JP2015162634A - ウエハへの保護テープの貼付装置およびウエハの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ウエハの周端部を効率よく封止することができるウエハへの保護テープの貼付装置および保護テープが貼付されたウエハの製造方法を提供する。【解決手段】ウエハＷの外径よりも大きい外径を有する保護テープＡを当該ウエハＷの周端部から保護テープＡが突出するようにウエハＷの裏面に貼付するための保護テープＡの貼り付け部ｄと、前記保護テープＡの貼り付け部で保護テープＡが貼付されたウエハＷの表面に当該ウエハＷの外径よりも大きい外径を有する保護テープＢを当該ウエハＷの周端部から突出させて貼付し、保護テープＡの周端部と保護テープＢの周端部とを一体化させ、ウエハＷの周端部を封止するための端部封止部ｉを備えていることを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は、ウエハへの保護テープの貼付装置に関する。さらに詳しくは、本発明は、ウエハの周端部を効率よく封止することができるウエハへの保護テープの貼付装置および保護テープが貼付されたウエハの製造方法に関する。

半導体を製造する工程では、半導体のウエハ（以下、単にウエハという）の表面に回路を形成するためにエッチングが施されたり、ウエハの裏面には配線などのためのめっき処理が施されたりすることがある。これらの工程を行なう際には、処理が施されない部分にマスキングを行ない、エッチング液、めっき液などが付着することを防止する必要がある。エッチング液、めっき液などが付着することを防止するために、ウエハに保護テープが貼り付けられることがある。

ウエハに保護テープを貼り付けるための装置として、ウエハ位置決め部と保護テープ貼り付け部とウエハ搬送手段と保護テープ切断部とテープ搬送貼り付け機構とによって形成され、前記保護テープの貼り付け部がウエハ載置テーブルと昇降台とを有し、前記保護テープ切断部が貼り付けテーブルと円周カッターとオリフラカッターと貼り付けローラーと剥離ローラーとで形成され、前記テープ搬送貼り付け機構が真空用上部チャンバーと多孔性の吸着テーブルとで形成されている半導体ウエハへの保護テープの貼付装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

また、ウエハの外径とほぼ同等または当該外径よりも小さい保護テープをウエハに貼り付けるときに、保護テープとウエハの界面で気泡やしわを発生させずに、保護テープの端部が剥がれないようにすることができる保護テープの貼り付け装置として、載置テーブル上にウエハなどのウエハを載置して保持する下部チャンバーと、ウエハとほぼ同形状に切断されている保護テープを吸着保持する吸着テーブルが設けられ、下部チャンバーと一体となって真空室を形成する上部チャンバーとからなり、前記吸着テーブルの外周全域に昇降可能に外嵌した押圧リングが設けられ、押圧リングの下降動によって前記ウエハ上に貼り付けられた保護テープの吸着テーブルから露出した外周縁がウエハに貼り付けられるように構成されたウエハへの保護テープの貼り付け装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

前記ウエハへの保護テープの貼り付け装置は、ウエハ表面と吸着テーブルの保護テープ吸着面の面同士で保護テープを貼り付けることができ、貼り付けローラーでウエハを押圧する必要がないことから、ウエハを破損させがたいという利点を有する。

前記したようにウエハの表面または裏面に収まる外径を有する保護テープを貼り付けるための装置としていくつかの装置が提案されている。しかし、前記装置を用いた場合には、保護テープでウエハをマスキングする際に、保護テープの貼り付け部分に気泡やしわが入ったとき、当該部分からエッチング液、めっき液などが侵入するため、ウエハの必要箇所以外の部分がエッチングされたり、めっきされたりするおそれがある。このようにウエハの必要箇所以外の部分がエッチングされたり、めっきされたりしたとき、回路不良を起こし、ウエハの品質が低下するおそれがある。

また、一般に配線用基板に用いられるシリコンウエハは、当該シリコンウエハ上に感光性レジストなどの液レジストを塗布し、形成されたレジスト膜上に所定形状を有するマスクを介して露光し、ドライエッチングによって露光されていないレジストを除去した後、無電解めっきによってその表面上にめっき皮膜が形成されている（例えば、特許文献３の請求項１および段落［００３７］参照）。

しかし、シリコンウエハに液レジストを塗布したとき、シリコンウエハの端部に液レジストが均一に付着しないことがある。特に、近時のシリコンフェハの薄肉化のもとでは、シリコンウエハの端部がナイフエッジ状になるため、液レジストが当該ナイフエッジ状の端部に付着し難い。このように液レジストがシリコンウエハの端部に均一に付着せずにシリコンウエハが露出しているとき、当該シリコンウエハに無電解めっきを施した際に、露出しているシリコンウエハにめっき皮膜が形成され、当該めっき皮膜が容易に剥離して脱離することから、例えば、ダイシングなどの後工程でめっき皮膜が剥離し、デバイス面に付着することによって当該デバイス面を汚染することがある。

そこで、近年、ウエハの周端部を効率よく封止することができるウエハへの保護テープの貼付装置および保護テープが貼付されたウエハの製造方法の開発が待ち望まれている。

特許第３６０７１４３号公報 特許第５２７３７９１号公報 特開２０１２−２４３８９７号公報

本発明は、前記従来技術に鑑みてなされているものであり、ウエハの周端部を効率よく封止することができるウエハへの保護テープの貼付装置および保護テープが貼付されたウエハの製造方法を提供することを課題とする。また、本発明は、シリコンウエハなどのウエハに無電解めっきを施したときに当該ウエハの端部でめっき皮膜が形成されることを防止することができるウエハへの保護テープの貼付装置および保護テープが貼付されたウエハの製造方法を提供することを課題とする。

本発明は、
（１） ウエハに保護テープを貼付するための保護テープの貼付装置であって、
ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＡを当該ウエハの周端部から保護テープＡが突出するようにウエハの裏面に貼付するための保護テープＡの貼り付け部と、
前記保護テープＡの貼り付け部で保護テープＡが貼付されたウエハの表面に当該ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＢを当該ウエハの周端部から突出させて貼付し、保護テープＡの周端部と保護テープＢの周端部とを一体化させ、ウエハの周端部を封止するための端部封止部と
を備えていることを特徴とするウエハへの保護テープの貼付装置、
（２） 保護テープＢが、ウエハの外径よりも大きい外径およびウエハの外径よりも小さい内径を有するリング形状の保護テープである前記（１）に記載の保護テープの貼付装置、
（３） 保護テープが貼付されたウエハを製造する方法であって、前記ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＡを当該ウエハの周端部から保護テープＡが突出するように当該ウエハの裏面に貼付し、保護テープＡが貼付されているウエハの表面に当該ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＢを当該ウエハの周端部から保護テープＢが突出するように当該ウエハの表面に貼付した後、前記ウエハから突出した保護テープＡの周端部と保護テープＢの周端部とを一体化させてウエハの周端部を封止することを特徴とする保護テープが貼付されたウエハの製造方法、および
（４） 保護テープＢが、ウエハの外径よりも大きい外径およびウエハの外径よりも小さい内径を有するリング形状の保護テープである前記（３）に記載の保護テープが貼付されたウエハの製造方法
に関する。

本発明のウエハへの保護テープの貼付装置および保護テープが貼付されたウエハの製造方法によれば、ウエハの周端部を効率よく封止することができるという優れた効果が奏される。また、本発明のウエハへの保護テープの貼付装置および保護テープが貼付されたウエハの製造方法によれば、例えば、シリコンウエハなどのウエハに無電解めっきを施したときに当該ウエハの端部でめっき皮膜が形成されることを防止することができる。

本発明のウエハへの保護テープの貼付装置に用いられるウエハの一実施態様を示す表面側の概略平面図である。 本発明のウエハへの保護テープの貼付装置の一実施態様を示す概略平面図である。 図２に示される本発明のウエハへの保護テープの貼付装置のＣ−Ｃ部における概略縦断面図である。 図２に示される本発明のウエハへの保護テープの貼付装置のＤ−Ｄ部における概略縦断面図である。 上部チャンバーの一部を切り欠いたときの概略左側側面図である。 図５に示される上部チャンバーの一部を切り欠いたときの概略平面図である。 本発明の貼り付け装置で保護テープを貼り付けテーブルに貼り付ける動作の説明図である。 本発明の貼付装置で保護テープＡをウエハに貼り付ける際の図６に示されるＥ−Ｅ部における概略縦断面図である。 本発明の貼付装置で保護テープＢをウエハに貼り付ける際の図６に示されるＥ−Ｅ部における概略縦断面図である。 （ａ）および（ｂ）は、それぞれ本発明のウエハへの保護テープの貼付装置で保護テープＡをウエハに貼り付ける際の概略説明図である。 （ｃ）および（ｄ）は、それぞれ本発明のウエハへの保護テープの貼付装置で保護テープＡをウエハに貼り付ける際の概略説明図である。 （ｅ）および（ｆ）は、それぞれ本発明のウエハへの保護テープの貼付装置で保護テープＡをウエハに貼り付ける際の概略説明図である。 （ａ）〜（ｃ）は、それぞれ本発明のウエハへの保護テープの貼付装置で保護テープＢをウエハに貼り付ける際の概略説明図である。 （ｄ）および（ｅ）は、それぞれ本発明のウエハへの保護テープの貼付装置で保護テープＢをウエハに貼り付ける際の概略説明図である。 （ｆ）および（ｇ）は、それぞれ本発明のウエハへの保護テープの貼付装置で保護テープＢをウエハに貼り付ける際の概略説明図である。 本発明のウエハの製造方法によって得られたウエハの周端部が封止されたウエハの一実施態様を示す概略斜視図である

本発明のウエハへの保護テープの貼付装置は、前記したように、ウエハに保護テープを貼り付けするための保護テープの貼付装置であり、ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＡを当該ウエハの周端部から保護テープＡが突出するようにウエハの裏面に貼付するための保護テープＡの貼り付け部と、前記保護テープＡの貼り付け部で保護テープＡが貼付されたウエハの表面に当該ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＢを当該ウエハの周端部から突出させて貼付し、保護テープＡの周端部と保護テープＢの周端部とを一体化させ、ウエハの周端部を封止するための端部封止部を備えていることを特徴とする。

本発明のウエハへの保護テープの貼付装置を用い、ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＡを当該ウエハの周端部から保護テープＡが突出するように当該ウエハの裏面に貼付し、保護テープＡが貼付されているウエハの表面に当該ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＢを当該ウエハの周端部から保護テープＢが突出するように当該ウエハの表面に貼付した後、前記ウエハから突出した保護テープＡの周端部と保護テープＢの周端部とを一体化させることにより、ウエハの周端部を効率よく封止することができる。

本発明のウエハへの保護テープの貼付装置を以下の図面に基づいて詳細に説明するが、本発明は、当該図面に記載の実施態様のみに限定されるものではない。なお、各図において、ウエハの厚さ、外周リブの厚さおよび外周リブの幅は、いずれも本発明の理解を深めるために誇張して描かれており、必ずしも実際の厚さまたは幅を示すものではない。

本発明のウエハへの保護テープの貼付装置に用いられるウエハとしては、例えば、図１のウエハの表面側の概略平面図に示されるように、円盤形状を有するウエハＷを用いることができる。ウエハＷの外周の一部には、ウエハＷの位置決めとなるノッチＷａが形成されている。ウエハＷの裏面の外周端には、例えば、図１６のウエハの一実施態様に示されるように凸部（以下、外周リブ９１という）が形成されている。前記外周リブ９１は、例えば、ウエハＷの外周端に当該外周リブ９１が形成されるように、当該外周リブ９１が設けられる箇所よりも内側のウエハＷの裏面を研削するか、または当該ウエハＷの裏面をエッチングすることによって形成させることができる。

図２は、本発明のウエハへの保護テープの貼付装置の一実施態様を示す概略平面図である。図３は、図２に示される本発明のウエハへの保護テープの貼付装置のＣ−Ｃ部における概略縦断面図である。図４は、図２に示される本発明のウエハへの保護テープの貼付装置のＤ−Ｄ部における概略縦断面図である。

ウエハへの保護テープの貼付装置において、保護テープＡの貼り付け部は、ウエハ供給／収納部ａと、位置決め部ｂと、ウエハ供給／収納部ａのウエハＷを１枚ずつ取り出して位置決め部ｂに搬送するためのウエハ搬送機構ｃと、位置決め部ｂで位置決めされているウエハＷを受け取って支持するための保護テープＡの貼り付け部ｄと、位置決め部ｂ上のウエハＷを保護テープＡの貼り付け部ｄに移送するためのウエハ搬送機構ｅと、保護テープＡの貼り付け部ｄに隣接して位置し、保護テープＡをウエハＷの外形よりも大きい形状に切断するための保護テープ切断部ｆと、保護テープＡの貼り付け部ｄと保護テープ切断部ｆの間を移動し、保護テープ切断部ｆで切断された保護テープＡを吸着することによって保持し、保護テープＡの貼り付け部ｄに移送するとともに、保護テープＡの貼り付け部ｄでウエハＷ上に保護テープＡを貼り付けるためのテープ搬送貼り付け機構ｇを有する。これらの構成要素は、図面に示されるように、１台の機台１上に設けられていてもよく、複数の機台（図示せず）上に設けられていてもよい。

ウエハＷに貼着する保護テープＡとして、ウエハＷの外形よりも少し広幅でロール状に形成されている保護テープを用いることができる。保護テープＡは、通常、ウエハＷの裏面に貼り付けられるが、場合によってはウエハＷの表面に貼り付けられてもよい。

ウエハ供給／収納部ａ内には、例えば、昇降可能な収納カセット２内に複数枚のウエハＷの表面が上方を向くようにして当該ウエハＷが積み重ねて収納されている。ウエハ供給／収納部ａには、ウエハＷが昇降自在となるようにするために、必要に応じて、例えば、エレベーター機構などの昇降機構（図示せず）が設けられていてもよい。

位置決め部ｂは、ウエハ供給／収納部ａに近接して位置している。ウエハ搬送機構ｃは、その外周部にウエハＷを吸着する搬送ロボット３を有する。搬送ロボット３は、前後、上下、表裏反転および旋回の移動が可能となるように構成されている。搬送ロボット３により、ウエハ供給／収納部ａのウエハＷを１枚ずつ取り出し、表裏反転した後、位置決め部ｂに搬送することができる。

搬送ロボット３は、ウエハＷの下面を吸着することによって搬送するものである。なお、搬送ロボット３は、ウエハＷの上面を吸着するようにしてもよい。搬送ロボット３は、ウエハＷの裏面の外周リブ９１を吸着するように構成されている。また、搬送ロボット３は、先端の吸着ハンド部分が表裏反転するようにするために、例えば、モータなどの駆動源（図示せず）で回転するように構成されていることが好ましい。搬送ロボット３として、非接触でウエハＷを搬送することができる非接触型のハンドを用いてもよい。

位置決め部ｂ、保護テープＡの貼り付け部ｄおよび保護テープ切断部ｆは、いずれも機台１上の中央部に直線上に並べて設けられている。

位置決め部ｂは、機台１上にウエハＷを水平に支持するための位置決めテーブル４を有する。位置決めテーブル４の上方には、ウエハＷの外周部分を両側から掴持し、ウエハＷを回転させる保持枠４ａが形成されている。また、位置決めテーブル４の下方には回転モータ６が設けられている。

位置決めテーブル４は、回転モータ６によって回転する。位置決めテーブル４上にウエハＷを載置した後、保持枠４ａでウエハＷをその外周の両側から挟持し、ウエハＷを位置決めテーブル４とともに回転させ、位置決めテーブル４の近傍の上方に設けられている位置決めセンサ５でウエハＷのノッチＷａを検出することにより、ノッチＷａが所定位置に配置されるように位置決めし、ウエハＷの保持を解除することにより、ウエハＷが位置決めテーブル４上に載置される。

位置決め部ｂで位置決めされているウエハＷを受け取り、当該ウエハＷに保護テープＡを貼り付けるための保護テープＡの貼り付け部ｄは、機台１上で固定されている下部チャンバー７内に、ウエハＷを水平に保持して吸着するための載置テーブル８が設けられている。載置テーブル８の下方には、複数の昇降ガイド１２が設けられている。昇降ガイド１２を支持する支持板１４は、下部チャンバー７の外側の下方の固定枠に固定されている昇降シリンダ１３と接続されており、載置テーブル８は、上下動が可能となるように配設されている。なお、可動部分の各部には、気密性が保持されるようにするためにシールが施されていることが好ましい。

載置テーブル８は、ウエハＷの裏面の外周に設けられている外周リブ９１を吸着するための吸着パッド９が設けられている。吸着パッド９は、吸引パイプ１１と連通している。吸引パイプ１１は、真空ポンプなどの減圧ポンプ（図示せず）と接続されている。これにより、吸着パッド９に吸着力を発生させることができる。

載置テーブル８の中央付近には、複数の貫通孔８３が設けられている。貫通孔８３により、下部真空チャンバー７の内圧とウエハＷの裏面の内周部に存在する空間の圧力とが同一となるように構成されている。

また、貫通孔８３とは別のラインで複数の通気孔１０がそれぞれ連通するように設けられている。通気孔１０は、通気パイプ（図示せず）を通じて下部チャンバー７の外部のエアライン（図示せず）に接続されている。エアラインには、当該エアラインを介して外気の導入または停止が可能となるようにバルブ（図示せず）が接続されている。

位置決め部ｂにあるウエハＷを保護テープＡの貼り付け部ｄに移送するために、ウエハ搬送機構ｅが機台１上に配設されている。

ウエハ搬送機構ｅには、ウエハＷの裏面に設けられている外周リブ９１の上面（回路パターンが形成されていない部分）を吸着するための昇降自在な吸着ハンド１５が、機台１上に設けられたガイドレール１６に沿って配設されている。吸着ハンド１５は、位置決め部ｂと保護テープＡの貼り付け部ｄとの間を移動するように配置されている。吸着ハンド１５は、シリンダ８２で上下方向に可動となるよう配設することができる。

吸着ハンド１５には、モータ８１が接続されている。モータ８１を駆動することにより、吸着ハンド１５を表裏反転させることができる。吸着ハンド１５は、位置決め部ｂに配設されている位置決めテーブル４上で位置決めされているウエハＷを吸着した後、ガイドレール１６に沿って移動させることにより、ウエハＷを接着テープＡの貼り付け部ｄの載置テーブル８上に移動させることができる。なお、ウエハＷを保持するための吸着ハンド１５として、非接触型のハンドを用いることができる。

保護テープ切断部ｆは、保護テープＡの貼り付け部ｄを挟んで位置決め部ｂとは反対の側に配設されている。保護テープ切断部ｆは、対向する一対の側板１７、１７を有する。２枚の側板１７、１７の間の中央部には、下部チャンバー７の上端部とほぼ等しい高さに貼り付けテーブル１８が水平に設けられている。貼り付けテーブル１８の下部には、切断機構１９が設けられている。切断機構１９は、上下動および旋回動が自在である。貼り付けテーブル１８に貼り付けられる保護テープＡは、切断機構１９によって円形孔２７の内周に沿って切り抜かれる。

図４に示されるように、２枚の側板１７、１７の間には、ロール状の保護テープＡが巻回されているテープ供給ロール２０と、セパレータ巻取ロール２１と、切り抜き後の余剰保護テープを巻き取るためのテープ巻取ロール２２と、テープ供給ロール２０から引き出されている保護テープＡを下方に誘導するためのガイドローラー２３と、保護テープＡからセパレータＴａを剥がすための一対のガイドローラー２４と、ガイドローラー２５と、保護テープＡをテープ巻取ロール２２に誘導するための一対のガイドローラー２６とが設けられている。

セパレータＴａが剥がされている保護テープＡは、一対のガイドローラー２４とガイドローラー２５との間で、保護テープＡの粘着面が下に向き、ほぼ水平の状態で貼り付けテーブル１８の上面に接近する。

貼り付けテーブル１８は、図３、図４および図７に示されるように、ウエハＷの外形よりも大きい形状に形成されている。貼り付けテーブル１８の中央部には、ウエハＷの外径よりもやや大きい円形孔２７が形成されている。また、図５および図６に示されるように、テープ搬送貼り付け機構ｇの上部チャンバー４４に設けられている支持枠４９および支持枠５０が貼り付けテーブル１８の上面と干渉しないようにするために、図７に示されるように、貼り付けテーブル１８に切欠き部６８、６９が設けられている。

貼り付けテーブル１８の上方には、一対のガイドローラー２４とガイドローラー２５との間に存在する保護テープＡの上側で貼り付けローラー２８が、また保護テープＡの下側の剥離ローラー２９が、それぞれ保護テープＡの移動方向に沿って回転自在に配置されている。

切断機構１９には、図３に示されるように、円形孔２７と同じ軸心を有する回転軸９３が設けられている。回転軸９３には、モータ３４で回転するように取り付けられている支持板３０が取り付けられている。支持板３０の外周方向には、レール３５に沿って移動可能であるとともに適宜の位置で固定可能である可動台３２が設けられている。可動台３２には、シリンダなどによって上下方向に移動可能な円周カッター３３が取り付けられている。

円周カッター３３は、上方向に上昇したとき、貼り付けテーブル１８上の保護テープＡの円形孔２７に位置する部分を突き破り、モータ３４の回転運動によって旋回する。これにより、保護テープＡは、円形に切り抜かれる。

保護テープＡの直径は、ウエハＷの周端部から封止代が突出するようにウエハＷの外径よりも大きくなるように設定される。したがって、円周カッター３３の旋回時の直径は、ウエハＷの外径よりも大きくなるように設定されている。円周カッター３３の旋回時の直径は、可動台３２で容易に調節することができる。

貼り付けローラー２８は、前後方向に移動可能な軸受部材３７に架設されている。貼り付けローラー２８は、例えば、駆動装置（図示せず）を用いて駆動させることにより、保護テープＡを貼り付けテーブル１８上に押圧して接着させることができる。

図４に示される剥離ローラー２９は、前後方向に移動可能な軸受部材３８に架設されている。剥離ローラー２９は、例えば、駆動装置（図示せず）を用いて駆動させることにより、円周カッター３３によって保護テープＡを切り抜いた後に貼り付けテーブル１８上に接着されている余剰の保護テープＡを貼り付けテーブル１８の上面から剥がすことができる。

側板１７、１７の対向面に枠体４０、４０が水平に設けられている。また、枠体４０、４０に沿ってレール４１、４１が施設されている。レール４１、４１には、スライダー６６、６７が摺動可能に嵌合している。スライダー６６、６７の間には、移動部材４２が設けられている。移動部材４２は、例えば、モータなどの駆動手段（図示せず）により、保護テープＡの貼付け部ｄの直上と保護テープ切断部ｆの直上との間で移動可能に配設されている。

移動部材４２の下部には、下面が開放している上部チャンバー４４が昇降シリンダ４３を介して上下方向に移動するように取り付けられている。上部チャンバー４４内には、吸着テーブル４５が設けられている。吸着テーブル４５は、多孔質の吸着部材をテーブル枠４６に内嵌することによって形成されている。テーブル枠４６の上には、支持板４７が固定されている。支持板４７の一端には、吸着テーブル４５を常時上方に傾斜させるために弾性を付勢するばね４８が設けられている。支持板４７の他端には、支持枠５０が下方に向かって延設されている。支持枠５０は、軸５１により、上部チャンバー４４の内部下方に延設されている支持枠４９に揺動可能に軸支されている。

支持板４７には、当該支持板４７に沿ってレール５２が敷設されている。レール５２上には、上部チャンバー４４の内面上部に取り付けられているレール５４に沿ってモータなどの駆動装置（図示せず）により、水平方向に駆動可能なスイングローラー５３が、支持枠５５に軸支して設けられている。スイングローラー５３は、レール５２上を水平方向に移動するように構成されている。

吸着テーブル４５の傾斜下端側から傾斜上端側に向かってスイングローラー５３を水平方向に移動させることにより、軸５１を支点として吸着テーブル４５を揺動させることができる。なお、軸５１は、保護テープＡを揺動させることによってウエハＷに貼り付ける際に、保護テープＡおよびウエハＷが水平方向にずれないようにするために、吸着テーブル４５の保護テープＡの保持面の傾斜の下端が支点となるように設定することが好ましい。

吸着テーブル４５では、前記したように、多孔質の吸着体がテーブル枠４６内で保持されている。テーブル枠４６には、例えば、真空ポンプなどの減圧手段（図示せず）と接続されている吸引パイプ６５を介して吸着テーブル４５のテーブル面で吸引力が発生するように構成されている。

吸着テーブル４５は、ウエハＷの裏面側の内周研削部の直径よりも少し小さい直径を有する円形状のテーブルである。上部チャンバー４４が保護テープ切断部ｆの直上で下降したとき、吸着テーブル４５は、円形孔２７とは同軸心で配置され、保護テープＡの円形孔２７上に位置し、保護テープＡを非粘着面側から吸着する。

上部チャンバー４４が保護テープＡの貼り付け部ｄの下部チャンバー７の直上に下降したとき、吸着テーブル４５で保持されている保護テープＡが載置テーブル８に載置されているウエハＷ上に移動する。上部チャンバー４４の下縁が下部チャンバー７の上縁と重なったとき、上部チャンバー４４と下部チャンバー７とによって密閉室（図示せず）が形成される。形成される密閉室内の空気は、例えば、真空ポンプなどの減圧装置（図示せず）を作動させることにより、当該減圧装置と連通した真空アダプタ５８から吸引される。その結果、ウエハＷと保護テープＡの周囲の雰囲気が減圧される。

吸着テーブル４５は、ウエハＷの裏面側の内周研削部の直径よりも少し小さい直径を有する円形状に形成されている。これに対して、貼り付けテーブル１８の円形孔２７は、ウエハＷの外径よりも少し大きい直径を有する。したがって、円形孔２７の内周と吸着テーブル４５の外周との間に環状の隙間が形成される。保護テープＡは、円形孔２７の内周に沿って円周カッター３３を挿入することにより、円形に切り抜かれる。切り抜かれた保護テープＡは、その外周部が吸着テーブル４５からはみ出した状態で吸着テーブル４５の下面に吸着によって保持される。

吸着テーブル４５は、例えば、連続気泡を有する多孔質セラミックスなどによって成形することができる。吸着テーブル４５は、その全表面で保護テープＡに対する吸着力が生じるように構成されている。

載置テーブル８には、ウエハＷの内周研削部の内径とほぼ同程度の直径を有する凹部８ａが形成されている。載置テーブル８は、載置されているウエハＷの外周に形成されている外周リブ９１と対応する表面側を吸着パッド９で吸着する。載置テーブル８には、吸着パッド９が用いられている。なお、吸着パッド９の代わりに、例えば、ウエハＷの外周の外側から内側に向けて挟持することができるチャック機構などを用いることもできる。

凹部８ａの内周面には、複数の通気孔１０が放射状に設けられている。各通気孔１０は、いずれも連通している。通気孔１０は、下部チャンバー７の外部とホース、通気パイプなどの連通手段と連通しており、エアバルブ（図示せず）と接続されている。通気孔１０は、バルブの開閉によって通気と通気の停止が自在になっている。また、通気孔１０と隣接して複数の貫通孔８３が設けられており、下部チャンバー７の内部に連通している。

載置テーブル８上で吸着保持されたウエハＷの内周研削面に対応する表面部は、凹部８ａ（図８、図１０参照）と非接触の状態で支持される。なお、真空チャンバーの形成時に貫通孔８３が真空チャンバー内と連通しているので、真空チャンバー内を減圧状態にした場合であっても、ウエハＷが変形することを防止することができる。したがって、ウエハＷの裏面側を保持する際に、ウエハＷの内周研削面に載置テーブル８が接触することを防止することができる。また、ウエハＷの表面側を保持する場合は、パターン形成面に載置テーブル８が接触することを防止することができる。

ウエハＷとして、凹状形状を有するウエハＷではなく、平坦な面を有するウエハＷを用いる場合には、載置テーブル８に多孔質セラミックスなどの吸着体を用い、凹部８ａが設けられていない平面な吸着体を用いることにより、当該載置テーブル８の全面でウエハＷを吸着することができるようにしてもよい。

吸着テーブル４５の外周には、外周リング６３が吸着テーブル４５と摺動可能に配設されている。外周リング６３は、図４、図５、図６および図８に示されるように、ボルトなど（図示せず）によって支持枠６４に固定されている。また、図８に示されるように、外周リング６３は、ウエハＷの周端部から突出した保護テープＡの外径よりも大きい外径を有する。

図８に示されるように、支持枠６４は、テーブル枠体４６の４箇所に形成されている切欠き部分に固定されている固定ピン７１の周囲に配設されている昇降ガイド７２を介して摺動可能に設けられている。支持枠６４は、当該支持枠６４とテーブル枠体４６との間隙で、固定ピン７１に挿入されているばね７３によって当該支持枠６４が上方向に付勢されている。

外周リング６３と支持枠６４とは一体化され、固定されている。外周リング６３は、支持枠６４とともにばね７３で上方向に付勢されている。支持枠６４が押圧されているとき、外周リング６３は、支持枠６４とともに所定位置まで下降し、吸着テーブル４５の外周からはみ出している保護テープＡをウエハＷの外周リブ９１に対して押圧する。このとき、保護テープＡは、ウエハＷの周端部から周端部の封止代だけ突出した状態でウエハＷに貼り付けられる。

外周リング６３および支持枠６４の直上には、支持枠６４を押し下げるための押圧ピン６２が設けられている。押圧ピン６２は、上部チャンバー４４内で上下方向に移動可能に懸架されている２枚の支持板６１、６１の下面の支持枠６４に対応する位置に設けられている。

支持板６１は、上部チャンバー４４の外側上部に設けられているガイド５７、５７のガイド軸６０、６０の下端に固定されている。ガイド軸６０の上端は、上部チャンバー４４の上方に水平に設けられている昇降板５９と接続されている。昇降板５９は、上部チャンバー４４の外側の上方に固定されているシリンダ５６の作用によって上下方向に移動可能に設けられている。昇降板５９が上下方向の移動することにより、押圧ピン６２が上下方向に移動し、外周リング６３が押し下げられる。

上部チャンバー４４の外周壁面には、支持板７０が保護テープＡの貼り付け部ｄ側に突出して設けられている。支持板７０の先端上部には、下方に向けてモータ８４が設けられている。モータ８４のモータ軸には、支持枠７４が接続されている。支持枠７４の両端には、押えローラー７５、７５が軸支されている。モータ８４を駆動させることにより、支持枠７４が回転し、押えローラー７５、７５が、保護テープＡを介してウエハＷの外周リブ９１面上を円周方向に押圧転動する。

次に、図１０〜図１２に示される実施態様を中心にしてウエハＷに保護テープＡを貼り付ける際の操作を説明する。

図３および図４に記載の実施態様では、テープ搬送貼り付け機構ｇは、当初、保護テープ切断部ｆの直上で上昇位置に待機している。上部チャンバー４４内の吸着テーブル４５は、傾斜姿勢に保持されている。保護テープ切断部ｆの切断機構１９は、円周カッター３３が下降位置に待機している。テープ供給ロール２０から引き出された保護テープＡは、セパレータＴａが剥がされ、ガイドローラー２４とガイドローラー２５との間で粘着面が下向きとなるように所定の展張状態が維持されている。貼り付けローラー２８は、図４の矢印ｋに示されるように往復運動をし、図７に示されるように、保護テープＡを貼り付けテーブル１８の上面に接着させる。このとき、剥離ローラー２９は、保護テープＡの回収側となる後方に位置している。

前記した状態で、ウエハＷは、ウエハ搬送機構ｃによってウエハ供給／収納部ａから１枚ずつ取り出される。ウエハＷは、その裏面の内周研削面が上面となるように位置決め部ｂに搬送される。位置決め部ｂで位置決めされたウエハＷは、図１０（ａ）に示されるように、ウエハ搬送機構ｅで保護テープＡの貼り付け部ｄの載置テーブル８上に供給される。載置テーブル８は、位置決めされているウエハＷを吸着パッド９で吸着し、保持する。

ウエハＷは、その裏面の内周研削面が上方を向くようにして載置テーブル８上に供給される。テープ搬送貼り付け機構ｇでは、スイングローラー５３が移動した後、上部チャンバー４４が下降することにより、吸着テーブル４５が保護テープＡと重ねられ、その下面で保護テープＡの非粘着面が吸着される。

図１０（ａ）の実施態様に示されるように、吸着テーブル４５が保護テープＡを吸着したとき、カッター機構１９の円周カッター３３が上昇し、円形孔２７の内周に沿って保護テープＡを突き破って旋回することにより、保護テープＡが円形に切り抜かれる。

円形に切り抜かれた保護テープＡは、ウエハＷの周端部から、例えば、１〜２０ｍｍ程度の長さのはみ出し量で形成することができるが、本発明は、当該はみ出し量によって限定されるものではなく、当該はみ出し量は適宜変更することができる。このようにウエハＷの周端部からはみ出した保護テープＡは、その後の工程でウエハＷの表面側に貼り付けられる保護テープＢとウエハＷの周端部分で封止される。

なお、切り抜かれた保護テープＡは、吸着テーブル４５の下面に吸着保持されており、吸着テーブル４５からの脱落が防止されている。

位置決め部ｂで位置決めされたウエハＷは、搬送ロボット３により、その外周リブ９１が吸着され、載置テーブル８上に搬送される。載置テーブル８上に搬送されたウエハＷは、表面のパターン形成面の外周部分が吸着パッド９によって吸着されることにより、載置テーブル８上に保持される。載置テーブル８のテーブル面に凹部８ａが形成されているので、当該テーブル面とウエハＷのパターン形成面とが接触することを防止することができる。

次に、図１０（ｂ）の実施態様に示されるように、円周カッター３３が所定の下降位置に移動したとき、上部チャンバー４４が上昇する。上部チャンバー４４は、保護テープＡの貼り付け部ｄの下部チャンバー７上に移動する。上部チャンバー４４が移動しているとき、スイングローラー５３が軸５１側に移動する。円形の保護テープＡを吸着保持した吸着テーブル４５は、傾斜姿勢になり、その状態で上部チャンバー４４が下方向に移動し、下部チャンバー７と重なることにより、真空チャンバーが形成される。

真空チャンバーが形成された後、真空アダプタ５８を介して真空ポンプなどの減圧装置（図示せず）で真空チャンバー内が減圧される。その後、載置テーブル８を上昇させることにより、傾斜している保護テープＡの下端部が、ウエハＷの貼り付け部の端部から封止代分だけはみ出した状態でウエハＷの端部と接触する。

なお、載置テーブル８には、ウエハＷのパターン形成面と接触しないようにするために、内周部分に凹部８ａが形成されている。また、載置テーブル８の凹部８ａに設けられている通気孔１０は、真空チャンバーの外部と連通し、バルブ（図示せず）によって外部から大気を導入することができる。貫通孔８３が真空チャンバー内の減圧時にウエハＷの凹部における空間が真空チャンバー内の減圧度と同等の圧力に保たれるようにするために載置テーブル８に形成されているので、減圧による吸引によってウエハＷが変形することを防止することができる。なお、チャンバー内の減圧度と、載置テーブル８および吸着テーブル４５に吸着性を付与するための吸着圧との間には差があることから、チャンバー内が減圧状態にあっても載置テーブル８によってウエハＷが保持され、吸着テーブル４５によって保護テープＡが保持される。

次に、図１１（ｃ）の実施態様に示されるように、吸着テーブル４５を水平方向に揺動させることにより、吸着テーブル４５の下面に吸着保持されている保護テープＡは、その粘着面がウエハＷの上面と加圧接着される。引き続いて外周リング６３が下降し、吸着テーブル４５からはみ出した保護テープＡがウエハＷの外周リブ９１に貼り付けられる。なお、載置テーブル８のウエハＷを保持する部分の外周は、保護テープＡの封止代としてはみ出した部分が接着しないようにするために、非粘着処理（図示せず）が施されていることが好ましい。

なお、図８は、図１１（ｃ）に示される実施態様における要部を拡大した概略説明図であり、図６のＥ−Ｅ部における縦断面に相当するものである。

図１１（ｃ）において、吸着テーブル４５が揺動し、水平状態となった後、押圧ピン６２がシリンダ５６の作用で下降することにより、外周リング６３がばね７３に抗して押し下げられる。外周リング６３は、保護テープＡの吸着テーブル４５からはみ出した部分をウエハＷの外周リブ９１に押圧する。このとき、減圧雰囲気下で保護テープＡのはみ出し部分がウエハＷに押圧されるので、保護テープＡとウエハＷとの間に気泡が入り込むことを防止することができるとともに、保護テープＡにしわが発生することを防止することができる。なお、外周リング６３の下面には、保護テープＡの粘着剤の付着を防止するようにするために、非粘着処理部６３ａが形成されていることが好ましい。

次に、図１１（ｄ）の実施態様に示されるように、真空アダプタ５８を介して大気が真空チャンバー内に導入され、保護テープＡとウエハＷとが接着される。このとき、通気孔１０を介して大気が凹部８ａ内に導入され、凹部８ａの空間内の圧力が高められることにより、吸着テーブル４５側にウエハＷが押し付けられ、保護テープＡとウエハＷとがさらに密着性よく貼り付けられる。このとき、通気孔１０から導入される空気量は、貫通穴８３から凹部８ａ外に放出される空気量よりも多いことから、凹部８ａの空間内の圧力が高められる。

次に、図１２（ｅ）の実施態様に示されるように、上部チャンバー４４を上昇させるとともに、上部チャンバー４４をテープ切断部ｆの方向へ後退させる。上部チャンバー４４の後退とともに上部チャンバー４４の側方に設けられている押えローラー７５をウエハＷの外周リブ９１の上方に、換言すれば、旋回中心をウエハＷと同軸心上に位置させる。上部チャンバー４４を下降させ、モータ（図示せず）を駆動させて押えローラー７５を旋回させることにより、押えローラー７５は、保護テープＡを介してウエハＷの外周リブ９１上を押圧転動する。これにより、保護テープＡがウエハＷの外周リブ９１に密着性よく貼り付けられる。また、保護テープＡは、ウエハＷの周端部から封止代だけ外側に突出した状態となる。

次に、図１２（ｆ）の実施態様に示されるように、上部チャンバー４４は、保護テープＡの貼り付け部ｄ上に再度位置した後、上部チャンバー４４が下降し、下部チャンバー７と重なり、真空チャンバー（図示せず）を形成する。

保護テープＡの貼り付けが完了したウエハＷは、図１２（ｆ）の二点鎖線に示されるように、吸着テーブル４５に吸着され、保持される。引き続いて図２に示されるウエハ搬送機構ｅの搬送ロボット１５のウエハＷは、その吸着面が上面となるようにモータ８１の稼働によって表裏反転した後、搬送ロボット１５は、吸着テーブル４５の下方に進入する。搬送ロボット１５は、シリンダ８２の作用によって上下動することにより、吸着テーブル４５からウエハＷを受け取る。その後、搬送ロボット１５は、保護テープＡの貼り付け部ｄから退去する。

次に、図１０（ａ）の二点鎖線に示されるように、上部チャンバー４４が初期位置のテープ切断部ｆ上へ復帰するとともに押圧ピン６２による支持枠６４の押圧を解除することにより、ばね７３によって外周リング６３が上昇する。

ウエハＷに保護テープＡを貼り付ける工程は、減圧（例えば、２５０Ｐａ）下で行ない、吸着テーブル４５を傾斜させた状態でウエハＷ上に重ねた後、吸着テーブル４５を水平方向に揺動させることにより、ウエハＷと保護テープＡと間に存在している空気を排出することができる。このことから、ウエハＷと保護テープＡの貼り付け面との間に気泡が発生することを防止することができるとともに、保護テープＡが吸着テーブル４４によって展張状態で吸着保持されるので、保護テープＡにしわが発生することを防止することができる。

保護テープＡが円周カッター３３によって切り抜かれた後、剥離ローラー２９は、図４に示される保護テープＡの貼り付けを開始したときの位置に向かって移動し、切り抜かれた保護テープＡの余剰部分が貼り付けテーブル１８の上面から引き離される。その後、剥離ローラー２９は、初期の位置に戻る。また、テープ巻取ロール２２が回転し、保護テープＡを所定の長さで巻き取り、保護テープＡの新たな部分を貼り付けテーブル１８の上面に引き出すことができる。

ウエハＷの周端部を封止するための端部封止部ｉは、保護テープＡの貼り付け部で保護テープＡが貼付されたウエハＷの表面に当該ウエハＷの外径よりも大きい外径を有する保護テープＢを当該ウエハＷの周端部から突出させて貼付し、保護テープＡの周端部と保護テープＢの周端部とを一体化させ、ウエハＷの周端部を封止するために配設される。

保護テープＢは、ウエハＷの表面に半導体チップなどの搭載する領域を形成させる観点から、ウエハＷの外径よりも大きい外径およびウエハＷの外径よりも小さい内径を有するリング形状の保護テープであることが好ましい。したがって、以下においては、ウエハＷの外径よりも大きい外径およびウエハＷの外径よりも小さい内径を有するリング形状の保護テープＢを中心にして説明する。

ウエハＷに保護テープＢを貼付する際には、ウエハＷへの保護テープＢの貼付装置を用いることができる。ウエハＷへの保護テープＢの貼付装置は、ウエハＷへの保護テープＡの貼付装置に隣接して設けることができる。

ウエハＷへの保護テープＢの貼付装置は、保護テープＢをウエハＷの外形よりも大きい形状に切断するための保護テープ切断部ｈと、保護テープ切断部ｈで切断された保護テープＢを吸着することによって保持し、ウエハＷ上に保護テープＢを貼り付けるための保護テープＡの貼り付け部ｄを有する。なお、当該実施態様においては、保護テープＡの貼り付け部ｄは、保護テープＡの貼り付けと共用されている。これらの構成要素は、図面に示されるように、１台の機台１上に設けられていてもよく、複数の機台（図示せず）上に分けて設けられていてもよい。

ウエハＷに貼着する保護テープＢには、ウエハＷの外形よりも少し広幅でロール状に形成されている保護テープを用いることができる。

保護テープ切断部ｈは、図２〜図７に示される保護テープ切断部ｆとほぼ同様の構成を有することから、それぞれ共通の部品には同じ参照符号を用い、共通する説明を省略する。

なお、保護テープ切断部ｆと保護テープ切断部ｈとの相違点は、テープ搬送貼り付け機構ｇにおける、外周リング６３の押圧部の直径が異なる点、および保護テープ切断部ｈにおける吸着テーブル７９に吸着テーブル４５の多孔質体が設けられていない点が挙げられる。また、上部チャンバー４４の側方に設けられる押えローラー７５が上部チャンバー８０では、２連となっている点でも相違している。

保護テープ切断部ｈは、前記したように、保護テープ切断部ｆとほぼ同様の構成を有することから、相違点について説明し、同様の構成を有する箇所に関する説明を省略する。

保護テープ切断部ｈには、保護テープＡに代えて保護テープＢがテープ供給ロール２０に巻回されている。

上部チャンバー８０の外周壁面には、支持板７０が位置決め部ｂ側に突出して設けられている。支持板７０の先端の上部には、下方に向けてモータ８４が設けられている。モータ８４のモータ軸は、支持枠７４に接続されている。支持枠７４の両端には、それぞれ２連の押えローラー７６、７６が軸支されている。モータ８４を駆動することにより、支持枠７４が回転し、押えローラー７６、７６、７６、７６は、保護テープＢを介してウエハＷの外周リブ９１と対応する表面およびウエハＷの周端部からはみ出した保護テープＢの封止代の上を円周方向に押圧転動する。

次に、保護テープＢをウエハＷに貼り付けることおよびウエハＷの周端部で保護テープＡと保護テープＢとを封止するための端部封止部ｉについて説明する。

図７に示される実施態様と同様に、保護テープ切断部ｈにおける貼り付けローラー２８が保護テープＢを介して貼り付けテーブル９４上を押圧転動する。これにより、保護テープＢが貼り付けテーブル９４に貼り付けられる。

図１３（ａ）の実施態様に示されるように、テープ吸着体１０２は、保護テープ切断部ｈに進入し、テープ吸着体１０２は、円形孔９５と同軸心となるように円形孔９５上に位置する。

図１３（ａ）に示される実施態様では、テープ吸着体１０２の外形に沿って保護テープＢが切断され、保護テープＢに円形孔が形成されているが、当該円形孔は必ずしも形成されていなくてもよい。しかし、ウエハＷの表面にあらかじめパターンを形成するための領域を形成させる観点から、図１３（ａ）の実施態様に示されるように、テープ吸着体１０２の外形に沿って保護テープＢを切断し、保護テープＢに円形孔が形成されていることが好ましい。円形孔９５の直径は、ウエハＷの周端部を封止する封止代だけ大きく形成されているが、ウエハＷの周端部を封止する封止代の外径よりも大きくてもよい。

その後、テープ吸着体１０２は、下降し、円形孔９５に位置する保護テープＢをその貼り付け面の裏面から吸着する。引き続いて、円周カッター３３は、上方向に上昇し、貼り付けテーブル９４上に接着されている保護テープＢのテープ吸着体１０２の外周部分を突き破り、モータ３４の回転運動によって旋回する。これにより、保護テープＢは、テープ吸着体１０２とほぼ同径の円形に切り抜かれる。

テープ吸着体１０２は、ウエハＷの外径よりも小さくなるように設定されているので、保護テープＢの直径は、例えば、ウエハＷの外径よりも１〜１０ｍｍ程度小さくなるように形成される。したがって、円周カッター３３の旋回時の直径は、ウエハＷの外径よりも小さくなるように設定される。なお、円周カッター３３の旋回時の直径は、可動台３２で容易に調節することができる。

次に、図１３（ｂ）の実施態様に示されるように、テープ吸着体１０２は、保護テープ切断部ｈから不要テープ廃棄部１０５上に移動する。このとき、テープ吸着体１０２には、円形状に形成された不要テープ１０６が吸着保持されている。テープ吸着体１０２が不要テープ廃棄部１０５上に位置したとき、テープ吸着体１０２の吸着を解除することにより、不要テープ１０６を不要テープ廃棄部１０５内に落下させることができる。

移動部材４２の下部には、下面が開放している上部チャンバー８０が昇降シリンダ４３を介して上下方向に移動するように取り付けられている。上部チャンバー８０内には、吸着テーブル７９が設けられている。吸着テーブル７９は、内周部分が凹状に形成され、凹状部の外周部分に吸着パッド７９ａが設けられている。吸着テーブル７９の吸着パッド７９ａには、例えば、真空ポンプなどの減圧手段（図示せず）と接続されている吸引パイプ６５を介して吸着テーブル７９の外周部分で吸引力が発生するように構成されている。

図１３（ｃ）の端部封止部ｉの実施態様に示されるように、吸着テーブル７９は、ウエハＷの外径とほぼ同じ直径を有する円形状のテーブルである。上部チャンバー８０が保護テープ切断部ｈの直上で下降したとき、吸着テーブル７９は、円形孔９５と同軸心で配置され、保護テープＢの円形孔上に位置し、保護テープＢをその非粘着面側から吸着する。吸着テーブル７９が保護テープＢを吸着した後、円周カッター３３が上昇し、円形孔９５の外周部分に突き刺さる。その後、円周カッター３３が円形孔９５に沿って旋回することにより、リング形状を有する保護テープＢが形成される。図１３（ｃ）に示される実施態様では、ウエハＷの外径よりも１〜２０ｍｍ程度大きい外径を有し、円形孔を有するリング状の保護テープＢが形成されている。なお、円形孔を有する保護テープＢではない場合、吸着テーブル７９は、保護テープＡの貼り付け時に使用されるような吸着テーブル４５、換言すれば全面吸着テーブルと同様の構成とすればよい。

保護テープＢの切断と並行して図１２（ｆ）の実施態様に示されるように、保護テープＡが貼り付けられたウエハＷは、テープ吸着体１０２の裏面に保持され、モータ８１を駆動させることにより、ウエハＷのパターンの形成面が上面となるように搬送ロボット１５を反転させる。その後、テープ吸着体１０２を載置テーブル８上に移動させ、図１３（ｃ）の実施態様に示されるように、ウエハＷは、そのパターン形成面が上面となるように載置テーブル８上に載置される。

吸着テーブル７９は、ウエハＷの外径よりも少し小径の円板状に形成されている。貼り付けテーブル９４の円形孔９５は、ウエハＷの周端部から突出させるためにウエハＷの外径よりも少し大きい直径を有する。円形孔９５の内周と吸着テーブル７９の外周との間には、環状の隙間が形成される。保護テープＢは、前記隙間に円周カッター３３を挿入することにより、円形に切り抜かれる。切り抜かれた保護テープＢは、その外周部が吸着テーブル７９からはみ出した状態で吸着テーブル７９の外周下面の吸着パッド７９ａによって吸着され、保持される。吸着テーブル７９は、表面に円形の凹部が形成され、凹部の外周壁表面に形成された複数の吸着パッド７９ａで保護テープＢに対する吸着力が生じるように構成されている。また、吸着テーブル７９の凹部は、真空チャンバーを形成した際に、真空チャンバー内と同じ圧力となるようにするために貫通穴（図示せず）が形成されていてもよい。前記貫通穴は、真空チャンバーと連通している。

次に、図１３（ｃ）の実施態様に示されるように、上部チャンバー８０は、貼り付けテーブル９４の上に移動する。上部チャンバー８０が移動しているときにスイングローラー５３が軸５１と反対側に移動することにより、吸着テーブル７９が水平状態となるように保持される。上部チャンバー８０は、保護テープ切断部ｈ上に移動し、下降することにより、吸着テーブル７９は、円形孔が形成されている保護テープＢ上に重ねられる。吸着テーブル７９は、保護テープＢの円形孔に沿った外側部分を吸着パッド７９ａによって吸着保持する。引き続いて、円周カッター３３が円形孔９５の周端部まで移動し、上昇することにより、保護テープＢに突き刺さる。円周カッター３３がモータ３４によって旋回することにより、保護テープＢが切断される。

以上の操作により、切断された保護テープＢは、ウエハＷの外径よりも大きい外径および所望によりウエハＷの外径よりも小さい内径を有するリング形状の保護テープＢが形成される。

図１４（ｄ）の実施態様に示されるように、保護テープＢを吸着保持した吸着テーブル７９を傾斜姿勢に復帰させながら、上部チャンバー８０を保護テープＡの貼り付け部ｄ上に移動させ、下方向に移動させることにより、上部チャンバー８０と下部チャンバー７とが重ねられる。傾斜している保護テープＢの下端部は、ウエハＷの貼り付け部の端部と接触し、下部チャンバー７と上部チャンバー８０とによって囲まれた雰囲気は封鎖されるので、真空チャンバーが形成される。その後、真空アダプタ５８を介して真空ポンプなどの減圧装置（図示せず）で真空チャンバー内を減圧することができる。なお、載置テーブル８に設けられている貫通孔８３は、真空チャンバー内と連通していることから、内周部分が研削されることによって内周面に凹部が形成されているウエハＷの当該凹部における空間が真空チャンバー内の減圧度と同等に保たれるので、吸引によってウエハＷが変形することを防止することができる。

次に、減圧されている真空チャンバー内で、載置テーブル８を上昇させることにより、ウエハＷを上昇させ、吸着テーブル７９に保持されている保護テープＢの傾斜した下端にウエハＷを接触させることができる。

その後、図１４（ｅ）の実施態様に示されるように、吸着テーブル７９を水平方向に揺動させることにより、吸着テーブル７９の下面に吸着保持されている保護テープＢは、その粘着面がウエハＷの上面に加圧接着される。さらに、押圧リング７８がシリンダ５６の作用で下降することにより、ウエハＷの外周にはみ出した保護テープＡと保護テープＢの封止代同士が押圧され、ウエハＷの周端部が封止される。なお、チャンバー内の減圧度と、吸着テーブル４５に吸着性を付与するための吸着圧との間には差があることから、チャンバー内が減圧状態にあっても吸着テーブル７９によってウエハＷが保持され、吸着テーブル７９によって保護テープＢが吸着される。

図９は、図１４（ｅ）に示される実施態様の要部拡大説明図であり、図６のＥ−Ｅ部における縦断面に相当するものである。

吸着テーブル７９が揺動し、水平状態となった後、押圧ピン６２がシリンダ５６の作用で下降することにより、押圧リング７８がばね７３に抗して押し下げられる。押圧リング７８は、保護テープＢの吸着テーブル７９からはみ出した部分をウエハＷの周端部からはみ出した保護テープＡに押圧する。このとき、減圧雰囲気下で、保護テープＢのはみ出し部分が保護テープＡに押圧されるので、保護テープＢとウエハＷとの間に気泡が入り込むことを防止することができるとともに、保護テープＡと保護テープＢの封止部にしわが発生することを防止することができる。なお、押圧リング７８の下面には、保護テープＡおよび保護テープＢの粘着剤の付着を防止するために、非粘着処理７８ａが施されていることが好ましい。

次に、図１５（ｆ）の実施態様に示されるように、真空チャンバー内に大気を導入することにより、保護テープＢをウエハＷに押圧するとともに、載置テーブル８の凹部８ａ内にも通気孔１０から大気を導入することにより、真空チャンバー内の圧力と凹部８ａ内の圧力とが等しくなるようにする。また、吸着テーブル７９の凹部にも真空チャンバーおよび貫通穴（図示せず）が設けられているので、吸着テーブル７９の凹部内の圧力と真空チャンバー内の圧力とが等しくなるように保たれる。これにより、保護テープＢをウエハＷに密着させて接着することができる。また、ウエハＷの表面側および裏面側に形成されるそれぞれの空間は、それぞれ等しい圧力に保たれるので、ウエハＷを破損することがない。

次に、図１５（ｇ）の実施態様に示されるように、上部チャンバー８０が上昇し、真空チャンバーを開放するとともに、上部チャンバー８０が保護テープ切断部ｈの方向に移動する。上部チャンバー８０の側方に設けられている押えローラー７６の回転中心がウエハＷと同軸心となったとき、上部チャンバー８０を下降させ、内周側の押えローラー７６でウエハＷの周端部上の保護テープＢを押圧する。外周側の押えローラー７６によってウエハＷの周端部からはみ出した保護テープＢの封止代を押圧することにより、ウエハＷの周端部で保護テープＡと保護テープＢとの封止部９２を形成することができる。この状態で、モータ８４を駆動することによって各押えローラー７６が押圧旋回することにより、保護テープＢがウエハＷの表面に密着されるとともに、ウエハＷの周端部から突出した保護テープＡと保護テープＢとの封止部９２が密着される。

ウエハＷに保護テープＢを貼り付ける工程は、減圧（例えば、２５０Ｐａ）下で行なうことができる。吸着テーブル７９を傾斜させた状態でウエハＷ上に重ねた後、吸着テーブル７９を水平方向に揺動させることにより、ウエハＷと保護テープＢと間に存在している空気を排出することができる。このことから、ウエハＷと保護テープＢの貼り付け面との間に気泡が発生することを防止することができるとともに、保護テープＢが吸着テーブル７９によって展張状態で吸着保持されるので、保護テープＢにしわが発生することを防止することができる。また、ウエハＷの周端部の封止部９２においても気泡やしわの発生を防止して封止することができるので、めっき液やエッチング液の侵入を防止することができる。

なお、保護テープＢを切断することによって得られた不要テープは、例えば、図２および図３に示されるように、昇降シリンダ１００にガイド１０１を介して配設されたテープ吸着体１０２で不要テープ１０６を吸着し、昇降シリンダ１００と接続されたスライダー１０３をレール１０４で走行可能に装着し、当該スライダー１０３をレール１０４上で走行させることにより、不要テープ廃棄部１０５の上部にテープ吸着体１０２に移動させ、テープ吸着体１０２による不要テープ１０６の吸着を停止することにより、不要テープ１０６を落下させて不要テープ廃棄部１０５に回収することができる。

以上のようにして、ウエハＷの保護テープＡが接着されていない面に、保護テープＢを貼付し、ウエハＷの端部から突出している保護テープＡの端部と保護テープＢの端部とを重ね合せて一体化させることにより、ウエハＷの両面に保護テープＡと保護テープＢが貼付されたウエハＷを得ることができる。

図１６は、以上のようにしてウエハＷから突出した保護テープＡの周端部と保護テープＢの周端部とを一体化させてウエハＷの周端部が封止されたウエハＷの一実施態様を示す概略斜視図である。

前記ウエハＷは、当該ウエハＷの周端部が保護テープＡおよび保護テープＢで完全に覆われていることから、例えば、ウエハＷの裏面研削時に、保護テープＡまたは保護テープＢの外周縁の封止部９２やウエハＷと保護テープＡまたは保護テープＢの貼り付け面が剥がれ、めっき液、エッチング液などが侵入することを防止することができるとともに、例えば、シリコンウエハなどのウエハＷに無電解めっきを施したときに当該ウエハＷの端部でめっき皮膜が形成されることを防止することができる。

なお、本発明においては、保護テープの代わりに、本発明の目的が阻害されない範囲内で、例えば、ダイボンドテープ、ドライフィルムレジストなどのテープを使用することができる。また、加熱が必要な保護テープを使用する場合には、適宜、載置テーブルなどにヒータなどの加熱手段を設置してもよい。

また、前記ウエハＷでは、裏面の外周端に突起（外周リブ）が設けられているが、当該裏面は平坦であってもよい。

また、本発明においては、ウエハＷの両面に自動的に保護テープを貼り付けるときの実施態様について説明したが、ウエハＷの表面と裏面とを別々の貼付装置で貼り付けることができる実施態様であってもよい。

Ｗ ウエハ
Ｗａ ウエハのノッチ
Ａ 粘着テープＡ
Ｂ 粘着テープＢ
ａ ウエハ供給／収納部
ｂ 位置決め部
ｃ ウエハ搬送機構
ｄ 保護テープＡの貼り付け部
ｅ ウエハ搬送機構
ｆ 保護テープ切断部
ｇ テープ搬送貼り付け機構
ｈ 保護テープ切断部
ｉ 端部封止部
１ 機台
２ 収納カセット
３ 搬送ロボット
４ 位置決めテーブル
４ａ 保持枠
５ 位置決めセンサ
６ 回転モータ
７ 下部チャンバー
８ 載置テーブル
８ａ 凹部
９ 吸着パッド
１０ 通気孔
１１ 吸引パイプ
１２ 昇降ガイド
１３ 昇降シリンダ
１４ 支持板
１５ 搬送ロボット
１６ ガイドレール
１７ 側板
１８ 貼り付けテーブル
１９ 切断機構
２０ テープ供給ロール
２１ セパレータ巻取ロール
２２ テープ巻取ロール
２３ ガイドローラー
２４ ガイドローラー
２５ ガイドローラー
２６ ガイドローラー
２７ 円形孔
２８ 貼り付けローラー
２９ 剥離ローラー
３０ 支持板
３２ 可動台
３３ 円周カッター
３４ モータ
３５ レール
３７ 軸受部材
３８ 軸受部材
４０ 枠体
４１ レール
４２ 移動部材
４３ 昇降シリンダ
４４ 上部チャンバー
４５ 吸着テーブル
４６ テーブル枠体
４７ 支持板
４８ ばね
４９ 支持枠
５０ 支持枠
５１ 軸
５２ レール
５３ スイングローラー
５４ レール
５５ 支持枠
５６ シリンダ
５７ ガイド
５８ 真空アダプタ
５９ 昇降板
６０ ガイド軸
６１ 支持板
６２ 押圧ピン（押圧部材）
６３ 外周リング
６３ａ 非粘着処理部
６４ 支持枠
６５ 吸引パイプ
６６ スライダー
６７ スライダー
６８ 切欠き部
６９ 切欠き部
７０ 支持板
７１ 固定ピン
７２ 昇降ガイド
７３ ばね
７４ 支持枠
７５ 押えローラー
７６ 押えローラー
７８ 押圧リング
７９ 吸着テーブル
７９ａ 吸着パッド
８０ 上部チャンバー
８１ モータ
８２ シリンダ
８３ 貫通孔
８４ モータ
９１ 外周リブ
９２ 封止部
９３ 回転軸
９４ 貼り付けテーブル
９５ 円形孔
１００ 昇降シリンダ
１０１ ガイド
１０２ テープ吸着体
１０３ スライダー
１０４ レール
１０５ 不要テープ廃棄部
１０６ 不要テープ

Claims (4)

1. ウエハに保護テープを貼付するための保護テープの貼付装置であって、
   ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＡを当該ウエハの周端部から保護テープＡが突出するようにウエハの裏面に貼付するための保護テープＡの貼り付け部と、
   前記保護テープＡの貼り付け部で保護テープＡが貼付されたウエハの表面に当該ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＢを当該ウエハの周端部から突出させて貼付し、保護テープＡの周端部と保護テープＢの周端部とを一体化させ、ウエハの周端部を封止するための端部封止部と
   を備えていることを特徴とするウエハへの保護テープの貼付装置。
2. 保護テープＢが、ウエハの外径よりも大きい外径およびウエハの外径よりも小さい内径を有するリング形状の保護テープである請求項１に記載の保護テープの貼付装置。
3. 保護テープが貼付されたウエハを製造する方法であって、前記ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＡを当該ウエハの周端部から保護テープＡが突出するように当該ウエハの裏面に貼付し、保護テープＡが貼付されているウエハの表面に当該ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープＢを当該ウエハの周端部から保護テープＢが突出するように当該ウエハの表面に貼付した後、前記ウエハから突出した保護テープＡの周端部と保護テープＢの周端部とを一体化させてウエハの周端部を封止することを特徴とする保護テープが貼付されたウエハの製造方法。
4. 保護テープＢが、ウエハの外径よりも大きい外径およびウエハの外径よりも小さい内径を有するリング形状の保護テープである請求項３に記載の保護テープが貼付されたウエハの製造方法。

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