JP2010135436A - 基板への接着テープ貼り付け装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】載置テーブル8上に基板Wを吸着保持し、接着テープ切断部fで接着テープTを基板の外形に見合う大きさと形状に切断し、切断された接着テープTを傾斜状態の吸着テーブル45で吸着保持して接着テープ貼り付け部dに移送し、減圧雰囲気下で吸着テーブル45に保持された接着テープを傾斜下端側から基板Wに押圧して吸着テーブル45が水平状態となるように揺動させて貼り付け、接着テープTの切断時に吸着テーブル45からはみ出た部分の接着テープTを吸着テーブル45の外周に設けた外周リング63で押圧して貼り付ける基板Wへの接着テープTの貼り付け装置。
【選択図】図2
Description
T 接着テープ(保護テープ)
P 回路パターン
a 基板供給/収納部
b 位置決め部
c 基板搬送機構
d 接着テープ貼り付け部
e 基板搬送機構
f テープ切断部
g テープ搬送貼り付け機構
1 機台
2 収納カセット
3 搬送ロボット
4 保持テーブル
5 アライメントセンサ
6 回転モータ
7 下部チャンバ
8 載置テーブル
9 吸着パッド
10 通気孔
11 吸引パイプ
12 昇降ガイド
13 昇降シリンダ
14 支持板
15 搬送ロボット
16 ガイドレール
17 側板
18 貼り付けテーブル
19 切断機構
20 テープ供給ロール
21 セパレータ巻取ロール
22 テープ巻取ロール
23 ガイドローラ
24 剥離ローラ
25 ガイドローラ
26 ガイドローラ
27 円形孔
28 貼り付けローラ
29 剥離ローラ
30 支持板
31 レール
32 可動台
33 円周カッタ
34 モータ
35 スライダ
36 レール
37 軸受部材
38 軸受部材
40 枠体
41 レール
42 移動部材
43 昇降シリンダ
44 上部チャンバ
45 吸着テーブル
46 枠体
47 固定板
48 ばね
49 支持枠
50 支持枠
51 軸
52 レール
53 スイングローラ
54 レール
55 支持枠
56 シリンダ
57 ガイド
58 真空アダプタ
59 昇降板
60 ガイド軸
61 支持板
62 押圧ピン(押圧部材)
63 押圧リング
64 固定枠
65 固定ピン
66 吸引パイプ
68 スライダ
69 切欠き孔
70 回転軸
71 レール
72 昇降ガイド
80 上部チャンバ
81 押圧ローラ
83 レール
84 吸着テーブル
85 テープ貼り付け搬送機構
86 貼り付けテーブル
87 円形孔
88 円周カッタ
89 真空アダプタ
90 軸
91 外周リブ
92 金属膜
93 ノッチ
Claims (4)
- 基板を載置して保持する接着テープ貼り付け部と、接着テープを基板の外形に見合う大きさと形状に切断する接着テープ切断部と、前記接着テープ貼り付け部と接着テープ切断部の間を移動し、接着テープ切断部で切断された接着テープを吸着保持して接着テープ貼り付け部に移送するとともに、接着テープ貼り付け部で基板上に接着テープを貼り付けるテープ搬送貼り付け機構とからなり、
前記接着テープ貼り付け部は、固定配置した真空用下部チャンバと、前記下部チャンバ内に上下動可能で基板を水平に載置して保持する載置テーブルとで形成され、
前記接着テープ切断部は、基板の外径に略等しい円形孔を備え、粘着面を下にして引き出された接着テープを貼り付けて固定する貼り付けテーブルと、該貼り付けテーブルの下部に上下動と旋回動自在に配置され、貼り付けテーブルに貼り付けられた接着テープを円形孔の内周に沿って切り抜く円周カッタと、前記貼り付けテーブルの上方で接着テープの引き出し方向に沿って往復移動自在となるよう配置され、接着テープを貼り付けテーブルの上面に貼り付ける貼り付けローラとで形成され、
前記テープ搬送貼り付け機構は、上下動自在及び接着テープ切断部の貼り付けテーブル直上から接着テープ貼り付け部の下部チャンバの直上の間を移動自在で、下部チャンバの直上での下降時に該下部チャンバと合わさって真空室を形成する上部チャンバと、この上部チャンバ内に収納され、該上部チャンバへの軸支部分を支点に上下に揺動自在となり、貼り付けテーブル上への下降時に水平姿勢で接着テープの非粘着面に重なって円周カッタで切り抜かれた接着テープを吸着保持し、傾斜状態で下部チャンバ上へ下降することにより、接着テープの傾斜下がり側の部分を基板の貼り付け始端部上に位置させるとともに、減圧雰囲気下で前記載置テーブルを上昇させて接着テープの傾斜下がり側の部分を基板と重ね、傾斜下がり側を基点に揺動して基板上に接着テープを貼り付ける吸着テーブルと、前記吸着テーブルを囲繞するように該吸着テーブルの外周に吸着テーブルに対して上下動可能に設けられるとともに上方に向けて弾性付勢され、下降位置で前記吸着テーブルに吸着保持された接着テープの吸着テーブルからはみ出た部分を押圧する押圧リングと、前記押圧リングの上方に昇降可能に設けられ、下降時に押圧リングを押し下げる押圧部材とで形成されていることを特徴とする基板への接着テープの貼り付け装置。 - 上記円周カッタは、接着テープを基板の外形よりも内側に納まるように該基板の外形よりも小さい形状に切断するようになっていることを特徴とする請求項1に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
- 上記基板は、円形状に形成され、裏面の外周部分をリブ状に残して内周部分が研削された凹状ウエハであることを特徴とする請求項1及び2に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
- 上記載置テーブルが上記凹状ウエハの裏面外周リブ部分のみを保持するようになっていることを特徴とする請求項1乃至3記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
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JP6933788B2 (ja) | 基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法 |
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