JP2013212560A - ロボットシステムおよびロボット - Google Patents

Abstract

【課題】コネクターに接続されている例えばケーブル等の可撓性を有する長尺体を容易に引き回すことができるロボットシステムおよびロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１は、中空のコネクターハウジング９１と、コネクターハウジング９１内の気密性を保持する第１のパッキン９２および第２のパッキン９３とを有するコネクター９が接続される接続部８を備えている。このロボット１は、互いに連結されたアーム１４とアーム１５とさらに備えている。アーム１４は、回動軸Ｏ_３回りに回動可能に支持され、アーム１５は、回動軸Ｏ_４回りに回動可能に支持されている。また、接続部８は、この接続部８に接続されたコネクター９の引き出し方向が回動軸Ｏ_４方向となるように、アーム１４に設置されている。
【選択図】図１３

Description

本発明は、ロボットシステムおよびロボットに関する。

従来、過酸化水素蒸気などの腐食性の滅菌ガスを充満させた無菌作業室内に設置され、各種の作業を行うロボットが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなロボットは、滅菌ガスがロボット内部に侵入してモーターや配線等を腐食しないように耐食性を有している。また、ロボットに接続されるコネクターにおいても、内部の腐食を防止するため、パッキン等の密閉部材を有する大型のコネクターが用いられている。

また、従来、基台（ベース）と、基台に対し変位可能に支持されたロボットアームとを備えるロボットが知られている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載のロボットでは、ロボットアームは、６本のアーム（第１アーム、第２アーム、第３アーム、第４アーム、第５アーム、第６アーム）が基台から順に連結されている。そして、最も先端側に位置する第６アームには、カメラが装着可能となっている。このカメラは、第４アームに設置されたコネクターと、可撓性を有するケーブルを介して、接続されている。そして、ケーブルは、コネクターから上方に向かって引き出され、そこからカメラに向かって延在している。

しかしながら、このようなケーブルの引き回し態様（引出方向）では、パッキンを有するコネクターを用いると、例えば、ロボットが設置されている部屋の天井の高さにもよるが、その天井とケーブルとが干渉して（当接して）しまう。この場合、ケーブルは、ロボットアームの可動に伴って、天井との摩擦によって、破断してしまう。また、アームが回動した際に、他のアームとケーブルとが干渉するため、ロボットアームの動作範囲が狭くなるという問題があった。

特開２００５−２０５５７６号公報 特開２０１０−７６０５６号公報

本発明の目的は、コネクターに接続されている例えばケーブル等の可撓性を有する長尺体を容易に引き回すことができるロボットシステムおよびロボットを提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のロボットシステムは、中空のコネクターハウジングと、該コネクターハウジング内の気密性を保持するパッキンとを有するコネクターと、
前記コネクターが接続される接続部を備えるロボットとを備え、
前記ロボットは、互いに連結された２本のアームを備え、該２本のアームのうちの一方のアームは、第１の回動軸回りに回動可能に支持され、他方のアームは、第１の回動軸と交差する第２の回動軸回りに回動可能に支持されており、
前記接続部は、該接続部に接続された前記コネクターの引き出し方向が前記第２の回動軸方向となるように、前記一方のアームに設置されていることを特徴とする。
これにより、コネクターに例えばケーブル等の可撓性を有する長尺体が接続されている場合、当該コネクターを接続部に接続すると、長尺体（コネクター）の引き出し方向が確実に第２の回動軸方向となる。そして、このような引き出し方向は、ロボットの周囲と長尺体との干渉を気にせずに、ケーブルを容易に引き回すことができる。

本発明のロボットは、中空のコネクターハウジングと、該コネクターハウジング内の気密性を保持するパッキンとを有するコネクターが接続される接続部を備えるロボットであって、
互いに連結された２本のアームを備え、
前記２本のアームのうちの一方のアームは、第１の回動軸回りに回動可能に支持され、他方のアームは、第１の回動軸と交差する第２の回動軸回りに回動可能に支持されており、
前記接続部は、該接続部に接続された前記コネクターの引き出し方向が前記第２の回動方向となるように、前記一方のアームに設置されていることを特徴とする。
これにより、コネクターに例えばケーブル等の可撓性を有する長尺体が接続されている場合、当該コネクターを接続部に接続すると、長尺体（コネクター）の引き出し方向が確実に第２の回動軸方向となる。そして、このような引き出し方向は、ロボットの周囲と長尺体の干渉を気にせずに、ケーブルを容易に引き回すことができる。

本発明のロボットでは、前記接続部は、前記一方のアームと別体で構成され、中空の接続部本体と、該接続部本体内の気密性を保持する少なくとも１つの接続部用パッキンとを有することが好ましい。
これにより、接続部本体内の気密性が確実に維持され、当該接続部本体内に、外部から気体や液体が侵入するのを確実に防止することができる。

本発明のロボットでは、前記接続部は、前記一方のアームの外面に配置されており、
前記接続部本体は、前記一方のアームの外面側に向かって開口する第１の開口部と、前記第２の回動軸方向に向かって開口する第２の開口部とを有することが好ましい。
これにより、コネクターに例えばケーブル等の可撓性を有する長尺体が接続されている場合、当該コネクターを接続部に接続すると、長尺体の引き出し方向がより確実に第２の回動軸方向となる。そして、例えば長尺体の引き出し方向が鉛直上方である場合に比べ、長尺体の引き出し方向が第２の回動軸方向となる態様では、ロボットの周囲とケーブルとの干渉を気にせずに、ケーブルを容易に引き回すことができる。
本発明のロボットでは、前記第１の開口部および前記第２の開口部には、それぞれ、前記接続部用パッキンが設置されていることが好ましい。
これにより、接続部本体内の気密性が確実に維持され、当該接続部本体内に、外部から気体や液体が侵入するのをより確実に防止することができる。

本発明のロボットでは、前記他方のアームは、一端部に前記一方のアームが連結され、他端部に前記コネクターと電気的に接続されたマニピュレーターが装着されるマニピュレーター装着用アームが連結されていることが好ましい。
一方のアームは、他方のアームよりも動作範囲（回動範囲）が狭い。すなわち、一方のアームは、第１の回動軸回りに回動するが、他方のアームは、第２の回動軸回りに回動することの他に、一方のアームとともに第１の回動軸回りも回動することとなる。このように動作範囲が狭い一方のアームに接続部を設ける方が、コネクターに例えばケーブル等の可撓性を有する長尺体が接続されている場合、当該長尺体にとっては、好ましい。

本発明のロボットでは、前記他方のアームは、前記第２の回動軸方向に沿った長尺状をなすものであることが好ましい。
これにより、マニピュレーター用装着アームに装着されたマニピュレーターが把持する対象物の形状や大きさなどに応じて、マニピュレーターの姿勢を適宜変更することができ、よって、対象物を容易かつ確実に把持することができる。
本発明のロボットでは、前記接続部は、前記マニピュレーターに電力を供給する供給源と電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、コネクターが接続部に接続された状態で、供給源からマニピュレーターに電力を供給することができ、よって、マニピュレーターを作動させることができる。

本発明のロボットでは、前記第１の回動軸と前記第２の回動軸とは、直交していることが好ましい。
例えば、他方のアームが、第２の回動軸方向に沿った長尺状をなすものであり、その一端部に一方のアームが連結され、他端部には、コネクターと電気的に接続されたマニピュレーターが装着されるマニピュレーター装着用アームが連結されている場合、当該マニピュレーター装着用アームに装着されたマニピュレーターを所望の位置に配置させることができる。
本発明のロボットでは、前記コネクターハウジングは、筒体で構成されており、該筒体の両端側にそれぞれ前記パッキンが設置されていることが好ましい。
これにより、コネクターハウジング内の気密性が確実に維持され、当該コネクターハウジング内に、外部から気体や液体が侵入するのを確実に防止することができる。

本発明のロボット（ロボットシステム）を正面側から見た斜視図である。 本発明のロボット（ロボットシステム）を背面側から見た斜視図である。 本発明のロボット（ロボットシステム）の上部の拡大図である。 本発明のロボットの概略図である。 本発明のロボット（ロボットシステム）の主要部のブロック図である。 本発明のロボット（ロボットシステム）の使用状態（設置状態）を示す斜視図である。 本発明のロボットが備える複数本のアームのうちの代表的な１本のアームの分解斜視図である。 図７中のＡ−Ａ線断面図である。 図７中のＢ−Ｂ線断面図である。 本発明のロボットが備える枠体の拡大断面図である。 図７中のＣ−Ｃ線断面図である。 図７中の矢印Ｄ方向から見た図（側面図）である。 図３中のＥ−Ｅ線断面図（接続状態を示す図）である。 図３中のＥ−Ｅ線断面図（接続解除状態を示す図）である。

以下、本発明のロボットシステムおよびロボットを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明のロボット（ロボットシステム）を正面側から見た斜視図、図２は、本発明のロボット（ロボットシステム）を背面側から見た斜視図、図３は、本発明のロボット（ロボットシステム）の上部の拡大図、図４は、本発明のロボットの概略図、図５は、本発明のロボット（ロボットシステム）の主要部のブロック図、図６は、本発明のロボット（ロボットシステム）の使用状態（設置状態）を示す斜視図、図７は、本発明のロボットが備える複数本のアームのうちの代表的な１本のアームの分解斜視図、図８は、図７中のＡ−Ａ線断面図、図９は、図７中のＢ−Ｂ線断面図、図１０は、本発明のロボットが備える枠体の拡大断面図、図１１は、図７中のＣ−Ｃ線断面図、図１２は、図７中の矢印Ｄ方向から見た図（側面図）、図１３および図１４は、それぞれ、図３中のＥ−Ｅ線断面図（図１３は接続状態を示し、図１４は接続解除状態を示す）である。なお、以下では、説明の都合上、図１〜図５および図６〜図１３中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。また、図１〜図４および図６中の基台側を「基端」、その反対側を「先端」と言う。また、図７〜図１２中のアームの長手方向を「ｘ軸方向」、ｘ軸方向に対し垂直かつ水平な方向を「ｙ軸方向」、ｘ軸方向およびｙ軸方向のいずれにも垂直な方向を「ｚ軸方向」と言う。

図１〜図３に示すように、ロボット（産業用ロボット）１と、ロボット１（接続部８）に接続されたコネクター組立体９０（コネクター９）とを備えるロボットシステム１０は、例えば腕時計等のような精密機器を検査する検査工程で用いることができる。
ロボット１は、基台１１と、４本のアーム（リンク）１２、１３、１４、１５と、リスト（リンク）１６とを備え、これらが順に連結された垂直多関節（６軸）ロボットである。なお、垂直多関節ロボットでは、基台１１と、アーム１２〜１５と、リスト１６とを総称して「アーム」と言うこともでき、基台１１を「第１アーム」、アーム１２を「第２アーム」、アーム１３を「第３アーム」、アーム１４を「第４アーム」、アーム１５を「第５アーム」、リスト１６を「第６アーム」と分けて言うことができる。

図４に示すように、アーム１２〜１５、リスト１６は、それぞれ、基台１１に対し独立して変位可能に支持されている。
基台１１とアーム１２とは、関節（ジョイント）１７１を介して連結されている。そして、アーム１２は、基台１１に対し、鉛直方向と平行な回動軸Ｏ_１回りに回動可能となっている。この回動軸Ｏ_１回りの回動は、モーター４０１の駆動によりなされる。なお、モーター４０１の駆動は、モーター４０１とケーブル（図示せず）を介して電気的に接続されたモータードライバー３０１により制御される（図５参照）。

アーム１２とアーム１３とは、関節（ジョイント）１７２を介して連結されている。そして、アーム１３は、アーム１２（基台１１）に対し、水平方向と平行な回動軸Ｏ_２回りに回動可能となっている。この回動軸Ｏ_２回りの回動は、モーター４０２の駆動によりなされる。なお、モーター４０２の駆動は、モーター４０２とケーブル（図示せず）を介して電気的に接続されたモータードライバー３０２により制御される（図５参照）。

アーム１３とアーム１４とは、関節（ジョイント）１７３を介して連結されている。そして、アーム１４は、アーム１３（基台１１）に対し、水平方向と平行な回動軸Ｏ_３（第１の回動軸）回りに回動可能となっている。この回動軸Ｏ_３回りの回動は、モーター４０３の駆動によりなされる。なお、モーター４０３の駆動は、モーター４０３とケーブル（図示せず）を介して電気的に接続されたモータードライバー３０３により制御される（図５参照）。

アーム１４（一方のアーム）とアーム１５（他方のアーム）とは、関節（ジョイント）１７４を介して連結されている。そして、アーム１５は、アーム１４（基台１１）に対し、アーム１４の中心軸方向と平行な、すなわち、回動軸Ｏ_３と直交する（交差する）回動軸Ｏ_４（第２の回動軸）回りに回動可能となっている。この回動軸Ｏ_４回りの回動は、モーター４０４の駆動によりなされる。なお、モーター４０４の駆動は、モーター４０４とケーブル（図示せず）を介して電気的に接続されたモータードライバー３０４により制御される（図５参照）。

アーム１５とリスト１６とは、関節（ジョイント）１７５を介して連結されている。そして、リスト１６は、アーム１５（基台１１）に対し、水平方向（ｙ軸方向）と平行な回動軸Ｏ_５回りに回動可能となっている。この回動軸Ｏ_５回りの回動は、モーター４０５の駆動によりなされる。なお、モーター４０５の駆動は、モーター４０５とケーブル（図示せず）を介して電気的に接続されたモータードライバー３０５により制御される（図５参照）。また、リスト１６は、関節（ジョイント）１７６を介して、回動軸Ｏ_５と垂直な回動軸Ｏ_６回りにも回動可能となっている。この回動軸Ｏ_６回りの回動は、モーター４０６駆動によりなされる。なお、モーター４０６の駆動は、モーター４０６とケーブル（図示せず）を介して電気的に接続されたモータードライバー３０６により制御される（図５参照）。

そして、このように、回動軸Ｏ_１〜Ｏ_６同士が「平行」・「直交」・「ねじれの位置」の位置関係にあることにより、後述するマニピュレーター１８を所望の位置に配置させることができる。
なお、モーター４０１〜４０６としては、特に限定されず、例えば、サーボモーターを用いるのが好ましい。また、前記各ケーブルは、それぞれ、ロボット１を挿通している。

図５に示すように、ロボット１は、制御手段としての、ＣＰＵ（Central Processing Unit）が内蔵されたパーソナルコンピューター（ＰＣ）２０と電気的に接続されている。そして、パーソナルコンピューター２０は、アーム１２〜１５、リスト１６をそれぞれ独立して作動させることができる、すなわち、モータードライバー３０１〜３０６を介して、モーター４０１〜４０６をそれぞれ独立して制御することができる。この制御プログラムは、パーソナルコンピューター２０に内蔵された記録媒体に予め記憶されている。

図６に示すように、本実施形態では、ロボット１は、気密性が保持されたチャンバー（アイソレーター）１００内に設置される。このチャンバー１００は、滅菌ガス（例えば過酸化水素蒸気）を発生させる滅菌ガス発生装置２００と、パイプ３００を介して、連通している。そして、ロボット１は、作業の開始前や作業の終了後に、滅菌ガス発生装置２００からの滅菌ガスより滅菌処理が施される。なお、パイプ３００には、その長手方向の途中に、バルブ４００が設置されている。このバルブ４００は、チャンバー１００と滅菌ガス発生装置２００とが連通する連通状態と、この連通状態を遮断する遮断状態とに切り替えるものである。

前述したように、ロボット１は、基台１１と、アーム１２〜１５と、リスト１６とを備えている。
図１、図２に示すように、基台１１は、ロボット１が垂直多関節ロボットの場合、当該垂直多関節ロボットの最も下方に位置し、チャンバー１００の床１０１に固定される部分である。この固定方法としては、特に限定されず、例えば、図１、図２に示す本実施形態では、複数本のボルト１１１による固定方法を用いている。なお、基台１１のチャンバー１００での固定箇所のとしては、床１０１の他に、チャンバー１００の壁１０２や天井１０３とすることもできる。
基台１１は、中空の基台本体（ハウジング）１１２を有している。基台本体１１２は、円筒状をなす円筒状部１１３と、当該円筒状部１１３の外周部に一体的に形成された、箱状をなす箱状部１１４とに分けることができる。そして、このような基台本体１１２には、例えば、モーター４０１やモータードライバー３０１〜３０６が収納されている。

アーム１２〜１５は、それぞれ、中空のアーム本体２と、駆動機構３と、封止手段４とを有しており、基台１１に対する配置箇所、すなわち、ロボット１全体における配置箇所と、その他に外形形状が異なること以外は、ほぼ同じ構成である。なお、以下では、説明の都合上、アーム１２が有するアーム本体２、駆動機構３、封止手段４をそれぞれ「アーム本体２ａ」、「駆動機構３ａ」、「封止手段４ａ」と言い、アーム１３が有するアーム本体２、駆動機構３、封止手段４をそれぞれ「アーム本体２ｂ」、「駆動機構３ｂ」、「封止手段４ｂ」と言い、アーム１４が有するアーム本体２、駆動機構３、封止手段４をそれぞれ「アーム本体２ｃ」、「駆動機構３ｃ」、「封止手段４ｃ」と言い、アーム１５が有するアーム本体２、駆動機構３、封止手段４をそれぞれ「アーム本体２ｄ」、「駆動機構３ｄ」、「封止手段４ｄ」と言うことがある。

アーム１２は、基台１１の上端部（先端部）に水平方向に対し傾斜した姿勢で、基端部が連結されている。このアーム１２では、駆動機構３ａがモーター４０２を有しており、アーム本体２ａ内に収納している。また、アーム本体２ａ内は、封止手段４ａにより気密封止されている。
アーム１３は、その基端部がアーム１２の先端部に連結されている。このアーム１３では、駆動機構３ｂがモーター４０３を有しており、アーム本体２ｂ内に収納している。また、アーム本体２ａ内は、封止手段４ｂにより気密封止されている。
アーム１４は、その基端部がアーム１３の先端部に連結されている。このアーム１４では、駆動機構３ｃがモーター４０４を有しており、アーム本体２ｃ内に収納している。また、アーム本体２ｃ内は、封止手段４ｃにより気密封止されている。

アーム１５は、アーム１４の先端部にその中心軸方向と平行に、基端部（一端部）が連結されている。このアーム１５は、回動軸Ｏ_４方向に沿った長尺状をなしており、駆動機構３ｄがモーター４０５、４０６を有し、アーム本体２ｄ内に収納している。また、アーム本体２ｄ内は、封止手段４ｄにより気密封止されている。
アーム１５の先端部（他端部）には、リスト１６が連結されている。図３に示すように、このリスト１６には、その先端部（アーム１５と反対側の端部）に、エンドファクターとして、例えば、腕時計等のような精密機器を把持するマニピュレーター１８が着脱自在に装着される。このように、リスト１６は、マニピュレーター１８が装着自在されるマニピュレーター装着用アームとして機能する。

なお、マニピュレーター１８としては、特に限定されず、例えば、複数本（図３に示す構成では３本）の指部（フィンガー）１８１を有する構成のものが挙げられる。各指部１８１は、それぞれ、マニピュレーター１８に内蔵されているモーター４０７の駆動により、一括して互いに接近・離間することができる。そして、このロボット１は、互いに接近した指部１８１同士の間で精密機器を把持したまま、アーム１２〜１５やリスト１６等の動作を制御することにより、当該精密機器を搬送することができる。モーター４０７の駆動は、モーター４０７とケーブル（図示せず）を介して電気的に接続されたモータードライバー３０７により制御される（図５参照）。

図７に示すように、リスト１６は、円筒状をなすリスト本体１６１と、リスト本体１６１と別体で構成され、当該リスト本体１６１の基端部に設けられ、リング状をなす支持リング１６２とを有している。
リスト本体１６１の先端面１６３は、平坦な面となっており、マニピュレーターが装着される装着面となる。また、リスト本体１６１は、アーム１５の駆動機構３ｄに連結されており、当該駆動機構３ｄのモーター４０６の駆動により、回動軸Ｏ_６回りに回動する。
支持リング１６２は、アーム１５の駆動機構３ｄに連結されており、当該駆動機構３ｄのモーター４０５の駆動により、リスト本体１６１ごと回動軸Ｏ_５回りに回動する。

次に、アーム１２〜１５について詳細に説明するが、これらのアーム１２〜１５は、前述したようにロボット１全体における配置箇所と外形形状とが異なること以外は、ほぼ同じ構成であるため、以下、アーム１５について代表的に説明する。
図７に示すように、アーム１５は、アーム本体２（２ｄ）と、駆動機構３（３ｄ）と、封止手段４（４ｄ）とを有している。

アーム本体２は、ｘ軸方向に沿った長尺体で構成され、当該長尺体は、先端側の一対の舌片部２４ａ、２４ｂと、基端側の根元部２５とからなる。舌片部２４ａと舌片部２４ｂとは、ｙ軸方向に離間している。そして、舌片部２４ａと舌片部２４ｂとの間に、リスト１６の支持リング１６２が配置されている。さらに、舌片部２４ａと支持リング１６２との間には、円筒部材５０ａが介挿され、舌片部２４ｂと支持リング１６２との間にも、円筒部材５０ｂが介挿されている。これにより、リスト１６がアーム１５に保持される。

また、アーム本体２は、駆動機構３を収納する収納部２１を有している。収納部２１は、アーム本体２の中心軸２２を介して配置された２つの側面２３ａ、２３ｂ（外面）に開口した凹部で構成されている（図１１参照）。これにより、駆動機構３に対するメンテナンスを行なう際、そのメンテナンスが側面２３ａ側からも可能であり、側面２３ｂ側からも可能である。例えば、モーター４０５を交換する場合、側面２３ａ側からその交換を容易に行なうことができ、モーター４０６を交換する場合、側面２３ｂ側からその交換を容易に行なうことができる。このようにロボット１は、メンテナンスに優れたものとなっている。

アーム本体２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、各種金属材料を用いることができ、これらの中でも、特にアルミニウムまたはアルミニウム合金が好ましい。アーム本体２が金型を用いて成形される鋳物である場合、当該アーム本体２の構成材料にアルミニウムまたはアルミニウム合金を用いることにより、金型成形を容易に行なうことができる。
なお、前述した基台１１の基台本体１１２の構成材料や、リスト１６の支持リング１６２の構成材料も、アーム本体２の構成材料と同様のものを用いることができる。また、リスト１６のリスト本体１６１の構成材料は、ステンレス鋼を用いるのが好ましい。

図７、図１１に示すように、駆動機構３は、モーター４０５、４０６を有している。モーター４０５、４０６は、いずれも収納部２１内で根元部２５側、すなわち、アーム本体２に対し基台１１側に偏在している。モーター４０５、４０６は、比較的重いものである。このため、アーム１４をアーム１５ごと回動軸Ｏ_３回りに回動せるとき、アーム１５（収納部２１）内においてモーター４０５、４０６が根元部２５側にあった方が、その回動を迅速に行なうことができる。

モーター４０５は、棒状をなし、その軸回りに回転可能支持されたシャフト（軸部材）４０５ａを有し、このシャフト４０５ａが側面２３ａ側に向かって突出している（図１１参照）。モーター４０６は、棒状をなし、その軸回りに回転可能に支持されたシャフト（軸部材）４０６ｂを有し、このシャフト４０６ａが側面２３ａ側に向かって突出している（図１１参照）。

また、駆動機構３は、モーター４０５のシャフト４０５ａに連結された第１のプーリー３１と、第１のプーリー３１に離間して舌片部２４ａに配置された第２のプーリー３２と、第１のプーリー３１と第２のプーリー３２とに掛け渡されたベルト（タイミングベルト）３３とをさらに有している。第１のプーリー３１と第２のプーリー３２とベルト３３とは、モーター４０５のシャフト４０５ａと同様に、側面２３ａ側に位置しており、シャフト４０５ａの回転力をリスト１６に伝達して、当該リスト１６を回動軸Ｏ_５（第２のプーリー３２）回りに確実に回動させることができる。

また、駆動機構３は、側面２３ｂ側にも、モーター４０６のシャフト４０６ａに連結された第１のプーリー３１と、第１のプーリー３１に離間して舌片部２４ｂに配置された第２のプーリー３２と、第１のプーリー３１と第２のプーリー３２とに掛け渡されたベルト３３とをさらに有している。この側面２３ｂ側の第１のプーリー３１と第２のプーリー３２とベルト３３とは、モーター４０６のシャフト４０６ａの回転力をリスト１６に伝達して、当該リスト１６を回動軸Ｏ_６回りに確実に回動させることができる。

図１１に示すように、モーター４０５とモーター４０６とは、アーム本体２の中心軸２２を対称中心（対称点）として対称に配置されている（点対称）。さらに、モーター４０５に順に連結する側面２３ａ側の第１のプーリー３１、第２のプーリー３２、ベルト（タイミングベルト）３３と、モーター４０６に順に連結する側面２３ｂ側の第１のプーリー３１、第２のプーリー３２、ベルト３３とも、中心軸２２を対称中心として対称に配置されている（点対称）。
このような対称な配置は、アーム１５（アーム本体２）の小型化に寄与し、アーム１５の可動範囲をできる限り広く確保することができる。また、後述するように、側面２３ａ側の封止手段４（４ｄ）と、側面２３ｂ側の封止手段４（４ｄ）とを共通の構成のものとすることができる。

次に、封止手段４（４ｄ）について説明する。アーム１５では、封止手段４が側面２３ａ側と側面２３ｂ側とにそれぞれ設けられている。側面２３ａ側の封止手段４と、側面２３ｂ側の封止手段４とは、同じ構成であるため、以下、側面２３ａ側の封止手段４について代表的に説明する。
封止手段４は、収納部２１を気密的に封止するものである。この封止手段４により、収納部２１内の駆動機構３（３ｄ）に対する防水機能、防塵機能が発揮される。また、滅菌ガス発生装置２００からの滅菌ガスは、駆動機構３を腐食させることがあるが、封止手段４により、その腐食を確実に防止することができる。

図７〜図９に示すように、封止手段４は、枠体５と、パッキン７と、カバー６とを有し、これらがこの順にアーム本体２側から重ねられる。
図７に示すように、枠体５は、アーム本体２の収納部２１の側面２３ａ（外面）に開口する開口部２１１の縁部２１２に沿った枠状をなす部材である。この部材の厚さは、例えば、１０ｍｍ程度とすることができる。

図８、図９に示すように、枠体５は、その裏側の面５１が縁部２１２に対し接着剤層（接着剤）７０を介して接合されている。接着剤層７０は、縁部２１２に沿って形成されている。これにより、枠体５の裏側の面５１とアーム本体２の縁部２１２との間に間隙が生じるのが確実に防止され、収納部２１内の気密性を確保することができる。このように接着剤層７０は、枠体５の裏側の面５１とアーム本体２の縁部２１２との間を埋める「ガスケット（パッキン）」としても機能している。

ロボット１では、接着剤層７０は、枠体５のアーム本体２に対する主たる固定を担っている。さらに、ロボット１では、枠体５のアーム本体２に対する補助的な固定を複数本（例えば６本）のボルト６０が担っている（図７、図９参照）。これにより、枠体５のアーム本体２に対する固定がより強固な固定となる。また、枠体５のアーム本体２に固定する際に、接着剤層７０が硬化するまでボルト６０で仮固定をすることもできる。

枠体５には、各ボルト６０がそれぞれ挿入される挿入孔５３が、表側の面５２から裏側の面５１まで貫通して形成されている。図７、図１２に示すように、各挿入孔５３は、それぞれ、枠体５の周方向に沿って間隔を置いて配置されている。また、図９に示すように、各挿入孔５３は、それぞれ、「ざぐり」が施されており、内径が異なる２つの部分で構成されている、すなわち、表側の面５２側の内径が大となる大径部５３１と、裏側の面５１側の内径が小となる小径部５３２とで構成されている。これにより、各ボルト６０の頭部６０１が枠体５の表側の面５２から突出するのが防止され、よって、当該頭部６０１が、後述するパッキン７の設置を阻害するのを確実に防止することができる。

一方、アーム本体２の縁部２１２の各挿入孔５３に対応する部分には、雌ネジ２６が形成されている。そして、各雌ネジ２６に、枠体５の各挿入孔５３にそれぞれ挿入されたボルト６０が螺合することができる。これにより、前述した補助的な固定がなされる。
なお、図８、図９に示すように、アーム本体２の縁部２１２では、雌ネジ２６が形成されている部分と、それ以外の部分とで、厚さが異なっており、前者（以下「肉厚部２１３」と言う）の厚さｔ_１は、雌ネジ２６が形成されている分だけ、後者（以下「薄肉部２１４」と言う）の厚さｔ_２よりも厚い。しかしながら、薄肉部２１４は、肉厚部２１３よりも形成領域が広いため、アーム本体２の軽量化を図ることができる。
ボルト６０としては、特に限定されず、例えば、六角レンチを用いて締結・締結解除を行なう、いわゆる「六角穴付きボルト」を用いるのが好ましい。

図７、図１２に示すように、枠体５の表側の面５２には、当該枠体５に対しカバー６を固定する複数本（例えば図示の構成では１０本）のボルト８０がそれぞれ螺合する複数（例えば図示の構成では１０個）の雌ネジ５４が形成されている。各雌ネジ５４は、枠体５の周方向に沿って間隔を置いて配置される。これにより、これらのボルト８０による固定力がほぼ均一に分散されることとなり、よって、カバー６を確実に固定することができる。また、カバー６が枠体５との間でパッキン７を均一に圧縮することができ、よって、当該パッキン７による気密性をより確実に確保することができる（図８（ｂ）、図９参照）。
なお、図８に示すように、各雌ネジ５４は、それぞれ、枠体５の厚さ方向の途中まで形成されているのが好ましい、すなわち、裏側の面５１にまでは至っていないのが好ましい。

また、枠体５の表側の面５２には、パッキン７が設置される（載置される）。このように、表側の面５２は、パッキン７が設置されるパッキン設置部としても機能する。
そして、表側の面５２に設置されたパッキン７をカバー６で圧縮する。このとき、枠体５では、規制部５５により、パッキン７に対する圧縮限界を規制することができる。これにより、パッキン７を過不足なく圧縮することができ、よって、収納部２１内の気密性を好適に確保することができる。また、例えば定期的なメンテナンス時にパッキン７を複数回にわたって交換したとしても、各回において、当該パッキン７に対し確実に一定の圧縮限界を規制することができる。このようにロボット１は、メンテナンスに優れている。

このような規制部５５は、表側の面５２に突出し、枠体５の周方向に沿って形成されたリブで構成されている。規制部５５の高さｈとしては、特に限定されず、例えば、外力を付与しない自然状態でのパッキン７の厚さｔ_３としたとき、厚さｔ_３を１０〜４０％圧縮するのが好ましく、２０〜３０％圧縮するのがより好ましい（図８参照）。例えば、高さｈが１．５ｍｍである場合、厚さｔ_３を２ｍｍとすると、パッキン７を０．５ｍｍ（２５％）圧縮することができる。

枠体５には、その外側の縁部の、基端側の部分（少なくとも一部）に面取りを施してなる面取り部５６が形成されている。これにより、枠体５に装着されるカバー６を、面取り部５６の分だけ、小さいものとすることができ、よって、アーム１５（ロボット１）の軽量化を図ることができる。また、面取り部５６の分だけ、アーム１５の周辺との干渉が防止され、よって、アーム１５の可動範囲をできる限り広く確保することができる。

図１２に示すように、枠体５は、アーム本体２の側面視で、モーター４０５、第１のプーリー３１、第２のプーリー３２およびベルト３３のいずれにも重なっていない。これにより、メンテナンス時にモーター４０５、第１のプーリー３１、第２のプーリー３２およびベルト３３のいずれかを収納部２１から取り出す際に、そのいずれも図１２中の紙面手前側（図７中の矢印Ｄと反対方向）に引張り出せば、その取り出しを容易に行なうことができる。このようにロボット１は、メンテナンスに優れている。

枠体５の構成材料としては、特に限定されず、例えば、各種金属材料を用いることができ、これらの中でも、アルミニウムまたはアルミニウム合金が好ましい。枠体５がその母材となる金属板から切削加工で得られるものである場合、当該枠体５の構成材料にアルミニウムまたはアルミニウム合金を用いることにより、その切削加工を容易に行なうことができる。また、枠体５に不動態処理またはめっき処理を容易かつ確実に施すことができ、よって、後述する第１の保護膜５７を確実に形成することができる。

以上のような構成の枠体５と同様のものをアーム本体２と一体的に形成しようとした場合、鋳物であるアーム本体２は、その大きさが、枠体５の大きさ分よりも大きく、増大してしまう。その結果、アーム本体２の重量も増加することとなり、アーム本体２の動作スピードが減少してしまう。しかしながら、ロボット１では、アーム本体２と枠体５とが別体で構成されているため、このような不具合が生じるのを防止することができる。また、既存の従来のロボットに対して、枠体５を有する封止手段４を増設することも容易に行なうことができる。
また、例えばメンテナンスを繰り返したことで、仮に枠体５の雌ネジ５４が破損した、すなわち、雌ネジ５４のネジ山が潰れたとしても、枠体５のみを交換しさえすれば、その交換された枠体５にカバー６を確実に装着することができ、よって、ロボット１を安全に使用することができる。

図１０に示すように、枠体５には、第１の保護膜５７および第２の保護膜５８が形成されている。
第１の保護膜５７は、枠体５の少なくとも各雌ネジ５４に（本実施形態では枠体５の表面全体に）形成されている。この第１の保護膜５７は、枠体５に不動態処理またはめっき処理を施してなる膜である。前述したように滅菌ガスは駆動機構３を腐食させることがあるが、第１の保護膜５７により、特に各雌ネジ５４での腐食を確実に防止することができる。

なお、不動態処理としては、アルマイト処理が好ましく、めっき処理としては、無電解ニッケルめっきが好ましい。このような処理は、耐食性に優れる。また、第１の保護膜５７を形成する際に、第１の保護膜５７の厚さｔ_４の管理を容易に行なうことができ、よって、所望の厚さの第１の保護膜５７を得る。
第１の保護膜５７の厚さｔ_４としては、特に限定されず、例えば、１０〜１００μｍであるのが好ましく、３０〜８０μｍであるのがより好ましい。

第２の保護膜５８は、枠体５の各雌ネジ５４以外の部分に（本実施形態では枠体５の各雌ネジ５４と裏側の面５１とを除く部分に）、第１の保護膜５７に重ねて形成されている。この第２の保護膜５８は、撥液性を有する材料を塗布してなる膜である。例えば滅菌ガス中に薬剤が含まれている場合、その薬剤の種類によっては、枠体５に付着して影響を及ぼすことがある。しかしながら、第２の保護膜５８により、薬剤の付着を確実に防止することができる。
なお、撥液性を有する材料としては、フッ素系材料を用いるのが好ましい。このような材料は、耐薬品性に優れる。また、仮に薬剤が枠体５に付着したとしても、当該薬剤を容易に拭き取ることができる。また、防汚機能も有しており、例えば枠体５に塵や埃、油分が付着したとしても、これらを容易に拭き取ることができる。
第２の保護膜５８の厚さｔ_５としては、特に限定されず、例えば、１０〜５０μｍであるのが好ましく、２０〜４０μｍであるのがより好ましい。第２の保護膜５８の水との接触角としては、特に限定されず、例えば、１００〜１５０度であるのが好ましく、１００〜１２０度であるのがより好ましい。

枠体５には、平板状をなすカバー６が着脱自在に装着される。この装着状態のカバー６で、収納部２１を覆うことができる。これにより、駆動機構３を保護することができるとともに、作動中の駆動機構３に誤って手等が触れるのを確実に防止することができる。
このカバー６には、枠体５の各雌ネジ５４にそれぞれ対応する位置に、ボルト８０が挿通する挿通孔６１が形成されている。各挿通孔６１は、それぞれ、カバー６の厚さ方向に貫通する貫通孔で構成されている。そして、枠体５の各雌ネジ５４に、カバー６の各挿通孔６１にそれぞれ挿入されたボルト８０が螺合することができる。これにより、カバー６が枠体５に装着される、すなわち、装着状態となる。なお、この装着状態では、前述したようにパッキン７が圧縮状態となっているため、アーム本体２の収納部２１内の気密性が確実に保持されている。

また、装着状態からボルト８０を弛めることより、カバー６を枠体５から取り外すことができる。このカバー６を取り外した状態で、駆動機構３に対するメンテナンスを行なう作業者は、枠体５を介して、アーム本体２の収納部２１に指等を挿入して、例えばモーター４０５の交換等のメンテナンスを容易に行なうことができる。
このメンテナンス後に、ボルト８０を介してカバー６を再度装着すると、パッキン７が圧縮状態となり、よって、アーム本体２の収納部２１内の気密性を再度確実に保持することができる。このようにロボット１では、メンテナンスの前後に関わらず、収納部２１内の気密性を確実に保持することができる。

カバー６は、全体が平坦な金属製の平板（例えば厚さが２ｍｍ程度）で構成され、その金属材料としては、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼を用いるのが好ましい。これにより、仮にカバー６の表側の面６２に凹凸が形成されている場合に比べて、表側の面６２に塵や埃等が堆積するのを防止または抑制することができる。また、仮に塵や埃等が堆積したとても、これらを容易に拭き取ることができる。

なお、ボルト８０としては、特に限定されず、例えば、スパナを用いて締結・締結解除を行なう、いわゆる「六角ボルト」や、六角レンチを用いて締結・締結解除を行なう、いわゆる「六角穴付きボルト」を用いることができ、これらの中でも特に、「六角ボルト」が好ましい。「六角ボルト」は、ボルト８０の頭部８０１に、「六角穴付きボルト」程、凹凸がないため、塵や埃等が堆積するのが防止または抑制される。また、仮に塵や埃等が堆積したとても、これらを容易に拭き取ることができる。

枠体５とカバー６との間には、圧縮状態のパッキン７が介挿されている。パッキン７は、枠体５と同様に、枠状をなす部材である。この部材の厚さは、例えば、２ｍｍ程度とすることができる。
また、パッキン７には、枠体５の各雌ネジ５４にそれぞれ対応する位置に、ボルト８０が挿通する挿通孔７１が形成されている。各挿通孔７１は、それぞれ、パッキン７の厚さ方向に貫通する貫通孔で構成されている。そして、各ボルト８０は、それぞれ、挿通孔７１を挿通した状態で、枠体５の雌ネジ５４螺合する（図８（ｂ）参照）。これにより、パッキン７の位置決めがなされる。

パッキン７の構成材料としては、特に限定されず、例えば、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン−プロピレンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料（特に加硫処理したもの）や、スチレン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。

図１〜図３、図１３および図１４に示すように、ロボット１は、アーム１４の外面上に設置された接続部（ロボット側コネクター）８を備えている。この接続部８には、コネクター組立体９０が有するコネクター（マニピュレーター側コネクター）９が接続される。
図１３、図１４に示すように、接続部８は、中空の接続部本体（アタッチメント）８１と、接続部本体８１内の気密性を保持する第１のパッキン（第１の接続部用パッキン）８２および第２のパッキン（第２の接続部用パッキン）８３と、複数本の端子８４と、各端子８４を一括して支持する支持部材（ハウジング）８５とを有している。

接続部本体８１は、アーム１４（アーム本体２ｃ）と別体で構成され、外形形状が箱形をなす部材である、すなわち、底面８１１と、底面８１１に対向して配置された天面８１２と、底面８１１と天面８１２との間に配置された４枚の側面８１３とを有する部材である。
なお、図３に示す構成では、接続部本体８１は、アーム１４に対し複数本のボルト８６で固定されている。各ボルト８６に螺合する雌ネジ２８は、アーム１４のアーム本体２ｃに形成されている（図１３、図１４参照）。

この接続部本体８１の底面８１１には、下方に向かって、すなわち、アーム１４の外面側に向かって開口する第１の開口部８１４が形成されている。また、アーム１４のアーム本体２ｃの第１の開口部８１４に臨む位置には、アーム本体２ｃの壁部を貫通する貫通孔２７が形成されている。そして、後述する各端子８４に接続されたケーブル１９が、第１の開口部８１４および貫通孔２７を順に挿通して、マニピュレーター１８に電力を供給する供給源としてのバッテリー５００まで到達することができる。なお、バッテリー５００は、ロボット１の基台１１の下部に配置されている（図１、図２参照）。

また、４枚の側面８１３のうちの回動軸Ｏ_４方向、すなわち、先端方向に臨む側面８１３ａには、その方向に向かって開口する第２の開口部８１５が形成されている。これにより、第２の開口部８１５に支持部材８５を挿入することができ、当該支持部材８５に支持された各端子８４を一括して先端方向に向かって突出させた状態とすることができる。そして、各端子８４（接続部８）に接続されたコネクター９から延びる、可撓性を有するケーブル（長尺体）９０１の引き出し方向が、回動軸Ｏ_４方向となる（図１３参照）。

このようなケーブル９０１（コネクター９）の引き出し方向が回動軸Ｏ_４方向である態様は、例えばケーブル９０１の引き出し方向が鉛直上方である場合に比べ、ロボット１の周囲とケーブル９０１との干渉やアーム１２、１３とケーブル９０１との干渉を気にせずに、ケーブル９０１をマニピュレーター１８まで容易に引き回すことができる（図３参照）。

図１３、図１４に示すように、接続部本体８１（接続部８）は、回動軸Ｏ_３および回動軸Ｏ_４のいずれからも離間した状態で、アーム１４上に配置されている。
アーム１４は、アーム１５よりも動作範囲（回動範囲）が狭い。すなわち、アーム１４は、回動軸Ｏ_３回りに回動するが、アーム１５は、回動軸Ｏ_４回りに回動することの他に、アーム１４とともに回動軸Ｏ_３回りも回動することとなる。このように動作範囲が狭いアーム１４に接続部本体８１を設ける方が、引き回されるケーブル９０１にとっては、好ましい。
また、アーム１５上に接続部本体８１が配置されている場合、アーム１５を回動軸Ｏ_４回りに回動すると、アーム１３と接続部本体８１とが干渉し、アーム１５の動作範囲が狭くなるため、アーム１４に接続部本体８１を設ける方が好ましい。

接続部本体８１は、回動軸Ｏ_３との距離が最も小さくなるようにアーム１４に配置されている。本実施形態では、アーム１３の中心軸とアーム１４の中心軸とが直交する状態において、アーム１３の中心軸上に接続部本体８１が配置される。なお、ここでアーム１３の中心軸とは、回動軸Ｏ_２と回動軸Ｏ_３とを結ぶ軸であり、アーム１４の中心軸とは、回動軸Ｏ_３と回動軸Ｏ_５とを結ぶ軸又は回動軸Ｏ_４である。
なお、接続部本体８１の構成材料としては、特に限定されず、例えば、アーム本体２の構成材料と同様のものを用いることができる。

接続部本体８１の第１の開口部８１４には、第１のパッキン８２が設置され、第２の開口部８１５には、第２のパッキン８３が設置されている
第１のパッキン８２は、リング状をなし、接続部本体８１とアーム１４との境界部を気密封止する部材である。第２のパッキン８３は、リング状をなし、接続部本体８１と、当該接続部本体８１に挿入される支持部材８５とのとの境界部を気密封止する部材である。このような第１のパッキン８２および第２のパッキン８３により、接続部本体８１内の気密性が確実に維持され、当該接続部本体８１内に滅菌ガス等が侵入するのを確実に防止することができる。
なお、第１のパッキン８２および第２のパッキン８３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、封止手段４のパッキン７の構成材料と同様のものを用いることができる。

支持部材８５は、筒状をなす部材で構成され、その基端部が接続部本体８１の第２の開口部８１５に挿入されている。
支持部材８５の内周部には、固定板８５１が突出形成されている。固定板８５１は、その面方向に対して垂直な方向に、各端子８４をそれぞれ支持、固定することができる。
また、支持部材８５の外周部には、その外径が拡径したフランジ８５２が突出形成されている。支持部材８５は、フランジ８５２が複数本のボルト８７を介して接続部本体８１と固定されている。また、この固定状態で、フランジ８５２で第２のパッキン８３を圧縮することができる。各ボルト８７に螺合する雌ネジ８１６は、接続部本体８１の第２の開口部８１５の縁部に形成されている。
なお、支持部材８５の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のような熱可塑性樹脂を用いることができる。

各端子８４は、それぞれ、ピン状をなし、その長手方向の中央部が支持部材８５の固定板８５１に固定されている。
なお、端子８４は、銅等のような導電性を有する材料で構成されている。
また、各端子８４（接続部８）は、ケーブル１９を介して、バッテリー５００と電気的に接続されている。これにより、コネクター９が接続部８に接続された状態で、バッテリー５００からマニピュレーター１８に電力を供給することができ、よって、マニピュレーター１８を作動させることができる。

次に、コネクター組立体９０について説明する。
図１３、図１４に示すように、コネクター組立体９０は、コネクター９と、ケーブル９０１とで構成され、コネクター９にケーブル９０１を接続して組み立てられたものである。そして、マニピュレーター１８は、ケーブル９０１を介してコネクター９と電気的に接続されている。

コネクター９は、中空のコネクターハウジング９１と、コネクターハウジング９１内の気密性を保持する第１のパッキン（第１のマニピュレーター側パッキン）９２および第２のパッキン（第２のマニピュレーター側パッキン）９３と、複数本の端子９４と、各端子９４を一括して支持する支持部材９５と、コネクターハウジング９１を接続部８に接続するための接続部材９６とを有している。

コネクターハウジング９１は、筒体で構成されている。コネクターハウジング９１には、その先端側からケーブル９０１を挿入することができる。
コネクターハウジング９１、支持部材９５、接続部材９６の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のような熱可塑性樹脂を用いることができる。

コネクターハウジング９１の基端側には、第１のパッキン９２が配置され、先端側には、第２のパッキン９３が配置されている。
第１のパッキン９２は、リング状をなし、コネクターハウジング９１の外周部にその外側から嵌合している。図１３に示すように、コネクター９が接続部８に接続された状態では、第１のパッキン９２は、支持部材９５と接続部８の支持部材８５との間で圧縮状態となっている。
また、第２のパッキン９３は、リング状をなし、コネクターハウジング９１の内周部にその内側から嵌合している。そして、この第２のパッキン９３は、コネクターハウジング９１の内周部とケーブル９０１との間で圧縮状態となっている。

このような、第１のパッキン９２および第２のパッキン９３により、コネクターハウジング９１内の気密性が確実に維持され、当該コネクターハウジング９１内に、外部から気体や液体が侵入するのを確実に防止することができる。
なお、第１のパッキン９２および第２のパッキン９３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、封止手段４のパッキン７の構成材料と同様のものを用いることができる。

支持部材９５は、筒状をなす部材で構成され、コネクターハウジング９１の基端側から挿入されている。この支持部材９５の内周部には、固定部９５１が突出形成されている。固定部９５１は、各端子９４をそれぞれ接続部８の端子８４と平行に、支持、固定することができる。
各端子９４は、それぞれ、ピン状をなし、銅等のような導電性を有する材料で構成されている。そして、１本の端子９４と、接続部８の１本の端子８４とが電気的に接続されることとなる。

また、コネクターハウジング９１の外周部には、その軸回りに、リング状の接続部材９６が回転可能に支持されている。接続部材９６の内周部には、雌ネジ部９６１が形成されている。そして、この雌ネジ部９６１は、接続部８の支持部材８５の外周部に形成された雄ネジ部８５３と螺合することができる。この螺合により、コネクター９と接続部８との接続状態が確実に維持される。
また、この接続状態では、バッテリー５００からの電力を、ケーブル１９、接続部８、コネクター９およびケーブル９０１を介して、マニピュレーター１８に確実に供給することができる。これにより、マニピュレーター１８が、パーソナルコンピューター２０の制御下で、可動することができる。

以上のような構成のコネクター９としては、例えば、第一電子工業社製「ＤＣＡシリーズ」を用いることができる。また、その他、ＩＥＣ規格に準じた「防水型ＩＰ６７」の各種コネクターも用いることができる。そして、このようなコネクター９は、防水機能を発揮する構成となっており、その構成上、大きさが比較的大きいものである。
ここで、仮にケーブル９０１の引き出し方向が鉛直上方である場合、前記大きさが大きいコネクター９から延びるケーブル９０１は、チャンバー１００の天井１０３の高さにもよるが、当該天井１０３と干渉するおそれが十分にある。
しかしながら、ロボット１（ロボットシステム１０）では、ケーブル９０１の引き出し方向が回動軸Ｏ_４方向であるため、コネクター９の大小にかかわらず、ロボット１の周囲とケーブル９０１との干渉を気にせずに、すなわち、前記不具合を確実に防止しつつ、ケーブル９０１をマニピュレーター１８まで容易に引き回すことができる。

以上、本発明のロボットシステムおよびロボットを図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、ロボットシステムおよびロボットを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明のロボットシステムおよびロボットは、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

また、本発明のロボットでのアームの本数は、前記各実施形態では６本であったが、これに限定されず、例えば、２本、３本、４本、５本または７本以上であってもよい。
また、駆動機構は、減速機をさらに有していてもよい。
また、接続部は、アームに対し着脱自在に装着されるよう構成されていてもよい。この場合、エンドファクターの有無に応じて、接続部の装着・離脱を選択することができる。

１０……ロボットシステム １……ロボット（産業用ロボット） １１……基台 １１１……ボルト １１２……基台本体（ハウジング） １１３……円筒状部 １１４……箱状部 １２、１３、１４、１５……アーム（リンク） １６……リスト １６１……リスト本体 １６２……支持リング １６３……先端面 １７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６……関節（ジョイント） ２、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ……アーム本体 ２１……収納部 ２１１……開口部 ２１２……縁部 ２１３……肉厚部 ２１４……薄肉部 ２２……中心軸 ２３ａ、２３ｂ……側面 ２４ａ、２４ｂ……舌片部 ２５……根元部 ２６……雌ネジ ２７……貫通孔 ２８……雌ネジ ３、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ……駆動機構 ３１……第１のプーリー ３２……第２のプーリー ３３……ベルト（タイミングベルト） ４、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ……封止手段 ５……枠体 ５１……裏側の面 ５２……表側の面 ５３……挿入孔 ５３１……大径部 ５３２……小径部 ５４……雌ネジ ５５……規制部 ５６……面取り部 ５７……第１の保護膜 ５８……第２の保護膜 ６……カバー ６１……挿通孔 ６２……表側の面 ７……パッキン ７１……貫通孔 ８……接続部（ロボット側コネクター） ８１……接続部本体（アタッチメント） ８１１……底面 ８１２……天面 ８１３、８１３ａ……側面 ８１４……第１の開口部 ８１５……第２の開口部 ８１６……雌ネジ ８２……第１のパッキン（第１の接続部用パッキン） ８３……第２のパッキン（第２の接続部用パッキン） ８４……端子 ８５……支持部材（ハウジング） ８５１……固定板 ８５２……フランジ ８５３……雄ネジ部 ８６、８７……ボルト ９……コネクター（マニピュレーター側コネクター） ９１……コネクターハウジング ９２……第１のパッキン（第１のマニピュレーター側パッキン） ９３……第２のパッキン（第２のマニピュレーター側パッキン） ９４……端子 ９５……支持部材 ９５１……固定部 ９６……接続部材 ９６１……雌ネジ部 １８……マニピュレーター １８１……指部（フィンガー） １９……ケーブル ２０……パーソナルコンピューター（ＰＣ） ３０１、３０２、３０３、３０４、３０５、３０６、３０７……モータードライバー ４０１、４０２、４０３、４０４、４０５、４０６、４０７……モーター ４０５ａ、４０６ａ……シャフト（軸部材） ５０ａ、５０ｂ……円筒部材 ６０……ボルト ６０１……頭部 ７０……接着剤層（接着剤） ８０……ボルト ８０１……頭部 ９０……コネクター組立体 ９０１……ケーブル（長尺体） １００……チャンバー（アイソレーター） １０１……床 １０２……壁 １０３……天井 ２００……滅菌ガス発生装置 ３００……パイプ ４００……バルブ ５００……バッテリー ｈ……高さ Ｏ_１、Ｏ_２、Ｏ_３、Ｏ_４、Ｏ_５、Ｏ_６……回動軸 ｔ_１、ｔ_２、ｔ_３、ｔ_４、ｔ_５……厚さ

Claims (10)

1. 中空のコネクターハウジングと、該コネクターハウジング内の気密性を保持するパッキンとを有するコネクターと、
   前記コネクターが接続される接続部を備えるロボットとを備え、
   前記ロボットは、互いに連結された２本のアームを備え、該２本のアームのうちの一方のアームは、第１の回動軸回りに回動可能に支持され、他方のアームは、第１の回動軸と交差する第２の回動軸回りに回動可能に支持されており、
   前記接続部は、該接続部に接続された前記コネクターの引き出し方向が前記第２の回動軸方向となるように、前記一方のアームに設置されていることを特徴とするロボットシステム。
2. 中空のコネクターハウジングと、該コネクターハウジング内の気密性を保持するパッキンとを有するコネクターが接続される接続部を備えるロボットであって、
   互いに連結された２本のアームを備え、
   前記２本のアームのうちの一方のアームは、第１の回動軸回りに回動可能に支持され、他方のアームは、第１の回動軸と交差する第２の回動軸回りに回動可能に支持されており、
   前記接続部は、該接続部に接続された前記コネクターの引き出し方向が前記第２の回動方向となるように、前記一方のアームに設置されていることを特徴とするロボット。
3. 前記接続部は、前記一方のアームと別体で構成され、中空の接続部本体と、該接続部本体内の気密性を保持する少なくとも１つの接続部用パッキンとを有する請求項２に記載のロボット。
4. 前記接続部は、前記一方のアームの外面に配置されており、
   前記接続部本体は、前記一方のアームの外面側に向かって開口する第１の開口部と、前記第２の回動軸方向に向かって開口する第２の開口部とを有する請求項３に記載のロボット。
5. 前記第１の開口部および前記第２の開口部には、それぞれ、前記接続部用パッキンが設置されている請求項３または４に記載のロボット。
6. 前記他方のアームは、一端部に前記一方のアームが連結され、他端部に前記コネクターと電気的に接続されたマニピュレーターが装着されるマニピュレーター装着用アームが連結されている請求項２ないし５のいずれかに記載のロボット。
7. 前記他方のアームは、前記第２の回動軸方向に沿った長尺状をなすものである請求項２ないし６のいずれかに記載のロボット。
8. 前記接続部は、前記マニピュレーターに電力を供給する供給源と電気的に接続されている請求項７に記載のロボット。
9. 前記第１の回動軸と前記第２の回動軸とは、直交している請求項２ないし８のいずれかに記載のロボット。
10. 前記コネクターハウジングは、筒体で構成されており、該筒体の両端側にそれぞれ前記パッキンが設置されている請求項２ないし９のいずれかに記載のロボット。

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