TW397800B - Automatic carrier control method in semiconductor wafer cassette transportation apparatus - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 。同時，主電腦50可進行提高優先順序的搬蓮控制Μ便將 使用儲料器間搬運裝置42之儲料器間之搬運作業暨使用自 動搬運車38之儲料器36及處理裝置32、34間之搬運作業與 其他的製造製程比較而可快速進行。因此，就可將具高價 的遮蔽門之儲料器36之使用抑制在最小限，且一面使用與 其他製程相同的儲料器間搬運裝置42和自動搬運車38而一 面滿足嚴格的搬運作業時間和醑於其作業環境的要求。 〔元件編號之說明] 30 搬 運 裝 置 32 處 理 裝 置 34 處 理 裝 置 36 儲 料 器 38 白 動 搬 運 車 40 匣 子 42 搬 運 裝 置 50 主 電 腦 52 主 機 54 輸 入 機 構 56 終 端 機 58 通 信 電 纜 60 白 動 搬 蓮 車 控 制器 62 通 信 單 元 64 儲 料 器 控 制 器 66 搬 運 裝 置 控 制 器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（ 210X297公釐） —92 _修正頁 ----------梵-------ΐτ------终 (請先閲讀背面之注_項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1) 1 C 發 明 之 背 景〕 1 1 I C 發 明 之 領 域] 1 I 本 發 明 係 闞於 種 半 導體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 中 之 白 動 搬 蓮 請 先 1 I 閲 J 車 控 制 方 法 ，尤 其 是 闞 於使 半 導 體 晶 画 匣 之 搬 運 能 力 提 高 讀 背 X» 1 的 半 導 體 晶 圓匣 搬 蓮 裝 置中 之 白 動 搬 運 車 控 制 方 法 〇 之 注 J I 意 1 I C 背 景 技 術 之說 明 ] 事 項 1 I 真 1 1 參 昭 圏 15 至圖 16 習 知之 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 230 » 填 體 本 係 包 含 有 : 處理 裝 置 32及 34 * Μ 匣 子 232 單 位 收 納 半 導 頁 1 I 晶 圓 並 施 行半 導 體 稹 體電 路 之 製 造 處 理 者 儲 料 器 234 1 1 用 Μ 收 納 複數 個 匣 子 232 者 白 動 搬 運 車 38 用 Μ 在 處 1 1 理 装 置 32 '34和 儲 料 器 234 之 間 進 行 匣 子 232 之 搬 運 作 業 1 訂 者 Μ 及 儲 料器 間 搬 蓮 裝置 42 用 Μ 在 配 置 於 製 造 線 內 之 1 I 複 數 個 儲 料 器234 之 間 進行 匣 子 232 之 搬 運 者 〇 1 | 處 理 裝 置 32 ^ 34係 提 供儲 料 器 234 用 Μ 作 為 處 理 前 匣 子 1 1 I 232和處理後匣子232 的收納場所< ' 2台 自 動 搬 運 車 3 8係 用 1 從 事 於 該 等之 間 的 搬 蓮作 業 〇 又 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 42 J 1 在 此 ISI 中 雖 係在 中 途 切 斷顯 示 但 是 其 係 進 行 週 期 蓮 轉 而 1 Ί 多 個 儲 料 器 234 則 被 設 置在 其 周 圍 0 即 使 有 闞 其 他 的 儲 料 1 1 I 器 234 亦 存 在有 各 白 成 組的 處 理 裝 置 32 Λ 34和 g 動 搬 運 車 1 1 38 ° 1 1 尤 其 是 參 照圖 16 半 導體 晶 圓 匣 搬 蓮 裝 置 230 更 包 含 1 1 有 主 電 腦 50， 用 Μ 控 制處 理 裝 置 32 34 儲 料 器 234 1 1 白 動 搬 運 車 38及 儲 料 器 間搬 運 裝 置 42者 Μ 及 通 信 電 纜 58 1 | 9 用 Μ 連 接 各種 裝 置 和 主電 腦 50者 0 1 1 t紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） k A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（9〇 ) 1 1 70 半 導 體 晶 圓 1 1 72 ID卡 1 74 顯 示 部 請 ! 先 1 76 通 信 部 閲 讀 1 背 I 80 儲 料 器 起 重 機 之 1 注 1 82 移 載 機 意 事 1 項 I 84 移 動 裝 置 再 填 1 86 白 動 搬 蓮 車 用 出 □ 埠 寫 本 (;- 頁 1 88 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 1 1 90 白 動 搬 運 車 用 埠 外 遮 蔽 門 1 1 92 白 動 搬 運 車 用 埠 内 遮 蔽 門 1 1 94 儲 料 器 面 板 訂 1 96 儲 料 器 架 1 I 98 搬 運 裝 置 用 埠 1 1 1 100 白 動 搬 運 車 用 出 〇 交 接 埠 1 1 線 * 102 通 信 單 元 104 g 動 搬 蓮 車 用 入 〇 交 接 埠 1 | 110 搬 運 裝 置 用 埠 内 遮 蔽 門 1 I 112 手 動 用 埠 内 遮 蔽 門 1 1 I 114 手 動 用 埠 外 遮 蔽 門 1 1 116 手 s&l. 動 用 入 口 埠 1 1 118 手 動 用 出 D 埠 1 I 120 ID卡 讀 寫 裝 置 1 1 I 121 操 作 面 板 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） -93 -修正頁 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（；·：） 主電臞50包含有··主櫬52，用K進行計算處理者；輸入 櫬構54，用K提供製品之製造基準資料者；Μ及作業者终 端皤56，在媒内配置有多俚者。 作為鏞科器234之一部分的儲料器控制器64係按照來自 通信霣期58之主霣臞50的作業指示，而驅使儲料器234之 其他的構成要素以完成預定的作業。作為自動搬蓮車38之 一部分的自動搬蓮車控制器60，係按照來自通信電孀58之 主電臛50的作業指示，而驅使自動搬運車38之其他的構成 要素以完成預定的作業。自動搬蓮車控制器60和自動搬運 車38之通信係透通控制局側通信單元62而利用無線電通信 來進行。作為儲料器間搬運裝置42之一部分的齡料器間搬 蓮裝置控制器66，係按照來自通信電孀58之主電腦50的作 業指示，而透過儲料器間搬運裝置42之構成要素、進而透 過通信電期[58而驅使儲料器234之構成要素以完成預定的 作業。 參照圔17，就半導體晶圓匣搬蓮裝置230所搬蓮的半導 體晶圓70及其半導體晶圓匣232暨被装接於半導體晶圔匣 232上之習知的ID卡240加W說明。半導體晶圓（Μ下， 稱為「晶固j 。）70內装入有多個半導體積體電路（未圖 示）。半導體晶圔匣（Κ下，稱為「匣子」。）232,收納 有複數片晶圓70而成為搬浬之最小單位。ID卡240係裝接 在匣子232 上。ID卡240 上，餘存有藺於被收納在匣子 2 32内的晶圓70及匣子232的資訊，且可利用顯示部7 4將 其資訊之一部分予Μ顬示。又，ID卡240 ，在與後述之外 本k張尺度適财@@家標準（CNS ) Α4· ( 2丨Gx297公楚) — '~

In I m 1 m 1^1 ^^1 IK (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 _ A 7 rP^c ^ B7 五、發明説明（91) 122 搬運裝置用埠外遮蔽門 124 升降機 130 匣子承接器具 132 通信窗口 140 台車 142 通信單元 144 機器臂 146 機器手 148 機器手爪 150 移載台 152 操作面板 154 緩衡板 156 感應帶 160 行走軌道 162 台車 164 懸吊金屬器具 170 主機 172 匣子台階 174 自動搬運車通信單元 180 主機 182 匣子台階 190 儲料器 192 自動搬運車用出***接埠 194 自動搬運車用入***接埠 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -94~- 修正頁 ----------gt--------IT------^ . /11 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（：i) 部控制系之間，可透過通信部76改寫被儲存的資訊之一部 分。又，可非接觸地報告被儲存的資訊。另外，通信部76 被安裝在ID卡240的正面上。圖17(a)及圖17(b)係各別 顯示装接有ID卡2 40之匣子232的晶圓70呈垂直的横放姿 勢和圼水平的縱放姿勢*鬮17(c)係顯示ID卡240的詳细 者。 Μ下，Μ圖說明作為半導體晶画匣搬蓮裝置之構成要素 的處理裝置32、34、儲料器234、自動搬蓮車38及儲料器 間搬運裝置42的詳细。 參照圖10，處理裝置32包含有：主機170 ，Μ每次一 Η 或複數片地將晶圓70施行半導體積體電路之製造處理者； 二個厘子台階（cassette stage)172 ，Ml匣子單位收納 應處理的匣子2 32者；自動搬運車通信單元174 ，對自動 搬運車38輸出匣子台階172之狀態Μ確認自動搬蓮車38在 朝匣子台階172置放處理前匣子232之前是否有弄錯之其 他的匣子232或在取出處理後匣子232之前該匣子232是 否已正確搭載在匣子台階172上。 參照圖11，處理裝置34包含有：主機180 ，Μ每次一片 或複数片地將晶圓70施行半導體積體電路之製造處理者； 二個匣子台階182 ，以1匣子單位收納應處理的匣子232者 ;自動搬運車通信單元174 ，對自動搬運車38输出Ε子台 階182之吠態Μ確認自動搬運車38在朝匣子台階182置放處 理前匣子232之前是否有弄錯之其他的匣子2 32或在取出處 理後匣子2 32之前該匣子232是否已正確搭載在匣子台階 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） β _ I nn HI l^n - I - I m - I , n^i I —^n ,--^-6 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 _B7 五、發明説明（92) 196 白 動 搬 運 車 用 出 □ 埠 198 g 動 搬 運 車 用 入 P 埠 200 移 動 裝 置 202 移 動 裝 置 210 手 動 用 出 P 埠 220 匣 子 承 接 器 具 230 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝置 232 匣 子 234 儲 料 器 240 ID卡 250 移 動 裝 置 252 白 動 搬 運 車 用 出 □ 埠 254 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 260 手 動 用 入 P 埠 262 手 動 用 出 □ 埠 270 ID卡 讀 寫 裝 置 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -線！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 修正頁 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7五、發明説明（‘1) 182 上。 參照_18至圔20，說明儲料器234 。圖18及圖19，係各 別從自動搛蓮車作業面和位於其相反側的作業者作業面可 看到之情況下描鑰儲料器234者。圖20係從箭視a詳细描 繪手動用入口埠260者。又，該等圏面係在可看到内部構 造之情況下將作為外裝面板之儲料器面板9 4的一部分予以 切除而描鑰者。儲料器234 ’係包含横放搭載複数個匣子 232的儲料器架96，且藉由將複數個匣子232堆於垂直方 向K確保多個匣子232的收納埸所。儲料器234更進一步 包含有：儲料器間搬運裝置用埠98，為儲料器架96之一部 分用Μ收納或送出由儲科器間搬運裝置42所運來的匣子 2 32者；手動用入口埠260 ，為餘料器架96之一部分且為 作業者（未圖示）為了將匣子232入庫而使用者；手動用 出口埠262 ，為儲料器架96之一部分且為作業者為了將匣 子232出庫而使用者•·自動搬運車用出口埠252 ，為自動 搬運車38用Μ接收匣子232者；自動搬理車用出***接埠 100·為儲料器架96之一部分用以送出匣子232給自動搬運 車用出口埠252者··自動搬運車用入口埠254,用Μ從自動 搬蓮車38接收匣子232者；自動搬蓮車用人***接埠1〇4, 為儲料器架96之一部分用以從自動搬蓮車用人口埠254接 收匣子2 32者；儲料器起重機80，將被堆起之儲料器架96 配置於其兩側用Κ進行該儲料器架96所形成的匣子收納場 所和做為該儲料器架96之一部分的各種埠間之匣子232的 搬運作業者·•移載櫬82，用以接收後述之儲料器間搬運裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -7 - I I I - — m - -I— I— m 1.. - - - I -- ^^1 ^^1 -- \ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（，）） 置42之台車上的匣子232且置放於儲料器間搬運裝置用埠 9 8上、或相反地從該處送出匣子23 2至空台車上者；Μ及 前進移動裝置250,用以使匣子232從自動拥1蓮車用出*** 接埠100移動至自動搬運車用出口埠252上，或從自動搬 蓮車用人口燁254移動至自動搬蓮車用入***接埠104上 者° 儲料器起重機80、移載機82、及前進移動裝置250係分 別進行1匣子、2匣子、1匣子單位的搬蓮作業。可載置於 儲料器間搬蓮裝置用埠98、手動用入口埠260 、手動用出 口埠262、自動搬運車用出***接埠100、自動搬蓮車用入 ***接埠104、自動搬蓮車用出口埠252及自動搬蓮車用入 口埠25 4上的匣子個數係分別為2匣子、1匣子、1匣子、1 匣子、1匣子、1匣子、1匣子。又，前進移動裝置250有準 備2台。随之自動搬蓮車用出口埠25 2、自動搬運車用入口 埠254、自動搬運車用出***接埠100、及自動搬運車用入 ***接埠104*係分別每次備有2個。又，手動用入口埠 260和手動用出口埠262 ，亦分別每次備有2個。 如園20所示在手動用人口埠260上，安裝有ID卡讀寫裝 置270 。其安裝方向由於通信部76係位於ID卡240之正面 所K必需將ID卡讀寫裝置270安裝在ID卡240的正面上。ID 卡2 40的正面若朝向作業者作業面而配置ID卡讀寫裝置2 70 時’ ID卡讀寫裝置270因會受到阻礙而很難取出匣子232。 因此，手動用人口埠260上的匣子232之方向，畲被決定成 使被安裝在匣子232上的ID卡240之正面對作業者作業面往 1^1 In nn i m I ia^i 11^1 in ^ J. --"、vs (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 8 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 A7 B7__ 五、發明説明（6) 右轉90度的方向。儲科器起重櫬80由於無法變更匣子232 之方向，所W在儲料器架96的K子232之方向會變成與前 述手動用入口埠260上的匣子232之方向相同。被置於自動 搬運車用出口埠252和自動搬蓮車用人口埠254内的K子 232之方向，係成為自動搬蓮車38所容易移載裝接的ID卡 240會成為將自動搬蓮車38之作業面設為正面者。因而前 進移動裝置250亦必需在匣子232之移動作業中進行方向 之變更。 儲料器234更進一步包含有搡作面板121 ’用W在作桊 者將匣子232通過手動用入口埠260予入庫之際或通過 手動用出口埠262予K出庫之際進行操作者° 參照圔8，自動搬缠車38，包含有：台車140，被貼附在 地板上的感懕帶156所導引而行走者；搬運車側通信單元 142 ，在與自動搬浬車控制器60之控制局側通信單元62之 間用Μ進行資訊之交換者；機器臂144、機器手146、櫬器 手爪148，分別用Μ進行匣子232之移載作業者；4個移載 台150 ，於行走作業中係預先將由處理裝置32及3 4或儲料 器234取入之匣子40Κ縱放姿勢保持者；操作面板152’在 與作業者之間用Μ進行資訊之交換者；Μ及媛衡板154， 用Μ檢知障礙物俾使執行中之作業停止者。 參照圖9，儲科器間搬運裝置42包含有：行走軌道160, 成為環形狀；台車162，Μ —定方向移動於行走軌道160上 ，用Μ搬運最大2個匣子232者；Μ及懸吊金牖器具164， 用Κ將行走軌道160安裝在天花板上者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210'〆297公釐） " II I— H - -« ^^1 u ml m i n n m ^19 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 - Μ Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ·.* i ) 1 1 1 其 次 就 習 知 之 半 導 體晶 圓 匣搬運 裝置 230 之 控 制 方 法 1 1 1 加Μ 說 明 〇 首 先 發 生 於 處理 裝 置32、 34之 處理 後 匣 子 232 ^^ 1 I 會依 白 動 搬 運 車 38而 被 運送 入 庫於儲 料器 234 内 其 次 就 請 1 1 利用 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 42朝 儲 料器234蓮 出之 際 的 控 制 方 Pv] 讀 背 1 1 法（1) 加 Μ 敘 述 接 著 就新 的 處理前 匣子 232 白 前 段 之 儲 之 注 \1 I 意 1 [ 料器 234 運 送 而 入 庫 於 儲料 器 234内 且按 照處 理 裝 置 32 事 項 1 I 再 1 1 34之 要 求 將 匣 子 232予Μ出庫而利用自動搬運車38朝處理 填 本 裝置 32 '34 運 送 之 際 的 控制 方 法（2) 加Μ 敘述 最 後 就 來 頁 1 I 自手 動 用 入 □ 埠 260之人庫和來自手動用出口埠262之 出 庫 1 1 I 的控 制 方 法 (3) 加 Μ 敘 述。 1 1 就 發 生 於 處 理 裝 置 32 、34之 處理後 匣子 232 會 依 白 動 搬 1 訂 蓮車 38而 被 蓮 送 入 庫 於 儲料 器 234内 *其 次利 用 儲 料 器 間 1 | 搬運 裝 置 42朝 儲 料 器 234運 出 之際的 控制 方法 (1) 加 Μ 敘 1 I 述。 1 1 I 儲 料 器 234 之 白 動 搬 蓮車 用 入口埠 254 及儲 料 器 間 搬 運 1 裝置 用 璋 98係 在 開 始 著 手時 之 初期化 結束 時空 著 〇 因 此 對 1 主電 腦 50 透 過 通 信 電 纜 58報 告 各埠的 匣子 232 之 可 收 納 情 1 1 況。 接 收 該 等 埠 之 空 位 資訊 的 主電腦 5 0， 不會 感 知 儲 料 器 1 | 234 之 匣 子 232 的 充 足 狀況 而 只會Μ 該資 訊對 使 用 白 動 搬 1 1 I 運車 38及 儲 料 器 間 搬 運 裝置 42的Ε子 232 之儲 料 器 234 進 1 1 行搬 運 作 業 之 可 能 或 不 可能 的 判斷。 1 1 在 如 上 逑 之 狀 況 中 處理 裝 置32、 34 * 會透 遇 通 信 電 嫌 1 I 58將 已 結 束 半 導 體 積 體 電路 之 製造處 理的 處理 後 匣 子 232 1 I 之退 出 要 求 發 送 至 主 電腦 5 0上。處 理裝 置32 % 34有 時 會 1 1 本紙張尺度適用侧家標準（CNS)M規格（讓腾楚） 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裂 A7 B7五、發明説明（b) Ml匣子單位要求其退出要求而有時會Μ複數個匣子單位 要求其退出要求。已接受該退出要求之主電腦50，由於事 先會由儲料器234報告自動搬運車用入口埠254之空位資 訊所Κ會立即透過通信電钃58對自動搬蓮車38進行搬運作 業指示。但是可使用之自動搬運車用入口埠254 ，每次會 在處理装置32、34中決定* Μ將其資料預先透過輸人機構 54提供給主電臞50。又，來自處理裝置32、34之退出要求 即使是Μ 2匣子單位來進行，由於來自自動搬運車用入口 埠254之入庫亦可Ml匣子單位進行所Μ主電腦50就必需將 1匣子單位之搬運作業指示送至自動搬運車38上。 由主電腦50接收1Μ子之搬運作業指示的自動搬運車控 制器60，會從有複數個的自動搬蓮車38之中將作業分派至 最適於其搬蓮作業的部分上，且利用控制局側通信單元62 和搬運車側通信單元142與主機進行無線通信俾使搬蓮作 業之進行。該作業之內容，首先台車140會自待機地按照 被貼附在地板上的感應帶156 ，朝向作為搬運處的處理裝 置32、34行進。當自動搬理車38到達該處時首先會透遴自 動搬運車通信單元174進行在該匣子台階172、182上是否 存在有匣子232的確認。之後，會驅使機器臂144、機器手 146及機器手爪148，取入位於匣子台階172、182上的適當 匣子232，並置放在本身的移載台150上。當該載置作業完 成時，台車140會再次從搬運處的處理裝置32、34朝搬運 目的地之儲料器234所指示的自動搬運車用入口埠254移 動。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） .1 —.1 In 1^1 n I. n I ml m l^i— ——n ^{y -- -- yt 、-t (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( !) ) 1 1 當 g 動 搬 運 車 38到 達 該 處 時 會 Μ 與 之 前 相 反 的 顒 序 將 移 1 1 載 台 150 上 的 逋 當 匣 子 232 置 放 在 被 指 示 的 白 動 搬 蓮 車 用 1 1 入 P 埠 254 上 〇 白 動 搬 運 車 38在 將 適 當 匣 子 232 置 放 在 被 /S 請 1 1 先 1 指 示 的 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 254 上 之 刖 會 透 過 對 白 動 搬 閲 讀 背 ,| I 運 車 通 信 單 元 102 在 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 254 上 確 認 是 否 面 1 .1 I 存 在 有 弄 錯 的 匣 子 232 若 存 在 時 就 立 即 發 報 錯 誤 〇 此 乃 _ 1 1 I 根 據 因 匣 子 232 基 於 來 白 儲 料 器 234 之 適 當 白 動 搬 運 車 用 再 填 1 入 P 埠 254 的 空 位 資 訊 而 被 運 來 所 Μ 其 他 的 匣 子 232 位 寫 本 頁 农 1 於 同 一 埠 上 時 為 異 常 狀 態 的 判 斷 者 0 當 被 指 示 之 所 有 的 作 1 | 業 皆 完 成 時 白 動 搬 運 車 控 制 器 60 會 透 過 通 信 電 嫌 58對 主 電 1 I 腦 50進 行 作 業 完 成 報 告 〇 1 1 訂 接 受 來 自 白 動 搬 運 車 38之 作 業 兀 成 報 告 的 主 電 腦 50 會 1 對 儲 料 器 234 進 行 來 白 適 當 匣 子 232 之 動 搬 運 車 用 入 □ 1 1 埠 254 的 入 庫 作 業 指 示 0 在 儲 科 器 控 制 器 64按 照 透 過 通 信 1 | 電 纜 58所 送 來 的 該 入 庫 作 業 指 示 確 保 儲 料 器 架 96上 的 收 1 納 場 所 之 後 就 會 著 手 進 行 作 業 0 在 無 法 確 保 收 納 場 所 時 1 9 儲 料 器 控 制 器 64就 不 會 著 手 作 業 而 會 原 狀 在 收 納 場 所 1 1 上 等 待 發 生 空 位 者 〇 已 著 手 入 庫 作 業 之 儲 料 器 234 首 先 1 1 會 驅 使 前 進 移 動 装 置 250 將 該 匣 子 232 旋 轉 90度 方 向 之 後 1 I 從 自 動 搬 運 車 用 入 P 埠 254 移 動 至 白 動 搬 運 車 用 入 Ρ 交 接 1 I 埠 104 上 〇 當 移 動 作 業 完 成 時 儲 料 器 起 重 機 80 會 開 始 移 動 1 1 而 § 動 搬 蓮 車 用 入 P 交 接 埠 104 上 的 匣 子 232 會 被 運 送 至 1 1 已 更 受 儲 料 器 控 制 器 64確 認 之 儲 料 器 架 96上 的 收 納 場 所 中 1 1 9 完 成 % 列 的 入 庫 作 業 〇 當 作 業 完 成 時 儲 料 器 控 制 器 64 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 1 2 — A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (in ) 1 1 I 會 透 過 通 信 電 纜 58對 主 電 腦 50進 行 作 業 完 成 報 告 。在從 白 1 1 | 動 搬 運 車 用 入 P 埠 254 至自動搬蓮車用入***接埠104的 1 I 移 動 作 業 中 當 動 搬 運 車 用 入 P 璋 254空著時 ，儲料器234 請 先 1 1 會 與 開 始 著 手 時 的 初 期 化 完 成 時 同 樣 地 對 主 電 腦 50送出 該 閱 讀 背 -1 1 埠 之 空 位 資 訊 且 備 具 於 使 用 下 個 白 動 搬 運 車 38的搬 運 J i 作 業 〇 悬 事 項 1 I 再 1 1 已 接 收 來 白 儲 料 器 234 之 入 庫 作 業 完 成 報 告 的 主電腦 50 為 本 表 9 會 決 定 其 匣 子 232 的 搬 運 百 的 地 儲 料 器 234 〇 又，進 行 頁 1 I 該 搬 運 0 的 地 儲 料 器 234 之 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 埠98是 否 1 1 空 著 的 確 認 〇 埠 之 空 位 資 訊 係 從 儲 料 器 234 開 始 著手時 的 1 1 初 期 化 完 成 時 或 在 該 埠 空 著 的 時 點 上 會 向 主 電 腦50報 告 1 訂 〇 當 搬 運 巨 的 地 儲 料 器 234 之 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用埠98空 1 I 著 時 主 電 腦 50 會 對 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 42 透 過 通 信電纜 58 1 I 向 匣 子 232 之 儲 料 器 234 送 出 搛 蓮 作 業 指 示 〇 已 接收此 的 1 1 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 控 制 器 66 首 先 會 透 過 通 信 電 鱺58對 搬 1 運 處 儲 料 器 234 委 託 從 該 匣 子 232 之 收 納 場 所 至 儲料器 間 1 丨 搬 蓮 裝 置 用 埠 98的 移 動 作 業 〇 被 委 託 作 業 的 儲 料 器234 係 1 1 使 用 儲 料 器 起 重 機 80而 取 入 該 匣 子 232 0 接 著 對儲料 器 1 1 I 間 搬 運 裝 置 控 制 器 66進 行 作 業 完 成 報 告 0 已 接 收 該作業 完 1 1 成 報 告 的 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 控 制 器 66 9 係 使 空 台 車162 移 1 1 動 至 與 搬 蓮 處 匣 子 232 對 應 的 站 台 上 0 若 完 成 移 動時， 黼 1 1 料 器 間 搬 運 裝 置 控 制 器 66 會 再 次 對 搬 運 處 儲 料 器234 委 1 I 託 對 該 空 台 車 162 移 載 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 用 埠 98上的該 匣 1 1 1 子 232 〇 被 委 託 的 儲 料 器 234 係 使 用 移 載 櫬 82移 載適當 匣 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 13 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（Π.) ~ 子232 。接著，對儲科器間搬運裝置控制器66進行作n胃 成報告。已接收該作業完成報告的儲料器間搬運裝置控_ 器66，使滿台車162移動至與搬運目的地儲料器234 的站台。儲料器間之搬運作業雖仍在繼續進行中，但 處理裝置32、34中所發生的處理後匣子232會依自動 車38而被浬送人庫於儲料器234内，進而结束利用儲料器 間搬蓮裝置42對下一裝置之儲料器234出庫理送之一糸％ 的搬蓮作業控制方法的說明。 纽而就新的處理前匣子2 32會被前段之儲料器234運送 而入庫於儲料器234内且按照處理裝置32、34之要求將匣 子232予W出庫再利用自動搬運車38對處理裝置32、34蓮 送的方法（2)加Μ說明。 藉由搬運目的地儲料器234之儲科器間搬蓮装置用埠98 的空位資訊畲從儲料器控制器64透通通信電纜58而傳至主 電腦50上，新的處理前匣子232會載置於台車162上且對 搬蓮目的地儲料器234開始蓮送。當台車162到達時齡料 器間搬運裝置控制器66，會透過通信電纜58向儲料器控制 器64委託將台車162上之匣子232載置於儲料器間搬運裝 置用埠98上。被委託的儲料器234會將該匣子232使用移 載機82進行上述之作業，並對儲料器間搬浬裝置控制器66 進行作業完成報告。 已接受該作業完成報告的儲料器間搬運裝置控制器66, 會對主電腰50報告作業完成的情況。已接受該報告的主電 _H 50 ^對儲料器234指示將儲料器間搬運裝置用埠98上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ~ "14- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 丨束， ，π 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7

五 ' 發明説明（UM 的匣子232予Μ入庫。按照透過通信電孀58所送來的該入 庫作菜指示，儲科器控制器64在確保儲料器架96上的收納 埸所之後就著手作業。在無法確保收納場所時•會等待黼 料器控制器64著手作業而原狀在收納埸所中發生空位者。 已著手於入庫作業的儲料器234 ，會利用儲料器起重機80 將餘料器間搬蓮裝置用埠98上的逋當匣子232運送至被確 保之餹料器架96上的收納場所中。被指示之作業完成的儲 料器234 ，會對主霄腦50進行作業完成報告。例如被收納 在餘料器234內的處理前匣子232 *會在該處等待下一個 麾理裝置32' 34之匣子台階172、182為空位者。 處理前匣子232在被收納在儲料器234内的狀態下，會 從處理裝置32、34透過通信電纜58而發送匣子投人要求至 主電臞50上。主電皤50係搜尋在齡科器234中有無可處理 的匣子232 ，在有的情況時會移至出庫作業上。在沒有的 情況時主電臞50會等待遘當的處理前匣子232被入庫於儲 料器234内。鼷於該投入要求處理裝置32、34會依其形式 有時一次要求複數個匣子2 32。在自動搬運車用出口埠252 上由於只設置一個匣子232 ，所以在複數個要求被進行的 情況時只會Μ其匣子個數份反覆進行來自後述之儲料器 234 的出庫作業及從儲料器234至處理裝置32、34的搬 運作業。 已移至出庫作業之主電腦50，係按照有投入要求之處理 裝置32、34*選擇有複數個自動搬運車用出口埠252之中 的一届。又，將朝該處之出庫作業指示對儲料器234透過 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

T ~ 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 _五、發明説明（ί Ί ) 通信電纜58送出。在此可使用的自動搬蓮車用出口埠252 ，與自動搬蓮車用入口埠25 4同樣，可每次在處理裝置32 、34上決定。該資料，可透過_入機構54提供至主電臞5〇 内。已接受出庫作業指示之儲料器234 ，係使用魅料器起 重機80*將適當的匣子232朗自動搬運車用出***接埠100 蓮送。之後，儲料器234會驅使前進移動裝置250將自動搬 浬車用出***接埠100上的匣子232注前送至自動搬運車用 出口埠252上。更進一步，使匣子232旋轉90度Μ便容易移 載自動搬蓮車38。Μ此完成對自動搬運車用出口堆2 52之 出庫作業，且儲料器234會對主電腦50進行作業完成報告。 已接受來自儲料器234之出庫作業之完成報告的主電皤 50，接著會將自動搬蓮車用出口埠252上的匣子232運送 至處理裝置32、34的匣子台階172、182上且透過通信轚鱅 58對自動搬蓮車38下達命令。已接受該命令的自動搬運車 控制器60，會從複數個自動搬浬車38之中分派作業至最適 於其搬蓮作業的部分，且利用控制局側通信單元62和搬蓮 車側通信單元142與主櫬進行無線通信俾使在自動搬運車 38上進行匣子232之搬運作業。 以下說明其作業之內容。首先台車140會自待櫬位置按 照被貼附在地板上的感應帶156，朝向作為搬運處的儲料 器234之自動搬運車用出口璋252行進。當自動搬運車38 到達時首先會透過對自動搬運車通信單元102 ，進行在該 自動搬蓮車用出口埠252上是否存在有匣子232的確認。 之後，自動搬運車38會驅使機器臂144 、機器手146及機 --^---Γ----^------1Τ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 16 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（ί ‘1 ) 器手爪148 ，取入位於自動搬運車用出口埠252上的缠當 匣子232 ，並置放在本身的移載台150上。自動搬運車38 ，在透過對自動搬運車通信單元102而在自動搬運車用出 口埠252進行是否有逋當匣子232的確認之際，在沒有匣 子2 32時會立即發報錯誤。當該載置作業完成時，台車140 會再次從儲料器23 4朝搬運目的地之處理裝置32、3 4所指 示的匣子台階172、182之前移動。當自動搬運車38到達時 會K與之前相反的顒序將移載台150 上的適當匣子232置 放在被指示的匣子台階172、182上。自動搬運車38在將缠 當的匣子232 置放在被指示的自匣子台階172、1 82上之 前，會透過對自動搬蓮車通信單元174 在匣子台階172、 182上確認是否存在有弄錯的匣子232 。接著在存在有弄 錯的匣子232 時就立即發報錯誤。此乃根據因匣子232基 於來自處理裝置32、34之匣子台階172、182的空資訊而被 運來，所K其他的匣子232位於同一台階上為異常狀態的 判斷者。當被指示之所有的作業皆完成時自動搬運車控制 器60會透過通信電纜58對主電腦50進行作業完成報告。 利用自動搬運車38對適當匣子232之處理裝置32、34完 成投入作業之後，主電腦50，會透過通信電纜58對處理裝 置32、34指示預定處理之開始。 最後就來自手動用入口埠260之入庫和來自手動用出口 埠262之出庫的方法（3)加Μ敘述。 作業者在將匣子232入庫於儲料器234内時，首先會將Κ 子232置於手動用人.口埠260内且操作作為儲料器234之一 --^-----I----' ^------訂------\ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 17 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 _五、發明説明（i:)) 部分的操作面板121 。利用該操作可知匣子232被置放在 手動用入口埠260内的餡料器234 ，係利用ID卡讀寫裝置 270讀取遘當匣子232之ID卡240的資訊。接著，將該資 科透通通信電纜58向主電腦50報告。主電腦50係依此而得 知作業者運來匣子232之情況。主電腦50不會感知儲料器 234內的匣子232之充足狀況而會對儲料器234送出該匣子 232之入庫的作業指示。但是，可使用的手動用入口璋260 係每次在處理裝置32、34上決定。該資料可預先透過輪入 櫬構54而提供給主電臞50。按照透過通信霣孀58所送來的 該入庫作業指示，儲科器控制器64係在確保儲料器架96上 之收納場所之後開始著手作業。在無法確保收纳場所時， 馘料器控制器64，就不會著手作業而原狀等待在收納場所 發生空位者。已著手於入庫作業指示的儲料器234 ，係使 用儲料器起重機80將手動用入口埠260 上之逋當匣子232 朝被確保之儲料器架96上的收納場所運送。已完成被指示 之作業的儲料器234 ，會對主電腦50進行作業完成報告。 Μ此就可依作業者完成入庳作業。 繼而就將被收納在儲料器2 34的匣子23 2經由手動用出 口埠262向作業者之手邊交出的方法加Μ說明。例如就從 自動搬蓮車38所未具備的槠料器234至處理裝置32、34之 匣子投入加Μ考慮。處理裝置32、34會透_通信電嫌58向 主電臞50進行匣子投入要求。主笛臞50會搜專在儲料器 234上是否有可處理的匣子232 ，若有時就移至出庫作業 上。若沒有時適當的處理前匣子會被人庫於齡料器234内 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ，。 m u - I -I -- m 1 -. ( -- . - - - - . m ^1« .-"、τ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 ____B7 五、發明説明（丨t:;) 。麾理裝置32、3 4會依其形式一次要求複數個匣子232。 在複數個要求被進行時來自下述所示的儲料器234之出庫 作業可只以其匣子之個數反覆進行。 已移至出庫作業之主電腦50，係按照已進行投入要求的 處理裝置32、34選擇有複數個之手動用出口埠262中之一 個，且將至該處之出庫作業指示透過通信電孀58對儲料器 234送出。在此可使用的手動用出口埠262 ，係與自動搬 理車用出口埠252同樣’每次在處理裝置32、34中決定。 該資料係預先透過輪入機構5 4提供給主電臞50。已接受此 之儲料器234，係使用儲料器起重機80將缠當的匣子232運 送至手動用出口埠262。又，在儲料器234之操作面板121 上進行許可手動用出口埠262上的缠當匣子232之取出的顯 示。看到此的作業者，會從手動用出口埠262取出適當匣 子232 ，且操作操作面板121對儲料器234通知取出作業 經濟部中央標準局員工消費合作社印衆 --Ί---Γ----' ^------ΐτ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 完成之情況。接受此以判新儲料器234已完成出庫作業， 並透過通信電纜58對主電臞50進行該完成報告。已取出匣 子232之作業者，由於不知道是為已提出投入要求的處理 裝置32、34或是哪一僵所以會朝向主電臛50之作業者终皤 機56調査其資訊。之後，將匣子232朝該處理裝置32、34 之遘當匣子台階172、182運送。 但是*在習知之半導體晶圓匣搬蓮裝置230中，有如Μ 下的問題點。 主電腦50，在在對自動搬蓮車用出口堉252進行出庫作 業完成之後，會從同埠中將處理裝置32、34之搬蓮作業指 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） -19 - ΑΊ Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ((V ) 1 1 示 送 至 白 動 搬 蓮 車 38上 〇 因 此 白 動 搬 運 車 38 會 從 待 櫬 場 1 1 所 來 到 白 動 搬 運 車 用 出 口 埠 252之前在同埠中等待匣子232。 1 1 C 發 明 之 摘 述 ] 請 先 1 1 本 發 明 為 了 解 決 該 種 問 題 點 而 成 者 本 發 明 之 目 的 係 在 閲 讀 背 | 1 於 提 高 白 動 搬 蓮 車 之 搬 運 能 力 者 0 面 A I 依 本 發 明 之 某 -* 局 面 的 白 動 搬 蓮 車 控 制 方 法 f 則 其 為 半 意 事 1 1 項 1 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 中 所 使 用 之 白 動 搬 蓮 車 控 制 方 法 包 再 1 含 有 ： 儲 料 器 9 用 Μ 收 納 複 數 個 半 導 體 晶 圓 匣 者 處 理 裝 % 本 頁 東 1 置 用 Η 向 半 導 體 晶 圓 匣 施 行 處 理 者 白 動 搬 運 車 用 Μ 1 1 進 行 儲 料 器 和 處 理 裝 置 間 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 搬 蓮 作 業 者 • 1 I 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 在 搬 蓮 處 之 儲 料 器 和 搬 運 百 的 地 之 儲 1 訂 料 器 之 間 用 Μ 進 行 半 導 體 晶 圓 匣 之 搬 運 作 業 者 Μ 及 主 電 1 腦 用 Μ 進 行 儲 料 器 Λ 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 、 自 動 搬 蓮 車 及 1 1 處 理 装 置 之 控 制 者 其 中 儲 料 器 包 含 有 依 白 動 搬 運 車 用 Μ 1 1 進 行 之 半 導 體 晶 圓 匣 之 入 庫 的 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 該 方 1 法 包 含 有 將 半 導 體 晶 圓 匣 在 主 電 腦 之 控 制 下 利 用 § 動 搬 蓮 車 從 處 理 裝 置 搬 運 至 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 上 的 步 驟 用 1 1 '1 以 判 斷 半 導 體 晶 圓 匣 是 否 存 在 於 g 動 搬 運 車 用 入 Ρ 埠 上 的 1 1 步 驟 在 白 動 搬 運 車 用 入 Ρ 埠 上 存 在 有 半 導 體 晶 圓 匣 時 1 1 等 一 定 時 間 入 庫 的 步 驟 Μ 及 經 過 一 定 時 間 後 在 白 動 搬 運 1 I 車 用 入 Ρ 埠 上 存 在 有 半 導 體 晶 圆 匣 時 發 報 錯 誤 訊 息 的 步 驟 1 I 0 本 發 明 之 白 動 搬 運 車 控 制 方 法 係 在 將 半 導 體 晶 圓 匣 入 1 1 1 庫 於 儲 料 器 内 之 際 若 存 在 有 先 行 之 半 導 體 晶 圓 匣 則 會 1 1 等 待 預 定 時 間 即 使 如 此 若 先 行 之 半 導 體 晶 圓 匣 變 無 的 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐〉 —20 - A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ( 1:;： ) 1 1 話 就 會 發 報 錯 誤 訊 息 〇 藉 此 雖 Μ 存 在 有 先 行 之 半 導 體 晶 1 1 圓 匣 為 刖 提 但 是 若 為 必 要 則 不 會 等 待 白 動 搬 運 車 就 可 1 1 提 高 g 動 搬 運 車 之 作 業 效 率 〇 請 先 1 1 依 本 發 明 之 另 — 局 面 的 白 動 搬 運 車 控 制 方 法 則 其 為 半 閱 讀 背 :| I 導 體 晶 圈 匣 搬 運 裝 置 中 所 使 用 之 白 動 搬 蓮 車 控 制 方 法 包 面 J I 含 有 儲 料 器 用 Μ 收 納 複 數 個 半 導 體 晶 圓 匣 者 處 理 裝 '兔 事 1 1 項 1 置 用 >λ 向 半 導 體 晶 圓 匣 施 行 處 理 者 ; 白 動 搬 運 車 用 再 1 進 行 儲 料 器 和 處 理 裝 置 間 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 搬 運 作 業 者 > % 本 頁 束 1 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 在 搬 運 處 之 儲 料 器 和 搬 運 百 的 地 之 儲 1 1 料 器 之 間 用 Μ 進 行 半 導 體 晶 圓 匣 之 搬 蓮 作 業 者 Μ 及 主 電 1 1 腦 用 Μ 進 行 儲 料 器 儲 料 器 間 搬 蓮 装 置 、 S 動 搬 運 車 及 1 1 訂 處 理 裝 置 之 控 制 者 其 中 儲 料 器 包 含 有 依 白 動 搬 運 車 用 Μ 1 進 行 之 半 導 體 晶 圓 匣 之 出 庫 的 白 動 搬 蓮 車 用 出 P 埠 而 主 1 1 電 腦 係 記 憶 著 自 動 搬 運 車 之 作 業 中 的 搬 運 作 業 數 和 其 上 1 1 限 值 上 述 白 動 搬 運 車 控 制 方 法 更 進 一 步 包 含 有 更 新 該 1 作 業 中 之 搬 運 作 業 之 数 的 步 驟 Λ 和 在 未 超 m 被 記 憶 之 上 限 J 值 的 範 圍 内 將 搬 運 作 業 指 示 發 送 至 白 動 搬 運 車 上 的 步 驟。 1 I 本 發 明 之 白 動 搬 運 車 控 制 方 法 係 在 未 超 過 被 記 憶 之 上 1 1 限 值 的 範 圍 内 會 發 送 搬 運 作 業 指 示 〇 因 此 就 不 會 有 搬 1 1 蓮 作 業 指 示 滯 留 的 現 象 且 可 提 高 白 動 搬 運 車 之 作 業 效 率 1 1 I 較 佳 者 為 上 述 白 動 搬 蓮 車 控 制 方 法 更 進 一 步 包 含 有 1 1 1 ， 預 測 來 白 白 動 搬 蓮 車 用 出 D 埠 之 半 導 體 晶 圓 匣 之 出 庫 的 1 1 步 驟 和 基 於 預 測 而 將 搬 運 作 業 指 示 發 送 至 自 動 搬 蓮 車 上 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -2 1 - A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( • Ϊ， )) 1 1 的 步 驟 0 1 1 本 發 明 之 § 動 搬 浬 車 控 制 方 法 係 在 進 行 從 儲 料 器 至 處 1 1 理 裝 置 之 半 等 體 晶 圓 匣 的 搬 蓮 作 業 中 f 預 先 預 測 來 白 白 動 /·-V 請 1 I 先 1 搬 運 車 用 出 P 埠 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 出 庫 Μ 將 搬 運 作 業 指 閲 ik 1 背 1 示 發 送 至 白 動 搬 運 車 上 0 因 此 可 提 高 白 動 搬 運 車 之 作 業 面 之 \ 1 效 率 0 意 畢 1 項 | 依 本 發 明 之 更 另 局 面 的 自 動 搬 運 車 控 制 方 法 則 其 為 再 填 半 導 艚 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 中 所 使 用 之 白 動 搬 運 車 控 制 方 法 * 頁 裝 1 包 含 有 儲 料 器 用 Κ 收 納 複 數 個 半 導 體 晶 圆 匣 者 處 理 1 I 裝 置 用 Μ 向 半 導 體 晶 圓 匣 施 行 處 理 者 白 動 搬 蓮 車 用 1 I K 進 行 儲 料 器 和 處 理 装 置 間 之 半 導 體 晶 画 匣 的 搬 運 作 業 者 1 I 訂 ; 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 f 在 搬 運 處 之 儲 料 器 和 搬 運 百 的 地 之 1 儲 料 器 之 間 用 Μ 進 行 半 導 體 晶 圓 匣 之 搬 蓮 作 業 者 Μ 及 主 1 1 電 腦 用 Κ 進 行 儲 料 器 Λ 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 白 動 搬 運 車 1 I 及 處 理 裝 置 之 控 制 者 其 中 儲 料 器 包 含 有 依 白 動 搬 運 車 用 1 以 進 行 之 半 導 體 晶 圓 匣 之 出 庫 的 白 動 搬 蓮 車 用 出 Ρ 埠 該 、- 方 法 包 含 有 接 受 來 處 理 裝 置 之 處 理 完 成 報 告 的 步 驟 > 1 1 接 受 處 理 完 成 報 告 Μ 進 行 白 動 搬 運 車 用 出 Ρ 埠 之 付 出 作 I 1 業 的 步 驟 接 受 由 白 動 搬 蓮 車 用 出 □ 埠 所 付 出 之 完 成 向 1 I 白 動 搬 運 車 發 送 可 在 處 理 裝 置 中 進 行 處 理 之 半 導 髏 晶 圓 1 I 匣 和 由 白 動 搬 運 車 用 出 Ρ 埠 所 付 出 之 半 導 體 晶 圓 匣 之 搬 運 1 1 作 業 指 示 的 步 驟 〇 1 1 本 發 明 之 白 動 搬 蓮 車 控 制 方 法 係 在 白 動 搬 運 車 用 出 □ 1 1 埠 上 接 受 半 導 體 晶 圓 匣 之 付 出 完 成 之 後 會 將 該 半 導 體 晶 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐） -22 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（^h) 圓匣和從處理裝置回到儲料器之半導體晶圓匣成對的搬運 作業指示發送至自動搬運車上。因此，自動搬蓮車就沒有 半導體晶圓匣等待付出之現象，而可提高自動搬運車之作 業效率。 〔圖式之簡單說明〕 圖1為半導體晶圓匣搬運装置30之鳥瞰圖。 圖2為半導體晶圓匣搬浬裝置3 0之鳥瞰圖。 圖3 A〜3C為說明半導體晶圓匣40和ID卡72的圖。 圖4為從自動搬蓮車側面觀看儲料器36的圖。 圖5為從作業者側面觀看儲料器36的圖。 圖6為說明儲料器36之手動用出口埠的圖。 圖7 A為說明從自動搬運車側面所觀看的儲料器內之匣子 收納場所的圖。 圖7B為說明從作業者側面所觀看的儲料器内之匣子收納 埸所的圖。 圖8為自動搬運車38之外觀圖。 圖9為儲料器間搬運裝置42之外觀圖。 圖10為處理裝置32之外觀圖。 圖11為處理裝置34之外觀圖。 圖12為從自動搬運車側面觀看儲料器190的圖。 圖13為從作業者側面觀看儲料器190的圖。 圖14為說明儲料器190之手動用出口埠的圖。 圖15為習知之半導體晶圓匣搬運裝置230的鳥瞰圖。 圖16為習知之半導體晶圓匿搬運裝置230的鳥瞰圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 〇 〇 ---：-------衮-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 _ B7五、發明説明（2!) 画17A〜17C為說明半導體晶圓匣2 30和11}卡24〇的圖。 薩18為從自動搬蓮車側面觀看儲料器234的|1。 匾19為從作業者側面觀看儲料器234的圃。 園20為說明儲料器234之手動用出口埠的圖。 〔較佳實施例之說明] 參照_1至_2作為本發明之實施例之—的半導埋晶圓g 搬運裝置30，包含有：與習知相同的處埋裝置32及34、新 的儲料器36、與習知相同的自動搬運車38、以及與習知相 同的髂料器間搬運裝置42。在與習知相同的處理裝置32及 34上有提供某儲料器36以作為該等之處前和處理後之匣子 40的收納場所。2台自動搬運車38係從事於該等之間的搬 運作業。又，儲料器間搬運装置42在該_中雖係w中途切 斷來表示但是卻係以周圃旋轉運行著，且有複數科器 36設置在其周圍上。即使對於其他的儲料器36而言亦存在 著各自成組的處理裝置32、34和自動搬捶車38。 半導賭晶圓匣搬運裝置30，更進一步包含有：與習知相 同的主電腦50;其主櫬52;其輪入機構54;其作業者終端 機56;各自連结主電睡50和處理裝置32、34、儲料器36及 自動搬運車38，且連結儲料器36和自動搬運車38的通信電 纜58;與習知相同的儲料器控制器64;與習知相同的自動 搬運車控制器60 ;K及與習知相同的儲料器間搬運裝置控 制器66。在該圜中自動搬蓮車控制器60和自動搬運車38之 通信雖係經由控制局供通信單元62Μ無線進行*但是亦可 以有線來進行。 I -1..... I 1^1 m I I— I. I I - - - -ϋ τ» • ; - 3 、νβ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 24 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（:」2 ) 參照圖3，就由半導體晶圓匣搬蓮裝置30所搬蓮的半導 體晶画和其匣子、及ID卡加Μ說明。晶圓70和匣子40係與 習知相同的晶圓及匣子。ID卡72雖包含有與習知相同的顯 示部74和通信部76，但是通信部76並非備附在ID卡72之正 面上而是備附在其底面。 以下*以圖進行有關本實豳形態之半導體晶圓匣搬運裝 置30之構成要素的詳细說明。 參照圖4至圖6，就儲料器36加Μ說明。匾4至圖5，係如 可看到儲料器36之内部構造般，將儲料器面板94之一部分 予Μ切除而描繪者。 儲料器36包含有：儲料器架96、儲料器間搬運裝置用埠 98、手動用入口埠116、手動用出口璋118、自動搬運車用 出口埠86、自動搬運車用出***接埠100、自動搬蓮車用 入口埠88、自動搬運車用入***接埠104、儲料器起重機 80、移載機82、前進移動裝置84及對自動搬蓮車通信單元 102 〇 儲料器起重機80、移載機82、及前進移動裝置8 4係各自 進行1Ε子、2匣子、1匣子單位之搬運作業。可載置於儲 料器間搬運裝置用埠98、手動用入口埠116 、手動用出口 埠118、自動搬蓮車用出***接埠100、自動搬蓮車用入口 交接埠104 、自動搬蓮車用出口埠86及自動搬運車用入口 埠88上的匣子個數係各自為2匣子、2S子、1匣子、1匣子 、1匣子、1匣子、1匣子。 前進移動裝置84，與習知相同準備有2台。伴随著自動 I I- I - I - - - — I - -ί - 1. ^ϋ. - - - - 1------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 25 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（2.0 搬運車用出口埠86、自動搬運車用入口埠88、自動搬蓮車 用出***接埠100 、及自動搬運車用入***接埠104 ，各 備附有2個。又，手動用入口埠116雖為1個，但是手動用 出口埠H8備附有2個。 如圖6所示，在手動用出口埠118上安裝有ID卡謓寫裝置 120。在手動用入口埠116上當然與習知相同備附有ID卡謓 寫裝置120。在該儲料器36的情況，使用4個ID卡讀寫裝置 120。但是其安裝方向與習知不同。由於ID卡通信部76位 於ID卡72的底面所Μ可將ID卡讓寫裝置120安裝在匣子承 接器具130下。因此，ID卡72的正面可朝向作業者之作業 面。儲料器起重機80，與習知相同無法變更匣子40的方向 。因此，在儲料器架96的匣子40之方向係成為與在手動用 入口埠116的方向相同。被置於自動搬運車用出口埠86及 自動搬運車用入口埠88上的匣子40之方向，係與習知相同 為自動搬蓮車38所易於移載的方向。因而，被裝接的ID卡 7 2係為朝向自動搬蓮車之作業面的方向。因而成為與被置 於作為儲料器架96之一郜分的自動搬運車用出***接璋 100及自動搬蓮車用人***接埠104上的匣子40之方向相 同。因此，儲料器36在前進移動裝置84之匣子40的移動作 業中就不雷要如習知般地將匣子40的方向變更90度。 參照圖4及圖5*儲料器36更進一步包含有：自動搬運車 用埠外遮蔽門90，可上下動且用Μ保持位於自動搬運車用 出***接埠100和自動搬運車用人***接埠104之外側的 氣密性；以及自動搬蓮車用埠内遮蔽門92，可上下動且用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐） -2 6 - m I - - - -·-1--..... V 士民 - I - -ill II V—► -- ,- ^ 、\=° (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋 A7 B7五、發明説明（,.j/j) K保持位於自動搬運車用出***接埠100和自動搬蓮車用 入***接埠104之內側的氣密性。 在該圔中，雖係僅就被安装在一方之自動搬蓮車用出口 交接埠100及自動搬運車用入***接埠104之內外的自動 搬運車用埠內遮蔽門92及自動搬蓮車用埠外遮蔽門90加Μ 顯示，但是亦可在另一方的自動搬運車用出***接埠100 及自動搬運車用入***接埠104之内外備附有同樣的自動 搬運車用埠内遮蔽門92及自動搬蓮車用漳外遮蔽門90。儲 料器36更進一步包含有手動用埠外遮蔽門114 、及手動用 埠内遮蔽門112 。手動用埠外遮蔽門114及手動用埠內遮 蔽門112為同樣用Μ保持儲料器36之氣密性且可上下動的 門。手動用埠外遮蔽門114，係位於手動用入口埠116 或 手動用出口埠118之外側。手動用埠内遮蔽門112為位於手 動用入口埠116或手動用出口埠118之內側的手動用埠内 遮蔽門。 在該圖中雖係僅就手動用入口埤116加Κ顯示，但是即 使有關具有2個手動用出口埠118亦各自同樣備附有該等的 遮蔽門。 儲料器36更進一步包含有：位於儲料器間搬埋裝置用堉 98之外側的儲料器間搬蓮裝置用埠外遮蔽門122 ;Κ及儲 料器間搬運裝置用埠内遮蔽門110 。儲料器間搬運裝置用 埠外遮蔽門122及儲料器間搬運装置用埠内遮蔽門110 ， 亦為用Μ保持儲料器36之氣密性的門。儲料器間搬蓮裝置 用埠外遮蔽門122係位於儲料器間搬運装置用埠98之外側 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） n mi1 - I—I -I- ........ l\ - nn I --if i m (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -27 - A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (： 25 ) 1 1 | 〇 儲 料器 間 搬運 裝置 用埠内遮 蔽 門11 0係 位於儲料 器間 搬 1 1 1 運 裝 置用 埠 98之 内側 〇 '—·. 1 I 儲 料器 間 搬運 裝置 用埠98係 可 打開儲料 器間搬蓮 裝置 用 請 閲 1 1 埠 外 遮蔽 門 122 且利 用儲料器 間 搬運裝置 用升降機 124 予 讀 背 1 上 升下 降 者0 儲料 器間搬運 裝 置用埠外 遮蔽門1 2 2係 移 冬 1 I 意 1 1 動 於 水平 方 向， 而櫧 料器間搬 運 装置用埠 内遮蔽門 110 係 事 項 1 I 再 1 t 移 動 於上 下 方向 。移 載機82可 利 用儲料器 間搬運裝 置用 升 填 馬 本 装 降 機 124 對 位於 上升 位置的儲 料 器間搬運 裝置用埠 9δ進 行 頁 S_^ 1 I 作 業 ，反 之 儲料 器起 重機80可 對 位於下降 位置的同 璋進 行 1 1 | 作 業 〇 1 1 圆 7A、 7 Β係顯 示圖 4至圖6中 所 示之儲料 器36的收 納場 所 1 訂 者 圖7 A為 看到 自動 搬蓮車作 業 面的儲料 器36之收 納場 所 1 I 9 圖 7B為 從 作業 者作 業面觀看 的 儲料器36之收納場 所。 又 1 I 圖 中從 STR01 至STK04為儲 料 器單元Ν 〇 .且分割 成容 易 1 1 1 處 理 儲料 器 36之 收納 埸所的管 理 單位者。 從T01至T07為 儲 1 、'Ά 料 器 架96的 架子 Ν 〇 . 係顯示横列的位置 ，從P01至 Ρ04 為 位 置 Η 〇 , 係顯示每- -儲料器單元的縱列位置。 1 ] 參 照圃 8 自動搬蓮車38包含有：台車140，受貼 附在 地 1 I 板 上 的感 臑 帶156導引而行走者 搬運車側通信單元142 t 1 1 在 與 自動 搬 運車 控制 器60之控 制 局側通信 單元62之 間進 行 1 1 資 訊 之交 換 者； BS. 憐益 臂144、機器手146及 機器手爪 148 1 1 各 白 用Μ 進 行匣 子40之移載作 業 者；4個移載台150 ，在 行 1 | 走 作 業中 預 先Μ 縱放 姿勢保持 從 處理裝置 32及34或 儲料 器 1 I 36中 取入 的 匣子 40者 ;操作面 板 152 ，在 與作業者 之間 進 I 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 28 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (: 1G) 1 1 | 行 資 訊 之 交 換者；Μ 及 緩衝板 154 ，用 Μ檢 知障礙 物 Μ 使 1 1 1 執 行 中 之 作 業停止者 〇 'V 1 1 白 動 搬 運 車3 8雖係 作 為由感 應 帶156 所導 引的無 軌 道 式 請 先 閱 1 1 機 器 人 但 是 亦可為軌 道 式機器 人 。又， 亦可 為未持 有 移 載 讀 背 1 台 150 而 在 機器手爪 148 上 * Κ 抓住匣 子40之狀態 從 搬 運 m3 :丨 I t I 處 搬 蓮 至 搬 運目的地 之 形式的 機 器人。 再者 亦可為 具 備 如 事 項 1 I 再 1 \ 可 一 次 移 載 複数個匣 子 40的機 器 手146 者。 4 本 装 參 照 圈 9 儲料器間搬運裝置42包含有：行走軌道160 頁 1 I 成 為 環 形 狀者；台 車 162 ， Μ 單方向 (匾 中箭號 方 向 ) 1 1 移 動 於 行 走 軌道160 上 ，且最 大 搬運2個之匣子2者 Μ 及 1 1 懸 吊 金 鼷 器 具 164 ， 將 行走軌 道 160安 裝在 天花板 上 者 0 1 訂 參 照 圖 10 ，處理裝 置 32包含 有 :主機 170 Κ每1片 或 複 1 I 數 片 對 晶 圓 70施行半 導 體積體 電 路之製 造處 理者； 2個匣 1 1 子 台 階 172 Μ每1匣 子 單位收 納 應處理 之匣 子40者 白 動 1 i | 搬 運 車 通 信 單元174 自動搬蓮車38在對匣子台階172 置 1 放 處 理 前 匣 子40之前 確 認有無 弄 錯的其 他匣 子40或 在 取 出 1 處 理 後 匣 子 40之前確 認 該匣子 40 是否已 正確 載於匣 子 台 階 1 1 172 上 俾 使 對自動搬 連 車38輪 出 匣子台 階172的狀 態 者 0 1 I 參 照 圖 11 ，處理裝 置 34包含 有 :主機 180 Μ每1 片 或 複 1 1 數 Η 對 晶 圓 70施行半 導 體積體 電 路之製 造處 理者； 2個匣 1 1 子 台 階 182 Μ每1匣 子 單位收 納 應處理 之匣 子40者 動 1 1 搬 蓮 車 通 信 單元174 >自動搬蓮車38在對匣子台階182 置 1 I 放 處 理 1 刖 匣 子40之前 確 認有無 弄 錯的其 他匣 子40或 在 取 出 1 I 處 理 後 匣 子 40之前確 認 該匣子 40是否已 正確 載於匣 子 台 階 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29 - Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（27 ) 182上俾使對自動搬運車38輸出匣子台階182的狀態者。 Μ下，就對半導體晶固匣搬運装置30中之匣子40的儲料 器36之入庫控制方法大致區分如下三種加以說明，（1)從 處理裝置32、34將處理後匣子40收納於儲料器36内的作業 ;(2)從搬運處儲料器36將匣子40運至搬運目的地儲料器 36内的作業；Κ及（3)從手動用人口埠116對醏料器36入 庫的作業。 首先就從處理裝置32、34將處理後匣子40收納於赭料器 36內的作業（1)加以敘述。主電腦50預先將可收納於由輪 入櫬構54所输人之各髂料器36的儲料器架96内的匣子40之 最大數當作儲料器容量而予Μ記憶。當將匣子40收納於儲 料器36内時，主電腦50藉由從該數減去要收納的匣子40之 數以進行有無儲料器36之空位的判斷。如此由於主電臞50 進行儲料器36之空位管理，所Μ儲料器36會如習知所示不 需要將自動搬連車用入口埠88或儲料器間搬浬裝置用埠98 之空位向主電腦50報告。 與習知相同，處理裝置32、34透通通信S鼸58對主電臞 5 0完成處理之後舍要求匣子40之交換。在此•即使如_ 1〇 和圖11所示，處理裝置32、34依其形式有時要求退出成1 匣子單位或要求退出複數個單位。已接受該退出要求的主 電腦50，會從前述儲料器容量中減去被要求的Ε子数且移 至使用自動搬運車38的搬蓮作業。當已減去之结果變成負 數時，主電臞50會判斷無法收納匣子40而不移至使用自動 搬運車38的搬蓮作業。與習知相同，畲對複數個處理裝置 --:-1--Τ：-----裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、-IT 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公楚） 30 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（Ui 32、34之各個 分派資訊，被 裝置32 、 34之 搬蓮車用入口 主電腦50必需 車38上。 接收來自主 車控制器60， 172、182 上的 口埠88上。當 器60就會將作 行0 A7 B7 被分別分派一個自動搬運車用入口璋88，該 預先提供給主電腦50。此時，例如來自處理 退出要求即使是M2匣子單位進行，在自動 埠88上亦只有一個匣子40之載置場所。因此 將1匣子單位之搬運作業指示送至自動搬運 電腦50之1匣子之搬蓮作業指示的自動搬運 與習知相同將處理裝置32、34之匣子台階 適當匣子40蓮至儲料器36的自動搬運車用入 被指示之所有的作業完成時自動搬運車控制 業完成報告對主電腦50透過通信電纜58來進 接受來自自動搬運車38之作業完成報告的主 對儲料器控制器64進行來自儲料器36之適當匣 搬運車用入口埠88的入庫作業指示。按照透過 而送來的該入庫作業指示，儲料器控制器64在 架96上的收納場所之後雖會著手於作業但是只 才無法確保收納場所之情況。為何如此，是因 在著手於使用自動搬運車38的搬運作業之前會 36之空位所致。無問題地著手於入庫作業的儲 習知相同會將自動搬埋車用入口埠88上的逋當 儲料器架96所確保的收納場所上。另外，與習 於在自動搬運車用入口埠88的匣子40之方向和 車用人***接埠104的匣子40之方向相同，所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 電腦50，係 子40之自動 通信電纜58 確保儲料器 有在異常時 為主電臞50 確認儲料器 料器36，與 匣子40蓮至 知不同，由 在自動搬蓮 Μ前進移動 n I I I HI 1 n^— V 士 ..-- s - 、1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 31 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ΑΊ Β7五、發明説明（2]) 裝置84沒有必要在移動作業中途使匣子40旋轉90度方向。 當作業完成時儲料器控制器64會透過通信電瀵58對主電腦 50進行作業完成報告。Μ上在處理裝置32、34所發生的處 理後Ε子40會被收納在儲料器36内。 接著就從儲料器36將匣子40蓮至搬運目的地儲料器36内 的方法（2)加Κ敘述。當在處理裝置32、34之處理完成的 匣子40收納在儲料器36内時，主電腦50會將該儲料器36當 作搬運處儲料器36而從該匣子40之次處理裝置32、34中決 定適當搬蓮目的地儲料器36。主電腦50接著會從該搬蓮目 的地儲料器36之匣子容量減去匣子數並使用儲料器間搬運 裝置42而移至搬運作業上。主電腦50，在已減去的結果變 成負數時會判斷為無法收納且不移至使用自動搬運車38的 搬運作業上。 移至搬運作業的主電腦50*與習知相同透過通信電嫌58 對儲料器間搬蓮裝置42送出搬運作業指示。依該指示而被 設定的搬運目的地非為習知之儲料器間搬運裝置用埠98而 是搬蓮目的地儲料器36之儲料器架96的收納場所。接收該 搬運作業指示的儲料器間搬運裝置控制器66，會透遇通信 電纜58對搬運處儲料器36，並委託從遘當匣子40之收納場 所至儲料器間搬運裝置用埠98的移動作業。被委託的儲料 器36會對遘當匣子40使用儲料器起重機80Μ進行預定的作 業，且對儲料器間搬運裝置控制器66進行作業完成報告。 接受該作業完成報告的儲料器間搬運裝置控制器66，會使 空台車70移動至與搬蓮處儲料器36對應的站台上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ^ ^ 裝------訂------\ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -32 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（:川） 當移動完成時儲料器間搬運裝置控制器66，會再次對搬 蓮處儲料器36委託將儲料器間搬運裝置用埠98上的適當匣 子40對適當空台車162予Μ移載。被委託的儲料器36會使 用移載機82移載適當匣子40，且對儲料器間搬運裝置控制 器66進行作業完成報告。接受該作業完成報告的儲料器間 搬運裝置控制器66，會使滿台車移動至輿搬運目的地儲料 器36對應的站台上。 移動完成的儲料器間搬運裝置控制器66會透過通信電纜 58向儲料器控制器64，委託將台車162上的匣子40經由儲 料器間搬運裝置用埠9δ而收納在儲料器架96內。被委託的 儲料器控制器64，會在儲料器架96上確保匣子40的收納場 所。儲料器控制器64會驅使移載機82將匣子40移動至儲料 器間搬運裝置用埠98上*接著使用儲料器起重機80從同埠 中將匣子40朝儲料器架96所確保的收納場所予Μ收納。儲 料器控制器64只有在異常時才會在收納匣子40時無法確保 收納場所。為何如此，是因為主電腦50在著手於該搬蓮作 業之前會確認搬運目的地儲料器36之空位所致。 作業完成的儲料器控制器64，會向儲料器間搬運裝置控 制器66報告該要旨。接受此的儲料器間搬捶裝置控制器66 會向主電腦50報告作業完成報告。Μ上就可完成從搬運處 儲料器36至搬蓮目的地儲料器36之匣子40的搬運作業。其 次，就從手動用入口埠116至儲科器36入庫的作業（3)加 Μ敘述。作業者（未圈示）在將匣子40入庫於儲料器36内 時，首先會將匣子40置於手動用入口埠116上再操作作為 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 一 3 3 - --^--ττ----'装------訂------\ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 Β7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（:U ) 儲料器36之一部分的搡作面板121 。依該操作得知匣子40 被置於手動用入口埠116上的儲料器36，會利用ID卡績寫 装置120 _取記錄在逋當匣子40的ID卡72上的資訊’且會 將該資料透過通信電纜58向主電腦50報告。 主電腦50會依此而得知作業者蓮來匣子40的情形’且從 該儲料器36之匣子容量中減去其應人庫的匣子個數&移至 使用儲料器36的搬連作業上。但是，在減去之结果變成負 數且無法將匯子40朝儲料器36收納時就不移至人庫作業上 。移至入庫作業的主電腦50與習知相同會透通通信電嫌58 將入庫作業指示送至儲料器控制器64上。按照被送來的該 入庫作業指示*儲料器控制器64在儲料器架96上確保E子 40之收納場所之後就著手作業。儲料器控制器64只有在異 常時才會在收納匣子40時無法確保收納場所。為何如*b ’ 是因為主電腦50在著手於該搬運作業之前會確認搬運目的 地儲料器36之空位所致。 著手於入庫作業指示的儲料器36，與習知相同使用儲料 器起重機80將手動用入口埠116上的匣子40朝被確保的儲 科器架96上之收納場所蓮送使被指示的作業完成之儲料器 36，係對主電腦50進行作業完成報告。以此作業者之入庫 作業就算完成。 如此在半導體晶画匣搬蓮裝置30中之儲料器入庫作業控 制方法，會在主電腦50上，預先使可收納各雠料器36之匿 子40的最大個數當作儲科器容量而從输入機構54中被提供 ，在收纳匣子之際藉由從儲料器容量中減去其®子個數Μ --r.--^------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） 34 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (： ► ) 1 1 1 進行 收 納 場 所 之 確 保 〇 因 此， 無 須 儲 料 器 36之 a 動 搬 運 1 1 1 車用 入 P 埠 88和 儲 料 器 間 搬運 裝 置 用 埠 98的 空 位 當 作 條 件 1 1 就可 進 行 從 處 理 裝 置 32 Λ 34至 儲 料 器 36的 收 納 作 業 及 儲 料 請 先 m 1 1 Ί 器間 的 搬 運 作 業 0 背 1 因 而 在 白 動 搬 運 車 用 入口 埠 88上 所 先 行 的 匣 子 40變 無 之 注 : 1 之前 白 動 搬 運 車 38就 會 著 手於 在 處 理 裝 置 32 、 34中 所 發 生 事 項 1 I 再 1 V 的匣 子 40之 搬 運 作 業 上 0 因此 可 解 消 在 處 理 後 匣 子 40之 $ 裝 處理 本 裝 置 32 34的 搬 運 作 業等 待 時 間 變 長 而 白 動 搬 蓮 車 頁 1 1 38之 工 作 效 率 無 論 是 否 低 仍無 法 發 揮 預 定 的 搬 蓮 能 力 的 問 1 1 I 題° 1 1 又 從 處 理 裝 置 32 34 至儲 料 器 36的 匣 子 40之 搬 蓮 作 業 1 訂 僅是 儲 料 器 36之 白 動 搬 運車 用 入 Ρ 埠 88的 空 位 作 為 條 件 1 | ，而 進 行 儲 料 器 36之 收 納 場所 的 充 足 狀 況 之 確 認 〇 因 此 * 1 I 在對 白 動 搬 運 車 用 人 口 埠 8 8完 成 搬 蓮 作 業 之 後 即 使 至 儲 1 1 I 料器 36的 入 庫 作 業 指 示 可 從主 電 腦 50中 出 來 由 於 沒 有 空 1 的收 納 場 所 所 可 解 消 在 同埠 上 等 待 長 時 間 的 問 題 0 再 者 9 在 儲 料 器 間 搬 運 装置 用 埠 98上 所 先 行 的 匣 子 40變 無之 前 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 42就 會 著 手 於 位 於 搬 m 處 儲 料 器 I I 36内 的 後 m 匣 子 40之 搬 運 作業 上 〇 因 此 » 可 解 消 在 後 鑛 匣 1 1 子40之 搬 運 處 儲 料 器 36的 搬蓮 作 業 等 待 時 間 變 長 而 儲 料 1 1 器間 搬 蓮 裝 置 42之 工 作 效 率無 論 是 否 低 仍 無 法 發 揮 預 定 的 1 1 搬蓮 能 力 的 問 題 〇 1 I 再 者 從 搬 運 處 儲 料 器 36至 搬 運 的 地 儲 料 器 36的 匣 子 1 | 40之 搬 蓮 作 業 僅 是 以 搬 蓮 目的 地 儲 料 器 36之 儲 料 器 間 搬 蓮 1 1 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） a r -35 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (‘ ) 1 1 裝 置 用埠 98的 空位 作 為 條 件 而 進 行儲 料 器 36之 收 納 場 所 1 1 1 的 充 足狀 況 之 確認 0 因 此 在 對 儲 料器 間 搬 運 裝 置 用 埠 98 1 I 完 成 搬運 作 業 之後 即 使 至 儲 料 器 36的 入 庫 作 業 指 示 可 從 請 先 閱 1 1 主 電 腦50中 出 來， 由 於 沒 有 空 的 收 納場 所 所 Μ 亦 可 解 消 在 讀 背 1 同 埠 上等 待 長 時間 的 間 題 〇 向 之 注 :| I 意 1 I 再 者， 被 置 於手 動 用 入 Π 埠 116 上的 匣 子 40 即 使 至 儲 事 項 1 I 4 1 » 料 器 36的 入 庫 作業 指 示 從 主 電 腦 50中出 來 由 於 沒 有 空 的 4 装 本 收 納 場所 所 Μ 亦可 解 消 在 同 埠 上 等 待長 時 間 的 問 題 0 頁 Ν^ 1 I 藉 此， 在 白 動搬 蓮 車 用 入 □ 埠 88或儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 1 1 I 堉 98上即 使 有 先行 的 匣 子 40只 要 在 儲料 器 36内 確 保 有 後 續 1 1 之 匣 子40的 收 納場 所 就 可 著 手 從 處 理裝 置 32 34 至 白 動 搬 1 訂 蓮 車 用入 口 埠 88的 搬 蓮 作 業 或 從 搬 運處 儲 料 器 36 至 搬 運 百 1 | 的 地 儲料 器 36的搬 蓮 作 業 而 匣 子 40就不 需 要 在 處 理 裝 置 32 1 I 、 34或儲 料 器 36中 等 待 0 又 到 達 自動 搬 蓮 車 用 入 □ 埠 88 1 1 I 儲 料器 間 搬 蓮裝 置 用 埠 98或 手 動 用入 口 埠 116 上 的 匣 子 [ 40由 於可 在 儲 料器 36内 之 儲 料 器 架 96上 確 保 收 納 場 所 所 Μ 1 沒 有 等待 長 時 間的 效 果 〇 I 1 其 次， 就 來 自半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝置 30中 之 半 導 體 晶 圓 1 I 匣 40之儲 料 器 36的 出 庫 控 制 方 法 大 致區 分 如 下 三 種 加 >λ 說 1 1 明 (4) 經 由 自動 搬 運 車 用 出 Ρ 埠 86朝 白 動 搬 運 車 38付 出 1 1 的 作 業； (5) 在搬 蓮 處 儲 料 器 36中 經由 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 1 1 用 埠 98朝 儲 料 器間 搬 運 裝 置 42付 出 的作 業 Μ 及 (6) 經 由 1 | 手 動 用出 0 埠 118 向 作 業 者 付 出 的 作業 〇 1 I 首 先就 經 由 自動 搬 蓮 車 用 出 Ρ 埠 86朗 動 搬 運 車 38付 出 1 1 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) Ad規格（210X 297公釐） -36 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（:U ) 匣子40的作業（4)加Μ敘述。與習知相同當從處理裝置32 、34透過通信電纜58發送匣子投人要求給主電腦50時，主 電腦50在儲料器36上搜尋有無可處理的匣子40時會移至出 庫作業上。已移至出庫作業的主電腦50*會對儲料器36透 過通信電纜58送出在每一處理裝置32、3 4上預先決定一個 之位於自動搬運車用出口埠86之儲料器架96上的匣子40之 出庫作業指示。接受此的儲料器36，會使用儲料器起重機 80將適當的匣子40運至自動搬運車用出***接埠100上， 之後驅使前進移動裝置84將自動搬運車用出***接埠100 上的匣子40往前朝自動搬運車用出口埠86送出。與在自動 搬運車用入口埠88及自動搬運車用入***接埠104的擠前 作業中已述者相同，在該作業中途*前進移動装置84沒必 要如習知般地使匣子40之方向旋轉90度。 依此朝自動搬運車用出口漳86之出庫作業就會完成，儲 料器36會對主電腦50進行作業完成報告。在該一系列之儲 料器36的作業中，儲料器控制器64，係在儲料器起重機80 從儲料器架96之收納場所中取出適當匣子40之際，會將該 資訊透過通信電嫌58向主電腦50報告。接受此的主電腦50 會在進行入庫作業時於下次加在滅去匣子數而得的儲料器 36之儲料器容量（匣子收納數）。被付出至自動搬運車用 出口埠δ6的匣子40與習知相同被運至依自動搬蓮車38而提 出投入要求的處理裝置32、34上。 接著就在發送處儲料器36中經由儲料器間搬運裝置用埠 9δ朝儲料器間搬運裝置42付出匣子40的作業（5)加Μ敘述 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X297公釐） -37 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 、\-β 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 五、發明説明（3Γ;) 。接受來自儲料器36之入庫作業完成報告的主電臞5〇，會 從其匣子40之次處理裝置32、34中決定適當搬運處儲料器 36，而對儲料器間搬運裝置42透過通信電纜58送出儲料器 間之搬蓮作業指示。已梭收該搬運作業指示的儲料器間搬 蓮裝置控制器66,首先會透通通信電纜58對搬運處儲料器 36從遘當E子40之收納塲所中委託至儲料器間搬運裝置用 増98的移動作業。被委託作業的儲料器36使用儲料器起重 機80M使缠當E子40移動’且對儲料器間搬運裝置控制器 66進行作業完成報告。 在該一糸列之儲料器36的作業中儲料器控制器64係在儲 料器起重機80從儲料器架96之收納場所中取出遒當匣子4〇 之際’會將該資訊經由髂料器間搬運裝置控制器66_主電 腦50報告。或直接透過通信電纜58向主電臞5〇報告。接受 此的主電腦50會在進行入庫作業時於下次加在減去匣子數 而得的儲料器36之g子收納數。被付出至儲料器間搬蓮装 置用埠98的匣子40，係按照從上述之搬運窳齙料器“蓮送 匣子40至搬運目的地儲料器36的作業（2)，蓮送至搬蓮目 的地儲料器36上。 最後就經由手動用出口埠118向作業者付出度子4〇的作 業（6)加Μ敘述。就自動搬運車38所未具備的餘料器36和 其處理裝置32、34加Μ考慮。當處理裝置32、34透過通信 電鼸58向主電臞5 0進行匣子投入要求時，主電藤5〇會在儲 料器36上搜尋有無可處理的匣子40。 在有匣子40時，主電臞50會移至出庫作業。已移至出庫 本k張尺度適用f國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐） ' ' 38 ^ ----Γ-----參------1T------^ ί靖先閲讀背面之注意事項再填寫本頁；一 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7__五、發明説明（:U:) 作業的主轚睡50,與自動搬運車用出口漳86同樣會對儲料 器36透過通信電鑭58送出在每一處理裝置32、34上預先決 定一個之位於手動用出口埠118之儲料器架96上的匣子40 之出庫作業指示。接受此的儲科器36，會使用儲料器起重 機80將逋當的匣子40蓮至手動用出口埠118上，且在儲料 器36之操作面板121上進行允許手動用出口埠118上之缠 當匣子40之取出的顧示。 看到此的作業者，從手動用出口埠118取出瑭當匣子40 ，操作操作面板121向儲料器36通知完成取出作業之情況 。接受此的髂料器36會判斷出庫作業完成之情況，對主電 腦50透過通信電纜58進行其完成報告。在該等儲料器36的 作業中，對於儲料器控制器64而言在儲科器起重機80從儲 料器架96之收納場所中取出適當匣子40時，會透過通信電 孀58向主電腦50報告該資訊。已接受此的主電腦50會在進 行入庫作業時於下次加在減去匣子數而得的儲科器36之匣 子收納數。由於取出匣子40的作業者不知道提出投入要求 的處理裝置32、34所Μ會朝向主電臁50的作業者終端播56 ，調査該資訊，而朝其處理裝置32、34之缠當匣子台階 172、182運送。 在該種的儲料器出庫作業控制方法中，主電腦50就將匣 子40入庫於館料器36內之際減去匣子數而得的匣子收納數 ，於儲料器起重機80從儲科器架96中取出適當匣子40時會 根據由髂科器控制器64所報告的資訊將其g子個數加在匣 子收納數上。藉此，主電腦50會使空位在收納場所上發生 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ 一 3 9 一 Μ V 裝------訂------^ (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (， 1 ； ) 1 1 1 〇 因 此 主 電 腦 50 會 比 將 儲料 器 36之 商 動 搬 運 車 用 入 口 埠 1 1 | 88和 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 埠98的 空 位 資 訊 當 作 觸 發 還 更 快 1 I 速 地 可 著 手 於 從 處 理 裝 置 VI、 34 至 儲 料 器 36的 搬 運 作 業 或 請 先 閲 1 1 I 儲 料 器 36間 的 搬 運 作 業 上 〇 讀 背 1 因 而 在 白 動 搬 蓮 車 用 入口 埠 88上 所 先 行 的 匣 子 40變 無 : 1 之 前 白 動 搬 蓮 車 38就 會 依 在處 理 裝 置 32 > 34中 所 發 生 的 處 意 事 項 1 1 再 1 * 理 後 匣 子 40之 白 動 搬 運 車 38而 著 手 搬 運 作 業 〇 因 此 可 解 埠 寫 本 裝 消 在 處 理 後 匣 子 40之 處 理 裝置 32 34的 搬 運 作 業 等 待 時 間 頁 I I 變 長 * 而 白 動 搬 蓮 車 38之 工作 效 率 無 論 是 否 低 仍 無 法 發 揮 1 1 預 定 的 搬 運 能 力 的 問 題 〇 1 1 又 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 42在 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 埠 98上 I 訂 所 先 行 的 匣 子 40變 無 之 前 會著 手 於 搬 蓮 處 儲 料 器 36的 後 鑛 1 I 匣 子 40之 搬 運 作 業 上 〇 因 此， 可 解 消 在 後 鑛 E 子 40之 搬 運 1 I 處 儲 料 器 36的 搬 蓮 作 業 等 待時 間 變 長 而 儲 料 器 間 搬 運 裝 1 1 1 置 42之 工 作 效 率 無 論 是 否 低仍 無 法 發 揮 預 定 的 搬 運 能 力 的 1 問 題 〇 藉 此 在 儲 料 器 36之 儲 料器 架 96上 發 生 物 理 上 的 空 位 時 就 會 立 即 著 手 從 處 理 裝 置 32 ' 34 至 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88 1 1 I 的 搬 運 作 業 且 著 手 從 搬 運處 儲 料 器 36 至 搬 運 百 的 地 儲 料 1 1 器 36的 搬 運 作 業 〇 因 此 有可 縮 短 在 處 理 裝 置 32 34或 搬 1 1 運 處 儲 料 器 36的 匣 子 40 之 等待 時 間 等 的 效 果 0 1 1 上 述 之 主 電 腦 50 未 持 有醆 於 儲 料 器 36內 之 各 個 匣 子 40 1 I 之 收 納 場 所 的 資 訊 而 在 儲料 器 控 制 器 64上 負 責 該 管 理 0 1 | 因 而 預 先 將 由 輸 入 機 構 54所 提 供 的 髂 料 器 36之 最 大 收 納 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -40 A7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 B7五、發明説明US ) 匣子数當作儲料器容量且藉由減去從該處使用的數Μ作為 數量而管理收納場所。以下說明管理其他收納場所的方法。 主電腦50，係如圖7Α、7Β所示從輸人機構54提供闥於預 先取名的儲料器36之收納場所的資訊，同時從儲料器36完 成匣子40之收納作業時依其名稱接受收納場所的報告。藉 此主電腦50，就可知道在收納場所中沒有匣子40而在儲料 器36之收納場所中有空位的情況。 又，主電腦50，係在進行入庫作業之際不向儲料器3 6指 示匣子40的收納場所，因而收納場所最後會由儲料器控制 器64來決定。因此，主電腦50會在進行入庫作業前自行決 定儲料器36的收納場所，向儲料器控制器64指示的態樣亦 會被考慮。此時，儲料器控制器64*會在未自行決定收納 場所而由主電腦50所指示的收納場所中收納適當的匣子40 。藉此*主電腦50，可知道在收納場所中沒有匣子40而在 儲料器36之收納場所中有空位的情況。 主電腦50，係可對一個處理裝置32、34從輸人機構54中 指定複數個可使用的自動搬運車用入口埠88。又，此時亦 可配合設定使用順序。例如圖1所示的情況，將與某一個 . 處理裝置32、34對應的自動搬運車用入口璋88之數設定為 2個*並設定其使用顒序。當從處理裝置32中透過通信電 纜58向主電腦50報告匣子40之退出要求時，主電腦50雖然 從具有複數個的自動搬運車用入口埠88中即使在前次已使 用過但是在下一個使用顒序的自動搬運車用入口埠88或沒 有下一個使用顒序時就會將位於第一使用顒序的自動搬運 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ χ 1 _ I— - - ·.-1「 .·-1 I!— HI ml 1. I nn * - - I -I .^1^1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明ϋ :.1) 車用入口埠88當作其匣子40之搬運作業所使用者來決定。 在該種儲料器入庫作業控制方法中，可將複數個自動搬浬 車用入口璋88分派於1台處理裝置32、34中，且藉由已預 先被決定的顒序予以分派，就可大致均等地使用自動搬蓮 車用入口埠88。 因而*在每一處理裝置32、34可使用的自動搬運車用入 口埠88由於係預先被決定為1個，所Μ自動搬運車用入口 埠88在有複數個的情況，就可依處理裝置32、34之處理能 力及工作狀況解消在自動搬運車用入口埠88之使用混合狀 況中發生不均等的問題。 藉此，即使處理裝置32、3 4之各自的處理能力及工作狀 況不同，仍可對各自的處理裝置32、3 4大致均等使用複數 個自動搬運車用入口埠88，且無在自動搛運車用入口埠88 之使用混合狀況中發生不均等的間題。 更佳者為，主電腦50，可對一個處理裝置32、34從輸入 機構54中指定複數個可使用的自動搬運車用入口埠88，同 時在其每一埠88上向自動搬蓮車38發出的搬蓮作業指示之 中，亦可具有預先記憶未完成搬運作業的作業指示之數的 資料區域。該主電腦50在接受來自處理裝置32、34之半導 體晶圓匣40的退出要求時，會搜尋可使用該處理裝置32、 34的自動搬蓮車用入口埠88。結果，在存有複數個可使用 的自動搬運車用入口埠88時，主電腦50會比較被記憶於各 自的埠自動搬運車用入口埠88之資料區域内的作業指示之 數，而選擇數量小的一方的自動搬運車用入口埠88。主電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2!0Χ297公釐） _ - n ^^1 Inf ^^^^1 i ^^^^1 n^n n^f an V. < (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4 Π) 腦50，會將闞於該埠自動搬運車用入口埠88之資料區域的 值加1，且將搬運作業指示向自動搬運車38發送。又，當 作業完成時會將資料區域之值減1。另外，在該作業完成 前的搬運作業之數為相同的埠8 8有複數個時，主電腦50可 任意從該等中選擇一個埠88。 在該種儲料器入庫作業控制方法中，可複數個自動搬運 車用入口埠88分派於1台處理裝置32、34中。又，可進行 至新的自動搬運車38之搬運作業指示以便使該等各自的作 業完成前之作業數可為均等。因此就可大致均等地使用埠 88的使用頻率。 因而，由於在每一處理裝置32、34上可使用的自動搬蓮 車用入口埠88預先被決定為1個，所Μ在自動搬運車用入 口埠88有複數個時，就可依處理裝置32、34之各自的處理 能力及工作狀況解消在自動搬運車用入口埠88之使用混合 狀況中發生不均等的問題。 藉此，即使處理裝置32、34之各自的處理能力及工作狀 況不同，仍可對各自的處理裝置32、3 4大致均等使用複數 個自動搬蓮車用人口埠88。因此在自動搬運車用入口埠88 之使用混合狀況中不會發生不均等的問題。 上述之主電腦50，只要有來自處理裝置32、34的匣子40 之退出要求且在適當儲料器36上有收納場所的話則會從具 有複数個的自動搬運車用入口埠88中選擇一個自動搬蓮車 用入口埠88 Μ使作業均等且將搬蓮作業指示送至自動搬運 車38上。因此，即使將自動搬運車用入口埠88之匣子40送 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） _ /ι 9 _ m n un - m t^i I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ΑΊ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Β7五、發明説明（·11) 出至自動搬運車用入***接埠104上的前進移動裝置84例 如發生故障等問題時，主電腦50亦不會感知故障而與其他 的每88同樣地將至適合的自動搬運車用入口埠88之匣子40 之搬運作業指示送至自動搬運車38上。 因此主電腦50，亦可具有由輸入機構5 4所輪入的自動搬 運車用入口埠88之每一埠的自動搬運車38記憶作業完成前 的作業數之資料區域，同時設定其值的上限值。主電腦50 在將至自動搬運車用入口埠88的搬蓮作業指示送至自動搬 運車38之際，該埠的上述資料區域之值在到達其上限值時 就會闞閉使用該埠，而考慮使用成為次候補的自動搬運車 用入口埠88。结果在沒有適合的埠時就會等待自動搬蓮車 用人口埠88之搬運作業完成。 在該棰主電腦50中，可在每一自動搬運車用入口埠88上 設定上限值。因此，主電腦50在對自動搬蓮車用入口埠88 發送搬運作業指示之際作業完成前的作業數不會超過其上 限值而發送。因而，因前進移動裝置84之故障等原因多數 的搬蓮作業指示滯留在自動搬運車38上的狀況就不會發生。 更佳者為，主電腦50在每一自動搬運車用入口埠88之各 埠上具有顯示可使用*不可使用的裝置狀況資料，該資料 亦可依作業者终端機56而變更。主電腦50在將自動搬運車 用入口埠88的搬運作業指示送至自動搬運車38之際，會核 對該裝置狀況資料而在該資料為不可使用時就關閉使用該 掸，而考盧使用成為次候補的自動搬運車用入口埠88。結 果在沒有適合的埠時就會等待不可使用的自動搬蓮車用入 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） .. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 、-=s 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7五、發明説明（1:?) 口埠88之裝置狀況資料變更成可使用。 該種主電腦50，在每一自動搬運車用入口埠88上具備有 顯示可使用·不可使用的裝置狀況資料，在自動搬運車用 入口埠88變成故障之情況等時作業者可從作業者终端機56 中將該裝置狀況資料變更成不可使用。藉此主電腦50可檢 知發生故障的自動搬運車用入口埠88，且可停止將已故障 的埠88之搬運作業指示發送至自動搬運車38上。因而，因 前進移動裝置84之故障等原因多數的搬蓮作業指示滯留在 自動搬蓮車38上的狀況就不會發生。 上述的自動搬運車38，係當從主電腦5 0接受由處理裝置 32、34至自動搬蓮車用人口埠88的搬運作業指示時會著手 於作業。更進一步*自動搬運車38會從處理裝置32、34中 取入匣子40，並朝自動搬蓮車用人口埠88置放。自動搬運 車38，係在置放匣子40之前進行確認自動搬蓮車用入口埠 88中是否有留下其先行的匣子40。若有留下匣子40時就判 斷異常事態，且立即向主電腦50發報錯誤訊息。另一方面 *先行之匣子40可發生留在自動搬運車用入口埠88上。因 此，此情況可考盧自動搬蓮車38會Μ異常事態而發報錯誤 訊息並會屢次中斷搬運作業。 因此，自動搬蓮車38，在將匣子40置放在自動搬運車用 入口埠88上的作業中，即使先行之匣子40位於該處亦不會 發報錯誤訊息而在一定時間内會等待其先行之匣子40變無 。自動搬蓮車38亦可在先行之匣子40變無時立即對位於自 動搬運車38之移載台150之搬運作業中對匣子40之自動搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） _ Λ κ _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 、1Τ A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 Μ ) 1 1 I 運 車 用 入 α 埠 88 著 手 裝 卸 作 業 0 另 外 » 白 動 搬 運 車 38即 使 1 1 | 經 m — 定 時 間 先 行 之 匣 子 40亦 不 舍 變 Arr 9 亦 即 匣 子 40亦 可 1 1 在 利 用 前 進 移 動 裝 置 84未 被 送 至 白 動 搬 運 車 用 入 口 交接 埠 請 1 1 4 104 時 判 斷 異 常 事 態 並 對 主 電 臞 50發 報 錯 誤 訊 息 〇 TO 背 ϊέ 1 1 4 該 種 白 動 搛 運 車 38 係 在 將 匣 子 40 置 放 在 齡 料 器 36之 白 之 注 T 1 1 動 搬 運 車 用 人 P 埠 88上 之 際 即 使 有 先 行 之 匣 子 40亦不 會 事 項 1 | 再 t 發 報 錯 誤 訊 息 而 在 —. 定 時 間 內 會 等 待 該 匣 子 40變 無 ，且 會 % % 本 袈 在 先 行 之 匣 子 40變 無 時 著 手 作 業 0 因 肚 9 主 電 腦 50不用 確 % 1 1 認 自 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88之 空 位 就 可 減 少 在 處 理 装 置32 1 1 34中 發 出 退 出 要 求 的 匣 子 40之 搬 運 作 業 的 等 待 時 間 〇 1 I 習 知 之 主 電 腦 50 係 在 確 認 儲 料 器 36之 白 動 搬 蓮 車用 入 1 訂 | 0 埠 88的 空 位 之 後 將 從 處 理 裝 置 32 Λ 34 至 同 埠 的 搬 蓮作 業 1 1 指 示 送 至 白 動 搬 運 車 38上 〇 因 而 主 霣 腦 50之 可 發 送 至自 動 1 1 搬 運 車 38的 搬 運 作 業 係 被 限 制 於 該 埠 88的 數 量 〇 另 一方 面 1 1 上 述 的 主 電 臞 50 只 要 在 儲 料 器 36内 確 保 匣 子 40的收 納 V·广 I 場 所 就 會 向 白 動 搬 浬 車 38發 送 搬 運 作 業 指 示 〇 因 此 ，结 果 1 | 與 處 理 裝 置 32 Λ 34的 匣 子 台 階 172 > 182 之 數 相 當 的 多數 播 1 蓮 作 業 指 示 有 被 送 至 動 搬 蓮 車 38的 可 能 性 0 即 使 從主 電 1 1 臞 50將 多 數 的 搬 運 作 業 指 示 送 至 白 動 搬 運 車 38上 實 質上 可 1 1 作 業 者 會 受 到 g 動 搬 運 車 38之 搬 運 能 力 限 制 0 因 此 ，多 數 1 1 的 匣 子 40會 等 待 白 動 搬 蓮 車 38之 處 理 順 序 0 因 而 即使 將 1 1 | 超 過 限 度 的 多 數 作 業 指 示 送 至 g 動 搬 運 車 38上 亦 無 意義 0 1 1 另 一 方 面 g 動 搬 蓮 車 38之 可 靠 度 比 主 IS 臞 50低 * 旦在 抱 1 1 著 多 數 作 業 指 示 而 故 陣 時 會 有 要 復 舊 須 花 費 相 當 時 間的 問 __^ 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -46 - A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (4 t ) 1 1 I 題 〇 1 1 I 因 此 主 電 腦 50可 利 用 其 輸 入 櫬 構 5 4指 定 白 動 搬 運 車 38 1 1 | 之 作 業 中 的 搬 運 作 業 數 之 限 制 值 同 時 亦 可 具 有 記 憶 作 業 請 £ 1 1 閱 | 裝 置 數 的 資 料 區 域 〇 該 主 電 腦 50 係 在 向 i 動 搬 運 車 38 發 讀 背 | 面 \ 送 搬 運 作 業 指 示 之 際 在 確 認 被 記 憶 於 該 資 料 區 域 内 的 作 之 注 i I 意 1 | 業 裝 置 數 未 到 達 被 設 定 的 限 制 值 之 後 會 發 送 作 業 指 示 〇 在 事 項 1 I 作 業 装 置 數 未 到 達 限 制 值 時 t 主 電 腦 50 會 將 該 資 料 區 域 的 再 填 寫 袈 值 加 1 >之後， 當作業完成時會將該資料區域的值減1 0 又 頁 1 I ， 資 料 區 域 的 值 在 未 到 達 限 制 值 時 會 等 待 資 料 區 域 的 1 值 下 降 在 被 指 定 的 限 制 值 Μ 下 之 後 才 發送 搬 運 作 業 指 示。 1 1 該 種 主 電 腦 50 不 會 將 不 需 要 多 數 的 搬 蓮 作 業 指 示 發 送 1 訂 1 I 至 位 於 下 位 的 動 搬 運 車 38上 0 因 此 因 § 動 搬 運 車 3δ之 故 障 等 原 因 多 數 的 搬 蓮 作 業 指 示 滯 留 在 自 動 搬 運 車 控 制 器 1 1 60上 的 狀 況 就 不 會 發 生 〇 1 1 至 上 述 之 匣 子 40之 儲 料 器 36的 人 庫 控 制 方 法 中 在 作 業 1 者 將 匣 子 40入 庫 於 儲 料 器 36内 之 際 會 將 匣 子 40 置 放 在 手 1 I 動 用 入 □ 埠 116 上 並 操 作 作 為 儲 料 器 36之 一 部 分 的 操 作 面 1 | 板 121 ^ >依該操作而知道匣子40被置放在手動用入口埠1 16 1 1 I 上 的 儲 料 器 36 9 會 利 用 ID卡 讓 寫 裝 置 120 而 讓 取 被 記 憶 於 1 1 適 當 匣 子 40之 ID卡 72的 資 訊 * 並 將 該 資 料 透 過 通 信 電 嫌 58 1 1 向 主 電 腦 50報 告 〇 主 電 腦 50在 判 斷 為 無 法 收 納 匣 子 40時 f 1 | 亦 不 會 對 儲 料 器 36 發 送 任 何 的 作 業 指 示 而 會 等 待 儲 料 器 36 1 I 內 的 收 納 場 所 為 空 位 時 〇 亦 即 被 置 放 在 手 動 用 入 □ 埠 116 1 1 I 上 的 匣 子 40 會 一 直 在 該 埠 116上等待在儲料器36之收納場 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） kl 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（4:,) 所中發生空位時。若作業者知道沒有收納場所不用進行該 匣子40之入庫作業就可结束。又，在手動用入口埠116和 手動用出口埠118係Μ —個埠來兼用時，由於有等待入庫 於該埠上的匣子40所Μ會發生無法進行出庫作業的狀況。 因此，主電腦50，會接受由儲料器36所報告的匣子40之 手動用入口埠116的到達報告*而搜尋在儲料器36内的匣 子40之收納場所。在無法確保收納場所時主電腦50亦可向 儲料器36聪絡其要旨*而沒有該匣子40的到達報告。另一 方面，已接受此的儲料器36，亦可透過本身的操作面板 121而將無法收納匣子40的情況向作業者提示，Μ等待作 業者之操作。看到操作面板121之顧示的作業者，會從手 動用入口埠116中取出匣子40，並操作操作面板121將取出 之情況傳至儲料器36上。已接受此的儲料器36*會判斷匣 子40已被取出，且會回到匣子40被置於手動用入口埠116 之前的狀態。 在該種主電腦50中，在無法確保被置入於手動用入口埠 116内的匣子40之收納場所時*可經由儲料器36而向作業 者傳達該項要旨。因而，就可會到將成為問題之匣子40置 入於手動用入口埠116之前的狀態，作業者可對該匣子40 進行不同的處理。又，即使在手動用入口漳116和手動用 出口埠118係以一個埠兼用時，相同的狀況，匣子40會塞 住該埠，而沒有無法進行出庫作業的情況。 上述的主電腦50，係接受來自處理裝置32、34之匣子40 的退出要求，而只要在儲料器36中有收納場所，則會對自 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公f ) - 48 ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝' '-ο. A7 __B7__ 五、發明説明（.in) 1811瓌運車38，發送從匣子40之處理裝置32、34至88的搬運 #衆指示。又，只要在搬運目的地儲料器36之收納場所上 胃空位，則會對儲科器間搬運裝置42，發送從被收納在搬 壤邂儲料器36内的匣子40之搬運處儲料器36至搬運目的地 餘科器36的搬蓮作業指示。再者，當匣子40從儲料器36到 達手動用入口埠116的情況被報告時，只要在其儲料器36 ^收納埸所為空位則會將入庫的作業指示送至儲料器36上 °又，主電腦50，只要接受來自處理裝置32、34之匣子40 的投入要求且可收納儲料器36中可處理的匣子40則會向儲 料器36發出出庫的作業指示。在該種儲料器人庫作業控制 方法和儲料器出庫作業控制方法中，在儲料器36、自動搬 _車38或儲料器間搬蓮裝置42故障時，無顒該等装置實質 上是否無法作業主電臞50仍會將多數的搬運作業指示送至 該等裝置上。因此，並非只有故障之復舊的問題而已，尚 會有在從主電腦50發送至該等裝置的搬運作業指示之復舊 上須花費時間的問題。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) I ί 又，在著手於從處理裝置32、34至儲料器36的匣子40之 收纳作業之際，主電腦50不持有顳示相闞之處理裝置32、 34、自動搬運車38、及儲科器36之可使用、不可使用的裝 置狀態資訊或發送前未確認。因此，由於作業開始後相闞 機器會因故陣而停止所以會造成適當匣子40之作業在中途 停止的問題原因。 又，在著手於從儲料器36至處理装置32、34的匣子40之 收纳作業之際，主電臞50不持有顧示相藺之處理裝置32、 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -- A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（.17) 34、自動搬蓮車38、及儲料器36之可使用、不可使用的裝 置狀態資訊或發送前未確認。因此，由於作業開始後相關 機器會因故障而停止所K會造成適當匣子40之作業在中途 停止的問題原因。 再者，在進行儲料器36間之半導體晶圓匣40的搬運作業 之際，主電腦50不持有顯示相關之搬運目的地儲料器36、 搬運處儲料器36、及儲料器間搬蓮裝置42之可使用、不可 使用的裝置狀態資訊或發送前未確認。因此，由於作業開 始後相闞機器會因故障而停止所Μ會造成適當匣子40之作 業在中途停止的問題原因。 再者，在著手於來自手動用入口璋116之入庫作業和來 自手動用出口埠118之出庫作業之際，主電腦50不持有顯 示儲料器36之可使用、不可使用的裝置狀態資訊或作業指 示發送前未確認。因此，由於作業開始後儲料器36會因故 障而停止所Μ會造成逋當匣子40之作業在中途停止的問題 原因。 因此，在儲料器入庫作業控制方法及儲料器出庫作業控 制方法中，主電腦50*亦可具有從作業者終端機56中顯示 可變更的儲料器36、自動搬運車38及儲料器間搬蓮裝置42 之各自的可使用、不可使用的裝置狀況資料。該主電腦50 ，在自動將從處理裝置32、3 4至自動搬運車用入口埠88的 匣子40之搬運作業指示送至自動搬運車38之際，會確認自 動搬運車38和儲料器36之各自的裝置狀況資料為可使用之 情況並發送入庫作業指示。又，在將從搬蓮處儲料器36至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） _ κλ _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈· 訂 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（4H) 搬蓮目的地儲料器36的匣子40之搬運作業指示送至儲料器 間搬運裝置42之際，會確認搬連處儲料器36、儲料器間搬 運裝置42及搬運目的地儲料器36之各自的裝置狀況資料為 可使用之情況並發送入庫作業指示。在從手動用人口埠 116中將入庫之作業指示送至儲料器36之際，會確認只有 儲料器36之裝置狀況資料為可使用之情況並發送入庫作業 指示。在該等裝置裝狀況資料之確認中若連一個都不可使 用，則該主電腦50會等待其變成可使用時。又，即使與出 庫作業相關但是與入庫作業相同，主電腦50，在從儲料器 36至處理裝置32、34的搬蓮作業之際*在確認儲料器36和 自動搬運車38之各自的装置狀況資料為可使用之後，就會 對儲料器36發送至手動用出口埠118的出庫作業指示。又 ，在將手動用出口埠118之出庫作業指示送至儲料器36之 際會確認只有儲料器36之裝置狀況資料為可使用之情況並 發送出庫作業指示。 該種主電腦50，在將搬運作業指示送至儲料器36、自動 搬運車38及髂料器間搬運裝置42之際，在確認與其最终先 行之儲料器36的收納場所或收納裝置為止的搬運作業相闞 之所有的搬運裝置之裝置狀況資料為可使用之後，就將搬 運作業指示發送給該等的裝置。因此，不會發生多數搬蓮 作業指示滯留在因故障而無法使用的搬運裝置上的狀況。 又，亦不會發生在中途停止作業的情況。 在確認上述之與搬運作業相醑之所有的裝置為可使用之 後發送搬運作業指示的儲料器入庫作業控制方法，係在從 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） C1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈· A7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 B7五、發明説明（·1:ί) 手動用入口埠116將匣子40予Μ出庫之際，當儲料器36之 裝置狀況資料為不可使用時就會變成作業等待狀態，而有 作業者無法中止該匣子40之入庫作業的問題。 因此，主電腦50在接受由儲料器36所報告之匣子40之手 動用入口埠116的到達報告且確認儲料器36之裝置狀況資 料之際，儲料器36之裝置狀況資料為不可使用時亦可考盧 將該要旨聯絡儲料器36Μ不進行該匣子40之到達報告。另 一方面，已接受此的儲料器36，亦可透過本身的操作面板 121以顯示作業者無法收納的情況而等待作業者的操作。 看到操作面板121之顯示的作業者，會從手動用入口埠116 取出匣子40，且會操作操作面板121而將取出之情況傳至 儲料器36上。已接受此的儲料器36 *會判斷匣子40已被取 出，而回到匣子40被置入於手動用入口埠116之前的狀態。 如此在本實施形態中的主電腦50，由於儲料器36之裝置 狀況資料為不可使用所以在無法收納手動用入口埠116的 匣子40時，就可經由儲料器36而將該要旨傳至作業者。又 ，可回到將該匣子40置入於手動用入口埠116之前的狀態 。因此，作業者可對該匣子40進行不同的處理。 儲料器36之手動用入口埤116 ，係如習知所示沒必要預 先從输入機構54中將可使用的處理裝置32、34當作資料來 提供，亦可在處理裝置32、34上無翮地使用。又，該埠由 於作業者之作業性佳所Μ亦可一次置放被決定的2個匣子 40 〇 作業者在使匣子40收納在儲料器36内時，首先將匣子40 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公f ) _ ς 〇 _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（〔川） 在手動用入口埠116上置放最大2個匣子40。接著*操作作 為儲料器36之一部分的操作面板121。此時作業者無須注 意完成該等半導體晶圓匣40之處理的處理裝置32、34或進 行下一個處理的處理裝置32、3 4就可將昆子40置入於同埠 内。藉由該操作知道匣子40被置放在手動用入口埠116上 的儲料器36，會利用ID卡謓寫裝置120謓取記錄在適當匣 子40之ID卡72上的資訊，並將該資訊透過通信電鏞58向主 電腦50報告。 主電腦50如習知所示不進行該等匣子40是否可從該埠入 庫之確認，而會在確保收納場所之後就對儲料器36發送該 匣子40之入庫的作業指示。按照透過通信電纜58而送來的 該入庫作業指示，儲料器控制器64會在確保儲料器架96上 的收納場所之後著手作業。 著手於入庫作業的儲料器36，會利用儲料器起重機80而 依序將被載置於手動用入口埠116上的第一匣子40及第二 匣子40運至已被確保的儲料器架96上之收納場所中。使被 指示的作業完成之儲料器36，會對主電腦50進行作業完成 報告。依此就可完成作業者之人庫作業。 如此將可載置於儲料器36之手動用入口埠116上的匣子 40之個數設為作業者之作業性佳的2個，同時在主電腦50 中不需要在每一該埠116中設定可使用的處理裝置32、34 。藉此*至作業者之儲料器36的匣子40之入庫作業的作業 性會變佳。 因而，在每一處理裝置32、34上可使用的手動用入口璋 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. --° ΑΊ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Β7五、發明説明（:U) 116就可被決定，而在手動用入口埠116有複數個時，就 可解消因處理裝置32、34之各自的裝置能力及工作狀況而 在手動用入口埠116之使用混合狀況中發生不均等的問題。 藉此*就可Μ作業者之自由選擇來使用空的手動用入口 璋116 。上述之主電腦50，未持有關於儲料器36内之各個 匣子40之收納場所的資訊。因此使儲科器控制器64負責該 管理。進而基於預先從輸入機構5 4所提供的儲料器36之最 大收納匣子數，將已出庫的匣子40之數加在儲科器容量上 ，及將已入庫的匣子40之數從儲料器容量中減去，藉Μ管 理收納場所。Μ下係說明管理其他的收納場所之方法。主 電腦50，係如圖7Α、7Β所示從輪入機構54提供關於預先取 名的儲料器36之收納場所的資訊。同時主電腦50從儲料器 36完成匣子40之收納作業時接受收納場所的報告。藉此主 電腦50，在儲料器起重機80從儲料器架96取出適當匣子40 時基於由儲料器控制器64所報告的資訊，就可使收納有該 匣子40之收納場所中發生空位的情況。 主電腦50，亦可更進一步使一個處理裝置32、3 4從輪入 機構54中指定複數個可使用的自動搬運車用出口埠86。又 ，此時亦可配合設定使用順序。例如圖1所示的情況，處 理裝置32、34可使用2個自動搬運車用出口埠86。處理裝 置32、34係透過通信電嫌58將匣子40之投人要求發送給主 電腦50。主電腦50雖從有複數個自動搬蓮車用出口埠86中 已於前次使用但是在沒有位於下次使用顒序的自動搬蓮車 用出口埠86或在沒有位於下次使用順序的自動搬運車用出 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） c Λ HI -- - 4 - I- JJ— —II· In (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（U) 口埠86時，會決定將第一個自動搬運車用出口埠86當作使 用於該匣子40之搬蓮作業者。 在該種的儲料器出庫作業控制方法中，可對1台處理裝 置32、34，分派複數個自動搬運車用出口埠86。按照預先 被決定的順序就可大致均等地使用該等埠86。藉此就可解 消習知K來的下述問題。 亦即，在每一處理裝置32、34中可使用的自動搬運車用 出口埠86被預先決定為一個，而自動搬蓮車用出口埠86有 複數個的情況，雖然因處理裝置32、34之各自的處理能力 及工作狀況而在自動搬運車用出口埠86之使用混合狀況中 有發生不均等的問題，但是該問題可被解消，即使處理裝 置32、34之各自的處理能力及工作狀況有所不同，亦可對 各自的處理裝置32、34大致均等地使用複數個自動搬運車 用出口埠86且在自動搬浬車用出口埠86之使用混合狀況中 發生不均等的問題亦會變無。 較佳者為，主電腦50，可更進一步對一個處理裝置32、 34從輸入機構54中指定複數個可使用的自動搬蓮車用出口 埠86，同時主電腦50在其每一各埠86上向儲料器36發出的 出庫作業指示之中，亦可具有預先記憶未完成之作業指示 之數的資料區域。該主電腦50在接受來自處理裝置32、34 之E子的投入要求時*該處理裝置32、34會搜尋可使用的 自動搬運車用出口埠86。結果在存有複數個可使用的自動 搬運車用出口埠86時，主電腦50會比較前述之各自的埠之 資料區域的值，而選擇該值為較小之一方的自動搬運車用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29"/公釐） c c (請先閲讀背面之注意事項再填寫本f ) 裝 、-° A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（ϋ) 出口埠86。將關於被選擇之自動搬運車用出口埠86的資料 區域之值加1且將搬運作業指示發送給自動搬運車38。又 ，當作業完成時就將該值減1。另外，在該作業完成前的 出庫作業之數有複數個相同者時，主電腦50就會任意從埠 86之中選擇一個埠86，並將搬蓮作業指示發送給自動搬運 車38。 在該種的儲料器出庫作業控制方法中，可將複數個自動 搬運車用出口埵86分派在一個處理裝置32、34中。又，將 出庫作業指示發送給新的儲料器36Μ便可使埠86之作業完 成前的作業數變成均等。因此，就可大致均等地使用埠86。 因而，在每一處理裝置32、34中可使用的自動搬蓮車用 出口埠86被預先決定為一個，而自動搬運車用出口埠86有 複數個的情況，就可解消因處理裝置32、34之各自的處理 能力及工作狀況而在自動搬運車用出口埠86之使用混合狀 況中發生不均等的問題。 藉此，即使處理裝置32、34之各自的處理能力及工作狀 況有所不同，亦可對各自的處理裝置32、34大致均等地使 用複數個自動搬運車用出口埠86，因而，在自動搬運車用 出口埠86之使用混合狀況中發生不均等的問題會變無。在 上述之儲料器出庫作業控制方法中，在有來自處理裝置32 、34之匣子40的投入要求時，在儲料器36上只要有一個可 處理的匣子40，主電腦50，就可從具有複數個的自動搬運 車用出口埠86中均等地決定一個璋86，且將出庫作業指示 送至儲料器36上。因此，即使發生從自動搬運車用出*** 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐） _ r β (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

• n n HI 裝· 、-5° -1.^ If' A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（：Λ) 接埠100將匣子40送出至自動搬運車用出口埠86上的前進 移動裝置8 4發生故障等的問題時*主電腦50，亦無法感知 故障，而會將來自適當的自動搬運車用出口埠86之匣子40 的出庫作業指示送至自動搬運車38上。 因此，主電腦50具有依自動搬蓮車用出口埠86之各坶的 儲料器36而記憶出庫作業之作業完成前的作業數之資料區 域，同時亦可利用輸入機構5 4來設定其作業數的上限值。 主電腦50在將至自動搬蓮車用出口埠86的出庫作業指示發 送給儲料器36之際，在該資料區域之值到達其上限值時會 關閉使用該埠，且考盧使用成為次候補的自動搬運車用出 口埠86。结果在沒有適當的埠時就會等待完成至可使用的 自動搬運車用出口埠86之搬運作業。 該種主電腦50，係可在各自動搬蓮車用出口埠86上設定 作業完成前之作業數的上限值。因此，在發送自動搬蓮車 用出口埠86之出庫作業指示之際，作業完成前的作業數不 會超過其上限值。又，不會發生因前進移動裝置84之故障 等的原因使多數的出庫作業指示滯留在儲料器36上的狀況。 較佳者為，主電腦50，亦可在自動搬運車用出口燁86之 各埠上具有顯示可使用*不可使用的裝置狀況資料，抑且 可利用作業者終端機56變更該資料。主電腦50在將自動搬 運車用出口埠86之搬運作業指示發送給儲料器36之際，會 核對該装置狀況資料，在該資料為不可使用時，就會關閉 使用該埠，而考慮使用成為次候補的自動搬蓮車用出口埠 86。结果在沒有可使用的埠時就會等待不可能使用的自動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐) _ r 7 _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 、-° A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（: ,:)） 搬浬車用出口埠86之裝置狀況資料變更成可使用。 該種的主電腦50，係具備有在各自動搬蓮車用出口埠86 上顯示可使用•不可使用的裝置狀況資料*且在自動搬運 車用出口埠86故障時作業者可從作業者終端機56中將該資 料變更成不可使用。藉此主電腦50可檢知故障的自動搬運 車用出口埠86且可中止將該埠的出庫作業指示發送給儲料 器36。又，不會發生因前進移動裝置8 4之故障等的原因使 多數的出庫作業指示滯留在儲料器36上的狀況。 主電腦50，會接受來自處理装置32、34的匣子40之投入 要求而移至使用儲料器36的出庫作業上*基於利用該儲料 器36顯示從作業開始至完成為止所報告之作業進展的資訊 ，無論是否為出庫作業完成前亦可將從適當的自動搬運車 用出口埠86至處理裝置32、34的匣子40之搬運作業指示送 至自動搬運車38上。 該種的主電腦50，會接受來自處理裝置32、34的匣子 40之投入要求而將自動搬運車用出口埠86之出庫作業指示 送至儲料器36上。同時在完成出庫作業之前，可將從自動 搬運車用出口埠86至處理裝置32、34的搬運作業指示送 至自動搬運車38上。因而，可使之與在儲料器36的出庫作 業平行進行自動搬運車38的回送作業，亦即從自動搬運車 38之待機場所至搬運處的移動作業。 因而，在完成自動搬運車用出口埠36之出庫作業之後* 將從同埠86至處理裝置32、34的搬蓮作業指示送至自動搬 運車38上。因此，就可解消在自動搬運車38從待機場所來 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規栳（210X297公釐） _ rs _

In 1 -- 111 J.JI In ί I ·-1^n^i - I- —m - ^^1 XV. 、-° (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（Μ:) 到自動搬運車用出口埠86之間，匣子40在同埠86中等待的 問題。 藉此，就可縮短從匣子40之自動搬運車用出口埠86至處 理装置32、34的搬運作業時間。 習知之自動搬蓮車38，在由主電腦50接受從匣子40之自 動搬運車用出口埠86至處理裝置32、34的搬運作業指示時 ，就會著手作業而進行從待機場所至指定的儲料器36之自 動搬運車用出口埠86前的移動作業。接著，取入自動搬蓮 車用出口埠86上的匣子40。在取入E子40之前，自動搬運 車38會進行在自動搬運車用出口埠86上是否載有匣子40之 確認。在未載有匣子40時會判斷為異常事態，且立即將錯 誤發報送進主電腦50內。 另一方面*考盧在完成上述之匣子40的自動搬浬車用出 口埠86之出庫作業之前主電腦50將作業指示發送給自動搬 運車38的情況。此情況，在自動搬運車38到達自動搬運車 用出口埠86時，就會發生匣子40載置於自動搬運車用出口 埠86上的情況。因此，自動搬運車38會K異常事態發報錯 誤訊息，且屢次使搬運作業中斷而成為很大的問題。 因此，自動搬運車38，會接收從由主電腦50所送來的儲 料器36之自動搬運車用出口埠86至處理裝置32、34的匣 子40之搬運作業指示而著手作業。與習知同樣從待機場所 移動至作為搬運處的自動搬運車用出口埠86上且在取入同 埠上的匣子40之際，自動搬蓮車38即使在該處沒有適當的 匣子40亦不會發報錯誤訊息而可在一定時間內等待半導體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29·/公f ) I- -1 - - - J-J- --- - - — 1^1 -- I - -- I— — - - I In (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（:vr) 晶圓匣40出琨在該處者。在一定時間内，當匣子40出現時 ，會立即在自動搬連車38之移載台150上，著手裝載自動 搬運車用出口埠86上的匣子40之作業。另外，即時經過一 定時間而未出現適當匣子40時，亦即從自動搬運車用出口 交接埠100中匣子40未依前進移動裝置84送來時，就會判 斷異常事態而向主電腦50發報錯誤訊息。 該種的自動搬運車38在從儲料器36之自動搬運車用出口 埠86中取人匣子40之際，即使沒有適當的匣子40亦不會發 報錯誤訊息，而在一定時間等待該匣子40出現。在一定時 間内出現匣子40時，會著手於匣子40之搬運作業。因此， 主電腦50在完成自動搬運車用出口埠86之匣子40的出庫作 業之前，可將從同埠86至處理裝置32、34的匣子40之搬運 作業指示發送至自動搬運車38上，且可減少發出投入要求 之處理裝置32、34的等待時間。 上逑之主電腦50，係對自動搬運車38，發送從處理裝置 32、34至自動搬運車用入口埠88的匣子40之搬運作業指示 。已接受該作業指示的自動搬運車38會著手於搬蓮作業， 且從處理裝置32、34之匣子台階172、182中取人匣子40, 並將匣子40運至目的地之自動搬運車用入口埠δ8上。處理 裝置32、34係利用自動搬運車38在匣子40從本身的匣子台 階172、182中被取出時，會將匣子40之投入要求送至主電 腦50上。 已接受此的主電腦50，係從儲料器36中搜尋出可處理的 半導體晶圓匣40，且使自動搬蓮車用出口埠86之匣子40的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐) _ _ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) J— I In . 裝. --° — 小 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（58) 出庫作業在儲料器36中進行。接著對自動搬運車38，送出 從自動搬蓮車用出口埠86至處理裝置32、34的匣子40之搬 運作業指示，俾使搬運作業進行。如參照圖8加Μ說明所 示，在自動搬運車38上有2個Μ上的匣子移載台150。自動 搬運車38，使供至處理裝置32、34的匣子40載於匣子移載 台150上*且注處理裝置32、34移動，並將位於匣子台階 172、182上有退出要求的匣子40載於空的匣子移載台150 上。自動搬運車38，亦可將載於g子移載台150上之應供 給的匣子40，置放在現在空的匣子台階172、182上。無論 是否與此有闞，主電腦50會將從處理裝置32、34至自動搬 運車用入口埠88的匿子40之搬蓮作業指示和從自動搬蓮車 用出0埠86至處理裝置32、34的匣子40之搬運作業指示各 自分別送至自動搬蓮車38上，俾使之蓮送匣子40。為了改 善此點*亦可使主電腦50進行如下之處理。主電腦50，在 接受來自處理裝置32、3 4的匣子40之退出要求時，會在儲 料器36上搜尋出可處理的匣子40。主電腦50*不會將從處 理裝置32、34至自動搬浬車用入口埠88的單獨之搬運作業 指示送至自動搬運車38上。首先，主電腦50，會對儲料器 36，發送可處理之匣子40之自動搬運車用出口埠86的出庫 作業指示。主電腦50，會等待出庫作業完成報告，且將從 處理裝置32、34至自動搬蓮車用人口埠88的匣子40之搬運 作業指示和從自動搬運車用出口埠86至處理裝置32、34的 匣子40之搬運作業指示作為一個搬蓮作業指示送至自動搬 蓮車38上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ,νβ A7 --------_____ 五、發明説明（,ν,υ ' 如此接受2倕搬運作業被組編成的一個搬蓮作業指示的 自動搬運車控制器60’首先使自動搬運車38朝向儲料器36 之自動搬蓮車用出口埠86，再驅使其機器臂144 、機器手 146、機器手爪148以將該埠上的匣子40置放在移載台150 上。之後’自動搬運車38，會朝向處理装置32、34 ，當到 達處理裝置32、34時，移載台150上的匣子40會先保持原 狀’苜先會與撕才相同地鼷使櫬器臂144、櫬器手Μ6、機 器手爪148’再將匣子台階172、182上的匣子4〇置放在空 的移載台150上。當該作業完成時，會先從自動搬運車用 出口増86取人’再將載置於移載台150上的匣子40，置放 在相同的昆子台階172、182上。當完成此時，自動搬運車 控制器60 ’會使台車ι4〇移動至儲料器36的自動搬運車用 入口堆88上’當台車u〇到達時位於移載台ι5()的匣子4〇會 朝自動搬蓮車用入口埠88予以裝載，而完成一系列的作業。 自動搬運車控制器60，在將匣子40置放在處理裝置32、 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

34上之際’並將該要旨向主電腦5〇報告。接受此主電腦5〇 就會知道匣子40已到達處理裝置32、34之情況，並將處理 開始之作業指示透過通信電鑭58向處理裝置32、3 4指示。 如此主電腦50*會依來自處理裝置32、34之匣子40的退出 要求，而搜尋出被收納再儲料器36內之可處理的匣子40， 而發送將之成對之一個自動搬運車38的搬運作業指示。又 *接受此的自動搬運車38係Μ自動搬蓮車用出口埠的 匣子40之取人作業、處理裝置32、34上的匣子40之取入作 業、從移載台150至處理前匣子4 0之處理裝置32、34的E 62 ------------ 裝------訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210乂297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (f Μ ) 1 I 子 40之 裝 卸 作 業 從 移 載 台 150 至 動 搬 運 車 用 入 Ρ 埠 88 1 1 I 的 處 理 後 匣 子 40之 裝 卸 作 業 的 順 序 進 行 —· 系 列 的 作 業 〇 藉 1 1 1 此 動 搬 運 車 38 就 會 比 較 分 別 各 白 進 行 從 處 理 裝 置 32 - 請 1 1 34 至 白 動 搬 運 車 用 入 α 璋 88的 匣 子 40 之 搬 運 作 業 和 從 白 動 1¾] 讀 背 \ I 面 搬 運 車 用 出 Ρ 埠 86 至 處 理 裝 置 32 34的 匣 子 40 之 搬 蓮 作 業 之 I 意 1 | 的 情 況 而 可 縮 短 搬 運 作 業 時 間 0 藉 此 就 可 降 低 白 動 搬 運 事 項 1 I 車 38的 工 作 效 率 同 時 可 縮 短 匣 子 40供 給 至 處 理 裝 置 32 再 填 寫 裝 34的 時 間 0 頁 -—^ 1 I 主 電 腦 50 可 更 進 一 步 對 處 理 裝 置 32 34從 輸 入 機 構 54 1 1 中 指 定 複 數 個 可 使 用 的 手 動 用 出 Ρ 埠 118 9 又 9 此 時 亦 可 1 1 配 合 設 定 使 用 順 序 〇 處 理 裝 置 32 34 亦 可 使 用 2個手動 1 訂 I I 用 出 口 埠 118 〇 當 匣 子 40的 投 入 要 求 從 處 理 裝 置 32 Τ» 34中 透 過 通 信 電 纜 58向 主 電 腦 50 發 送 時 主 電 腦 50雖 從 有 複 數 1 1 I 個 手 動 用 出 □ 埠 118 中 已 於 前 次 使 用 但 是 卻 選 擇 位 於 下 次 1 1 使 用 順 序 的 手 動 用 出 Ρ 埠 118 9 或 在 沒 有 下 次 使 用 顒 序 時 1 會 選 擇 最 初 的 手 動 用 出 口 埠 11 8 且 決 定 將 之 當 作 於 該 匣 ] 子 40的 搬 運 作 業 中 使 用 者 0 1 i 在 該 種 的 儲 料 器 出 庫 作 業 控 制 方 法 中 可 將 複 數 個 手 動 用 1 1 I 出 0 埠 118分派在1 台 處 理 裝 置 32 34上 〇 手 動 用 出 Ρ 堉 1 1 118 可 按 昭 預 先 被 決 定 的 順 序 大 致 均 等 地 被 使 用 〇 1 1 因 而 可 在 每 一 處 理 裝 置 32 34中 決 定 可 使 用 的 手 動 用 1 | 出 P 埠 118 而 在 手 動 用 出 Ρ 埠 118 有 複 數 個 時 就 可 解 1 I 消 因 處 理 裝 置 32 34之 各 白 的 裝 置 能 力 及 工 作 條 件 而 在 手 1 1 1 動 用 出 P 埠 118 之 使 用 混 合 狀 況 中 發 生 不 均 等 的 問 題 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（U ) 藉此，即使處理裝置32、34之各自的處理能力及工作狀 況有所不同，處理裝置32、34之各個亦可大致均等地使用 複數個手動用出口埠118，因而，在手動用出口埠118之使 用混合狀況中發生不均等的問題會變無。 較佳者為，主電腦50，可更進一步對一個處理裝置32、 34從輸入機構54中指定複數個可使用的手動用出口埠118 ，同時在每一埠118上向儲料器36發出的出庫作業指示之 中，亦可具有預先記憶未完成的作業指示之數的資料區域。 該主電腦50，在接受來自處理裝置32、3 4的匣子之投入 要求時，該處理裝置32、34會搜尋出可使用的手動用出口 埠118 。结果，可使用的手動用出口埠118在存有複數個 時，主電腦50，會比較被儲存在各自的埠118之資料區域 内的值*而選擇與最小值對應的手動用出口埠118 。主電 腦50，會將該埠資料區域之值加1，且將搬運作業指示發 送至36上，又，主電腦50，在完成作業時會將該值減1。 另外，在璋資料區域之值之中》當最小值有複數個時，主 電腦50，會任意選擇與該等值對應的埠118 。 在該種的儲料器出庫作業控制方法中，主電腦50，可將 複數個手動用出口埠118分派在1台處理裝置32、34上。又 ，主電腦50，對新的儲料器36發送出庫作業指示俾使該等 各自的作業完成前的作業數成為均等。 因而，可在每一處理裝置32、34中決定可使用的手動用 出口埠118，而在手動用出口埠118有複數個時，就可解 消因處理裝置32、34之各自的裝置能力及工作條件而在 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

.-I I II 裝· 、\=° 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 64 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明 手動用出口埠118之使用混合狀況中發生不均等的問題。 藉此，即使處理裝置32、34之各自的裝置能力及工作狀 況有所不同，亦可對各自的處理裝置32、3 4大致均等地使 用複数個手動用出口埠118 ，因而，在手動用出口埠118 之使用混合狀況中發生不均等的間題會變無。 儲料器36，在透過通信電嫌58而接受來自主電腦50之自 動搬運車用出口埠86或至手動用出口璋118的匣子40之出 庫命令時，會著手於該搬運作業，同時亦可就作業開始時 、儲料器起重機80從儲料器架96取出適當的匣子40時及作 業完成時之各個將作業狀況透過通信電纜58向主電腦50報 告。又，該儲料器36，即使對從儲料器間搬運裝置控制器 66透過通信電纜58所送來的儲料器間搬運裝置用埠98的匣 子40之移動作業指示，就作業開始時、儲料器起重機80從 儲料器架96取出適當的匣子40時及作業完成時之各個將作 業狀況透過通信電纜58向儲料器間搬運裝置控制器66報告。 接受此的儲料器間搬運裝置控制器66，係透過通信電鏞 58向主電腦50進行對儲料器間搬運作業指示的作業狀況報 告。主電腦50，係接受作業狀況報告，且在顯示儲料器起 重機80從儲料器架96中取出的情況之作業狀況報告到來之 前，不向儲料器36及儲料器間搬運裝置42送出經由同埠的 匣子40之出庫作業指示及儲料器間搬運作業指示。 如此關於從主電腦50提供至儲料器36和儲料器間搬運裝 置42的作業指示，儲料器36，會報告顯示儲料器起重機80 從儲料器架96中取出適當的匣子40之狀況。此外，主電腦 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） „ c (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（CJ) 50，在顯示儲料器起重機80從儲料器架96中取出適當的匣 子40的情況之狀況報告到來之前，不向儲料器36及儲料器 間搬運裝置42送出經由同埠的匣子40之出庫作業指示及儲 料器間搬運作業指示。藉此，俾使主電腦50送至儲料器36 及儲料器間搬運裝置42的作業指示之數不變多之情況、和 儲料器36及儲料器間搬蓮裝置42在等待作業中不空閭之情 況得Μ兩立。 藉此，無論儲料器36及儲料器間搬運裝置42是否有足夠 的搬運能力，由於從主電腦50中作業指示沒有來所以可解 消無法掌握作為目標的作業次數的問題。又，主電腦50係 無闞於儲料器36及儲料器間搬運裝置42之作業狀況而送出 多數的作業指示，且在儲料器36及儲料器間搬運裝置42發 生故障時可解消其復舊所需花費時間的問題。 上述之主電腦50，由於知道儲料器36之收納場所為空的 所Μ具有顯示儲料器36之匣子40之裝置狀況的資料。但是 ，該資料，與儲料器控制器64所具有之實際的匣子40之裝 置資料不同者，可考慮係因主電腦50和儲料器控制器64之 間的通信線路不良、或主電腦50之系統當機造成資料喪失 等所發生者。該種情況，主電腦50考慮在儲料器36上有收 納匣子40之空位的場所。因此，主電腦50，從處理裝置32 、34接受匣子40之退出要求，且在自動搬運車38上使適當 匣子40從處理裝置32、34運至自動搬運車用人口埠88上。 接著當完成該作業時，主電腦50，會將該匣子40之入庫作 業指示送至儲料器36上。但是，就儲料器控制器64所管理 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） β e ^^1 n^i· n^n J J-l nn —I— . ^^^1 ^^^1 ^^^1 m^i ^^^1、一^. n^i 1^11 j «-- n ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 _ 五、發明説明（d ) 之實際的儲料器36之收納場所而言由於沒有空位所以無法 進行自動搬運車用人口埠88上的匣子40之收納，且會發生 作業中止的狀況。同樣的狀況可考慮即使在匣子40之儲料 器間搬運作業中亦會發生。 此情況，雖然E子40到達儲料器間搬運裝置用璋98，但 是由於沒有匣子40之收納場所所Μ會Μ原狀中止作業。又 ，在手動用入口埠116上有匣子40時，主電腦50，可考慮 在36内有空位的場所，且雖將入庫的作業指示送至儲料器 36上*但是由於實際上沒有空位的場所所Μ會發生作業中 止的狀況。反之實際上無論是否在儲料器36上有空位的場 所，主電腦50會判斷儲料器36所收納的匣子40已滿載，而 會發生無法著手於與入庫相關的作業。 在發生該種問題時，為了可縮短因該問題而造成之儲料 器36相翮的作業之停止時間*而在迅速發現主電腦50所管 理的儲料器36内之匣子40的裝置資料和儲料器控制器64所 管理的裝置資料之不一致的方面就為必要而不可缺乏。因 此主電腦50，會依作業者而接受來自作業者終端機56的指 示，且對被指示的儲料器控制器64，報告被收納在儲料器 36内之所有的匣子40之ID資料。將該命令透過通信電纜58 向儲料器控制器6 4發送。接受此的儲料器控制器6 4，係將 本身所持有的匣子40之裝置資料全部透過通信電纜58向主 電腦50報告。接受回信的主電腦50，會進行被收納在本身 所持有的適當儲料器36的匣子40之ID資料和由儲料器控制 器6 4所報告的裝置資料之比較校對，且對於不同者顯示在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ c 7 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ i tj A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（f。） 作業者終端機56上，並通知作業者。 如此在本實施形態中的主電腦50，在自動搬運車用入口 埠88、儲料器間搬運裝置用埠98、或手動用入口埠116上 發生匣子40停止而入庫作業不被執行的問題、及無論是否 在儲料器36上有收納場所仍無法著手與入庫作業相關的作 業等的問題時，會按照來自作業者終端機56之作業者的指 示進行被收納在主電腦50所持有之儲料器36内的匣子40之 ID資料和儲料器控制器64所具有之實際被收納的匣子40之 ID資料的比較校對。又，將其差異點顳示在作業者終端機 56上，且可向作業者通知在何處有問題。結果，作業者會 採取適當的處置，且合併混合被收納在主電腦50和儲料器 控制器64之儲料器36内的匣子40之ID資料，就可恢復停止 前述之作業的狀況。 又，主電腦50在向儲料器控制器64發送詢問之際，雖可 一次詢問一個儲料器，但是在資料量多的情況等例如圖7A 、7B 所示之STK01至04般可K儲料器單元單位進行詢問· 上述之主電腦50係按照由作業者終端機56所輸入的作業 者之指示*對儲料器控制器64詢問被收納在儲料器36內的 匣子40之ID資料。進行該ID f料和被收納在本身所持有的 儲料器36内的匣子40之ID資料的比較校對。ID資料有所差 異之原因，有Μ下二種情況，考慮主電腦50有匣子40而考 慮儲科器控制器64沒有的情況、和與此相反考慮主電腦50 沒有匣子40而考慮儲料器控制器64有的情況。無論是否與 此有關，主電腦50不做兩者之區別而將ID資料之差異顯示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規祐（210X297公釐） β 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· --° mi - - _ 1 · 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（CΠ) 在作業者終端機56上。 作業者，就儲料器控制器64之資料為正確的情況時考慮 主電腦50沒有的匣子40，會利用作業者終端機56將該資料 追加在主電腦50之資料上。反之就考慮主電腦50為有的匣 子40而言，會利用作業者终端機56從主電腦50之資料中刪 除該資料。如此對於2個原因之各個的處理會不同《但是 ，在上述之主電腦50中，由於對應2個原因所區別的校對 结果未被顯示在終端機56上，所以有因作業者而在主電腦 50之ID資料的復舊上須花費時間的問題。 因此主電腦50，在校對由儲料器36所報告得來的資科和 被收納在其本身所有的儲料器36內的匣子40之ID資料之際 ，亦可區別考盧主電腦50有而考盧儲料器控制器64沒有的 匣子40之ID資料、和與此相反考慮主電腦50沒有而考慮儲 料器控制器64有的匣子40之ID資料而輸出至作業者終端機 56上。 如上所述，主電腦50的校對結果，由於可區別考慮主電 腦50有匣子40而考慮儲料器控制器64沒有的情況、和與此 相反考慮主電腦50沒有匣子40而考應儲料器控制器64有的 情況且顯示在作業者終端機56上，所Μ看到此的作業者就 可明確復舊作業的内容，且可縮短復舊所需的時間。 上述之主電腦50*係按照來自作業者之作業者終端機56 的指示，對儲料器控制器64詢問被收納在儲料器36内的匣 子40之ID資料，且進行該資料和被收納在主電腦50所持有 之儲料器36內的匣子40之ID資料之比較校對，並僅將不同 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ η _ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 丨^ml -.....I mj ΐ: I . A7

五、發明説明（丨:7) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 向因上被改36發56匣本。，器匣，顯 收資位 納 朝。56從部 器短 櫬的在對50料納異被 之ID及㈣收 會料機許全 料嫌 端內納校腦儲收差不50之0._ 示 者資端允料 儲幅 终36收較電與賴有亦 腦40FNM顯 業的終之資 之大 者器被比主使信沒然 電子子 Θ 與 作有者者ID50可 業料和之而即50上當 主匣架 ， 具 業業之 腦且 作儲料 料因，腦料， 自答、.做料 此所作作40電， 之在資資。時電資致 來回NO_ 資 因50在得子 主業 者納該置料理主ID一 對50元UID 。 腦示獲匣 在作 業收行裝資管和之不 僑腦單 0之 6±電顯56的。納除 作被進之ID所況40會 ，電器 U40 56主果機内者收fil自問係40之場情子不36主料 J 子 機更結端36告被或 來詢，子40納之匣果 器向儲係匣 端變之终器報行加 照6450匣子收40在結 料，之0·的 終需對者料所進追 按器腦的匣的子於的。儲問料i5料 者必校業儲64次之。係制電内的内匣由對上此詢資tig資 業且將作之器 一 料間，控主36納36納同校56在料所£||置 作，會從有制可資時50器。器收器收不之機，資埸 Μ 裝 該56，由持控，ID舊腦料料料被料際所50端7Β置納tfcw之 在機50藉所器者之復電儲資儲較儲實場腦終、裝收gjft36 示端腦可身料業40的主對置之比之在納電者7A的其is器 顧终電亦本儲作子時之，裝有只4064收主業圖40為 4 料 料者主時在由此匣題述示之持，子器之 Μ 作照子做。.儲 資莱，同納成藉的間上指40所時匣制40Μ於參匣和No之 的作此，收寫 内生 的子身此在控子所示 納料置有 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 70 裝------訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（丨;8 ) 埸所的儲料器單元No.、架子No.及位置No.做比較校對， 並非僅針對ID資料之差異進行確認就關於收納場所資料之 差異亦進行確認。主電腦50，係對與該等資料不同者顯示 在作業者終端機56上。 如上所述，儲料器控制器64對被收納在來自主電腦50之 儲料器36内的匣子40之裝置資料詢問，報告被收納之匣子 40的ID資科和其收納場所資料。又，接受此的主電腦50自 進行與本身所持有之裝置資料的比較校對之際不僅將ID資 料當作比較校對的對象就關於收納場所資料亦當作比較校 對的對象。因此，可K收納場所單位把握對於具有主電腦 50和儲料器控制器64之被收納在儲料器36内得匣子40之裝 置資料的不一致。又，即使在收納容量較大的儲料器36中 亦可容易發現造成問題的匣子40。 參照圖12至圖14，說明儲料器之其他的構成例。 儲料器190包含有與儲料器36之自動搬運車用出口埠86 相同的自動搬運車用出口埠196。但是，可載置於該埠196 上的匣子40之個數，係被決定成在處理裝置32、34之投入 要求，即與自動搬運車用出口埠196所應付出之最大的匣 子數為相同者。此情況有2個匣子40可載置於該埠196上。 處理裝置32、34係對主電腦50透過通信電黷58而進行匣 子40之投入要求。此時處理裝置32、34會進行作為該裝置 之處理單位的2個匣子40之投入要求。接受此的主電腦50 係判斷在適當儲料器190上是否有可Μ該處理裝置32、34 處理的匣子40。在可處理的匣子40有2個以上時，在將出 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） m ^^^1 —^ϋ . - ii ^^^1、一eJ_ ι — ^^^1 In -^i— n. ^ 11 < (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印^ A7 B7 五、發明説明（ί;Π) 庫的匣子數特定為2個之後，會對儲料器控制器64，送出2 個匣子40之自動搬運車用出口埠196的出庫作業指示。接 受此的儲料器控制器64，係利用儲料器起重機80將第一個 匣子40運至自動搬運車用出***接埠192上。儲料器控制 器64，係驅使前進移動裝置200而將自動搬蓮車用出*** 接埠192上的匣子40往前送至自動搬運車用出口璋196上 。與第一個II子40之出庫作業平行，而第二個匣子40之出 庫作業係對Κ同樣的顒序不同的裝置進行。當2個匣子對 自動搬運車用出口埠196出庫時，儲料器控制器64會對主 電腦50進行作業完成報告。 接受來自儲料器控制器64之出庫作業之完成報告的主電 腦50，接著會對自動搬運車38透過通信電嫌58下達將被載 置於自動搬運車用出口埠196上的2個匣子40運至處理裝置 32、34之匣子台階172、182上的命令。接受該命令的自動 搬運車控制器60，會從具有複數個的自動搬運車38之中， 分派作業至最適於該搬運作業者上，且驅使控制局側通信 單元62和搬運車側通信單元142 ，一面進行無線通信而一 面進行匣子40之搬運作業。 就自動搬運車38之匣子40的搬運作業加Μ說明。首先台 車140從待機位置按照被貼附在地板上的感應帶156朝向 作為搬運處的儲料器190之自動搬運車用出口埠196 。當 台車140到達自動搬蓮車用出口埠196時，自動搬浬車38 首先會透過對自動搬運車通信單元102，進行第一個匣子 40是否有存在於自動搬運車用出口埠196上。若有第一個 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） J i 裝 訂------外—1----— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 A7 B7 五、發明説明（7丨丨） 匣子40，則自動搬運車38，會驅使機器臂144、機器手146 及機器手爪148 ，在自動搬運車用出口埠196上取入第一 個匣子40，並置放在本身的移載台150上。關於第二個匣 子40亦按照同樣的_序，置放在與本身不同的移載台150 上。當該載置作業完成時，台車140，會再次從儲料器190 朝作為搬運處之處理裝置32、34所指示的匣子台階172、 182移動。當台車140 到達匣子台階172、182時，自動搬 蓮車38，會Μ與剛才相反的順序將移載台150上的適當匣 子40依序置放在被指示的匣子台階172、182上。當被指示 之所有的作業完成時自動搬運車控制器60會對主電腦50透 過通信電纜58進行作業完成報告。 接受利用自動搬運車38Μ完成2個匣子40之處理裝置32 、34的供給作業的報告之主電腦50，係透過通信電鑭58對 處理裝置32、34指示處理之開始。 如此藉由將可載置於儲料器190之自動搬運車用出口埠 196的匣子40之個數設成與應朝該塢付出的處理裝置32、 3 4所投人要求的匣子40之數相同，就可在來自處理裝置32 、34之投人要求的匣子40之個數單位中進行從儲料器190 中之收納場所至自動搬運車用出口璋196的出庫作業、及 從自動搬蓮車用出口埠196至處理裝置32、34之匣子台階 172、182的搬運作業之一系列的作業。 因而，來自處理裝置32、34之投入要求的匣子單位在多 於可載置於自動搬蓮車用出口埠196上的匣子個數時，超 過該匣子個數的匣子40不會變成後續之搬運作業。因此， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規桔（210X297公釐） η 。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 、1Τ .I -~----. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（71) 可解消位於處理裝置32、34之匣子台階172、182首先到達 的匣子40，在後鑛之匣子40到來之前不能開始進行處理裝 置32、3 4之處理而須等待的問題。 藉此，先行之匣子40在到達處理装置32、34之匣子台階 172、182之後，不會使處理開始的時刻依後鱅之匣子40而 延遅。 儲料器190 ，更包含有與黼料器36之自動搬運車用入口 璋88同樣的自動搬蓮車用入口璋198 。但是，可載置於該 埠198上的匣子40之個數，被決定成與處理裝置32、34要 求退出之最大的匣子數為相同者。此情況2個匣子40可載 置於該璋198上。 處理装置32、34係M2匣子單位進行匣子40之退出要求 。接受此的主電腦50係在確保該等匣子40之儲料器190的 收納場所之後，將搬運作業指示一次送至自動搬蓮車38上 。由主電臞50接收最大2個匣子40之搬運作業指示的自動 搬運車控制器60，係從具有複數個的自動搬運車38中將作 業分派在最適於該搬運作業者上，且使之進行不利用控制 局側通信單元62和搬運車側通信單元142進行無線通信的 搬運作業。 就自動搬運車38之匣子40的搬運作業加Μ說明。首先台 車140從待機位置按照被貼附在地板上的感應帶156 ，朝 向作為搬運處的處理裝置32、34。當台車140到達處理裝 置32、34時，自動搬運車38首先會透過對自動搬運車通信 單元174進行匣子40是否有存在於匣子台階172、182上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規梏（210Χ 297公釐） - 3-- —^-»-_ I - -- I · n —II ! 11 X» 為^-β (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7:2) 若在匣子台階172、182上有第一涸匣子40，則自動搬運車 38，會驅使機器臂144、機器手146及機器手爪148，取入 位於匣子台階172、182上的第一個匣子40，並置放在本身 的移載台150上。關於第二個匣子40亦按照同樣的順序， 從匣子台階172、182取人於不同的移載台150上。當2個匣 子40之載置作業完成時，台車140會再次從搬蓮處處理裝 置32、34朝作為搬蓮處之儲料器190所指示的自動搬運車 用人口埠198 移動。當到達自動搬運車用入口埠198時， 會Μ與剛才相反的顒序將2個匣子40依序從移載台150置放 在自動搬運車用入口埠198上。當被指示之所有的作業完 成時自動搬蓮車控制器60會對主電腦50透過通信電纜58進 行作業完成報告。 接受來自自動搬蓮車38之作業完成報告的主電腦50，會 對儲料器190，進行來自2個匣子40之自動搬運車用入口埠 198的入庫作業指示。按照透過通信電嫌58而送來的該入 庫作業指示，儲料器控制器64在儲料器架96上確保匣子40 之收納場所之後，就會著手於入庫作業。已著手於入庫作 業的儲料器190，首先會驅使前進移動裝置202而使第一個 匣子40從自動搬運車用入口埠198移動至自動搬蓮車用入 ***接埠194上。當移動作業完成時，儲料器起重機80會 開始移動，而自動搬運車用入***接埠194上的匣子40就 會朝已更加受到儲料器控制器64確保的儲料器架96上之收 納場所運送。更且與第一個匣子40之作業平行而第二個匣 子40之出庫作業Μ同樣的順序對不同的載置點進行。當2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ 7 r: _ --J-------裝------訂------冰—----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 Μ Β7 五、發明説明Π'Ί ) 個匣子被收納在儲料器架96上的收納場所內時就完成一糸 列的作業，而儲料器控制器64會透過通信電纜58對主電腦 50進行作業完成報告。 如上所述，將可載置於儲料器190之自動搬運車用入口 埠198的匣子40之個數，設成與可使用該埠198之處理裝置 32、34所要求的匣子40之退出要求數相同。藉此，就可在 處理裝置32、34之退出要求個數單位中進行從處理裝置32 、34至自動搬蓮車用人口璋19δ的匣子40之搬運作業及從 自動搬運車用入口璋198至儲料器190之收納場所的匣子 40之入庫作業之一系列的作業。 因而，來自處理裝置32、34之退出要求的匣子單位在多 於可載置於自動搬運車用入口埠198上的匣子個數時，超 過該匣子個數的匣子40不會被留在處理裝置32、34之匣子 台階172、182上。因而，可解消由於在該匣子40之搬運作 業等待時間變長的同時匣子台階172、182之空位延遲而須 花時間在對處理前匣子40之處理裝置32、34的供給的問題。 藉此，在處理後匣子40之處理裝置32、34的匣子台階 172、182之殘留會變無，且匣子台階172、182在處理後， 短時間内為空，而新的處理前匣子40不延遲且可從儲料器 1 9 0出庫及供給。 參照圖13，儲料器190 ，更包含有與儲料器36之手動用 出口埠118同樣的手動用出口埠210。但是，可載置於該埠 210上的匣子40之個數，被決定成與處理裝置32、34要求 投入的最大之匣子數為相同者。此情況2個匣子40就可載 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） _ „ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .J----- - 1 4ΙΊ · 裝 .—IJ -- · 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明Γ7 1 ) 置於該埠上。 例如就未具備有自動搬運車38之儲料器190和處理由該 儲料器190所出庫的匣子40之處理裝置32、34加Μ考慮。 處理裝置32、34係透過通信電纜58向主電腦50進行匣子投 入要求。此時處理裝置32、34，係M2匣子單位進行匣子 40之投人要求。接受此的主電腦50係向儲料器36詢問有無 可Μ處理裝置32、3 4處理的匣子40。在可處理的匣子40有 2個Μ上時，在將匣子40特定為2個之後，會對儲料器控制 器64送出匣子40之手動用出口璋210的出庫作業指示。接 受此的儲料器控制器64係使用儲料器起重機80將2個匣子 40依序朝持有2個匣子40之載置點的手動用出口埠2 10蓮送 。儲料器控制器64，係進行在儲料器190之操作面板121 允許手動用出口璋210上的匣子40之取出的顯示。看到此 的作業者，會從手動用出口璋210中取出2個匣子40，且操 作操作面板121將完成取出作業的情況通知儲料器190 。 接受此的儲料器190會判斷出庫作業已完成，且對主電腦 50透過通信電纜58進行該完成報告。取出匣子40的作業者 ，由於不知道發出投入要求的處理裝置32、3 4是為哪一個 所Μ會向主電腦50之作業者終端機56調査發出投入要求的 處理裝置32、34。作業者會將匣子40蓮至發出投人要求之 處理裝置32、34的適當匣子台階172、182上。 如此地將可載置於手動用出口埠210上的匣子40之個數 設定成與處理裝置32、34要求投入的匣子40之數為相同。 藉此，就可在處理裝置32、34所投人要求的匣子40之個數 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 77 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· --1H · A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（7二） 單位中進行從儲料器190之收納場所至手動用出口埠210的 出庫作業、及從手動用出口埠210至處理裝置32、34之匣 子台階172、182之作業者的搬運作業之一系列的作業。因 而，來自處理裝置32、34之投入要求的匣子單位在多於可 載置於手動用出口埠210上的匣子個數時，超過該匣子個 數的匣子40會變成後鑛的出庫作業且可解消作業者之作業 效率降低的問題。 藉此，就可減少作業者之等待時間，同時可縮短至處理 装置32、34之匣子40的供給時間。 參照匾4及圖5，儲料器36，係如上所述在儲料器間搬運 裝置用埠98上之儲料器間搬運裝置42具備有儲料器間搬運 裝置用埠外遮蔽門122和使該埠升降的儲料器間搬運裝置 用升降機124，而在自動搬運車用出***接埠192和自動搬 運車用入***接璋194之自動搬蓮車38側安裝自動搬運車 用埠外遮蔽門90，進而在手動用入口埠116和手動用出口 埠2 1 0之作業者側備附有手動用埠外遮蔽門11 4。K下係就 該等遮蔽門之動作做簡單說明。另外，在沒有儲料器36之 作業時該等的遮蔽門會處於全部被關閉的狀態。 首先就自動搬運車用埠外遮蔽門90加以敘述。當有來自 處理裝置32、34之匣子40的投入要求時主電腦50會從被收 納在適當儲料器36内的匣子40中搜尋出可處理的匣子40, 且對髂料器36送出該匣子40的出庫之作業指示。接受此的 儲料器控制器64係利用儲料器起重機80將位於儲料器架96 上的適當匣子40運至自動搬運車用出***接埠100上。接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規桔（210X297公釐） ^。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（7Ί;) 著儲料器控制器64，會從自動搬運車用出***接埠100驅 使前進移動裝置84使該匣子40移動至自動搬蓮車用出口埠 86上。此時，由於自動搬運車用埠外遮蔽門90被闞閉所Μ 首先會在使該遮蔽門90下降且打開之後，使匣子40朝自動 搬運車用出口埠86移動。當該移動作業完成時儲料器控制 器6 4會使處於開狀態的自動搬運車用埠外遮蔽門9 0上升且 闥閉。Μ此完成一系列的出庫作業，而儲料器控制器6 4會 對主電腦50進行作業完成報告。 又，在將自動搬運車用入口埠88上的匣子40予以入庫時 ，儲料器控制器64會基於來自主電腦50的入庫作業指示使 用前進移動裝置84使自動搬運車用入口埠88上的匣子40首 先移動至自動搬運車用入***接埠104上。此時，由於自 動搬運車用埠外遮蔽門90被翮閉所Μ首先在使該遮蔽門90 下降且打開之後，會使匣子40朝自動搬運車用入***接埠 104移動。當該移動作業完成時，儲料器控制器64，使處 於打開狀態之自動搬運車用埠外遮蔽門90上升且關閉。而 當該作業完成時，儲料器控制器64會驅使儲料器起重機80 而將該匣子40收納在儲料器架96上，Κ完成作業，並將該 要旨向主電腦50報告。 其次就手動用埠外遮蔽門114加以敘述。當有來自處理 裝置32、34的投入要求時，主電腦50會從被收納在適當儲 料器36内的匣子40中搜尋出可處理的匣子40，且對儲料器 36發送出庫的作業指示。接受此的儲料器控制器64，係利 用儲料器起重機80將位於儲料器架96上的適當匣子40運至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 79 - -- ·- - - 1 : ..... 批衣 n I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '-=0 丨 外 --I— I -J - 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 ΑΊ Β7 五、發明説明（Τ’/ ) 手動用出口埠118上。接著，在儲料器36之操作面板121上 進行允許手動用出口埠118上的適當匣子40之取出的顯示。 看到此的作業者為了要打開手動用埠外遮蔽門114而操 作操作面板121 。接受該操作儲料器控制器64會使該遮蔽 門114下降且打開。之後，作業者會從同埠中取出該匣子 40。作業者藉由再次操作操作面板121 Μ使打開狀態的遮 蔽門114上升闞閉，一系列的出庫作業就完成。儲料器控 制器64，會對主電腦50透過通信電钃58進行作業完成報告。 又，透過手動用入口埠116將位於作業者手邊的匣子40 入庫於儲料器36内時，作業者藉由操作操作面板121 ，儲 料器控制器64就會使被闞閉的手動用埠外遮蔽門114下降 且打開。儲料器控制器64，係將亦可將匣子40置放在手動 用入口璋116上的情況顯示在操作面板121上。看到此的 作業者就會將匣子40置放在同埠116上，且再次操作操作 面板121 。藉由該操作而知道匣子40被置放在手動用入口 埠116上的儲料器36，會使手動用埠外遮蔽門114上升且 闞閉，再利用ID卡讀寫裝置120讀取被記錄在適當匣子40 之ID卡72上的資訊，且將該資訊透過通信電纖58向主電腦 50報告。主電腦50藉此就可知道作業者運來匣子40之情況 ，而對儲料器36發送該匣子40之人庫的作業指示。儲料器 36會驅使自動搬運車用出口埠86而將位於手動用人口埠 116的匣子40收納在儲料器架96上以完成人庫作業。 最後*就儲料器間搬運裝置用埠外遮蔽門122加Μ敘述 。匣子40係從搬運處儲料器36載置於儲料器間搬運裝置42 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） _ _ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) ,3 «— Μ · 裝. 、1Τ -— 吟 :1 - - - a-··- 1 A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ——_-_____ 五·、發明説明（7¾ ) 之台車162上再被蓮至儲料器間搬蓮裝置用埠98上。當台 車162到達時儲料器間搬蓮裝置控制器66，會透過通信電 鳙58向儲料器控制器64委託將台車162上的匣子40載置於 儲料器間搬運裝置用埠98上。 接受委託的36，首先使儲料器間搬運裝置用埠外遮蔽門 122往横移動並打開，再驅使儲料器間搬運裝置用升降機 124 Μ使儲料器間搬蓮裝置用埠98上升。當該上升作業完 成時儲料器控制器64利用移載機82將台車162上的匣子40 往儲料器間搬運裝置用埠98蓮送。接著儲料器控制器64會 利用儲料器間搬運裝置用升降機124 Μ載置匣子40之狀態 使儲料器間搬運裝置用埠98朝下方之位置移動。儲料器控 制器64，在移動完成後，會鼷閉儲料器間搬運裝置用埠外 遮蔽門122 ，且利用儲料器起重機80將匣子40收納在儲料 器架96上。以此完成一系列的作業，且儲料器控制器64會 將該要旨透過通信電纜58向儲料器間搬蓮裝置控制器66報 告。又，在將被收納在儲料器36内的匣子40送出至台車 162上之際，儲料器36會按照儲料器間搬蓮裝置控制器66 之指示，使用與現在所逑之顒序相反的顒序利用儲料器起 重機80、儲料器間搬運裝置用埠外遮蔽門122 、儲料器間 搬蓮裝置用升降機124及移載機δ2進行作業。 如此藉由在成為儲料器36和外雰圍氣之接點的自動搬蓮 車用入***接埠104、自動搬蓮車用出***接埠1〇〇、餘料 器間搬運裝置用埠98、手動用入口埠116 、及手動用出口 埠118的儲料器36之外周上設置用Μ遮蔽外雰圍氣的鬥， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 、π -I ^ J-! 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（了d)就可從外部隔離儲料器36之内部。 習知Μ來，儲料器36由於係透過自動搬運車用入***接 埠104、自動搬運車用出***接埠100、儲料器間搬運裝置 用埠98、手動用入口璋116、及手動用出口埠118而在周圍 的環境中開放，所Μ灰塵或霧氣會進入儲料器36内*且附 著在被保管的匣子40之晶圓70上而有帶來不良影響的可能 性之問題。但是藉由上述之構成，就可獲得不會使灰塵或霧氣混入 儲料器36内部，且不會帶給被收納在被管理的匣子40內的 部 外 從 。 係 果於 效由 的， 響36 影器 良料 不儲 70述 圓上 晶 間12 器門 料蔽 儲遮 之外 8 I 9 埠 埠用 用置 置裝 裝運 tMU ηκ 遵拥 搬間 間器 器料 i 機 降 升 用 置 裝 遘 搬 間 在 又 離運和動 隔搬 2 自 料 儲 在Μ 所 部 内 其 儲器 有料 備 儲 具的 上降 側升 2 i 4掉 置該 裝使 埠 接 交 Ρ 出 用 一 W 連 搬 動手 自在 之 而 4 進 illos 接門 交蔽 口遮 入外 用埠 車用 運車 nx E 掷遵 動搬 自動 和自 ο 裝 10安 埠□ 出 用 動 τηπ 手 和 個 者 業 作 之 上 側 8 3 1ml ρη* 搬 埠□ 入 用 0J Ρ 蔽 開 打 HJ 0— 蔽 遮 等 該 在 是 但 打 被 會 態 狀 的 蔽 遮 通 相 部 外 和 係埠機 36用降 器置升 料裝用 儲運置 ， 搬裝 ί間運 器搬 料間 圖儲器 照加料 參增儲 上的 遮部 外內 埠之 Ϊ 6 用 3 動器 手料 有儲 附， 備時 ----------裝------訂-------^J---— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖 至 。 儲遮 4 破在外12 料蔽 2 2 11 蓉 WMJ 索 ΗΓ 98降重 埠升起 用埠器 置該料 裝使儲 運和之 搬 2 埠 間12該 在 在埠 又接 , 交 0Ρ 11人 ffj 目 P 月 蔽車 teB SBC 遒 遵 内搬 埠動 用 置 裝 遵 搬埠 間接 器交 料口 儲出 裝用 安車 上運 側搬 8 動 機 自 自 和 ο ο 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 82 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 A7 B7 五、發明説明（81)) 104上增加自動搬運車用埠外遮蔽門90而安裝自動搬運車 用埠内遮蔽門92於該等埠的儲料器起重機80側，進而在手 動用入口埠116和手動用出口埠118上增加手動用埠外遮 蔽門114而備附有手動用埠內遮蔽門112於該等埠的儲料 器起重機80側。 Μ下係就該等遮蔽門的動作做簡單說明。另外*在沒有 儲料器36之作業時該等的遮蔽門會處於全部被關閉的狀態。 首先就自動搬運車用璋内遮蔽門92加Μ敘述。當有來自 處理裝置32、34的投入要求時主電腦50會從被收納在適當 儲料器36内的匣子40中搜尋出可處理的匣子40，且對儲料 器36送出出庫之作業指示。接受此的儲料器控制器64，首 先使適當的自動搬運車用璋内遮蔽門92下降且打開，之後 利用儲料器起重機80將位於儲料器架96上的適當匣子40運 至自動搬蓮車用出***接埠100上。當儲料器起重機80之 作業結束時儲料器控制器64，會使打開著的自動搬運車用 埠内遮蔽門92上升且關閉。儲料器控制器64，會打開自動 搬蓮車用埠外遮蔽門90，且從自動搬運車用出***接埠 100驅使前進移動裝置84使該匣子40移動至自動搬運車用 出口埠86上。 又，在將自動搬蓮車用人口埠88上的匣子40予Μ人庫時 ，儲料器控制器64會打開自動搬運車用埠外遮蔽門90，且 首先會使用前進移動裝置84使自動搬運車用入口堉88上的 匣子40首先移動至自動搬蓮車用入***接埠104上。接著 當移動完成而關閉自動搬運車用璋外遮蔽門90時，儲料器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 〇 9 I i —II !- --- 1^1 - g .^1^1 ^ij 0¾. 、-° (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A 7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 五、發明説明（SI) 控制器64會使自動搬運車用埠内遮蔽門92下降且打開，並 利用儲料器起重機80使自動搬運車用入***接堉104上的 匣子40朗儲料器架96移動。當該移動作業完成時儲料器控 制器64，會使自動搬運車用埠内遮蔽門92上升且闞閉。如 此完成來自自動搬運車用入口埠88之一系列的入庫作業。 如此一來，自動搬運車用璋内遮蔽門92和自動搬運車用埠 外遮蔽門90之任一方必會呈闞閉狀態，而可完全防止儲料 器36之内部和外部相通的情形。 其次就手動用埠内遮蔽門112加以敘述。當有來自處理 裝置32、34的投入要求時，主電腦50會從被收納在適當儲 料器36内的匣子40中搜尋出可處理的匣子40，且對儲料器 36發送出庫的作業指示。接受此的儲料器控制器64，首先 會使手動用璋內遮蔽門112下降且打開，再利用儲料器起 重機80將位於儲料器架96上的適當匣子40運至手動用出口 埠118上。儲料器控剌器64，在使打開狀態之手動用埠内 遮蔽門112上升且闢閉之後，會在儲料器36之操作面板121 上進行允許手動用出口埠118上之適當厘子40之取出的顯 示。按照操作面板121之操作，儲料器控制器64會打開手 動用埠外遮蔽門114，而操作者可從同埠中取出該匣子40。 又，透過手動用入口埠116將位於作業者手邊的匣子40 入庫於儲料器36内時，作業者藉由操作操作面板121 ，儲 料器控制器64，會打開手動用埠外遮蔽門114 使匣子 40置放在手動用入口埠116上。在翻閉手動用璋外遮蔽門 114之狀態下儲料器控制器64，接著會利用利用ID卡讀寫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 .I》--J - I -..... 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規秸（210X 297公釐） 8 4 一 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 _ 五、發明説明（S::) 裝置120讀取被記錄在置放於手動用入口埠116之匣子40 之ID卡72上的資訊，且將該資訊透過通信電瀵58向主電腦 50報告。主電腦50藉此就可知道作業者運來匣子40之情況 ，而對儲料器36發送該匣子40之入庫的作業指示。接受此 的儲料器控制器64，首先在使手動用埯內遮蔽門112下降 且打開之後，會驅使儲料器起重機80將位於手動用入口埠 116上的匣子40收納在儲料器架96上。該收納作業完成之 後儲料器控制器64會使手動用埠内遮蔽門112上升且關閉 Μ完成來自一系列之手動用入口埠116的入庫作業。如此 一來，手動用埠内遮蔽門112和手動用埠外遮蔽門114之 任一方必會呈闞閉狀態，而可完全防止儲料器36之內部和 外部相通的情形。 最後，就儲料器間搬運裝置用璋内遮蔽門110加Μ敘述 。從搬運處儲料器36載置於儲料器間搬蓮裝置42之台車 162上運至而來的匣子40係驅使儲料器間搬蓮裝置用掸外 遮蔽門122、儲料器間搬運裝置用升降機124及移載機82而 蓮至儲料器間搬運裝置用埠98上。此時儲料器間搬運裝置 用埠98係處於下方的位置，而儲料器間搬運裝置用掸外遮 蔽門122亦處於備關閉的狀態。接著儲料器間搬運裝置控 制器66，在使儲料器間搬蓮裝置用埠內遮蔽門110注下方 移動且打開之後，會利用儲料器起重機80將儲料器間搬運 裝置用埠98上的匣子40收納在儲料器架96上。當收納作業 完成時儲料器間搬蓮裝置控制器66會將儲料器間搬運裝置 用埠内遮蔽門110送回原來的位置上且將之關閉，Μ此完 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 .1 ^ —Γ 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（S.i) 成一系列的作業。 又，在將被收納在儲料器36之匣子40送出至台車162之 際，儲料器36在儲料器間搬運裝置控制器66之指示之下， 會Μ與現在所述相反的顒序利用儲料器起重機80、儲料器 間搬運裝置用埠内遮蔽門110、儲料器間搬運裝置用埠外 遮蔽門122、儲料器間搬運裝置用升降機124及移載機82進 行作業。如此一來，儲料器間搬運裝置用埤内遮蔽門110 和儲科器間搬運裝置用埠外遮蔽門122之任一方必會呈闞 閉狀態*而可完全防止儲料器36之内部和外部相通的情形。 如此藉由在成為儲料器36和外界之接點的自動搬運車用 入***接埠104、自動搬運車用出***接埠100、儲料器間 搬運裝置用埠98、手動用入口璋116、及手動用出口埠118 的儲料器36之外側和内側之兩方上設置使其任一方皆圼闞 閉狀態的門，就可從外部完全隔離儲料器36之内部。因而 ，儲料器36由於可透過自動搬運車用入***接埠104、自 動搬蓮車用出***接埠100 、儲料器間搬運裝置用埠98、 手動用入口璋116、及手動用出口埠118向四周環境解放， 所Κ可解消灰塵或霧氣會進入儲料器36内，且附著在被保 管的匣子40之晶圓70上而有帶來不良影響的可能性之問題。 藉此，就可獲得不會使儲料器36之外部的灰塵或霧氣混 入儲料器36內部，且不會帶給被收納在被管理的匣子40内 的晶圓70不良影響的效果。 儲料器36，更進一步在手動用出口埠118上包含有可讀 寫被裝接在匣子40上之ID卡72之資料的ID卡讀寫裝置120。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 〇 c (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（δ‘1) 儲料器190亦更進一步在手動用出口埠210上包含有可 諝寫被裝接在匣子40上之ID卡72之資料的ID卡講寫裝置 120 〇 就被安裝在該手動用出口埠118上的ID卡譲寫裝置120 加以敘述。就自動搬運車38所未具備0料器36和用以處 理由該儲料器36所出庫之匣子40的處理裝置32、34加K考 慮。當處理裝置32、34透1信電嫌58向主電腦50進行匣 子投入要求時’主電腦50會搜S在儲料器36上有無可處理 的匣子40 ,在有匣子40時會移至出庫作業上。移至出庫作 業的主電腦50，會對儲料器36’透過通信電纘58送出將位 於儲料器架96上的匣子40朝手動用出口 ±§118搬運的作業 指示。 接受此的儲料器36’會利用儲料器起重機80將適當的g 子40朝手動用出口増118蓮送。儲料器36會利用備附在手 動用出口埠118的ID卡讀寫裝置120 ’讀人被記錄於現在 所運來的g子40之ID卡72的資料'且將該資訊透過通信電 纜58向主電腦50報告。 接受此的主電腦50係進行由手動用出口埠118所出庫的 匣子40和發出出庫作業指示的匣子4〇之比較校對’ Μ辨識 同一性。之後，由於將次處理裝置32、34的裝置名稱寫入 於該ID卡72内所以會透過通信電纜58對儲料器36送出ID卡 寫入作業指示。 接受此的儲料器36，會在ID卡讓寫裝置120上發送該資 訊，而在被装接於半導體晶圓匣40的ID卡72上寫入次處理 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. --11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公釐） 87 -Ο f ΑΊ 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 B7 五、發明説明 (8；)) 1 1 I 裝 S 32 34的 裝 置 名 稱 。裝 置名稱 被 寫 入 的 ID卡 72會 將 該 1 1 I 裝 t 名 稱 顗 示 在 本 身 的 顯示 部74上 〇 當 該 寫 入作 業 完 成 時 ，~、 1 I 會 追 尋 相 反 的 路 徑 9 向 主電 腦50報 告 該 情 況 〇 讀 k 1 1 閱 ] 接 受 此 的 主 電 腦 50 * 由允 許來自 作 業 者 之 匣子 40之 手 動 讀 背 1 用 出 P 埠 118 的 取 出 作 業， 所Μ會 將 作 業 指 示送 至 儲 料 器 lt〇 1 I 3 6上 〇 接 受 此 的 髂 料 器 36， 會在儲 料 器 36之 操作 面 板 121 思 事 項 I | 上 再 1 進 行 允 許 手 動 用 出 P 埠118上的 缠 當 匣 子 40之 取 出 的 顯 填 裝 1 I 示 〇 本 頁 看 到 此 的 作 業 者 會 從手 動用出 α 埠 118 中取 出 適 當 匣 1 1 I 子 40 且 操 作 操 作 面 板 121 向儲料 器 36通 知 取出 作 業 完 成 1 1 的 情 況 0 接 受 此 儲 料 器 36就 會判斷 出 庫 作 業 已完 成 f 且 透 1 訂 通 通 信 電 m 58對 主 電 腦 50進 行該完 成 報 告 0 1 I 取 出 匣 子 40之 作 業 者 ，與 習知不 同 由 於 提 出投 入 要 求 的 1 I 處 理 裝 置 32 3 4係 被 顯 示在 匣子40 之 ID卡 72的顯 示 部 74上 1 1 1 所 W 無 須 對 作 業 者 終 端 機56進行， 就 可 直 接 朝該 處 理 裝 置 32 Λ 34之 適 當 匣 子 台 階 172 ‘ 182 運 送 0 J 1 如 此 藉 由 在 儲 料 器 36之手 動用出 Ρ 埠 118 上安 裝 ID卡 讀 J 1 寫 裝 置 120 主 電 腦 50就可 在被裝 接 於 匣 子 40之 ID卡 72的 1 I 顯 示 部 74上 寫 人 作 為 搬 運目 的地的 次 處 理 裝 置32 34之 裝 1 1 置 名 稱 〇 1 1 因 而 在 從 手 動 用 出 口埠 118取 出 匣 子 40時作 業 者 無 法 1 1 知 道 要 埋 送 至 哪 個 處 理裝 置32、 34上 較 佳 ，而 為 了 取 得 1 | 該 資 訊 就 沒 有 必 要 向 主 電腦 50之作 業 者 終 端 機56進 行 〇 因 1 I 此 t 就 可 解 消 作 業 時 間 浪費 的問題 〇 1 1 本紙張尺度财Hgj家縣（CNS > Α4· ( 2丨Qx297公楚） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8!,) 藉此，作業者看到顯示在被裝接於匣子40之ID卡72的顯 示部74上之裝置名稱*就可將該匣子40直接朗處理裝置32 、34運送。 ID卡72，係將通信部76配置在其底面。藉由利用該ID卡 72儲料器36就可在其手動用入口埠116或手動用出口埠118 中將ID卡讀寫裝置120對應前述之ID卡72的通信部76之位 置而配置在匣子承接器具220之下。ID卡讀寫裝置120 *係 透過由匣子承接器具130所作成的通信窗口 132與備附在ID 卡72之底面的通信部76進行通信。藉由將ID卡讓寫裝置 120配置在匣子承接器具220之下方，作業者就可在手動 用人口埠116上置放匣子40之際，或從手動用出口埠118取 出匣子40之際，即使將該等埠中的匣子40之載置方向，當 作該ID卡72朝向作業者側的方向，作業者在置放或取出該 等的匣子40時亦不會如習知般地造成阻礙。 如此地藉由在被安裝於儲料器36之手動用入口埠116或 手動用出口埠118上之該等埠的匣子承接器具220之下， 配置ID卡讀寫裝置120 ，就可將該處的匣子40之載置方向 設為朝向作業者側的方向。進而可將儲料器架96、自動搬 蓮車用入***接埠104 、自動搬運車用出***接埠100 、 及儲料器間搬運裝置用埠98中的匣子40之載置方向全部設 為外側方向。 因而，由於在儲料器36之自動搬運車用人口埠88的匣子 40之方向與在自動搬蓮車用入***接埠104的匣子40之方 向係相差90度，所Μ可解消前進移動裝置84在作業中途必 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 。η (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝

I 冰—I -in A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 五、發明説明 (fw ) 1 1 需 進 行 旋 轉 作 業 的 問 題 0 1 1 I 又 由 於 在 儲 料 器 36 之 白 動 搬 運 車 用 出 口 埠 86的 匣 子 40 1 1 | 之 方 向 與 在 白 動 搬 運 車 用 出 口 交 接 埠 100 的 匣 子 40之 方 向 請 先 1 1 閱 1 係 相 差 90度 » 所 Μ 可 解 消 前 進 移 動 裝 置 84在 作 業 中 途 必 需 讀 背 I ιδ 1 進 行 旋 轉 作 業 的 間 題 0 1 I 意 1 I 再 者 由 於 被 置 放 在 手 動 用 入 口 埠 116 和 手 動 用 出 D 埠 事 項 1 | 118 上 的 匣 子 40之 ID卡 72的 方 向 沒 有 朝 向 作 業 者 作 業 面 » 再 4 就 可 難 要 確 寫 本 裝 所 解 消 很 認 被 配 置 在 同 埠 上 的 匣 子 40 是 什 麽 頁 1 的 問 題 〇 1 1 藉 此 作 業 者 就 可 很 容 易 讀 取 顯 示 於 被 置 放 在 手 動 用 入 1 1 口 埠 116 和 手 動 用 出 P 埠 118 上 的 匣 子 40之 ID卡 72的 顯 示 1 訂 1 I 部 74之 資 訊 0 又 藉 由 將 白 動 搬 運 車 用 出 口 交 接 埠 / 100 和 白 動 搬 蓮 車 用 出 P 埠 86之 匣 子 40的 載 置 方 向 設 為 相 同 9 1 1 I 或 將 白 動 搬 運 車 用 入 P 交 接 埠 104 和 白 動 搬 運 車 用 入 口 埠 1 1 88 之 匣 子 40的 載 置 方 向 設 為 相 同 就 沒 必 要 在 該 等 埠 間 之 1 匣 子 40的 移 動 作 業 之 中 途 將 前 進 移 動 裝 置 84之 匣 子 40的 方 1 | 向 旋 轉 90度 〇 I | 在 上 述 之 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 中 的 匣 子 40 9 會 因 該 等 1 1 製 程 而 有 非 常 討 厭 灰 塵 或 霧 氣 等 雜 質 附 著 在 晶 圓 70的 情 況 1 1 和 沒 有 那 樣 程 度 的 情 況 0 因 此 關 於 儲 料 器 36之 保 管 IM 環 境 1 1 的 要 求 亦 會 有 所 不 同 0 因 此 對 於 用 Μ 保 管 關 於 保 管 TtPT 環 境 1 I 有 嚴 格 要 求 之 製 程 的 匣 子 40之 儲 料 器 36而 言 9 就 可 使 用 具 1 I 備 白 動 搬 蓮 車 用 埠 外 遮 蔽 門 90 ·> 白 動 搬 運 車 用 璋 內 遮 蔽 門 1 1 I 92 > 手 動 用 璋 外 遮 蔽 門 114 手 動 用 埠 內 遮 蔽 門 112 、 儲 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X297公f ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (88 ) 1 1 1 料 器 間 搬 蓮 裝 置 用 埠 外 遮 蔽 門 122 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 1 1 I 埠 內 遮 蔽 門 110 等 的 遮 蔽 門 而 對 於 用 Μ 保 管 沒 有 那 麽 嚴 1 1 1 格 要 求 之 製 程 的 匣 子 40之 儲 料 器 36而 * 就 可 使 用 沒 有 具 請 先 1 1 ί 備 該 等 遮 蔽 門 者 〇 1½] 讀 背 1 | 面 1 如 此 按 照 用 以 處 理 匣 子 40之 處 理 裝 置 32 34所 進 行 的 製 1 I 意 1 I 程 而 藉 由 將 用 以 保 管 該 匣 子 40之 儲 料 器 36的 形 態 分 別 使 事 項 1 I 用 於 有 遮 蔽 門 和 無 遮 蔽 門 上 % 就 可 —. 面 將 具 高 價 的 遮 蔽 門 再 填 器 最 足 闢 寫 本 裝 之 儲 料 36之 使 用 抑 制 在 小 限 而 —· 面 滿 於 嚴 格 之 保 頁 '—^ 1 管 塌 境 的 要 求 〇 1 1 在 半 導 體 之 製 造 中 在 從 某 一 製 程 之 處 理 结 束 至 下 一 製 1 1 程 之 處 理 開 始 的 作 業 時 間 及 有 必 要 嚴 格 管 理 期 間 之 作 業 環 1 訂 1 I 境 的 製 程 為 很 長 的 製 造 製 程 中 存 在 有 幾 個 0 因 此 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 混 合 有 有 遮 蔽 門 之 儲 料 器 36和 無 遮 蔽 門 之 1 1 儲 料 器 36 〇 而 且 主 電 腦 50亦 可 從 輸 入 機 構 54中 提 供 從 處 1 1 理 结 束 至 處 理 開 始 的 作 業 時 間 和 嚴 格 管 理 其 間 之 作 業 時 間 1 的 製 造 製 程 之 資 訊 〇 對 於 在 被 嚴 格 管 理 之 製 造 製 程 中 所 使 1 i 用 的 儲 料 器 36而 — 可 全 不 使 用 具 有 遮 蔽 門 者 進 而 亦 可 進 1 1 行 提 高 優 先 順 序 的 搬 運 控 制 以 便 將 使 用 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 1 1 I 42之 儲 料 器 間 之 搬 運 作 業 及 使 用 白 動 搬 運 車 38之 儲 料 器 36 1 1 和 處 理 裝 置 32 Λ 34間 之 搬 運 作 業 與 其 他 的 製 造 製 程 比 較 而 1 1 可 快 速 進 行 0 1 I 在 該 種 的 半 導 體 晶 圓 匣 搬 蓮 裝 置 上 混 合 有 有 遮 蔽 門 和 無 1 I 遮 蔽 門 之 儲 料 器 36 0 進 而 主 電 腦 50可 在 嚴 格 管 理 作 業 rm 塌 境 1 1 I 之 製 造 製 程 Λ 和 除 此 K 外 的 製 程 中 分 別 使 用 該 等 儲 料 器 36 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐）

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 。同時，主電腦50可進行提高優先順序的搬蓮控制Μ便將 使用儲料器間搬運裝置42之儲料器間之搬運作業暨使用自 動搬運車38之儲料器36及處理裝置32、34間之搬運作業與 其他的製造製程比較而可快速進行。因此，就可將具高價 的遮蔽門之儲料器36之使用抑制在最小限，且一面使用與 其他製程相同的儲料器間搬運裝置42和自動搬運車38而一 面滿足嚴格的搬運作業時間和醑於其作業環境的要求。 〔元件編號之說明] 30 搬 運 裝 置 32 處 理 裝 置 34 處 理 裝 置 36 儲 料 器 38 白 動 搬 運 車 40 匣 子 42 搬 運 裝 置 50 主 電 腦 52 主 機 54 輸 入 機 構 56 終 端 機 58 通 信 電 纜 60 白 動 搬 蓮 車 控 制器 62 通 信 單 元 64 儲 料 器 控 制 器 66 搬 運 裝 置 控 制 器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（ 210X297公釐） —92 _修正頁 ----------梵-------ΐτ------终 (請先閲讀背面之注_項再填寫本頁) k A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（9〇 ) 1 1 70 半 導 體 晶 圓 1 1 72 ID卡 1 74 顯 示 部 請 ! 先 1 76 通 信 部 閲 讀 1 背 I 80 儲 料 器 起 重 機 之 1 注 1 82 移 載 機 意 事 1 項 I 84 移 動 裝 置 再 填 1 86 白 動 搬 蓮 車 用 出 □ 埠 寫 本 (;- 頁 1 88 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 1 1 90 白 動 搬 運 車 用 埠 外 遮 蔽 門 1 1 92 白 動 搬 運 車 用 埠 内 遮 蔽 門 1 1 94 儲 料 器 面 板 訂 1 96 儲 料 器 架 1 I 98 搬 運 裝 置 用 埠 1 1 1 100 白 動 搬 運 車 用 出 〇 交 接 埠 1 1 線 * 102 通 信 單 元 104 g 動 搬 蓮 車 用 入 〇 交 接 埠 1 | 110 搬 運 裝 置 用 埠 内 遮 蔽 門 1 I 112 手 動 用 埠 内 遮 蔽 門 1 1 I 114 手 動 用 埠 外 遮 蔽 門 1 1 116 手 s&l. 動 用 入 口 埠 1 1 118 手 動 用 出 D 埠 1 I 120 ID卡 讀 寫 裝 置 1 1 I 121 操 作 面 板 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） -93 -修正頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 _ A 7 rP^c ^ B7 五、發明説明（91) 122 搬運裝置用埠外遮蔽門 124 升降機 130 匣子承接器具 132 通信窗口 140 台車 142 通信單元 144 機器臂 146 機器手 148 機器手爪 150 移載台 152 操作面板 154 緩衡板 156 感應帶 160 行走軌道 162 台車 164 懸吊金屬器具 170 主機 172 匣子台階 174 自動搬運車通信單元 180 主機 182 匣子台階 190 儲料器 192 自動搬運車用出***接埠 194 自動搬運車用入***接埠 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -94~- 修正頁 ----------gt--------IT------^ . /11 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 _B7 五、發明説明（92) 196 白 動 搬 運 車 用 出 □ 埠 198 g 動 搬 運 車 用 入 P 埠 200 移 動 裝 置 202 移 動 裝 置 210 手 動 用 出 P 埠 220 匣 子 承 接 器 具 230 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝置 232 匣 子 234 儲 料 器 240 ID卡 250 移 動 裝 置 252 白 動 搬 運 車 用 出 □ 埠 254 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 260 手 動 用 入 P 埠 262 手 動 用 出 □ 埠 270 ID卡 讀 寫 裝 置 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -線！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 修正頁

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 經濟部中央橾率局貝工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 I 1 . 一 種 白 動 搬運 車 控 制 方 法，其 為 半 導 體晶圓匣搬運 1 1 1 裝 置 (30)中所使用 之 白 動 搬 運車控 制 方 法 ，包含有： 請 先 1 | 儲 料 器 (36) ，用 kk 收 納 複 數個半 導 體 晶 圓匣（40 )者； 1 閲 讀 背 處 理 裝 置 (32)、 (34) » 用Μ在 前 述 半 導體晶圓匣（4 0 ) 1 面 上 施 行 處 理 者 > 之 注 | 意 I 白 動 搬 運 車 (38) 用 Μ 進 行前述 儲 料 器 (3 6 )和前述處理 事 項 1 I 再 1 L 裝 置 (32) (34)之間的前述半導體 晶 圓 匣 (40)之搬運作業 寫 本 ί k 者 » 頁 '---* 1 I 儲 料 器 間 搬 運裝 置 (42) 在搬運 處 之 前 述儲料器（36)和 1 1 I 搬 蓮 百 的 地 之 前述 儲 料 器 (36)之間用 進 行前述半導體晶 1 1 圓 匣 (40)之搬蓮作業者 Μ 及 1 訂 主 電 腦 (50) ，用 Η 進 行 前 述儲料 器 (36) 、前述儲料器間 1 1 搬 運 裝 置 (42) 、前 述 白 動 搬 運車（38)及前述處理裝置（32) 1 I 、 (34)之控制者， 其 中 1 1 | 刖 述 儲 料 器 (3 6 )包含有 9 依前述 白 動 搬 運車（38)用Κ進 1 行 之 前 述 半 導 體晶 圓 匣 (40)之入庫 的 自 動 搬運車用入口璋 1 (88) 1 1： 該 方 法 包 含 有， 1 將 刖 述 半 導 體晶 圓 匣 (40)在前逑主 電 腦 (5 0 )之控制下利 1 1 用 前 述 白 動 搬 蓮車 (3 8 )從前逑處理裝置 (3 2 )、（ 3 4)搬運至 1 1 前 述 g 動 搬 運 車用 入 Ρ 埠 (88)上的步驟 ·· 1 1 用 Μ 判 斷 月(i 述半 導 體 晶 圓 匣（40)是否存在於前述自動搬 1 | 運 車 用 入 Ρ 埠 (88)上的步驟 ;Μ及 1 I 在 前 述 g 動 搬運 車 用 入 口 埠（88)上存在有前述半専體晶 1 1 1 - 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1 A8 B8 C8 D8 經濟部中央橾率局員工消費合作社印裝 六、申請專利範圍 1 1 I 圓 匣 (40)時 會 一 定 時 間 等 待 前 述 先 行 之半導體晶圓入 1 1 1 庫 的 步 驟 0 1 I 2 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 1項之 自動搬蓮車控制方法，其中 請 先 1 1 閲 * 更 進 一 步 包 含 有 9 經 \ W 過 前 述 一 定 時 間 後 在前述自動搬運 tl 背 1 面 車 用 人 口 堉 (88)上 存 在 有 前 述 半 導 體 晶 圓 匣（4 0 )時會發報 之 注 I 意 1 1 錯 誤 訊 息 的 步 驟 〇 事 項 再 1 1 1 3 . 一 種 白 動 搬 蓮 車 控 制 方 法 9 其 為 半 導 體晶圓匣搬運裝 % y 置 本 (30)中所使用 之 S 動 搬 運 車 控 制 方 法 ， 包含有： 頁 1 1 儲 料 器 (36) 用 Μ 收 納 複 數 個 半 導 體 晶 圓匣（40)者； 1 1 處 理 裝 置 (32) (34) 用 Μ 在 前 述 半 導體晶圓匣（40) 1 1 上 施 行 處 理 者 1 訂 1 I § 動 搬 蓮 車 (38) 用 進 行 前 述 儲 料 器 (36)和前述處理 ’ 裝 置 (32) Λ (34)之間 的 前 述 半 導 體 晶 圓 匣 (40)之搬運作業 r 1 1 I 者 1 1 L k 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 (42) 9 在 搬 運 處 之 前 述儲料器（36)和 搬 運 百 的 地 之 前 述 儲 料 器 (36)之間用Μ進行前述半導體晶 1 l 圓 匣 (40)之搬運作業者 以 及 1 1： 主 電 腦 (50) 9 用 以 進 行 刖 逑 儲 料 器 (36) 、前述儲料器間 1 1 搬 運 裝 置 (42) Λ 前 述 白 動 搬 運 車 (38)及前述處理裝置（32) I 1 Λ (3 4 )之控制者 9 其 中 1 1 前 逑 儲 料 器 (36)包含有 9 依 Κ· 刖 述 i 動 搬 蓮車（38)用K進 1 1 行 之 前 述 半 導 體 晶 圓 匣 (40)之 出 庫 的 白 動 搬運車用出口埠 1 1 (86) > 1 1 I 而 前 述 主 電 腦 (50) > 係 記 憶 著 m 述 白 動 搬運車（3 8 )之作 1 1 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4说格（210X297公釐） A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 業中的搬蓮作業數及上限值， 該方法更進一步包含有， 更新前述作業中之搬運作業數的步驟，及 在前述般運作業數未超過前述上限值的範圍内，將搬蓮 作業指示發送至前述自動搬運車（38)上的步驟。 4. 如申請專利範圍第3項之自動搬蓮車控制方法，其中 ，更進一步包含有， 預測來自前述自動搬運車用出口塢（86)之前述半導體晶 圓匣（40)之出庫的步驟；Μ及 基於預測而將搬蓮作業指示發送至前述自動搬運車（38) 上的步驟。 5. 如申請專利範圍第4項之自動搬蓮車控制方法，其中 ，更進一步包含有， 前述自動搬運車（38)判斷前述半専體晶圓匣（40)是否存 在於前述自動搬運車用出口璋（86)上的步驟； 在前述自動搬運車用出口埠（86)上沒有前述半導體晶圓 匣（40)時發報錯誤訊息的步驟；Μ及 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經過前述一定時間後在前述自動搬運車用出口埠（86)上 不存在有前述半導體晶圓匣（40)時會發報錯誤訊息的步驟。 6. —種自動搬運車控制方法，其為半導體晶圓匣搬運裝 置（30)中所使用之自動搬運車控制方法，包含有： 儲料器（36)，用Κ收納複數個半導體晶圓匣（40)者； 處理裝置（32)、（34)，用以在前逑半導體晶圓匣（40)上 施行處理者； 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -3 — A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 自動搬蓮車（38)，用Μ進行前述儲料器（36)和前述處理 裝置（32)、（34) 之間的前述半導體晶圓匣（40)之搬運作 業者； 儲料器間搬運裝置（42)，在搬運處之前述儲料器（36)和 搬運目的地之前述儲料器（36)之間用以進行前述半導體晶 圓匣（40)之搬運作業者；Μ及 主電腦（50)，用Μ進行前述儲料器（36)、前述儲料器間 搬運裝置（42)、前述自動搬運車（38)及前述處理装置（32) 、（3 4)之控制者，其中 前述儲料器（36)包含有，依前述自動搬蓮車（38)用Κ進 行之前述半導體晶圓匣（40)之出庫的自動搬運車用出口埠 (86)， 該方法包含有， 接受來自前述處理裝置（32)、（34)之處理完成報告的步 驟； 接受前述處理完成報告，Μ進行前述自動搬蓮車用出口 埠（86)之付出作業的步驟； 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 接受由前逑自動搬運車用出口埠（86)所付出之完成，向 自動搬運車（38)，發送可在前述處理裝置（32)、（34)中進 行處理之前述半導體晶圓匣（40)和由前述自動搬運車用出 口埠（86)所付出之前述半導體晶圓匣（40)之搬運作業指示 的步驟。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS > Α4规格（210X297公釐）