JP6933788B2 - 基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法 - Google Patents
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Description
前記接着テープ切断部は、前記基板の外径と略同径、または、僅かに大径の円形孔を備え、前記円形孔を覆うように前記接着テープが貼り付けられる貼り付けテーブルと、前記貼り付けテーブルに配置され、前記貼り付けテーブルに貼り付けられた接着テープを前記円形孔の内側で切り抜く切断手段と、前記貼り付けテーブル上に前記接着テープを貼り付ける貼り付け手段とで形成され、
前記テープ搬送貼り付け機構は、上下動及び水平動自在で、前記貼り付けテーブル上への下降時に接着テープの非粘着面に重なって前記切断手段で切り抜かれた接着テープを吸着保持し、前記接着テープ貼り付け部上へ下降することにより、接着テープを前記基板上に貼り付ける吸着テーブルと、前記吸着テーブルを囲繞するように前記吸着テーブルの外周に吸着テーブルに対して上下動可能に設けられ、前記吸着テーブルに吸着保持された接着テープの吸着テーブルからはみ出た部分を押圧する押圧リングと、を備え、
前記貼り付けテーブル上に貼り付けられた接着テープを非粘着面から吸着保持しながら、前記押圧リングで前記接着テープを押圧して、前記吸着テーブルを前記貼り付けテーブルの貼り付け面から所定量上昇させて、前記吸着テーブルの吸着面から一部吸着が解けて生じた前記接着テープと前記吸着テーブルの隙間部分を前記切断手段で切断して、前記基板に貼り付ける接着テープを形成する構成を採用した基板への接着テープ貼り付け装置である。
前記吸着テーブルの外周を囲繞するように前記吸着テーブルに対して上下動可能で前記接着テープを押圧する押圧リングを設けておき、
前記接着テープを切断する際に前記吸着テーブルで前記接着テープの背面を吸着保持しながら、前記押圧リングを下降させて、前記接着テープを前記貼り付けテーブルの円形孔の外縁部分で挟持するとともに、前記吸着テーブルを所定量上昇させることで、前記吸着テーブルの吸着が解けて形成される前記吸着テーブルと接着テープとの隙間に前記切断手段を作用させて、前記吸着テーブルの外径よりも僅かに大径な範囲から前記外径よりも僅かに小径の範囲で前記接着テープを切断するようにした構成を採用する基板への接着テープ貼り付け方法である。
T 接着テープ(保護テープ)
P 回路パターン
a 基板供給/収納部
b 位置決め部
c 基板搬送機構
d 接着テープ貼り付け部
e 基板搬送機構
f テープ切断部
g テープ搬送貼り付け機構
1 機台
2 収納カセット
3 搬送ロボット
4 保持テーブル
5 アライメントセンサ
6 回転モータ
7 下部チャンバ
8 載置テーブル
10 ポーラス体
11 吸引パイプ
12 昇降ガイド
13 昇降シリンダ
14 支持板
15 搬送ロボット
16 ガイドレール
17 側板
18 貼り付けテーブル
19 切断機構
20 テープ供給ロール
21 セパレータ巻取ロール
22 テープ巻取ロール
23 ガイドローラ
24 剥離ローラ
25 ガイドローラ
26 ガイドローラ
27 円形孔
28 貼り付けローラ
29 剥離ローラ
30 支持板
31 レール
32 可動台
33 円周カッタ
34 モータ
35 スライダ
36 レール
37 軸受部材
38 軸受部材
40 支持枠
41 レール
42 移動枠
43 昇降シリンダ
44 上部チャンバ
45 吸着テーブル
46 枠体
47 固定板
48 ばね
49 支持枠
50 支持枠
51 軸
52 レール
53 スイングローラ
54 レール
55 支持枠
56 シリンダ
57 ガイド
58 真空アダプタ
59 昇降板
60 ガイド軸
61 支持板
62 押圧ピン(押圧部材)
63 押圧リング
64 固定枠
65 固定ピン
66 吸引パイプ
68 スライダ
69 切欠孔
70 ボルト
72 ガイド
80 上部チャンバ
81 押圧ローラ
83 レール
84 吸着テーブル
85 テープ貼り付け搬送機構
86 貼り付けテーブル
87 円形孔
88 円周カッタ
89 真空アダプタ
90 軸
91 外周リブ
92 金属膜
93 ノッチ
94 回転軸
95 保持枠
Claims (4)
- 基板を保持する載置テーブルを備えた接着テープ貼り付け部と、接着テープを基板の形状に切断する接着テープ切断部と、前記接着テープ切断部で切断された接着テープを吸着保持して前記接着テープ貼り付け部に搬送するとともに、前記接着テープ貼り付け部で前記基板上に前記接着テープを貼り付けるテープ搬送貼り付け機構とを備えた接着テープ貼り付け装置において、
前記接着テープ切断部は、前記基板の外径と略同径、または、僅かに大径の円形孔を備え、前記円形孔を覆うように前記接着テープが貼り付けられる貼り付けテーブルと、前記貼り付けテーブルに配置され、前記貼り付けテーブルに貼り付けられた接着テープを前記円形孔の内側で切り抜く切断手段と、前記貼り付けテーブル上に前記接着テープを貼り付ける貼り付け手段とで形成され、
前記テープ搬送貼り付け機構は、上下動及び水平動自在で、前記貼り付けテーブル上への下降時に接着テープの非粘着面に重なって前記切断手段で切り抜かれた接着テープを吸着保持し、前記接着テープ貼り付け部上へ下降することにより、接着テープを前記基板上に貼り付ける吸着テーブルと、前記吸着テーブルを囲繞するように前記吸着テーブルの外周に吸着テーブルに対して上下動可能に設けられ、前記吸着テーブルに吸着保持された接着テープの吸着テーブルからはみ出た部分を押圧する押圧リングと、を備え、
前記貼り付けテーブル上に貼り付けられた接着テープを非粘着面から吸着保持しながら、前記押圧リングで前記接着テープを押圧して、前記吸着テーブルを前記貼り付けテーブルの貼り付け面から所定量上昇させて、前記吸着テーブルの吸着面から一部吸着が解けて生じた前記接着テープと前記吸着テーブルの隙間部分を前記切断手段で切断して、前記基板に貼り付ける接着テープを形成することを特徴とする基板への接着テープ貼り付け装置。 - 前記切断手段の回転半径を、前記円形孔の内径よりも小径に設定可能に構成し、前記吸着テーブルの外径よりも僅かに小径な範囲から前記外径よりも僅かに大径な範囲で前記接着テープを切断可能に構成したことを特徴とする請求項1に記載の接着テープ貼り付け装置。
- 前記接着テープは、前記基板の外径と略同径、または、前記基板の外径よりも内側に納まるように切断されていることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
- 基板の外径と略同径、または、僅かに大径の円形孔を備えた貼り付けテーブル上に前記円形孔を覆うように接着テープを貼り付けて保持し、前記接着テープの背面から略基板形状の吸着テーブルで前記接着テープを吸着保持しながら、前記円形孔の下方から前記接着テープを切断手段で円周方向に切断することで前記吸着テーブルに切断された接着テープを吸着保持しながら、前記基板上に搬送し、前記基板上に前記接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け方法において、
前記吸着テーブルの外周を囲繞するように前記吸着テーブルに対して上下動可能で前記接着テープを押圧する押圧リングを設けておき、
前記接着テープを切断する際に前記吸着テーブルで前記接着テープの背面を吸着保持しながら、前記押圧リングを下降させて、前記接着テープを前記貼り付けテーブルの円形孔の外縁部分で挟持するとともに、前記吸着テーブルを所定量上昇させることで、前記吸着テーブルの吸着が解けて形成される前記吸着テーブルと接着テープとの隙間に前記切断手段を作用させて、前記吸着テーブルの外径よりも僅かに大径な範囲から前記外径よりも僅かに小径の範囲で前記接着テープを切断するようにしたことを特徴とする基板への接着テープ貼り付け方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017160182A JP6933788B2 (ja) | 2017-08-23 | 2017-08-23 | 基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017160182A JP6933788B2 (ja) | 2017-08-23 | 2017-08-23 | 基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019040941A JP2019040941A (ja) | 2019-03-14 |
JP6933788B2 true JP6933788B2 (ja) | 2021-09-08 |
Family
ID=65726704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017160182A Active JP6933788B2 (ja) | 2017-08-23 | 2017-08-23 | 基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6933788B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114658737B (zh) * | 2022-03-28 | 2024-05-03 | 航天材料及工艺研究所 | 一种航天舱段软木自动化粘贴装置及方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4322328B2 (ja) * | 1997-06-05 | 2009-08-26 | テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド | ウエハをウエハテープに接着する方法および装置 |
JP5273791B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2013-08-28 | 株式会社タカトリ | 基板への接着テープ貼り付け装置 |
JP2015162634A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | 株式会社タカトリ | ウエハへの保護テープの貼付装置およびウエハの製造方法 |
-
2017
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Publication number | Publication date |
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JP2019040941A (ja) | 2019-03-14 |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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