JP3962561B2 - 固体撮像装置及びそれを用いた撮像システム - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特にビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、イメージスキャナ用のイメージ入力装置に広範に用いられる固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、高解像化のため、微細化プロセスを用いた光電変換素子のセルサイズ縮小が精力的に行われる一方、光電変換信号出力が低下することなどから、光電変換信号を増幅して出力することが可能な増幅型の固体撮像装置が注目されている。このような増幅型光電変換装置には、MOS型、AMI、CMD、BASIS等がある。このうち、MOS型はフォトダイオードで発生した光キャリアをMOSトランジスタのゲート電極に蓄積し、走査回路からの駆動タイミングに従って、その電位変化を出力部へ電荷増幅して出力するものである。近年では、このMOS型のうち、光電変換部や、その周辺回路部を含め全てCMOSプロセスで実現するCMOS型固体撮像装置が特に注目されてきている。
【0003】
図18に従来のCMOS型固体撮像装置のブロック図を示す。図18において、1は画素部、2は垂直走査を行うための垂直走査回路ブロック、D11〜D33はフォトダイオード、M211〜M233はフォトダイオードの電荷をリセットするためのリセットMOS、M311〜M333はフォトダイオードの電荷を増幅するための増幅MOS、M411〜M433は行を選択するための選択MOS、V1〜V3は垂直信号線、M51〜M53は増幅MOSの負荷となる負荷MOS、M50は負荷MOSに流す定電流を設定するための入力MOS、5は入力MOSのゲート電圧を設定するための電圧入力端子である。
【0004】
以下に動作を説明する。フォトダイオードD11〜D33に光が入射されると光信号電荷が発生し蓄積される。信号の読み出しは垂直シフトレジスタ2によって垂直走査しながら行ごとに順次、垂直信号線V1〜V3に読み出される。まず、1行目が選択されると選択MOS M411〜M431のゲートPSEL1がハイレベルとなり、増幅MOS M311〜M331がアクティブとなる。これによって、1行目の信号が垂直信号線V1〜V3に読み出される。次に、リセットMOS M211〜M231のゲートPRES1がハイレベルとなりフォトダイオードD11〜D31に蓄積された電荷がリセットされる。次に、2行目が選択され同様にして2行目の信号が垂直信号線V1〜V3に読み出される。3行目以降も同様にして垂直信号線V1〜V3に順次読み出される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような読み出し動作において、光信号が大きいほど垂直信号線V1〜V3上の電圧は低くなる。また、垂直信号線V1〜V3は負荷MOS M51〜M53のドレインに接続されているため、垂直信号線上の電圧が変化すると、MOSトランジスタのチャネル長変調効果によって負荷MOSの電流値が変化する。従って、ある行を読み出しているときに共通のGNDライン4に流れる電流は、光が入射されている画素数、あるいは入射される光量によって変化することになる。
【0006】
一方で、チップサイズ等の制約からGNDライン4の配線幅は有限の値しかとれず、あるインピーダンスを持つ。また、負荷MOSに流す定電流の値は、入力MOS M50のゲートと絶対的なGND(例えば外部基板の接地電位)との間に入力電圧5を与えることにより設定しているため、GNDライン4のインピーダンスと流れる電流で決まる電圧降下によって、設定電流の値が変化することになる。従って、光が入射されている画素が多いほど、また、入射されている光量が大きいほどGNDライン4の電圧降下が小さく負荷MOSの設定電流が多くなる。
【0007】
結果的に光が入射されていない画素においても負荷MOSの電流値が大きくなり、増幅MOSのゲート・ソース間電圧が大きくなる。この現象によって、強い光が入射されている画素を含む行と、そうでない行とのダーク画素およびオプティカル・ブラック(OB)画素の出力電圧が異なり、強いスポット光が入射された画像で、スポットの左右に白っぽい帯が発生するという問題があった。
【0008】
そこで本発明は、フォトダイオードからの光信号電荷を増幅して出力する増幅素子の負荷となるMOSトランジスタのドレイン電圧を一定にする定電圧手段を設けた固体撮像装置及びそれを用いた撮像システムを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するため、本発明は、光信号を信号電荷に変換して蓄積する光電変換素子と、この蓄積された前記信号電荷を増幅する増幅素子と、この増幅素子における前記信号電荷をリセットするリセット素子とを画素の構成要素として含み、前記増幅素子において増幅された信号が読み出される信号線を含む固体撮像装置であって、前記信号線を介して前記増幅素子に電流を供給する負荷トランジスタと、この負荷トランジスタの前記信号線側の主電極領域の電圧を一定にする第1のトランジスタとを備え、前記第1のトランジスタの一方の主電極領域が前記負荷トランジスタの前記信号線側の主電極領域と接続され、他方の主電極領域が前記信号線に接続されており、前記増幅素子で増幅された信号を前記信号線の電圧変化を元に読み出すことを特徴とする。
【0010】
以上の構成によって、強い光が入射されている画素を含む行の信号を読み出す場合においても、増幅素子の負荷となる負荷トランジスタ信号線側の主電極領域の電圧が一定となるので、垂直信号線の電圧変化によって負荷素子に流れる定電流の値が変化することはない。このため、光が入射されている画素の数、あるいは入射されている光量によってGNDラインの電圧降下量が変化することはなく、負荷トランジスタの設定電流は一定に保たれる。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0012】
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の固体撮像装置の第1の実施の形態のブロック図である。上記固体撮像装置を構成する各回路素子は、半導体集積回路の製造技術によって、特に制限されないが、単結晶シリコンのような1個の半導体基板上において形成される。また、図1では簡単のため3行3列の画素アレイとしているが、このサイズに限定したものではない。
【0013】
図1を用いて、本発明の固体撮像装置の構成について説明する。光信号電荷を発生するフォトダイオードD11〜D33は、この例ではアノード側が接地されている。フォトダイオードD11〜D33のカソード側は、増幅MOS M311〜M333のゲートに接続されている。また、上記増幅MOS M311〜M333のゲートには、これをリセットするためのリセットMOS M211〜M233のソースが接続され、リセットMOS M211〜M233のドレインは、リセット電源に接続されている。さらに、上記増幅MOS M311〜M333のドレインは、電源電圧を供給するための選択MOS M411〜M433に接続されている。上記リセットMOS M211のゲートは、横方向に延長して配置される第1の行選択線(垂直走査線)PRES1に接続される。同じ行に配置された他の画素セルの同様なリセットMOS M221,M231のゲートも上記第1の行選択線PRES1に共通に接続される。上記選択MOS M411のゲートは、横方向に延長して配置される第2の行選択線(垂直走査線)PSEL1に接続される。同じ行に配置された他の画素セルの同様な選択MOS M421,M431のゲートも上記第2の行選択線PSEL1に共通に接続される。これら第1〜第2の行選択線は、垂直走査回路ブロック2に接続され、後述する動作タイミングにもとづいて信号電圧が供給される。図1に示されている残りの行においても同様な構成の画素セルと、行選択線が設けられる。これらの行選択線には、上記垂直走査回路ブロック2により形成されたPRES2〜PRES3、PSEL2〜PSEL3が供給される。
【0014】
上記増幅MOS M311のソースは、縦方向に延長して配置される垂直信号線V1に接続される。同じ列に配置される画素セルの同様な増幅MOS M312,M313のソースも上記垂直信号線V1に接続される。上記垂直信号線V1は、定電圧手段3であるゲート接地MOS M71を介して負荷素子である負荷MOS M51に接続される。M71のゲートはゲート電圧を供給する電圧入力端子6に接続される。図1に示されている残りの垂直信号線V2〜V3においても同様に増幅MOS、ゲート接地MOS、負荷MOSが接続される。さらに、上記負荷MOS M51〜M53のソースは共通のGNDライン4に、ゲートは入力MOS M50のゲートに接続されると共に電圧入力端子5に接続される。
【0015】
次に、動作を説明する。フォトダイオードD11〜D33に光が入射されると光信号電荷が発生し蓄積される。信号の読み出しは垂直シフトレジスタ2によって垂直走査しながら行ごとに順次、垂直信号線V1〜V3に読み出される。まず、1行目が選択されると選択MOS M411〜M431のゲートPSEL1がハイレベルとなり、増幅MOS M311〜M331がアクティブとなる。これによって1行目の信号が垂直信号線V1〜V3に読み出される。次に、リセットMOS M211〜M231のゲートPRES1がハイレベルとなりフォトダイオードD11〜D31に蓄積された電荷がリセットされる。次に、2行目が選択され同様にして2行目の信号が垂直信号線V1〜V3に読み出される。3行目以降も同様にして垂直信号線V1〜V3に順次読み出される。
【0016】
上記のような動作で例えば1行目を読み出しているとき、各垂直信号線V1〜V3に読み出される信号電圧が変化しても、負荷MOS M51〜M53のドレイン電圧は、ゲート接地MOS M71〜M73のソース電圧で決定されるため変化しない。このため、非常に大きい信号電荷を読み出す場合においても、負荷MOS M51〜M53の電流値の変化を小さく保つことができる。従って、光が入射されている画素の数、あるいは入射される光量によってGNDライン4の電圧降下量が変化することはないため、どの行を読み出している場合においても負荷MOS M51〜M53の設定電流が一定に保たれる。上記構成によれば、強い光が入射されている画素を含む行と、そうでない行とのダーク画素およびOB画素の出力電圧が等しくなり、強いスポット光が入射された画像において白っぽい帯が発生するという問題はなく、鮮明な画像を得ることができる。
【0017】
(第2の実施の形態)
図2は、本発明の固体撮像装置の第2の実施の形態のブロック図である。第2の実施の形態の画素部1は、第1の実施の形態に対してフォトダイオードD11〜D33のカソード側と増幅MOS M311〜M333のゲートとの間にフォトダイオードに蓄積された光信号電荷を転送するための転送MOS M111〜M133を追加した構成となっている。
【0018】
上記転送MOS M111のゲートは、横方向に延長して配置される第3の行選択線(垂直走査線)PTX1に接続される。同じ行に配置された他の画素セルの同様な転送MOS M121,M131のゲートも上記第3の行選択線PTX1に共通に接続される。第3の行選択線も第1、第2の行選択線と同様に、垂直走査回路ブロック2に接続され、後述する動作タイミングにもとづいて信号電圧が供給される。上記以外の画素部構成については図1と同様であり、同じ構成要素については同じ番号を附している。
【0019】
さらに上記垂直信号線V1は、ノイズ信号転送スイッチM11を介してノイズ信号を一時保持するための容量CTN1に、また、光信号転送スイッチM21を介して光信号を一時保持するための容量CTS1に同時に接続される。ノイズ信号保持容量CTN1と光信号保持容量CTS1の逆側の端子は接地されている。ノイズ信号転送スイッチM11とノイズ信号保持容量CTN1との接続点と、光信号転送スイッチM21と光信号保持容量CTS1との接続点はそれぞれ、保持容量リセットスイッチM31、M32を介し接地されると共に、水平転送スイッチM41、M42を介して、光信号とノイズ信号の差をとるための差動回路ブロック8に接続される。
【0020】
水平転送スイッチM41、M42のゲートは列選択線H1に共通に接続され、水平走査回路ブロック7に接続される。図2に示されている残りの列V2〜V3においても同様な構成の読み出し回路が設けられる。また、各列に接続されたノイズ信号転送スイッチM11〜M13、光信号転送スイッチM21〜M23のゲートは、PTN、PTSにそれぞれ共通に接続され、後述する動作タイミングにもとづいてそれぞれ信号電圧が供給される。
【0021】
次に、図3を参照して本実施の形態の動作について説明する。フォトダイオードD11〜D33からの光信号電荷の読み出しに先立って、リセットMOS M211〜M231のゲートPRES1がハイレベルとなる。これによって、増幅MOS M311〜M331のゲートがリセット電源にリセットされる。リセットMOS M211〜M231のゲートPRES1がロウレベルに復帰した後に、選択MOS M411〜M431のゲートPSEL1、ノイズ信号転送スイッチM11〜M13のゲートPTNがハイレベルとなる。これによって、リセットノイズが重畳されたリセット信号(ノイズ信号)がノイズ信号保持容量CTN1〜CTN3に読み出される。次に、ノイズ信号転送スイッチM11〜M13のゲートPTNがロウレベルに復帰する。
【0022】
次に、転送MOS M111〜M131のゲートPTX1がハイレベルとなり、フォトダイオードD11〜D33の光信号電荷が、増幅MOS M311〜M331のゲートに転送される。転送MOS M111〜M131のゲートPTX1がロウレベルに復帰した後に、光信号転送スイッチM21〜M23のゲートPTSがハイレベルとなる。これによって、光信号が光信号保持容量CTS1〜CTS3に読み出される。次に光信号転送スイッチM21〜M23のゲートPTSがロウレベルに復帰する。ここまでの動作で、第1行目に接続された画素セルのノイズ信号と光信号が、それぞれの列に接続されたノイズ信号保持容量CTN1〜CTN3と光信号保持容量CTS1〜CTS3に保持される。
【0023】
次に、リセットMOS M211〜M231のゲートPRES1および転送MOS M111〜M131のゲートPTX1がハイレベルとなり、フォトダイオードD11〜D33の光信号電荷がリセットされる。この後、水平走査回路ブロックからの信号H1〜H3によって、各列の水平転送スイッチM41〜M46のゲートが順次ハイレベルとなり、ノイズ保持容量CTN1〜CTN3と光信号保持容量CTS1〜CTS3に保持されていた電圧が、順次差動回路ブロックに読み出される。差動回路ブロックでは、光信号とノイズ信号の差がとられ、出力端子OUTに順次出力される。以上で、第1行目に接続された画素セルの読み出しが完了する。
【0024】
その後、第2行目の読み出しに先立って、ノイズ信号保持容量CTN1〜CTN3および光信号保持容量CTS1〜CTS3のリセットスイッチM31〜M36のゲートPCTRがハイレベルとなり、GNDにリセットされる。以下同様に、垂直走査回路ブロックからの信号によって第2行目以降に接続された画素セルの信号が順次読み出され、全画素セルの読み出しが完了する。
【0025】
上記のような動作で例えば1行目を読み出しているとき、各垂直信号線V1〜V3に読み出される信号電圧が変化しても、負荷MOS M51〜M53のドレイン電圧は、ゲート接地MOS M71〜M73のソース電圧で決定されるため変化しない。このため、非常に大きい信号電荷を読み出す場合においても、負荷MOS M51〜M53の電流値の変化を小さく保つことができる。従って、光が入射されている画素の数、あるいは入射される光量によってGNDライン4の電圧降下量が変化することはないため、どの行を読み出している場合においても負荷MOS M51〜M53の設定電流が一定に保たれる。
【0026】
上記構成によれば、強い光が入射されている画素を含む行と、そうでない行とのダーク画素およびOB画素の出力電圧が等しくなり、強いスポット光が入射された画像において白っぽい帯が発生するという問題はなく、鮮明な画像を得ることができる。
【0027】
(第3の実施の形態)
図4は、本発明の固体撮像装置の第3の実施の形態のブロック図である。本実施の形態では、画素部1の構成が異なる。この例では、増幅MOS M311〜M333のドレインは直接、電源に接続されている。上記増幅MOS M311のソースは、縦方向に延長して配置される垂直信号線V1に選択MOS M411を介して接続される。同じ列に配置される画素セルの同様な増幅MOS M312,M313のソースも上記垂直信号線V1に選択MOS M412,M413を介して接続される。図4に示されている残りの垂直信号線V2〜V3においても同様に増幅MOS、選択MOSが接続される。
【0028】
本実施の形態の動作については第2の実施の形態と同様であり同様の効果がある。
【0029】
(第4の実施の形態)
図5は、本発明の固体撮像装置の第4の実施の形態のブロック図である。本実施の形態では、第1の実施の形態に対して定電圧手段3の構成が異なる。この構成では、ゲート接地MOS M71〜M73のゲート電圧と負荷の定電流を設定する入力MOS M50のゲート電圧を独立に与える必要がない。
【0030】
(第5の実施の形態)
図6は、本発明の固体撮像装置の第5の実施の形態のブロック図である。本実施の形態では、第1の実施の形態に対して定電圧手段3の構成が異なる。
【0031】
(第6の実施の形態)
図7は、本発明の固体撮像装置の第6の実施の形態のブロック図である。本実施の形態の画素部1は、第3の実施の形態と同様の構成となっている。垂直信号線V1は、垂直信号線V1を負荷から切り離すためのスイッチM81とゲート接地MOS M71を介して負荷素子である負荷MOS M51に接続される。また、上記垂直信号線V1はクリップトランジスタM310にクリップ動作を制御するためのスイッチM410を介して接続される。図7に示されている残りの垂直信号線V2〜V3においても同様に増幅MOS、スイッチ、ゲート接地MOS、負荷MOS、クリップトランジスタおよび制御スイッチが接続される。上記スイッチM81〜M83のゲートおよび上記ゲート接地MOSM71〜M73のゲートは、制御信号入力端子9およびゲート電圧を供給する電圧入力端子6に、また、上記クリップトランジスタM310〜M330のゲートおよび上記制御スイッチM410〜M430のゲートは、クリップ電圧入力端子VCLIPおよび制御信号入力端子PSELにそれぞれ共通に接続され、後述する動作タイミングにもとづいてそれぞれ信号電圧が供給される。上記負荷MOS M51〜M53のソースは共通のGNDライン4に、ゲートは入力MOS M50のゲートに接続されると共に電圧入力端子5に接続される。
【0032】
さらに、上記垂直信号線V1は、クランプ容量C01と転送スイッチM21を介して信号を一時保持するための容量CT1に接続され、水平転送スイッチM41を介して帰還系に帰還容量CFとリセットスイッチM0が接続された演算増幅器10の反転端子に接続される。演算増幅器10の正転端子はリファレンス電圧VREFに接続される。信号保持容量CT1の逆側の端子は接地されている。クランプ容量C01と転送スイッチM21との接続点はクランプスイッチM31を介してクランプ電源に接続される。
【0033】
水平転送スイッチM41のゲートは列選択線H1に接続され、水平走査回路ブロック5に接続される。図7に示されている残りの列V2〜V3においても同様な構成の読み出し回路が設けられる。また、各列に接続されたクランプスイッチM31〜M33のゲートおよび転送スイッチM21〜M23のゲートは、クランプ信号入力端子PC0Rおよび転送信号入力端子PTにそれぞれ共通に接続され、後述する動作タイミングにもとづいてそれぞれ信号電圧が供給される。
【0034】
次に、図8を参照して本実施の形態の動作について説明する。フォトダイオードD11〜D33からの光信号電荷の読み出しに先立って、リセットMOS M211〜M231のゲートPRES1がハイレベルとなる。これによって、増幅MOS M311〜M331のゲートがリセット電源にリセットされる。リセットMOS M211〜M231のゲートPRES1がロウレベルに復帰すると同時にスイッチM81〜M83のゲート制御信号9がハイレベルとなり、さらにクランプスイッチM31〜M33のゲートPC0Rがハイレベルになった後に、選択MOS M411〜M431のゲートPSEL1およびクリップ制御信号PSELがハイレベルとなる。これによって、リセットノイズが重畳されたリセット信号(ノイズ信号)が垂直信号線V1〜V3に読み出されクランプ容量C01〜C03にクランプされる。同時に転送スイッチM21〜M23のゲートPTがハイレベルとなり、信号保持容量CT1〜CT3がクランプ電圧にリセットされる。次に、クランプスイッチM31〜M33のゲートPC0Rがロウレベルに復帰する。
【0035】
次に、転送MOS M111〜M131のゲートPTX1がハイレベルとなり、フォトダイオードD11〜D33の光信号電荷が、増幅MOS M311〜M331のゲートに転送されると同時に光信号が垂直信号線V1〜V3に読み出される。このときクリップトランジスタM310〜M330は制御信号によりアクティブとなっているため、増幅MOS M311〜M331のゲート電圧がクリップ電圧VCLIPよりも低い場合には、垂直信号線の電圧はクリップ電圧VCLIPから決まる電圧にクリップされる。次に、転送MOS M111〜M131のゲートPTX1がロウレベルに復帰した後、転送スイッチM21〜M23のゲートPTがロウレベルとなる。これによって、リセット信号からの変化分(光信号)が信号保持容量CT1〜CT3に読み出される。ここまでの動作で、第1行目に接続された画素セルの光信号が、それぞれの列に接続された信号保持容量CT1〜CT3に保持される。
【0036】
次に、リセットMOS M211〜M231のゲートPRES1および転送MOS M111〜M131のゲートPTX1がハイレベル、スイッチM81〜M83のゲート制御信号9がロウレベルとなり、フォトダイオードD11〜D33の光信号電荷がリセットされる。この後、水平走査回路ブロックからの信号H1〜H3によって、各列の水平転送スイッチM41〜M46のゲートが順次ハイレベルとなり、信号保持容量CT1〜CT3に保持されていた電圧が、順次演算増幅器の帰還容量CFに読み出され、出力端子OUTに順次出力される。各列の信号読み出しの合間でリセットスイチM0によって帰還容量CFの電荷がリセットされる。以上で、第1行目に接続された画素セルの読み出しが完了する。以下同様に、垂直走査回路ブロックからの信号によって第2行目以降に接続された画素セルの信号が順次読み出され、全画素セルの読み出しが完了する。
【0037】
上記のような動作で例えば1行目を読み出しているとき、各垂直信号線V1〜V3に読み出される信号電圧が変化しても、負荷MOS M51〜M53のドレイン電圧は、ゲート接地MOS M71〜M73のソース電圧で決定されるため変化しない。またゲート接地MOS M71〜M73のドレイン電圧はクリップトランジスタM310〜M330によりクリップされるため、OFFすることはない。このため、非常に大きい信号電荷を読み出す場合においても、負荷MOS M51〜M53の電流値の変化を小さく保つことができる。従って、光が入射されている画素の数、あるいは入射される光量によってGNDライン4の電圧降下量が変化することはないため、どの行を読み出している場合においても負荷MOS M51〜M53の設定電流が一定に保たれる。
【0038】
上記構成によれば、強い光が入射されている画素を含む行と、そうでない行とのダーク画素およびOB画素の出力電圧が等しくなり、強いスポット光が入射された画像において白っぽい帯が発生するという問題はなく、鮮明な画像を得ることができる。
【0039】
本実施の形態においては、垂直信号線V1を負荷から切り離すためのスイッチM81〜M83を設けているが、ゲート接地MOS M71〜M73のゲートに入力する電圧6をゲート接地電圧とGNDとの間でパルス動作させる構成でも同様の効果がある。
【0040】
(第7の実施の形態)
図9は、本発明の固体撮像装置の第7の実施の形態のブロック図である。本実施の形態では、画素部1の構成を1次元のラインセンサーとした場合である。画素部1の構成は第1の実施の形態に対して行を選択する選択MOSがない構成であり、増幅MOS M313〜M333のドレインが直接、電源に接続されている。フォトダイオードD11〜D33に光が入射されると光信号電荷が発生し蓄積されると同時に、増幅MOS M313〜M333の出力ラインV4〜V6に出力される。次に、リセットMOS M211〜M231のゲートPRESがハイレベルとなりフォトダイオードD11〜D31に蓄積された電荷がリセットされる。
【0041】
上記のような動作で、各垂直信号線V4〜V6に読み出される信号電圧が変化しても、負荷MOS M51〜M53のドレイン電圧は、ゲート接地MOS M71〜M73のソース電圧で決定されるため変化しない。このため、非常に大きい信号電荷を読み出す場合においても、負荷MOS M51〜M53の電流値の変化を小さく保つことができる。従って、光が入射されている画素の数、あるいは入射される光量によってGNDライン4の電圧降下量が変化することはないため、どの行を読み出している場合においても負荷MOS M51〜M53の設定電流が一定に保たれる。
【0042】
上記構成によれば、強い光が入射されている画素の数によってダーク画素およびOB画素の出力電圧が変化することがないため、後段でOBをクランプする回路を設ける必要がなく回路が単純になる。
【0043】
(第8の実施の形態)
図10は、本発明の固体撮像装置の例えば第6の実施の形態の固体撮像装置を用いた撮像システムのブロック図である。11は固体撮像装置、12は固体撮像装置の出力信号の振幅をコントロールするためのプログラマブル・ゲインアンプ(PGA)、13はADコンバータ(ADC)、14はデジタル出力である。本発明の固体撮像装置を用いた場合、強い光が入射されている画素を含む行と、そうでない行との水平OB画素の出力が変化することがないため、水平OBをクランプする必要がなく図10のようにDC直結で構成できる。これによって、水平OBクランプレベルが行ごとにずれることによって発生する横スジ等は発生せず、簡潔なブロック構成で高画質の撮像システムを構成できる。
【0044】
(第9の実施の形態)
図11を参照して、本発明の固体撮像素子をビデオカメラに適用した場合の一実施の形態について詳述する。
【0045】
図11は、本発明の固体撮像素子をビデオカメラに適用した場合を示すブロック図で、101は撮影レンズで焦点調節を行うためのフォーカスレンズ101A、ズーム動作を行うズームレンズ101B、結像用のレンズ101Cを備えている。
【0046】
102は絞り、103は撮像面に結像された被写体像を光電変換して電気的な撮像信号に変換する固体撮像素子、104は固体撮像素子103より出力された撮像信号をサンプルホールドし、さらに、レベルをアンプするサンプルホールド回路(S/H回路)であり、映像信号を出力する。
【0047】
105はサンプルホールド回路104から出力された映像信号にガンマ補正、色分離、ブランキング処理等の所定の処理を施すプロセス回路で、輝度信号Yおよびクロマ信号Cを出力する。プロセス回路5から出力されたクロマ信号Cは、色信号補正回路121で、ホワイトバランス及び色バランスの補正がなされ、色差信号R−Y,B−Yとして出力される。
【0048】
また、プロセス回路105から出力された輝度信号Yと、色信号補正回路121から出力された色差信号R−Y,B−Yは、エンコーダ回路(ENC回路)124で変調され、標準テレビジョン信号として出力される。そして、図示しないビデオレコーダ、あるいは電子ビューファインダ等のモニタEVFへと供給される。
【0049】
次いで、106はアイリス制御回路で有り、サンプルホールド回路104から供給される映像信号に基づいてアイリス駆動回路107を制御し、映像信号のレベルが所定レベルの一定値となるように、絞り102の開口量を制御すべくigメータを自動制御するものである。
【0050】
114は、サンプルホールド回路4から出力された映像信号中より合焦検出を行うために必要な高周波成分を抽出する異なった帯域制限のバンドパスフィルタ(BPF)である。第1のバンドパスフィルタ113(BPF1)、及び第2のバンドパスフィルタ114(BPF2)から出力された信号は、ゲート回路115及びフォーカスゲート枠信号で各々でゲートされ、ピーク検出回路116でピーク値が検出されてホールドされると共に、論理制御回路117に入力される。
【0051】
この信号を焦点電圧と呼び、この焦点電圧によってフォーカスを合わせている。また、118はフォーカスレンズ101Aの移動位置を検出するフォーカスエンコーダ、119はズームレンズ101Bの焦点距離を検出するズームエンコーダ、120は絞り102の開口量を検出するアイリスエンコーダである。これらのエンコーダの検出値は、システムコントロールを行う論理制御回路117へと供給される論理制御回路117は、設定された合焦検出領域内に相当する映像信号に基づいて、被写体に対する合焦検出を行い焦点調節を行う。即ち、各々のバンドパスフィルタ113,114より供給された高周波成分のピーク値情報を取り込み、高周波成分のピーク値が最大となる位置へとフォーカスレンズ101Aを駆動すべくフォーカス駆動回路9にフォーカスモータ110の回転方向、回転速度、回転/停止等の制御信号を供給し、これを制御する。
【0052】
(第10の実施の形態)
図12を参照して、本発明の固体撮像素子をスチルカメラに適用した場合の一実施の形態について詳述する。
【0053】
図12は、本発明の固体撮像素子を「スチルビデオカメラ」に適用した場合を示すブロック図である。101はレンズのプロテクトとメインスイッチを兼ねるバリア、102は被写体の光学像を固体撮像素子104に結像させるレンズ、103はレンズ102を通った光量を可変するための絞り、104はレンズ102で結像された被写体を画像信号として取り込むための固体撮像素子、106は固体撮像素子104から撮像信号処理回路105を介して出力される画像信号のアナログ−デジタル変換を行うA/D変換器、107はA/D変換器106より出力された画像データに各種の補正を行うと共にデータを圧縮する信号処理部である。また、108は固体撮像素子104、撮像信号処理回路105、A/D変換器106、信号処理部107に、各種タイミング信号を出力するタイミング発生部、109は各種演算とスチルビデオカメラ全体を制御する全体制御・演算部、110は画像データを一時的に記憶するためのメモリ部、111は記録媒体に記録又は読み出しを行うためのインターフェース部、112は画像データの記録又は読み出しを行うための半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体、113は外部コンピュータ等と通信するためのインターフェース部である。
【0054】
次に、前述の構成における撮影時のスチルビデオカメラの動作について、説明する。
【0055】
バリア101がオープンされるとメイン電源がオンされ、次にコントロール系の電源がオンし、さらに、A/D変換器106などの撮像系回路の電源がオンされる。
【0056】
それから、露光量を制御するために、全体制御・演算部109は絞り103を開放にし、固体撮像素子104から出力された信号はA/D変換器106で変換された後、信号処理部107に入力される。そのデータを基に露出の演算を全体制御・演算部109で行う。
【0057】
この測光を行った結果により明るさを判断し、その結果に応じて全体制御・演算部109は絞りを制御する。
【0058】
次に、固体撮像素子104から出力された信号をもとに、高周波成分を取り出し被写体までの距離の演算を全体制御・演算部109で行う。その後、レンズを駆動して合焦か否かを判断し、合焦していないと判断したときは、再びレンズを駆動し測距を行う。
【0059】
そして、合焦が確認された後に本露光が始まる。露光が終了すると、固体撮像素子104から出力された画像信号はA/D変換器106でA−D変換され、信号処理部107を通り全体制御・演算109によりメモリ部に書き込まれる。その後、メモリ部110に蓄積されたデータは、全体制御・演算部109の制御により記録媒体制御I/F部を通り半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体112に記録される。又外部I/F部113を通り直接コンピュータ等に入力して画像の加工を行ってもよい。
【0060】
(第11の実施の形態)
図13,14を参照して、本発明の固体撮像素子をシートフィード式の原稿画像記録装置に適用した場合の一実施の形態について詳述する。
【0061】
図13は、原稿画像を読み取る原稿画像読取装置の概略図である。101は、密着型のイメージセンサ(以下“CIS”とも呼ぶ)であり、固体撮像素子102、セルフォックレンズ103、LEDアレイ104及びコンタクトガラス105から構成されている。
【0062】
搬送ローラ106は、CIS101の前後に配置されており、原稿を配置させるために使用される。コンタクトシート107は、原稿をCIS101に接触させる為に使用される。110は、制御回路であり、CIS101からの信号の処理を行う。
【0063】
原稿検知レバー108は、原稿が差し込まれたことを検知するためのレバーであり、原稿が差し込まれたことを検知すると、原稿検知レバー108が傾くことにより、原稿検知センサー109の出力が変化することにより、その状態を制御回路110内のCPU215に伝達することにより、原稿が差し込まれたと判断して、原稿搬送ローラ106駆動用モータ(図示せず)を駆動させることにより、原稿搬送を開始させ読み取り動作を行う。
【0064】
図14は、図13の制御回路110を詳細に説明するための電気的構成を示すブロック図である。以下に図14を用いて、その回路動作を説明する。
【0065】
図14において、101はイメージセンサ(図13のCIS)であり、光源である各色R,G,BのLED202も一体化されており、CIS101のコンタクトガラス105上を原稿を搬送させながら、LED制御(ドライブ)回路203にて1ライン毎に各色R,G,BのLED202を切り替えて点灯させることにより、R,G,B線順次のカラー画像を読み取ることが可能である。
【0066】
AMP204は、CIS201より出力された信号を増幅させる増幅器であり、205はこの増幅出力のA/D変換を行って、例えば8ビットのデジタル出力を得るA/D変換器である。シェーディングRAM206は、キャリブレーション用のシートを予め読み取ることにより、シェーディング補正用のデータが記憶されており、シェーディング補正回路207は、シェーディングRAM206のデータに基づいて読み取られた画像信号のシェーディング補正を行う。ピーク検知回路208は、読み取られた画像データにおけるピーク値を、ライン毎に検知する回路であり、原稿の先端を検知する為に使用される。
【0067】
ガンマ変換回路209は、ホストコンピュータより予め設定されたガンマーカーブに従って読み取られた画像データのガンマ変換を行う。
【0068】
バッファRAM210は、実際の読み取り動作とホストコンピュータとの通信におけるタイミングを合せる為に、画像データを1次的に記憶させるためのRAMであり、パッキング/バッファRAM制御回路211は、ホストコンピュータより予め設定された画像出力モード(2値、4ビット多値、8ビット多値、24ビット多値)に従ったパッキング処理を行った後に、そのデータをバッファRAM210に書き込む処理と、インターフェース回路212にバッファRAM210から画像データを読み込んで出力させる。
【0069】
インターフェース回路212は、パーソナルコンピュータなどの本実施の形態に係る画像読み取り装置のホスト装置となる外部装置との間でコントロール信号の受容や画像信号の出力を行う。
【0070】
215は、例えばマイクロコンピュータ形態のCPUであり、処理手順を格納したROM215A及び作業用のRAM215Bを有し、ROM215Aに格納された手順に従って、各部の制御を行う。
【0071】
216は、例えば水晶発振器、214は、CPU215の設定に応じて発振器216の出力を分周して動作の基準となる各種タイミング信号を発生するタイミング信号発生回路である。213は、インターフェース回路212を介して制御回路と接続される外部装置であり、外部装置の一例としてはパーソナルコンピュータ等が挙げられる。
【0072】
(第12の実施の形態)
図15,16を参照して、本発明の固体撮像素子を通信機能等を有する原稿画像読み取り装置に適用した場合の一実施の形態について詳述する。
【0073】
図15は、画像読取装置の画像処理部の構成を示すブロック図である。リーダ部101は、不図示の原稿画像を読み取り、その原稿画像に応じた画像データをプリンタ部102及び画像入出力制御部103へ出力する。プリンタ部102は、リーダ部101及び画像入出力制御部103からの画像データに応じた画像を記録紙上に記録する。
【0074】
画像入出力制御部103は、リーダ部101に接続されており、ファクシミリ部104、ファイル部105、コンピュータインターフェース部107、フォーマッタ部108、イメージメモリ部109、コア部110等からなる。これらの内、ファクシミリ部104は、電話回線113を介して受信した圧縮画像データを伸長した画像データをコア部110へ転送し、またコア部110から転送された画像データを圧縮した圧縮画像データを電話回線113を介して送信する。このファクシミリ部104にはハードディスク112が接続されており、受信した圧縮画像データを一時的に保存することができる。
【0075】
ファイル部105には光磁気ディスクドライブユニット106が接続されており、ファイル部105は、コア部110から転送された画像データを圧縮し、その画像データをそれを検索する為のキーワードと共に光磁気ディスクドライブユニット106にセットされた光磁気ディスクに記憶させる。また、ファイル部105は、コア部110を介して転送されたキーワードに基づいて、光磁気ディスクに記憶されている圧縮画像データを検索する。そして、検索された圧縮画像データを読み出して伸長し、伸長された画像データをコア部110へ転送する。
【0076】
コンピュータインターフェース部107は、パーソナルコンピュータ又はワークステーション(PC/WS)111とコア部110との間のインターフェースである。
【0077】
また、フォーマッタ部108は、PC/WS111から転送された画像を表わすコードデータをプリンタ部102で記録できる画像データに展開するものであり、イメージメモリ部109は、PC/WS111から転送されたデータを一時的に記憶するものである。
【0078】
コア部110は、リーダ部101、ファクシミリ部104、ファイル部105、コンピュータインターフェース部107、フォーマッタ部108、イメージメモリ部109のそれぞれの間のデータの流れを制御する。
【0079】
図16は、図15のリーダ部1及びプリンタ部102の断面構成を示す図である。リーダ部101の原稿給送装置201は、不図示の原稿を最終ページから順に1枚ずつプラテンガラス202上ヘ給送し、原稿の読み取り動作終了後、プラテンガラス202上の原稿を排出するものである。また、原稿がプラテンガラス202上ヘ搬送されると、ランプ203を点灯し、スキャナユニット204の移動を開始させて、原稿を露光走査する。
【0080】
この露光走査による原稿からの反射光は、ミラー205,206,207及びレンズ208によって、固体撮像素子209へ導かれる。このように、走査された原稿の画像は固体撮像素子209によって読み取られる。この固体撮像素子209から出力される画像データは、A/D変換、シェーディング補正等の処理が施された後、プリンタ部102又はコア部110へ転送される。
【0081】
プリンタ部102のレーザドライバ321は、レーザ発光部301を駆動し、リーダ部101から出力された画像データに応じたレーザ光をレーザ発光部301により発光させる。
【0082】
このレーザ光は感光ドラム302の異なる位置に照射され、感光ドラム302にはこれらのレーザ光に応じた潜像が形成される。この感光ドラム302の潜像の部分には、現像機303によって現像剤が付着される。
【0083】
そして、レーザ光照射開始と同期したタイミングで、カセット304及びカセット305のいずれかから記録しを給紙し、それを転写部306へ搬送し、感光ドラム302に付着現像材をこの記録紙上に転写する。現像材の乗った記録紙は定着部307に搬送され、定着部307における熱と圧力により現像材が記録紙上に定着される。
【0084】
定着部307を通過した記録紙は排出ローラ308によって排出され、ソータ320は排出された記録紙をそれぞれのピンに収納して記録紙の仕分けを行う。
【0085】
尚、ソータ320は、仕分けが設定されていない場合には、排出ローラ308まで記録紙を搬送した後、排出ローラ308の回転方向を逆転させ、フラッパ309によってそれを再給紙搬送路310へ導く。
【0086】
また、多重記録が設定されていない場合には、記録紙を排出ローラ308まで搬送しないように、フラッパ309によってそれを再給紙搬送路310へ導く。再給紙搬送路310へ導かれた記録紙は上述したタイミングと同じタイミングで転写部306へ給紙される。
【0087】
(第13の実施の形態)
図17を参照して、本発明の固体撮像素子を用いた、例えば実施の形態9のビデオカメラを有するカメラ制御システムについて詳述する。本実施の形態では、実施の形態9のビデオカメラに限らず、本発明の固体撮像素子を用いたスチルカメラであってもよい。
【0088】
図17は、カメラ制御システムを示す概略構成ブロック図である。110は映像データおよびカメラ制御情報(ステータス情報も含む)をデジタル伝送するネットワークであり、n台の映像送信端末112(112―1〜112―n)が接続している。
【0089】
各映像送信端末112(112―1〜112―n)には、カメラ制御装置114(114―1〜114―n)を介してカメラ116(116―1〜116―n)が接続されている。カメラ制御装置114(114―1〜114―n)は、映像送信端末112ビデオカメラ116(116―1〜116―n)からの制御信号に従い、接続するビデオカメラ116(116―1〜116―n)のパン、チルト、ズーム、フォーカス及び絞りなどを制御する。
【0090】
また、ビデオカメラ116(116―1〜116―n)は、カメラ制御装置114(114―1〜114―n)から電源が供給されており、カメラ制御装置114(114―1〜114―n)は、外部からの制御信号に従い、ビデオカメラ116(116―1〜116―n)の電源のON/OFFが制御される。
【0091】
また、ネットワーク110には、映像送信端末112(112―1〜112―n)からネットワーク110に送出された映像情報を受信し、表示する映像受信端末118(118―1〜118―m)が接続されている。各映像受信端末118(118―1〜118―m)には、ビットマップディスプレイあるいはCRTなどで構成されるモニタ120(120―1〜120―m)が接続されている。
【0092】
ここで、ネットワーク110は、有線である必要はなく、無線LAN装置などを利用した無線ネットワークでもよい。この場合、映像受信端末118は、モニタ120と一体化して携帯型の映像受信端末装置とすることができる。
【0093】
映像送信端末112(112―1〜112―n)は、接続するカメラ116(116―1〜116―n)の出力映像信号をH.261などの所定の圧縮方式で圧縮し、ネットワーク110を介して、映像要求元の映像受信端末118又はすべての映像受信端末118に送信する。
【0094】
映像受信端末118は、ネットワーク110、映像送信端末112及びカメラ制御装置114を介して任意のカメラ116の種々のパラメータ(撮影方位、撮影倍率、フォーカス及び絞りなど)と共に、電力供給のON/OFF制御が可能である。
【0095】
ここで、映像送信端末112は、モニタを接続し、圧縮映像を伸長する映像伸長装置を設けることで、映像受信端末として兼用することができる。一方、映像受信端末118は、カメラ制御装置114およびビデオカメラ116を接続し、映像圧縮装置を設けることで、映像送信端末として兼用することができる。これらの端末には、映像送信又は映像受信に必要なソフトウエアを記録するROMが備えられている。
【0096】
以上の構成によって、映像送信端末112は、ネットワーク110を経由して遠隔地の映像受信端末118に映像信号を伝送すると共に、映像受信端末118から伝送されるカメラ制御信号を受けて、カメラ116のパン、チルトなどの制御を実行する。
【0097】
また、映像受信端末118は、映像送信端末112にカメラ制御信号を発信し、カメラ制御信号を受信した映像送信端末112は、そのカメラ制御信号の内容に応じてカメラ16を制御すると共に、そのカメラ116の現在の状態を返送する。
【0098】
映像受信端末118は、映像送信端末112から送られてくる映像データを受信し、所定の処理を施してモニタ120の表示画面上に撮影映像をリアルタイムに表示する。
【0099】
以上説明したように、フォトダイオードからの光信号電荷を増幅する増幅素子とその負荷となる負荷素子とをゲート接地MOSを介して接続することによって、強い光が入射されている画素を含む行と、そうでない行とのダーク画素およびOB画素の出力電圧が等しくなり、強いスポット光が入射された画像において白っぽい帯が発生するという問題はなく、鮮明な画像を得ることができる。また、本発明の固体撮像装置を用いた撮像システムにおいて、強い光が入射されている画素を含む行と、そうでない行との水平OB画素の出力が変化することがないため、水平OBをクランプする必要がない。これによって、水平OBクランプレベルが行ごとにずれることによって発生する横スジ等は発生せず、簡潔なブロック構成で高画質の撮像システムを構成できる。
【0100】
【発明の効果】
本発明は、高画質な画像を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す固体撮像装置のブロック図である。
【図2】第2の実施の形態を示す固体撮像装置のブロック図である。
【図3】第2の実施の形態の動作を説明するためのタイミング図である。
【図4】第3の実施の形態を示す固体撮像装置のブロック図である。
【図5】第4の実施の形態を示す固体撮像装置のブロック図である。
【図6】第5の実施の形態を示す固体撮像装置のブロック図である。
【図7】第6の実施の形態を示す固体撮像装置のブロック図である。
【図8】第6の実施の形態の動作を説明するためのタイミング図である。
【図9】第7の実施の形態を示す固体撮像装置のブロック図である。
【図10】第8の実施の形態を示す撮像システムのブロック図である。
【図11】第9の実施の形態である、本発明の固体撮像素子をビデオカメラに適用した場合を示すブロック図である。
【図12】第10の実施の形態である、本発明の固体撮像素子をスチルビデオカメラに適用した場合を示すブロック図である。
【図13】第11の実施の形態である、原稿画像を読み取る原稿画像読取装置の概略図である。
【図14】図13の制御回路110を詳細に説明するための電気的構成を示すブロック図である。
【図15】第12の実施の形態である、画像読取装置の画像処理部の構成を示すブロック図である。
【図16】図15のリーダ部101及びプリンタ部102の断面構成を示す図である。
【図17】第13の実施の形態である、カメラ制御システムを示す概略構成ブロック図である。
【図18】従来例の固体撮像装置のブロック図である。
【符号の説明】
1 画素部
2 垂直走査回路ブロック
3 定電圧手段
4 GNDライン
5 電圧入力端子
6 制御パルス線
7 水平走査回路ブロック
8 差動回路ブロック
9 制御信号入力端子
10 演算増幅器
11 固体撮像装置
12 プログラマブル・ゲインアンプ
13 ADコンバータ
14 デジタル出力
D11〜D13 フォトダイオード
M111〜M133 転送MOS
M211〜M233 リセットMOS
M311〜M333 増幅MOS
M411〜M433 選択MOS
M11〜M13 ノイズ信号転送スイッチ
M21〜M23 光信号転送スイッチ
M31〜M36 保持容量リセットスイッチ
M41〜M46 水平転送スイッチ
M50 入力MOS
M51〜M53 負荷MOS
M71〜M73 ゲート接地MOS
V1〜V3 垂直出力線
PRES1〜PRES3 第1の行選択線
PSEL1〜PSEL3 第2の行選択線
PTX1〜PTX3 第3の行選択線

Claims (8)

  1. 光信号を信号電荷に変換して蓄積する光電変換素子と、この蓄積された前記信号電荷を増幅する増幅素子と、この増幅素子における前記信号電荷をリセットするリセット素子とを画素の構成要素として含み、前記増幅素子において増幅された信号が読み出される信号線を含む固体撮像装置であって、
    前記信号線を介して前記増幅素子に電流を供給する負荷トランジスタと、
    この負荷トランジスタの前記信号線側の主電極領域の電圧を一定にする第1のトランジスタとを備え、
    前記第1のトランジスタの一方の主電極領域が前記負荷トランジスタの前記信号線側の主電極領域と接続され、他方の主電極領域が前記信号線に接続されており、
    前記増幅素子で増幅された信号を前記信号線の電圧変化を元に読み出すことを特徴とする固体撮像装置。
  2. 特定の画素を選択する選択素子を画素の構成要素としてさらに含むことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
  3. 前記光電変換素子に蓄積された信号電荷を読み出し転送する転送素子を画素の構成要素としてさらに含み、
    前記増幅素子が、前記転送素子から転送された信号電荷を増幅することを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像装置。
  4. 前記負荷トランジスタが、MOSトランジスタであって、前記信号線側主電極領域がドレインであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の固体撮像装置。
  5. 前記第1のトランジスタは、ゲート接地のMOSトランジスタであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の固体撮像装置。
  6. 光信号を信号電荷に変換して蓄積する光電変換素子と、この蓄積された前記信号電荷を増幅する増幅素子と、この増幅素子における前記信号電荷をリセットするリセット素子とを画素の構成要素として含み、前記増幅素子において増幅された信号が読み出される信号線を含む固体撮像装置であって、
    前記信号線を介して前記増幅素子に定電流を供給する第1のトランジスタと、
    ゲートが一定電位に固定された第2のトランジスタとを有し、
    前記信号線と前記第1のトランジスタの主電極領域は前記第2のトランジスタを介して接続されており、
    前記増幅素子で増幅された信号を前記信号線の電圧変化を元に読み出すことを特徴とする固体撮像装置。
  7. 光信号を信号電荷に変換して蓄積する光電変換素子と、この蓄積された前記信号電荷を増幅する増幅素子と、この増幅素子における前記信号電荷をリセットするリセット素子とを画素の構成要素として含み、前記増幅素子において増幅された信号が読み出される信号線を含む固体撮像装置であって、
    前記信号線を介して前記増幅素子に定電流を供給するための、一端が接地電位に接続された負荷素子と、
    この負荷素子の他端の電位を一定にするための定電圧手段とを有し、
    前記信号線と前記負荷素子の他端は前記定電圧手段を介して接続されており、前記増幅素子で増幅された信号を前記信号線の電圧変化を元に読み出すことを特徴とする固体撮像装置。
  8. 結像光学系によって結像された像、又は密着配置されて露光された原稿の画像を光電変換する請求項1〜7のいずれかに記載の固体撮像装置と、
    この固体撮像装置からの出力信号を処理する信号処理回路とを有することを特徴とする撮像システム。
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