JP2010135436A5 - - Google Patents

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JP2010135436A5
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前記カッタ機構１９は、図２及び図３のように機台１上に円形孔２７と同軸心状の回転軸９４を立設し、この回転軸９４にモータ３４で回転するよう取り付けた支持板３０に、半径方向のレール３５に沿って移動可能で適宜位置で固定可能な可動台３２を設け、この可動台３２にシリンダ等で上下に移動自在となる円周カッタ３３を取り付けた構造になっている。前記円周カッタ３３は上昇すると貼り付けテーブル１８上に接着された接着テープＴの円形孔２７に位置する部分を突き破り、モータの起動による旋回で接着テープＴを円形に切り抜くようになっている。前記円形孔２７はウエハＷの外径と同径かそれよりも少し大径に形成され、前記円周カッタ３３はウエハＷの外径とほぼ同等か若しくは少し小径に接着テープＴを切り抜くように上昇位置での旋回直径を可動台３２によって調整可能に構成されている。
Ｗ 基板（ウエハ）
Ｔ 接着テープ（保護テープ）
Ｐ 回路パターン
ａ 基板供給／収納部
ｂ 位置決め部
ｃ 基板搬送機構
ｄ 接着テープ貼り付け部
ｅ 基板搬送機構
ｆ テープ切断部
ｇ テープ搬送貼り付け機構
１ 機台
２ 収納カセット
３ 搬送ロボット
４ 保持テーブル
５ アライメントセンサ
６ 回転モータ
７ 下部チャンバ
８ 載置テーブル
９ 吸着パッド
１０ 通気孔
１１ 吸引パイプ
１２ 昇降ガイド
１３ 昇降シリンダ
１４ 支持板
１５ 搬送ロボット
１６ ガイドレール
１７ 側板
１８ 貼り付けテーブル
１９ 切断機構
２０ テープ供給ロール
２１ セパレータ巻取ロール
２２ テープ巻取ロール
２３ ガイドローラ
２４ 剥離ローラ
２５ ガイドローラ
２６ ガイドローラ
２７ 円形孔
２８ 貼り付けローラ
２９ 剥離ローラ
３０ 支持板
３１ レール
３２ 可動台
３３ 円周カッタ
３４ モータ
３５ スライダ
３６ レール
３７ 軸受部材
３８ 軸受部材
４０ 枠体
４１ レール
４２ 移動部材
４３ 昇降シリンダ
４４ 上部チャンバ
４５ 吸着テーブル
４６ 枠体
４７ 固定板
４８ ばね
４９ 支持枠
５０ 支持枠
５１ 軸
５２ レール
５３ スイングローラ
５４ レール
５５ 支持枠
５６ シリンダ
５７ ガイド
５８ 真空アダプタ
５９ 昇降板
６０ ガイド軸
６１ 支持板
６２ 押圧ピン（押圧部材）
６３ 押圧リング
６４ 固定枠
６５ 固定ピン
６６ 吸引パイプ
６８ スライダ
６９ 切欠き孔
７０ ボルト
７１ レール
７２ 昇降ガイド
８０ 上部チャンバ
８１ 押圧ローラ
８３ レール
８４ 吸着テーブル
８５ テープ貼り付け搬送機構
８６ 貼り付けテーブル
８７ 円形孔
８８ 円周カッタ
８９ 真空アダプタ
９０ 軸
９１ 外周リブ
９２ 金属膜
９３ ノッチ
９４ 回転軸

Claims (4)

  1. その内部に設けられた載置テーブル上に基板を載置して保持する下部チャンバと、その内部に基板とほぼ同形状に切断された接着テープを吸着保持する吸着テーブルが設けられると共に前記下チャンバと一体となって真空室を形成する上チャンバとからなり、この真空室を減圧状態として、前記接着テープを吸着テーブルで基板上に押圧して貼り付けるようにした基板への接着テープ貼り付け装置において、
    前記吸着テーブルの外周全域に昇降可能に外嵌した押圧リングを設け、
    該押圧リングの下降動によって前記基板上に貼り付けられた接着テープの吸着テーブルから露出した外周縁を前記基板に貼り付けるようにしたことを特徴とする基板への接着テープの貼り付け装置。
  2. 前記接着テープは、基板の外形よりも内側に納まるように該基板の外形よりも小さい形状に切断されていることを特徴とする請求項１に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
  3. 上記基板は、円形状に形成され、裏面の外周部分をリブ状に残して内周部分が研削された凹状ウエハであることを特徴とする請求項１または２に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
  4. 上記載置テーブルが上記凹状ウエハの裏面外周リブ部分のみを保持するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至３に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
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