JP2018041877A - 基板への接着シート貼り付け装置及び貼り付け方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板を保持する貼り付けテーブルが設けられた下チャンバと、
基板の外形に見合う大きさに切断された接着テープを吸着保持して前記下チャンバ上に移送すると共に、前記基板上に接着テープを貼り付ける接着テープ搬送体と、を有し、
前記接着テープ搬送体は、下チャンバと合わさることで真空チャンバを形成する上チャンバと、この上チャンバ内に揺動自在に収納され、前記貼り付けテーブル上への下降時に水平姿勢で接着テープの非粘着面に重なって前記接着テープを吸着保持し、傾斜状態で下チャンバ上へ下降することにより、接着テープの傾斜下がり側の部分を基板上に重ね、傾斜下がり側を基点に揺動して基板上に接着テープを貼り付ける吸着テーブルと、を有する基板への接着テープ貼り付け装置において、
前記貼り付けテーブルは、前記基板の裏面に対向するように形成され、気体を導入する気体導入孔が設けられたテーブル凹部と、前記テーブル凹部を囲繞する外周面に設けられ、前記基板の外周縁部を保持する外周保持部と、を備えて構成され、
前記上チャンバと下チャンバとで真空チャンバを形成するとともに、前記真空チャンバを減圧状態にして前記基板上に前記接着テープを貼り付けた後、前記減圧を開放する際、前記気体導入孔から気体を導入することで、前記基板を裏面側から前記吸着テーブルへ押圧するようにした構成を作用する基板への接着テープ貼り付け装置である。
前記下チャンバと合わさって真空チャンバを形成する上チャンバと、
前記上チャンバ内に前記基板の外形に見合う大きさに切断された接着テープを吸着保持する吸着テーブルと、を設けておき、前記吸着テーブルに保持された接着テープを前記真空チャンバ内の減圧下で基板に貼り付ける基板への接着テープ貼り付け方法において、
前記貼り付けテーブルに、前記基板の裏面に対向するように凹部を形成し、該凹部に気体を導入する気体導入孔を設けるとともに、前記テーブル凹部を囲繞する外周面に前記基板の外周縁部を保持する外周保持部を設けて構成しておき、
前記外周保持部で基板の外周縁部を保持し、前記上チャンバと下チャンバとで真空チャンバを形成し、前記真空チャンバを減圧状態にして前記基板上に前記接着テープを貼り付けた後、前記減圧を開放する際、前記気体導入孔から気体を導入することで、前記基板を裏面側から前記吸着テーブルへ押圧するようにした構成を採用する基板への接着テープ貼り付け方法である。
て、前記スイングローラ67が前記レール66上を走行することで吸着テーブル59が軸63を支点に揺動し、該吸着テーブル59が水平に保たれるようになっている。
Wa 凹状ウエハ
SW スリットウエハ
T 接着テープ
S セパレータ
DT ダイシングテープ
DF ダイシングフレーム
a ウエハ供給/収納部
b 位置決め部
c ウエハ搬送部
d 接着テープ貼り付け部
e ウエハ搬送部
f 接着テープ切断部
g 接着テープ搬送体
1 接着テープ貼り付け装置
2 機台
3 収納カセット
4 搬送ロボット
5 回転テーブル
6 センサ
7 回転モータ
8 貼り付けテーブル
8a 凸部
8b 凹部
9 下チャンバ
10 上チャンバ
11 ガイド
12 支持板
13 支持枠
14 昇降シリンダ
14a シリンダ軸
15 吸着孔
16 吸引ホース
17 切替バルブ
18 真空ポンプ
19 開孔
20 支持ピン
21 支持枠
22 通気孔
23 通気パイプ
24 通気孔
25 シリンダ
26 通気ポンプ
27 吸着ハンド
28 支持台
29 レール
30 穴開きテーブル
31 支持枠
32 円形穴
33 カッタユニット
34 円周カッタ
35 モータ
36 側板
37 貼り付けユニット
38 供給リール
39 回収リール
40 ガイドローラ
41 セパレータ回収リール
42 貼り付けローラ
43 ピンチローラ
44 剥離ローラ
45 ピンチローラ
46 軸受部材
47 レール
48 軸受部材
49 スライダ
50 上チャンバ
51 吸着テーブル
52 貼り付けローラ
53 支持枠
54 レール
55 支持枠
56 ガイド部材
57 昇降シリンダ
58 スライダ
59 吸着テーブル
60 固定枠
61 吸引ホース
62 バネ部材
63 支持枠
64 固定枠
65 レール
66 レール
67 スイングローラ
68 真空アダプタ
70 支持板
71 ローラ枠
72 退避孔
80 環状凸部
81 凹状面
82 ノッチ
83 金属膜
84 回路
85 スリット
Claims (7)
- 基板をその上面に保持する貼り付けテーブルが設けられた下チャンバと、
基板の外形に見合う大きさに切断された接着テープを非粘着面側から吸着保持して前記下チャンバ上に移送するとともに、前記基板上に接着テープを貼り付ける接着テープ搬送体と、を備え、
前記接着テープ搬送体は、
下チャンバと合わさることで真空チャンバを形成する上チャンバと、この上チャンバ内に揺動自在に支持され、傾斜状態で下チャンバ上へ下降することにより、前記接着テープの傾斜下がり側の部分を基板上に重ね、傾斜下がり側を基点に揺動することにより基板上に接着テープを貼り付ける吸着テーブルと、を備える基板への接着テープ貼り付け装置において、
前記貼り付けテーブルは、前記基板の裏面に対向するように形成されるとともに気体を導入する気体導入孔が設けられたテーブル凹部と、
前記テーブル凹部を囲繞する外周面に設けられ、前記基板の外周縁部を保持する外周保持部と、を備え、
前記上チャンバと下チャンバとで真空チャンバを形成するとともに、前記真空チャンバを減圧状態にして前記基板上に前記接着テープを貼り付けた後、前記減圧を開放する際、前記気体導入孔から気体を導入することで、前記基板を裏面側から前記吸着テーブルへ押圧するようにしたことを特徴とする基板への接着テープ貼り付け装置。 - 前記テーブル凹部に、気体排出孔を設け、前記気体導入孔から気体を導入する際に、一部の気体を前記気体排出孔から排出するようにしたことを特徴とする請求項1記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
- 前記テーブル凹部に、複数の基板保持ピンを突没自在に設け、前記基板保持ピンの先端に開孔を設けて前記開孔を吸気による吸着または排気による気体噴出を行うように切り替え可能に構成したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
- 前記気体排出孔は、前記保持ピンの外周に穿設された開孔であり、気体を排出可能に構成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
- 前記基板は、環状凸部が設けられ、該環状凸部に囲繞される内周面が研削された凹状ウエハであることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
- 基板をその上面に保持する貼り付けテーブルが設けられた下チャンバと、
前記下チャンバと合わさって真空チャンバを形成する上チャンバと、
前記上チャンバ内に前記基板の外形に見合う大きさに切断された接着テープを吸着保持する吸着テーブルと、を設けておき、前記吸着テーブルに保持された接着テープを前記真空チャンバ内の減圧下で基板に貼り付ける基板への接着テープ貼り付け方法において、
前記貼り付けテーブルに、前記基板の裏面に対向するように凹部を形成し、該凹部に気体を導入する気体導入孔を設けるとともに、前記テーブル凹部を囲繞する外周面に前記基板の外周縁部を保持する外周保持部を設けて構成しておき、
前記外周保持部で基板の外周縁部を保持し、前記上チャンバと下チャンバとで真空チャンバを形成し、前記真空チャンバを減圧状態にして前記基板上に前記接着テープを貼り付けた後、前記減圧を開放する際、前記気体導入孔から気体を導入することで、前記基板を裏面側から前記吸着テーブルへ押圧するようにしたことを特徴とする基板への接着テープ貼り付け方法。 - 前記テーブル凹部に、気体排出孔を設けておき、前記気体導入孔から気体を導入する際に、一部の気体を前記気体排出孔から排出するようにしたことを特徴とする請求項1記載の基板への接着テープ貼り付け方法。
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