JP6504105B2 - 容器支持棚 - Google Patents

Description

本発明は、半導体基板を収容する容器の底部を下方から支持する支持体を備えた容器支持棚に関する。

かかる容器支持棚の従来例が、特開２０１５−０１２０４１号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の容器支持棚には、半導体基板を収容する容器の底面を下方から支持する支持体（載置支持部１０ａ）を備えている。支持体は、底部の基準位置に対して放射状に配置された３つの支持部を備え、これら３つの支持部を容器の被支持部に下方から係合した状態で、３つの支持部により容器の底部を下方から支持するように構成されている。

特開２０１５−０１２０４１号公報

半導体基板を収容する容器は、収容物を収容する収容空間が前方寄りに形成されている等により、上下方向に見た場合の容器の重心が、底部における基準位置より前方に位置している場合がある。このように、容器の重心が３つの支持部の基準位置に対して前方に位置している場合は、地震により容器支持棚が揺れたときに支持体に支持されている容器が前方に転倒し易い。

そこで、支持体に支持されている容器が前方に転倒し難い容器支持棚が求められる。

本発明に係る容器支持棚の特徴構成は、半導体基板を収容する容器の底部を下方から支持する支持体を備えた容器支持棚において、
前記容器の前記底部は、上方に窪む３つの被支持部を備え、前記３つの被支持部は、前記底部の基準位置に対して放射状に配置され、上下方向に見て、前記容器の前記基準位置と前記容器の重心とが並ぶ方向を前後方向とし、前記前後方向における前記基準位置に対して前記容器の重心が存在する方向を前方とし、その反対方向を後方として、前記３つの被支持部のうちの２つが、前記容器の重心より前記前方に位置する前被支持部であり、前記３つの被支持部のうちの残り１つが、前記容器の重心より前記後方に位置する後被支持部であり、前記支持体は、前記２つの前被支持部に下方から係合した状態で前記容器の前記底部を下方から支持する２つの前支持部と、前記容器の前記底部における重心より前記後方に位置する部分を下方から支持する後支持部と、を備えて、前記２つの前支持部と前記後支持部とにより、前記２つの前被支持部が前記後被支持部より上方に位置する傾斜姿勢で、前記容器を支持し、前記支持体は、板状の板状部と、前記板状部の上面より上方に突出する前記２つの前支持部と、を備え、前記後支持部は、前記板状部により構成されている点にある。

この特徴構成によれば、支持体は、容器における３つの被支持部のうちの少なくとも２つの前被支持部に２つの前支持部が下方から係合している状態で、容器を支持している。２つの前被支持部は、容器の底部における基準位置に対して放射状に形成されているため、少なくとも２つの前被支持部に２つの前支持部を下方から係合させることで、支持体により容器を規定位置に位置決めした状態で容器を支持できる。
また、支持体は、２つの前支持部と後支持部とにより、２つの前被支持部が後被支持部より上方に位置する傾斜姿勢で、容器を支持することで、２つの前被支持部と後被支持部とが同じ高さとなる姿勢に比べて、容器の重心が前方に位置する。そのため、支持体に支持されている容器が前方に転倒し難くなる。

ここで、前記容器は、前記半導体基板を収容する収容空間と、前記収容空間に対して前記半導体基板を出し入れするための開口と、を備え、前記開口は、前記収容空間に対して前記前方に備えられ、前記後支持部は、前記底部の後端部を支持すると好適である。

この構成によれば、容器に、開口を塞ぐ蓋体を備えた場合は、その蓋体の存在により容器の重心が前方に寄り易いが、このような容器を前方に転倒し難い状態で支持体により支持できる。また、後支持部は、底部の後端部を支持することで、この後支持部を容器の後被係合部に下方から係合する形状に形成する必要がないため、後支持部を形成し易くなる。

また、前記支持体は、前記支持体により支持している前記容器の前方が、前記支持体に前記容器を搬送する搬送装置の移動空間を向く姿勢で、前記容器を支持すると好適である。

この構成によれば、支持体に支持されている容器が前方に転倒し難くすることで、容器が搬送装置の移動空間に落下することを抑制できる。そのため、例えば、地震等により容器収納棚が揺れた場合に、搬送装置の移動空間に落下する容器の数を抑えることができるため、地震後の復旧作業が行い易くなる。

また、前記容器が前記支持体に支持されている状態において、前記容器における前記２つの前支持部と前記前後方向で同じ位置に位置し且つ最も下方に位置する前記容器の部分を第一対象部とすると共に、前記板状部の上面における前記第一対象部の直下に位置する部分を第二対象部とし、前記２つの前支持部は、前記第一対象部と前記第二対象部との上下方向の間隔が１ｍｍ以下となる高さに形成されていると好適である。

この構成によれば、支持体に支持されている容器は、２つの前支持部により２つの前被支持部が支持され、容器の後端部が板状部により支持されている。そして、第一対象部と第二対象部との上下方向の間隔が１ｍｍ以下であるため、前支持部における板状体の上面からの突出量を小さくして前支持部の高さを比較的低くできる。従って、当該前支持部により支持する容器を安定よく支持し易い。

また、前記支持体は、前記支持体により支持している前記容器の前端よりも前記前方に延在する延在部を備え、前記延在部は、前記支持体により支持している前記容器と前記前後方向に見て重複する規制部を有していると好適である。

この構成によれば、支持体に対して容器が前方に移動したときに、その移動する容器に規制体が接触することで容器の前方への移動を規制できる。そのため、支持体に対して容器が前方に移動したときに容器が支持体から落下することや容器が前方に転倒することを規制できる。また、容器の前端の下方には、支持体の延在部が存在しているため、前方に転倒しようとする容器を延在部により下方から受け止めることで、容器が前方に転倒することを規制できる。

容器収納設備の側面図 収納部の側面図 収納部の平面図 容器収納棚の平面図 第一支持体の斜視図 第一支持体の分解斜視図

以下、本発明にかかる容器支持棚としての容器収納棚を容器収納設備に用いた実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、容器収納設備は、容器Ｗを収納する収納部１Ａを複数備えた容器収納棚１と、容器収納棚１の棚前方向Ｘ１に形成された移動空間Ｓを走行して容器Ｗを搬送する搬送装置としてのスタッカークレーン２と、を備えている。また、容器収納設備は、容器収納棚１やスタッカークレーン２が設置される領域の側周囲を覆う壁体Ｋと、壁体Ｋを貫通する状態で設置されて容器Ｗを搬送する搬送コンベヤ４と、を備えている。尚、本実施形態では、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を容器Ｗとしており、容器Ｗは、収容物として半導体基板（ウェハ）を収容する。

図１に示すように、搬送コンベヤ４は、壁体Ｋの外側に位置する外側箇所４Ａと壁体Ｋの内側に位置する内側箇所４Ｂとの間で容器Ｗを搬送するように構成されている。高い位置に設置されている搬送コンベヤ４の外側箇所４Ａに対しては、天井搬送車６が容器Ｗの載せ降しを行い、低い位置に設置されている搬送コンベヤ４（図示せず）の外側箇所４Ａに対しては、作業者が容器Ｗの載せ降しを行う。

容器収納設備では、搬送コンベヤ４の外側箇所４Ａに容器Ｗが載せられると、当該容器Ｗは、搬送コンベヤ４により外側箇所４Ａから内側箇所４Ｂに搬送された後、スタッカークレーン２により搬送コンベヤ４の内側箇所４Ｂから容器収納棚１の収納部１Ａに搬送される。また、容器収納設備では、スタッカークレーン２により容器Ｗが容器収納棚１の収納部１Ａから搬送コンベヤ４の内側箇所４Ｂに搬送されると、当該容器Ｗは、搬送コンベヤ４にて内側箇所４Ｂから外側箇所４Ａに搬送された後、天井搬送車６又は作業者により外側箇所４Ａから降ろされる。

以下、容器収納設備の各構成について説明するが、容器収納棚１と移動空間Ｓとが並ぶ方向を棚前後方向Ｘとし、容器収納棚１に対して移動空間Ｓが存在する方向を棚前方向Ｘ１とし、その反対方向を棚後方向Ｘ２として説明する。また、上下方向Ｚに見て、棚前後方向Ｘに対して直交する方向を幅方向Ｙとし、幅方向Ｙの一方向を第一幅方向Ｙ１とし、幅方向Ｙの他方向（第一幅方向Ｙ１の反対方向）を第二幅方向Ｙ２として説明する。尚、容器Ｗについては、容器Ｗを収納部１Ａに収納した状態に基づいて棚前後方向Ｘ及び幅方向Ｙを定義して説明する。

〔容器〕
図２に示すように、容器Ｗは、半導体基板を収容する収容空間１１を有する収容部１２と、容器Ｗの上端部に備えられているフランジ部１３と、収容部１２の前面に形成された開口１４を閉じる着脱自在な蓋体１５と、が備えられている。このように、容器Ｗは、半導体基板を収容する収容空間１１と、収容空間１１に対して半導体基板を出し入れするための開口１４と、を備えており、開口１４は、収容空間１１に対して棚前方向Ｘ１に備えられている。

図２及び図３に示すように、容器Ｗの底部１６は、上方に窪む３つの溝状の被支持部１７を備えている。３つの被支持部１７は長尺状に形成されており、３つの被支持部１７は、基準位置Ｐ１に対して放射状に配置されている。
収容空間１１は、その収容空間１１に収容されている半導体基板の中心が、容器Ｗの棚前後方向Ｘの中心より棚前方向Ｘ１に位置するように形成されている。そのため、収容空間１１に収容する半導体基板の枚数が増えるに従って容器Ｗの重心Ｐ２は棚前方向Ｘ１に移動する。
基準位置Ｐ１は、上下方向Ｚに見て容器Ｗの重心Ｐ２より棚後方向Ｘ２に設定されている。重心Ｐ２は、容器Ｗの収容空間１１に収容可能な最大枚数の半導体基板を収容している状態における容器Ｗの重心である。本実施形態では、容器Ｗの収容空間１１に全く半導体基板を収容していない状態の重心も、基準位置Ｐ１より棚前方向Ｘ１に位置している。

上下方向Ｚに見て、容器Ｗの基準位置Ｐ１と容器Ｗの重心Ｐ２とが並ぶ方向が、容器Ｗの前後方向であり、容器Ｗの前後方向における基準位置Ｐ１に対して容器Ｗの重心Ｐ２が存在する方向が容器Ｗの前方であり、その反対方向が容器Ｗの後方である。容器Ｗを収納部１Ａに収納している状態では、容器Ｗの前後方向と棚前後方向Ｘとが同じ方向であり、容器Ｗの前方と棚前方向Ｘ１とが同じ方向であり、容器Ｗの後方と棚後方向Ｘ２とは同じ方向である。

底部１６に備えられている３つの被支持部１７のうちの２つは、容器Ｗの重心Ｐ２より棚前方向Ｘ１に位置しており、この２つの被支持部１７が前被支持部１７Ａである。底部１６に備えられている３つの被支持部１７のうちの残り１つは、容器Ｗの重心Ｐ２より棚後方向Ｘ２に位置しており、この１つの被支持部１７が後被支持部１７Ｂである。
図３に示すように、２つの前被支持部１７Ａのうちの一方は、幅方向Ｙにおいて、底部１６における容器Ｗの重心Ｐ２に対して第一幅方向Ｙ１に備えられている。２つの前被支持部１７Ａのうちの他方は、幅方向Ｙにおいて、底部１６における容器Ｗの重心Ｐ２に対して第二幅方向Ｙ２に備えられている。これら２つの前被支持部１７Ａは、棚前後方向Ｘにおいて同じ位置に備えられている。後被支持部１７Ｂは、幅方向Ｙにおいて、底部１６における容器Ｗの重心Ｐ２と同じ位置に備えられている。

容器Ｗが収納部１Ａの第一支持体２１により支持されている状態において、上下方向Ｚに見て、容器Ｗの底部１６における第一支持体２１と重複する部分を収納重複部１８としている。また、容器Ｗがスタッカークレーン２の第二支持体３６により支持されている状態において、上下方向Ｚに見て、容器Ｗの底部１６における第二支持体３６と重複する部分を搬送重複部１９としている。２つの前被支持部１７Ａの夫々は、収納重複部１８と搬送重複部１９とに亘って形成されている。１つの後被支持部１７Ｂは、少なくとも搬送重複部１９に形成されており、本実施形態では、収納重複部１８と搬送重複部１９とに亘って形成されている。尚、搬送重複部１９が、「搬送用被支持部」に相当する。

〔容器収納棚〕
図１及び図４に示すように、容器収納棚１は、容器Ｗを収納可能な複数の収納部１Ａを上下方向Ｚ及び幅方向Ｙに並ぶ状態で複数備えている。複数の収納部１Ａの夫々は、容器Ｗの底部１６を下方から支持する第一支持体２１を備えている。このように、容器収納棚１には第一支持体２１を備えている。
図４に示すように、容器収納棚１は、上下方向Ｚに沿う姿勢で設置された複数の縦枠体２２Ａと、幅方向Ｙに沿う姿勢で設置された横枠体２２Ｂと、を備えており、これら縦枠体２２Ａと横枠体２２Ｂとを組み合わせて枠組み２２が形成されている。
枠組み２２は、容器収納棚１における棚後方向Ｘ２側の端部に設置されており、第一支持体２１は、横枠体２２Ｂから棚前方向Ｘ１に延びる姿勢で横枠体２２Ｂに支持されている。つまり、第一支持体２１は、その棚後方向Ｘ２側の端部が横枠体２２Ｂに連結された状態で枠組み２２に支持されている。尚、壁体Ｋは、容器収納棚１の枠組み２２に固定されている。

図５及び図６に示すように、第一支持体２１は、１つの板状部２３と、２つの補強部２４と、２つの前支持部２５と、を備えて構成されている。板状部２３は板状に形成されており、その下方を向く面に２つの補強部２４が締結部２６を用いて連結されている。本実施形態では、板状部２３と補強部２４とを連結する締結部２６としてリベットを用いている。
具体的には、板状部２３と補強部２４との夫々にリベット挿通用の孔が形成されている。そして、板状部２３と補強部２４とを上下方向に重ねた状態でこれらのリベット挿通用の孔にリベットを上方から挿通させた後、リベットの先端（下端）を潰してリベットの先端を棚前後方向Ｘや幅方向Ｙに押し広げ、リベットの頭と先端とで板状部２３と補強部２４とを上下方向に挟むようにして板状部２３と補強部２４とを連結している。このようにリベットを用いて板状部２３と補強部２４とを連結することで、例えば、板状部２３と補強部２４とを溶接により連結する場合のように板状部２３や補強部２４が熱によって変形することを回避できると共に板状部２３と補強部２４との連結に要するコストを抑えることができる。

そして、図２に示すように、補強部２４の後端部が横枠体２２Ｂに連結されている。図５に示すように、板状部２３は、切欠き２７が形成されており、上下方向Ｚに見た形状が角ばったＵ字状に形成されている。前支持部２５は、板状部２３における切欠き２７の周縁部の２か所に、板状部２３の上面から上方に突出する状態で備えられている。尚、第一支持体２１については詳細を後述する。

〔スタッカークレーン〕
図１に示すように、スタッカークレーン２は、幅方向Ｙに沿って走行する走行台車３１と、走行台車３１に立設されたマスト３２と、マスト３２に沿って昇降する昇降体３３と、昇降体３３に支持された移載装置３４と、を備えている。移載装置３４は、移載対象箇所（収納部１Ａや搬送コンベヤ４の内側箇所４Ｂ）と自己との間で容器Ｗを移載できるように構成されている。

移載装置３４には、容器Ｗの底部１６を下方から支持する第二支持体３６（図３参照）と、当該第二支持体３６を引退位置と突出位置とに出退移動させる出退操作装置（図示せず）と、を備えている。引退位置は、第二支持体３６が昇降体３３の真上に位置する位置であり、突出位置は、図３に示すように第二支持体３６を引退位置から棚後方向Ｘ２に突出させた位置である。
そして、移載装置３４は、出退操作装置を縦軸心周りに回転させることで、第二支持体３６の引退位置から突出する方向を、一対の容器収納棚１の一方が存在する方向と、一対の容器収納棚１の他方が存在する方向と、に択一的に選択自在に構成されている。そのため、移載装置３４は、一対の容器収納棚１のいずれの収納部１Ａに対しても各収納部１Ａとの間で容器Ｗを移載できるように構成されている。

図３に示すように、第二支持体３６は、突出位置に突出した状態で昇降体３３が昇降したときに第一支持体２１の切欠き２７を上下方向Ｚに通過可能な形状に形成されている。第二支持体３６は、容器Ｗの２つの被支持部１７に下方から係合して容器Ｗの底部１６を支持する搬送支持部３７が３つ備えられている。第二支持体３６は、３つの搬送支持部３７を容器Ｗの被支持部１７に係合させた状態で容器Ｗを支持することで、容器Ｗを第二支持体３６上における予め設定された支持位置に位置決めした状態で支持できるように構成されている。ちなみに、３つの搬送支持部３７は、被支持部１７における搬送重複部１９に位置する部分を下方から支持しており、第二支持体３６により、容器Ｗの底部１６における搬送重複部１９を下方から支持している。

〔第一支持体の詳細〕
次に、第一支持体２１について説明を加える。
図２に示すように、第一支持体２１は、２つの前被支持部１７Ａに下方から係合した状態で容器Ｗの底部１６を下方から支持する２つの前支持部２５と、容器Ｗの底部１６における重心Ｐ２より棚後方向Ｘ２に位置する部分を下方から支持する板状部２３と、を備えている。板状部２３は、容器Ｗにおける底部１６の後端部１６Ａを支持しており、この板状部２３が、容器Ｗの底部１６における重心Ｐ２より棚後方向Ｘ２に位置する部分を下方から支持する後支持部に相当する。

そして、第一支持体２１は、２つの前支持部２５と板状部２３とにより、２つの前被支持部１７Ａが後被支持部１７Ｂより上方に位置する傾斜姿勢で、容器Ｗを支持する。ここで、「傾斜姿勢」とは、基準姿勢の容器Ｗに対して容器Ｗの姿勢が後方に傾いている姿勢を表わしている。説明を加えると、基準姿勢は、３つのキネマティックピンにより容器Ｗの被支持部１７が支持されている状態において、前被支持部１７Ａにおけるキネマティックピンが下方から接触する部分と、後被支持部１７Ｂにおけるキネマティックピンが下方から接触する部分と、が同じ高さに位置している姿勢である。そして、傾斜姿勢は、上述のように２つの前支持部２５（キネマティックピン）を含む３つのキネマティックピンにより容器Ｗの被支持部１７を支持している状態を想定して、前被支持部１７Ａにおける前支持部２５が下方から接触する部分が、後被支持部１７Ｂにおけるキネマティックピンが下方から接触する部分より上方に位置している姿勢である。

板状部２３における容器Ｗと上下方向Ｚに見て重複する部分は、その上面が平坦で且つ水平となっている。そして、２つの前支持部２５は、第一対象部４１と第二対象部４２との上下方向Ｚの間隔Ｌが、０ｍｍを超え且つ１ｍｍ以下となる高さに形成されている。第一対象部４１は、容器Ｗが第一支持体２１に支持されている状態において、容器Ｗにおける２つの前被支持部１７Ａと棚前後方向Ｘで同じ位置に位置し且つ最も下方に位置する容器Ｗの部分としている。また、第二対象部４２は、容器Ｗが第一支持体２１に支持されている状態において、板状部２３の上面における第一対象部４１の直下に位置する部分としている。要するに、容器Ｗが第一支持体２１に支持されている状態で、第一対象部４１と第二対象部４２とは上下方向Ｚに離間しているがその離間距離（間隔Ｌ）は１ｍｍ以下に抑えられている。本実施形態では、２つの前支持部２５は、間隔Ｌが１ｍｍとなる高さに形成されている。

第一支持体２１は、その棚前後方向Ｘの長さが容器Ｗの棚前後方向Ｘの長さより長く形成されている。そして、第一支持体２１は、第一支持体２１の棚前方向Ｘ１の前端より棚後方向Ｘ２に容器Ｗの前端が位置すると共に、第一支持体２１の棚後方向Ｘ２の後端より棚前方向Ｘ１に容器Ｗの前端が位置するように、容器Ｗを支持している。
つまり、第一支持体２１は、第一支持体２１により支持している容器Ｗの前端よりも棚前方向Ｘ１に延在する延在部としての前延在部４３を備えている。この前延在部４３は、第一支持体２１により支持されている容器Ｗと棚前後方向Ｘに見て重複する規制部としての前規制部４４を有している。前規制部４４は、その上端が第一支持体２１により支持している容器Ｗの前被支持部１７Ａよりも上方に位置する高さで、且つ、容器Ｗの高さの１／５を超えない高さに形成されている。ちなみに、前規制部４４の高さは、容器Ｗを支持している第二支持体３６が引退位置から突出位置に移動するときや突出位置から引退位置に移動するときに、前規制部４４が第二支持体３６に支持されている容器Ｗに干渉しない高さであればよい。

第一支持体２１は、その幅方向Ｙの長さが容器Ｗの幅方向Ｙの長さより長く形成されている。そして、第一支持体２１は、第一支持体２１の第一幅方向Ｙ１の端部より第二幅方向Ｙ２に容器Ｗの第一幅方向Ｙ１の端部が位置すると共に、第一支持体２１の第二幅方向Ｙ２の端部より第一幅方向Ｙ１に容器Ｗの第二幅方向Ｙ２の端部が位置するように、容器Ｗを支持している。
つまり、第一支持体２１は、第一支持体２１により支持した容器Ｗにおける第一幅方向Ｙ１の端部より第一幅方向Ｙ１に延在する第一幅延在部４５を備えている。この第一幅延在部４５は、幅方向Ｙに見て容器Ｗと重複する第一幅規制部４６を有している。また、第一支持体２１は、第一支持体２１により支持した容器Ｗにおける第二幅方向Ｙ２の端部より第二幅方向Ｙ２に延在する第二幅延在部４７を備えている。この第二幅延在部４７は、幅方向Ｙに見て容器Ｗと重複する第二幅規制部４８を有している。第一幅規制部４６及び第二幅規制部４８は、前規制部４４と同じ高さに形成されている。

幅方向Ｙに見て、第一支持体２１における縦枠体２２Ａと重複する部分は、第一支持体２１における第一幅規制部４６や第二幅規制部４８が備えられている部分に比べて、幅方向Ｙに幅狭に形成されている。

このように、容器Ｗにおける２つの被支持部１７に２つの前支持部２５を下方から係合させた状態で第一支持体２１により容器Ｗの底部１６を支持することで、第一支持体２１によって容器Ｗを規定位置に位置決めした状態で容器Ｗを支持できる。そして、２つの前支持部２５と板状部２３とにより容器Ｗを傾斜姿勢で支持することにより、容器Ｗが前方に転倒し難くい状態で容器Ｗを支持できる。

〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、容器の底部における重心より前方に位置する部分を後支持部により下方から支持する構成として、後支持部としての板状部により容器の後端部を下方から支持する構成としたが、後支持部による容器を支持する構成はこれに限定されない。つまり、例えば、後支持部を、板状部から上方に突出するとともに板状部からの突出量が前支持部より小さい形状に形成して、後被支持部に下方から係合した状態で容器の底部を下方から支持してもよい。また、板状部に複数の突起を形成して、この複数の突起により容器の後端部を下方から支持する構成としてもよい。

（２）上記実施形態では、第一支持部により支持した容器の姿勢を、容器の前方が棚前方向を向く姿勢としたが、第一支持部により支持した容器の姿勢を、容器の前方が棚幅方向の第一方向に向く姿勢や、容器の前方が棚幅方向の第二方向に向く姿勢や、容器の前方が棚後方向を向く姿勢としてもよい。

（３）上記実施形態では、第一支持体に、前延在部と第一幅延在部と第二幅延在部とを備えたが、第一支持体に、前延在部と第一幅延在部と第二幅延在部とのうちの一部のみ（例えば前延在部のみ）を備えてもよく、また、第一支持体に、前延在部と第一幅延在部と第二幅延在部との全てを備えないようにしてもよい。
また、第一支持体に、前規制部と第一幅規制部と第二幅規制部とを備えたが、第一支持体に、前規制部と第一幅規制部と第二幅規制部とのうちの一部のみ（例えば前規制部のみ）を備えてもよく、また、第一支持体に、前規制部と第一幅規制部と第二幅規制部との全てを備えないようにしてもよい。

（４）上記実施形態では、第一支持体を上下方向及び幅方向に並ぶ状態で容器支持棚に複数備えたが、第一支持体を上下方向にのみ並ぶ状態で容器支持棚に複数備えてもよく、また、第一支持体を幅方向にのみ並ぶ状態で容器支持棚に複数備えてもよい。搬送装置をスタッカークレーンとしたが、第一支持体を上下方向にのみ並ぶ状態で容器支持棚に複数備えた場合は、搬送装置を、幅方向に走行しない昇降装置により構成してもよく、また、第一支持体を幅方向にのみ並ぶ状態で容器支持棚に複数備えた場合は、搬送装置を、床面上を走行する自動搬送車により構成してもよい。

（５）上記実施形態では、容器を、工場内で搬送されるＦＯＵＰとしたが、容器を、工場間で搬送されるＦＯＳＢ等の他の半導体基板用の容器でもよい。

（６）上記実施形態では、第一支持体に１つの板状部と２つの補強部を備えて２つの補強部を枠組みに連結したが、第一支持体を枠組みに連結する構成はこれに限定されない。つまり、例えば、１つの板状部と２つの補強部とに代えて、１つの板状部と１つの補強部材とを第一支持体に備えて、この１つの補強体を枠組みに連結してもよく、また、１つの板状部と２つの補強部とに代えて、１つの板状部材を第一支持体に備えて、この１つの板状部材を枠組みに連結してもよい。

１ 容器収納棚（容器支持棚）
２ スタッカークレーン（搬送装置）
１１ 収容空間
１４ 開口
１６ 底部
１６Ａ 後端部
１７ 被支持部
１７Ａ 前被支持部
１７Ｂ 後被支持部
２１ 支持体
２３ 板状部（後支持部）
２５ 前支持部
４１ 第一対象部
４２ 第二対象部
４３ 前延在部（延在部）
４４ 前規制部（規制部）
Ｌ 間隔
Ｐ１ 基準位置
Ｐ２ 重心
Ｓ 移動空間
Ｗ 容器
Ｘ 棚前後方向（前後方向）
Ｘ１ 棚前方向（前方）
Ｘ２ 棚後方向（後方）

Claims (5)

1. 半導体基板を収容する容器の底部を下方から支持する支持体を備えた容器支持棚であって、
   前記容器の前記底部は、上方に窪む３つの被支持部を備え、
   前記３つの被支持部は、前記底部の基準位置に対して放射状に配置され、
   上下方向に見て、前記容器の前記基準位置と前記容器の重心とが並ぶ方向を前後方向とし、前記前後方向における前記基準位置に対して前記容器の重心が存在する方向を前方とし、その反対方向を後方として、
   前記３つの被支持部のうちの２つが、前記容器の重心より前記前方に位置する前被支持部であり、前記３つの被支持部のうちの残り１つが、前記容器の重心より前記後方に位置する後被支持部であり、
   前記支持体は、前記２つの前被支持部に下方から係合した状態で前記容器の前記底部を下方から支持する２つの前支持部と、前記容器の前記底部における重心より前記後方に位置する部分を下方から支持する後支持部と、を備えて、前記２つの前支持部と前記後支持部とにより、前記２つの前被支持部が前記後被支持部より上方に位置する傾斜姿勢で、前記容器を支持し、
   前記支持体は、板状の板状部と、前記板状部の上面より上方に突出する前記２つの前支持部と、を備え、
   前記後支持部は、前記板状部により構成されている容器支持棚。
2. 前記容器は、前記半導体基板を収容する収容空間と、前記収容空間に対して前記半導体基板を出し入れするための開口と、を備え、
   前記開口は、前記収容空間に対して前記前方に備えられ、
   前記後支持部は、前記底部の後端部を支持する請求項１記載の容器支持棚。
3. 前記支持体は、前記支持体により支持している前記容器の前方が、前記支持体に前記容器を搬送する搬送装置の移動空間を向く姿勢で、前記容器を支持する請求項１又は２記載の容器支持棚。
4. 前記容器が前記支持体に支持されている状態において、前記容器における前記２つの前支持部と前記前後方向で同じ位置に位置し且つ最も下方に位置する前記容器の部分を第一対象部とすると共に、前記板状部の上面における前記第一対象部の直下に位置する部分を第二対象部とし、
   前記２つの前支持部は、前記第一対象部と前記第二対象部との上下方向の間隔が１ｍｍ以下となる高さに形成されている請求項１から３の何れか１項に記載の容器支持棚。
5. 前記支持体は、前記支持体により支持している前記容器の前端よりも前記前方に延在する延在部を備え、
   前記延在部は、前記支持体により支持している前記容器と前記前後方向に見て重複する規制部を有している請求項１から４のいずれか１項に記載の容器支持棚。

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