JP2018067668A - シート拡張装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4 カセット載置台
6 カセット
8,18 プッシュプル搬送装置
10,16 センタリングバー
11 半導体ウェーハ
12 旋回式の搬送ユニット
17 ウェーハユニット
20 エキスパンドユニット
22 ヒートシュリンクユニット
26 スピン洗浄ユニット
30 洗浄ユニット
32 押さえプレート
34 フレーム載置プレート
36 環状フレーム固定手段
40 押圧部(円筒状の突き上げ部材)
68,70 反射型光電センサ
72 距離センサ
74 発光部
76 受光部
78 撮像領域
Claims (4)
- 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成されるか、又は個々のチップに分割された被加工物の裏面に貼着されたエキスパンドシートを介して、中央に開口を有する環状フレームに被加工物が支持された形態の被加工物ユニットにおいて、該エキスパンドシートを拡張するシート拡張装置であって、
被加工物ユニットの該環状フレームを支持する支持面を有し、該支持面上に載置された該環状フレームを固定する環状フレーム固定手段と、
該環状フレーム固定手段で固定された該環状フレームの内周と被加工物の外周との間の該エキスパンドシートを押圧部で押圧して該エキスパンドシートを拡張する拡張手段と、
複数の被加工物ユニットを収容可能なカセットが載置されるカセット載置台と、
被加工物ユニットの該環状フレームが該環状フレーム固定手段の該支持面上に載置されるように、該カセット載置台に載置されたカセットから被加工物ユニットを搬送する搬送手段と、
該支持面上に載置された被加工物ユニットの該押圧部に対する水平方向の位置ずれを検出する検出手段と、
を備えたことを特徴とするシート拡張装置。 - 該検出手段で検出された位置ずれが許容範囲を超えた際に警告を発する警告発信手段を更に備えた請求項1記載のシート拡張装置。
- 少なくとも該搬送手段を制御する制御手段を更に備え、
該制御手段は、該支持面上に載置された被加工物ユニットの該押圧部に対する水平方向の位置ずれの許容範囲を記憶する許容範囲記憶部と、
該検出手段が検出した位置ずれが該許容範囲記憶部に記憶された許容範囲外の際に、被加工物ユニットの該環状フレームが該支持面上に載置されるように該搬送手段を制御して再度搬送させる再搬送指令部と、を含む請求項1記載のシート拡張装置。 - 該検出手段は、該支持面上に載置された該環状フレームに対して光を照射する照射部と、該照射部から照射された光の透過、反射、遮光の何れかを検出する検出部とを含む請求項1〜3の何れかに記載のシート拡張装置。
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