JP2014235127A - 試験システム、制御プログラム、コンフィギュレーションデータの書込方法 - Google Patents

Abstract

【課題】さまざまな種類の被試験デバイスを簡易かつ適切に試験可能な試験装置を提供する。
【解決手段】サーバ３００は、それぞれが試験システム２に異なる機能を提供するための複数のコンフィギュレーションデータ３０６＿１〜３０６＿３を格納する。テスターハードウェア１００は、その不揮発性メモリ１０２に格納されたコンフィギュレーションデータに応じて、少なくともその機能の一部が変更可能に構成される。情報処理装置２００には、制御プログラム３０２がインストールされる。情報処理装置２００は、制御プログラム３０２により、（i）試験システム２のセットアップ時に、複数のコンフィギュレーションデータ３０６の候補をディスプレイに表示する機能と、（ii）ユーザにより選択されたコンフィギュレーションデータをテスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込む機能と、が提供されている。
【選択図】図８

Description

本発明は、試験装置に関する。

近年、さまざまな電子機器に利用される半導体デバイスの種類は、非常に多岐にわたっている。半導体デバイスとしては、（i）ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）やフラッシュメモリなどのメモリデバイスや、（ii）ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro-Processing Unit）、マイクロコントローラなどのプロセッサ、あるいは（iii）デジタル／アナログ混載デバイス、ＳｏＣ（System On Chip）などの多機能デバイスが例示される。これらの半導体デバイスを試験するために、半導体試験装置（以下、単に試験装置ともいう）が利用される。

半導体デバイスの試験項目は、主として機能検証試験（単に機能試験とも称される）と、ＤＣ（直流）試験に大別される。機能検証試験では、ＤＵＴ（被試験デバイス）が設計通りに正常に動作するか否かが判定され、不良箇所の特定や、ＤＵＴの性能を表す評価値が取得される。ＤＣ試験では、ＤＵＴのリーク電流測定、動作電流（電源電流）測定、耐圧などが測定される。

機能検証試験やＤＣ試験の具体的な内容は、半導体デバイスの種類毎にさまざまである。
たとえばメモリの機能検証試験では、まずメモリに所定のテストパターンが書き込まれる。続いて、ＤＵＴに書き込まれたデータがメモリから読み出され、それらが期待値と比較され、比較結果を示すパス・フェイルデータが生成される。同じメモリであっても、ＲＡＭとフラッシュメモリでは、書き込まれるテストパターンは異なる。また、書き込み、読み出しを行う単位や、シーケンスも異なっている。

Ｄ／Ａコンバータの機能検証試験では、その入力端子に、所定の範囲で値がスイープするデジタル信号が与えられる。そして、各デジタル値に対してＤ／Ａコンバータから出力されるアナログ電圧が測定される。その結果、オフセット電圧や、ゲインが測定される。

反対に、Ａ／Ｄコンバータの機能検証試験では、その入力端子に、所定の範囲でスイープするアナログ電圧が与えられる。そして、各アナログ電圧に対してＡ／Ｄコンバータから出力されるデジタル値が測定される。その結果、ＩＮＬ（Integral Nonlinearity）やＤＮＬ（Differential Nonlinearity）が測定される。

マイクロコントローラ、デジタル／アナログ混載デバイス、ＳｏＣなどは、その内部に、ＲＡＭ、フラッシュメモリ、Ｄ／Ａコンバータ、Ａ／Ｄコンバータを包含しており、それぞれの機能検証試験が必要となる。
また多くの半導体デバイスにおいて、バウンダリスキャンテストが実行される。

本明細書において、試験項目、テストパターンの形式、テストシーケンス、テスト条件などを含めた概念を試験アルゴリズムと称する。

特開２００５−３０１３７０号公報 特開２００３−１４０８９５号公報 特表２００７−５２８９９４号公報 米国特許第７５２６５３５号明細書

従来では、半導体デバイスの種類ごと、あるいは試験項目ごとに専用設計あるいは最適化された試験装置が市販されており、ユーザである半導体デバイスの設計者や製造者は、ＤＵＴの種類、試験項目に応じた試験装置を購入する必要があった。また、ある試験装置によって標準でサポートされていない試験を実施するためには、その試験に必要とされる追加的なハードウェアを別途購入し、試験装置に装着する必要があった。

加えて、試験装置はそれ単体では動作せず、それを制御するためのテストプログラムが必要である。従来では、所望の試験を実行するために、試験装置を制御するためのテストプログラムを、ユーザがソフトウェア作成支援ツールを利用して作成する必要があり、これがユーザの負担となっていた。
特に半導体デバイスは、世代によって規格が変更されることが多く、規格ごとに試験アルゴリズムは異なりうる。言い換えればユーザは、規格が変更になるたびに、膨大な量のテストプログラムを自ら作成し直す必要があった。

さらに、従来の試験装置は主として量産時の検査を目的として設計されているため、サイズが大きく、また非常に高価であった。このことが、量産段階に至る前の設計・開発段階における、試験装置の有効な活用の妨げとなっていた。従来では、開発段階の半導体デバイスを検査したいユーザは、電源装置、任意波形発生器、オシロスコープやデジタイザを個別に用意し、それらを組み合わせて独自の試験システムを構築し、所望の特性を測定する必要があった。
一例として、プロセッサのリーク電流のみを検査したいユーザがいるとする。従来のプロセッサ用試験装置にも、リーク電流の測定機能は備わっているが、それらを測定するためだけに、巨大で高価な試験装置を購入、使用することは、現実的ではない。したがって、従来ではユーザは、プロセッサに対する電源電圧を生成する電源装置、リーク電流を測定する電流計、プロセッサを所望の状態（ベクター）に制御するためのコントローラ、を用いて測定系を構築する必要があった。
またＡ／Ｄコンバータを評価したいユーザは、Ａ／Ｄコンバータに対する電源電圧を生成する電源装置、Ａ／Ｄコンバータの入力電圧を制御する任意波形発生器、を用いて測定系を構築する必要がある。
このように、個別に構築される試験システムは汎用性に乏しく、またその制御や得られるデータの処理も煩雑であった。

なおここで説明した課題を当業者の一般的な技術認識ととらえてはならず、これらは本発明者らが独自に検討したものである。

本発明は係る課題に鑑みてされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、上述の課題の少なくともひとつを解決可能な、より具体的にはさまざまな種類の被試験デバイスを簡易かつ適切に試験可能な試験装置の提供にある。

本発明のある態様は、被試験デバイスを試験する試験システムに関する。試験システムは、サーバ、テスターハードウェア、情報処理装置を備える。サーバは、それぞれが試験システムに異なる機能を提供するための複数のコンフィギュレーションデータを格納する。テスターハードウェアはメモリを含み、当該メモリに格納されたコンフィギュレーションデータに応じて、少なくともその機能の一部が変更可能に構成される。情報処理装置は、制御プログラムがインストールされており、制御プログラムにより、（i）試験システムのセットアップ時に、テスターハードウェアに書き込み可能な複数のコンフィギュレーションデータの候補をディスプレイに表示する機能と、（ii）ユーザにより選択されたコンフィギュレーションデータをテスターハードウェアのメモリに書き込む機能と、が提供されている。

テスターハードウェアは、特定のデバイスや、試験項目に限定された構成を有しておらず、さまざまなデバイス、試験項目に対応可能な汎用性をもって設計されている。そして、さまざまな種類の被試験デバイス、試験内容に最適化されたコンフィギュレーションデータが、サービス提供者あるいは第３者によって用意され、サーバに格納されている。
この態様によれば、基本ソフトウェアである制御プログラムに、コンフィギュレーションデータのインストール機能が実装される。これにより、ユーザは、制御プログラムを実行することにより、ＧＵＩを利用して直感的に、かつ正確に、希望するコンフィギュレーションデータを選択することができ、選択されたコンフィギュレーションデータをテスターハードウェアのメモリに書き込み、あるいは書き換えることができる。
さらにこの態様によれば、被試験デバイスの種類や試験項目ごとに個別の試験装置（ハードウェア）を用意する必要がなくなるため、ユーザのコストの負担を軽減することができる。

「テスターハードウェアに書き込み可能な複数のコンフィギュレーションデータの候補をディスプレイに表示する」とは、コンフィギュレーションデータのファイル名を表示すること、コンフィギュレーションデータと対応づけられる情報を表示すること等を含む。たとえばコンフィギュレーションデータと、被試験デバイスの種類が１対１で対応するとき、情報処理装置は、被試験デバイスの種類の一覧を表示してもよい。

複数のコンフィギュレーションデータは、制御プログラムの実行前に、つまりセットアップの開始に先だって予め情報処理装置にダウンロードされていてもよい。

制御プログラムは、すでにダウンロードされているコンフィギュレーションデータを候補として表示してもよい。

複数のコンフィギュレーションデータは、制御プログラムとは別ファイルとしてサーバに格納されていてもよい。

複数のコンフィギュレーションデータは、１つのファイルにパッケージングされてサーバに格納されていてもよい。

複数のコンフィギュレーションデータは、制御プログラムに包含されていてもよい。
この場合、コンフィギュレーションデータはユーザに対して隠蔽されることとなり、コンフィギュレーションデータのハッキングを防止できる。また、ユーザがコンフィギュレーションデータを意識する必要がなくなるため、よりユーザフレンドリな試験システムを提供できる。

情報処理装置は、制御プログラムによりさらに、（iii）ユーザに選択されたコンフィギュレーションデータを、サーバからダウンロードする機能が提供されていてもよい。

サーバは、複数のコンフィギュレーションデータに加えて、試験システムに異なる機能を提供するための複数のプログラムモジュールを格納してもよい。情報処理装置とサーバの少なくともひとつは、各プログラムモジュールについて、情報処理装置による当該プログラムモジュールの使用の許否に関するライセンス情報を保持しており、情報処理装置は、あるプログラムモジュールが実行されたとき、そのプログラムモジュールの使用が許諾されており、かつそのプログラムモジュールに対応するコンフィギュレーションデータがテスターハードウェアにインストールされている場合に、試験動作が可能となってもよい。
この態様によれば、プログラムモジュールを対象としてライセンスを管理することができるため、コンフィギュレーションデータに関するライセンス管理が不要となり、システムの運用を簡素化できる。

なお、以上の構成要素を任意に組み合わせたもの、あるいは本発明の表現を、方法、装置などの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明のある態様によれば、さまざまな被試験デバイスを、簡易に適切に試験できる。

実施の形態に係る試験システムの構成を示すブロック図である。 情報処理装置の機能ブロック図である。 情報処理装置において実行されるテストプログラムの構造を示す図である。 サーバの構成を示す機能ブロック図である。 テスターハードウェアの外観を示す図である。 テスターハードウェアの構成を示す機能ブロック図である。 クラウドテスティングサービスのフローを示す図である。 第１の実施例に係る試験システムにおけるデータの流れを示す図である。 第２の実施例に係る試験システムにおけるデータの流れを示す図である。 第３の実施例に係る試験システムにおけるデータの流れを示す図である。

以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

（試験システム全体について）
図１は、実施の形態に係る試験システム２の構成を示すブロック図である。本明細書において、この試験システム２に関して提供されるサービスを、クラウドテスティングサービスとも称する。クラウドテスティングサービスは、サービス提供者ＰＲＶによって提供される。これに対して、試験システム２を利用してＤＵＴ４を試験する主体をユーザＵＳＲという。

試験システム２は、テスターハードウェア１００、情報処理装置２００、サーバ３００を備える。

サーバ３００は、サービス提供者ＰＲＶによって管理、運営され、インターネットなどのネットワーク８と接続されている。サービス提供者ＰＲＶは、サーバ３００上に、クラウドテスティングサービスに関するウェブサイトを開設している。ユーザＵＳＲは、このウェブサイトにアクセスすることにより、試験システム２を使用するためのユーザ登録の申請などを行う。

サーバ３００には、情報処理装置２００およびテスターハードウェア１００において使用される制御プログラム３０２、プログラムモジュール３０４、コンフィギュレーションデータ３０６などが格納されている。制御プログラム３０２、プログラムモジュール３０４、コンフィギュレーションデータ３０６については後に詳述する。ユーザＵＳＲは、サーバ３００にアクセスすることにより、ソフトウェア等３０２、３０４、３０６を取得（ダウンロード）する。またユーザＵＳＲは、上述のウェブサイト上でサービス提供者ＰＲＶに対してダウンロードしたソフトウェア等３０２のライセンスの申請などを行う。

試験システム２は、情報処理装置２００ごとに形成されている。したがって、テスターハードウェア１００＿１、情報処理装置２００＿１、サーバ３００がひとつの試験システム２＿１を構成し、テスターハードウェア１００＿２、情報処理装置２００＿２、サーバ３００が別の試験システム２＿２を構成する。各試験システム２＿ｉ（ｉ＝１，２，３…）は、完全に独立して動作可能となっている。

テスターハードウェア１００は、書き換え可能な不揮発性メモリ（ＰＲＯＭ：Programmable ROM）１０２を含み、不揮発性メモリ１０２に格納されたコンフィギュレーションデータ３０６に応じて、少なくともその機能の一部が変更可能に構成される。テスターハードウェア１００は、試験時に、少なくとも、ＤＵＴ４に対して電源電圧を供給し、ＤＵＴ４に信号を送信し、ＤＵＴ４からの信号を受信可能に構成される。

テスターハードウェア１００は、サービス提供者ＰＲＶによって設計され、ユーザに提供される。テスターハードウェア１００は、特定の種類の半導体デバイス、試験内容に限定された構成を有しておらず、さまざまな試験内容に対応可能な汎用性をもって設計されている。

（情報処理装置について）
情報処理装置２００＿ｉは、汎用的なデスクトップＰＣ（Personal Computer）、ラップトップＰＣ、タブレットＰＣ、ワークステーションなどを含む。情報処理装置２００＿ｉに最低限要求される機能は、（ａ）ネットワーク８に接続し、サーバ３００にアクセスする機能、（ｂ）サービス提供者から提供されるテストプログラムを実行する機能、（ｃ）テスターハードウェア１００との間でデータの送受信を行う機能であり、一般的に市販される情報処理装置の多くがこれらの機能を標準で備えており、情報処理装置は安価に入手可能である。

図２は、情報処理装置２００の機能ブロック図である。情報処理装置２００は、第１インタフェース部２０２、第２インタフェース部２０４、記憶装置２０６、データ取得部２０８およびテスト制御部２１０を備える。なお、図中、様々な処理を行う機能ブロックとして記載される各要素は、ハードウェア的には、ＣＰＵ、メモリ、その他のＬＳＩで構成することができ、ソフトウェア的には、メモリにロードされたプログラムなどによって実現される。したがって、これらの機能ブロックがハードウェアのみ、ソフトウェアのみ、またはそれらの組み合わせによっていろいろな形で実現できることは当業者には理解されるところであり、いずれかに限定されるものではない。

第１インタフェース部２０２は、ネットワーク８との間でデータの送受信を行うためのインタフェースであり、具体的には、イーサネット（登録商標）アダプタや、無線ＬＡＮアダプタなどが例示される。

第２インタフェース部２０４は、バス１０を介してテスターハードウェア１００と接続されており、テスターハードウェア１００との間でデータの送受信を行うためのインタフェースである。たとえば情報処理装置２００とテスターハードウェア１００は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）を介して接続される。

データ取得部２０８は、第１インタフェース部２０２を介してサーバ３００にアクセスし、制御プログラム３０２、プログラムモジュール３０４、コンフィギュレーションデータ３０６を取得する。なお、制御プログラム３０２、プログラムモジュール３０４、コンフィギュレーションデータ３０６は、必ずしもサーバ３００から直接的に取得される必要はなく、別の情報処理装置がサーバ３００から取得したものを、２次的、間接的に取得してもよい。

外部から取得された制御プログラム３０２、プログラムモジュール３０４、コンフィギュレーションデータ３０６は、記憶装置２０６に格納される。

テスト制御部２１０は、テスターハードウェア１００のセットアップおよびその制御を行う。またＤＵＴ４の試験の結果得られたデータを、処理、解析する。テスト制御部２１０の機能は、情報処理装置２００のＣＰＵが、サービス提供者ＰＲＶが提供する制御プログラム３０２を実行することにより提供される。

テスト制御部２１０は、ハードウェアアクセス部２１２、認証部２１４、実行部２２０、テストフロー制御部２２２、割込・マッチ検出部２２４、解析部２３０、表示部２３２を備える。

ハードウェアアクセス部２１２は、テスターハードウェア１００の内部に設けられた不揮発性メモリ１０２に対して、コンフィギュレーションデータ３０６を書き込む。また、ハードウェアアクセス部２１２は、不揮発性メモリ１０２に書き込まれているコンフィギュレーションデータ３０６に関する情報、テスターハードウェア１００のバージョン情報などを取得する。

認証部２１４は、制御プログラム３０２、プログラムモジュール３０４、コンフィギュレーションデータ３０６が、事前に使用許諾されたものであるか否かを判定する。

実行部２２０は、テストプログラムを実行し、テスターハードウェア１００のテストシーケンスを制御する。テストシーケンスは、テスターハードウェア１００の初期化、ＤＵＴ４の初期化、ＤＵＴ４に対するテストパターンの供給、ＤＵＴ４からの信号の読み出し、読み出した信号と期待値の比較、などの一連の処理をいう。言い換えれば、テストプログラムは、テスターハードウェア１００および情報処理装置２００によって、ＤＵＴ４に適した試験内容のテストシーケンスを実行するように構成される。テストフロー制御部２２２は、実行部２２０が実行すべきテストプログラム中のテスト項目の実行順を制御する。

テスターハードウェア１００に対する制御命令は、第２インタフェース部２０４およびバス１０を介してテスターハードウェア１００に送信される。テスターハードウェア１００は、情報処理装置２００から受信した制御命令にしたがって動作する。

テスターハードウェア１００は、温度異常などのテスターハードウェア１００の異常を検出すると、異常を示す割込信号をテスト制御部２１０に対して送信する。また、ＤＵＴ４のテストシーケンス中には、条件分岐が行われる場合があり、条件分岐の判断が、テスターハードウェア１００の内部のハードウェアによって行われる場合がある。たとえば、ＤＵＴ４がメモリであり、テスターハードウェア１００がある長さのテストパターンをメモリに書き込んでいるときに、テストパターンの最後のデータの書き込み完了したことは、テスターハードウェア１００において判定される。あるいはフラッシュメモリのビジー状態、レディ状態なども、テスターハードウェア１００において判定される。このようなテスターハードウェア１００による条件判定をマッチ検出という。テスターハードウェア１００は、マッチ検出の結果を示すフラグを、テスト制御部２１０に送信する。

割込・マッチ検出部２２４は、割込信号やマッチ検出用のフラグを監視する。テストプログラムの命令の実行順序は、割込・マッチ検出部２２４の監視結果に応じて制御される。

テスターハードウェア１００によって取得されたデータは、バス１０を介してテスト制御部２１０へと送信される。解析部２３０は、このデータを処理、解析する。表示部２３２は、情報処理装置２００のディスプレイによってユーザがテストプログラムを制御するために必要なＧＵＩ（Graphical User Interface）を提供するとともに、試験の結果得られたデータをディスプレイに表示する。

まとめると、情報処理装置２００＿ｉは以下の機能を有する。
（i）試験システム２＿ｉのセットアップ時に、ユーザの入力に応答してサーバ３００から所望の試験内容に適したコンフィギュレーションデータ３０６を取得し、接続されたテスターハードウェア１００＿ｉの不揮発性メモリ１０２にコンフィギュレーションデータ３０６を書き込む。
（ii）ＤＵＴ４の試験時に、テストプログラムを実行し、テストプログラムに応じて、テスターハードウェア１００＿ｉを制御するとともに、テスターハードウェア１００＿ｉによって取得されたデータを処理する。

図３は、情報処理装置２００において実行されるテストプログラムの構造を示す図である。
テストプログラム２４０は、制御プログラム３０２と、プログラムモジュール３０４で構成される。制御プログラム３０２は、テストプログラム２４０のテストプログラムの基本ソフトウェアであり、被試験デバイスの種類や試験内容に依存せず、共通に使用される。制御プログラム３０２を、オペレーティングソフトウェアとも称する。制御プログラム３０２によって、図２のハードウェアアクセス部２１２、認証部２１４、実行部２２０、テストフロー制御部２２２、割込・マッチ検出部２２４の機能が提供される。

一方、プログラムモジュール３０４は、選択的に制御プログラム３０２に組み込み可能である。プログラムモジュール３０４は、大きく試験アルゴリズムモジュール３０４ａと、解析ツールモジュール３０４ｂに分類される。
試験アルゴリズムモジュール３０４ａは、試験アルゴリズム、具体的には試験項目、試験内容およびテストシーケンス、テストパターンなどを定義するプログラムである。試験アルゴリズムモジュール３０４ａは、ＤＵＴの種類（機能）別に、以下のものが例示される。
（１）ＤＲＡＭ
・機能検証用プログラム
・ＤＣ検査用プログラム（電源電流検査プログラム、出力電圧検査プログラム、出力電流検査プログラムなどを含む）
（２）フラッシュメモリ
・機能検証用プログラム
・ＤＣ検査用プログラム
（３）マイクロコントローラ
・機能検証プログラム
・ＤＣ検査用プログラム
・内蔵フラッシュメモリ評価プログラム
（４）Ａ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータ
・コンタクト検証プログラム
・リニアリティ（ＩＮＬ、ＤＮＬ）検証プログラム
・出力電圧オフセット検証プログラム
・出力電圧ゲイン検証プログラム

解析ツールモジュール３０４ｂは、評価アルゴリズム、具体的にはテスターハードウェア１００による試験の結果得られたデータを処理、解析、可視化する方法を定義するプログラムである。解析ツールモジュール３０４ｂとしては、以下のものが例示される。
・シュムープロット（２次元特性評価）ツール
・オシロスコープツール
・ロジックアナライザーツール
・アナログ波形観測ツール

（サーバについて）
サーバ３００には、複数の試験アルゴリズムモジュール３０４ａがサービス提供者ＰＲＶによって用意されている。ユーザは、ＤＵＴ４の種類や試験内容に応じて、必要な解析ツールモジュール３０４ｂを取得し、テストプログラム２４０に組み込む。このようにして、テストプログラム２４０は、組み込まれる解析ツールモジュール３０４ｂに応じて、試験システム２が実行する試験内容、取得するデータの種類を、選択、変更することができる。

またサーバ３００には複数の解析ツールモジュール３０４ｂがサービス提供者ＰＲＶによって用意されている。ユーザは、ＤＵＴ４の種類や試験内容、および評価手法に応じて、必要な解析ツールモジュール３０４ｂを取得し、テストプログラム２４０に組み込む。このようにして、テストプログラム２４０は、組み込まれる解析ツールモジュール３０４ｂに応じて、試験システム２によって得られたデータの処理、解析手法を、選択、変更することができる。

図４は、サーバ３００の構成を示す機能ブロック図である。
サーバ３００は、記憶部３１０、申請受付部３１２、データベース登録部３１４、リスト表示部３２０、ダウンロード制御部３２２、ライセンス管理部３２４を備える。

記憶部３１０は、複数のプログラムモジュール３０４、複数のコンフィギュレーションデータ３０６、データベース３０８およびその他のプログラム、データ、を格納する。

申請受付部３１２は、ユーザＵＳＲからのクラウドテスティングサービスの利用申請を受け付ける。サービス提供者ＰＲＶによる審査を経た後、データベース登録部３１４は、ユーザＵＳＲに関する情報、すなわちユーザＩＤやログイン用のパスワードなどを、データベース３０８に登録する。また、データベース登録部３１４は、ユーザＵＳＲが指定した情報処理装置２００の識別情報を、データベース３０８に登録する。

認証部３１６は、サーバ３００にアクセスしたユーザのログイン認証を行う。具体的には、ユーザに対して、ユーザＩＤおよびパスワードの入力を促し、データベース３０８に登録されたそれらと一致するかが判定される。ログイン認証に成功したユーザは、その後の、ソフトウェアやデータのダウンロード、あるいはライセンスの申請等が可能となる。

ダウンロード制御部３２２は、記憶部３１０に格納され、ユーザがダウンロード可能な状態にある複数のプログラムモジュール３０４およびコンフィギュレーションデータ３０６のリストを表示する。

ダウンロード制御部３２２は、ユーザからのプログラムモジュール３０４やコンフィギュレーションデータ３０６のダウンロード要求に応答して、プログラムモジュール３０４やコンフィギュレーションデータ３０６を情報処理装置２００に提供する。

ライセンス管理部３２４は、ユーザＵＳＲから各種ソフトウェア、あるいはデータの使用許諾の申請を受け付け、ライセンス管理に関する処理を行う。具体的には、ライセンス管理部３２４は、後述の契約者情報をデータベースに登録する。

（テスターハードウェアについて）
続いてテスターハードウェア１００の構成を説明する。図５は、テスターハードウェア１００の外観を示す図である。テスターハードウェア１００は、デスクトップサイズでポータブルに構成される。
テスターハードウェア１００は、ＡＣプラグ１１０を介して商用交流電源からの電力を受ける。テスターハードウェア１００の背面には、テスターハードウェア１００の電源スイッチ１１２が設けられる。
ＤＵＴ４は、ソケット１２０に装着される。ＤＵＴ４の複数のデバイスピンは、コネクタ１２２の複数のピン１２４それぞれと、ケーブル１２６を介して結線されている。テスターハードウェア１００の前面パネルには、コネクタ１２２を接続するためのコネクタ１１４が設けられる。ＤＵＴ４のピン数、ピン配置、あるいは同時測定するＤＵＴ４の個数などに応じて、さまざまなソケット１２０が用意される。

図６は、テスターハードウェア１００の構成を示す機能ブロック図である。テスターハードウェア１００は、不揮発性メモリ１０２に加えて、複数チャンネルのテスターピン（入出力ピン）Ｐ_ＩＯ１〜〜Ｐ_ＩＯＮ、インタフェース部１３０、コントローラ１３２、異常検出部１３４、内部電源１３６、デバイス電源１４０、信号発生器１４２、信号受信器１４４、ＲＡＭ１５４、任意波形発生器１４８、デジタイザ１５０、パラメトリックメジャメントユニット１５２、リレースイッチ群１６０および内部バス１６２を備える。

インタフェース部１３０は、バス１０を介して、情報処理装置２００の第２インタフェース部２０４と接続され、情報処理装置２００との間でデータを送受信可能に構成される。バス１０がＵＳＢである場合、インタフェース部１３０はＵＳＢコントローラである。

コントローラ１３２は、テスターハードウェア１００全体を統括的に制御する。具体的には、情報処理装置２００から受信した制御命令に応じて、テスターハードウェア１００の各ブロックを制御し、またテスターハードウェア１００の各ブロックで得られたデータや、割込信号、マッチ信号などを、インタフェース部１３０を介して情報処理装置２００に送信する。

異常検出部１３４は、テスターハードウェア１００のハードウェア的な異常を検出する。たとえば異常検出部１３４は、テスターハードウェア１００の温度をモニタし、所定のしきい値を超えるとアサートされる温度異常信号を生成する。また異常検出部１３４は、テスターハードウェア１００における電源電圧などを監視し、過電圧異常、低電圧異常などを検出してもよい。

内部電源１３６は、外部のＡＣ電圧を受け、それを整流・平滑化して直流電圧に変換した後に、それを降圧し、テスターハードウェア１００の各ブロックに対する電源電圧を生成する。内部電源１３６は、交流／直流変換用のインバータと、インバータの出力を降圧するスイッチングレギュレータやリニアレギュレータなどを含んで構成することができる。

デバイス電源（ＤＰＳ：Device Power Supply）１４０は、テスターハードウェア１００に接続されるＤＵＴ４の電源ピンに供給すべき電源電圧ＶＤＤを生成する。アナログデジタル混載デバイスなどのＤＵＴ４は、複数の異なる電源電圧を受けて動作する場合があるため、デバイス電源１４０は、異なる電源電圧を生成可能に構成されてもよい。本実施の形態では、デバイス電源１４０は２チャンネルの電源電圧ＶＤＤ１、ＶＤＤ２を生成可能となっている。

複数のチャンネルＣＨ１〜ＣＨＮのテスターピンＰ_ＩＯ１〜Ｐ_ＩＯＮはそれぞれ、ＤＵＴ４のデバイスピンと接続される。

信号発生器１４２＿１〜１４２＿ＮはそれぞれチャンネルＣＨごとに設けられる。各信号発生器１４２＿ｉ（１≦ｉ≦Ｎ）は、対応するテスターピンＰ_ＩＯｉを介してＤＵＴ４にデジタル信号Ｓ１を出力する。ＤＵＴ４がメモリである場合、デジタル信号Ｓ１は、ＤＵＴに対する制御信号、ＤＵＴであるメモリに書き込まれるデータ信号、アドレス信号などに対応する。

信号受信器１４４＿１〜１４４＿ＮはそれぞれチャンネルＣＨごとに設けられる。各信号受信器１４４＿ｉ（１≦ｉ≦Ｎ）は、ＤＵＴ４から対応するテスターピンＰ_ＩＯｉに入力されたデジタル信号Ｓ２を受信する。デジタル信号Ｓ２は、ＤＵＴから出力される各種信号や、ＤＵＴであるメモリから読み出されたデータに対応する。信号受信器１４４は、受信した信号Ｓ２のレベルを判定する。さらに信号受信器１４４は、受信した信号Ｓ２のレベルが、期待値と一致するかを判定し、一致（パス）、不一致（フェイル）を示すパスフェイル信号を生成する。加えて信号受信器１４４は、受信した信号Ｓ２のタイミングが正常か否かを判定し、パス、フェイルを示すパスフェイル信号を生成する。

任意波形発生器１４８は、複数チャンネルＣＨ１〜ＣＨＮのうち任意のチャンネルに割り当て可能であり、アナログの任意波形信号Ｓ３を生成して割り当てられたテスターピンＰ_ＩＯから出力する。デジタイザ１５０は、複数チャンネルＣＨ１〜ＣＨＮのうち任意のチャンネルに割り当て可能であり、割り当てられたテスターピンＰ_ＩＯに入力されたＤＵＴ４からのアナログ電圧Ｓ４をデジタル信号に変換する。

パラメトリックメジャメントユニット１５２は、複数チャンネルＣＨ１〜ＣＨＮのうち任意のチャンネルに割り当て可能である。パラメトリックメジャメントユニット１５２は、電圧源、電流源、電流計、電圧計を含む。パラメトリックメジャメントユニット１５２は、電圧印加電流測定モードにおいて、割り当てられたチャンネルのテスターピンＰ_ＩＯに電圧源により生成された電圧を印加し、電流計によってそのチャンネルのテスターピンＰ_ＩＯに流れる電流を測定する。またパラメトリックメジャメントユニット１５２は、電流印加電圧測定モードにおいて、割り当てられたチャンネルのテスターピンＰ_ＩＯに電流源により生成された電流を供給し、電圧計によってそのチャンネルのテスターピンＰ_ＩＯの電圧を測定する。パラメトリックメジャメントユニット１５２によって、任意のデバイスピンの電圧や電流を測定できる。

ＲＡＭ１５４は、テスターハードウェア１００の各ブロックが使用するデータや、各ブロックが生成したデータを格納するために設けられる。たとえばＲＡＭ１５４は、信号発生器１４２が生成すべきデジタル信号のパターンを格納するパターンメモリとして利用したり、パスフェイル信号を格納するフェイルメモリ、任意波形発生器１４８が生成すべき波形を記述する波形データ、あるいはデジタイザ１５０により取得された波形データを格納する波形メモリなどとして利用される。

リレースイッチ群１６０は、テスターピンＰ_ＩＯ１〜Ｐ_ＩＯＮおよびデバイス電源１４０、信号発生器１４２＿１〜１４２＿Ｎ、信号受信器１４４＿１〜１４４＿Ｎ、任意波形発生器１４８、デジタイザ１５０、パラメトリックメジャメントユニット１５２に接続される。リレースイッチ群１６０は、その内部に複数のリレースイッチを含み、デバイス電源１４０、任意波形発生器１４８、デジタイザ１５０、パラメトリックメジャメントユニット１５２それぞれを、任意のテスターピンＰ_ＩＯに割り当て可能に構成される。

内部バス１６２は、テスターハードウェア１００の各ブロックの間で信号を送受信するために設けられる。内部バス１６２の種類、本数は特に限定されない。

上述のように、テスターハードウェア１００の内部の少なくともひとつのブロックの機能は、不揮発性メモリ１０２に格納されるコンフィギュレーションデータ３０６に応じて変更可能となっている。したがって、機能が変更可能なテスターハードウェア１００の内部の少なくともひとつのブロックは、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）などのプログラマブルデバイスを用いて構成することができる。

以上がテスターハードウェア１００の構成である。このテスターハードウェア１００によれば、テスターハードウェア１００の各ブロックを組み合わせることにより、メモリや、プロセッサ、Ａ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータなどさまざまな半導体デバイスを、さまざまな手法で試験することができる。以下、テスターハードウェア１００を用いた試験システム２により実現可能な試験について説明する。

１ａ． メモリの機能検証試験
メモリの機能検証試験には、主として、デバイス電源１４０、信号発生器１４２、信号受信器１４４が利用される。デバイス電源１４０は、メモリに対して供給すべき電源電圧を生成する。
なお電源電圧は、リレースイッチ群１６０を経由せずに、メモリの電源ピンに対して専用の電源ラインを介してＤＵＴ４に供給されてもよい。

信号発生器１４２は、メモリに供給すべきテストパターン（アドレス信号および書き込むべきデータ信号）を生成する。信号受信器１４４は、メモリから読み出された信号Ｓ２のレベルを判定し、期待値と比較することにより、パス、フェイル判定を行う。加えて信号受信器１４４は、受信した信号Ｓ２のタイミングが正常か否かを判定する。

１ｂ． メモリのＤＣ試験
メモリのＤＣ試験時には、主としてデバイス電源１４０およびパラメトリックメジャメントユニット１５２が用いられる。デバイス電源１４０は、メモリに対して供給すべき電源電圧を生成する。デバイス電源１４０は、自らの出力である電源電圧および電源電流を測定可能に構成されている。パラメトリックメジャメントユニット１５２は、リレースイッチ群１６０によってメモリの任意のピンに対応するテスターピンＰ_ＩＯに割り当てられる。デバイス電源１４０によって、電源電流、電源電圧変動が測定され、パラメトリックメジャメントユニット１５２によって任意のピンのリーク電流などが測定される。
また、あるテスターピンの電位と、そこに流れる電流を測定することにより、それらの比から、インピーダンスを計算でき、コンタクト不良の検出などに利用できる。

２ａ． マイクロコントローラの機能検証試験
（i）マイクロコントローラの内部のメモリの機能検証試験は、１ａと同様のハードウェアを用いて試験可能である。

（ii）マイクロコントローラのデジタル信号処理部（ＣＰＵコア）の機能検証試験は、１ａと同様のハードウェアを用いて試験可能である。

２ｂ． マイクロコントローラのＤＣ試験
マイクロコントローラのＤＣ試験は、１ｂと同様のハードウェアを用いて試験可能である。

３ａ． Ａ／Ｄコンバータの機能検証試験
Ａ／Ｄコンバータの機能検証試験には、主としてデバイス電源１４０、任意波形発生器１４８および少なくともひとつの信号受信器１４４が利用される。任意波形発生器１４８は、リレースイッチ群１６０によって、Ａ／Ｄコンバータのアナログ入力端子に割り当てられ、所定の電圧範囲をスイープするアナログ電圧を生成する。少なくともひとつの信号受信器１４４はそれぞれ、Ａ／Ｄコンバータのデジタル出力端子に割り当てられ、Ａ／Ｄコンバータから、アナログ電圧の階調に応じたデジタルコードの各ビットを受信する。

信号受信器１４４により得られたデジタルコードと、任意波形発生器１４８が生成したアナログ電圧の相関関係によって、Ａ／Ｄコンバータのリニアリティ（ＩＮＬ、ＤＮＬ）などを評価することが可能となる。

３ｂ． Ａ／ＤコンバータのＤＣ試験
Ａ／ＤコンバータのＤＣ試験は、１ｂと同様のハードウェアを用いて試験可能である。

４ａ． Ｄ／Ａコンバータの機能検証試験
Ｄ／Ａコンバータの機能検証試験には、主としてデバイス電源１４０、少なくともひとつの信号発生器１４２およびデジタイザ１５０が利用される。少なくともひとつの信号発生器１４２はそれぞれ、Ｄ／Ａコンバータのデジタル入力端子に割り当てられる。信号発生器１４２は、Ｄ／Ａコンバータの入力デジタル信号をそのフルスケールに渡ってスイープする。

デジタイザ１５０は、リレースイッチ群１６０によって、Ｄ／Ａコンバータのアナログ出力端子に割り当てられ、Ｄ／Ａコンバータのアナログ出力電圧を、デジタルコードに変換する。

デジタイザ１５０により得られたデジタルコードと、信号発生器１４２が生成したデジタルコードの相関関係によって、Ｄ／Ａコンバータの出力電圧オフセットや出力電圧ゲインを評価することが可能となる。

４ｂ． Ｄ／ＡコンバータのＤＣ試験
Ｄ／ＡコンバータのＤＣ試験は、１ｂと同様のハードウェアを用いて試験可能である。

Ａ／ＤコンバータやＤ／Ａコンバータは、単体のＩＣであってもよいし、マイクロコントローラに内蔵されてもよい。

５． オシロスコープ試験
デジタイザ１５０をリレースイッチ群１６０によって任意のチャンネルに割り当て、デジタイザ１５０のサンプリング周波数を高めることにより、そのチャンネルを通過する信号の波形データを取得できる。波形データを、情報処理装置２００により可視化することにより、試験システム２をオシロスコープとして機能させることができる。

当業者によれば、テスターハードウェア１００を用いることにより、ここに例示したもの以外にも、さまざまな機能検証試験、ＤＣ試験などを実行しうることが理解される。

好ましい態様において、テスターハードウェア１００は、不揮発性メモリ１０２に書き込まれたコンフィギュレーションデータ３０６に応じて、少なくとも信号発生器１４２が生成するデジタル信号Ｓ１のパターンが変更可能に構成される。この場合、不揮発性メモリ１０２は、信号発生器１４２の一部であると把握することができる。
この場合、メモリやプロセッサ、Ａ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータなど被試験デバイスの機能検証試験を行う際に、デバイスの種類に応じて、コンフィギュレーションデータを選択することにより、個々のデバイスに対して最適なデジタル信号を供給でき、それらを適切に試験できる。

より具体的には、信号発生器１４２は、コンフィギュレーションデータ３０６に応じて、
（i）ＳＱＰＧ（Sequential Pattern Generator）、
（ii）ＡＬＰＧ(Algorithmic Pattern Generator)、
（iii）ＳＣＰＧ（Scan Pattern Generator）、
のいずれかの機能を選択的に具備するよう構成される。

ＳＱＰＧとＳＣＰＧは、ひとつのコンフィギュレーションデータ３０６によって提供されてもよい。この場合、ひとつの試験を実行中に、ひとつの信号発生器１４２を、ＳＱＰＧと、ＳＣＰＧを切りかえて使用できる。あるいは、いくつかのチャンネルの信号発生器１４２をＳＱＰＧとして、その他のチャンネルの信号発生器１４２をＳＣＰＧとして利用することもできる。

たとえばメモリの機能検証試験を行う際には、ＡＬＰＧに対応するコンフィギュレーションデータ３０６を不揮発性メモリ１０２に書き込むことにより、演算処理によって長大なテストパターンを自動生成できる。

また、プロセッサ（ＣＰＵやマイクロコントローラ）等の機能検証試験を行う際には、ＳＱＰＧに対応するコンフィギュレーションデータ３０６を不揮発性メモリ１０２に書き込めばよい。この場合、プロセッサ等の構成に応じてあらかじめユーザが定義したテストパターンをＲＡＭ１５４に格納しておき、各信号発生器１４２がテストパターンをＲＡＭ１５４から読み出してＤＵＴ４に与えることができる。

またバウンダリスキャンテストを行いたい場合には、ＳＣＰＧに対応するコンフィギュレーションデータ３０６を不揮発性メモリ１０２に書き込むことにより、ＤＵＴ４の内部ロジックを切り離した試験を実現できる。

以上が試験システム２の構成である。

続いて、クラウドテスティングサービスのフローを説明する。図７は、クラウドテスティングサービスのフローを示す図である。

ユーザＵＳＲは、クラウドテスティングサービスの利用をサービス提供者ＰＲＶに申請する（Ｓ１００）。申請にともない、ユーザＵＳＲの情報がサービス提供者ＰＲＶのサーバ３００に送信される。

サービス提供者ＰＲＶは、ユーザＵＳＲの信用調査などの結果にもとづいて審査を行う（Ｓ１０２）。審査の結果、所定の条件を満たすユーザＵＳＲは、クラウドテスティングサービスの利用者としてデータベースに登録され、ユーザＩＤが付与される。登録に際してユーザは、試験システム２に使用したい自身の情報処理装置２００の識別情報を、サービス提供者ＰＲＶに通知する。情報処理装置２００の識別情報も、サーバ３００のデータベースに登録される。情報処理装置２００の識別情報としては、情報処理装置２００のＭＡＣアドレスを利用してもよい。

サービス提供者ＰＲＶは、登録されたユーザＵＳＲに対して、テスターハードウェア１００を送付する（Ｓ１０４）。試験システム２を広く普及させたいというサービス提供者ＰＲＶ側の観点、および安価に試験システム２を構築したいというユーザＵＳＲ側の観点に鑑みて、サービス提供者ＰＲＶとユーザＵＳＲは、テスターハードウェア１００は無償で貸与する契約を結んでもよい。当然ながら、ユーザＵＳＲによるテスターハードウェア１００の改変や分解は契約により禁止される。

ユーザＵＳＲは、サービス提供者ＰＲＶが開設するウェブサイトにアクセス、ログインし、制御プログラム３０２をダウンロードし、登録した情報処理装置２００にインストールする（Ｓ１０６）。なおサービス提供者ＰＲＶは、制御プログラム３０２の使用は、登録された情報処理装置２００においてのみ許諾してもよい。また制御プログラム３０２は、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭなどのメディアに格納された状態で配布されてもよい。

ここまでで、ユーザＵＳＲはテスターハードウェア１００および情報処理装置２００を用いて、試験システム２を構築可能となる。

そして、ユーザＵＳＲは、試験対象のＤＵＴ４の種類や試験内容に適したプログラムモジュール３０４、コンフィギュレーションデータ３０６を選択し（Ｓ１０８）、それらのダウンロードを要求する（Ｓ１１０）。これを受けて、サーバ３００から、プログラムモジュール３０４やコンフィギュレーションデータ３０６が、情報処理装置２００に供給される（Ｓ１１２）。

また、ユーザＵＳＲは、サービス提供者ＰＲＶのサーバ３００に対して、希望するプログラムモジュール３０４やコンフィギュレーションデータ３０６の使用許諾を申請する（Ｓ１１４）。

プログラムモジュール３０４および／またはコンフィギュレーションデータ３０６には、使用期間に応じた料金が定められている。サービス提供者ＰＲＶは、ユーザＵＳＲからの料金の支払いを条件として（Ｓ１１６）、プログラムモジュール３０４および／またはコンフィギュレーションデータ３０６ごとに、それらの使用を許諾する（Ｓ１１８）。

続いて、プログラムモジュール３０４、コンフィギュレーションデータ３０６の配布、およびライセンス管理に関して、いくつかの好ましい実施例を説明する。

（第１の実施例）
図８は、第１の実施例に係る試験システム２におけるデータの流れを示す図である。
第１の実施例では、複数のプログラムモジュール３０４＿１〜３０４＿３と複数のコンフィギュレーションデータ３０６＿１〜３０６＿３が予め用意され、サーバ３００に格納されている。たとえばプログラムモジュール３０４＿１、３０４＿２、３０４＿３はそれぞれ、制御プログラム３０２のプラグインソフトウェアであり、情報処理装置２００に、ＭＣＵ（Microcontroller Unit）、メモリデバイス、アナログデバイスを試験するための機能を提供する。本実施の形態において、複数のコンフィギュレーションデータ３０６＿１〜３０６＿３は、制御プログラム３０２とは別ファイルとしてサーバ３００に格納されている。

同様に、コンフィギュレーションデータ３０６＿１、３０６＿２、３０６＿３は、テスターハードウェア１００に、ＭＣＵ、メモリデバイス、アナログデバイスを試験するための機能を提供する。

つまり、本実施の形態では、ＤＵＴの種類ごとに、プログラムモジュール３０４およびコンフィギュレーションデータ３０６が用意されている。なお本発明はそれには限定されず、たとえば、同じメモリデバイスであっても、フラッシュとＤＲＡＭで異なるプログラムモジュール３０４、異なるコンフィギュレーションデータ３０６が用意されてもよい。さらに同じＤＲＡＭであっても、パターン発生器の種類に応じて、異なるプログラムモジュール３０４あるいはコンフィギュレーションデータ３０６が用意されてもよい。

情報処理装置２００には、すでに制御プログラム３０２がインストールされている（Ｓ２００）。試験システム２のセットアップを目的とするユーザＵＳＲは、ウェブサイトにアクセスし、ログインする。ウェブサイトには、ダウンロード可能なプログラムモジュール３０４のリストが掲載されている。ユーザは、使用を希望するプログラムモジュール３０４を情報処理装置２００にダウンロードする（Ｓ２０２）。図８には、情報処理装置２００にＭＣＵ用のプログラムモジュール３０４＿１がダウンロードされた状態が示される。

複数のコンフィギュレーションデータ３０６＿１〜３０６＿３は、ひとつのファイルにパッケージングされた態様にて、サーバ３００に格納されてもよい。また、ユーザＵＳＲは、試験システム２のセットアップ作業に先立って、サーバ３００からコンフィギュレーションデータ３０６のパッケージをダウンロードしておく（Ｓ２０４）。このパッケージは、制御プログラム３０２がアクセス可能な所定のディレクトリに格納される。

続いて、テスターハードウェア１００に、試験アルゴリズムに適したコンフィギュレーションデータ３０６をインストールする手順を説明する。

制御プログラム３０２がインストールされた情報処理装置２００には、以下の機能（i）、（ii）が提供される。
（i）試験システム２のセットアップ時に、テスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込み可能な複数のコンフィギュレーションデータ３０６＿１〜３０６＿３の候補をディスプレイに表示する機能
（ii）ユーザにより選択されたコンフィギュレーションデータ３０６＿ｉ（１≦ｉ≦３）をテスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込む機能

制御プログラム３０２は、コンフィギュレーションデータ３０６のインストール作業を開始するためのアイコン、ボタン、あるいはメニューを備える。ユーザがコンフィギュレーションデータ３０６のインストール作業を開始すると、制御プログラム３０２は、図８の情報処理装置２００のディスプレイに、メニュー画面３０３を表示する（Ｓ２０６）。たとえば制御プログラム３０２は、ＧＵＩを用いて複数のプログラムモジュール３０４と対応するＤＵＴの種類のリスト（ＭＣＵ，メモリ、アナログ）を表示する。制御プログラム３０２は、すでにダウンロードされているコンフィギュレーションデータ３０６に対応するＤＵＴ名を候補として表示してもよい。

ユーザは、情報処理装置２００を操作し、試験対象となるＤＵＴの種類を選択する（Ｓ２０８）。たとえばユーザが、ＭＣＵを選択したとする。制御プログラム３０２は、ユーザにより選択されたＭＣＵに対応するコンフィギュレーションデータ３０６＿１を、テスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込む（Ｓ２１０）。

以上がコンフィギュレーションデータ３０６のインストールの手順である。

この実施例によれば基本ソフトウェアである制御プログラム３０２に、コンフィギュレーションデータ３０６のインストールに必要な機能（i）（ii）が実装される。これにより、ユーザは、制御プログラム３０２を実行することにより、ＧＵＩを利用して直感的に、希望するコンフィギュレーションデータを選択することができ、選択されたコンフィギュレーションデータをテスターハードウェアの不揮発性メモリに書き込み、あるいは書き換えることができる。

続いて、ライセンス管理について説明する。
本実施例において、ライセンス管理は、ＤＵＴの種類ごとに、プログラムモジュール３０４を対象として行われる。つまり、ユーザＵＳＲは、あるＤＵＴ（以下、ＭＣＵとする）を試験するための試験システム２を構築しようとするとき、そのＤＵＴに対応するプログラムモジュール３０４について、サービス提供者ＰＲＶとの間で、使用許諾契約を結ぶ。ひとつの使用許諾により、あるユーザは、予め登録された情報処理装置２００においてのみ、プログラムモジュール３０４を実行可能となる。なお、プログラムモジュール３０４のダウンロード自体は、使用許諾の有無にかかわらず、許可されてもよい。ユーザのアカウント、情報処理装置２００の識別情報、および契約済みのプログラムモジュール３０４の識別子、その契約期間は、サーバ３００のデータベース（以下、契約者情報ともいう）に格納される。

一方、コンフィギュレーションデータ３０６については、ライセンス管理は行われず、ユーザＵＳＲは自由にダウンロード可能であり、また制御プログラム３０２を実行することにより、テスターハードウェア１００にインストール可能となっている。

以上が試験システム２の構成である。続いて試験システム２のライセンス管理に関する動作を説明する。
情報処理装置２００には、制御プログラム３０２、プログラムモジュール３０４が格納されており、またテスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２には、コンフィギュレーションデータ３０６が書き込まれている。

使用に際して、ユーザＵＳＲは、情報処理装置２００とテスターハードウェア１００をバス１０を介して接続する。そしてユーザＵＳＲは、テスターハードウェア１００の電源を投入し、情報処理装置２００において制御プログラム３０２を起動する。

また、ユーザＵＳＲは、制御プログラム３０２の内部で、ひとつのプログラムモジュール３０４を起動する。プログラムモジュール３０４が起動されると、制御プログラム３０２は、起動されたプログラムモジュール３０４の認証処理を行う。

図２の認証部２１４は、サーバ３００の契約者情報にアクセスし、実行されたプログラムモジュール３０４が、それが実行された情報処理装置２００において、使用可能であるかを判定する。具体的には、実行されたプログラムモジュール３０４が、契約者情報に登録されたものであるか否か、情報処理装置２００の識別情報が契約者情報に登録されたものであるか、プログラムが実行される時刻が契約期間に含まれるか、が判定される。

契約者情報をサーバ３００側で管理することにより、ユーザによる改ざんを防止できる。契約者情報を堅牢に暗号化可能である場合には、契約者情報を情報処理装置２００側にも格納しておき、ライセンス認証に際して、情報処理装置２００内の契約者情報を参照してもよい。

ここで、コンフィギュレーションデータ３０６のインストールは、契約内容にかかわらず自由であることから、不揮発性メモリ１０２に格納されるコンフィギュレーションデータ３０６が想定するＤＵＴの種類と、テストプログラム２４０と組み合わされるプログラムモジュール３０４が整合しない場合も想定される。そこで、そこで制御プログラム３０２は、情報処理装置２００に、プログラムモジュール３０４とコンフィギュレーションデータ３０６との整合性をチェックする機能を提供することが望ましい。

たとえばＭＣＵ用のプログラムモジュール３０４＿１が実行されたときに、メモリ用のコンフィギュレーションデータ３０６＿１がインストールされている場合、制御プログラム３０２は、コンフィギュレーションデータ３０６が不適切である旨をユーザに通知する。これにより、正しいプログラムモジュール３０４とコンフィギュレーションデータ３０６による試験を担保できる。

たとえば、ユーザがＭＣＵ用のプログラムモジュール３０４＿１について使用許諾契約を結んでいるとする。
この場合、テスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２にコンフィギュレーションデータ３０６＿１がインストールされ、情報処理装置２００においてＭＣＵ用のプログラムモジュール３０４＿１が実行された場合、ＭＣＵの試験が実行される。

一方、テスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に、メモリ用のコンフィギュレーションデータ３０６＿２がインストールされており、情報処理装置２００においてＭＣＵ用のプログラムモジュール３０４＿１が実行された場合、コンフィギュレーションデータ３０６が不適切である旨が表示される。制御プログラム３０２は、ユーザに対して、ＭＣＵ用のコンフィギュレーションデータ３０６＿１への書き換えを促してもよい。

また、テスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に、メモリ用のコンフィギュレーションデータ３０６＿２がインストールされており、情報処理装置２００においてメモリ用のプログラムモジュール３０４＿２が実行されたとする。この場合、プログラムモジュール３０４＿２については、使用許諾契約を結んでいないため、メモリを試験することはできない。

（第２の実施例）
第２の実施例では、制御プログラム３０２は、複数のコンフィギュレーションデータ３０６＿１〜３０６＿３を包含している。つまり、制御プログラム３０２とコンフィギュレーションデータ３０６は一体のプログラムとして扱われ、ユーザＵＳＲからみると、コンフィギュレーションデータ３０６の存在は隠蔽されている。

図９は、第２の実施例に係る試験システム２のデータの流れを示す図である。制御プログラム３０２のダウンロードとともに、コンフィギュレーションデータ３０６がダウンロードされる（Ｓ３００）。ユーザは、使用を希望するプログラムモジュール３０４を情報処理装置２００にダウンロードする（Ｓ３０２）。図９には、情報処理装置２００にＭＣＵ用のプログラムモジュール３０４＿１がダウンロードされた状態が示される。

制御プログラム３０２は、ユーザの指示に応答して、使用可能なコンフィギュレーションデータ３０６のリスト３０３を表示する（Ｓ３０４）。ユーザは試験対象となるＤＵＴの種類を選択する（Ｓ３０６）。たとえばユーザが、ＭＣＵを選択したとする。制御プログラム３０２は、ユーザにより選択されたＭＣＵに対応するコンフィギュレーションデータ３０６＿１を、テスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込む（Ｓ３１０）。

第２の実施例によれば、コンフィギュレーションデータはユーザに対して隠蔽されることとなり、悪意のユーザによるコンフィギュレーションデータ３０６の解析、ハッキング等を防止できる。また、善意のユーザに対しては、コンフィギュレーションデータを意識せずに構築可能なユーザフレンドリな試験システムを提供できる。

（第３の実施例）
第１、第２の実施例においては、ユーザが自ら、コンフィギュレーションデータ３０６をダウンロードする場合を説明した。これらの実施例では、コンフィギュレーションデータ３０６の種類が増え、その容量が増大した場合に、情報処理装置２００の記憶媒体のスペースを圧迫することになる。そこで第３の実施例では、コンフィギュレーションデータ３０６のダウンロード機能が、制御プログラム３０２によって提供され、必要とされるコンフィギュレーションデータ３０６のみが情報処理装置２００にダウンロードされる。

第３の実施例では、複数のコンフィギュレーションデータ３０６＿１〜３０６＿３は、個別のファイルとしてサーバ３００に格納される。

図１０は、第３の実施例に係る試験システム２のデータの流れを示す図である。
情報処理装置２００には、すでに制御プログラム３０２がインストールされている（Ｓ４００）。ユーザＵＳＲは、使用を希望するプログラムモジュール３０４を情報処理装置２００にダウンロードする（Ｓ４０２）。図１０には、情報処理装置２００にＭＣＵ用のプログラムモジュール３０４＿１がダウンロードされた状態が示される。

制御プログラム３０２がインストールされた情報処理装置２００には、以下の機能（i）、〜（iii）が提供される。
（i）試験システム２のセットアップ時に、テスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込み可能な複数のコンフィギュレーションデータ３０６＿１〜３０６＿３の候補をディスプレイに表示する機能
（iii）ユーザに選択されたコンフィギュレーションデータ３０６＿ｉ（１≦ｉ≦３）を、サーバからダウンロードする機能
（ii）ダウンロードされたコンフィギュレーションデータ３０６＿ｉ（１≦ｉ≦３）をテスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込む機能

制御プログラム３０２は、コンフィギュレーションデータ３０６のインストール作業を開始するためのアイコン、ボタン、あるいはメニューを備える。ユーザがコンフィギュレーションデータ３０６のインストール作業を開始すると、制御プログラム３０２は、図８の情報処理装置２００のディスプレイに、メニュー画面３０３を表示する（Ｓ４０４）。たとえば制御プログラム３０２は、ＧＵＩを用いて複数のプログラムモジュール３０４と対応するＤＵＴの種類のリスト（ＭＣＵ，メモリ、アナログ）を表示する。

ユーザは、情報処理装置２００を操作し、試験対象となるＤＵＴの種類を選択する（Ｓ４０６）。たとえばユーザが、ＭＣＵを選択したとする。制御プログラム３０２は、ユーザにより選択されたＭＣＵに対応するコンフィギュレーションデータ３０６＿１が記憶装置２０６に存在しない場合、それをサーバ３００からダウンロードし（Ｓ４０８）、ダウンロードされたコンフィギュレーションデータ３０６＿１をテスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込む（Ｓ４１０）。一旦ダウンロードされたコンフィギュレーションデータ３０６は、記憶装置２０６にそのまま保持される。

第３の実施例によれば、記憶装置２０６の容量を節約することができる。

また第３の実施例では、第１、第２の実施例に比べて、コンフィギュレーションデータ３０６のバージョン管理に関して以下の利点を有する。第１、第２の実施例では、サービス提供者ＰＲＶがサーバ３００上のコンフィギュレーションデータ３０６のバージョンを更新したとしても、ユーザがステップＳ２０４（Ｓ３００）を改めて実行しない限り、バージョンの更新はテスターハードウェア１００に反映されない。

これに対して、第３の実施例によれば、サーバ３００上のコンフィギュレーションデータ３０６のバージョンが更新された場合には、ダウンロードＳ４０８により、テスターハードウェア１００にインストールされるコンフィギュレーションデータ３０６を自動的に更新することができる。

なお制御プログラム３０２は、ステップＳ４０６により選択されたコンフィギュレーションデータ３０６がすでに記憶装置２０６に存在する場合、コンフィギュレーションデータ３０６にアクセスせずに、記憶装置２０６のそれをテスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込んでもよい。

以上の第１乃至第３の実施例で説明したセットアップを経て、情報処理装置２００においてテストプログラム２４０にもとづく試験が実行可能となる。
実行部２２０は、主として制御プログラム３０２および試験アルゴリズムモジュール３０４ａで構成されるテストプログラム２４０にもとづいて、テスターハードウェア１００を制御する。試験の結果得られたデータは、テスターハードウェア１００から情報処理装置２００に送信され、記憶装置２０６に格納される。

また、解析部２３０は、解析ツールモジュール３０４ｂが規定する解析手法によってテスターハードウェア１００から得られたデータを解析する。

以上が試験システム２の動作である。試験システム２は、従来の試験装置に比べて以下の利点を有する。

１． この試験システム２において、テスターハードウェア１００は、特定のデバイスや、試験内容に限定された構成を有しておらず、さまざまな試験内容に対応可能な汎用性をもって設計されている。そして、さまざまな種類の被試験デバイス、試験内容に最適化されたコンフィギュレーションデータが、サービス提供者あるいは第３者によって用意され、サーバ３００に格納されている。
そしてユーザＵＳＲは、検査対象のＤＵＴ４に最適なコンフィギュレーションデータ３０６を選択し、テスターハードウェアの不揮発性メモリ１０２に書き込むことにより、ＤＵＴ４を適切に試験することができる。
つまり、この試験システム２によれば、ＤＵＴ４の種類や試験項目ごとに個別の試験装置（ハードウェア）を用意する必要がなくなるため、ユーザのコストの負担を軽減することができる。

２． また、新規のデバイスが開発され、従来存在しない試験が必要となった場合、サービス提供者ＰＲＶあるいは第３者によって、その試験内容を実現するためのコンフィギュレーションデータ３０６やプログラムモジュール３０４が提供されるであろう。したがってユーザは、テスターハードウェアの処理能力の範囲内において、現在から将来にわたって開発されるデバイスを試験することができる。

３． また従来では、開発段階の半導体デバイスを検査する際に、電源装置、任意波形発生器、オシロスコープやデジタイザを個別に用意し、それらを組み合わせて、所望の特性を測定する必要があった。これに対して実施の形態に係る試験システム２によれば、情報処理装置２００とテスターハードウェア１００を用意すれば、さまざまな半導体デバイスを簡易かつ適切に試験できる。

４． テスターハードウェア１００は、設計開発段階での使用を前提とすれば、同時測定可能な被試験デバイスの個数、すなわちチャンネル数が少なく設計できる。また情報処理装置との協調動作を前提として設計することができる。さらに必要に応じてその性能の一部を妥協することも可能である。これらの理由から、テスターハードウェア１００は、量産用の試験装置に比べて、安価に、また非常にコンパクトに、具体的にはデスクトップサイズ、ポータブルに構成しうる。

この場合、ユーザＵＳＲの観点からは、研究者・開発者ごと、あるいは研究開発グループごとに、テスターハードウェアを保有することが可能となる。サービス提供者ＰＲＶの観点からは、テスターハードウェア１００の普及を促すことができ、収益の機会を拡大することができる。

５． また従来の試験装置は巨大であったため、その移動は現実的には不可能であり、ユーザがＤＵＴ４を試験装置まで搬送する必要があった。これに対してテスターハードウェア１００を小型化することにより、それを被試験デバイスの場所まで移動することが可能となる。
たとえばクリーンルーム内で、被試験デバイスを試験したいとする。試験装置の設置箇所が被試験デバイスと離れている場合、デバイスの汚染を考慮すると、クリーンルーム内といえども、デバイスを長距離移動させることは好ましくない。つまり従来では、被試験デバイスおよび試験装置の双方とも移動させることが困難であり、試験装置の利用が制限されるケースがあった。実施の形態に係る試験システム２は、クリーンルーム内のさまざまな箇所に設置することができ、また必要に応じてクリーンルーム内に持ち込んだり、持ち出したりできる。あるいは屋外の特殊環境下での試験も可能となる。つまり試験装置を利用可能な状況を、従来よりも格段に広げることができる。

６． また、この試験システム２では、さまざまなプログラムモジュール３０４がサービス提供者ＰＲＶによってクラウドであるサーバ３００上に用意されており、ユーザＵＳＲはその中から、半導体デバイスの種類、試験項目、評価アルゴリズムに適したものを選択し、テストプログラム２４０に組み込むことができる。その結果、ユーザＵＳＲは、従来のようにテストプログラムを自ら作成することなく、デバイスを適切に試験できる。

７． 実施の形態では、コンフィギュレーションデータ３０６を、テスターハードウェア１００の不揮発性メモリ１０２に書き込むことにより、テスターハードウェア１００の少なくともその機能の一部が変更可能に構成されるケースを説明したが、本発明はそれには限定されない。使用するＦＰＧＡによっては、不揮発性メモリではなく、揮発性メモリを書き換えることにより機能が変更可能なものも存在する。こうしたＦＰＧＡを採用する場合には、テスターハードウェア１００に搭載されるＳＲＡＭあるいはＤＲＡＭ等の揮発性メモリに格納されたデータに応じて、テスターハードウェア１００の機能が変更となる。
揮発性メモリの書き込み速度は、不揮発性メモリの書き込み速度に比べて格段に速いため、テスターハードウェア１００の機能変更時において、ユーザの待ち時間を格段に短縮することができる。なお、揮発性メモリを採用した場合、テスターハードウェア１００の起動ごとに、揮発性メモリにコンフィギュレーションデータを書き込む必要があるが、その書き込み速度は速いため、待ち時間がユーザに与えるストレスは無視しうる。

実施の形態にもとづき本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が認められる。

２…試験システム、４…ＤＵＴ、６…ソケット、８…ネットワーク、１０…バス、１００…テスターハードウェア、１０２…不揮発性メモリ、１１０…ＡＣプラグ、１１２…電源スイッチ、１１４…コネクタ、１２０…ソケット、１２２…コネクタ、１２４…ピン、１２６…ケーブル、１３０…インタフェース部、１３２…コントローラ、１３４…異常検出部、１３６…内部電源、１４０…デバイス電源、Ｐ_ＩＯ…テスターピン、１４２…信号発生器、１４４…信号受信器、１４８…任意波形発生器、１５０…デジタイザ、１５２…パラメトリックメジャメントユニット、１５４…ＲＡＭ、１６０…リレースイッチ群、１６２…内部バス、２００…情報処理装置、２０２…第１インタフェース部、２０４…第２インタフェース部、２０６…記憶装置、２０８…データ取得部、２１０…テスト制御部、２１２…ハードウェアアクセス部、２１４…認証部、２２０…実行部、２２２…プログラムカウンタ、２２４…割込・マッチ検出部、２３０…解析部、２３２…表示部、２４０…テストプログラム、３００…サーバ、３０２…制御プログラム、３０４…プログラムモジュール、３０４ａ…試験アルゴリズムモジュール、３０４ｂ…解析ツールモジュール、３０６…コンフィギュレーションデータ、３０８…データベース、３１０…記憶部、３１２…申請受付部、３１４…データベース登録部、３１６…認証部、３２０…リスト表示部、３２２…ダウンロード制御部、３２４…ライセンス管理部、ＵＳＲ…ユーザ、ＰＲＶ…サービス提供者。

Claims (15)

1. 被試験デバイスを試験する試験システムであって、
   それぞれが前記試験システムに異なる機能を提供するための複数のコンフィギュレーションデータを格納するサーバと、
   前記被試験デバイスを試験するテスターハードウェアであって、メモリを含み、当該メモリに格納されたコンフィギュレーションデータに応じて、少なくともその機能の一部が変更可能に構成されたテスターハードウェアと、
   前記サーバとネットワークを介して接続され、制御プログラムがインストールされた情報処理装置であって、前記制御プログラムにより、（i）前記試験システムのセットアップ時に、前記テスターハードウェアに書き込み可能な複数のコンフィギュレーションデータの候補をディスプレイに表示する機能と、（ii）ユーザにより選択されたコンフィギュレーションデータを前記テスターハードウェアの前記メモリに書き込む機能と、が提供されている、情報処理装置と、
   を備えることを特徴とする試験システム。
2. 前記複数のコンフィギュレーションデータは、前記セットアップの開始前に、予め前記情報処理装置にダウンロードされていることを特徴とする請求項１に記載の試験システム。
3. 前記制御プログラムは、すでにダウンロードされているコンフィギュレーションデータを候補として表示することを特徴とする請求項２に記載の試験システム。
4. 前記複数のコンフィギュレーションデータは、前記制御プログラムとは別ファイルとして前記サーバに格納されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の試験システム。
5. 前記複数のコンフィギュレーションデータは、１つのファイルにパッケージングされて前記サーバに格納されていることを特徴とする請求項４に記載の試験システム。
6. 前記複数のコンフィギュレーションデータは、前記制御プログラムに包含されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の試験システム。
7. 前記情報処理装置は、前記制御プログラムによりさらに、（iii）前記ユーザに選択された前記コンフィギュレーションデータを、前記サーバからダウンロードする機能が提供されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の試験システム。
8. 前記サーバは、前記複数のコンフィギュレーションデータに加えて、前記試験システムに異なる機能を提供するための複数のプログラムモジュールを格納しており、
   前記情報処理装置と前記サーバの少なくともひとつは、各プログラムモジュールについて、前記情報処理装置による当該プログラムモジュールの使用の許否に関するライセンス情報を保持しており、
   前記情報処理装置は、あるプログラムモジュールが実行されたとき、そのプログラムモジュールの使用が許諾されており、かつそのプログラムモジュールに対応するコンフィギュレーションデータが前記テスターハードウェアにインストールされている場合に、試験動作が可能となることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の試験システム。
9. サーバ、テスターハードウェアとともに被試験デバイスを試験する試験システムを構成する情報処理装置において実行される制御プログラムであって、
   前記サーバは、ネットワークを介して前記情報処理装置と接続され、前記試験システムに異なる機能を提供するための複数のコンフィギュレーションデータを格納し、
   前記テスターハードウェアはメモリを含み、当該メモリに格納されたコンフィギュレーションデータに応じて、少なくともその機能の一部が変更可能に構成されており、
   前記制御プログラムは、前記情報処理装置に、（i）前記試験システムのセットアップ時に、前記テスターハードウェアに書き込み可能な複数のコンフィギュレーションデータの候補をディスプレイに表示する機能と、（ii）ユーザにより選択されたコンフィギュレーションデータを前記テスターハードウェアの前記メモリに書き込む機能と、を提供することを特徴とする制御プログラム。
10. 前記制御プログラムは、すでにダウンロードされているコンフィギュレーションデータを候補として表示することを特徴とする請求項９に記載の制御プログラム。
11. 前記複数のコンフィギュレーションデータは、前記制御プログラムとは別ファイルとして前記サーバに格納されていることを特徴とする請求項９または１０に記載の制御プログラム。
12. 前記制御プログラムは、前記複数のコンフィギュレーションデータを包含していることを特徴とする請求項９に記載の制御プログラム。
13. 前記制御プログラムは、前記情報処理装置に、（iii）前記ユーザに選択された前記コンフィギュレーションデータを、前記サーバからダウンロードする機能を提供することを特徴とする請求項９に記載の制御プログラム。
14. 前記サーバは、前記複数のコンフィギュレーションデータに加えて、前記試験システムに異なる機能を提供するための複数のプログラムモジュールを格納しており、
    前記情報処理装置と前記サーバの少なくともひとつは、各プログラムモジュールについて、前記情報処理装置による当該プログラムモジュールの使用の許否に関するライセンス情報を保持しており、
    前記制御プログラムは、（iv）あるプログラムモジュールが実行されたとき、そのプログラムモジュールの使用が許諾されており、かつそのプログラムモジュールに対応するコンフィギュレーションデータが前記テスターハードウェアにインストールされている場合に、前記試験システムが動作が可能となるようプログラムされていることを特徴とする請求項９から１３のいずれかに記載の制御プログラム。
15. サーバ、テスターハードウェア、情報処理装置により構成される試験システムにおいて、前記テスターハードウェアにコンフィギュレーションデータを書き込む方法であって、
    前記サーバは、ネットワークを介して前記情報処理装置と接続され、
    前記テスターハードウェアはメモリを含み、当該メモリに格納されたコンフィギュレーションデータに応じて、少なくともその機能の一部が変更可能に構成されており、
    前記方法は、
    前記サーバが、前記試験システムに異なる機能を提供するための複数のコンフィギュレーションデータを格納するステップと、
    前記情報処理装置が、前記試験システムのセットアップ時に、前記テスターハードウェアに書き込み可能な複数のコンフィギュレーションデータの候補をディスプレイに表示するステップと、
    前記情報処理装置が、ユーザからの前記コンフィギュレーションデータの選択を受けるステップと、
    前記情報処理装置が、ユーザにより選択されたコンフィギュレーションデータを前記テスターハードウェアの前記メモリに書き込むステップと、
    を備えることを特徴とする方法。

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