JP6708233B2 - 物体移動装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図8(B)を用いて説明する。
次に第2の実施形態(及びその変形例)について、図9〜図12(C)を用いて説明する。なお、以下に説明する第2〜第4の実施形態、及びそれらの変形例において、上記第1の実施形態と同じ構成の要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第3の実施形態(及びその変形例)について、図13(A)〜図14(B)を用いて説明する。本第3の実施形態において、基板ステージ装置60の構成は、上記第2実施形態と同じであり、懸垂支持装置50の構成は、上記第1の実施形態と同じであるが、基板交換動作時における動作(主制御装置による制御)が異なる。また、基板交換装置70aは、図9に示される上記第2の実施形態と同様に複数のエアガイド装置74(図13(A)〜図14(B)では紙面奥行き方向に隠れている)を有しているが、基板駆動装置36(図9参照)に相当する要素を有しない。
次に第4の実施形態について、図15(A)〜図17(B)を用いて説明する。第4の実施形態に係る液晶露光装置は、基板ステージ装置60上の基板Pの交換動作が液晶露光装置の外部に配置された外部搬送ロボット99により行われる。なお、基板ステージ装置60の構成は、上記第2の実施形態と同じ(ただし、制御が異なる)であり、懸垂支持装置50bは、Z軸方向の移動可能ストロークが長い点を除き、上記第1の実施形態の懸垂支持装置50(図1など参照)と同様の構成(ただし、制御が異なる)である。なお、上記第1の実施形態の基板交換装置30、あるいは上記第2の実施形態の基板交換装置70に相当する要素は、設けられていない。
Claims (13)
- 物体を保持する保持装置と、
前記保持装置に保持された前記物体の第1面に対向するように配置され、前記保持装置から前記物体を離間させるように、前記第1面側から前記物体を非接触支持する第1支持装置と、
前記物体とは異なる別の物体を非接触支持する第2支持装置と、
前記第1支持装置により前記物体が離間された前記保持装置へ、前記第2支持装置に非接触支持された前記別の物体を移動させる駆動部と、
を備え、
前記第2支持装置は、前記第1面が前記第1支持装置に非接触支持された前記物体の第2面側から前記物体を非接触支持し、
前記駆動部は、前記物体が前記第1支持装置および前記第2支持装置により非接触支持された状態で、前記第1支持装置と前記第2支持装置とに対して、前記物体を相対移動させる物体移動装置。 - 前記第1支持装置は、前記物体が前記第1支持装置と前記第2支持装置とに非接触支持されるように、前記第2支持装置に対して相対移動する請求項1に記載の物体移動装置。
- 前記駆動部は、前記第1支持装置に非接触支持された前記物体と前記保持装置との間の位置に前記別の物体を挿入する請求項1又は2に記載の物体移動装置。
- 前記保持装置は、前記第2支持装置に近づくように移動し、
前記駆動部は、前記保持装置の表面と前記第2支持装置との表面とに沿うように、前記別の物体を移動させる請求項1〜3のいずれか一項に記載の物体移動装置。 - 前記保持装置は、上下方向に関して、前記第1支持装置と重なる位置に移動する請求項4に記載の物体移動装置。
- 前記保持装置は、前記駆動部により移動された前記別の物体を保持した状態で、前記第2支持装置から離れる方向へ移動する請求項1〜5のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記駆動部は、前記別の物体を前記保持装置に移動させた後に、前記第1支持装置に非接触支持された前記物体を前記第2支持装置へ向けて移動させる請求項1〜6のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の物体移動装置と、
前記保持装置に保持された前記別の物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記第1支持装置と前記第2支持装置とに非接触支持される前記物体は、その非接触支持に先立って前記保持装置に保持され、前記パターン形成装置により前記所定のパターンが形成された物体である請求項8に記載の露光装置。
- 前記物体及び前記別の物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項8又は9に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項10に記載の露光装置。
- 請求項8〜11のいずれか一項に記載の露光装置により前記保持装置に保持された物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項8に記載の露光装置により前記保持装置に保持された物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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