の前後方向Xの幅より幅広な退避用間隔と、に位置変更自在に構成されている。
そして、落下防止用モータ30の駆動により、一対の落下防止体26の間隔を受止用間隔に変更することで、天井搬送車1の走行中に支持機構23の搬送物6に対する支持が外れても搬送物6を落下防止体26にて受け止めることで搬送物6が床面上に落下することを防止できるようになっている。また、落下防止用モータ30の駆動により、一対の落下防止体26の間隔を退避用間隔に変更することで、図1に示すように、支持機構23を昇降移動させて搬送物6を支持台4に受け渡すことや支持台4から搬送物6を受け取れるようになっている。
〔支持機構〕
次に、天井搬送車1の支持機構23について説明を加える。
図3〜図5に示すように、天井搬送車1の支持機構23には、巻き取りベルト24aの先端部に連結されて昇降操作機構24にて昇降される昇降部としての昇降体31と、搬送物6における被支持部9を支持する搬送物支持部32と、搬送物支持部32を水平に移動させる支持用モータ33と、を備えている。搬送物支持部32が下降高さで且つ支持台4上に物品が位置している状態で、支持用モータ33の駆動により搬送物支持部32を水平に移動させることで、搬送物支持部32を、被支持部9の直下に位置する支持用位置(図3参照)及び被支持部9の直下の位置から退避させた退避用位置(図4参照)に移動させるようになっている。つまり、支持用モータ33が、支持用駆動部に相当する。
昇降体31は箱状に形成され、搬送物支持部32及び支持用モータ33は、昇降体31の内部に設置されている。
一対の搬送物支持部32は、前後方向Xに互いに遠近離間移動自在に備えられている。そして、支持用モータ33の駆動により、一対の搬送物支持部32を前後方向Xに互いに遠近離間移動させることで、一対の搬送物支持部32の間隔を、支持用間隔と退避用間隔とに切り換えられるように構成されている。支持用間隔は、一対の搬送物支持部32の前後方向Xでの間隔が搬送物6の被支持部9の前後方向Xでの幅より狭い間隔である。退避用間隔は、一対の搬送物支持部32の前後方向Xでの間隔が搬送物6の被支持部9の前記前後方向Xでの幅より広い間隔である。
そのため、一対の搬送物支持部32を移載用高さまで下降させた状態で、図3に示すように、一対の搬送物支持部32を支持用間隔に切り換えることで、一対の搬送物支持部32の夫々が、移載箇所に位置する搬送物6における挿入用空間12に挿入されて被支持部9の直下の支持用位置に移動する。また、一対の搬送物支持部32を移載用高さまで下降させた状態で、図4に示すように、一対の搬送物支持部32を退避用間隔に切り換えることで、一対の搬送物支持部32の夫々が、移載箇所に位置する搬送物6における挿入用空間12から抜出されて被支持部9の直下から退避した退避用位置に移動するようになっている。
図3〜図5に示すように、支持機構23には、搬送物支持部32を支持用位置及び退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持部35と、昇降体31と案内支持部35との間に位置して案内支持部35の荷重を受ける上下方向に弾性変形自在な緩衝体36と、案内支持部35が昇降体31に対して水平方向に沿って移動することを規制する水平規制体37と、を備えている。緩衝体36はゴム材等の弾性部材にて構成されており、案内支持部35及び緩衝体36は、昇降体31の内部に設置されている。
案内支持部35には、基枠39と、基枠39上に前後方向Xに沿って設けられたリニアレール40と、リニアレール40にて前後方向Xに沿って案内支持される案内部材41と、搬送物支持部32と案内部材41とを連結する連結部材42と、が備えられている。
連結部材42は、一対の搬送物支持部32に対応して前後方向Xに並ぶ状態で一対設けられており、一対の連結部材42の夫々に、対応する搬送物支持部32を案内するための案内部材41が支持されている。
また、案内支持部35にて、連結部材42に螺合されたボールネジ34と、そのボールネジ34を回転駆動させる支持用モータ33と、が支持されている。
そして、支持用モータ33にてボールネジ34を回転駆動させることで、案内部材41がリニアレール40に案内されながら一対の搬送物支持部32が前後方向Xに互いに遠近離間移動して、一対の搬送物支持部32の間隔が支持用間隔と退避用間隔とに切り換えられるようになっている。
水平規制体37は、基枠39に連結されたリニアシャフト37aと、昇降体31の底面部31aに連結されたリニアブッシュ37bと、で構成されている。リニアシャフト37aはリニアブッシュ37bに対して上下方向に移動自在に嵌合されており、また、リニアシャフト37aの下端部分がリニアブッシュ37bに接触することで上方への抜け止めが行われている。
水平規制体37は、基枠39と昇降体31の底面部31aとを連結しており、この水平規制体37にて、基枠39が底面部31aに対して設定距離以上上方に離間すること及び基枠39が底面部31aに対して水平方向に移動することが規制されている。
昇降体31の底面部31aには、緩衝体36を載置支持する載置部分44が備えられ、案内支持部35の基枠39には、載置部分44より上方に位置して緩衝体36にて載置支持される被載置部分45が備えられている。緩衝体36は、底面部31aの載置部分44と基枠39の被載置部分45との間に設けられており、案内支持部35等の荷重を受けることで圧縮状態で設けられている。
緩衝体36は、載置部分44と被載置部分45とのうちの載置部分44にのみ連結されている。また、昇降体31は、載置部分44を着脱自在に備えており、載置部分44を支持機構23から離脱させることでこの載置部分44とともに緩衝体36を支持機構23から取り外すことができる。
このように 昇降体31と案内支持部35との間に上下方向に弾性変形自在な緩衝体36を備えることで、走行移動部16が走行するときの振動や昇降体31が昇降するときに搬送物6に伝わる振動を抑制できながら、搬送物支持部32を上下方向の薄く形成して搬送物支持部32が搬送物6の被支持部9に干渉し難くしている。
〔別実施形態〕
(1)上記実施形態では、緩衝体36と水平規制体37とを設けて、搬送物支持部32に上下方向の振動が加わることを抑制したが、緩衝体36のみを設けて、搬送物支持部32に上下方向及び水平方向の振動が加わることを抑制してもよい。
また、水平規制体37をリニアシャフト37aとリニアブッシュ37bとで構成したが、水平規制体37の構成は適宜変更可能であり、例えば、水平規制体37を、基枠39の横側方に位置するように底面部31aから立設させた規制部材にて構成し、基枠39が規制部材に接触することで、案内支持部35が昇降体31に対して水平方向に沿って移動することを規制してもよい。
(2)上記実施形態では、緩衝体36を圧縮状態で備えたが、昇降体31に、緩衝体36の上部に連結された上側連結部分を備え、案内支持部35に、上側連結部分より下方に位置して緩衝体36の下部に連結された下部連結部分を備えて、緩衝体36を引張状態で備えてもよい。
また、上記実施形態では、緩衝体36を、ゴム材にて構成したが、緩衝体36を、コイルスプリング等の他の弾性部材にて構成してもよく、また、緩衝体36として、ショックアブソーバ等の減衰装置を設けてもよい。
(3)上記実施形態では、昇降体31に載置部分44を着脱自在に構成して、載置部分44を離脱させることで開口した開口部から緩衝体36に対してメンテナンス作業を行えるようにしたが、昇降体31の側面部分に開閉自在な蓋体を設けて、蓋体を開き操作することで開口した開口部から緩衝体36に対してメンテナンス作業を行えるようにしてもよい。
(4)上記実施形態では、物品搬送車を、走行レール2の下方に昇降支持部を備えた天井搬送車1としたが、物品搬送車を、走行レール2の上方に下方に昇降支持部を備えた天井搬送車1としてもよい。また、物品搬送車として、床面上や床面に敷設した走行レール2上を走行する床面搬送車としてもよい。
1 天井搬送車(物品搬送車)
6 搬送物
9 被支持部
16 走行移動部(走行体)
23 支持機構(支持体)
29 昇降用モータ(昇降用駆動部)
31 昇降体(昇降部)
32 搬送物支持部
33 支持用モータ(支持用駆動部)
35 案内支持部
36 緩衝体
37 水平規制体
44 載置部分
45 被載置部分

Claims (5)

  1. 走行経路に沿って走行する走行体と、搬送物を吊り下げ支持する支持体と、前記支持体を前記走行体に対して昇降させる昇降用駆動部と、を備え、
    前記支持体が、前記昇降用駆動部にて昇降される昇降部と、前記搬送物の被支持部を支持する搬送物支持部と、前記被支持部の直下に位置する支持用位置及び前記被支持部の直下の位置から退避させた退避用位置に前記搬送物支持部を移動させる支持用駆動部と、を備えている物品搬送車であって、
    前記支持体が、前記搬送物支持部を前記支持用位置及び前記退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持部と、前記昇降部と前記案内支持部との間に位置して前記案内支持部の荷重を受ける上下方向に弾性変形自在な緩衝体と、を備えて、前記搬送物支持部が前記搬送物を吊り下げ支持している状態で、前記緩衝体が上下方向に弾性変形自在となるように、前記案内支持部と前記昇降部との間に上下方向に隙間が形成されている物品搬送車。
  2. 前記案内支持部が前記昇降部に対して水平方向に沿って移動することを規制する水平規制体が設けられている請求項1記載の物品搬送車。
  3. 前記昇降部が、前記緩衝体を載置支持する載置部分を備え、
    前記案内支持部が、前記載置部分より上方に位置して前記緩衝体にて載置支持される被載置部分を備え、
    前記搬送物支持部が、前記昇降部より下方に位置している請求項1又は2記載の物品搬送車。
  4. 前記昇降部は、前記載置部分を着脱自在に備えている請求項3記載の物品搬送車。
  5. 前記搬送物支持部が、前記案内支持部により案内される案内部材を備え、
    前記案内支持部に対して上下方向の上方側に、前記案内部材が配置され、前記案内支持部に対して上下方向の下方側に前記緩衝体が配置されている請求項1から4のいずれか一項に記載の物品搬送車。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2020230440A1 (ja) * 2019-05-13 2020-11-19

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6179406B2 (ja) * 2014-01-10 2017-08-16 株式会社ダイフク 搬送装置
JP6435795B2 (ja) * 2014-11-12 2018-12-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6460245B2 (ja) * 2015-08-27 2019-01-30 村田機械株式会社 取出装置及び保管装置
JP6702106B2 (ja) * 2016-09-09 2020-05-27 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6693356B2 (ja) * 2016-09-09 2020-05-13 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6717384B2 (ja) 2016-10-25 2020-07-01 村田機械株式会社 天井搬送車
US10583568B2 (en) 2016-10-27 2020-03-10 Mitsubishi Electric Corporation Workpiece conveying device
JP6607175B2 (ja) * 2016-12-07 2019-11-20 株式会社ダイフク 移載機
CN108657986B (zh) * 2017-03-31 2024-01-23 中铁华铁工程设计集团有限公司 悬挂式单轨车辆检修用移动平台
JP6794946B2 (ja) * 2017-07-11 2020-12-02 株式会社ダイフク 物品搬送車
KR102387549B1 (ko) * 2018-01-24 2022-04-19 무라다기카이가부시끼가이샤 반송차
JP6835039B2 (ja) * 2018-06-19 2021-02-24 株式会社ダイフク 物品搬送体
US11348816B2 (en) * 2018-07-31 2022-05-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for die container warehousing
CN109249942A (zh) * 2018-09-20 2019-01-22 深圳盛世电梯股份有限公司 一种螺杆式空轨***
JP6881486B2 (ja) * 2019-02-27 2021-06-02 村田機械株式会社 搬送車
JP7234754B2 (ja) * 2019-04-04 2023-03-08 村田機械株式会社 天井搬送車
JP2020193058A (ja) 2019-05-27 2020-12-03 株式会社ダイフク 物品搬送体
JP7238736B2 (ja) 2019-11-13 2023-03-14 株式会社ダイフク 物品昇降装置
KR102454246B1 (ko) * 2020-02-18 2022-10-14 세메스 주식회사 그립퍼, 이를 포함하는 물품 반송 장치
CN115280482A (zh) * 2020-03-13 2022-11-01 村田机械株式会社 夹持器装置、输送车以及输送方法
JP7363713B2 (ja) * 2020-08-07 2023-10-18 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP2022101200A (ja) * 2020-12-24 2022-07-06 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP7359171B2 (ja) * 2021-02-17 2023-10-11 株式会社ダイフク 物品搬送車

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4838577U (ja) * 1971-09-07 1973-05-12
US4852928A (en) * 1984-02-16 1989-08-01 Multivisions Corporation Robotic end effectors
CN2371165Y (zh) * 1999-06-03 2000-03-29 张德孔 立体仓库
US6592324B2 (en) * 2001-02-26 2003-07-15 Irm, Llc Gripper mechanism
JP3981885B2 (ja) * 2003-05-20 2007-09-26 株式会社ダイフク 搬送装置
JP2006008355A (ja) * 2004-06-28 2006-01-12 Murata Mach Ltd 天井走行車
KR101023729B1 (ko) * 2004-06-30 2011-03-25 엘지디스플레이 주식회사 대형 기판을 반송하는 셔틀 및 반송 방법
JP2006298535A (ja) 2005-04-19 2006-11-02 Murata Mach Ltd 天井走行車
US7887108B1 (en) * 2007-08-16 2011-02-15 Sage Automation, Inc. Adjustable tine clamp systems and methods
JP5062485B2 (ja) * 2008-04-09 2012-10-31 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN102470985B (zh) * 2009-11-27 2015-07-22 株式会社大福 顶棚输送车
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR20120003368A (ko) * 2010-07-02 2012-01-10 무라텍 오토메이션 가부시키가이샤 천정 반송차의 그리퍼 장치 및 천정 반송차
JP5668340B2 (ja) * 2010-07-02 2015-02-12 村田機械株式会社 天井搬送車
WO2012157319A1 (ja) * 2011-05-17 2012-11-22 村田機械株式会社 天井搬送車
JP6179406B2 (ja) * 2014-01-10 2017-08-16 株式会社ダイフク 搬送装置
JP6191543B2 (ja) * 2014-05-22 2017-09-06 株式会社ダイフク 搬送装置
JP6191544B2 (ja) * 2014-05-22 2017-09-06 株式会社ダイフク 搬送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2020230440A1 (ja) * 2019-05-13 2020-11-19
JP7111255B2 (ja) 2019-05-13 2022-08-02 村田機械株式会社 天井搬送車
TWI827842B (zh) * 2019-05-13 2024-01-01 日商村田機械股份有限公司 高架搬送車

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