TWI785248B - 倉儲及搬送車系統 - Google Patents

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Abstract

本發明提供即便於設置有自載置部沿著鉛直方向豎立之立設部之情形時，亦可抑制載置物品時之物品之破損之物品載置構件、具備有該構件的倉儲及搬送車系統。
物品載置構件50具備有：載置部51，其供收納容器90載置；及側方立設部53，其係上自載置部51沿著鉛直方向豎立並且沿著收納容器90之移載方向延伸之構件，且限制被載置於載置部51之收納容器90於水平方向上朝向與移載方向正交之寬度方向進行移動。於側方立設部53設置有在藉由堆高式起重機7所移載之收納容器90已接觸時，自前側朝向後側將收納容器90向斜上方導引之導引部55。

Description

倉儲及搬送車系統
本發明係關於物品載置構件、具備有該構件的倉儲及搬送車系統。
已知有一種倉儲，其具備有：支架，其供於藉由隔板等本體部所劃分形成之內部空間收納有半導體晶圓及玻璃基板等被收納物之收納容器載置；以及堆高式起重機等之移載裝置，其可將被保管物移載至該支架(例如專利文獻1)。又，已知有一種負載埠，其作為對如上所述之倉儲或既定之處理裝置進行收納容器之交接之介面部分(例如專利文獻2)。如此之倉儲之支架或負載埠之物品載置構件，收納容器等之物品藉由移載裝置而自水平方向上之一方向被載置。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2015-214407號公報
[專利文獻2]日本專利特開2017-186115號公報
如圖8所示，於如此之物品載置構件250(250A、250B)，例如為了安裝於支柱構件241、或為了與相鄰之物品載置構件250之區隔，存在有會設置立設部253之情形，該立設部253自載置有收納容器(物品)290之載置部251沿著鉛直方向豎立，而限制收納容器290朝向與上述一方向(Y方向)正交之寬度方向(X方向)之移動。然而，若對於如此之物品載置構件250，移載裝置(未圖示)以相對於應停止之位置朝寬度方向(X方向)偏移之狀態停止，並欲於該狀態下移載收納容器290，收納容器290便會與上述立設部253碰撞。其結果，存在有收納容器290會被夾在移載裝置與立設部253之間而破損之情形。
因此，本發明之目的，在於提供即便於設置有自載置部沿著鉛直方向豎立之立設部之情形時，亦可抑制載置物品時之破損之物品載置構件、具備有該構件的倉儲及搬送車系統。
本發明之物品載置構件係藉由移載裝置來進行物品之移載者，其具備有：載置部，其供物品載置；及立設部，其係自載置部沿著鉛直方向豎立並且沿著物品之移載方向延伸之構件，且限制被載置於載置部之物品於水平方向上朝向與移載方向正交之寬度方向進行移動；自物品載置構件觀察時在將移載裝置所配置之側設為移載方向之前側而將其相反側設為移載方向之後側時，於立設部設置有，藉由移載裝置所移載之物品已接觸時，自前側朝向後側將物品向斜上方導引之導引部。
於該構成之物品載置構件中，即便在移載裝置以自相對於物品載置構件應停止之位置朝寬度方向偏移之狀態停止且於該狀態下物品被移載之情形時，物品仍會藉由導引部自前側朝向後 側而向斜上方被導引。藉此，物品被夾在移載裝置與立設部之間而破損之情形會消失。其結果，即便於設置有自載置部沿著鉛直方向豎立之立設部之情形時，亦可抑制載置物品時之破損。
於本發明之物品載置構件中，導引部之上端亦可自前側朝向後側而向斜上方延伸。該構成可將於移載時碰撞到立設部之物品平順地朝向斜上方導引。
於本發明之物品載置構件中，於立設部之鉛直方向之上端之至少一部分，亦可設置有自上端沿著水平方向延伸，而限制物品之一部分沿著鉛直方向進行移動之突出部。該構成由於可抑制被載置於載置部之物品沿者鉛直上方進行移動，因此可防止物品自物品載置構件掉落。
於本發明之物品載置構件中，導引部之上端之後側之端部，亦可被設置於鉛直方向上較突出部更高之位置。該構成可防止藉由導引部所導引之收納容器與突出部碰撞之情形。
本發明之倉儲亦可具備有沿著寬度方向以既定間隔被配置且沿著鉛直方向延伸之支柱構件、及上述之物品載置構件，且物品載置構件之立設部被固定於支柱構件。該構成即便在倉儲之物品載置構件設置有立設部之情形時，亦可抑制載置物品時之破損。
本發明之搬送車系統亦可具備有：上述之物品載置構件；移載裝置，其將物品移載至物品載置構件；控制部，其控制移載裝置；及檢測部，其對物品自前側朝向後側而向斜上方移動之情形進行檢測；且控制部於物品朝向斜上方之移動藉由檢測部所檢測出時，使移載裝置所進行之物品之移載停止。該構成，於物品朝向 斜上方之移動藉由檢測部所檢測出時、即若物品接觸到立設部之情形被檢測出，便停止移載裝置將物品朝移載方向推出。藉此，可防止物品破損之情形於未然。
本發明之搬送車系統之檢測部亦可由被設置於移載時支撐物品之支撐部且對物品之存在之有無進行檢測之感測器所構成。該構成可容易地構成可檢測朝向斜上方之移動之檢測部。
根據本發明，即便於設置有自載置部沿著鉛直方向豎立之立設部之情形時，亦可抑制載置物品時之物品之破損。
1‧‧‧倉儲
3‧‧‧本體部
4‧‧‧支架
7‧‧‧堆高式起重機(移載裝置)
21‧‧‧OHT埠
21A‧‧‧輸送機
25‧‧‧軌道
27‧‧‧高架移行車
41、241‧‧‧支柱構件
43‧‧‧樑構件
50、50A、50B、250、250A、250B‧‧‧物品載置構件
51、251‧‧‧載置部
53、253‧‧‧側方立設部(立設部)
53a‧‧‧側方立設部之上端
55‧‧‧導引部
55a‧‧‧上端(導引面)
55b‧‧‧後側之端部
57‧‧‧突出部
61‧‧‧前方立設部
67‧‧‧容器定位部
71‧‧‧移行部
71A‧‧‧移行驅動部
72‧‧‧支撐柱
73‧‧‧載物台
73A‧‧‧升降驅動部
74‧‧‧臂部
74A、74B‧‧‧臂
75‧‧‧容器支撐部
75A‧‧‧第一本體部
75B‧‧‧第二本體部
75C‧‧‧容器保持部
76A、76B、76C‧‧‧容器定位部
77A、77B、77C‧‧‧容器檢測部(檢測部)
79‧‧‧臂驅動部
80‧‧‧控制器(控制部)
90、290‧‧‧收納容器(物品)
90a‧‧‧收納容器之底面
90b‧‧‧收納容器之後端
91‧‧‧側方突出部
100‧‧‧搬送車系統
A‧‧‧內部空間
圖1係表示一實施形態之倉儲自X方向所觀察之剖面圖。
圖2係將圖1之倉儲所包含一部分之物品載置構件放大而加以表示之立體圖。
圖3係將圖2之物品載置構件之一部分放大而加以表示之立體圖。
圖4係將圖1之堆高式起重機之臂部及容器支撐部之附近放大而加以表示之立體圖。
圖5係表示圖1之搬送車系統之功能構成之功能方塊圖。
圖6係表示已接觸到側方立設部之收納容器之側視圖。
圖7係表示已接觸到側方立設部之收納容器之側視圖。
圖8係將習知之倉儲所包含一部分之物品載置構件放大而加以表示之立體圖。
以下，參照圖式，對本發明較佳之一實施形態詳細地進行說明。再者，於圖式之說明中，對相同元件標示相同符號，並省略重複之說明。
對一實施形態之物品載置構件50、具備有物品載置構件50之倉儲1、及搬送車系統100進行說明。首先，對倉儲1進行說明。倉儲1具有保管收納有半導體晶圓及玻璃基板之等被收納物之FOUP(前開式晶圓盒；Front Opening Unified Pod)等之收納容器(物品)90之作為保管庫之功能。倉儲1例如被設置於無塵室。
如圖1所示，倉儲1主要具備有本體部3、支架4、堆高式起重機(移載裝置)7、OHT(懸吊式無人搬運車；Overhead Hoist Transfer)埠21、及控制器(控制部)80。
本體部3係劃分形成倉儲1之內部空間A之部分，由複數個隔板所形成。支架4係載置收納容器90之部分，通常設置有1至2列(此處為2列)。各支架4沿著X方向(寬度方向)延伸，以相鄰之2個支架4、4對向之方式大致平行地被配置。
如圖2及圖3所示，各支架4具有支柱構件41、樑構件43及物品載置構件50。再者，於圖2及圖3中，將自物品載置構件50觀察時堆高式起重機(移載裝置)7所配置之側設為前側，並將其相反側設為移載方向之後側來進行說明。支柱構件41沿著X方向以既定間隔被配置，且沿著鉛直方向延伸。樑構件43將相鄰之支柱構件41、41彼此連接。物品載置構件50沿著X方向及Z方向(鉛直方向)被排列。物品載置構件50將收納容器90進行載置並加以保管。
物品載置構件50由左右一對之物品載置構件50A、50B所構成。亦即，藉由左右一對之物品載置構件50A、50B來載置 一個收納容器90。物品載置構件50具有載置部51、側方立設部(立設部)53及前方立設部61。
載置部51係供收納容器90載置之部分。於載置部51之上表面設置有容器定位部67。容器定位部67係定位收納容器90之構件。容器定位部67藉由被嵌合於在收納容器90之底面所形成之凹部來定位收納容器90。側方立設部53係自載置部51沿著鉛直方向豎立並且沿著收納容器90之移載方向(X方向)延伸之構件，且限制被載置於載置部51之收納容器90於水平方向上朝向與移載方向正交之寬度方向(X方向)進行移動。於側方立設部53設置有導引部55及突出部57。
導引部55係於藉由堆高式起重機7所移載之收納容器90接觸到時，於Y方向上自前側朝向後側將該收納容器90向斜上方導引之部分。導引部55之上端(導引面)55a自前側朝向後側而向斜上方延伸。突出部57係自側方立設部53之鉛直方向之上端53a沿著水平方向延伸，而限制作為被載置於載置部51之收納容器90之一部分的側方突出部91朝鉛直方向進行移動的部分。導引部55之上端55a之後側之端部55b，被設置於在Z方向上較突出部57更高之位置。
前方立設部61係自載置部51沿著Z方向豎立並且沿著X方向延伸之構件。前方立設部61限制被載置於載置部51之收納容器90於水平方向上朝Y方向前方進行移動。
具有載置部51、側方立設部53、導引部55、突出部57及前方立設部61之物品載置構件50，藉由對板狀構件例如進行衝壓加工等而被一體形成。
如圖1及圖4所示，堆高式起重機7係將收納容器90相 對於物品載置構件50搬入搬出，並且使其於物品載置構件50間移動之機構。堆高式起重機7被配置於由對向之支架4、4所夾隔之區域。堆高式起重機7可藉由在沿著支架4之延伸方向(X方向)被配置於地板面之軌道(未圖示)移行，而沿著支架4朝X方向移動。
堆高式起重機7具備有移行部71、支撐柱72、載物台73、臂部74及容器支撐部75。移行部71被設置為可藉由馬達等移行驅動部71A(參照圖5)而於軌道上沿著X方向移行。支撐柱72係被設置於移行部71之上部且沿著鉛直方向延伸之構件。載物台73被設置為可藉由馬達等之升降驅動部73A(參照圖5)而沿著支撐柱72升降。臂部74被設置於載物台73，具有複數個臂74A、74B。於複數個臂74A、74B之最上部之臂74B固定有容器支撐部75。複數個臂74A、74B可藉由馬達等之臂驅動部79(參照圖5)，使容器支撐部75沿著水平方向自如地移動。
容器支撐部75係保持收納容器90之機構，被固定於臂74B之上表面。容器支撐部75具有第一本體部75A、第二本體部75B、容器保持部75C、容器定位部76A、76B、76C、及容器檢測部(檢測部)77A、77B、77C。第一本體部75A係板狀構件，被固定於臂74B並且支撐收納容器90。第二本體部75B係自第一本體部75A朝鉛直方向上方延伸之構件，且支撐容器保持部75C。容器保持部75C保持收納容器90之側方。
容器定位部76A、76B、76C係被形成於第一本體部75A之上表面且將收納容器90加以定位之構件。容器定位部76A、76B、76C藉由被嵌合於在收納容器90之底面所形成之凹部而定位收納容器90。容器定位部76A、76B、76C於第一本體部75A之上表面配置 有三個。容器定位部76A、76B、76C係配置於第一本體部75A之靠近周緣之位置。
容器檢測部77A、77B、77C例如為接觸式感測器，對收納容器90是否與其接觸進行檢測。容器檢測部77A、77B、77C將與收納容器90之接觸之有無相關之資訊輸出至控制器80。容器檢測部77A、77B、77C於第一本體部75A之上表面配置有三個。容器檢測部77A、77B、77C被配置於第一本體部75A之靠近周緣之位置且容器定位部76A、76B、76C之附近。
收納容器90相對於倉儲1之搬入搬出，自OHT(Overhead Hoist Transfer)埠21開始進行。OHT埠21係於在被鋪設於天花板之軌道25上移行之高架移行車27與倉儲1之間交接收納容器90之部分，具有搬送收納容器90之輸送機21A。
其次，對搬送車系統100進行說明。搬送車系統100主要包含上述倉儲1及控制器80所構成。
控制器80(參照圖1)控制堆高式起重機7之各部。控制器80例如被配置於本體部3之內部。控制器80具有CPU(中央處理單元；Central Processing Unit)、RAM(隨機存取記憶體；Random Access Memory)及ROM(唯讀記憶體；Read Only Memory)等。控制器80藉由CPU、RAM及ROM等之硬體與程式等之軟體協同動作，而執行各種控制。
如圖4所示，本實施形態之控制器80於收納容器90朝向斜上方之移動藉由容器檢測部77A、77B、77C所檢測出時，使藉由堆高式起重機7所進行之收納容器90之移載停止。具體而言，控制器80若收納容器90不存在之情形藉由容器檢測部77A、77B、77C 中之至少一者所檢測出，便判定為收納容器90朝向斜上方之移動藉由容器檢測部77A、77B、77C所檢測出，而使藉由堆高式起重機7所進行之收納容器90之移載停止。
其次，對堆高式起重機7將收納容器90載置於物品載置構件50時之動作進行說明。控制器80控制移行驅動部71A，而使移行部71在X方向上預定載置收納容器90之物品載置構件50之前停止。同時地，控制器80控制升降驅動部73A，使容器支撐部75移動至預定載置收納容器90之物品載置構件50之高度。更詳細而言，使容器支撐部75移動至收納容器90之底面90a可通過預定載置收納容器90之物品載置構件50之前方立設部61之上方的高度。
接著，控制器80控制臂驅動部79，使臂部74朝Y方向之後側延伸，而使藉由第一本體部75A自下方所支撐之收納容器90前進。然後，當收納容器90之前進方向上之後端90b(參照圖5及圖6)一超過前方立設部61，便使臂驅動部79停止。其次，控制器80控制升降驅動部73A，使容器支撐部75下降。藉此，收納容器90被載置於物品載置構件50。
其次，對基於某些因素而在自預定載置收納容器90之物品載置構件50之位置沿著X方向偏移之位置停止之情形進行說明。於該情形時，控制器80亦控制升降驅動部73A，而使容器支撐部75移動至預定載置收納容器90之物品載置構件50之高度。
其次，控制器80控制臂驅動部79，使臂部74朝Y方向之後側延伸，而使藉由第一本體部75A自下方所支撐之收納容器90前進。此時，收納容器90如圖6所示，與側方立設部53之導引部55接觸。收納容器90與上端55a接觸，而自前側朝向後側將收納容器 90之底面90a向斜上方導引。
如圖7所示，收納容器90以其底面90a於導引面上滑動之方式，自前側朝向後側而向斜上方被導引，從而自容器支撐部75離開。此時，被配置於容器支撐部75之行進方向上之最前端之容器檢測部77A，檢測出收納容器90為非接觸狀態。控制器80若收納容器90為非接觸狀態時藉由容器檢測部77A所檢測出，便使臂驅動部79之驅動停止，從而使藉由堆高式起重機7所進行之收納容器90之移載停止。
於上述實施形態之物品載置構件50中，在堆高式起重機7相對於物品載置構件50應停止之位置以朝X方向偏移之狀態停止且收納容器90於該狀態下被移載之情形時，藉由導引部55，收納容器90自前側朝向後側而向斜上方被導引(參照圖6)。藉此，收納容器90不會被夾在容器支撐部75與側方立設部53之間而破損。其結果，即便於設置有自載置部51沿著鉛直方向豎立之側方立設部53之情形時，亦可抑制載置收納容器90時之破損。
於上述實施形態之物品載置構件50中，導引部55之上端55a自前側朝向後側而向斜上方延伸。藉此，可將移載收納容器90時接觸到側方立設部53之收納容器90平順地向斜上方導引。
於上述實施形態之物品載置構件50之側方立設部53，由於設置有自上端53a沿著水平方向延伸之突出部57，因此可抑制收納容器90朝鉛直上方進行移動。藉此，可防止收納容器90自物品載置構件50掉落。
在上述實施形態之物品載置構件50之側方立設部53所設置之導引部55之上端55a之後側之端部55b，如圖3所示般，被 設置於鉛直方向上較突出部57更高之位置。藉此，可抑制藉由導引部55所導引之收納容器90與突出部57碰撞之情形。
上述實施形態之倉儲1即便在倉儲1之物品載置構件50設置有側方立設部53之情形時，亦可抑制載置收納容器90時之破損。
上述實施形態之搬送車系統100之控制器80於收納容器90朝向斜上方之移動藉由容器檢測部77A、77B、77C所檢測出時，使藉由堆高式起重機7所進行之收納容器90之移載停止。藉此，於收納容器90朝向斜上方之移動藉由容器檢測部77A、77B、77C所檢測出時、即若收納容器90接觸到側方立設部53之情形被檢測出，便停止堆高式起重機7將收納容器90朝Y方向推出。藉此，可防止收納容器90破損於未然。
上述實施形態之搬送車系統100之容器檢測部77A、77B、77C係由被設置於移載時支撐收納容器90之第一本體部75A且對收納容器90之存在之有無進行檢測之感測器所構成。藉此，可容易地構成可檢測收納容器90朝向斜上方之移動之容器檢測部77A、77B、77C。
以上，雖已對一實施形態進行說明，但本發明並非被限定於上述實施形態者，可在不脫離發明主旨之範圍內進行各種變更。
於上述實施形態中，雖已列舉本案之物品載置構件50(50A、50B)被設置於構成倉儲1之支架4之例子來進行說明，但亦可被設置於如上所述之作為對倉儲1或既定之處理裝置進行收納容器之交接的介面部分之負載埠。即便於該情形時，亦可抑制載置收 納容器90時之收納容器90之破損。
雖已列舉上述實施形態及變形例之物品載置構件50由左右一對之物品載置構件50A、50B所構成之例子來進行說明，但亦可設為例如在可載置收納容器90之平板狀構件設置有立設部之構成。
雖已列舉上述實施形態及變形例之物品載置構件50之導引部55係其上端沿著移載方向自前側朝向後側而向斜上方延伸之形狀為例來進行說明，但亦可被形成為例如與水平面所成之角度逐漸地變緩之弧狀。即便於該情形時，亦可將接觸到側方立設部53之收納容器90朝斜上方導引。
雖已列舉於上述實施形態及變形例之物品載置構件50之導引部55設置有突出部57及前方立設部61之例子來進行說明，但突出部57及前方立設部61之兩者或一者亦可不被設置於側方立設部53。
雖已列舉於上述實施形態及變形例之物品載置構件50之容器支撐部75設置有三個容器檢測部77A、77B、77C之例子來進行說明，但容器檢測部77A、77B、77C之個數既可為一個，亦可為兩個或四個以上。
又，本發明亦可被應用於與上述之堆高式起重機不同之構成之移載裝置。亦即，本發明亦可應用於使移載部僅可在水平方向或上下方向中之任一方向移動之搬送裝置、或者使移載部可沿著被鋪設於天花板附近而非地板面上之軌道而朝水平方向移動之搬送裝置等。
於上述實施形態及變形例中，作為物品之例子，雖已 列舉如FOUP之收納容器為例來進行說明，但亦可為收納光罩之光罩傳送盒。又，亦可為瓦楞紙板、或集裝箱(reusable shipping carton)等物品。
4‧‧‧支架
41‧‧‧支柱構件
43‧‧‧樑構件
50、50A、50B‧‧‧物品載置構件
51‧‧‧載置部
53‧‧‧側方立設部(立設部)
55‧‧‧導引部
55a‧‧‧上端(導引面)
55b‧‧‧後側之端部
57‧‧‧突出部
61‧‧‧前方立設部
67‧‧‧容器定位部
90‧‧‧收納容器(物品)
91‧‧‧側方突出部

Claims (6)

  1. 一種倉儲，係具備藉由移載裝置來進行物品之移載之物品載置構件者，其具備有：載置部，其供上述物品載置；上述物品載置構件，其具有立設部，該立設部係自上述載置部沿著鉛直方向豎立並且沿著上述物品之移載方向延伸之構件，且限制被載置於上述載置部之上述物品於水平方向上朝向與上述移載方向正交之寬度方向進行移動；及支柱構件，其沿著上述寬度方向以既定間隔被配置，且沿著鉛直方向延伸，並且供上述物品載置構件之上述立設部固定；自上述物品載置構件觀察時在將上述移載裝置所配置之側設為上述移載方向之前側而將其相反側設為上述移載方向之後側時，於上述立設部設置有，藉由上述移載裝置所移載之上述物品已接觸時，自上述前側朝向上述後側將上述物品向斜上方導引之導引部，上述導引部被設為，於上述物品在上述移載裝置停止於朝上述寬度方向偏離預定載置上述物品之上述物品載置構件的位置之狀態下被移載時，與上述物品的底面接觸。
  2. 如請求項1之倉儲，其中，上述導引部之上端自上述前側朝向上述後側而向斜上方延伸。
  3. 如請求項1或2之倉儲，其中，於上述立設部之鉛直方向之上端之至少一部分，設置有自上述上端沿著水平方向延伸，而限制上述物品之一部分沿著鉛直方向進行移動之突出部。
  4. 如請求項3之倉儲，其中，上述導引部之上端之上述後側之端 部，被設置於鉛直方向上較上述突出部更高之位置。
  5. 一種搬送車系統，其具備有：請求項1至4中任一項所記載之倉儲；上述移載裝置，其將上述物品移載至上述物品載置構件；控制部，其控制上述移載裝置；及檢測部，其對上述物品自上述前側朝向上述後側而向斜上方移動之情形進行檢測；且上述控制部於上述物品朝向上述斜上方之移動藉由上述檢測部所檢測出時，使藉由上述移載裝置所進行之上述物品之移載停止。
  6. 如請求項5之搬送車系統，其中，上述檢測部由被設置於在移載時支撐上述物品之支撐部且對上述物品之存在之有無進行檢測之感測器所構成。
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