JP7027775B2 - ロボット - Google Patents

Description

本発明は、ロボットに関する。

従来から、人間の代わりに作業対象物に対して各種作業を行う産業用ロボットが活躍している。このような産業用ロボットの一例として、例えば、基台と、基台に対して回動可能に設けられたロボットアームと、ロボットアーム内に設けられ、ロボットアームを駆動させるモーターと、を有するロボットが知られている。かかるロボットには、一般的に、ロボットとは別体で設けられたコントローラーが接続されている。当該コントローラーによってモーターを駆動させることでロボットアームが駆動する。これにより、ロボットは、作業対象物に対して各種作業を行うことができる。

また、近年では、クリーンルーム内での作業が可能なロボットが開発されている。例えば、特許文献１には、滅菌ガス雰囲気下で用いることができるように、ロボットアームの内部を気密的に封止したロボットが開示されている。

特開２０１３－２１２５５９号公報

しかし、かかる従来のロボットでは、ロボットの駆動により生じた熱によってクリーンルームに負荷がかかったり、ロボットが駆動することによってロボットの内部に各種部品から塵等の異物が生じたりするという問題があった。そのため、従来のロボットをクリーンルームで用いる場合、クリーンルームの排熱対策やロボットの駆動により生じる発塵対策に対する大掛かりな設備投資が別途必要であった。

また、ロボットをクリーンルーム内に配置する場合、コントローラーを別環境に置くか、ロボットの作業環境に影響を与えないようにコントローラーを保護ボックスに入れるなどの対策が必要であった。そのため、作業者は、ロボットおよびコントローラーをそれぞれどのように配置するか設計しなければならず、また、コントローラー用の保護ボックスを用意しなければならないという問題があった。そのため、作業者にとって大きな手間となっていた。

本発明は、前述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下により実現することが可能である。

本適用例のロボットは、基台と、前記基台に接続されるロボットアームと、を有するロボット本体部と、前記ロボット本体部の内部に設けられた、前記ロボットアームを駆動させる駆動部と、前記ロボット本体部の内部に設けられた、制御基板、前記制御基板に電力を供給する電源基板および前記制御基板の指令に基づいて前記駆動部を駆動する駆動基板と、を備え、前記ロボット本体部は、前記ロボット本体部の内部の気体を吸引する吸引器が接続される配管を着脱可能な孔を有することを特徴とする。

このようなロボットによれば、配管を孔に接続することで、ロボット本体部の内部（内部空間）に存在する塵を簡単に排出できる。また、ロボット本体部の内部における気圧を下げることができるので、ロボットの駆動により生じた熱を簡単に排出できる。そのため、排熱対策や発塵対策に対する大掛かりな設備投資を用意する必要がなく、例えばクリーンルーム内において、ロボットを長時間安定して駆動させることができる。また、コントローラーの機能を有する制御基板および電源基板と、駆動基板と、ロボット本体部とが一体となっているため、コントローラーとロボット本体部とが別体である場合に比べて、排熱対策や発塵対策が容易である。

本適用例のロボットでは、前記基台は、前記孔を有することが好ましい。
これにより、内部空間内の塵を効率良く排出できる。

本適用例のロボットでは、前記ロボット本体部は、金属を含んで構成されており、前記ロボット本体部は、接地されていることが好ましい。

これにより、ロボット本体部の静電気対策を容易に行うことができ、よって、ロボット本体部に対する埃や帯電した異物等の付着を低減または防止することができる。

本適用例のロボットでは、前記ロボットアームは、第Ａアームと前記第Ａアームに片持ち支持された第Ｂアームとを有することが好ましい。

これにより、第Ｂアームが両持ち支持されている場合に比べ、ロボット本体部内の容積を低減することができるので、吸引用孔を用いた発塵対策をより好適かつ簡単に行うことができる。

本適用例のロボットでは、前記ロボットアームは、前記基台に回動可能に接続された第１アームを有し、前記第１アーム内には、前記第１アームを駆動させる第１駆動部が設けられていることが好ましい。

これにより、例えば基台内に制御基板等が設けられている場合、第１駆動部が基台内に配置されている形態に比べて第１駆動部を制御基板等から遠ざけることができる。そのため、第１駆動部から生じる熱および制御基板等から生じる熱による熱暴走を低減することができるので、例えばクリーンルーム内において、ロボットをより長時間より安定して駆動させることができる。

本適用例のロボットでは、前記ロボットアームは、前記第１アームに回動可能に接続された第２アームを有し、前記第２アーム内には、前記第２アームを駆動させる第２駆動部が設けられていることが好ましい。

これにより、第１駆動部および第２駆動部から生じる熱をより効率よく排除することができる。

本適用例のロボットでは、前記第１アーム内には、前記第１駆動部を駆動する第１駆動基板が設けられており、前記第２アーム内には、前記第２駆動部を駆動する第２駆動基板が設けられていることが好ましい。

これにより、第１駆動基板と第１駆動部との接続、および、第２駆動基板と第２駆動部との接続をそれぞれシンプルな構成にすることができる。また、第１駆動基板および第２駆動基板から生じる熱をより効率よく排除することができる。

本適用例のロボットでは、前記制御基板は、前記基台に設けられていることが好ましい。

これにより、制御基板と他の部分（例えば駆動基板）とを接続する各種配線の配置の設計が容易である。また、例えば基台に吸引用孔が設けられている場合、制御基板から生じる熱をより効率よく排除することができる。

本適用例のロボットでは、前記電源基板は、前記基台に設けられていることが好ましい。

これにより、電源基板と他の部分（例えば駆動基板）とを接続する各種配線の配置の設計が容易である。また、例えば基台に吸引用孔が設けられている場合、電源基板から生じる熱をより効率よく排除することができる。

本適用例のロボットでは、前記ロボット本体部には、ファンが設けられていないことが好ましい。
これにより、発塵対策が特に容易である。

第１実施形態に係るロボットを示す斜視図である。 図１に示すロボットを図１とは異なる方向から見た斜視図である。 図１に示すロボットのシステムブロック図である。 図１に示すロボットを－ｙ軸側から見た図である。 図１に示すロボットを＋ｘ軸側から見た図である。 図１に示すロボットを＋ｚ軸側から見た図である。 図１に示すロボットが有するロボット本体部の内部を模式的に示す斜視図である。 ロボットが有する基台の内部を模式的に示す斜視図である。 ロボットが有する複数のハウジングおよびカバーを説明するための図である。 ロボットが有する複数のハウジングおよびカバーと基台に設けられた吸引用孔とを説明するための図である。 クリーンルームに設置されたロボットを模式的に示す図である。 内部空間における気体の流れを示す図である。

以下、本発明のロボットを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
≪第１実施形態≫
＜ロボットの基本構成＞
図１は、第１実施形態に係るロボットを示す斜視図である。図２は、図１に示すロボットを図１とは異なる方向から見た斜視図である。図３は、図１に示すロボットのシステムブロック図である。図４は、図１に示すロボットを－ｙ軸側から見た図である。図５は、図１に示すロボットを＋ｘ軸側から見た図である。図６は、図１に示すロボットを＋ｚ軸側から見た図である。図７は、図１に示すロボットが有するロボット本体部の内部を模式的に示す斜視図である。図８は、ロボットが有する基台の内部を模式的に示す斜視図である。なお、以下では、説明の都合上、図１、図２、図４～図７には、それぞれ、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸としてｘ軸、ｙ軸およびｚ軸が図示されており、各軸を示す矢印の先端側を「＋」、基端側を「－」とする。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向」、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」という。また、図１中に示すロボット１００の基台２０側を「基端」、その反対側（アーム１６側）を「先端」と言う。また、図４中の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図４中の上下方向を「鉛直方向」とし、左右方向を「水平方向」とする。

また、本明細書において、「水平」とは、水平に対して±５°以下の範囲内で傾斜している場合も含む。同様に、「鉛直」とは、鉛直に対して±５°以下の範囲内で傾斜している場合も含む。また、「平行」とは、２つの線（軸を含む）または面が、互いに完全な平行である場合のみならず、±５°以内で傾斜している場合も含む。また、「直交」とは、２つの線（軸を含む）または面が、互いに９０°の角度で交わる場合のみならず、９０°に対し±５°以内で傾斜している場合も含む。

図１および図２に示すロボット１００は、いわゆる６軸の垂直多関節ロボットである。このロボット１００は、例えば、腕時計のような精密機器等を製造する製造工程等で用いることができる。また、ロボット１００は、清浄度の高い環境下で好適に用いることができる。国際統一規格ＩＳＯ１４６４４－１：２０１５に基づくＣｌａｓｓ３以上の清浄度クラスの環境下で特に好適に用いることができる。

以下では、まず、ロボット１００の基本構成について説明する。
ロボット１００は、ロボット本体部１と、ロボット本体部１に内蔵された、複数の駆動部３０、位置センサー４０および制御ユニット５（制御装置）、とを有する（図１～図３参照）。また、ロボット１００は、ロボット１００の内部の気体（空気）を吸引するために用いる吸引用孔２４を有する（図２参照）。また、ロボット１００は、複数の外部接続部５０（例えばコネクター等）を有している（図２参照）。例えば、外部接続部５０を外部電源（図示せず）に電気的に接続することにより、ロボット１００に電力が供給され、これにより、ロボット１００を駆動させることができる。

なお、本明細書では、図１に示すロボット１００の姿勢（図２、図４～図７も同様の姿勢）を、「基本姿勢」とする。また、以下では、説明の便宜上、断りの無い限り、ロボット１００の各部の配置関係等に関する説明では、基本姿勢で静止している状態のロボット１００を基にした説明を行う。

［ロボット本体部］
図１および図２に示すように、ロボット本体部１は、基台２０と、基台２０に接続されたロボットアーム１０と、を有する。なお、後で詳述するが、ロボット本体部１は、複数の外装部材（複数のハウジング１０５および複数のカバー１０６等）を含んで構成されており、複数の駆動部３０、複数の位置センサー４０および制御ユニット５を収容する内部空間Ｓ１を有している。また、内部空間Ｓ１は、基台２０の内部すなわち内部空間Ｓ２０と、ロボットアーム１０の内部すなわち内部空間Ｓ１０とを有しており、内部空間Ｓ１０と内部空間Ｓ２０とは連通している。

以下、ロボット本体部１の各部について説明する。
〈基台〉
基台２０は、ロボット１００を任意の設置箇所に取り付ける部分である。基台２０の設置箇所は、特に限定されず、例えば、床、壁、天井、作業台、移動可能な台車等であってもよい。基台２０は、外形が直方体状をなす本体部２１と、本体部２１の＋ｚ軸側に設けられ、外形が円柱状の突出部２２とを有する。

〈ロボットアーム〉
ロボットアーム１０は、基台２０に回動可能に支持されており、アーム１１（第１アーム）、アーム１２（第２アーム）、アーム１３（第３アーム）、アーム１４（第４アーム）、アーム１５（第５アーム）、アーム１６（第６アーム、先端アーム）と、を有する。これらアーム１１～１６は、基端側から先端側に向かってこの順に連結されており、隣り合う基端側のアームまたは基台２０に対して相対的に回動可能に構成されている。なお、詳細な図示はしないが、本実施形態では、各アーム１１～１６は、それぞれ、外装部材（ハウジング１０５およびカバー１０６等）と、外装部材の内周面に設けられ、かつ、駆動部３０に接続された軸受（図示せず）を備える支持部材（図示せず）とを有する。

図４に示すように、アーム１１は、基台２０の突出部２２に接続されており、基台２０に対し、鉛直方向に沿う回動軸Ｏ１まわりに回動可能になっている。このアーム１１は、基台２０から上方側に向かって傾斜しながら延出した形状をなしており、アーム１１の先端部は、ｚ軸方向から見て基台２０よりも外側に突出している。

図４および図５に示すように、アーム１２は、アーム１１の先端部の＋ｙ軸側の部分に接続されており、アーム１１に対し、水平方向に沿う回動軸Ｏ２まわりに回動可能になっている。このアーム１２は、ｙ軸方向から見て中央部が屈曲した長手形状をなしており、アーム１１からアーム１３に向かって延びた形状をなす平坦部１２１と、平坦部１２１の中央部から－ｙ軸方向に向かって突出した突出部１２２とを有する。突出部１２２は、アーム１２が回動してもアーム１１に接触しないように、アーム１１に対して離間している。

図４、図５および図６に示すように、アーム１３は、平坦部１２１のアーム１１が設けられている面と同じ－ｙ軸側の面（部分）に接続されており、アーム１２に対し、水平方向に沿う回動軸Ｏ３まわりに回動可能になっている。アーム１３は、アーム１２から－ｙ軸方向に向かって突出した形状をなす。また、アーム１３は、突出部１２２に接触しないように、アーム１２に接続されている。

図４に示すように、アーム１４は、アーム１３の先端部に接続されており、アーム１３に対し、回動軸Ｏ３と直交した回動軸Ｏ４まわりに回動可能になっている。図６に示すように、アーム１４は、アーム１３から－ｘ軸方向に向かって延出した形状をなしており、その途中で基端側から先端側に向かいつつ、＋ｙ軸方向（アーム１４の幅方向の一方側）に向かって、ｙ軸方向における長さ（幅）が漸減している。このようなアーム１４は、基端側の部分１４１と、部分１４１よりもｙ軸方向における長さが短い先端側の部分１４２とを有している。

図４に示すように、アーム１５は、先端側の部分１４２の－ｙ軸側の部分に接続されており、アーム１４に対し、回動軸Ｏ４と直交した回動軸Ｏ５まわりに回動可能になっている。図４および図６に示すように、アーム１５は、アーム１４の先端部から－ｙ軸方向に向かって突出した第１部分１５１と、第１部分１５１に接続された第２部分１５２とを有する。第１部分１５１の外形は、円柱状をなしている。一方、第２部分１５２の外形は、円筒状をなし、ｘ軸方向に沿って貫通した孔１５３を有する（図２参照）。また、図６に示すように、第２部分１５２の中心線よりも＋ｙ軸側の部分が、第１部分１５１の基端部に接続されている。なお、本実施形態では、第１部分１５１と第２部分１５２とは一体で形成されている。

図４に示すように、アーム１６は、アーム１５の基端部に接続されており、アーム１５に対し、回動軸Ｏ５と直交した回動軸Ｏ６まわりに回動可能になっている。アーム１６は、円盤状をなし、中央部にｘ軸方向に沿って貫通した孔１６１を有する（図１参照）。この孔１６１は、アーム１５の第２部分１５２が有する孔１５３と連通しており、孔１６１と孔１５３とで、貫通孔１６０を構成している（図１および図２参照）。このようなアーム１６は、図示はしないが、例えば、作業対象物に対して把持等の各種作業を行うエンドエフェクターを取り付けることができるよう構成されている。その場合、エンドエフェクターに駆動力を伝達する配線（図示せず）を貫通孔１６０に挿通させることができる。また、例えば、アーム１６は、図示はしないが、エンドエフェクターに加わる力（モーメントを含む）を検出する力検出装置（力覚センサー）を取り付けることができるように構成されていてもよい。その場合には、エンドエフェクターとアーム１６との間に、力検出装置を設けることが好ましい。

このような構成のロボット本体部１を有するロボット１００は、前述したように、６つ（複数）のアーム１１～１６を有する垂直多関節ロボットである。すなわち、ロボット１００は、６つの回動軸Ｏ１～Ｏ６を有しており、６自由度のロボットである。そのため、ロボットアーム１０の先端部の駆動範囲が広く、よって、高い作業性を発揮することができる。なお、本実施形態では、ロボット１００が有するアームの数は、６つであるが、アームの数は１～５つであってもよいし、７つ以上であってもよい。ただし、ロボットアーム１０の先端に設けられたエンドエフェクターを３次元空間内の目的の箇所に的確に位置させるためには、アームの数（回動軸の数）は、少なくとも６つ以上であることが好ましい。

また、前述したように、アーム１２は、アーム１１の先端部の＋ｙ軸側の部分に接続されている。このように、アーム１２は、アーム１１によって挟持されたような両持ち支持された構成ではなく、アーム１１に片持ち支持されている。すなわち、ロボットアーム１０は、アーム１１（第Ａアーム）とアーム１１（第Ａアーム）に片持ち支持されたアーム１２（第Ｂアーム）とを有する。

これにより、アーム１２がアーム１１に両持ち支持されている場合に比べて、アーム１１、１２の構成を簡素にでき、コストを削減できる。

さらに、前述したように、アーム１５は、部分１４２の－ｙ軸側の部分に接続されている。このように、アーム１５は、アーム１４によって挟持されたような両持ち支持された構成ではなく、アーム１４に片持ち支持されている。すなわち、ロボットアーム１０は、アーム１４（第Ａアーム）とアーム１４（第Ａアーム）に片持ち支持されたアーム１５（第Ｂアーム）とを有する。

これにより、アーム１５がアーム１４に両持ち支持されている場合に比べて、アーム１４、１５の構成を簡素にでき、コストを削減できる。

このように、本実施形態では、片持ち支持された「第Ｂアーム」を複数（２つ）有する。そのため、ロボットアーム１０の構成の簡素化を図ることができ、コストを大幅に低減できる。

また、本実施形態では、基台２０内の容積は、ロボットアーム１０の容積と同じであるか、それよりも小さくなっている。そのため、基台２０の設置の自由度を高くすることができる。

［駆動部］
図３に示すように、ロボット１００は、アーム１１～１６と同数（本実施形態では６つ）の駆動部３０を有している。複数の駆動部３０は、それぞれ、対応するアームをそれの基端側に位置するアーム（または基台２０）に対して回動させる機能を有しており、動力源としてのモーターとブレーキとを含むモーターユニット３０１と、減速機３０２、ベルト（図示せず）およびプーリー（図示せず）等とを含む動力伝達機構（図示せず）と、を備える。

また、本実施形態では、１つの駆動部３０は、１つのアームの駆動を担っている。したがって、ロボット１００は、アーム１１を駆動させる第１駆動部３１と、アーム１２を駆動させる第２駆動部３２と、アーム１３を駆動させる第３駆動部３３と、アーム１４を駆動させる第４駆動部３４と、アーム１５を駆動させる第５駆動部３５と、アーム１６を駆動させる第６駆動部３６とを有する。なお、以下では、第１駆動部３１、第２駆動部３２、第３駆動部３３、第４駆動部３４、第５駆動部３５および第６駆動部３６を区別しない場合は、それらをそれぞれ駆動部３０という。

図７に示すように、第１駆動部３１が有するモーターユニット３０１および減速機３０２は、それぞれ、アーム１１内に設けられている。詳細な図示はしないが、第１駆動部３１は、モーターユニット３０１の軸部に連結された第１プーリー（図示せず）と、第１プーリーに離間して配置され、減速機３０２の軸部に連結された第２プーリー（図示せず）と、第１プーリーと第２プーリーとに掛け渡されたベルト（図示せず）とを有している。そして、第２プーリーが、アーム１１が有する軸受（図示せず）に接続されている。これにより、アーム１１は、第１駆動部３１が駆動することにより回動可能になっている。なお、後述する第２駆動部３２、第３駆動部３３、第４駆動部３４、第５駆動部３５および第６駆動部３６についてもほぼ同様であり、いわゆるベルト駆動により、対応するアームを駆動させている。

図７に示すように、第２駆動部３２が有するモーターユニット３０１は、突出部１２２内に設けられており、第２駆動部３２が有する減速機３０２は、アーム１２とアーム１１との接続部分（関節部）に設けられている。また、第３駆動部３３が有するモーターユニット３０１は、突出部１２２内に設けられており、第３駆動部３３が有する減速機３０２は、アーム１２とアーム１３との接続部分（関節部）に設けられている。また、第４駆動部３４が有するモーターユニット３０１および減速機３０２は、それぞれ、アーム１３内に設けられている。また、第５駆動部３５が有するモーターユニット３０１は、アーム１４の基端側の部分１４１内に設けられており、第５駆動部３５が有する減速機３０２は、アーム１５の第１部分１５１内に設けられている。また、第６駆動部３６が有するモーターユニット３０１は、アーム１４の基端側の部分１４１内に設けられており、第６駆動部３６が有する減速機３０２は、アーム１５の第２部分１５２内に設けられている（図７参照）。なお、第６駆動部３６は、図示はしないが、傘歯車等の駆動力の伝達方向を９０°変換する変換機構を有している。

［位置センサー］
図３に示すように、ロボット１００は、駆動部３０と同数の位置センサー４０を有しており、１つの駆動部３０に対して１つの位置センサー４０（角度センサー）が設けられている。位置センサー４０は、モーターユニット３０１（具体的にはモーター）または減速機３０２の回転軸（軸部）の回転角度を検出する。これにより、基端側のアームに対する先端側のアームの角度（姿勢）等の情報を得ることができる。このような各位置センサー４０としては、例えばロータリーエンコーダー等を用いることができる。また、各位置センサー４０は、後述する制御ユニット５が有する制御基板５１に電気的に接続されている。

［制御ユニット］
図３に示すように、制御ユニット５は、制御基板５１と、制御基板５１に電力を供給する電源基板５２と、制御基板５１の指令に基づいて各駆動部３０を駆動する複数の駆動基板５３と、を含む。なお、制御基板５１と電源基板５２とで、ロボット１００の駆動にかかる電力を供給し、かつ、ロボット１００の駆動を制御する制御装置（コントローラー）を構成している。

〈制御基板〉
制御基板５１は、図７に示すように内部空間Ｓ２０に設けられており、ロボット１００の駆動を制御する制御回路（図示せず）を有する。制御回路は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等のプロセッサー、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等の揮発性メモリーおよびＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）等の不揮発性メモリー等を含み、ロボット１００の各部の駆動の制御や各種演算および判断等の処理を行う。例えば、制御回路は、所定の制御プログラムを実行可能であり、当該制御プログラムに従って各駆動基板５３に対して制御信号を出力することで、ロボット１００（具体的にはロボットアーム１０）に所定の動作を実行させる。

〈電源基板〉
電源基板５２は、図７に示すように内部空間Ｓ２０に設けられており、制御基板５１および各駆動基板５３のそれぞれに対して供給する電力を生成する電源回路（図示せず）を有する。電源回路は、変圧器やノイズフィルターを備えており、例えば商用電源等の外部電源（図示せず）から供給される電力の周波数および電圧を変換し、制御基板５１および各駆動基板５３に供給する。特に、本実施形態では、電源回路には、外部電源から出力された交流電圧を５２Ｖの直流電圧（駆動電圧）に変換して各駆動基板５３等に出力する変換器を備えている。

また、図８に示すように、前述した制御基板５１および電源基板５２は、それぞれ、板金等で構成された支持部材２３によって支持されている。制御基板５１は、支持部材２３の－ｙ軸側の面側に例えばネジ止め等によって取り付けられており、電源基板５２は、支持部材２３の＋ｙ軸側の面側に例えばネジ止め等によって取り付けられている。また、支持部材２３は、基台２０に対して着脱可能である。したがって、制御基板５１および電源基板５２を支持部材２３とともに基台２０の外部へと取り出すことができる。これにより、例えば、制御基板５１や電源基板５２のメンテナンスを容易に行うことができる。

〈駆動基板〉
各駆動基板５３は、図７に示すように内部空間Ｓ１０に分散配置されており、制御基板５１からの制御信号を受け、駆動部３０に供給するための電力に変換する（を生成する）駆動回路（図示せず）を有している。駆動回路は、例えば、直流電力（電流）から交流電力（電流）に変換するインバーター回路を備えている。

また、本実施形態では、１つの駆動部３０に対して１つの駆動基板５３が設けられており、各駆動部３０に対応する駆動基板５３が、その駆動部３０に供給するための電力の変換（生成）を行っている。したがって、ロボット１００は、第１駆動部３１に対応する第１駆動基板５３１と、第２駆動部３２に対応する第２駆動基板５３２、第３駆動部３３に対応する第３駆動基板５３３と、第４駆動部３４に対応する第４駆動基板５３４と、第５駆動部３５に対応する第５駆動基板５３５と、第６駆動部３６に対応する第６駆動基板５３６と、を有する。なお、以下では、第１駆動基板５３１、第２駆動基板５３２、第３駆動基板５３３、第４駆動基板５３４、第５駆動基板５３５および第６駆動基板５３６を区別しない場合は、それらをそれぞれ駆動基板５３という。

図７に示すように、第１駆動基板５３１は、アーム１１内に設けられており、第１駆動部３１が有するモーターユニット３０１の近傍に設けられている。第２駆動基板５３２は、アーム１２の突出部１２２内に設けられており、第２駆動部３２が有するモーターユニット３０１の近傍に設けられている。第３駆動基板５３３は、アーム１２の突出部１２２内に設けられており、第３駆動部３３が有するモーターユニット３０１の近傍に設けられている。第４駆動基板５３４は、アーム１３内に設けられており、第４駆動部３４が有するモーターユニット３０１の近傍に設けられている。第５駆動基板５３５は、アーム１４内に設けられており、第５駆動部３５が有するモーターユニット３０１の近傍に設けられている。第６駆動基板５３６は、アーム１４内に設けられており、第６駆動部３６が有するモーターユニット３０１の近傍に設けられている。

［外部接続部］
図２および図４に示すように、基台２０には、例えばコネクターで構成された複数の外部接続部５０が設けられている。外部接続部５０は、その一部が外部に露出するようにして基台２０に取り付けられており（図８参照）、制御基板５１や電源基板５２に対して電気的に接続されている。この外部接続部５０は、例えば外部電源（図示せず）等に接続された外部ケーブル６０が有するプラグ６６（被接続部）を接続するための部品である。すなわち、外部接続部５０は、外部電源や各種機器等とロボット１００との電気的な接続を担うための部品である。

外部接続部５０の具体例としては、例えば、外部電源に電気的に接続された外部電源プラグを接続するための電源コネクター、作業者がロボット１００に対して動作指示を行うために用いるティーチングペンダント等の各種機器との信号の入出力のためのコネクター、エンドエフェクターに対する信号の出力のためのコネクター、制御プログラム等に関するデータの入出力ためのコネクター等が挙げられる。

このような外部接続部５０に対して、プラグ６６を接続することで、ロボット１００に対して電力が供給され、ロボット１００を駆動させることができる。例えば、図８に示すプラグ６６を矢印Ａ１０方向に沿って移動させ、外部接続部５０に対してプラグ６６（被接続部）を接続すればよい。

以上、ロボット１００の基本構成について説明した。
前述したように、コントローラーの機能を有する制御ユニット５がロボット本体部１の内部すなわち内部空間Ｓ１内に収容されている。すなわち、ロボット１００は、内部空間Ｓ１に設けられた、制御基板５１および制御基板５１に電力を供給する電源基板５２を有する。さらに、ロボット１００は、制御基板５１の指令に基づいて駆動部３０を駆動する（本実施形態では複数の）駆動基板５３を有する。

これにより、コントローラーとロボット本体部１とが一体であることで、従来のようにコントローラーおよびロボット本体部１の各配置を考える必要がなく、ロボット１００の配置の自由度を高くすることができる。また、コントローラーが別体である場合に比べて、総設置面積を小さくすることができ、また、コントローラーに対する接続等の手間を省くことができる。

また、前述したように、制御基板５１は、基台２０内に設けられている。
これにより、制御基板５１と各駆動基板５３とを接続する各種配線（図示せず）の配置の設計が容易である。

さらに、前述したように、電源基板５２は、基台２０内に設けられている。
これにより、電源基板５２と各駆動基板５３とを接続する各種配線（図示せず）の配置の設計が容易である。また、制御基板５１や電源基板５２をロボットアーム１０内に設ける場合に比べ、制御基板５１や電源基板５２を安定して配置することができ、また、ロボットアーム１０の先端部の可搬重量の増加も防ぐことができる。

また、前述したように、ロボットアーム１０は、基台２０に回動可能に接続されたアーム１１（第１アーム）を有し、アーム１１内には、アーム１１を駆動させる第１駆動部３１が設けられている。

これにより、第１駆動部３１が基台２０内に配置されている形態に比べて第１駆動部３１を基台２０内に設けられた制御基板５１等から遠ざけることができる。そのため、第１駆動部３１から生じる熱および制御基板５１等から生じる熱による熱暴走を低減することができるので、ロボット１００を長時間安定して駆動させることができる。

さらに、前述したように、ロボットアーム１０は、アーム１１（第１アーム）に回動可能に接続されたアーム１２（第２アーム）を有し、アーム１２内には、アーム１２を駆動させる第２駆動部３２が設けられている。

これにより、第１駆動部３１および第２駆動部３２から生じる熱をより効率よく排除することができる。

また、ロボットアーム１０は、連結された複数のアーム１１～１６を有し、ロボットアーム１０内には、複数のアーム１１～１６をそれぞれ独立して駆動させる複数の駆動部３０が設けられている。そして、複数の駆動部３０は、ロボットアーム１０内において分散して設けられている（図７参照）。

これにより、駆動部３０を分散して配置させることで、熱暴走を低減でき、よって、ロボット１００を長時間安定して駆動させることができる。

なお、複数の駆動部３０の配置は、図示の配置に限定されない。また、上記「分散」とは、複数の駆動部３０が、全て、ばらばらに分かれて配置されていることのみならず、複数の駆動部３０が少なくとも２つの群に分かれて配置されていることを含む。

また、前述したように、アーム１１（第１アーム）内には、第１駆動部３１を駆動する第１駆動基板５３１が設けられており、アーム１２（第２アーム）内には、第２駆動部３２を駆動する第２駆動基板５３２が設けられている。

これにより、第１駆動基板５３１と第１駆動部３１との接続、および、第２駆動基板５３２と第２駆動部３２との接続をそれぞれシンプルな構成にすることができる。また、第１駆動基板５３１および第２駆動基板５３２から生じる熱を分散させることができるので、ロボット１００を長時間安定して駆動させることができる。

さらに、前述したように、ロボットアーム１０内には、複数の駆動部３０のそれぞれを独立して駆動する複数の駆動基板５３が設けられている。そして、複数の駆動基板５３は、ロボットアーム１０内において分散して設けられている。

これにより、例えば複数の駆動部３０を１つの駆動基板５３で駆動する構成と比較して、駆動基板５３とそれに対応する駆動部３０との接続をシンプルな構成にすることができる。また、複数の駆動基板５３が分散して設けられていることで、駆動基板５３から生じる熱を分散させることができるので、ロボット１００を長時間安定して駆動させることができる。

特に、図示のように、各駆動基板５３は、対応する駆動部３０の近傍に設けられていることが好ましい。これにより、複数の駆動基板５３が基台２０内にまとまって配置されている場合に比べ、電源系の配線および信号系の配線の数を大幅に削減することができる。

なお、複数の駆動基板５３の配置は、図示の配置に限定されない。上記「分散」とは、複数の駆動基板５３が、全て、ばらばらに分かれて配置されていることのみならず、複数の駆動基板５３が少なくとも２つの群に分かれて配置されていることを含む。

＜ロボットの外装部材および吸引用孔＞
図９は、ロボットが有する複数のハウジングおよびカバーを説明するための図である。図１０は、ロボットが有する複数のハウジングおよびカバーと基台に設けられた吸引用孔とを説明するための図である。図１１は、クリーンルームに設置されたロボットを模式的に示す図である。図１２は、内部空間における気体の流れを示す図である。

次に、ロボット本体部１の外装部材（ハウジング１０５およびカバー１０６等）と吸引用孔２４とについて説明する（図９および図１０参照）。ロボット１００は、以下に説明する外装部材（ハウジング１０５およびカバー１０６等）によって形成された内部空間Ｓ１の気体（空気）を、吸引用孔２４を用いて吸引する（外部へ排出する）ことができる。これにより、内部空間Ｓ１の空気とともに内部空間Ｓ１に存在し得る塵等を外部に吸引することができる。そのため、ロボット１００は、例えばクリーンルーム９００等の清浄度の高い環境下で好適に用いることができる（図１１参照）。国際統一規格ＩＳＯ１４６４４－１：２０１５に基づくＣｌａｓｓ３以上の清浄度クラスの環境下で特に好適に用いることができる。

［外装部材］
ロボット本体部１は、複数の外装部材（ハウジング１０５およびカバー１０６等）を含んで構成されている。具体的には、図９および図１０に示すように、基台２０およびアーム１１～１４は、それぞれ、ハウジング１０５およびカバー１０６を有しており、アーム１５は、ケース１５５を有している。より具体的には、基台２０は、ハウジング２０５およびカバー２０６を有している。アーム１１は、ハウジング１１５およびカバー１１６を有している。アーム１２は、ハウジング１２５およびカバー１２６を有している。アーム１３は、ハウジング１３５およびカバー１３６を有している。アーム１４は、ハウジング１４５、カバー１４６およびカバー１４７を有している。アーム１５は、ケース１５５を有している。なお、以下では、ハウジング２０５、ハウジング１１５、ハウジング１２５、ハウジング１３５およびハウジング１４５を区別しない場合は、それらをそれぞれハウジング１０５という。また、カバー２０６、カバー１１６、カバー１２６、カバー１３６、カバー１４６およびカバー１４７を区別しない場合は、それらをそれぞれカバー１０６という。

基台２０のハウジング２０５の外形は、略直方体状をなす。一方、カバー２０６の外形は、四角形の平板状をなす。ハウジング２０５の＋ｘ軸側および＋ｚ軸側は、それぞれ、開口しており、ハウジング２０５の＋ｘ軸側開口は、カバー２０６によって塞がれている。例えば、カバー２０６は、ハウジング２０５に対してネジ止めされている。

アーム１１のハウジング１１５は、その基端部（－ｚ軸側）と、その先端部の＋ｚ軸側および＋ｙ軸側と、に開口している。ハウジング１１５は、その基端部の開口（－ｚ軸側開口）を形成する縁部がハウジング２０５の＋ｚ軸側開口を形成する縁部に対してつき合わされた状態で、配置されている。ハウジング１１５の先端部の＋ｘ軸側開口は、カバー１１６によって塞がれている。例えば、カバー１１６は、ハウジング１１５に対してネジ止めされている。

アーム１２のハウジング１２５は、カバー１２６に対して－ｙ軸側に位置し、主に平坦部１２１の－ｙ軸側の部分および突出部１２２を形成している。一方、カバー１２６は、ハウジング１２５に対して＋ｙ軸側に位置し、主に平坦部１２１の＋ｙ軸側の部分を形成している。また、ハウジング１２５は、その基端部の－ｙ軸側と、その先端部の－ｙ軸側と、＋ｙ軸側全域と、に開口している。ハウジング１２５は、その基端部の－ｙ軸側開口を形成する縁部がハウジング１１５の先端部の＋ｙ軸側開口を形成する縁部に対してつき合わされた状態で、配置されている。また、ハウジング１２５の＋ｙ軸側開口は、カバー１２６によって塞がれている。本実施形態では、カバー１２６は、ハウジング１２５に対してネジ６３によってネジ止めされている。

アーム１３のハウジング１３５は、その基端部（＋ｙ軸側）と、その先端部（－ｘ軸側）と、その中間部の＋ｘ軸側と、に開口している。ハウジング１３５は、その基端部の開口（＋ｙ軸側開口）を形成する縁部がハウジング１２５の先端部の－ｙ軸側開口を形成する縁部に対してつき合わされた状態で、配置されている。また、ハウジング１３５の中間部の＋ｘ軸側開口は、カバー１３６によって塞がれている。本実施形態では、カバー１３６は、ハウジング１３５に対してネジ６３によってネジ止めされている。

アーム１４のハウジング１４５は、基端側の部分１４１の大部分および先端側の部分１４２の大部分を形成している。一方、カバー１４６は、基端側の部分１４１の残りの部分を形成しており、カバー１４７は、先端側の部分１４２の残りの部分を形成している。また、ハウジング１４５は、その基端部（＋ｘ軸側）と、基端側の部分１４１における－ｙ軸側と、＋ｙ軸側のほぼ全域と、に開口している。ハウジング１４５は、その基端部の開口（＋ｘ軸側開口）を形成する縁部がハウジング１３５の先端側開口（－ｘ軸側開口）を形成する縁部に対してつき合わされた状態で、配置されている。また、ハウジング１４５の基端側の部分１４１における－ｙ軸側開口は、カバー１４６によって塞がれている。本実施形態では、カバー１４６は、ハウジング１４５に対してネジ６３によってネジ止めされており、ハウジング１４５に対して固定的に接続されている。同様に、カバー１４７は、ハウジング１４５に対してネジ６３によってネジ止めされている。

アーム１５のケース１５５は、アーム１５の外装全域を形成しており、その基端部（＋ｙ軸側）と、その先端部（－ｘ軸側）と、に開口している。ケース１５５は、その基端部の開口（＋ｙ軸側開口）を形成する縁部がハウジング１４５の先端側開口（－ｙ軸側開口）を形成する縁部に対してつき合わされた状態で配置されている。なお、円盤状をなすアーム１６は、ケース１５５の先端部の開口（－ｘ軸側開口）を形成する縁部に対して回動可能に接続されている。

このように、ロボット１００は、複数のハウジング１０５、複数のカバー１０６およびケース１５５を備えている。このような複数の外装部材によって、内部空間Ｓ１が形成されている。

なお、本実施形態では、アーム１１～１４が、それぞれ、ハウジング１０５（第１部材）とカバー１０６（第２部材）とを含んで構成されていたが、これに限定されず、例えば、全てのアーム１１～１６が、それぞれ、ハウジング１０５（第１部材）とカバー１０６（第２部材）とを含んで構成されていてもよいし、アーム１１～１６のうちの少なくとも１つがハウジング１０５（第１部材）とカバー１０６（第２部材）とを含んで構成されていてもよい。また、本実施形態では、基台２０およびロボットアーム１０が、複数のハウジング１０５（第１部材）と複数のカバー１０６（第２部材）とを含んで構成されていたが、これに限定されず、例えば、１つのハウジング１０５（第１部材）と１つのカバー１０６（第２部材）とを含んで構成されていてもよい。例えば、各アーム１１～１４を構成するハウジング１１５、１２５、１３５、１４５が、一体であってもよい。なお、本明細書では、第１部材および第２部材とは、それぞれ、内部空間Ｓ１を形成する部材（すなわちロボット本体部１の外装を構成する部材）のことを示す。

また、ハウジング１０５とカバー１０６とはパッキン等の封止部材（図示せず）を介して接続されていてもよい。

［吸引用孔］
図１０に示すように、基台２０が有するカバー２０６には、内部空間Ｓ１の気体を吸引するための吸引用孔２４が設けられている。吸引用孔２４は、本実施形態では、カバー２０６の－ｚ軸側の部分に設けられている。また、吸引用孔２４は、例えば、クリーンルーム９００の外部に設けられた集塵機９０（吸引器）に接続されたダクトホース９１（配管）を挿入できる大きさに形成されている（図１１および図１２参照）。

このような吸引用孔２４を有するロボット１００によれば、ダクトホース９１を吸引用孔２４に挿入（接続）することで、内部空間Ｓ１に存在する気体（本実施形態では空気）を簡単に排出できる。そのため、図１１に示すように、ロボット１００をクリーンルーム９００内に配置し、駆動させても、ロボット１００内部で発生した塵や熱等がクリーンルーム９００内に排出されることを低減または防止することができる。

以上説明したように、ロボット１００は、基台２０と、基台２０に接続されるロボットアーム１０とを有するロボット本体部１と、ロボット本体部１の内部（内部空間Ｓ１）に設けられた、ロボットアーム１０を駆動させる（本実施形態では複数の）駆動部３０と、ロボット本体部１の内部に設けられた、制御基板５１、制御基板５１に電力を供給する電源基板５２および制御基板５１の指令に基づいて駆動部３０を駆動する（本実施形態では複数の）駆動基板５３と、を備える。また、ロボット本体部１は、ロボット本体部１の内部の気体を吸引する集塵機９０（吸引器）が接続されるダクトホース９１（配管）を着脱可能な吸引用孔２４（孔）を有する。

このようなロボット１００によれば、ダクトホース９１を吸引用孔２４に挿入して、例えば集塵機９０で内部空間Ｓ１の気体（空気）を吸引することで、内部空間Ｓ１の空気とともに内部空間Ｓ１内に存在する塵を簡単にクリーンルーム９００の外部へ排出できる。例えば、図１２に示すように、内部空間Ｓ１の空気は、矢印Ａ２０方向に沿って移動し、吸引用孔２４からダクトホース９１（ロボット１００の外部）に排出され、集塵機９０に回収される。このようにして内部空間Ｓ１の気体が吸引される。また、内部空間Ｓ１の気体を吸引することで、内部空間Ｓ１における気圧を下げることができるので、ロボット１００の駆動により生じた熱を簡単に排出できる。このようなことから、ロボット１００は、例えばクリーンルーム９００等の清浄度の高い環境下で好適に用いることができる。国際統一規格ＩＳＯ１４６４４－１：２０１５に基づくＣｌａｓｓ３以上の清浄度クラスの環境下で特に好適に用いることができる。また、このようなロボット１００によれば、排熱対策や発塵対策に対する大掛かりな設備投資を用意する必要がなく、クリーンルーム９００内において、ロボット１００を長時間安定して駆動させることができる。

なお、図示はしないが、吸引用孔２４は、その開口面積を調整可能なように構成されていてもよい。例えば、吸引用孔２４を形成する縁部は、図示はしないが、吸引用孔２４の開口面積を調整する治具等を接続できるよう構成されていてもよい。また、吸引用孔２４に連通する空洞を有する円筒状のフランジ（図示せず）を、カバー２０６から外部に向かって突出するようにカバー２０６に取り付けてもよい。

また、図示はしないが、吸引用孔２４にダクトホース等が挿入されていない場合、すなわち吸引用孔２４を使用していない場合には、吸引用孔２４の開口を塞ぐ部品（図示せず）を配置できるよう吸引用孔２４を形成する縁部が構成されていてもよい。

また、吸引用孔２４を用いて、内部空間Ｓ１の気体を吸引する方法は、ダクトホース９１および集塵機９０を用いた方法以外であってもよい。

また、吸引用孔２４は、本実施形態では、カバー２０６の－ｚ軸側の部分に設けられているが、吸引用孔２４の位置は図示の位置に限定されず、任意である。例えば、ハウジング２０５に吸引用孔２４が形成されていてもよいし、ロボットアーム１０に吸引用孔２４が形成されていてもよい。ただし、前述したように、吸引用孔２４は、基台２０に設けられていることが好ましい。すなわち、基台２０は、吸引用孔２４（孔）を有することが好ましい。

これにより、内部空間Ｓ１内の塵を効率良く排出できる。また、ロボット１００が、基台２０をロボットアーム１０よりも鉛直方向下方に位置するように設置されている場合、基台２０に吸引用孔２４が設けられていることで内部空間Ｓ１内の塵を特に効率良く排出できる。

さらに、本実施形態のように、制御基板５１および電源基板５２が、基台２０内に設けられており、かつ、基台２０に吸引用孔２４が設けられていることが好ましい。これにより、制御基板５１および電源基板５２から生じた熱を効率良く排除することができ、よって、クリーンルーム９００においてロボット１００をより長時間、より安定して駆動させることができる。

また、本実施形態では、前述したように、カバー２０６に吸引用孔２４が設けられている。これにより、吸引用孔２４の形成が容易であり、また、吸引用孔２４のメンテナンスも容易である。

また、前述したように、ロボット本体部１は、金属を含んで構成されている。そして、ロボット本体部１は、接地されていることが好ましい。

これにより、ロボット本体部１の静電気対策を容易に行うことができ、よって、ロボット本体部１に対する埃や帯電した異物等の付着を低減または防止することができる。

特に、本実施形態では、アーム１１～１６は、それぞれ、主として金属で構成されている。これにより、前述した効果を特に顕著に発揮できる。また、本実施形態では、アーム１１～１６は、それぞれ、アルミニウムで構成されている。これにより、前述した効果を顕著に発揮できるとともに、ロボットアーム１０の軽量化を図ることができる。

なお、ロボット本体部１は、軽量化の観点から、例えば樹脂材料等を含んで構成されていてもよい。

また、前述したように、アーム１２は、アーム１１に片持ち支持されており、アーム１５は、アーム１４に片持ち支持されている。これにより、アーム１２やアーム１４が両持ち支持されている場合に比べてロボット本体部１内の容積を低減することができるので、吸引用孔２４を用いた発塵対策をより好適かつ簡単に行うことができる。

また、前述したように、制御基板５１および電源基板５２が、内部空間Ｓ１に収容されていることで、コントローラーの機能を有する制御基板５１および電源基板５２と、ロボット本体部１とが一体となっているため、コントローラーとロボット本体部１とが別体である場合に比べて、排熱対策や発塵対策が容易である。

また、複数の駆動基板５３や、複数の駆動部３０が、ロボットアーム１０内に分散して設けられていることで、熱暴走を低減でき、吸引用孔２４を用いた排熱対策がより容易である。よって、ロボット１００の駆動により生じた熱によってクリーンルーム９００に負荷がかかることを低減することができ、クリーンルーム９００においてロボット１００をさらに長時間安定して駆動させることができる。

特に、前述したように、第１駆動部３１および第１駆動基板５３１が、基台２０ではなく、アーム１１内に設けられていることで、基台２０内に設けられた制御基板５１および電源基板５２に対して第１駆動部３１および第１駆動基板５３１を離間させることができる。そのため、前述した効果を特に顕著に発揮することができる。

以上、本実施形態におけるロボット１００について説明した。なお、以上説明した構成のロボット１００は、ファンレス構造である。すなわち、ロボット本体部１には、内部空間Ｓ１に気流を生じさせるファンが設けられていない。

これにより、発塵対策が特に容易である。前述したように、電源基板５２は、２０Ｖの直流電圧（比較的低い駆動電圧）に変換して各駆動基板５３等に出力する変換器（図示せず）を有することで、ファンレス構造を実現できる。

なお、ロボット１００は、ファン（図示せず）を備えていてもよい。その場合には、ロボット１００から生じる熱を吸収または放出する機能を有する部材（例えば熱交換器等）をロボット１００に対して設けていることが好ましい。ただし、前述したように、ロボット１００がファンレス構造である方が、熱交換器等の部材を別途設ける手間を省くことができる。また、ロボット１００がファンレス構造である方が、清浄度がより高い環境下でも好適に用いることできる。

以上、本発明のロボットを図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。

また、前述した実施形態では、本発明のロボットとして単腕ロボットを例示したが、当該ロボットは、単腕ロボットに限定されず、例えば、双腕ロボット等の他のロボットであってもよい。すなわち、基台に対して２つ以上のロボットアームが設けられていてもよい。

１…ロボット本体部、５…制御ユニット、１０…ロボットアーム、１１…アーム、１２…アーム、１３…アーム、１４…アーム、１５…アーム、１６…アーム、２０…基台、２１…本体部、２２…突出部、２３…支持部材、２４…吸引用孔、３０…駆動部、３１…第１駆動部、３２…第２駆動部、３３…第３駆動部、３４…第４駆動部、３５…第５駆動部、３６…第６駆動部、４０…位置センサー、５０…外部接続部、５１…制御基板、５２…電源基板、５３…駆動基板、６０…外部ケーブル、６３…ネジ、６６…プラグ、９０…集塵機、９１…ダクトホース、１００…ロボット、１０５…ハウジング、１０６…カバー、１１５…ハウジング、１１６…カバー、１２１…平坦部、１２２…突出部、１２５…ハウジング、１２６…カバー、１３５…ハウジング、１３６…カバー、１４１…部分、１４２…部分、１４５…ハウジング、１４６…カバー、１４７…カバー、１５１…第１部分、１５２…第２部分、１５３…孔、１５５…ケース、１６０…貫通孔、１６１…孔、２０５…ハウジング、２０６…カバー、３０１…モーターユニット、３０２…減速機、５３１…第１駆動基板、５３２…第２駆動基板、５３３…第３駆動基板、５３４…第４駆動基板、５３５…第５駆動基板、５３６…第６駆動基板、９００…クリーンルーム、Ａ１０…矢印、Ａ２０…矢印、Ｏ１…回動軸、Ｏ２…回動軸、Ｏ３…回動軸、Ｏ４…回動軸、Ｏ５…回動軸、Ｏ６…回動軸、Ｓ１…内部空間、Ｓ１０…内部空間、Ｓ２０…内部空間

Claims (5)

1. 基台と、前記基台に接続されるロボットアームと、を有するロボット本体部と、
   前記ロボット本体部の内部に設けられ、前記ロボットアームを駆動させる駆動部と、
   前記基台の内部に設けられた制御基板と、
   前記基台の内部に設けられ、前記制御基板に電力を供給する電源基板と、
   前記ロボット本体部の内部に設けられ、前記制御基板の指令に基づいて前記駆動部を駆動する駆動基板と、
   前記基台の内部に設けられ、前記制御基板および前記電源基板を支持する板状の支持部材と、を備え、
   前記基台は、前記ロボット本体部の内部の気体を吸引する吸引器が接続される配管を着脱可能な吸引孔を有し、
   前記制御基板は、前記支持部材の一方の面側に支持され、
   前記電源基板は、前記支持部材の他方の面側に支持され、
   前記吸引孔は、前記基台において、前記支持部材の前記他方の面側に配置されていることを特徴とするロボット。
2. 前記ロボット本体部は、金属を含んで構成されており、
   前記金属は、接地されている請求項１に記載のロボット。
3. 前記ロボットアームは、前記基台に回動可能に接続された第１アームを有し、
   前記第１アーム内には、前記第１アームを駆動させる第１駆動部が設けられている請求項１または２に記載のロボット。
4. 前記ロボットアームは、前記第１アームに回動可能に接続された第２アームを有し、
   前記第２アーム内には、前記第２アームを駆動させる第２駆動部が設けられている請求項３に記載のロボット。
5. 前記第１アーム内には、前記第１駆動部を駆動する第１駆動基板が設けられており、
   前記第２アーム内には、前記第２駆動部を駆動する第２駆動基板が設けられている請求項４に記載のロボット。

Images