JPH1159829A - 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法 - Google Patents

半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法

Info

Publication number
JPH1159829A
JPH1159829A JP9214916A JP21491697A JPH1159829A JP H1159829 A JPH1159829 A JP H1159829A JP 9214916 A JP9214916 A JP 9214916A JP 21491697 A JP21491697 A JP 21491697A JP H1159829 A JPH1159829 A JP H1159829A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stocker
semiconductor wafer
transfer
cassette
transport vehicle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9214916A
Other languages
English (en)
Inventor
Junji Iwasaki
順次 岩崎
Junichi Katsube
潤一 勝部
Yasushi Itami
泰志 伊丹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP9214916A priority Critical patent/JPH1159829A/ja
Priority to US09/035,921 priority patent/US6129496A/en
Priority to US09/035,818 priority patent/US6050768A/en
Priority to US09/036,196 priority patent/US6151533A/en
Priority to US09/035,920 priority patent/US6169935B1/en
Priority to TW087103547A priority patent/TW499385B/zh
Priority to TW087103545A priority patent/TW407131B/zh
Priority to TW087103546A priority patent/TW397800B/zh
Priority to KR1019980011211A priority patent/KR100283596B1/ko
Priority to KR1019980011209A priority patent/KR100276621B1/ko
Priority to KR10-1998-0011208A priority patent/KR100323192B1/ko
Priority to KR1019980011210A priority patent/KR100276622B1/ko
Priority to DE19816199A priority patent/DE19816199A1/de
Priority to DE19816151A priority patent/DE19816151B4/de
Priority to DE19816130A priority patent/DE19816130A1/de
Priority to DE19816127A priority patent/DE19816127B4/de
Publication of JPH1159829A publication Critical patent/JPH1159829A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウェハカセットの搬送能力が高い、半
導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬
送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカ
セット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方
法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、
およびストッカ在庫照合方法を提供する。 【解決手段】 上位計算機５０は、収納先のストッカ３
６に半導体ウェハカセット４０を収納する収納場所があ
るか否かをストッカ３６に問い合わせる。ストッカ３６
に収納場所がある場合には、ストッカ間搬送装置４２ま
たは自動搬送車３８に搬送作業指示を送信する。また
は、ストッカ３６に入庫作業指示を送信する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハカセ
ット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いら
れるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置
で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫
作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在
庫照合方法に関し、特に、半導体ウェハカセットの搬送
能力を向上させる半導体ウェハカセット搬送装置、半導
体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、なら
びに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッ
カ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動
搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図１５〜図１６を参照して、従来の半導
体ウェハカセット搬送装置２３０は、半導体ウェハをカ
セット２３２単位で受入れ、半導体集積回路の製造処理
を施す処理装置３２および３４と、カセット２３２を複
数個収納するためのストッカ２３４と、処理装置３２、
３４とストッカ２３４との間でカセット２３２の搬送作
業を行なうための自動搬送車３８と、製造ライン内に多
数配置されたストッカ２３４の間でカセット２３２の搬
送を行なうストッカ間搬送装置４２とを含む。
【０００３】処理装置３２、３４は処理前カセット２３
２と処理後カセット２３２の収納場所としてストッカ２
３４が与えられている。２台の自動搬送車３８がそれら
の間の搬送作業に従事している。またストッカ間搬送装
置４２はこの図では途中で切断して示されているが周回
運行しており、多数のストッカ２３４がそのまわりに設
置されている。他のストッカ２３４についてもそれぞれ
グループをなす処理装置３２、３４と自動搬送車３８が
存在する。
【０００４】特に図１６を参照して、半導体ウェハカセ
ット搬送装置２３０は、処理装置３２、３４、ストッカ
２３４、自動搬送車３８およびストッカ間搬送装置４２
を制御する上位計算機５０と、各種装置と上位計算機５
０とを接続するための通信ケーブル５８とをさらに含
む。
【０００５】上位計算機５０は、計算処理を行なうため
の本体５２と、製品の製造基準データを与えるための入
力手段５４と、ライン内に多数置かれた作業者端末５６
とを含む。
【０００６】ストッカ２３４の一部であるストッカコン
トローラ６４は、通信ケーブル５８による上位計算機５
０からの作業指示に従い、ストッカ２３４の他の構成要
素を駆使し所定の作業を完遂させる。自動搬送車３８の
一部である自動搬送車コントローラ６０は、通信ケーブ
ル５８による上位計算機５０からの作業指示に従い、自
動搬送車３８の他の構成要素を駆使し所定の作業を完遂
させる。自動搬送車コントローラ６０と自動搬送車３８
との通信は制御局側通信ユニット６２を介して無線にて
行なわれる。ストッカ間搬送装置４２の一部であるスト
ッカ間搬送装置コントローラ６６は、通信ケーブル５８
による上位計算機５０からの作業指示に従い、ストッカ
間搬送装置４２の構成要素、さらには通信ケーブル５８
を介してストッカ２３４の構成要素を駆使し所定の作業
を完遂させる。
【０００７】図１７を参照して、半導体ウェハカセット
搬送装置２３０で搬送される半導体ウェハ７０およびそ
の半導体ウェハカセット２３２ならびに半導体ウェハカ
セット２３２に装着される従来のＩＤカード２４０につ
いて説明する。半導体ウェハ（以下、「ウェハ」とい
う。）７０上には半導体集積回路（図示せず）が多数作
り込まれている。半導体ウェハカセット（以下、「カセ
ット」という。）２３２は、ウェハ７０を複数枚収納し
搬送の最小単位となる。ＩＤカード２４０は、カセット
２３２に装着される。ＩＤカード２４０には、カセット
２３２に収納されたウェハ７０およびカセット２３２に
関する情報が蓄積されており、その情報の一部を表示部
７４により表示することができる。また、後述する外部
制御系との間で、通信部７６を介して蓄積された情報の
一部を書換えたりまた蓄積された情報を非接触で報告し
たりすることができる。なお、通信部７６はＩＤカード
２４０の正面に取付けられている。図１７（ａ）および
図１７（ｂ）はＩＤカード２４０が装着されたカセット
２３２のウェハ７０が垂直となる横置き姿勢と水平とな
る縦置き姿勢をそれぞれ示しており、図１７（ｃ）はＩ
Ｄカード２４０の詳細を示したものである。
【０００８】以下、半導体ウェハカセット搬送装置の構
成要素である処理装置３２、３４、ストッカ２３４、自
動搬送車３８、ストッカ間搬送装置４２の詳細を図をも
って説明する。
【０００９】図１０を参照して、処理装置３２は、ウェ
ハ７０を１枚ずつまたは複数枚ずつごとに半導体集積回
路の製造処理を施す本体１７０と、処理するべきカセッ
ト２３２を１カセット単位で受入れる２つのカセットス
テージ１７２と、自動搬送車３８がカセットステージ１
７２へ処理前カセット２３２を置く前に間違った他のカ
セット２３２がないかまた処理後カセット２３２を取出
す前にそのカセット２３２がカセットステージ１７２に
正しく載っているかを確認できるようカセットステージ
１７２の状態を自動搬送車３８に対して出力する対自動
搬送車通信ユニット１７４とを含む。
【００１０】図１１を参照して、処理装置３４は、ウェ
ハ７０を１枚ずつまたは複数枚ずつごとに半導体集積回
路の製造処理を施す本体１８０と、処理するべきカセッ
ト２３２を２カセット単位で受入れる２つのカセットス
テージ１８２と、自動搬送車３８がカセットステージ１
８２へ処理前カセット２３２を置く前に間違った他のカ
セット２３２がないかまた処理後カセット２３２を取出
す前にそのカセット２３２がカセットステージ１８２に
正しく載っているかを確認できるようカセットステージ
１８２の状態を自動搬送車３８に対して出力する対自動
搬送車通信ユニット１７４とを含む。
【００１１】図１８〜図２０を参照して、ストッカ２３
４を説明する。図１８および図１９は、ストッカ２３４
を、それぞれ自動搬送車作業面とその反対側に位置する
作業者作業面が見えるように描いたものである。図２０
は、マニュアル用入口ポート２６０を矢視Ａから詳細に
描いたものである。またこれら図面は内部の構造が見え
るように外装パネルであるストッカパネル９４の一部を
切欠いて描かれている。ストッカ２３４は、カセット２
３２を横置きに複数個載せるストッカ棚９６を含み、カ
セット２３２を垂直方向に複数個積み上げることにより
多数のカセット２３２の収納場所を確保する。ストッカ
２３４は、ストッカ棚９６の一部でありストッカ間搬送
装置４２より運ばれてきたカセット２３２を受入れるま
たは送り出すためのストッカ間搬送装置用ポート９８
と、ストッカ棚９６の一部であり作業者（図示せず）が
カセット２３２を入庫するために用いるマニュアル用入
口ポート２６０と、ストッカ棚９６の一部であり作業者
がカセット２３２を出庫するために用いるマニュアル用
出口ポート２６２と、自動搬送車３８がカセット２３２
を受取るための自動搬送車用出口ポート２５２と、スト
ッカ棚９６の一部であり自動搬送車用出口ポート２５２
にカセット２３２を送り出すための自動搬送車用出口受
渡しポート１００と、自動搬送車３８からカセット２３
２を受取るための自動搬送車入口ポート２５４と、スト
ッカ棚９６の一部であり自動搬送車用入口ポート２５４
からカセット２３２を受入れる自動搬送車用入口受け渡
しポート１０４と、積み上げられたこのストッカ棚９６
を両側に配置しこのストッカ棚９６が形成するカセット
収納場所とこのストッカ棚９６の一部である各種ポート
間でのカセット２３２の搬送作業を行なうためのストッ
カクレーン８０と、後述するストッカ間搬送装置４２の
台車上のカセット２３２を受取りストッカ間搬送装置用
ポート９８に置く、また逆にそこから空台車にカセット
２３２を送り出すための移載機８２と、自動搬送車用出
口受渡しポート１００から自動搬送車用出口ポート２５
２に、また自動搬送車用入口ポート２５４から自動搬送
車用入口受渡しポート１０４にカセット２３２を移動さ
せるための前詰機２５０とをさらに含む。
【００１２】ストッカクレーン８０、移載機８２、およ
び前詰機２５０はそれぞれ１カセット、２カセット、１
カセット単位の搬送作業を行なう。ストッカ間搬送装置
用ポート９８、マニュアル用入口ポート２６０、マニュ
アル用出口ポート２６２、自動搬送車用出口受渡しポー
ト１００、自動搬送車用入口受渡しポート１０４、自動
搬送車用出口ポート２５２および自動搬送車用入口ポー
ト２５４に載置可能なカセット個数はそれぞれ、２カセ
ット、１カセット、１カセット、１カセット、１カセッ
ト、１カセット、１カセットである。また前詰機２５０
は２台用意されている。これに伴い自動搬送車用出口ポ
ート２５２、自動搬送車用入口ポート２５４、自動搬送
車用出口受渡しポート１００、および自動搬送車用入口
受渡しポート１０４は、それぞれ２個ずつ備付けられて
いる。またマニュアル用入口ポート２６０とマニュアル
用出口ポート２６２も、それぞれ２個ずつ用意されてい
る。
【００１３】図２０に示すようにマニュアル用入口ポー
ト２６０には、ＩＤカード読み書き装置２７０が取付け
られている。その取付方向はＩＤカード通信部７６がＩ
Ｄカード２４０の正面にあるためＩＤカード読み書き装
置２７０のその正面に取付けなければならない。ＩＤカ
ード２４０の正面が作業者作業面を向くようにＩＤカー
ド読み書き装置２７０を配置すると、ＩＤカード読み書
き装置２７０が邪魔となってカセット２３２の取出しが
困難となる。このため、カセット２３２に装着されたＩ
Ｄカード２４０の正面が作業者作業面に対して９０°右
に振るような向きとして決められている。ストッカクレ
ーン８０はカセット２３２の向きを変更することができ
ないため、ストッカ棚９６でのカセット２３２の向きは
前記マニュアル用入口ポート２６０の向きと同一とな
る。自動搬送車用出口ポート２５２と自動搬送車用入口
ポート２５４に置かれたカセット２３２の向きは、自動
搬送車３８が移載しやすい装着されたＩＤカード２４０
が自動搬送車３８の作業面を正面とするものとなる。し
たがって前詰機２５０はカセット２３２の移動作業中に
向きの変更も行なわなければならない。
【００１４】ストッカ２３４は、作業者がカセット２３
２をマニュアル用入口ポート２６０を通じて入庫する際
またはマニュアル用出口ポート２６２を通じて出庫する
際に操作する操作パネル１２１をさらに含む。
【００１５】図８を参照して、自動搬送車３８は、床上
に貼り付けられた誘導テープ１５６にガイドされて走行
する台車１４０と、自動搬送車コントローラ６０の制御
局側通信ユニット６２との間で情報のやり取りを行なう
搬送車側通信ユニット１４２と、それぞれカセット２３
２の移載作業を行なうアーム１４４、ハンド１４６およ
びハンド爪１４８と、処理装置３２および３４またはス
トッカ２３４から取込んだカセット４０を走行作業中に
縦置き姿で保持しておく４個の移載台１５０と、作業者
との間で情報のやり取りを行なう操作パネル１５２と、
障害物を検知し実行中の作業を停止させるバンパ１５４
とを含む。
【００１６】図９を参照して、ストッカ間搬送装置４２
は、ループ形状をなす走行レール１６０と、走行レール
１６０を１方向に移動し、最大２個のカセット４０を搬
送する台車１６２と、走行レール１６０を天井に取付け
る吊り金具１６４とを含む。
【００１７】次に、従来の半導体ウェアカセット搬送装
置２３０の制御方法について説明する。まず処理装置３
２、３４に発生した処理後カセット２３２が自動搬送車
３８によりストッカ２３４に運ばれ入庫され、次ストッ
カ２３４へとストッカ間搬送装置４２より運び出される
際の制御方法（１）について述べ、続いて新たな処理前
カセット２３２が前段のストッカ２３４より運ばれスト
ッカ２３４に入庫され処理装置３２、３４からの要求に
従いカセット２３２を出庫し自動搬送車３８により処理
装置３２、３４へと運ばれていく際の制御方法（２）に
ついて記述し、最後にマニュアル用入口ポート２６０か
らの入庫とマニュアル用出口ポート２６２からの出庫の
制御方法（３）について述べる。処理装置３２、３４に
発生した処理後カセット２３２が自動搬送車３８により
ストッカ２３４に運ばれ入庫され、次ストッカ２３４へ
とストッカ間搬送装置４２より運び出される際の制御方
法（１）について述べる。
【００１８】ストッカ２３４は立上げ時の初期化完了時
に、自動搬送車用入口ポート２５４およびストッカ間搬
送装置用ポート９８が空いている、言い換えれば各ポー
トのカセット２３２の受入れが可能であることを上位計
算機５０に対して通信ケーブル５８を通じて報告する。
これらポートの空き情報を受取った上位計算機５０は、
ストッカ２３４のカセット２３２の充足状況は感知せず
この情報だけで自動搬送車３８およびストッカ間搬送装
置４２を用いたカセット２３２のストッカ２３４への搬
送作業の可能、不可能の判断を行なう。
【００１９】上記のような状況にあって、処理装置３
２、３４が半導体集積回路の製造処理を完了した処理後
カセット２３２の引き取り要求を、通信ケーブル５８を
通じて上位計算機５０に送信する。処理装置３２、３４
はタイプによって１カセット単位に要求することもある
し複数単位に要求することもある。この引取り要求を受
取った上位計算機５０は、自動搬送車用入口ポート２５
４の空き情報が前もってストッカ２３４から報告されて
いるため直ちに自動搬送車３８に対して搬送作業指示を
通信ケーブル５８を通じて行なう。ただし使用可能な自
動搬送車用入口ポート２５４は、処理装置３２、３４ご
とに決定され、入力手段５４を通じて上位計算機５０に
予めデータとして与えられている。また、処理装置３
２、３４からの引取り要求が２カセット単位で行なわれ
たとしても、自動搬送車用入口ポート２５４の空き情報
が１カセット単位であるために上位計算機５０は１カセ
ット単位の搬送作業指示を自動搬送車３８に送らなけれ
ばならない。
【００２０】上位計算機５０から１カセットの搬送作業
指示を受信した自動搬送車コントローラ６０は、複数あ
る自動搬送車３８の中からその搬送作業に最適なものに
作業を割付け、制御局側通信ユニット６２と搬送車側通
信ユニット１４２により無線で本体と通信を行ない搬送
作業を行なわせる。その作業の内容は、まず台車１４０
が待機地より床に貼り付けられた誘導テープ１５６に従
い、搬送元である処理装置３２、３４へと向かう。到着
するとまず対自動搬送車通信ユニット１７４を介して該
当カセットステージ１７２、１８２にカセット２３２が
存在するかの確認を行なう。その後、アーム１４４、ハ
ンド１４６およびハンド爪１４８を駆使し、カセットス
テージ１７２、１８２上にある該当カセット２３２を取
込み、自身の移載台１５０に置く。この載置作業が完了
すると、再び台車１４０は搬送元処理装置３２、３４か
ら搬送先であるストッカ２３４の指示された自動搬送車
用入口ポート２５４へと移動する。
【００２１】到着すると先程とは逆の手順で移載台１５
０上の該当カセット２３２を指示された自動搬送車用入
口ポート２５４へと置く。自動搬送車３８は該当カセッ
ト２３２を指示された自動搬送車用入口ポート２５４に
置く前に、対自動搬送車通信ユニット１０２を介して自
動搬送車用入口ポート２５４に間違ったカセット２３２
が存在しないか確認し、存在する場合には直ちにエラー
を発報する。これはストッカ２３４からの該当自動搬送
車用入口ポート２５４の空き情報に基づきカセット２３
２は運ばれてきたため、他のカセット２３２が同ポート
にあるときは異常状態であるという判断に基づくもので
ある。指示されたすべての作業が完了すると自動搬送車
コントローラ６０は作業完了報告を上位計算機５０に対
して通信ケーブル５８を介して行なう。
【００２２】自動搬送車３８からの作業完了報告を受け
た上位計算機５０は、ストッカ２３４への該当カセット
２３２の自動搬送車用入口ポート２５４からの入庫作業
指示を行なう。通信ケーブル５８を通じて送られてきた
この入庫作業指示に従い、ストッカコントローラ６４は
ストッカ棚９６上の収納場所を確保した後作業に着手す
る。収納場所が確保できない場合には、作業に着手せず
そのまま収納場所に空きが発生するのを待つ。入庫作業
指示に着手したストッカ２３４はまず前詰機２５０を駆
使して該当カセット２３２を自動搬送車用入口ポート２
５４から自動搬送車用入口受渡しポート１０４に９０°
向きを回転した後移動させる。移動作業が完了するとス
トッカクレーン８０が動き出し自動搬送車用入口受渡し
ポート１０４上のカセット２３２が既にストッカコント
ローラ６４により確保されたストッカ棚９６上の収納場
所へと運ばれ、一連の入庫作業を完了する。作業が完了
するとストッカコントローラ６４は通信ケーブル５８を
通じて作業完了報告を上位計算機５０に対して行なう。
自動搬送車用入口ポート２５４から自動搬送車用入口受
渡しポート１０４への移動作業で自動搬送車用入口ポー
ト２５４が空いたときに、ストッカ２３４は立上げ時の
初期化完了時と同様にこのポートの空き情報を上位計算
機５０に対して送り、次の自動搬送車３８を用いた搬送
作業に備える。
【００２３】ストッカ２３４からの入庫作業完了報告を
受信した上位計算機５０は、そのカセット２３２の次装
置から該当搬送先ストッカ２３４を決定しそのストッカ
２３４のストッカ間搬送装置用ポート９８が空いている
かの確認を行なう。この情報はストッカ２３４から立上
げ時の初期化完了時、またそのポートが空いた時点で上
記計算機５０に報告されている。搬送先ストッカ２３４
のストッカ間搬送装置用ポート９８が空いていると、上
位計算機５０はストッカ間搬送装置４２に対してストッ
カ２３４間の搬送作業指示を通信ケーブル５８を介して
送る。これを受信したストッカ間搬送装置コントローラ
６６は、まず通信ケーブル５８を通じて搬送元ストッカ
２３４に対して該当カセット２３２の収納場所からスト
ッカ間搬送装置用ポート９８への移動作業を依頼する。
依頼されたストッカ２３４は該当カセット２３２をスト
ッカクレーン８０を用いて作業を行ない、作業完了報告
をストッカ間搬送装置コントローラ６６に対して行な
う。この作業完了報告を受けたストッカ間搬送装置コン
トローラ６６は、空台車１６２を搬送元ストッカ２３４
に対応するステーションに移動させる。移動が完了する
と再びストッカ間搬送装置コントローラ６６は、搬送元
ストッカ２３４に対してストッカ間搬送装置用ポート９
８上の該当カセット２３２を該当空台車１６２に対して
移載するように依頼する。依頼されたストッカ２３４は
該当カセット２３２を移載機８２を用いて該当の作業を
行ない、作業完了報告をストッカ間搬送装置コントロー
ラ６６に対して行なう。この作業完了報告を受けたスト
ッカ間搬送装置コントローラ６６は、実台車１６２を搬
送先ストッカ２３４に対応するステーションに移動させ
る。ストッカ間の搬送作業は続行中ではあるが、処理装
置３２、３４で発生した処理後カセット２３２が自動搬
送車３８によりストッカ２３４に運ばれ入庫され、さら
に次装置のストッカ２３４へとストッカ間搬送装置４２
により出庫され運ばれていく一連の搬送作業制御方法の
説明は終わったことになる。
【００２４】続いて新たな処理前カセット２３２が前段
のストッカ２３４より運ばれストッカ２３４に入庫され
処理装置３２、３４からの要求に従いカセット２３２を
出庫し自動搬送車３８により処理装置３２、３４へと運
ばれていく方法（２）について説明する。
【００２５】搬送先ストッカ２３４のストッカ間搬送装
置用ポート９８の空き情報がストッカコントローラ６４
から通信ケーブル５８を通じて上位計算機５０に伝わる
ことにより、新たな処理前カセット２３２が台車１６２
に載って運ばれてくる。台車１６２が到着するとストッ
カ間搬送装置コントローラ６６は、ストッカコントロー
ラ６４に通信ケーブル５８を通じて台車１６２上のカセ
ット２３２をストッカ間搬送装置用ポート９８に載置す
るよう依頼する。依頼されたストッカ２３４は該当カセ
ット２３２を移載機８２を用いて作業を行ない、作業完
了報告をストッカ間搬送装置コントローラ６６に対して
行なう。
【００２６】この作業完了報告を受けたストッカ間搬送
装置コントローラ６６は、上位計算機５０に対して作業
が完了したことを報告する。この報告を受けた上位計算
機５０は、ストッカ２３４に対してストッカ間搬送装置
用ポート９８上のカセット２３２を入庫するように指示
する。通信ケーブル５８を通じて送られてきたこの入庫
作業指示に従い、ストッカコントローラ６４はストッカ
棚９６上の収納場所を確保した後作業に着手する。収納
場所が確保できない場合には、作業に着手せずそのまま
収納場所に空きが発生するのを待つ。入庫作業指示に着
手したストッカ２３４は、ストッカクレーン８０を用い
てストッカ間搬送装置用ポート９８上の該当カセット２
３２を確保されたストッカ棚９６上の収納場所へと運
ぶ。指示された作業が完了したストッカ２３４は、上位
計算機５０に対して作業完了報告を行なう。たとえばス
トッカ２３４に収納された処理前カセット２３２は、次
処理装置３２、３４のカセットステージ１７２、１８２
が空くのをそこで待つ。
【００２７】処理前カセット２３２がストッカ２３４に
収納された状態で、処理装置３２、３４からカセット投
入要求が上位計算機５０に通信ケーブル５８を通じて送
信される。上位計算機５０はストッカ２３４に処理でき
るカセット２３２があるか探し、ある場合には出庫作業
に移る。ない場合には該当の処理前カセット２３２がス
トッカ２３４に入庫されるのを待つ。この投入要求に関
して処理装置３２、３４はそのタイプによっては一度に
複数個のカセット２３２を要求することもある。複数個
の要求が行なわれた場合には自動搬送車用出口ポート２
５２は１個のカセット２３２しか置けないため、後述す
るストッカ２３４からの出庫作業およびストッカ２３４
から処理装置３２、３４への搬送作業をそのカセット個
数分だけ繰返し行う。
【００２８】出庫作業に移った上位計算機５０は、投入
要求のあった処理装置３２、３４に応じて、複数個ある
自動搬送車用出口ポート２５２のうち１つを選択し、そ
こへの出庫作業指示をストッカ２３４に対して通信ケー
ブル５８を通じて送る。ここで使用可能な自動搬送車用
出口ポート２５２は、自動搬送車用入口ポート２５４と
同様に、処理装置３２、３４ごとに決められており。そ
のデータは、入力手段５４を介して上位計算機５０に予
め与えられている。これを受取ったストッカ２３４は、
ストッカクレーン８０を用いて、該当のカセット２３２
を自動搬送車用出口受渡しポート１００へと運ぶ。その
後前詰機２５０を駆使して自動搬送車用出口受渡しポー
ト１００上のカセット２３２を自動搬送車用出口ポート
２５２へと前送りする。さらに、自動搬送車３８が移載
しやすいようにカセット２３２を９０°回転させる。こ
れにて自動搬送車用出口ポート２５２への出庫作業が完
了したこととなり、ストッカ２３４は作業完了報告を上
位計算機５０に対して行なう。
【００２９】ストッカ２３４からの出庫作業の完了報告
を受けた上位計算機５０は、続いて自動搬送車３８に対
して自動搬送車用出口ポート２５２上のカセット２３２
を処理装置３２、３４のカセットステージ１７２、１８
２に運ぶように通信ケーブル５８を通じて命令する。こ
の命令を受信した自動搬送車コントローラ６０は、複数
の自動搬送車３８の中からその搬送作業に最適なものに
作業を割付け制御局側通信ユニット６２と搬送車側通信
ユニット１４２により無線で本体と通信を行ない搬送作
業を行なわせる。
【００３０】その作業の内容は、まず台車１４０が待機
位置より床に貼り付けられた誘導テープ１５６に従い搬
送元であるストッカ２３４の該当自動搬送車用出口ポー
ト２５２へと向かう。到着するとまず対自動搬送車通信
ユニット１０２を介して、該当自動搬送車用出口ポート
２５２にカセット２３２が存在するかの確認を行なう。
その後、自動搬送車３８は、アーム１４４、ハンド１４
６およびハンド爪１４８を駆使して自動搬送車用出口ポ
ート２５２上にある該当カセット２３２を取込み、自身
の移載台１５０へ置く。自動搬送車３８が、対自動搬送
車通信ユニット１０２を通じて自動搬送車用出口ポート
２５２に該当カセット２３２があるかの確認を行なった
際、カセット２３２がない場合には直ちにエラーを発報
する。この載置作業が完了すると再び台車１４０はスト
ッカ２３４から搬送先である処理装置３２、３４の指示
されたカセットステージ１７２、１８２へと移動する。
到着すると先程とは逆の手順で移載台１５０上の該当カ
セット２３２を指示されたカセットステージ１７２、１
８２へと置く。自動搬送車３８は該当のカセット２３２
を指示されたカセットステージ１７２、１８２に置く前
に、対自動搬送車通信ユニット１７４を介してカセット
ステージ１７２、１８２に間違ったカセット２３２が存
在しないか確認し、存在する場合には直ちにエラー発報
する。これは処理装置３２、３４からのカセットステー
ジ１７２、１８２の空き情報に基づきカセット２３２が
運ばれてきたため、他のカセット２３２が同ステージに
あることは異常状態であるという判断に基づくものであ
る。指示されたすべての作業が完了すると自動搬送車コ
ントローラ６０は作業完了報告を上位計算機５０に対し
て通信ケーブル５８を介して行なう。
【００３１】自動搬送車３８により該当カセット２３２
の処理装置３２、３４への投入作業が完了した上位計算
機５０は、通信ケーブル５８を通じて処理装置３２、３
４に対して処理の開始を指示する。
【００３２】最後にマニュアル用入口ポート２６０から
の入庫とマニュアル用出口ポート２６２からの出庫の方
法（３）について述べる。
【００３３】作業者がカセット２３２をストッカ２３４
に入庫する場合、まずカセット２３２をマニュアル用入
口ポート２６０に置きストッカ２３４の一部である操作
パネル１２１を操作する。この操作によりカセット２３
２がマニュアル用入口ポート２６０に置かれたことを知
ったストッカ２３４は、ＩＤカード読み書き装置２７０
により該当カセット２３２のＩＤカード２４０の情報を
読取り、そのデータを通信ケーブル５８を通じて上位計
算機５０に報告する。上位計算機５０はこれにより作業
者がカセット２３２を運んできたことを知り、ストッカ
２３４に対してこのカセット２３２の入庫の作業指示を
ストッカ２３４のカセット２３２の充足状況は感知せず
送る。ただし、使用可能なマニュアル用入口ポート２６
０は処理装置３２、３４ごとに決められており、そのデ
ータは入力手段５４を介して上位計算機５０に予め与え
られている。通信ケーブル５８を通じて送られてきたこ
の入庫作業指示に従い、ストッカコントローラ６４はス
トッカ棚９６上の収納場所を確保した後作業に着手す
る。収納場所が確保できない場合には、作業に着手せず
そのまま収納場所に空きが発生するのを待つ。入庫作業
指示に着手したストッカ２３４は、ストッカクレーン８
０を用いてマニュアル用入口ポート２６０上の該当カセ
ット２３２を確保されたストッカ棚９６上の収納場所へ
と運ぶ。指示された作業が完了したストッカ２３４は、
上位計算機５０に対して作業完了報告を行なう。これに
て作業者による入庫作業は完了したことになる。続いて
ストッカ２３４に収納されているカセット２３２をマニ
ュアル用出口ポート２６２を経由して作業者の手元に払
出す方法について述べる。たとえば自動搬送車３８が具
備されていないストッカ２３４とその処理装置３２、３
４では処理装置３２、３４がカセット投入要求を上位計
算機５０に通信ケーブル５８を通じて行なうと、上位計
算機５０はストッカ２３４に処理できるカセット２３２
があるか探し、ある場合には出庫作業に移る。ない場合
には該当の処理前カセットがストッカ２３４に入庫する
のを待つ。この投入要求に関して処理装置３２、３４は
そのタイプによっては一度に複数個のカセット２３２を
要求することもあり、複数個の要求が行なわれた場合に
は下記に示すストッカ２３４からの出庫作業をそのカセ
ットの個数分だけ繰返し行なわれることとなる。
【００３４】出庫作業に移った上位計算機５０は、投入
要求のあった処理装置３２、３４に応じて複数個あるマ
ニュアル用出口ポート２６２を選択し、そこへの出庫作
業指示をストッカ２３４に対して通信ケーブル５８を通
じて送る。ここで使用可能なマニュアル用出口ポート２
６２は、自動搬送車用出口ポート２５２と同様に、処理
装置３２、３４ごとに決められており、そのデータは入
力手段５４を介して上位計算機５０に予め与えられてい
る。これを受けたストッカ２３４は、ストッカクレーン
８０を用いて該当のカセット２３２をマニュアル用出口
ポート２６２へと運び、ストッカ２３４の操作パネル１
２１にマニュアル用出口ポート２６２上の該当カセット
２３２の取出しを許可する表示を行なう。これを見た作
業者は、該当カセット２３２をマニュアル用出口ポート
２６２から取出し、取出作業が完了したことを操作パネ
ル１２１を操作しストッカ２３４に知らせる。これを受
けてストッカ２３４は出庫作業が完了したと判断し、そ
の完了報告を上位計算機５０に対して通信ケーブル５８
を通じて行なう。カセット２３２を取出した作業者は、
投入要求を出した処理装置３２、３４がわからないため
に上位計算機５０の作業者端末５６へ向かいその情報を
調べ、その処理装置３２、３４の該当カセットステージ
１７２、１８２へと運ぶ。
【００３５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の半導体
ウェハカセット搬送装置２３０には、以下のような問題
点がある。
【００３６】自動搬送車用入口ポート２５４上の先行す
るカセット２３２がなくなるまで、処理装置３２、３４
に発生した処理後カセット２３２の自動搬送車３８によ
る搬送作業が着手されない。このため、処理後カセット
２３２の処理装置３２、３４での搬送作業待ち時間が長
くなり、また自動搬送車３８の稼働率は低いにもかかわ
らず所定の搬送能力を発揮できない。
【００３７】処理装置３２、３４ごとに使用できる自動
搬送車用入口ポート２５４が予め１個に決定されてい
る。このため、自動搬送車用入口ポート２５４が複数個
あるような場合、処理装置３２、３４のそれぞれの処理
能力および稼働状況によって自動搬送車用入口ポート２
５４の使用混み具合にばらつきが発生してしまう。
【００３８】処理装置３２、３４からの引取り要求のカ
セット単位が自動搬送車用入口ポート２５４に載置可能
なカセット個数より多い場合、そのカセット個数を超え
る処理後カセットは処理装置３２、３４のカセットステ
ージ１７２、１８２に取り残されることになり、そのカ
セット２３２の搬送作業待ち時間が長くなるとともにカ
セットステージ１７２、１８２の空きが遅れる。このた
め処理前カセットの処理装置３２、３４への供給に時間
がかかってしまう。
【００３９】処理装置３２、３４からストッカ２３４へ
のカセット２３２の搬送作業はストッカ２３４の自動搬
送車用入口ポート２５４の空きのみを条件とし、ストッ
カ２３４の収納場所の充足状況の確認を行なっていな
い。このため、自動搬送車用入口ポート２５４への搬送
作業完了後ストッカ２３４への入庫作業指示が上位計算
機５０から出ても、収納場所の空きがない場合には、カ
セット２３２は、同ポート上で長時間待たされる。
【００４０】ストッカ２３４は自動搬送車用入口受渡し
ポート１０４、自動搬送車用出口受渡しポート１００、
ストッカ間搬送装置用ポート９８、マニュアル用入口ポ
ート２６０、およびマニュアル用出口ポート２６２を通
じて周囲の環境に解放されている。このため、塵やミス
トがストッカ２３４内に侵入し、保管されたカセット２
３２のウェハ７０に付着し悪影響を与える可能性があ
る。
【００４１】ストッカ２３４の自動搬送車用入口ポート
２５４でのカセット２３２の向きと自動搬送車用入口受
渡しポート１０４でのカセット２３２の向きが９０°異
なる。このため、前詰機２５０が作業途中に回転作業を
行なわなければならない。
【００４２】自動搬送車３８により、処理装置３２、３
４からストッカ２３４へのカセット２３２の収納作業に
着手する際に、上位計算機５０は関連する処理装置３
２、３４、自動搬送車３８、およびストッカ２３４の使
用可、不可を示す装置ステータス情報を持っていないま
たは送信前に確認していない。このために、作業開始後
関連機器が故障で止まっているために該当カセット２３
２の作業が途中で止まってしまう。
【００４３】ストッカ間搬送装置用ポート９８上の先行
するカセット２３２がなくなるまで搬送元ストッカ２３
４の後続カセット２３２のストッカ間搬送装置４２によ
る搬送作業が着手されない。このため、後続カセット２
３２の搬送元ストッカ２３４での搬送作業待ち時間が長
くなり、またストッカ間搬送装置４２の稼働率は低いに
もかかわらず所定の搬送能力を発揮できない。
【００４４】処理装置３２、３４ごとに使用できる自動
搬送車用出口ポート２５２が１つに予め決定されてい
る。このため、自動搬送車用出口ポート２５２が複数個
あるような場合、処理装置３２、３４のそれぞれの処理
能力および稼働状況によって自動搬送車用出口ポート２
５２の使用混み具合にばらつきが発生してしまう。
【００４５】処理装置３２、３４からの投入要求のカセ
ット単位が自動搬送車用出口ポート２５２に載置可能な
カセット個数より多い場合、そのカセット個数を超える
カセット２３２は、後続の搬送作業の対象となる。この
ため、処理装置３２、３４のカセットステージ１７２、
１８２にある先に到着したカセット２３２は、後続カセ
ット２３２がくるまで処理装置３２、３４の処理開始が
できず待たされる。
【００４６】搬送元ストッカ２３４から搬送先ストッカ
２３４へのカセット２３２の搬送作業は搬送先ストッカ
２３４のストッカ間搬送装置用ポート９８の空きのみを
条件とし、ストッカ２３４の収納場所の充足状況の確認
は行なっていない。このため、収納場所の空きがない場
合には、カセット２３２は、ストッカ間搬送装置用ポー
ト９８への搬送作業完了後ストッカ２３４への入庫作業
指示が上位計算機５０から出ても、収納場所の空きがな
いために同ポート上で長時間待たされる。
【００４７】ストッカ２３４の自動搬送車用出口ポート
２５２でのカセット２３２の向きと自動搬送車用出口受
渡しポート１００でのカセット２３２の向きが９０°異
なる。このため、前詰機２５０が作業途中に回転作業を
行なわなければならない。
【００４８】上位計算機５０は、自動搬送車用出口ポー
ト２５２への出庫作業の完了後、同ポートから処理装置
３２、３４への搬送作業指示を自動搬送車３８へ送る。
このため、自動搬送車３８が待機場所から自動搬送車用
出口ポート２５２へくるまで同ポートでカセット２３２
が待たされる。
【００４９】自動搬送車３８により、ストッカ２３４か
ら処理装置３２、３４へのカセット２３２の収納作業に
着手する際に、上位計算機５０は関連する処理装置３
２、３４、自動搬送車３８、およびストッカ２３４の使
用可、使用不可を示す装置ステータス情報を持っていな
いまたは送信前に確認していない。このために、作業開
始後関連機器が故障で止まっているために該当カセット
２３２の作業が途中で止まってしまう。
【００５０】ストッカ間搬送装置４２により、ストッカ
２３４間のカセット２３２の搬送作業を行なう際に、上
位計算機５０は関連する搬送先ストッカ２３４、搬送元
ストッカ２３４、およびストッカ間搬送装置４２の使用
可、使用不可を示す装置ステータス情報を持っていない
または送信前に確認していない。このために、作業開始
後関連機器が故障で止まっているために該当カセット２
３２の作業が途中で止まってしまう。
【００５１】マニュアル用入口ポート２６０とマニュア
ル用出口ポート２６２に置かれたカセット２３２のＩＤ
カード２４０の向きが作業者作業面を向いていない。こ
のため、作業者が、同ポートに置かれたカセット２３２
が何であるかの確認をすることが困難である。
【００５２】処理装置３２、３４ごとに使用できるマニ
ュアル用出口ポート２６２が決定されており、マニュア
ル用出口ポート２６２が複数個あるような場合、処理装
置３２、３４のそれぞれの装置能力および稼働状況によ
ってマニュアル用出口ポート２６２の使用混み具合にば
らつきが発生してしまう。
【００５３】処理装置３２、３４ごとに使用できるマニ
ュアル用入口ポート２６０が決定されている。このた
め、マニュアル用入口ポート２６０が複数個あるような
場合、処理装置３２、３４それぞれの装置能力および稼
働状況によってマニュアル用入口ポート２６０の使用混
み具合にばらつきが発生してしまう。
【００５４】マニュアル用入口ポート２６０からの入庫
作業とマニュアル用出口ポート２６２からの出庫作業に
着手する際に、上位計算機５０はストッカ２３４の使用
可、不可を示す装置ステータス情報を持っていないまた
は作業指示送信前に確認していない。このために、作業
開始後ストッカ２３４が故障で止まると該当カセット２
３２の作業が途中で止まってしまう。
【００５５】処理装置３２、３４からの投入要求のカセ
ット単位がマニュアル用出口ポート２６２に載置可能な
カセット個数より多い場合、そのカセット個数を超える
カセットには後続の出庫作業となり作業者の作業効率が
落ちる。
【００５６】マニュアル用入口ポート２６０に置かれた
カセット２３２は、ストッカ２３４への入庫作業指示が
上位計算機５０から出ても、収納場所の空きがない場合
には同ポート上で長時間待たされる。
【００５７】マニュアル用出口ポート２６２からカセッ
ト２３２を取出したときに、作業者はどの処理装置３
２、３４に運んでいけばよいかわからない。このため、
作業者は、その情報を得るために上位計算機５０の作業
者端末５６へ行く必要があり作業時間が無駄にかかって
しまう。
【００５８】本発明は、これらのような問題点を解決す
るためになされたもので、本発明の第１の目的は、自動
搬送車の搬送能力を向上させることである。
【００５９】他の目的は、自動搬送車により運ばれてき
たカセットが、入庫の際ストッカの自動搬送車用入口ポ
ートで長時間待つことのない、ストッカ入庫作業制御を
行なうことである。
【００６０】さらに他の目的は、ストッカ間搬送装置の
搬送能力を向上させることである。さらに他の目的は、
ストッカ間搬送装置により運ばれてきたカセットが、入
庫の際ストッカのストッカ間搬送装置用ポートで長時間
待つことのない、ストッカ入庫作業制御を行なうことで
ある。
【００６１】さらに他の目的は、作業者により運ばれて
きたカセットが、入庫の際ストッカのマニュアル用入口
ポートで長時間待つことのない、ストッカ入庫作業制御
を行なうことである。
【００６２】さらに他の目的は、自動搬送車用入口ポー
トの使用混み具合にばらつきが生じない、ストッカ入庫
作業制御を行なうことである。
【００６３】さらに他の目的は、自動搬送車用出口ポー
トの使用混み具合にばらつきが発生しないストッカ出庫
作業制御を行なうことである。
【００６４】さらに他の目的は、作業者の作業効率の良
いストッカ出庫作業制御を行なうことである。
【００６５】さらに他の目的は、作業者による半導体ウ
ェハカセットの入庫を効率的に行なうことである。
【００６６】さらに他の目的は、作業者による半導体ウ
ェハカセットの出庫を効率的に行なうことである。
【００６７】さらに他の目的は、マニュアル用出口ポー
トの使用混み具合にばらつきが発生しないストッカ出庫
作業制御を行なうことである。
【００６８】さらに他の目的は、ストッカ内の在庫情報
に食い違いが発生した場合に、早急に原因を追求するこ
とができる、ストッカ在庫照合方法を提供することであ
る。
【００６９】さらに他の目的は、作業者の作業効率の良
い、半導体ウェハカセット搬送装置を提供することであ
る。
【００７０】さらに他の目的は、マニュアル用入口ポー
トの使用混み具合にばらつきが発生しない、半導体ウェ
ハカセット搬送装置を提供することである。
【００７１】さらに他の目的は、処理装置の作業効率を
上げることである。さらに他の目的は、ストッカ内の半
導体ウェハカセット保管環境を改善することである。
【００７２】さらに他の目的は、最小限のコストでスト
ッカ内の半導体ウェハカセット保管環境を改善すること
である。
【００７３】さらに他の目的は、ストッカへの半導体ウ
ェハカセットの入庫機構を簡素化することである。
【００７４】さらに他の目的は、ストッカからの半導体
ウェハカセットの出庫機構を簡素化することである。
【００７５】さらに他の目的は、作業者が、マニュアル
用入口ポートおよびマニュアル用出口ポートに置かれた
半導体ウェハカセットの種類を、容易に確認できるよう
にすることである。
【００７６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
係るストッカ入庫作業制御方法は、半導体ウェハカセッ
トを複数個収納するためのストッカと、半導体ウェハカ
セットに処理を施すための処理装置と、ストッカと処理
装置との間の半導体ウェハカセットの搬送作業を行なう
ための自動搬送車と、搬送元のストッカと搬送先のスト
ッカとの間で半導体ウェハカセットの搬送作業を行なう
ためのストッカ間搬送装置と、ストッカ、ストッカ間搬
送装置、自動搬送車および処理装置の制御を行なうため
の上位計算機とを含む半導体ウェハカセット搬送装置に
おけるストッカ入庫制御方法であって、上位計算機は、
ストッカで収納可能な最大カセット数を有しており、ス
トッカ入庫作業制御方法は、収納先の前記ストッカに空
きがあることを確認するステップと、前記ストッカに空
きがある場合に、前記ストッカの収納場所を確保するス
テップと、前記ストッカ間搬送装置若しくは前記自動搬
送車に搬送作業指示を送信し、または前記ストッカに入
庫作業指示を送信するステップとを含む。
【００７７】請求項１に記載の発明は、収納先に空きが
あることを確認した上でストッカ間搬送装置若しくは自
動搬送車に搬送作業指示を送信し、ストッカに入庫作業
指示を送信する。このため、自動搬送車用入口ポートの
空きに律速され、自動搬送車が作業待ちとなり、作業が
できなくなることがなくなる。これに伴ない、自動搬送
車の搬送能力を向上させることができる。また、ストッ
カ間搬送装置用ポートの空きに律速され、ストッカ間搬
送装置が、作業待ちとなり作業ができなくなることがな
くなる。これに伴ない、ストッカ間搬送装置の搬送能力
を向上させることができる。さらに、入庫の際、作業者
が運んできたカセットが、マニュアル用入口ポートで長
時間待たされることがなくなる。
【００７８】請求項２に記載の発明に係るストッカ入庫
作業制御方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え
て、ストッカは、自動搬送車による半導体ウェハカセッ
トの入庫のための自動搬送車用入口ポートを含み、自動
搬送車用入口ポートを所定の順序で選択するステップを
さらに含む。
【００７９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の作用、効果に加えて、自動搬送車用入口ポート
を所定の順序で選択する。これにより、自動搬送車用入
口ポートの使用混み具合にばらつきが生じない。
【００８０】請求項３に記載の発明に係るストッカ入庫
作業制御方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え
て、ストッカは、自動搬送車による半導体ウェハカセッ
トの入庫のための自動搬送車用入口ポートを含み、自動
搬送車用入口ポートを自動搬送車による半導体ウェハカ
セットの搬送作業が均等になるように選択するステップ
をさらに含む。
【００８１】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の作用、効果に加えて、自動搬送車用入口ポート
を自動搬送車による半導体ウェハカセットの搬送作業が
均等になるように選択する。これにより、自動搬送車用
入口ポートの使用混み具合にばらつきが生じない。
【００８２】請求項４に記載の発明に係るストッカ入庫
作業制御方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え
て、ストッカは、自動搬送車による半導体ウェハカセッ
トの入庫のための複数の自動搬送車用入口ポートを含
み、上位計算機は、複数の自動搬送車用入口ポートの各
々について作業数および上限値を記憶しており、複数の
自動搬送車用入口ポートのうちの１つを作業数が上限値
を超える自動搬送車用入口ポート以外より選択するステ
ップをさらに含む。
【００８３】請求項５に記載の発明に係るストッカ入庫
作業制御方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え
て、ストッカは、自動搬送車による半導体ウェハカセッ
トの入庫のための自動搬送車用入口ポートを含み、上位
計算機は、自動搬送車用入口ポートについて使用可能ま
たは使用不可能を示すフラグを記憶し、自動搬送車用入
口ポートをフラグが使用可能を示す自動搬送車用入口ポ
ートより選択するステップをさらに含む。
【００８４】請求項６に記載の発明に係るストッカ入庫
作業制御方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え
て、ストッカは、作業者による半導体ウェハカセットの
入庫のためのマニュアル用入口ポートと、メッセージ表
示手段とを含み、作業者がマニュアル用入口ポートより
半導体ウェハカセットを入庫する際、ストッカに空きが
あるか否かを判断するステップと、ストッカに空きがな
ければメッセージ表示手段に空きがないことを表示する
ステップとをさらに含む。
【００８５】請求項７に記載の発明に係るストッカ入庫
作業制御方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え
て、上位計算機は、ストッカおよびストッカ間搬送装置
のそれぞれについて使用可能または使用不可能を示すフ
ラグを記憶し、ストッカ間で半導ウェハカセットの搬送
を行なう際に、搬送に必要な、搬送元のストッカ、搬送
先のストッカおよびストッカ間搬送装置の全てが使用可
能か否かを判断するステップと、全てが使用可能であれ
ば、ストッカ間搬送装置に搬送作業指示を送信するステ
ップとをさらに含む。
【００８６】請求項７に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の目的に加えて、ストッカ間で搬送作業を行なう
際、搬送作業に必要な全ての装置が使用可能であること
を確認してから、搬送作業に着手する。これにより、ス
トッカ間搬送装置による半導体ウェハカセットの搬送を
効率的に行なうことができる。
【００８７】請求項８に記載の発明に係るストッカ入庫
作業制御方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え
て、上位計算機は、ストッカおよび自動搬送車のそれぞ
れについて使用可能または使用不可能を示すフラグを記
憶し、ストッカと処理装置との間で半導体ウェハカセッ
トの搬送を行なう際に、搬送に必要な、ストッカおよび
自動搬送車の全てが使用可能か否かを判断するステップ
と、全てが使用可能であれば、自動搬送車に搬送作業指
示を送信するステップとをさらに含む。
【００８８】請求項８に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の作用、効果に加えて、ストッカと処理装置との
間で半導体ウェハカセットの搬送作業を行なう際に、搬
送作業に必要な全ての装置が使用可能であることを確認
してから、搬送作業に着手する。これにより、自動搬送
車による半導体ウェハカセットの搬送を効率的に行なう
ことができる。
【００８９】請求項９に記載の発明に係るストッカ入庫
作業制御方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え
て、ストッカは、作業者による半導体ウェハカセットの
入庫のためのマニュアル用入口ポートを含み、上位計算
機は、ストッカについて使用可能または使用不可能を示
すフラグを記憶し、作業者がマニュアル用入口ポートか
らストッカに入庫作業を行なう際に、当該ストッカが使
用可能か否かを判断するステップと、使用可能であれ
ば、当該ストッカに入庫作業指示を送信するステップと
をさらに含む。
【００９０】請求項９に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の作用、効果に加えて、マニュアル用入口ポート
からストッカに入庫可能な場合にのみ、ストッカに入庫
作業指示を送信する。これにより、作業者による半導体
ウェハカセットの入庫を効率的に行なうことができる。
【００９１】請求項１０に記載の発明に係るストッカ入
庫作業制御方法は、請求項９に記載の発明の構成に加え
て、上位計算機は、メッセージ出力手段をさらに含み、
作業者がマニュアル用入口ポートからストッカに入庫作
業を行なう際に、当該ストッカが使用不可能であれば、
メッセージ出力手段に当該ストッカへの入庫は不可能で
あることを表示するステップをさらに含む。
【００９２】請求項１１に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、半導体ウェハカセットを複数個収納
するためのストッカと、半導体ウェハカセットに処理を
施すための処理装置と、ストッカと処理装置との間の半
導体ウェハカセットの搬送作業を行なうための自動搬送
車と、搬送元のストッカと搬送先のストッカとの間で半
導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのストッカ
間搬送装置と、ストッカ、ストッカ間搬送装置、自動搬
送車および処理装置の制御を行なうための上位計算機と
を含む半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるスト
ッカ出庫作業制御方法であって、上位計算機は、ストッ
カ内の半導体ウェハカセットの在庫情報を有し、ストッ
カ出庫作業制御方法は、ストッカより出庫作業を行なう
ステップと、ストッカより出庫作業を行なう際に、スト
ッカ内の半導体ウェハカセットの在庫情報を更新するス
テップを含む。
【００９３】請求項１１に記載の発明は、ストッカより
出庫作業を行なうと、ストッカ内の半導体ウェハカセッ
トの在庫情報を更新する。これにより、ストッカ内の収
納場所の空きが速やかに検知できる。このため、ストッ
カ内の収納場所に空きが発生すると、速やかに搬送作業
が行なわれ、自動搬送車の搬送能力を向上させることが
できる。また、ストッカ間搬送装置の搬送能力を向上さ
せることができる。
【００９４】請求項１２に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載の発明の構成に加
えて、ストッカは、自動搬送車による半導体ウェハカセ
ットの出庫のための自動搬送車用出口ポートを含み、自
動搬送車用出口ポートを所定の順序で選択するステップ
をさらに含む。
【００９５】請求項１２に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、自動搬送車用出口ポ
ートからの出庫作業時に、自動搬送車用出口ポートを所
定の順序で選択する。このため、自動搬送車用出口ポー
トの使用混み具合にばらつきが発生しない。
【００９６】請求項１３に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載のストッカ出庫作
業制御方法に加えて、ストッカは、自動搬送車による半
導体ウェハカセットの出庫のための自動搬送車用出口ポ
ートを含み、自動搬送車用出口ポートを自動搬送車によ
る半導体ウェハカセットの搬送作業が均等になるように
選択するステップをさらに含む。
【００９７】請求項１３に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、自動搬送車用出口ポ
ートからの出庫作業時に、自動搬送車用出口ポートを自
動搬送車による半導体ウェハカセットの搬送作業が均等
になるように選択する。このため、自動搬送車用出口ポ
ートの使用混み具合にばらつきが発生しない。請求項１
４に記載の発明に係るストッカ出庫作業制御方法は、請
求項１１に記載のストッカ出庫作業制御方法に加えて、
ストッカは、自動搬送車による半導体ウェハカセットの
出庫のための自動搬送車用出口ポートを含み、上位計算
機は、自動搬送車用出口ポートについて作業数および上
限値を記憶し、自動搬送車用出口ポートを作業数が上限
値を超える自動搬送車用出口ポート以外より選択するス
テップをさらに含む。
【００９８】請求項１５に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載のストッカ出庫作
業制御方法に加えて、ストッカは、自動搬送車による半
導体ウェハカセットの出庫のための自動搬送車用出口ポ
ートを含み、上位計算機は、自動搬送車用出口ポートに
ついて使用可能または使用不可能を示すフラグを記憶
し、自動搬送車用出口ポートをフラグが使用可能を示す
自動搬送車用出口ポートより選択するステップをさらに
含む、請求項１１に記載のストッカ出庫作業制御方法。
【００９９】請求項１６に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載のストッカ出庫作
業制御方法に加えて、上位計算機は、ストッカおよびス
トッカ間搬送装置のそれぞれについて使用可能または使
用不可能を示すフラグを記憶し、ストッカ間で半導体ウ
ェハカセットの搬送を行なう際に、搬送に必要な、搬送
元のストッカ、搬送先のストッカおよびストッカ間搬送
装置の全てが使用可能か否かを判断するステップと、全
てが使用可能であれば、ストッカ間搬送装置に搬送作業
指示を送信するステップとをさらに含む、請求項１１に
記載のストッカ出庫作業制御方法。
【０１００】請求項１６に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、ストッカ間で半導体
ウェハカセットの搬送作業を行なう際、搬送作業に必要
な全ての装置が使用可能であることを確認してから搬送
作業に着手する。このため、ストッカ間搬送装置による
半導体ウェハカセットの搬送を効率的に行なうことがで
きる。
【０１０１】請求項１７に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載のストッカ出庫作
業制御方法に加えて、上位計算機は、ストッカおよび自
動搬送車のそれぞれについて使用可能または使用不可能
を示すフラグを記憶し、ストッカと処理装置との間で半
導体ウェハカセットの搬送を行なう際に、搬送に必要
な、ストッカおよび自動搬送車の全てが使用可能か否か
を判断するステップと、全てが使用可能であれば、自動
搬送車に搬送作業指示を送信するステップとをさらに含
む、請求項１１に記載のストッカ出庫作業制御方法。
【０１０２】請求項１７に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、ストッカから処理装
置へ半導体ウェハカセットを搬送作業を行なう際、搬送
作業に必要な全ての装置が使用可能であることを確認し
てから搬送作業に着手する。このため、自動搬送車によ
る半導体ウェハカセットの搬送を効率的に行なうことが
できる。
【０１０３】請求項１８に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載のストッカ出庫作
業制御方法に加えて、ストッカは、作業者による半導体
ウェハカセットの出庫のためのマニュアル用出口ポート
を含み、上位計算機は、ストッカについて使用可能また
は使用不可能を示すフラグを記憶し、作業者がマニュア
ル用出口ポートから半導体ウェハカセットの出庫作業を
行なう際に、当該ストッカが使用可能か否かを判断する
ステップと、使用可能であれば、当該ストッカに出庫作
業指示を送信するステップとをさらに含む、請求項１１
に記載のストッカ出庫作業制御方法。
【０１０４】請求項１８に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作業、効果に加えて、マニュアル用出口ポ
ートから半導体ウェハカセットを出庫する際、ストッカ
が使用可能な場合にのみ、出庫作業に着手する。これに
より、作業者による半導体ウェハカセットの出庫を効率
的に行なうことができる。
【０１０５】請求項１９に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載のストッカ出庫作
業制御方法に加えて、ストッカは、作業者による半導体
ウェハカセットの出庫のためのマニュアル用出口ポート
を含み、マニュアル用出口ポートを所定の順序で選択
し、半導体ウェハカセットを出庫するステップをさらに
含む、請求項１１に記載のストッカ出庫作業制御方法。
【０１０６】請求項１９に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、マニュアル用出口ポ
ートから半導体ウェハカセットを出庫する際、マニュア
ル用出口ポートを所定の順序で選択する。これにより、
マニュアル用出口ポートの使用混み具合にばらつきが発
生しない。
【０１０７】請求項２０に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載のストッカ出庫作
業制御方法に加えて、ストッカは、作業者による半導体
ウェハカセットの出庫のためのマニュアル用出口ポート
を含み、マニュアル用出口ポートからの半導体ウェハカ
セットの出庫が均等になるようにマニュアル用出口ポー
トを選択するステップをさらに含む、請求項１１に記載
のストッカ出庫作業制御方法。
【０１０８】請求項２０に記載に発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、マニュアル用出口ポ
ートから半導体ウェハカセットを出庫する際、マニュア
ル用出口ポートからの半導体ウェハカセットの出庫が均
等になるようにマニュアル用出口ポートを選択する。こ
れにより、マニュアル用出口ポートの使用混み具合にば
らつきが発生しない。
【０１０９】請求項２１に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載のストッカ出庫作
業制御方法に加えて、半導体ウェハカセットには、デー
タを記憶するためのＩＤカードが接続されており、スト
ッカは、作業者による半導体ウェハカセットの出庫のた
めのマニュアル用出口ポートと、メッセージを表示する
ための表示手段とを含み、マニュアル用出口ポートは、
ＩＤカードのデータを読書きするためのＩＤカード読書
き装置を含み、上記ストッカ出庫作業制御方法は、半導
体ウェハカセットの出庫作業指示を送信するステップ
と、マニュアル用出口ポートに払出された半導体ウェハ
カセットのＩＤカードのデータをＩＤカード読書き装置
を用いて読むステップと、出庫要求した半導体ウェハカ
セットとマニュアル用出口ポートに払出された半導体ウ
ェハカセットとの比較照合を行なうステップと、出庫要
求した半導体ウェハカセットとマニュアル用出口ポート
に払出された半導体ウェハカセットとが同一である場合
に、半導体ウェハカセットのＩＤカードに搬送先の処理
装置の名前を書込み、作業者に取出し許可を行ない、取
出し許可を表示手段に表示するステップとをさらに含
む、請求項１１に記載のストッカ出庫作業制御方法。
【０１１０】請求項２１に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、半導体ウェハカセッ
トをマニュアル用出口ポートから出庫する際、半導体ウ
ェハカセット上のＩＤカードに取出し許可と、搬送先の
処理装置が書込まれている。よって、それを見れば、搬
送先をその場で確認することができ、作業者の作業効率
が上がる。
【０１１１】請求項２２に記載の発明に係るストッカ出
庫作業制御方法は、請求項１１に記載のストッカ出庫作
業制御方法に加えて、ストッカは、ストッカ間搬送装置
による半導体ウェハカセットの入出庫のためのストッカ
間搬送装置用ポートを含み、ストッカ間搬送装置用ポー
トより半導体ウェハカセットを出庫する際に、予め指定
した過程を通過したか否かを判断するステップと、予め
指定した過程を通過した場合に、半導体ウェハカセット
の搬送作業指示をストッカ間搬送装置に送信するステッ
プとをさらに含む。
【０１１２】請求項２３に記載の発明に係る自動搬送車
制御方法は、半導体ウェハカセットを複数個収納するた
めのストッカと、半導体ウェハカセットに処理を施すた
めの処理装置と、ストッカと処理装置との間の半導体ウ
ェハカセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、
搬送元のストッカと搬送先のストッカとの間で半導体ウ
ェハカセットの搬送作業を行なうためのストッカ間搬送
装置と、ストッカ、ストッカ間搬送装置、自動搬送車お
よび処理装置の制御を行なうための上位計算機とを含む
半導体ウェハカセット搬送装置で用いられる自動搬送車
制御方法であって、ストッカは、自動搬送車による半導
体ウェハカセットの出庫のための自動搬送車用出口ポー
トを含み、自動搬送車用出口ポートからの半導体ウェハ
カセットの出庫を予測するステップと、予測に基づいて
自動搬送車に搬送作業指示を送信するステップを含む。
【０１１３】請求項２３に記載の発明は、ストッカから
処理装置への半導体ウェハカセットの搬送作業におい
て、予め自動搬送車用出口ポートからの半導体ウェハカ
セットの出庫を予測して、自動搬送車に搬送作業指示を
送信する。このため、自動搬送車の作業効率を向上させ
ることができる。
【０１１４】請求項２４に記載の発明に係る自動搬送車
制御方法は、請求項２３に記載の自動搬送車制御方法に
加えて、自動搬送車が自動搬送車用出口ポートに半導体
ウェハカセットが存在するか否かを判断するステップ
と、自動搬送車用出口ポートに半導体ウェハカセットが
ない場合、一定時間出庫されるのを待つステップと、一
定時間経過後に自動搬送車用出口ポートに半導体ウェハ
カセットがない場合にエラーを発報するステップとをさ
らに含む。
【０１１５】請求項２５に記載の発明に係る自動搬送車
制御方法は、半導体ウェハカセットを複数個収納するた
めのストッカと、半導体ウェハカセットに処理を施すた
めの処理装置と、ストッカと処理装置との間の半導体ウ
ェハカセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、
搬送元のストッカと搬送先のストッカとの間で半導体ウ
ェハカセットの搬送作業を行なうためのストッカ間搬送
装置と、ストッカ、ストッカ間搬送装置、自動搬送車お
よび処理装置の制御を行なうための上位計算機とを含む
半導体ウェハカセット搬送装置で用いられる自動搬送車
制御方法であって、ストッカは、自動搬送車による半導
体ウェハカセットの出庫のための自動搬送車用出口ポー
トを含み、上位計算機は、自動搬送車の作業中の搬送作
業数とその上限値を記憶しており、上記自動搬送車制御
方法は、この作業中の搬送作業の数を更新するステップ
と、記憶された上限値を越えない範囲内で、自動搬送車
に搬送作業指示を送信するステップを含む。
【０１１６】請求項２５に記載の発明は、記憶された上
限値を越えない範囲内で、搬送作業指示を送信する。こ
のため、搬送作業指示が滞ることがなくなり、自動搬送
車の作業効率を向上させることができる。
【０１１７】請求項２６に記載の発明に係る自動搬送車
制御方法は、半導体ウェハカセットを複数個収納するた
めのストッカと、半導体ウェハカセットに処理を施すた
めの処理装置と、ストッカと処理装置との間の半導体ウ
ェハカセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、
搬送元のストッカと搬送先のストッカとの間で半導体ウ
ェハカセットの搬送作業を行なうためのストッカ間搬送
装置と、ストッカ、ストッカ間搬送装置、自動搬送車お
よび処理装置の制御を行なうための上位計算機とを含む
半導体ウェハカセット搬送装置で用いられる自動搬送車
制御方法であって、ストッカは、自動搬送車による半導
体ウェハカセットの入庫のための自動搬送車用入口ポー
トを含み、半導体ウェハカセットを上位計算機の制御の
もと自動走行作業車を用いて処理装置から自動搬送車用
入口ポートに搬送するステップと、自動搬送車用入口ポ
ートに半導体ウェハカセットが存在するか否かを判断す
るステップと、自動搬送車用入口ポートに半導体ウェハ
カセットが存在する場合、一定時間入庫されるのを待つ
ステップと、一定時間経過後に自動搬送車入口ポートに
半導体ウェハカセットが存在する場合にエラーを発報す
るステップとを含む。
【０１１８】請求項２６に記載の発明は、ストッカに半
導体ウェハカセットを入庫する際、先行する半導体ウェ
ハカセットがあれば、所定時間待ち、それでも、先行す
る半導体ウェハカセットがなくならなければエラーを発
報する。これにより、先行する半導体ウェハカセットが
あることを前提としながらも、必要以上に自動搬送車が
待つことがなくなり、自動搬送車の作業効率を向上させ
ることができる。
【０１１９】請求項２７に記載の自動搬送車制御方法
は、半導体ウェハカセットを複数個収納するためのスト
ッカと、半導体ウェハカセットに処理を施すための処理
装置と、ストッカと処理装置との間の半導体ウェハカセ
ットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、搬送元の
ストッカと搬送先のストッカとの間で半導体ウェハカセ
ットの搬送作業を行なうためのストッカ間搬送装置と、
ストッカ、ストッカ間搬送装置、自動搬送車および処理
装置の制御を行なうための上位計算機とを含む半導体ウ
ェハカセット搬送装置で用いられる自動搬送車制御方法
であって、ストッカは、自動搬送車による半導体ウェハ
カセットの出庫のための自動搬送車用出口ポートを含
み、処理装置からの処理完了報告を受けるステップと、
処理完了報告を受け、自動搬送車用出口ポートへの払出
作業を行なうステップと、自動搬送車用出口ポートより
払出の完了を受け、自動搬送車に、処理装置で処理され
た半導体ウェハカセットと自動搬送車用出口ポートより
払出された半導体ウェハカセットとの搬送作業指示を送
信するステップとを含む。
【０１２０】請求項２７に記載の発明は、自動搬送車用
出口ポートに半導体ウェハカセットの払出完了を受けて
から、処理装置からストッカへ戻る半導体ウェハカセッ
トと一対として自動搬送車に搬送作業指示を送信する。
このため、自動搬送車が、半導体ウェハカセットが払出
を待つことがなくなり、自動搬送車の作業効率を向上さ
せることできる。
【０１２１】請求項２８に記載の発明に係るストッカ在
庫照合方法は、半導体ウェハカセットを複数個収納する
ためのストッカと、半導体ウェハカセットに処理を施す
ための処理装置と、ストッカと処理装置との間の半導体
ウェハカセットの搬送作業を行なうための自動搬送車
と、搬送元のストッカと搬送先のストッカとの間で半導
体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのストッカ間
搬送装置と、ストッカ、ストッカ間搬送装置、自動搬送
車および処理装置の制御を行なうための上位計算機とを
含む半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッ
カ在庫照合方法であって、上位計算機は、作業者から上
位計算機に指示を送信し、結果を表示するための端末
と、ストッカの在庫を記憶するためのストッカ在庫記憶
手段とを含み、作業者からの指示を受け、ストッカが持
つ半導体ウェハカセットの在庫を問い合わせるステップ
と、ストッカから半導体ウェハカセットの在庫を受ける
ステップと、ストッカから報告された在庫とストッカ在
庫記憶手段に記憶されたストッカの在庫とを比較するス
テップと、ストッカから報告された在庫とストッカ在庫
記憶手段に記憶されたストッカの在庫とが異なる場合、
在庫の相違を端末に表示するステップとを含む。
【０１２２】請求項２８に記載の発明は、ストッカが持
つ半導体ウェハカセットの在庫と、上位計算機が記憶し
ているストッカ内の半導体ウェアカセットの在庫とを比
較し、在庫の相違を端末に表示する。これにより、スト
ッカ内の在庫情報に食い違いが発生した場合に、早急に
原因を追求することができる。
【０１２３】請求項２９に記載の発明に係るストッカ照
合方法は、請求項２８に記載の発明の構成に加えて、ス
トッカから報告された在庫とストッカ在庫記憶手段に記
憶されたストッカの在庫とが異なる場合、ストッカから
報告された在庫にはあってストッカ在庫記憶手段に記憶
されたストッカから報告された在庫にはない半導体ウェ
ハカセットと、ストッカから報告された在庫にはなくて
ストッカ在庫記憶手段に記憶されたストッカから報告さ
れた在庫にはある半導体ウェハカセットとを区別して在
庫の相違を端末に表示するステップをさらに含む。
【０１２４】請求項３０に記載の発明に係るストッカ照
合方法は、請求項２８〜２９のいずれかに記載の発明の
構成に加えて、作業者からの指示に従い、ストッカ在庫
記憶手段に記憶されたストッカの在庫をストッカより送
られてきた在庫で書換えるステップをさらに含む。
【０１２５】請求項３１に記載の発明に係るストッカ在
庫照合方法は、請求項２８〜２９のいずれかに記載の発
明の構成に加えて、ストッカから報告された在庫とスト
ッカ在庫記憶手段に記憶されたストッカの在庫とが異な
る場合、在庫の相違をストッカの収納場所単位で表示す
るステップをさらに含む。
【０１２６】請求項３２に記載の発明に係る半導体ウェ
ハカセット搬送装置は、半導体ウェハカセットを複数個
収納するためのストッカと、半導体ウェハカセットに処
理を施すための処理装置と、ストッカと処理装置との間
の半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうための自動
搬送車と、搬送元のストッカと搬送先のストッカとの間
で半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのスト
ッカ間搬送装置と、ストッカ、ストッカ間搬送装置、自
動搬送車および処理装置の制御を行なうための上位計算
機とを含み、ストッカは、作業者による半導体ウェハカ
セットの出庫のためのマニュアル用出口ポートを含み、
マニュアル用出口ポートに置くことが可能な半導体ウェ
ハカセットの個数は処理装置が一度に要求する半導体ウ
ェハカセットの個数との関係で定められている。
【０１２７】請求項３２に記載の発明は、マニュアル用
出口ポートに置くことが可能な半導体ウェハカセットの
個数が処理装置が一度に要求する半導体ウェハカセット
の個数との関係で決まる。このため、処理装置が一度に
要求する半導体ウェハカセットを、作業者が一度に運ぶ
ことができ、作業者の作業効率が上がる。
【０１２８】請求項３３に記載の発明に係る半導体ウェ
ハカセット搬送装置は、請求項３２に記載の発明の構成
に加えて、ストッカは、作業者による半導体ウェハカセ
ット入庫のためのマニュアル用入口ポートをさらに含
み、マニュアル用入口ポートに置くことが可能な半導体
ウェハカセットの個数は２個である。
【０１２９】請求項３３に記載の発明は、請求項３２に
記載の発明の作用、効果に加えて、マニュアル用入口ポ
ートに置くことが可能な半導体カセットの個数は、作業
者が運びやすい２個である。このため、ストッカへの入
庫作業の作業性がよくなる。これに伴ない、マニュアル
用入口ポートの使用混み具合にばらつきが発生しない。
【０１３０】請求項３４に記載の発明に係る半導体ウェ
ハカセット搬送装置は、請求項３２に記載の発明の構成
に加えて、マニュアル用入口ポートと処理装置とが対応
付けられていない。
【０１３１】請求項３４に記載の発明は、請求項３２に
記載の発明の作用、効果に加えて、ある処理装置で処理
されたカセットは、いずれのマニュアル用入口ポートか
らも入庫できる。このため、マニュアル用入口ポートの
使用混み具合にばらつきが発生しない。
【０１３２】請求項３５に記載の発明に係る半導体ウェ
ハカセット搬送装置は、請求項３２に記載の発明の構成
に加えて、自動搬送車用入口ポートに置くことが可能な
半導体ウェハカセットの個数は処理装置が一度に排出要
求する半導体ウェハカセットの個数との関係で定められ
ており、自動搬送車が一度に搬送できる半導体ウェハカ
セットの個数は自動搬送車用入口ポートに置くことが可
能な半導体ウェハカセットの個数および自動搬送車用出
口ポートに置くことが可能な半導体ウェハカセットの個
数との関係で定められている。
【０１３３】請求項３５に記載の発明は、請求項３２に
記載の発明の作用、効果に加えて、処理装置が投入要求
する半導体ウェハカセットの個数と、自動搬送車出口ポ
ートに載置可能なカセット個数が所定の関係にある。こ
のため、自動搬送車による搬送が効率的に行なわれ、ひ
いては処理装置の作業効率が上がる。
【０１３４】請求項３６に記載の発明に係るストッカ
は、半導体ウェハカセットを複数個収納するためのスト
ッカと、半導体ウェハカセットに処理を施すための処理
装置と、ストッカと処理装置との間の半導体ウェハカセ
ットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、搬送元の
ストッカと搬送先のストッカとの間で半導体ウェハカセ
ットの搬送作業を行なうためのストッカ間搬送装置と、
ストッカ、ストッカ間搬送装置、自動搬送車および処理
装置の制御を行なうための上位計算機とを含む半導体ウ
ェハカセット搬送装置で用いられるストッカであって、
ストッカ間搬送装置による半導体ウェハカセットの入出
庫のためのストッカ間搬送装置用ポートと、自動搬送車
による半導体ウェハカセットの入庫のための自動搬送車
用入口ポートと、自動搬送車による半導体ウェハカセッ
トの出庫のための自動搬送車用出口ポートと、作業者に
よる半導体ウェハカセット入出庫のためのマニュアル用
ポートと、ストッカ間搬送装置用ポートに設けられた第
１のシールド扉と、自動搬送車用入口ポートに設けられ
た第２のシールド扉と、自動搬送車用出口ポートに設け
られた第３のシールド扉と、マニュアル用ポートに設け
られた第４のシールド扉とを含む。
【０１３５】請求項３６に記載の発明は、ストッカ内部
に塵やミスとが混入するのを防ぐためのシールド扉を設
けた。このため、ストッカ内の半導体ウェハカセット保
管環境を改善することができる。
【０１３６】請求項３７に記載の発明に係るストッカ
は、請求項３８に記載の発明の構成に加えて、第１のシ
ールド扉、第２のシールド扉、第３のシールド扉および
第４のシールド扉は、それぞれ２重のシールド扉であ
る。
【０１３７】請求項３８に記載の発明に係る半導体ウェ
ハカセット搬送装置は、半導体ウェハカセットを複数個
収納するための複数のストッカと、半導体ウェハカセッ
トに処理を施すための処理装置と、ストッカと処理装置
との間の半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうため
の自動搬送車と、搬送元のストッカと搬送先のストッカ
との間で半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうため
のストッカ間搬送装置と、ストッカ、ストッカ間搬送装
置、自動搬送車および処理装置の制御を行なうための上
位計算機とを含み、複数のストッカのうちの少なくとも
１つは、請求項３６〜３７のいずれかに記載のストッカ
である。
【０１３８】請求項３８に記載の発明は、請求項３６〜
３７のいずれかに記載の発明の作用、効果に加えて、半
導体ウェハカセットの管理の重要性に応じてシールド付
きストッカと、シールドなしストッカとを使い分ける。
これにより、最小限のコストでストッカ内の半導体ウェ
ハカセットの保管環境を改善することができる。
【０１３９】請求項３９に記載の発明に係る半導体ウェ
ハカセット搬送装置は、半導体ウェハカセットを複数個
収納するためのストッカと、半導体ウェハカセットに処
理を施すための処理装置と、ストッカと処理装置との間
の半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうための自動
搬送車と、搬送元のストッカと搬送先のストッカとの間
で半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのスト
ッカ間搬送装置と、ストッカ、ストッカ間搬送装置、自
動搬送車および処理装置の制御を行なうための上位計算
機とを含み、半導体ウェハカセットには、データを記憶
するためのＩＤカードが接続されており、ＩＤカード
は、データの送受信を行なうために底面に配置された送
受信手段を含み、ストッカは、作業者による半導体ウェ
ハカセット入出庫のためのマニュアル用ポートと、ＩＤ
カードと対向して配置され、データの送受信を行なうた
めのＩＤカード読書き装置とを含む。
【０１４０】請求項３９に記載の発明は、ＩＤカードの
底面に送受信手段を設けた。これに伴ない、ＩＤカード
読み書き装置をストッカ内部に埋め込むことができ、半
導体ウェハカセットをマニュアル用ポートより入出庫す
る際、ＩＤカード読み書き装置が邪魔にならない。この
ため、ストッカへの半導体ウェハカセットの入庫機構を
簡略化することができる。また、ストッカからの半導体
ウェハカセットの出庫機構を簡略化することができる。
さらに、作業者が、マニュアル用ポートに置かれた半導
体ウェハカセットの種類を容易に確認できるようになっ
た。
【０１４１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
における実施の形態の１つである半導体ウェハカセット
搬送装置３０について説明する。
【０１４２】図１〜図２を参照して、半導体ウェハカセ
ット搬送装置３０は、従来と同様の処理装置３２および
３４と、新たなストッカ３６と、従来と同様の自動搬送
車３８と、従来と同様のストッカ間搬送装置４２とを含
む。従来と同様に処理装置３２および３４にはそれらの
処理前と処理後カセット４０の収納場所としてあるスト
ッカ３６が与えられており、２台の自動搬送車３８がそ
れらの間の搬送作業に従事している。またストッカ間搬
送装置４２はこの図では途中で切断して示されているが
周回運行しており、複数のストッカ３６がそのまわりに
設置されている。他のストッカ３６についてもそれぞれ
グループをなす処理装置３２、３４と自動搬送車３８と
が存在する。
【０１４３】半導体ウェハカセット搬送装置３０は、従
来と同様の上位計算機５０と、その本体５２と、その入
力手段５４と、その作業者端末５６と、上位計算機５０
と処理装置３２、３４、ストッカ３６および自動搬送車
３８とをそれぞれ結び、ストッカ３６とストッカ間搬送
装置４２とを結ぶ通信ケーブル５８と、従来と同一のス
トッカコントローラ６４と、従来と同一の自動搬送車コ
ントローラ６０と、従来と同一のストッカ間搬送装置コ
ントローラ６６とをさらに含む。この図において自動搬
送車コントローラ６０と自動搬送車３８との通信は制御
局側通信ユニット６２を経由して無線にて行なわれてい
るが、有線で行なうことも可能である。
【０１４４】図３を参照して、半導体ウェハカセット搬
送装置３０にて搬送される半導体ウェハとそのカセッ
ト、およびＩＤカードについて説明する。ウェハ７０と
カセット４０とは従来と同様のウェハおよびカセットで
ある。ＩＤカード７２は、従来と同様の表示部７４と通
信部７６とを含むが、通信部７６はＩＤカード７２の正
面ではなく底面に備付けられている。
【０１４５】以下、本実施の形態に係る半導体ウェハカ
セット搬送装置３０の構成要素の詳細な説明を図をもっ
て行なう。
【０１４６】図４〜図６を参照して、ストッカ３６につ
いて説明する。図４〜図５は、内部の構造が見えるよう
に、ストッカパネル９４の一部を切欠いて描かれてい
る。
【０１４７】ストッカ３６は、ストッカ棚９６と、スト
ッカ間搬送装置用ポート９８と、マニュアル用入口ポー
ト１１６と、マニュアル用出口ポート１１８と、自動搬
送車用出口ポート８６と、自動搬送車用出口受渡しポー
ト１００と、自動搬送車用入口ポート８８と、自動搬送
車用入口受渡しポート１０４と、ストッカクレーン８０
と、移載機８２と、前詰機８４と、対自動搬送車通信ユ
ニット１０２とを含む。
【０１４８】ストッカクレーン８０、移載機８２、およ
び前詰機８４はそれぞれ１カセット、２カセット、１カ
セット単位の搬送作業を行なう。ストッカ間搬送装置用
ポート９８、マニュアル用入口ポート１１６、マニュア
ル用出口ポート１１８、自動搬送車用出口受渡しポート
１００、自動搬送車用入口受渡しポート１０４、自動搬
送車用出口ポート８６および自動搬送車用入口ポート８
８に載置可能なカセット個数はそれぞれ２カセット、２
カセット、１カセット、１カセット、１カセット、１カ
セット、１カセットである。
【０１４９】前詰機５は、従来と同様に２台用意されて
いる。これに伴い自動搬送車用出口ポート８６、自動搬
送車用入口ポート８８、自動搬送車用出口受渡しポート
１００、および自動搬送車用入口受渡しポート１０４
は、２個ずつ備付けられている。またマニュアル用入口
ポート１１６は１つであるが、マニュアル用出口ポート
１１８は２つ備付けられている。
【０１５０】図６に示すように、マニュアル用出口ポー
ト１１８にはカセット４０ごとにＩＤカード読み書き装
置１２０が取付けられている。マニュアル用入口ポート
１１６にも当然従来と同様にＩＤカード読み書き装置１
２０が備付けられている。このストッカ３６の場合、４
個のＩＤカード読み書き装置１２０が使用されている。
ただし、その取付方向は従来と異なりＩＤカード通信部
７６がＩＤカード７２の底面にあるためＩＤカード読み
書き装置１２０をカセット受け具１３０下に取付けるこ
とができ、ＩＤカード７２の正面を作業者作業面を向く
ようにすることが可能となった。ストッカクレーン８０
は、従来と同様にカセット４０の向きを変更することが
できないため、ストッカ棚９６でのカセット４０の向き
はマニュアル用入口ポート１１６の向きと同一となる。
自動搬送車用出口ポート８６と自動搬送車用入口ポート
８８に置かれたカセット４０の向きは、従来と同様に自
動搬送車３８が移載しやすい向きであり、装着されたＩ
Ｄカード７２が自動搬送車作業面を向く向きである。し
たがってストッカ棚９６の一部である自動搬送車用出口
受渡しポート１００と自動搬送車用入口受渡しポート１
０４置かれたカセット４０の向きと同一となり、前詰機
８４のカセット４０の移動作業中に従来のように９０°
向きを変更する必要がなくなった。
【０１５１】図４および図５を参照して、ストッカ３６
は、上下に可動し自動搬送車用出口受渡しポート１００
と自動搬送車用入口受渡しポート１０４の外側に位置す
る気密性を保つための自動搬送車用ポート外シールド扉
９０と、上下に可動し自動搬送車用出口受渡しポート１
００および自動搬送車用入口受渡しポート１０４の内側
に位置する気密性を保つための自動搬送車用ポート内シ
ールド扉９２とをさらに含む。
【０１５２】この図では、一方の自動搬送車用出口受渡
しポート１００および自動搬送車用入口受渡しポート１
０４の内外に取付けられた自動搬送車用ポート内シール
ド扉９２および自動搬送車用ポート外シールド扉９０に
ついてのみ示してあるが、他方の自動搬送車用出口受渡
しポート１００および自動搬送車用入口受渡しポート１
０４の内外にも同様の自動搬送車用ポート内シールド扉
９２および自動搬送車用ポート外シールド扉９０が備付
けられている。
【０１５３】ストッカ３６は、さらにマニュアル用ポー
ト外シールド扉１１４と、マニュアル用ポート内シール
ド扉１１２とを含む。マニュアル用ポート外シールド扉
１１４およびマニュアル用ポート内シールド扉１１２も
同様にストッカ３６の気密性を保つための上下に可動す
る扉である。マニュアル用ポート外シールド扉１１４
は、マニュアル用入口ポート１１６またはマニュアル用
出口ポート１１８の外側に位置する。マニュアル用ポー
ト内シールド扉１１２はマニュアル用入口ポート１１６
またはマニュアル用出口ポート１１８の内側に位置する
マニュアル用ポート内シールド扉である。
【０１５４】この図ではマニュアル用入口ポート１１６
についてのみ示してあるが、２つあるマニュアル用出口
ポート１１８についてもそれぞれ同様にこれらのシール
ド扉が備えられている。
【０１５５】ストッカ３６は、さらにストッカ間搬送装
置用ポート９８の外側に位置するストッカ間搬送装置用
ポート外シールド扉１２２と、ストッカ間搬送装置用ポ
ート内シールド扉１１０とを含む。ストッカ間搬送装置
用ポート外シールド扉１２２およびストッカ間搬送装置
用ポート内シールド扉１１０も、ストッカ３６の気密性
を保つための扉である。ストッカ間搬送装置用ポート外
シールド扉１２２はストッカ間搬送装置用ポート９８の
外側に位置する。ストッカ間搬送装置用ポート内シール
ド扉１１０はストッカ間搬送装置用ポート９８の内側に
位置する。
【０１５６】ストッカ間搬送装置用ポート９８はストッ
カ間搬送装置用ポート外シールド扉１２２を開きストッ
カ間搬送装置用昇降機１２４により上昇下降することが
できる。ストッカ間搬送装置用ポート外シールド扉１２
２は水平方向に移動し、ストッカ間搬送装置用ポート内
シールド扉１１０は上下方向に移動する。ストッカ間搬
送装置用昇降機１２４により上がった位置にあるストッ
カ間搬送装置用ポート９８に対しては移載機８２が作業
を行なうことができ、逆に下がった位置にある同ポート
に対してはストッカクレーン８０が作業を行なうことが
できる。
【０１５７】図７は、図４〜図６で示したストッカ３６
の収納場所を示したものであり、図７（ａ）は自動搬送
車作業面を見たストッカ３６の収納場所、図７（ｂ）は
作業者作業面から見たストッカ３６の収納場所である。
また図中ＳＴＫ０１からＳＴＫ０４はストッカユニット
Ｎｏ．でありストッカ３６の収納場所を取扱いやすい管
理体に分割するものである。Ｔ０１からＴ０７はストッ
カ棚９６の棚Ｎｏ．であり、横列の位置を示す。Ｐ０１
からＰ０４はポジションＮｏ．であり、ストッカユニッ
トごとの縦列の位置を示す。
【０１５８】図８を参照して、自動搬送車３８は、床上
に貼り付けられた誘導テープ１５６にガイドされて走行
する台車１４０と、自動搬送車コントローラ６０の制御
局側通信ユニット６２との間で情報のやり取りを行なう
搬送車側通信ユニット１４２と、それぞれカセット４０
の移載作業を行なうアーム１４４、ハンド１４６および
ハンド爪１４８と、処理装置３２および３４またはスト
ッカ３６から取込んだカセット４０を走行作業中に縦置
き姿で保持しておく４個の移載台１５０と、作業者との
間で情報のやり取りを行なう操作パネル１５２と、障害
物を検知し実行中の作業を停止させるバンバー１５４と
を含む。
【０１５９】自動搬送車３８は誘導テープ１５６により
ガイドされる無軌道式ロボットとしたが軌道式ロボット
でもよい。また移載台１５０を持たずハンド爪１４８
に、カセット４０を掴んだまま搬送元から搬送先へ運ん
でいくタイプのロボットでもよく、さらに複数個のカセ
ット４０を一度に移載できるようなハンド１４６を備え
たものでもよい。
【０１６０】図９を参照して、ストッカ間搬送装置４２
は、ループ形状をなす走行レール１６０と、走行レール
１６０を１方向に移動し、最大２個のカセット２を搬送
する台車１６２と、走行レール１６０を天井に取付ける
吊り金具１６４とを含む。
【０１６１】図１０を参照して、処理装置３２は、ウェ
ハ７０を１枚ずつまたは複数枚ずつごとに半導体集積回
路の製造処理を施す本体１７０と、処理するべきカセッ
ト４０を１カセット単位で受入れる２つのカセットステ
ージ１７２と、自動搬送車３８がカセットステージ１７
２へ処理前カセット４０を置く前に間違った他のカセッ
ト４０がないかまた処理後カセット４０を取出す前にそ
のカセット４０がカセットステージ１７２に正しく載っ
ているかを確認できるようカセットステージ１７２の状
態を自動搬送車３８に対して出力する対自動搬送車通信
ユニット１７４とを含む。
【０１６２】図１１を参照して、処理装置３４は、ウェ
ハ７０を１枚ずつまたは複数枚ずつごとに半導体集積回
路の製造処理を施す本体１８０と、処理するべきカセッ
ト４０を２カセット単位で受入れる２つのカセットステ
ージ１８２と、自動搬送車３８がカセットステージ１８
２へ処理前カセット４０を置く前に間違った他のカセッ
ト４０がないかまた処理後カセット４０を取出す前にそ
のカセット４０がカセットステージ１８２に正しく載っ
ているかを確認できるようカセットステージ１８２の状
態を自動搬送車３８に対して出力する対自動搬送車通信
ユニット１７４とを含む。
【０１６３】以下、半導体ウェハカセット搬送装置３０
におけるカセット４０のストッカ３６への入庫制御方法
ついて（１）処理装置３２、３４から処理後カセット４
０をストッカ３６に収納する作業、（２）搬送元ストッ
カ３６から搬送先ストッカ３６にカセット４０を運ぶ作
業、（３）マニュアル用入口ポート１１６からストッカ
３６へ入庫する作業に大きく分けて説明する。
【０１６４】まず処理装置３２、３４から処理後カセッ
ト４０をストッカ３６に収納する作業（１）について述
べる。上位計算機５０は入力手段５４から各ストッカ３
６のカセット４０がストッカ棚９６に収納できる最大の
数を予めストッカ容量として記憶している。カセット４
０をストッカ３６へ収納するときにはこの数から収納す
るカセット４０の数を減算することによりストッカ３６
の空きスペースがあるかないかの判断を行なう。このよ
うに上記計算機８がストッカ３６の空き管理を行なうた
め、ストッカ３６は従来のように自動搬送車用入口ポー
ト８８やストッカ間搬送装置用ポート９８の空きを上位
計算機５０に報告する必要はない。
【０１６５】従来と同様にして、処理装置３２、３４が
処理を完了した処理後カセット４０を用い、通信ケーブ
ル５８を通じて上位計算機５０に対してこのカセット４
０の引取を要求する。ここで、図１０と図１１でも示し
たように、処理装置３２、３４はそのタイプによって１
カセット単位に要求することもあるし複数個単位に要求
することもある。この引取要求を受取った上位計算機５
０は、要求されたカセット数に応じて前記ストッカ容量
から減算し自動搬送車３８を用いた搬送作業に移る。減
算した結果が負の数になった場合には収納できないと判
断し自動搬送車３８を用いた搬送作業に移らない。従来
と同様に使用可能な自動搬送車用入口ポート８８は、複
数の処理装置３２、３４に対して１つの自動搬送車用入
口ポート８８が割り当てられており、その割り当て情報
は、上位計算機５０に予め与えられている。このとき、
たとえば処理装置３２、３４からの引取要求が２カセッ
ト単位で行なわれていたとしても、自動搬送車用入口ポ
ート８８が１つのカセット４０の載置場所しかないため
に上位計算機５０は１カセット単位の搬送作業指示を自
動搬送車３８に送らなければならない。
【０１６６】上位計算機５０からの１カセットの搬送作
業指示を受信した自動搬送車コントローラ６０は、従来
と同様にして処理装置３２、３４のカセットステージ１
７２、１８２上の該当カセット４０をストッカ３６の自
動搬送車用入口ポート８８へと運ぶ。指示されたすべて
の作業が完了すると自動搬送車コントローラ６０は作業
完了報告を上位計算機５０に対して通信ケーブル５８を
介して行なう。
【０１６７】自動搬送車３８からの作業完了報告を受け
た上位計算機５０は、ストッカ３６への該当カセット４
０の自動搬送車用入口ポート８８からの入庫作業指示を
行なう。通信ケーブル５８を通じて送られてきたこの入
庫作業指示に従い、ストッカコントローラ６４はストッ
カ棚９６上の収納場所を確保した後作業に着手するが収
納場所が確保できないことは異常時以外はない。なぜな
らば、上位計算機５０が自動搬送車３８を用いた搬送作
業に着手する前にストッカ３６の空きを確保しているか
らである。問題なく入庫作業指示に着手したストッカ３
６は、従来と同様にして自動搬送車用入口ポート８８上
の該当カセット４０をストッカ棚９６の確保された収納
場所へと運ぶ。なお、従来と異なり、自動搬送車用入口
ポート８８でのカセット４０の向きと自動搬送車用入口
受渡しポート１０４でのカセット４０の向きが同一であ
るため、前詰機８４は移動作業途中にカセット４０を９
０°向きを回転させる必要はない。作業が完了するとス
トッカコントローラ６４は通信ケーブル５８を通じて作
業完了報告を上位計算機５０に対して行なう。以上で処
理装置３２、３４に発生した処理後カセット４０はスト
ッカ３６に収納されたこととなる。続いて搬送元ストッ
カ３６から搬送先ストッカ３６にカセット４０を運ぶ方
法（２）について述べる。処理装置３２、３４での処理
が完了したカセット４０がストッカ３６に収納される
と、上位計算機５０はこのストッカ３６を搬送元ストッ
カ３６としてそのカセット４０の次処理装置３２、３４
から該当搬送先ストッカ３６を決定し、続いてその搬送
先ストッカ３６のカセット容量から減算しストッカ間搬
送装置４２を用いて搬送作業に移る。減算した結果が負
の数になった場合には収納できないと判断し自動搬送車
３８を用いた搬送作業に移らない。
【０１６８】搬送作業に移った上位計算機５０は、従来
と同様にして通信ケーブル５８を通じてストッカ間搬送
装置４２に対して搬送作業指示を送るが、その指示にセ
ットされる搬送先は従来のストッカ間搬送装置用ポート
９８ではなく搬送先ストッカ３６のストッカ棚９６の収
納場所である。これを受信したストッカ間搬送装置コン
トローラ６６は、まず通信ケーブル５８を通じて搬送元
ストッカ３６に対して該当カセット４０の収納場所から
ストッカ間搬送装置用ポート９８への移動作業を依頼す
る。依頼されたストッカ３６は該当カセット４０をスト
ッカクレーン８０を用いて所定の作業を行ない、作業完
了報告をストッカ間搬送装置コントローラ６６に対して
行なう。この作業完了報告を受けたストッカ間搬送装置
コントローラ６６は、空き台車７０を搬送元ストッカ３
６に対応するステーションに移動させる。
【０１６９】移動が完了すると再びストッカ間搬送装置
コントローラ６６は、搬送元ストッカ３６に対してスト
ッカ間搬送装置用ポート９８上の該当カセット４０を該
当空き台車１６２に対して移載するように依頼する。依
頼されたストッカ３６は該当カセット４０を移載機８２
を用いて移載し、作業完了報告をストッカ間搬送装置コ
ントローラ６６に対して行なう。この作業完了報告を受
けたストッカ間搬送装置コントローラ６６は、実台車１
６２を搬送先ストッカ３６に対応するステーションに移
動させる。
【０１７０】移動が完了するとストッカ間搬送装置コン
トローラ６６は台車１６２上のカセット４０をストッカ
間搬送装置用ポート９８を経由してストッカ棚９６に収
納するように、通信ケーブル５８を通じて搬送先ストッ
カコントローラ６４に依頼する。依頼されたストッカコ
ントローラ６４は、まずストッカ棚９６の収納場所を確
保し移載機８２を駆使してまずストッカ間搬送装置用ポ
ート９８上にカセット４０を移動し、続いてストッカク
レーン８０を用いて同ポートからストッカ棚９６の確保
された収納場所へとカセット４０を収納する。ストッカ
コントローラ６４が収納場所を確保する際確保できない
ということは異常時以外にない。なぜならば、上位計算
機５０はこの搬送作業に着手する前に搬送先ストッカ３
６の空きを確保しているからである。
【０１７１】作業を完了したストッカコントローラ６４
は、ストッカ間搬送装置コントローラ６６にその旨報告
する。これを受けてストッカ間搬送装置コントローラ６
６は作業完了報告を上位計算機５０に報告する。以上で
搬送元ストッカ３６から搬送先ストッカ３６へのカセッ
ト４０の搬送作業が完了したことになる。
【０１７２】次に、マニュアル用入口ポート１１６から
ストッカ３６へ入庫する作業（３）について述べる。作
業者（図示せず）がカセット４０をストッカ３６に入庫
する場合、まずカセット４０をマニュアル用入口ポート
１１６に置きストッカ３６の一部である操作パネル１２
１を操作する。この操作によりカセット４０がマニュア
ル用入口ポート１１６に置かれたことを知ったストッカ
３６は、ＩＤカード読み書き装置１２０により該当カセ
ット４０のＩＤカード７２の情報を読取り、そのデータ
を通信ケーブル５８を通じて上位計算機５０に報告す
る。
【０１７３】上位計算機５０はこれにより作業者がカセ
ット４０を運んできたことを知り、その入庫するべきカ
セット個数をそのストッカ３６のカセット容量から減算
してストッカ３６を用いた搬送作業に移る。ただし、減
算した結果が負の数になり収納できないと判断した場合
には入庫作業に移らない。入庫作業に移った上位計算機
５０は従来と同様にして通信ケーブル５８を通じてスト
ッカコントローラ６４に入庫作業指示を送る。送られて
きたこの入庫作業指示に従い、ストッカコントローラ６
４はストッカ棚９６上の収納場所を確保した後作業に着
手する。ストッカコントローラ６４が収納場所を確保す
る際確保できないということは異常時以外はない。なぜ
ならば上位計算機５０はこの搬送作業に着手する前に入
庫ストッカ３６の空きを確保しているからである。
【０１７４】入庫作業に着手したストッカ３６は、従来
と同様にしてストッカクレーン８０を用いてマニュアル
用入口ポート１１６上のカセット４０を確保されたスト
ッカ棚９６上の収納場所へと運ぶ。指示された作業が完
了したストッカ３６は、上位計算機５０に対して作業完
了報告を行なう。これにて作業者による入庫作業は完了
したこととなる。
【０１７５】このように半導体ウェハカセット搬送装置
３０におけるストッカ入庫作業制御方法では、上位計算
機５０には、入力手段５４から各ストッカ３６のカセッ
ト４０が収納できる最大の個数が予めストッカ容量とし
て与えられており、カセットを収納する際にはそのカセ
ット個数をストッカ容量より減算することにより収納場
所の確保を行なう。このため、ストッカ３６の自動搬送
車用入口ポート８８とストッカ間搬送装置用ポート９８
の空きを条件とすることなく処理装置３２、３４からの
ストッカ３６への収納作業またストッカ間の搬送作業が
行なえるようになった。
【０１７６】よって、自動搬送車用入口ポート８８上の
先行するカセット４０がなくなるまで処理装置３２、３
４に発生した処理後カセット４０の自動搬送車３８によ
る搬送作業が着手されないため、処理後カセット４０の
処理装置３２、３４での搬送作業待ち時間が長くなり、
また自動搬送車３８の稼働率は低いにもかかわらず所定
の搬送能力を発揮できないという問題が解消される。
【０１７７】また、処理装置３２、３４からストッカ３
６へのカセット４０の搬送作業はストッカ３６の自動搬
送車用入口ポート８８の空きのみを条件とし、ストッカ
３６の収納場所の充足状況の確認を行なっていないた
め、自動搬送車用入口ポート８８への搬送作業完了後ス
トッカ３６への入庫作業指示が上位計算機５０から出て
も、収納場所の空きがないために同ポート上で長時間待
たされるという問題が解消される。
【０１７８】さらに、ストッカ間搬送用ポート５ｌ上の
先行するカセット４０がなくなるまで搬送元ストッカ３
６の後続カセット４０のストッカ間搬送装置４２による
搬送作業が着手されないため、後続カセット４０の搬送
元ストッカ３６での搬送作業待ち時間が長くなり、また
ストッカ間搬送装置４２の稼働率は低いにもかかわらず
所定の搬送能力を発揮できないという問題が解消され
る。
【０１７９】さらに、搬送元ストッカ３６から搬送先ス
トッカ３６へのカセット４０の搬送作業は搬送先ストッ
カ３６のストッカ間搬送装置用ポート９８の空きのみを
条件とし、ストッカ３６の収納場所の充足状況の確認を
行なっていないため、ストッカ間搬送装置用ポート９８
への搬送作業完了後ストッカ３６への入庫作業指示が上
位計算機５０から出ても、収納場所の空きがないために
同ポート上で長時間待たされるという問題が解消され
る。
【０１８０】さらに、マニュアル用入口ポート１１６に
置かれたカセット４０は、ストッカ３６への入庫作業指
示が上位計算機５０から出ても、収納場所の空きがない
ために同ポート上で長時間待たされるという問題が解消
される。
【０１８１】これにより、自動搬送車用入口ポート８８
やストッカ間搬送装置用ポート９８上の先行するカセッ
ト４０があったとしても後続のカセット４０のストッカ
３６の収納場所が確保されさえすれば処理装置３２、３
４から自動搬送車用入口ポート８８への搬送作業や搬送
元ストッカ３６から搬送先ストッカ３６への搬送作業が
着手され処理装置３２、３４や搬送元ストッカ３６で待
たされることはなくなり、また自動搬送車用入口ポート
８８、ストッカ間搬送装置用ポート９８やマニュアル用
入口ポート１１６に到着したカセット４０もストッカ３
６のストッカ棚９６の収納場所が確保されているためそ
こで長時間待たされるようなことのないなどの効果があ
る。
【０１８２】以下、半導体ウェハカセット搬送装置３０
におけるカセット４０のストッカ３６からの出庫制御方
法について（４）自動搬送車用出口ポート８６を経由し
て自動搬送車３８へ払出す作業、（５）搬送元ストッカ
３６においてストッカ間搬送装置用ポート９８を経由し
てストッカ間搬送装置４２へ払出す作業、（６）マニュ
アル用出口ポート１１８を経由して作業者に払出す作業
に大きく分けて説明する。
【０１８３】まず自動搬送車用出口ポート８６を経由し
て自動搬送車３８へ払出す作業（４）について述べる。
従来と同様に処理装置３２、３４からカセット投入要求
が上位計算機５０に通信ケーブル５８を通じて送信され
ると、上位計算機５０はストッカ３６に処理できるカセ
ット４０があるか探しある場合には出庫作業に移る。出
庫作業に移った上位計算機５０は、処理装置３２、３４
ごとに予め１つに決められている自動搬送車用出口ポー
ト８６へのストッカ棚９６上にあるカセット４０の出庫
作業指示をストッカ３６に対して通信ケーブル５８を通
じて送る。これを受けたストッカ３６は、ストッカクレ
ーン８０を用いてまずは該当のカセット４０を自動搬送
車用出口受渡しポート１００へと運び、その後前詰機８
４を駆使して自動搬送車用出口受渡しポート１００上の
カセット４０を自動搬送車用出口ポート８６へと前送り
する。自動搬送車用入口ポート８８および自動搬送車用
入口受渡しポート１０４の前詰作業でも述べたのと同様
に、この作業途中において従来のようにカセット４０の
向きを９０°回転させる必要はない。
【０１８４】これにて自動搬送車用出口ポート８６への
出庫作業が完了したこととなり、ストッカ３６は作業完
了報告を上位計算機５０に対して行なう。この一連のス
トッカ３６の作業の中で、ストッカコントローラ６４は
ストッカクレーン８０が該当カセット４０をストッカ棚
９６の収納場所から取出した際に、その情報を上位計算
機５０に通信ケーブル５８を介して報告する。これを受
けた上位計算機５０は入庫作業時には減算してきたスト
ッカ３６のストッカ容量（カセット収納数）に今度は加
算する。自動搬送車用出口ポート８６に払出されたカセ
ット４０は従来と同様にして自動搬送車３８によって投
入要求を出した処理装置３２、３４へと運ばれていく。
【０１８５】続いて発送元ストッカ３６においてストッ
カ間搬送装置用ポート９８を経由してカセット４０がス
トッカ間搬送装置４２へ払出される作業（５）について
述べる。ストッカ３６からの入庫作業完了報告を受信し
た上位計算機５０は、そのカセット４０の次処理装置３
２、３４から該当搬送先ストッカ３６を決定し、ストッ
カ間搬送装置４２に対してストッカ間の搬送作業指示を
通信ケーブル５８を介して送る。この受信したストッカ
間搬送装置コントローラ６６は、まず通信ケーブル５８
を通じて搬送元ストッカ３６に対して該当カセット４０
の収納場所からストッカ間搬送装置用ポート９８への移
動作業を依頼する。依頼されたストッカ３６は該当カセ
ット４０をストッカクレーン８０を用いて移動し、作業
完了報告をストッカ間搬送装置コントローラ６６に対し
て行なう。
【０１８６】この一連のストッカ３６の作業においてス
トッカコントローラ６４はストッカクレーン８０が該当
カセット４０をストッカ棚９６の収納場所から取出した
際にその情報をストッカ間搬送装置コントローラ６６を
経由して上位計算機５０に報告する。または直接通信ケ
ーブル５８を介して上位計算機５０に報告する。これを
受けた上位計算機５０は入庫作業時には減算してきたス
トッカ３６のカセット収納数に今度は加算する。ストッ
カ間搬送装置用ポート９８に払出されたカセット４０
は、上述した搬送元ストッカ３６から搬送先ストッカ３
６にカセット４０を運ぶ作業（２）に従い、搬送先スト
ッカ３６へと運ばれていく。
【０１８７】最後にマニュアル用出口ポート１１８を経
由してカセット４０が作業者に払出される作業（６）に
ついて述べる。自動搬送車３８が具備されていないスト
ッカ３６とその処理装置３２、３４について考える。処
理装置３２、３４がカセット投入要求を上位計算機５０
に通信ケーブル５８を通じて行なうと、上位計算機５０
はストッカ３６に処理できるカセット４０があるか探
す。
【０１８８】カセット４０がある場合には、出庫作業に
移る。出庫作業に移った上位計算機５０は、自動搬送車
用出口ポート８６と同様に処理装置３２、３４ごとに予
め１つの決められているマニュアル用出口ポート１１８
へのストッカ棚９６上にあるカセット４０の搬送作業指
示をストッカ３６に対して通信ケーブル５８を通じて送
る。これを受けたストッカ３６は、ストッカクレーン８
０を用いて該当のカセット４０をマニュアル用出口ポー
ト１１８へと運び、ストッカ３６の操作パネル１２１に
マニュアル用出口ポート１１８上の該当カセット４０の
取出を許可する表示を行なう。
【０１８９】これを見た作業者は、該当カセット４０を
マニュアル用出口ポート１１８から取出し、取出作業が
完了したことを操作パネル１２１を操作しストッカ３６
に知らせる。これを受けたストッカ３６は出庫作業は完
了したと判断し、その完了報告を上位計算機５０に対し
て通信ケーブル５８を通じて行なう。これらストッカ３
６での作業において、ストッカコントローラ６４へはス
トッカクレーン８０が該当カセット４０をストッカ棚９
６の収納場所から取出したときにその情報を上位計算機
５０に通信ケーブル５８を介して報告する。これを受け
た上位計算機５０は入庫作業時には減算してきたストッ
カ３６のカセット収納数に今度は加算する。カセット４
０を取出した作業者は投入要求を出した処理装置３２、
３４がわからないために上位計算機５０の作業者端末５
６へ向かい、その情報を調べ、その処理装置３２、３４
の該当カセットステージ１７２、１８２へと運ぶ。
【０１９０】このようなストッカ出庫作業制御方法で
は、上位計算機５０はストッカ３６にカセット４０を入
庫する際に減算してきたカセット収納数について、スト
ッカコントローラ６４から報告されるストッカクレーン
８０がストッカ棚９６から該当カセット４０を取出した
ときに報告される情報に基づきそのカセット個数をカセ
ット収納数に加算する。これにより収納場所に空きを発
生させる。このため、ストッカ３６の自動搬送車用入口
ポート８８とストッカ間搬送装置用ポート９８の空きを
情報をトリガとするよりも速く処理装置３２、３４から
ストッカ３６への搬送作業またストッカ３６間の搬送作
業に着手できるようになった。
【０１９１】よって、自動搬送車用入口ポート８８上の
先行するカセット４０がなくなるまで処理装置３２、３
４に発生した処理後カセット４０の自動搬送車３８によ
る搬送作業が着手されないため、処理後カセット４０の
処理装置３２、３４での搬送作業待ち時間が長くなり、
また自動搬送車３８の稼働率は低いにもかかわらず所定
の搬送能力を発揮できないという問題が解消される。
【０１９２】また、ストッカ間搬送装置用ポート９８上
の先行するカセット４０がなくなるまで搬送元ストッカ
３６の後続カセット４０のストッカ間搬送装置４２によ
る搬送作業が着手されないため、後続カセット４０の搬
送元ストッカ３６での搬送作業待ち時間が長くなり、ま
たストッカ間搬送装置４２の稼働率は低いにもかかわら
ず所定の搬送能力を発揮できないという問題が解消され
る。
【０１９３】これにより、ストッカ３６のストッカ棚９
６に物理的な空きが発生するとすぐに処理装置３２、３
４から自動搬送車用入口ポート８８への搬送作業が着手
され、また搬送元ストッカ３６から搬送先ストッカ３６
への搬送作業が着手され処理装置３２、３４や搬送元ス
トッカ３６でのカセット４０の待ち時間を短縮できる等
の効果がある。
【０１９４】上述した上位計算機５０では、ストッカ３
６内の個々のカセット４０の収納場所についての情報を
持たず、ストッカコントローラ６４にその管理を任せて
おり、予め入力手段５４から与えられたストッカ３６の
最大収納カセット数をストッカ容量としてそこから使用
した数を減算することにより数量として収納場所を管理
していた。この他の収納場所を管理する方法を以下に説
明する。
【０１９５】上位計算機５０は、図７に示すように予め
名前をつけられたストッカ３６の収納場所に関する情報
を入力手段５４から与えられるとともに、ストッカ３６
からカセット４０の収納作業完了時にその名前によって
収納場所の報告を受ける。これにより上位計算機５０
は、収納場所にカセット４０がないことでストッカ３６
の収納場所に空きがあることを知ることができる。
【０１９６】また、上位計算機５０は、入庫作業に際し
てカセット４０の収納場所をストッカ３６に指示してお
らず、したがってあくまでも収納場所はストッカコント
ローラ６４が決定していた。そこで、上位計算機５０は
ストッカ３６の収納場所を入庫作業前に自ら決定し、ス
トッカコントローラ６４に指示する態様も考えられる。
その際、ストッカコントローラ６４は、自ら収納場所を
決定せず上位計算機５０から指示された収納場所に該当
のカセット４０を収納する。これにより、上位計算機５
０は、収納場所にカセット４０がないことでストッカ３
６の収納場所に空きがあることを知ることができる。
【０１９７】上位計算機５０は、１つの処理装置３２、
３４に対して使用できる自動搬送車用入口ポート８８を
入力手段５４から複数個指定することができ、またこの
とき合わせて使用順序も設定することもできるようにし
てもよい。たとえば図１に示すような場合に、ある１つ
の処理装置３２、３４に対応する自動搬送車用入口ポー
ト８８の数を２つ設定し、その使用順序を設定する。処
理装置３２からカセット４０の引取要求が上位計算機５
０に通信ケーブル５８を通じて報告されると、上位計算
機５０は複数個ある自動搬送車用入口ポート８８中から
前回使用したものの次の使用順序にある自動搬送車用入
口ポート８８または次の使用順序がない場合には一番目
の使用順序にある自動搬送車用入口ポート８８をそのカ
セット４０の搬送作業に用いるものとして決定する。
【０１９８】このようなストッカ入庫作業制御方法で
は、複数個の自動搬送車用入口ポート８８を１台の処理
装置３２、３４に割付けることができ、それらを予め決
められた順序で割り付けることにより、ほぼ均等に自動
搬送車用入口ポート８８を使用することが可能となっ
た。
【０１９９】よって、処理装置３２、３４ごとに使用で
きる自動搬送車用入口ポート８８が予め１個に決定され
ているため、自動搬送車用入口ポート８８が複数個ある
ような場合、処理装置３２、３４の処理能力および稼働
状況によって自動搬送車用入口ポート８８の使用混み具
合にばらつきが発生してしまうという問題が解消され
る。
【０２００】これにより、処理装置３２、３４のそれぞ
れの処理能力および稼働状況が異なったとしても、それ
ぞれの処理装置３２、３４に対して複数個の自動搬送車
用入口ポート８８をほぼ均等に使用することが可能とな
り、自動搬送車用入口ポート８８の使用混み具合にばら
つきが発生してしまうという問題はなくなる。
【０２０１】さらに好ましくは、上位計算機５０は、１
つの処理装置３２、３４に対し使用できる自動搬送車用
入口ポート８８を入力手段５４から複数個指定すること
ができるとともに、その各ポート８８ごとに自動搬送車
３８に出した搬送作業指示のうち、搬送作業が完了して
いない作業指示の数を記憶しておくデータエリアを有す
るようにしてもよい。この上位計算機５０は処理装置３
２、３４からのカセット４０の引取要求を受けると、そ
の処理装置３２、３４が使用可能な自動搬送車用入口ポ
ート８８を探す。その結果、使用可能な自動搬送車用入
口ポート８８が複数個存在する場合には、上位計算機５
０はそれぞれのポート８８のデータエリアの数を比べ、
小さい方の自動搬送車用入口ポート８８を選ぶ。このポ
ート８８に関するこのデータエリアの値を１加算し、搬
送作業指示を自動搬送車３８に送信する。また、作業が
完了するとデータエリアの値を１減算する。なお、この
作業完了前の搬送作業の数が同一であるポート８８が複
数個ある場合には、上位計算機５０はそれらの中から任
意に１つのポート８８を選ぶ。
【０２０２】このようなストッカ入庫作業制御方法で
は、複数個の自動搬送車用入口ポート８８を１台の処理
装置３２、３４に割付けることができ、それら各々の作
業完了前の作業数が均等となるように新たな自動搬送車
３８への搬送作業指示を行なうことができる。このた
め、ポート８８をほぼ均等に使用することが可能となっ
た。
【０２０３】よって、処理装置３２、３４ごとに使用で
きる自動搬送車用入口ポート８８が予め１個に決定され
ているため、自動搬送車用入口ポート８８が複数個ある
ような場合、処理装置３２、３４のそれぞれの処理能力
および稼働状況によって自動搬送車用入口ポート８８の
使用混み具合にばらつきが発生してしまうという問題が
解消される。
【０２０４】これにより、処理装置３２、３４のそれぞ
れの装置能力および稼働状況が異なったとしても、それ
ぞれの処理装置３２、３４に対して複数個の自動搬送車
用入口ポート８８をほぼ均等に使用することが可能とな
り、自動搬送車用入口ポート８８の使用混み具合にばら
つきが発生してしまうという問題はなくなる。
【０２０５】上述の上位計算機５０は、処理装置３２、
３４からのカセット４０の引取要求がありかつ該当スト
ッカ３６に収納場所さえあれば複数個ある自動搬送車用
入口ポート８８から均等ではあるが１つに決定し搬送作
業指示を自動搬送車３８に送ってしまう。このため、自
動搬送車用入口ポート８８のカセット４０を自動搬送車
用入口受渡しポート１０４に送り出す前詰機８４がたと
えば故障してしまった等の問題が発生した場合でも、上
位計算機５０は、故障を感知できず該当の自動搬送車用
入口ポート８８への搬送作業指示を他のポート８８と同
様に自動搬送車３８へ送ってしまう。
【０２０６】そこで上位計算機５０は、入力手段５４に
より自動搬送車用入口ポート８８の各ポートごとの自動
搬送車３８による作業完了前の作業数を記憶するデータ
エリアを有するとともに、その値の上限値を設定するこ
とができるようにしてもよい。上位計算機５０は自動搬
送車用入口ポート８８への搬送作業指示を自動搬送車３
８へ送る際、そのポートの上記データエリアの数がその
上限値に達している場合にはそのポートを使用するのは
諦め、次候補となる自動搬送車用入口ポート８８の使用
を考える。その結果該当するポートがない場合には使用
可能な自動搬送車用入口ポート８８への搬送作業が完了
することを待つ。
【０２０７】このような上位計算機５０では、各自動搬
送車用入口ポート８８ごとに上限値を設定することがで
き、自動搬送車用入口ポート８８への搬送作業指示を送
る際に作業完了前の作業者がその上限値を超えて送信す
ることはなくなる。よって、前詰機８４の故障等の原因
によって多数の搬送作業指示が自動搬送車３８に溜まっ
てしまうような状況は発生しなくなる。
【０２０８】さらに望ましくは、上位計算機５０は自動
搬送車用入口ポート８８の各ポートごとに使用可・使用
不可を示す装置状況データを有し、このデータは作業者
端末５６より変更可能としてもよい。上位計算機５０は
自動搬送車用入口ポート８８への搬送作業指示を自動搬
送車３８へ送る際、この装置状況データをチェックしそ
のデータが使用不可の場合にはそのポートを使用するの
を諦め、次候補となる自動搬送車用入口ポート８８の使
用を考える。その結果該当するポートがない場合には使
用可能な自動搬送車用入口ポート８８の装置状況データ
が使用可に変更されるのを待つ。
【０２０９】このような上位計算機５０は、各自動搬送
車用入口ポート８８ごとに使用可・使用不可を示す装置
状況データを備え、自動搬送車用入口ポート８８は故障
となった場合等においてそのデータを作業者が作業者端
末５６から使用不可に変更することができる。これによ
り上位計算機５０は故障している自動搬送車用入口ポー
ト８８を検知でき、故障したポート８８への搬送作業指
示を自動搬送車３８へ送信することを止めることができ
る。よって、前詰機８４の故障等の原因によって多数の
搬送作業指示が自動搬送車３８に溜まってしまうような
状況は発生しなくなる。
【０２１０】上述の自動搬送車３８は、上位計算機５０
から、処理装置３２、３４から自動搬送車用入口ポート
８８への搬送作業指示を受けると作業に着手し、カセッ
ト４０を処理装置３２、３４から取込み、自動搬送車用
入口ポート８８へ置こうとする。自動搬送車３８は、カ
セット４０を置く前に自動搬送車用入口ポート８８に先
行するカセット４０が残っているかの確認を行なう。カ
セット４０が残っている場合には異常事態と判断し、直
ちにエラーを上位計算機５０に発報していた。一方、先
行するカセット４０が自動搬送車用入口ポート８８上に
残っていることは起こり得ることである。このため、自
動搬送車３８が異常事態としてエラー発報し搬送作業を
度々中断することが考えられる。
【０２１１】そこで、自動搬送車３８は、カセット４０
を自動搬送車用入口ポート８８に置く作業において、先
行するカセット４０がそこにあってもエラーとせず一定
時間その先行するカセット４０がなくなるのを待ち、な
くなったときに直ちに自動搬送車３８の移載台１５０に
ある搬送作業中のカセット４０の自動搬送車用入口ポー
ト８８への積み降ろし作業に着手するようにしてもよ
い。なお、一定時間たっても先行カセット４０がなくな
らない、すなわち自動搬送車用入口受渡しポート１０４
へ前詰機８４にて送られない場合には異常事態と判断
し、上位計算機５０に対してエラー発報するようにして
もよい。
【０２１２】このような自動搬送車３８は、ストッカ３
６の自動搬送車用入口ポート８８にカセット４０を置く
際に、先行するカセット４０があってもエラーとせず一
定時間そのカセット４０がなくなるのを待ちなくなった
ときに作業に着手する。このため、上位計算機５０は自
動搬送車用入口ポート８８の空きを確認することなく同
ポートへの搬送作業指示を自動搬送車３８に送信するこ
とができる。また、処理装置３２、３４で引取り要求を
出しているカセット４０の搬送作業の待ち時間を減らす
ことができる。
【０２１３】従来の上位計算機５０は、ストッカ３６の
自動搬送車用入口ポート８８の空きを確認してから自動
搬送車３８に処理装置３２、３４から同ポートへの搬送
作業指示を送っている。したがって上記計算機８が自動
搬送車３８に送信可能な搬送作業はこのポートの数に制
限されている。一方、上述の上位計算機５０は、ストッ
カ３６内にカセット４０の収納場所を確保しさえすれば
自動搬送車３８に搬送作業指示を送ってしまう。このた
め、結果として処理装置３２、３４のカセットステージ
１７２、１８２の数に相当する多数の搬送作業指示が自
動搬送車３８に送られる可能性がある。多数の搬送作業
指示を上位計算機５０から自動搬送車３８に送ったとし
ても実質的には作業ができるのは自動搬送車３８の搬送
能力に制限されるため、自動搬送車３８での処理順番待
ちとなってしまう。このため限度を超えた多数の作業指
示を自動搬送車３８に送っても意味がない。一方、自動
搬送車３８は上位計算機５０に比べて信頼性が低く、多
数の作業指示を抱えて故障した場合復旧に相当の時間が
かかってしまうという問題があった。
【０２１４】そこで、上位計算機５０はその入力手段５
４より自動搬送車３８の作業中の搬送作業数の制限値を
指定することができるとともに、作業仕掛数を記憶する
データエリアを有するようにしてもよい。この上位計算
機５０は、自動搬送車３８に搬送作業指示を送る際、こ
のデータエリアに記憶されているデータが設定された制
限値に達していないことを確認してから作業指示を送信
する。制限値に達していない場合には、上記計算機８は
このデータエリアの値を１加算する。その後、作業が完
了するとデータエリアの値を１減算する。また、データ
エリアの値が、制限値に達している場合には、データエ
リアの値が指定された制限値を下回るのを待ってから、
搬送作業指示を送信する。
【０２１５】このような上位計算機５０は、不必要に多
数の搬送作業指示を下位に位置する自動搬送車３８に送
信しない。このため、自動搬送車３８の故障等の原因に
よって多数の搬送作業指示が自動搬送車コントローラ６
０に溜まってしまうような状況は発生しなくなる。
【０２１６】上述のカセット４０のストッカ３６への入
庫制御方法では、作業者がカセット４０をストッカ３６
に入庫する際、カセット４０をマニュアル用入口ポート
１１６に置きストッカ３６の一部である操作パネル１２
１を操作する。この操作によりカセット４０がマニュア
ル用入口ポート１１６に置かれたことを知ったストッカ
３６は、ＩＤ読み書き装置１２０により該当カセット４
０のＩＤカード７２の情報を読取り、そのデータを通信
ケーブル５８を通じて上位計算機５０に報告する。上位
計算機５０はこれによりマニュアル用入口ポート１１６
にカセット４０が運ばれてきたことを知り、その入庫す
るべきカセット４０の収納場所を確保する。上位計算機
５０はカセット４０が収納できないと判断した場合に
は、ストッカ３６へは何の作業指示も送らずストッカ３
６内に収納場所が空くのを待つ。すなわちマニュアル用
入口ポート１１６に置かれたカセット４０はストッカ３
６の収納場所に空きが発生するのをそのポート１１６で
ずっと待つこととなる。収納場所がないとわかっていれ
ば作業者はそのカセット４０の入庫作業を行わずに済
む。またマニュアル用入口ポート１１６とマニュアル用
出口ポート１１８が１つのポートで兼用されているよう
な場合では、そのポートに入庫待ちのカセット４０があ
るために出庫作業ができないという状況が発生してしま
う。
【０２１７】そこで、上位計算機５０は、ストッカ３６
から報告されるカセット４０のマニュアル用入口ポート
１１６への到着報告を受けて、ストッカ３６内でカセッ
ト４０の収納場所を探し、収納場所が確保できなかった
場合にはストッカ３６にその旨連絡し、そのカセット４
０の到着報告がなかったものとしてもよい。一方、これ
を受けたストッカ３６は、自身の操作パネル１２１を通
じて作業者に収納できないことを表示し作業者の操作を
待つようにしてもよい。操作パネル１２１の表示を見た
作業者は、カセット４０をマニュアル用入口ポート１１
６から取出し、取出したことを操作パネル１２１を操作
しストッカ３６に伝える。これを受けたストッカ３６
は、カセット４０が取出されたと判断し、カセット４０
がマニュアル用入口ポート１１６に入れられる前の状態
へと戻る。
【０２１８】このような上位計算機５０では、マニュア
ル用入口ポート１１６に入れられたカセット４０の収納
場所が確保できない場合には、ストッカ３６経由で作業
者にその旨伝えることができる。よって、問題となった
カセット４０をマニュアル用入口ポート１１６に入れる
前の状態に戻すことができ、作業者はそのカセット４０
に対して異なる処理を行なうことができる。またマニュ
アル用入口ポート１１６とマニュアル用出口ポート１１
８が１つのポートで兼用された場合でも、同じ状況で、
カセット４０がそのポートを塞いでしまい、出庫作業が
できないということはない。
【０２１９】上述の上位計算機５０は、処理装置３２、
３４からのカセット４０の引取り要求を受け、ストッカ
３６に収納場所がありさえすれば、自動搬送車３８に対
し、カセット４０の処理装置３２、３４から自動搬送車
用入口ポート８８への搬送作業指示を送ってしまう。ま
た、搬送先ストッカ３６の収納場所に空きがありさえす
れば、ストッカ間搬送装置４２に対して、搬送元ストッ
カ３６に収納されたカセット４０の搬送元ストッカ３６
から搬送先ストッカ３６への搬送作業指示を送ってしま
う。さらに、ストッカ３６からマニュアル用入口ポート
１１６にカセット４０が到着したことが報告されると、
そのストッカ３６の収納場所に空きさえあれば入庫の作
業指示をストッカ３６に送ってしまう。また、上位計算
機５０は、処理装置３２、３４からのカセット４０の投
入要求を受けストッカ３６に処理可能なカセット４０が
収納されてさえいればストッカ３６に出庫の作業指示を
出してしまう。このようなストッカ入庫作業制御方法と
ストッカ出庫作業制御方法では、ストッカ３６、自動搬
送車３８やストッカ間搬送装置４２が故障してしまった
場合、これらの装置が実質的な作業ができないにもかか
わらず多数の搬送作業指示を上位計算機５０がこれらの
装置に送ってしまう。このため、故障の復旧ばかりでな
く、上記計算機５０からこれら装置に送信された搬送作
業指示の復旧に時間がかかってしまうという問題があっ
た。
【０２２０】このため、処理装置３２、３４からストッ
カ３６へのカセット４０の収納作業に着手する際に、上
位計算機５０は関連する処理装置３２、３４、自動搬送
車３８、およびストッカ３６の使用可、不可を示す装置
ステータス情報を持っていないまたは送信前に確認して
いないために、作業開始後関連機器が故障で止まってい
るために該当カセット４０の作業が途中で止まってしま
うという問題の原因になっている。
【０２２１】また、ストッカ３６から処理装置３２、３
４へのカセット４０の収納作業に着手する際に、上位計
算機５０は関連する処理装置３２、３４、自動搬送車３
８、およびストッカ３６の使用可、不可を示す装置ステ
ータス情報を持っていないまたは送信前に確認していな
いために、作業開始後関連機器が故障で止まっているた
めに該当カセット４０の作業が途中で止まってしまうと
いう問題の原因になっている。
【０２２２】さらに、ストッカ３６間のカセット４０の
搬送作業を行なう際に、上位計算機５０は関連する搬送
先ストッカ３６、搬送元ストッカ３６、およびストッカ
間搬送装置４２の使用可、不可を示す装置ステータス情
報を持っていないまたは送信前に確認していないため
に、作業開始後関連機器が故障で止まっているために該
当カセット４０の作業が途中で止まってしまうという問
題の原因になっている。
【０２２３】さらに、マニュアル用入口ポート１１６か
らの入庫作業とマニュアル用出口ポート１１８からの出
庫作業とに着手する際に、上記計算機５０はストッカ３
６の使用可、不可を示す装置ステータス情報を持ってい
ない、または作業指示送信前に確認していないために、
作業開始後ストッカ３６が故障で止まっているために該
当カセット４０の作業が途中で止まってしまうという問
題の原因になっている。
【０２２４】そこで、ストッカ入庫作業制御方法および
ストッカ出庫作業制御方法において、上位計算機５０
は、作業者端末５６から変更可能なストッカ３６、自動
搬送車３８およびストッカ間搬送装置４２のそれぞれの
使用可能、使用不可能を示す装置状況データを有するよ
うにしても良い。この上位計算機５０は、処理装置３
２、３４から自動搬送車用入口ポート８８へのカセット
４０の搬送作業指示を自動搬送車３８へ送る際には、自
動搬送車３８とストッカ３６のそれぞれのこの装置状況
データが使用可であることを確認し入庫作業指示を送信
する。また搬送元ストッカ３６から搬送先ストッカ３６
へのカセット４０の搬送作業指示をストッカ間搬送装置
４２に送る際には、搬送元ストッカ３６、ストッカ間搬
送装置４２および搬送先ストッカ３６のそれぞれの装置
状況データが使用可であることを確認し入庫作業指示を
送信する。マニュアル用入口ポート１１６から入庫の作
業指示をストッカ３６に送る際には、ストッカ３６だけ
の装置状況データが使用可であることを確認し入庫作業
指示を送信する。これら装置状況データの確認で１つで
も使用不可のものがあれば、この上位計算機５０はそれ
が使用可となるのを待つ。また出庫作業に関連しても入
庫作業と同様にして、上位計算機５０は、ストッカ３６
から処理装置３２、３４への搬送作業の際は、ストッカ
３６と自動搬送車３８のそれぞれの装置状況データが使
用可であることを確認してから、自動搬送車用出口ポー
ト８６への出庫作業指示をストッカ３６に対して送る。
またマニュアル用出口ポート１１８への出庫作業指示を
ストッカ３６に送る際にはストッカ３６だけの装置状況
データが使用可であることを確認し出庫作業指示を送信
する。
【０２２５】このような上位計算機５０は、ストッカ３
６、自動搬送車３８およびストッカ間搬送装置４２に搬
送作業指示を送る際、その最終行先であるストッカ３６
の収納場所または収納装置までの搬送作業に関連するす
べての搬送装置の装置状況データが使用可であることを
確認した後、搬送作業指示をそれらの装置へ送信する。
このため、故障により使用できない搬送装置に多数の搬
送作業指示が溜まってしまうような状況は発生しない。
また、途中で作業が止まってしまうようなことも起こら
ない。
【０２２６】上述した、搬送作業に関連する全ての装置
が使用可能であることを確認した上で搬送作業指示を送
信するストッカ入庫作業制御方法では、マニュアル用入
口ポート１１６からカセット４０を入庫しようとした
際、ストッカ３６の装置状況データが使用不可である場
合には作業待ち状態となってしまい、作業者がそのカセ
ット４０の入庫作業を取り止めることができないという
問題がある。
【０２２７】そこで、上位計算機５０はストッカ３６か
ら報告されるカセット４０のマニュアル用入口ポート１
１６への到着報告を受けストッカ３６の装置状況データ
を確認した際に、使用不可の場合にはストッカ３６にそ
の旨連絡しそのカセット４０の到着報告をなかったもの
と考えるようにしてもよい。一方、これを受けたストッ
カ３６は、自身の操作パネル１２１を通じて作業者に収
納できないことを表示し作業者の操作を待つようにして
もよい。操作パネル１２１の表示を見た作業者は、カセ
ット４０をマニュアル用入口ポート１１６から取出し、
取出したことを操作パネル１２１を操作しストッカ３６
に伝える。これを受けたストッカ３６は、カセット４０
が取出されたと判断し、カセット４０がマニュアル用入
口ポート１１６に入れられる前の状態へと戻る。
【０２２８】このように本実施の形態における上位計算
機５０は、ストッカ３６の装置状況データが使用不可で
あるためにマニュアル用入口ポート１１６のカセット４
０を収納することができない場合には、ストッカ３６経
由で作業者にその旨伝えることができる。また、そのカ
セット４０をマニュアル用入口ポート１１６に入れる前
の状態に戻すことができる。このため、作業者はそのカ
セット４０に対する異なる処理を行なうことができる。
【０２２９】ストッカ３６のマニュアル用入口ポート１
１６は、従来例のように予め入力手段５４から使用可能
な処理装置３２、３４をデータとして与えられる必要は
なく、処理装置３２、３４に無関係に使用することがで
きるようにしてもよい。またそのポートは作業者の作業
性がよいことから決められた２個のカセット４０を一度
に置くことができるようにしてもよい。作業者がカセッ
ト４０をストッカ３６に収納させようとするとき、まず
カセット４０をマニュアル用入口ポート１１６に最大２
個のカセット４０を置き、ストッカ３６の一部である操
作パネル１２１を操作する。このとき作業者はこれらカ
セット４０の処理を完了した処理装置３２、３４や次の
処理を行なう処理装置３２、３４を気にすることなく同
ポートに入れることができる。この操作によりカセット
４０がマニュアル用入口ポート１１６に置かれたことを
知ったストッカ３６は、ＩＤカード読み書き装置１２０
により該当カセット４０のＩＤカード７２の情報を読取
り、そのデータを通信ケーブル５８を通じて上位計算機
５０に報告する。
【０２３０】上位計算機５０は従来のようにこれらカセ
ット４０がこのポートから入庫することができるかの確
認を行なわず、収納場所を確保した後ストッカ３６に対
してこのカセット４０の入庫の作業指示を送る。通信ケ
ーブル５８を通じて送られてきたこの入庫作業指示に従
い、ストッカコントローラ６４はストッカ棚９６上の収
納場所を確保した後作業に着手する。
【０２３１】入庫作業に着手したストッカ３６は、スト
ッカクレーン８０を用いてマニュアル用入口ポート１１
６上の該当カセット４０を確保されたストッカ棚９６上
の収納場所へと第１のカセット４０から第２のカセット
４０と順に運ぶ。指示された作業が完了したストッカ３
６は、上位計算機５０に対して作業完了報告を行なう。
これにて作業者による入庫作業は完了したことになる。
【０２３２】このようにストッカ３６のマニュアル用入
口ポート１１６に載置可能なカセット４０の個数を作業
者の作業性がよい２個とするとともに上位計算機５０に
おいてこのポートごとに使用可能な処理装置３２、３４
を設定する必要をなくしたことにより、作業者のストッ
カ３６へのカセット４０の入庫作業の作業性がよくなっ
た。
【０２３３】よって、処理装置３２、３４ごとに使用で
きるマニュアル用入口ポート１１６が決定されており、
マニュアル用入口ポート１１６が複数個あるような場
合、処理装置３２、３４それぞれの装置能力および稼働
状況によってマニュアル用入口ポート１１６の使用混み
具合にばらつきが発生してしまうという問題が解消され
る。
【０２３４】これにより、空いているマニュアル用入口
ポート１１６を作業者の自由な選択で使用することがで
きるようになった。
【０２３５】上述の上位計算機５０は、ストッカ３６内
の個々のカセット４０の収納場所についての情報は持た
ない。このためストッカコントローラ６４にその管理を
任せている。さらに予め入力手段５４から与えられたス
トッカ３６の最大収納カセット数に基づいて、出庫した
カセット４０の数をストッカ容量に加算する、および入
庫したカセット４０の数をストッカ容量から減算するこ
とにより収納場所を管理していた。この他の収納場所を
管理する方法を以下に説明する。
【０２３６】上位計算機５０は、図７に示すように予め
名前をつけられたストッカ３６の収納場所に関する情報
を入力手段５４から与えられる。それとともに、ストッ
カ３６からカセット４０の収納作業完了時にその名前に
よって収納場所の報告を受ける。これにより上位計算機
５０は、ストッカコントローラ６４から報告されるスト
ッカクレーン８０がストッカ棚９６から該当カセット４
０を取出したときに報告される情報に基づき、そのカセ
ット４０が収納されていた収納場所に空きを発生させる
ことができる。
【０２３７】上位計算機５０は、さらに１つの処理装置
３２、３４に対して使用できる自動搬送車用出口ポート
８６を入力手段５４から複数個指定することができ、ま
たこのとき合わせて使用順序も設定することができるよ
うにしてもよい。たとえば図１に示すような場合、処理
装置３２、３４は２つの自動搬送車用出口ポート８６を
使用可能とする。処理装置３２、３４からカセット４０
の投入要求が上位計算機５０に通信ケーブル５８を通じ
て送信される。上位計算機５０は複数個ある自動搬送車
用出口ポート８６中から前回使用したものの次の使用順
序にある自動搬送車用出口ポート８６または次の使用順
次にある自動搬送車用出口ポート８６がない場合には、
一番目の自動搬送車用出口ポート８８を、そのカセット
４０の搬送作業に用いるものとして決定する。
【０２３８】このようなストッカ出庫作業制御方法で
は、１台の処理装置３２、３４に対して、複数個の自動
搬送車用入口ポート８８を割付けることができる。それ
らポート８８を予め決められた順序を繰返すことにより
ほぼ均等に使用することが可能となった。これにより従
来での下記問題が解消される。
【０２３９】すなわち、処理装置３２、３４ごとに使用
できる自動搬送車用出口ポート８６が１つに予め決定さ
れており、自動搬送車用出口ポート８６が複数個あるよ
うな場合、処理装置３２、３４のそれぞれの処理能力お
よび稼働状況によって自動搬送車用出口ポート８６の使
用混み具合にばらつきが発生してしまうという問題があ
ったが、この問題が解消され、処理装置３２、３４のそ
れぞれの処理能力および稼働状況が異なったとしても、
それぞれの処理装置３２、３４に対して複数個の自動搬
送車用出口ポート８６をほぼ均等に使用することが可能
となり自動搬送車用出口ポート８６の使用混み具合にば
らつきが発生してしまうという問題はなくなる。
【０２４０】好ましくは、上位計算機５０は、さらに１
つの処理装置３２、３４に対して使用できる自動搬送車
用出口ポート８６を入力手段５４から複数個指定するこ
とができるとともに、その各ポートごとにストッカ３６
に出した出庫作業指示のうち、完了していない作業指示
の数を記憶しておくデータ領域を有するようにしてもよ
い。この上位計算機５０は処理装置３２、３４からのカ
セットの投入要求を受けると、その処理装置３２、３４
が使用可能な自動搬送車用出口ポート８６を探す。その
結果使用可能な自動搬送車用出口ポート８６が複数個存
在する場合には、上位計算機５０は前述のそれぞれのポ
ートのデータエリアの値を比べ、その値が小さい方の自
動搬送車用出口ポート８６を選ぶ。選択されたポート８
６に関するデータエリアの値を１加算し搬送作業指示を
自動搬送車３８に送信する。また、作業が完了するとそ
の値を１減算する。なお、この作業完了前の出庫作業の
数が同一のものが複数個ある場合には、上位計算機５０
はポート８６の中から任意に１つ選び、搬送作業指示を
送信する。
【０２４１】このようなストッカ出庫作業制御方法で
は、複数個の自動搬送車用出口ポート８６を１つの処理
装置３２、３４に割付けることができる。またポート８
６の作業完了前の作業数が均等となるように新たなスト
ッカ３６への出庫作業指示を送る。このため、ポート８
６をほぼ均等に使用することが可能となった。
【０２４２】よって、処理装置３２、３４ごとに使用で
きる自動搬送車用出口ポート８６が１つに予め決定され
ており、自動搬送車用出口ポート８６が複数個あるよう
な場合、処理装置３２、３４のそれぞれの装置能力およ
び稼働状況によって自動搬送車用出口ポート８６の使用
混み具合にばらつきが発生してしまうという問題が解消
される。
【０２４３】これにより、処理装置３２、３４のそれぞ
れの装置能力および稼働状況が異なったとしても、それ
ぞれの処理装置３２、３４に対して複数個の自動搬送車
用出口ポート８６をほぼ均等に使用することが可能とな
る。よって、自動搬送車用出口ポート８６の使用混み具
合にばらつきが発生してしまうという問題はなくなる。
【０２４４】上述のストッカ出庫作業制御方法では、処
理装置３２、３４からのカセット４０の投入要求があっ
た場合、ストッカ３６に処理可能なカセット４０が１つ
でもあれば、上位計算機５０は、複数個ある自動搬送車
用出口ポート８６から均等に１つのポート８６を決定
し、出庫作業指示をストッカ３６に送る。自動搬送車用
出口受渡しポート１００から自動搬送車用出口ポート８
６にカセット４０を送り出す前詰機８４が故障してしま
った等の問題が発生した場合でも、上位計算機５０は、
故障を感知できず、該当の自動搬送車用出口ポート８６
からのカセット４０の出庫作業指示を自動搬送車３８へ
送ってしまう。
【０２４５】そこで、上位計算機５０は入力手段５４に
より自動搬送車用出口ポート８６の各ポートごとのスト
ッカ３６による出庫作業の作業完了前の作業数を記憶す
るデータエリアを有するとともにその値の上限値を設定
することができるようにしてもよい。
【０２４６】上位計算機５０は自動搬送車用出口ポート
８６への出庫作業指示をストッカ３６へ送る際、そのデ
ータエリアの値がその上限値に達している場合にはその
ポートを使用するのは諦め、次候補となる自動搬送車用
出口ポート８６の使用を考える。その結果該当するポー
トがない場合には使用可能な自動搬送車用出口ポート８
６への搬送作業が完了するのを待つ。
【０２４７】このような上位計算機５０は、各自動搬送
車用出口ポート８６ごとに作業完了前の作業数の上限値
を設定することができる。このため、自動搬送車用出口
ポート８６への出庫作業指示を送る際、作業完了前の作
業数がその上限値を超えることはなくなり、前詰機８４
の故障等の原因によって多数の出庫作業指示がストッカ
３６に溜まってしまうような状況は発生しなくなる。
【０２４８】望ましくは、上位計算機５０は、自動搬送
車用出口ポート８６の各ポートごとに使用可・使用不可
を示す装置状況データを有し、このデータを作業者端末
５６により変更可能としてもよい。上位計算機５０は自
動搬送車用出口ポート８６への搬送作業指示をストッカ
３６へ送る際、この装置状況データをチェックし、その
データが使用不可の場合には、そのポートを使用するの
は諦め、次候補となる自動搬送車用出口ポート８６の使
用を考える。その結果該当するポートがない場合には使
用可能な自動搬送車用出口ポート８６の装置状況データ
が使用可に変更されるのを待つ。
【０２４９】このような上位計算機５０は、各自動搬送
車用出口ポート８６ごとに使用可・使用不可を示す装置
状況データを備え、自動搬送車用出口ポート８６が故障
となったときにはそのデータを作業者が作業者端末５６
から使用不可に変更することができる。これにより上位
計算機５０は故障している自動搬送車用出口ポート８６
を検知しそのポートへの出庫作業指示をストッカ３６へ
送信することを止めることができ、前詰機８４の故障等
の原因によって多数の出庫作業指示がストッカ３６に溜
まってしまうような状況は発生しなくなる。
【０２５０】上位計算機５０は、処理装置３２、３４か
らのカセット４０の投入要求を受けてストッカ３６を用
いた出庫作業に移り、そのストッカ３６より作業開始か
ら完了までに報告される作業進捗を示す情報に基づき、
出庫作業完了前にもかかわらず自動搬送車３８に該当の
自動搬送車用出口ポート８６から処理装置３２、３４へ
の搬送作業指示を送るようにしてもよい。
【０２５１】このような上位計算機５０は、処理装置３
２、３４からのカセット４０の投入要求を受けて自動搬
送車用出口ポート８６への出庫作業指示をストッカ３６
に送る。それとともに出庫作業が完了する前に、出庫作
業中のカセット４０の自動搬送車用出口ポート８６から
処理装置３２、３４への搬送作業指示を自動搬送車３８
に送ることができる。よって、ストッカ３６での出庫作
業に平行して自動搬送車３８の回送作業、すなわち自動
搬送車３８の待機場所から搬送元への移動作業を行なわ
せることができる。
【０２５２】よって、自動搬送車用出口ポート８６への
出庫作業の完了後、同ポート８６から処理装置３２、３
４への搬送作業指示を自動搬送車３８へ送る。このた
め、自動搬送車３８が待機場所から自動搬送車用出口ポ
ート８６へ来る間、カセット４０が同ポート８６で待た
されるという問題が解消される。
【０２５３】これにより、カセット４０の自動搬送車用
出口ポート８６から処理装置３２、３４への搬送作業時
間を短縮することができる。
【０２５４】従来の自動搬送車３８は、カセット４０の
自動搬送車用出口ポート８６から処理装置３２、３４へ
の搬送作業指示を上位計算機５０から受けると、作業に
着手し待機場所からストッカ３６の指定の自動搬送車用
出口ポート８６前までの移動作業を行なう。そして、自
動搬送車用出口ポート８６上のカセット４０を取込もう
とする。カセット４０を取込む前に、自動搬送車３８は
自動搬送車用出口ポート８６にカセット４０が載ってい
るかの確認を行なう。カセット４０が載っていない場合
には異常事態と判断し、直ちにエラー発報を上位計算機
５０に上げていた。
【０２５５】一方、上述したカセット４０の自動搬送車
用出口ポート８６への出庫作業完了前に自動搬送車３８
に作業指示を送信する場合を考える。この場合、自動搬
送車３８に従来のものを適用した場合、自動搬送車３８
が自動搬送車用出口ポート８６へ到着したとき、カセッ
ト４０が自動搬送車用出口ポート８６上に載っていない
ことは起こり得ることである。このため、自動搬送車３
８が異常事態としてエラー発報し、搬送作業を度々中断
させることが考えられ大きな問題であった。
【０２５６】そこで、自動搬送車３８は、上位計算機５
０から送られてくるストッカ３６の自動搬送車用出口ポ
ート８６から処理装置３２、３４への搬送作業指示を受
信して作業に着手し、従来と同様にして待機場所から搬
送元である自動搬送車用出口ポート８６へ移動し同ポー
ト上のカセット４０を取込む際、該当のカセット４０が
そこになくてもエラーとせず一定時間カセット４０がそ
こに現れるのを待つようにしてもよい。一定時間内に、
カセット４０が現れたときに、直ちに自動搬送車３８の
移載台１５０に、自動搬送車用出口ポート８６上のカセ
ット４０を積込む作業に着手する。なお、一定時間経っ
ても該当カセット４０が現われない場合、すなわち自動
搬送車用出口受渡しポート１００からカセット４０が前
詰機８４によって送られてこない場合には、異常事態と
判断し上位計算機５０にエラー発報する。
【０２５７】このような自動搬送車３８はストッカ３６
の自動搬送車用出口ポート８６からカセット４０を取込
む際、該当のカセット４０がなくてもエラーとせず、一
定時間そのカセット４０が現れるのを待つ。一定時間内
にカセット４０が現れた場合、カセット４０の搬送作業
に着手する。このため、上記計算機８は自動搬送車用出
口ポート８６へのカセット４０の出庫作業が完了する前
に、同ポート８６から処理装置３２、３４への搬送作業
指示を自動搬送車３８に送信することができ、投入要求
を出している処理装置３２、３４の待ち時間を減らすこ
とができる。
【０２５８】上述の上位計算機５０は、自動搬送車３８
に対して、処理装置３２、３４から自動搬送車用入口ポ
ート８８へのカセット４０の搬送作業指示を送る。この
作業指示を受けた自動搬送車３８は搬送作業に着手し、
処理装置３２、３４のカセットステージ１７２、１８２
からカセット４０を取込み、目的の自動搬送車用入口ポ
ート８８へカセット４０を運ぶ。処理装置３２、３４は
自動搬送車３８によりカセット４０が自身のカセットス
テージ１７２、１８２から取出されたときに、カセット
４０の投入要求を上位計算機５０に送る。
【０２５９】これを受けた上位計算機５０は、処理でき
るカセット４０をストッカ３６から探し出し、自動搬送
車用出口ポート８６への出庫作業をストッカ３６に行な
わせる。続いて自動搬送車３８に対し、自動搬送車用出
口ポート８６から処理装置３２、３４へのカセット４０
の搬送作業指示を送り、搬送作業を行なわせる。図８を
参照して説明したように、自動搬送車３８には２個以上
のカセット移載台１５０がある。自動搬送車３８は、処
理装置３２、３４へ供給するカセット４０をカセット移
載台１５０に載せて、処理装置３２、３４へ移動し、カ
セットステージ１７２、１８２上にある引取り要求のあ
ったカセット４０を空いているカセット移載台１５０に
載せる。自動搬送車３８は、カセット移載台１５０上に
載った供給するべきカセット４０を、今空いたカセット
ステージ１７２、１８２にも置くことができる。それに
もかかわらず、上位計算機５０は処理装置３２、３４か
ら自動搬送車用入口ポート８８への搬送作業指示と自動
搬送車用出口ポート８６から処理装置３２、３４への搬
送作業指示とをそれぞれ別個に自動搬送車３８に送り、
カセット４０を運ばせていた。
【０２６０】この点を改善するため、上位計算機５０に
以下のような処理をさせるようにしてもよい。上位計算
機５０は、処理装置３２、３４からのカセット４０の引
取り要求を受けると、ストッカ３６に処理可能なカセッ
ト４０を探し出す。上位計算機５０は、自動搬送車３８
へ処理装置３２、３４から自動搬送車用入口ポート８８
への単独の搬送作業指示を送ることはしない。まず、上
位計算機５０は、ストッカ３６に対し、処理可能なカセ
ット４０の自動搬送車用出口ポート８６への出庫作業指
示を送る。上位計算機５０は、出庫作業完了報告を待っ
て、処理装置３２、３４から自動搬送車用入口ポート８
８への搬送作業指示と自動搬送車用出口ポート８６から
処理装置３２、３４への搬送作業指示とを１つの搬送作
業指示として自動搬送車３８へ送る。
【０２６１】このように２個の搬送作業が組込まれた１
つの搬送作業指示を受信した自動搬送車コントローラ６
０は、まずストッカ３６の自動搬送車用出口ポート８６
に自動搬送車３８を向かわせ、そのポート上のカセット
４０をそのアーム１４４、ハンド１４６、ハンド爪１４
８を駆使して移載台１５０に置く。その後、自動搬送車
３８は、処理装置３２、３４に向かい、処理装置３２、
３４に到着すると、移載台１５０上のカセット４０はそ
のままにしておき、まずカセットステージ１７２、１８
２上のカセット４０を先程と同様にしてアーム１４４、
ハンド１４６、ハンド爪１４８を駆使して、空いている
移載台１５０に置く。その作業が完了すると、先程自動
搬送車用出口ポート８６から取込み、移載台１５０上に
載せてあるカセット４０を、同じカセットステージ１７
２、１８２上に置く。それが完了すると、自動搬送車コ
ントローラ６０は、ストッカ３６の自動搬送車用入口ポ
ート８８へと台車１４０を移動させ、到着すると移載台
１５０にあるカセット４０を自動搬送車用入口ポート８
８へ積み降ろし、一連の作業を完了する。
【０２６２】自動搬送車コントローラ６０は、処理装置
３２、３４にカセット４０を置いた際、その旨を上位計
算機５０に報告する。これを受けて上位計算機５０はカ
セット４０が処理装置３２、３４に到着したことを知
り、処理開始の作業指示を通信ケーブル５８を通じて処
理装置３２、３４に指示する。
【０２６３】このように上位計算機５０が、処理装置３
２、３４からのカセット４０の引取り要求により、スト
ッカ３６に収納されている処理可能なカセット４０を探
し出し、それを１対とする１つの自動搬送車３８への搬
送作業指示を送り自動搬送車３８に指示できる。またこ
れを受信した自動搬送車３８は自動搬送車用出口ポート
８６上のカセット４０の取込み作業、処理装置３２、３
４上のカセット４０の取込み作業、移載台１５０から処
理前カセット４０の処理装置３２、３４への積み降ろし
作業、移載台１５０から処理後カセット４０の自動搬送
車用入口ポート５ｅへの積み降ろし作業の順で一連の作
業を行なう。これにより自動搬送車３８は、処理装置３
２、３４から自動搬送車用入口ポート８８の搬送作業と
自動搬送車用出口ポート８６から処理装置３２、３４の
搬送作業とをそれぞれ別個に行なう場合に比べて、搬送
作業時間を短縮することが可能となり自動搬送車３８の
稼働率を下げるとともに、処理装置３２、３４へのカセ
ット４０の供給時間を短縮することができる。
【０２６４】上位計算機５０は、さらに１つの処理装置
３２、３４に対して使用できるマニュアル用出口ポート
１１８を入力手段５４から複数個指定することができ、
またこのとき併せて使用順序も設定することができるよ
うにしてもよい。処理装置３２、３４は、２つのマニュ
アル用出口ポート１１８を使用できるものとしてもよ
い。処理装置３２、３４からカセット４０の投入要求が
上位計算機５０に通信ケーブル５８を通じて送信される
と、上位計算機５０は複数個あるマニュアル用出口ポー
ト１１８中から前回使用したものの次の使用順序にある
マニュアル用出口ポート１１８を選択し、または次の使
用順序がない場合には最初のマニュアル用出口ポート１
１８を選択し、そのカセット４０の搬送作業に用いるも
のとして決定する。
【０２６５】このようなストッカ出庫作業制御方法では
複数個のマニュアル用出口ポート１１８を１台の処理装
置３２、３４に割付けることができる。マニュアル用出
口ポート１１８は、予め決められた順序を繰返すことに
よってほぼ均等に使用されることが可能となった。
【０２６６】よって、処理装置３２、３４ごとに使用で
きるマニュアル用出口ポート１１８が決定されており、
マニュアル用出口ポート１１８が複数個あるような場
合、処理装置３２、３４それぞれの装置能力および稼働
条件によってマニュアル用出口ポート１１８の使用混み
具合にばらつきが発生してしまうという問題が解消され
る。
【０２６７】これにより、処理装置３２、３４のそれぞ
れの処理能力および稼働状況が異なったとしても、それ
ぞれの処理装置３２、３４に対して複数個のマニュアル
用出口ポート１１８をほぼ均等に使用することが可能と
なり、マニュアル用出口ポート１１８の使用混み具体に
ばらつきが発生してしまうという問題はなくなる。
【０２６８】望ましくは、上位計算機５０は、さらに１
つの処理装置３２、３４に対して使用できるマニュアル
用出口ポート１１８を入力手段５４から複数個指定する
ことができるとともに、ポート１１８ごとにストッカ３
６に出した出庫作業指示のうち、完了していない作業指
示の数を記憶しておくデータエリアを有するようにして
もよい。
【０２６９】この上位計算機５０は、処理装置３２、３
４からのカセットの投入要求を受けると、その処理装置
３２、３４が使用可能なマニュアル用出口ポート１１８
を探す。その結果、使用可能なマニュアル用出口ポート
１１８が複数個存在する場合には、上位計算機５０は、
それぞれのポート１１８のデータエリアに格納された値
を比べ、最も小さい値に対応するマニュアル用出口ポー
ト１１８を選ぶ。上位計算機５０は、このポートデータ
エリアの値を１加算し、搬送作業指示をストッカ３６に
送信する、また、上位計算機５０は、作業が完了すると
その値を１減算する。なお、ポートデータエリアの値の
うち、最も小さい値が複数個ある場合には、上位計算機
５０は、それらの値に対するポート１１８を任意に選
ぶ。
【０２７０】このようなストッカ出庫作業制御方法で
は、上位計算機５０は、複数個のマニュアル用出口ポー
ト１１８を１台の処理装置３２、３４に割付けることが
できる。また、上位計算機５０は、それら各々の作業完
了前の作業数が均等なるように新たなストッカ３６への
出庫作業指示を送る。このため、ポート１１８をほぼ均
等に使用することが可能となった。
【０２７１】よって、処理装置３２、３４ごとに使用で
きるマニュアル用出口ポート１１８が決定されており、
マニュアル用出口ポート１１８が複数個あるような場
合、処理装置３２、３４それぞれの装置能力および稼働
状況によってマニュアル用出口ポート１１８の使用混み
具合にばらつきが発生してしまうという問題が解消され
る。
【０２７２】これにより、処理装置３２、３４のそれぞ
れの装置能力および稼働状況が異なったとしても、それ
ぞれの処理装置３２、３４に対して複数個のマニュアル
用出口ポート１１８をほぼ均等に使用することが可能と
なり、マニュアル用出口ポート１１８の使用混み具合に
ばらつきが発生してしまうという問題はなくなる。
【０２７３】ストッカ３６は、上位計算機５０からの自
動搬送車用出口ポート８６やマニュアル用出口ポート１
１８へのカセット４０の出庫命令を通信ケーブル５８を
介して受けると、その搬送作業に着手するとともに作業
開始時、ストッカクレーン８０が該当のカセット４０を
ストッカ棚９６から取出したときおよび作業完了時のそ
れぞれについて作業状況を上位計算機５０に通信ケーブ
ル５８を通じて報告するようにしてもよい。またそのス
トッカ３６は、ストッカ間搬送装置コントローラ６６か
ら通信ケーブル５８を通じて送られてくるストッカ間搬
送装置用ポート９８へのカセット４０の移動作業指示に
対しても、作業開始時、ストッカクレーン８０が該当の
カセット４０をストッカ棚９６から取出したとき、およ
び作業完了時のそれぞれについて作業状況をストッカ間
搬送装置コントローラ６６に通信ケーブル５８を通じて
報告するようにしてもよい。
【０２７４】これを受けたストッカ間搬送装置コントロ
ーラ６６は、上位計算機５０に通信ケーブル５８を通じ
てストッカ間搬送作業指示に対する作業状況報告をす
る。上位計算機５０は、作業状況報告を受け、ストッカ
クレーン８０がカセット４０をストッカ棚９６から取出
したことを示す作業状況報告がくるまでは、同一ポート
を経由する出庫作業指示およびストッカ間搬送作業指示
をストッカ３６およびストッカ間搬送装置４２に送らな
い。
【０２７５】このようにストッカ３６とストッカ間搬送
装置４２に上位計算機５０から与えられる作業に関し
て、ストッカ３６は、ストッカクレーン８０が該当のカ
セット４０をストッカ棚９６から取出したことを示す状
況を報告する。加えて、上位計算機５０は、ストッカク
レーン８０が該当のカセット４０をストッカ棚９６から
取出したことを示す状況報告がくるまでは、同一ポート
を経由する出庫作業指示およびストッカ間搬送作業指示
をストッカ３６およびストッカ間搬送装置４２に送らな
い。これにより、上位計算機５０がストッカ３６および
ストッカ間搬送装置に送る作業指示の数が多くならない
ことと、ストッカ３６およびストッカ間搬送装置４２が
作業待ちで遊んでしまわないこととを両立させた。
【０２７６】これにより、ストッカ３６とストッカ間搬
送装置４２が十分な搬送能力があるにもかかわらず、上
位計算機５０から作業指示がこないために目標とする作
業回数をこなすことができないという問題が解消され
る。また、上位計算機５０がストッカ３６およびストッ
カ間搬送装置４２の作業状況に関係なく多数の作業指示
を送ってしまい、ストッカ３６およびストッカ間搬送装
置４２が故障したときにその復旧に時間がかかってしま
うという問題が解消される。
【０２７７】上述の上位計算機５０は、ストッカ３６の
収納場所の空きを知るためストッカ３６のカセット４０
の仕掛状況を示すデータを有している。しかし、このデ
ータが、ストッカコントローラ６４が有する実際のカセ
ット４０の仕掛データと異なることが、上位計算機５０
とストッカコントローラ６４の通信回線不良、または上
位計算機５０のシステムダウンによるデータの喪失等に
より発生することが考えられる。このような場合、上位
計算機５０はストッカ３６にカセット収納する空き場所
があると考える。このため、上位計算機５０は、処理装
置３２、３４からカセット４０の引取り要求を受け、自
動搬送車３８に処理装置３２、３４から自動搬送車用入
口ポート８８へ該当カセット４０を運ばせる。そしてそ
の作業が完了すると、上位計算機５０は、そのカセット
４０の入庫作業指示をストッカ３６に送る。しかし、ス
トッカコントローラ６４が管理する実際のストッカ３６
の収納場所については空きがないため自動搬送車用入口
ポート８８上のカセット４０の収納ができず、作業が止
まってしまうという状況が発生してしまう。同様な状況
がカセット４０のストッカ間搬送作業についても起こる
ことが考えられる。その場合、カセット４０がストッカ
間搬送装置用ポート９８に到着するが、カセット４０の
収納場所がないためそのまま作業が止まってしまう。ま
た、マニュアル用入口ポート１１６上にカセット４０が
ある場合、上位計算機５０は、ストッカ３６内に空き場
所があると考え、入庫の作業指示をストッカ３６に送る
が、実際には空き場所がないため作業が止まってしまう
という状況が発生する。逆に実際にはストッカ３６に空
き場所があるにもかかわらず、上位計算機５０はストッ
カ３６は収納されたカセット４０で満杯であると判断
し、入庫に関連する作業に着手できないということも起
こり得る。
【０２７８】このような問題が発生した場合、上記計算
機８が管理するストッカ３６内のカセット４０の仕掛デ
ータとストッカコントローラ６４が管理するその仕掛デ
ータの食い違いを速やかに見つけることがこの問題によ
るストッカ３６の関連する作業の停止時間を短くするた
めに必要不可欠である。
【０２７９】そこで上位計算機５０は、作業者による作
業者端末５６からの指示を受け、指示されたストッカコ
ントローラ６４に対して、ストッカ３６内に収納されて
いるすべてのカセット４０のＩＤデータを報告させる。
この命令を通信ケーブル５８を通じてストッカコントロ
ーラ６４に送信する。これを受けたストッカコントロー
ラ６４は、自身の持つカセット４０の仕掛データをすべ
て通信ケーブル５８を通じて上位計算機５０に報告す
る。返信を受けた上位計算機５０は、自身の持つ該当ス
トッカ３６に収納されているカセット４０のＩＤデータ
とストッカコントローラ６４から報告されたデータとの
比較照合を行ない、異なるものについては前記作業者端
末５６に表示し、作業者に知らせる。
【０２８０】このように本実施の形態における上位計算
機５０は、自動搬送車用入口ポート８８、ストッカ間搬
送装置用ポート９８、またはマニュアル用入口ポート１
１６上にカセット４０が停止し入庫作業が実行されない
という問題、またストッカ３６に収納場所があるにもか
かわらず入庫作業に関する作業が着手されない等の問題
が発生したときに、上位計算機５０が持つストッカ３６
に収納されているカセット４０のＩＤデータとストッカ
コントローラ６４が有する実際に収納されているカセッ
ト４０のＩＤデータとの比較照合を作業者端末５６から
の作業者による指示に従い行ない。また、その相違点を
作業者端末５６に表示し、作業者にどこに問題があるか
を知らせることができる。その結果、作業者は適当な処
置を講じ、上位計算機５０とストッカコントローラ６４
のストッカ３６に収納されているカセット４０のＩＤデ
ータを併せ混み、前述の作業が停止している状況を回復
させることができる。
【０２８１】また、上位計算機５０はストッカコントロ
ーラ６４に問合せを送信する際、１つのストッカを一括
で問合せることも可能であるが、データ量が多い場合等
ではたとえば図７に示すＳＴＫ０１から０４のようにス
トッカユニット単位で問合せを行なうことも可能であ
る。
【０２８２】上述の上位計算機５０は作業者からの作業
者端末５６よりの指示に従い、ストッカコントローラ６
４に対してストッカ３６に収納されているカセット４０
のＩＤデータを問合せる。そのＩＤデータと自身が持つ
ストッカ３６に収納されているカセット４０のＩＤデー
タとの比較照合を行なう。ＩＤデータが相違する原因に
は、上位計算機５０はあると考えていてストッカコント
ローラ６４はないと考えている場合と、それとは逆に上
位計算機５０はないと考えていてストッカコントローラ
６４はあると考えている場合がある。それにもかかわら
ず、上位計算機は両者の区別なくＩＤデータの相違を作
業者端末５６に表示していた。
【０２８３】作業者による処理は、ストッカコントロー
ラ６４のデータが正しい場合には上位計算機５０がない
と考えているものについて、そのデータを作業者端末５
６より上位計算機５０のデータに追加する。逆に上位計
算機５０があると考えているものについては、そのデー
タを作業者端末５６より上位計算機５０のデータから削
除するといったように異なる。しかし、上述の上位計算
機５０では、２つの原因に応じて区別された照合結果が
端末５６に表示されないため、作業者による上位計算機
５０のＩＤデータの復旧に時間がかかるという問題があ
った。
【０２８４】そこで上位計算機５０は、ストッカ３６か
ら報告されてきたデータとそれ自身が有するストッカ３
６に収納されているカセット４０のＩＤデータとを照合
する際に、上記計算機５０があると考えていてストッカ
コントローラ６４はないと考えているＩＤデータと、そ
れとは逆に上位計算機５０はないと考えていてストッカ
コントローラ６４はあると考えているＩＤデータを区別
して作業者端末５６に出力するようにしてもよい。
【０２８５】このように、上位計算機５０の照合の結果
が、上位計算機５０があると考えていてストッカコント
ローラ６４はないと考えている場合と、それとは逆に上
位計算機５０はないと考えていてストッカ３６はあると
考えている場合とが区別されて作業者端末５６に表示さ
れるため、これを見た作業者の復旧作業の内容が明確に
なり、復旧に要する時間を短縮することができる。
【０２８６】上述の上位計算機５０は、作業者からの作
業者端末５６よりの指示に従い、ストッカコントローラ
６４に対してストッカ３６に収納されているカセット４
０のＩＤデータを問合せ、そのデータと上位計算機５０
が持つストッカ３６に収納されているカセット４０のＩ
Ｄデータとの比較照合を行ない、異なるデータをその作
業者端末５６に表示するのみである。このため、データ
の修正は作業者が作業者端末５６に向かい、上位計算機
５０が有するデータを変更しなければならなかった。
【０２８７】そこで、上位計算機５０は、照合した結果
を作業者端末５６に表示するとともに、作業者による作
業者端末５６からの許可を得ることにより自身の持つス
トッカ３６に収納されたカセット４０のＩＤデータをす
べてストッカコントローラ６４から報告されたものに書
替えることができるようにしてもよい。
【０２８８】これにより作業者が、上位計算機５０のス
トッカ３６に収納されたカセット４０のＩＤデータの追
加または削除作業を一度に行なうことができ、トラブル
発生時の復旧時間を大幅に短縮することができる。
【０２８９】上述の上位計算機５０は、作業者による作
業者端末５６からの指示に従い、ストッカコントローラ
６４に対してストッカ３６に収納されているカセット４
０の仕掛データを問合せ、そのデータと自身が持つスト
ッカ３６に収納されているカセット４０の仕掛データと
の比較照合を行なう。この際、収納されているカセット
４０のＩＤデータのみを比較照合していた。したがって
上位計算機５０がカセット４０のストッカ３６内での収
納場所まで管理しているような場合においては、ストッ
カコントローラ６４が実際にカセット４０を収納してい
る場合と上位計算機５０が信じている収納場所とが異な
っていたとしてもカセット４０のＩＤデータには相違が
ないために、上位計算機５０の照合の結果として不一致
とはならず、作業者端末５６にも当然表示されない。
【０２９０】図７を参照して、そこでストッカ３６は、
上位計算機５０からの収納カセット４０の仕掛データ問
合せに対して、カセット４０のＩＤデータとその収納場
所データであるストッカユニットＮｏ．、棚Ｎｏ．およ
びポジションＮｏ．を付けて上位計算機５０に回答す
る。これを受けた上位計算機５０は、自身が持つストッ
カ３６の仕掛データであるカセット４０のＩＤデータと
収納場所を示すストッカユニットＮｏ．、棚Ｎｏ．およ
びポジションＮｏ．と比較照合し、ＩＤデータの違いだ
けではなく収納場所データの違いについても確認を行な
い、異なるものについては作業者端末５６に表示する。
【０２９１】このように、ストッカコントローラ６４は
上位計算機５０からのストッカ３６に収納されているカ
セット４０の仕掛データ問合せに対して、収納されてい
るカセット４０のＩＤデータとその収納場所データを報
告する。また、これを受けた上位計算機５０は自身の持
つその仕掛データとの比較照合を行なう際にＩＤデータ
だけでなく、収納場所データについても比較照合の対象
とする。このため、上位計算機５０とストッカコントロ
ーラ６４とが有する、ストッカ３６内に収納されている
カセット４０の仕掛データに対する食い違いを収納場所
単位で把握することができる。また、収納容量の大きな
ストッカ３６においても問題となるカセット４０を容易
に発見することができる。
【０２９２】図１２〜図１４を参照して、ストッカの他
の構成例を説明する。ストッカ１９０は、ストッカ３６
の自動搬送車用出口ポート８６と同様の自動搬送車用出
口ポート１９６を含む。ただし、このポート１９６に載
置可能なカセット４０の個数は、処理装置３２、３４が
投入要求する、すなわち自動搬送車用出口ポート１９６
に払出されるべき最大のカセット数と同一となるように
決められたものである。この場合２個のカセット４０が
このポート１９６に載置可能である。
【０２９３】処理装置３２、３４がカセット４０の投入
要求を上位計算機５０に対して通信ケーブル５８を通じ
て行なう。このとき処理装置３２、３４はその装置の処
理単位である２個のカセット４０の投入要求を行なう。
これを受けた上位計算機５０は該当ストッカ１９０にそ
の装置で処理可能なカセット４０があるか否かを判断す
る。処理可能なカセット４０が２個以上ある場合には、
出庫するカセット数を２個に特定した後、ストッカコン
トローラ６４に対して、２個のカセット４０の自動搬送
車用出口ポート１９６への出庫作業指示を送る。
【０２９４】これを受けたストッカコントローラ６４
は、ストッカクレーン８０を用いて１つめのカセット４
０を自動搬送車用出口受渡しポート１９２へと運ぶ。前
詰機２００を駆使して自動搬送車用出口受渡しポート１
９２上のカセット４０を自動搬送車用出口ポート１９６
へと前送りする。１つめのカセット４０の出庫作業と平
行して、２つめのカセット４０の出庫作業が同様の手順
で異なる載置ポイントに対して行なわる。２個のカセッ
トが自動搬送車用出口ポート１９６へ出庫されると、ス
トッカコントローラ６４は作業完了報告を上位計算機５
０に対して行なう。
【０２９５】ストッカコントローラ６４からの出庫作業
の完了報告を受けた上位計算機５０は、続いて自動搬送
車３８に対して、自動搬送車用出口ポート１９６上の２
個のカセット４０を処理装置３２、３４のカセットステ
ージ１７２、１８２へ運ぶように通信ケーブル５８を通
じて命令する。この命令を受信した自動搬送車コントロ
ーラ６０は、複数ある自動搬送車３８の中から、その搬
送作業に最適なものに作業を割付け、制御局側通信ユニ
ット６２と搬送車側通信ユニット１４２とを駆使し、無
線通信を行ないながら搬送作業を行なう。自動搬送車３
８の搬送作業について説明する。まず台車１４０が待機
位置より床に貼り付けられた誘導テープ１５６に従い搬
送元であるストッカ１９０の自動搬送車用出口ポート１
９６へと向かう。自動搬送車用出口ポート１９６に到着
するとまず対自動搬送車通信ユニット１０２を介して、
自動搬送車用出口ポート１９６に１つめのカセット４０
が存在するかの確認を行なう。１つめのカセット４０が
あれば、自動搬送車３８は、アーム１４４、ハンド１４
６およびハンド爪１４８を駆使し、自動搬送車用出口ポ
ート１９６上にある１つめのカセット４０を取込み、自
身の移載台１５０に置く。２つめのカセット４０につい
ても同様の手順に従い、自身の異なる移載台１５０に置
く。この載置作業が完了すると、台車１４０は、再びス
トッカ１９０から搬送先である処理装置３２、３４の指
示されたカセットステージ１７２、１８２へと移動す
る。カセットステージ１７２、１８２へ到着すると、先
程とは逆の手順で移載台１５０上の該当カセット４０を
指示されたカセットステージ１７２、１８２へ順に置い
ていく。指示されたすべての作業が完了すると自動搬送
車コントローラ６０は作業完了報告を上位計算機５０に
対して通信ケーブル５８を介して行なう。
【０２９６】自動搬送車３８により２個のカセット４０
の処理装置３２、３４への供給作業が完了したという報
告を受けた上位計算機５０は、通信ケーブル５８を通じ
て処理装置３２、３４に対して処理の開始を指示する。
【０２９７】このようにストッカ１９０の自動搬送車用
出口ポート１９６に載置可能なカセット４０の個数をそ
のポートへ払出すべき処理装置３２、３４が投入要求す
るカセット４０の数と同一とすることにより、ストッカ
１９０での収納場所から自動搬送車用出口ポート１９６
への出庫作業、および自動搬送車用出口ポート１９６か
ら処理装置３２、３４のカセットステージ１７２、１８
２への搬送作業といった一連の作業が処理装置３２、３
４からの投入要求のカセット４０の個数単位に行なうこ
とができるようになった。
【０２９８】よって、処理装置３２、３４からの投入要
求のカセット単位が自動搬送車用出口ポート１９６に載
置可能なカセット個数より多い場合、そのカセット個数
を超えるカセット４０は後続の搬送作業となり、処理装
置３２、３４のカセットステージ１７２、１８２にある
先に到着したカセット４０は、後続のカセット４０が来
るまで処理装置３２、３４の処理開始ができず待たされ
るという問題が解消される。
【０２９９】これにより、先行するカセット４０は処理
装置３２、３４のカセットステージ１７２、１８２に到
着した後、後続のカセット４０によって処理開始を長時
間待たされるようなことはなくなった。
【０３００】ストッカ１９０は、ストッカ３６の自動搬
送車用入口ポート８８と同様の自動搬送車用入口ポート
１９８をさらに含む。ただし、そのポート１９８に載置
可能なカセット４０の個数は、処理装置３２、３４が引
取り要求をする最大のカセット数と同一となるように決
められたものである。この場合２個のカセット４０がこ
のポート１９８に載置可能である。
【０３０１】処理装置３２、３４はカセット４０の引取
り要求を２カセット単位で行なう。これを受けた上位計
算機５０はそれらのカセット４０のストッカ１９０の収
納場所を確保した後、搬送作業指示を一度に自動搬送車
３８に送る。上位計算機５０から最大２個のカセット４
０の搬送作業指示を受信した自動搬送車コントローラ６
０は、複数ある自動搬送車３８からその搬送作業に最適
なものに作業を割付け、制御局側通信ユニット６２と搬
送車側通信ユニット１４２により無線通信を行ない搬送
作業を行なわせる。
【０３０２】自動搬送車３８の搬送作業について説明す
る。まず台車１４０が待機位置より、床に貼り付けられ
た誘導テープ１５６に従い、搬送元である処理装置３
２、３４へと向かう。処理装置３２、３４に到着する
と、対自動搬送車通信ユニット１７４を介してカセット
ステージ１７２、１８２にカセット４０が存在するかの
確認を行なう。カセットステージ１７２、１８２にカセ
ット４０が存在すれば、自動搬送車３８は、アーム１４
４、ハンド１４６およびハンド爪１４８を駆使し、カセ
ットステージ１７２、１８２上にある１つめのカセット
４０を取込み、自身の移載台１５０に置く。２つめのカ
セット４０についても同一手順でカセットステージ１７
２、１８２から異なる移載台１５０に取込む。２つのカ
セット４０の載置作業が完了すると、再び台車１４０は
搬送元処理装置３２、３４から搬送先であるストッカ１
９０の指示された自動搬送車用入口ポート１９８へと移
動する。自動搬送車用入口ポート１９８に到着すると、
先程とは逆の手順で２つのカセット４０を順に移載台１
５０から自動搬送車用入口ポート１９８へと置く。指示
されたすべての作業が完了すると、自動搬送車コントロ
ーラ６０は作業完了報告を上位計算機５０に対して、通
信ケーブル５８を介して行なう。
【０３０３】自動搬送車３８からの作業完了報告を受け
た上位計算機５０は、ストッカ１９０に対して、２個の
カセット４０の自動搬送車用入口ポート１９８からの入
庫作業指示を行なう。通信ケーブル５８を通じて送られ
てきたこの入庫作業指示に従い、ストッカコントローラ
６４はストッカ棚９６上の収納場所を確保した後、入庫
作業に着手する。入庫作業に着手したストッカ１９０
は、まず前詰機２０２を駆使して１つめのカセット４０
を自動搬送車用入口ポート１９８から自動搬送車用入口
受渡しポート１９４に移動させる。移動作業が完了する
と、ストッカクレーン８０が動きだし自動搬送車用入口
受渡しポート１９４上のカセット４０が既にストッカコ
ントローラ６４により確保されたストッカ棚９６上の収
納場所へと運ばれる。さらに１つめのカセット４０の作
業に平行して２つめのカセット４０の出庫作業が同様の
手順で異なる載置ポイントに対して行なわれる。２個の
カセットがストッカ棚９６上の収納場所に収納されると
一連の作業が完了したこととなり、ストッカコントロー
ラ６４は通信ケーブル５８を通じて作業完了報告を上位
計算機５０に対して行なう。
【０３０４】このように、ストッカ１９０の自動搬送車
用入口ポート１９８に載置可能なカセット４０の個数
を、そのポート１９８を使用できる処理装置３２、３４
が出すカセット４０の引取り要求数と同一とする。これ
により、処理装置３２、３４から自動搬送車用入口ポー
ト１９８へのカセット４０の搬送作業および自動搬送車
用入口ポート１９８からストッカ１９０の収納場所への
カセット４０の入庫作業といった一連の作業が処理装置
３２、３４の引取り要求個数単位に行なうことができる
ようになった。
【０３０５】よって、処理装置３２、３４からの引取り
要求のカセット単位が自動搬送車用入口ポート１９８に
載置可能なカセット個数より多い場合、そのカセット個
数を超える処理後カセット４０は処理装置３２、３４の
カセットステージ１７２、１８２に取り残されることに
なる。よって、そのカセット４０の搬送作業待ち時間が
長くなるとともにカセットステージ１７２、１８２の空
きが遅れるため処理前カセット４０の処理装置３２、３
４への供給に時間がかかるという問題が解消される。
【０３０６】これにより、処理後カセット４０の処理装
置３２、３４のカセットステージ１７２、１８２での取
り残しがなくなり、カセットステージ１７２、１８２が
処理後短時間で空き、新しい処理前カセット４０が遅延
なくストッカ１９０から出庫され供給される。
【０３０７】図１３を参照して、ストッカ１９０は、ス
トッカ３６のマニュアル用出口ポート１１８と同様のマ
ニュアル用出口ポート２１０をさらに含む。ただし、そ
のポート２１０に載置可能なカセット４０の個数は、処
理装置３２、３４が投入要求する最大のカセット数と同
一となるように決められたものである。この場合２個の
カセット４０がこのポートに載置可能である。
【０３０８】たとえば自動搬送車３８が具備されないス
トッカ１９０とその処理装置３２、３４とでは、処理装
置３２、３４がカセット投入要求を上位計算機５０に通
信ケーブル５８を通じて行なう。このとき処理装置３
２、３４は、カセット４０の投入要求を２カセット単位
で行なう。これを受けた上位計算機５０はストッカ１９
０に、処理装置３２、３４で処理可能なカセット４０が
あるか否かを問い合わせる。処理可能なカセット４０が
２個以上ある場合には、カセット４０の個数を２個に特
定した後、ストッカコントローラ６４に対してカセット
４０のマニュアル用出口ポート２１０への出庫作業指示
を送る。
【０３０９】これを受けたストッカコントローラ６４は
ストッカクレーン８０を用いて２つのカセット４０を順
に２つのカセット４０の載置ポイントを持つマニュアル
用出口ポート２１０へ運ぶ。ストッカコントローラ６４
は、ストッカ１９０の操作パネル１２１にマニュアル用
出口ポート２１０上のカセット４０の取出を許可する表
示を行なう。これを見た作業者は、２個のカセット４０
をマニュアル用出口ポート２１０から取出し、取出作業
を完了したことを操作パネル１２１を操作しストッカ１
９０に知らせる。これを受けてストッカ１９０は出庫作
業は完了したと判断し、その完了報告を上位計算機５０
に対して通信ケーブル５８を通じて行なう。カセット４
０を取出した作業者は、投入要求を出した処理装置３
２、３４がどれかわからないために上位計算機５０の作
業者端末５６へ向かい投入要求を出した処理装置３２、
３４を調べ、その処理装置３２、３４の該当カセットス
テージ１７２、１８２へカセット４０を運ぶ。
【０３１０】このようにマニュアル用出口ポート２１０
に載置可能なカセット４０の個数を処理装置３２、３４
が投入要求するカセット４０の数と同一とする。これに
より、ストッカ１９０での収納場所からマニュアル用出
口ポート２１０への出庫作業、およびマニュアル用出口
ポート２１０から処理装置３２、３４のカセットステー
ジ１７２、１８２への作業者による搬送作業といった一
連の作業が、処理装置３２、３４が投入要求するカセッ
ト４０の個数単位に行なうことができるようになった。
よって、処理装置３２、３４からの投入要求のカセット
単位がマニュアル用出口ポート２１０に載置可能なカセ
ット個数より多い場合、そのカセット個数を超えるカセ
ット４０は後続の出庫作業となり作業者の作業効率が落
ちるという問題が解消される。
【０３１１】これにより、作業者の待ち時間を減らすこ
とができるとともに、処理装置３２、３４へのカセット
４０の供給時間を短縮することができる。
【０３１２】図４および図５を参照して、ストッカ３６
は、上述のようにストッカ間搬送装置用ポート９８には
ストッカ間搬送装置４２側にストッカ間搬送装置用ポー
ト外シールド扉１２２とこのポートを昇降させるストッ
カ間搬送装置用昇降機１２４を備え、また自動搬送車用
出口受渡しポート１９２と自動搬送車用入口受渡しポー
ト１９４には自動搬送車３８側に自動搬送車用ポート外
シールド扉９０を取付け、さらにマニュアル用入口ポー
ト１１６とマニュアル用出口ポート２１０には作業者側
にマニュアル用ポート外シールド扉１１４を備付けてい
る。
【０３１３】以下これらシールド扉の動作について簡単
に説明するが、ストッカ３６の作業がないときにはこれ
らのシールド扉はすべて閉じられた状態にある。
【０３１４】まず自動搬送車用ポート外シールド扉９０
について述べる。処理装置３２、３４からのカセット４
０の投入要求があると上位計算機５０は該当ストッカ３
６に収納されているカセット４０から処理可能なカセッ
ト４０を探し出し、出庫の作業指示をストッカ３６に対
して送る。これを受けたストッカコントローラ６４はス
トッカクレーン８０を用いてストッカ棚９６上にある該
当カセット４０を自動搬送車用出口受渡しポート１００
に運ぶ。続いてストッカコントローラ６４は、このカセ
ット４０を自動搬送車用出口受渡しポート１００から自
動搬送車用出口ポート８６に前詰機８４を駆使して移動
させようとする。この時、自動搬送車用ポート外シール
ド扉９０が閉じられているためまずこのシールド扉９０
を下降させ開いた後、自動搬送車用出口ポート８６へと
カセット４０を移動させる。この移動作業が完了すると
ストッカコントローラ６４は開状態にある自動搬送車用
ポート外シールド扉９０を上昇させ閉じる。これにて一
連の出庫作業は完了したこととなり、ストッカコントロ
ーラ６４は作業完了報告を上位計算機５０に対して行な
う。
【０３１５】また自動搬送車用入口ポート８８上のカセ
ット４０を入庫する場合には、ストッカコントローラ６
４は上位計算機５０からの入庫作業指示に基づき自動搬
送車用入口ポート８８上のカセット４０をまず自動搬送
車用入口受渡しポート１０４に前詰機８４を用いて移動
させる。この時、自動搬送車用ポート外シールド扉９０
が閉じられているためまずこのシールド扉９０を下降さ
せ開いた後、自動搬送車用入口受渡しポート１０４へと
カセット４０を移動させる。この移動作業が完了する
と、ストッカコントローラ６４は、開状態にある自動搬
送車用ポート外シールド扉９０を上昇させ閉じる。この
作業が完了すると、ストッカコントローラ６４はストッ
カクレーン８０を駆使してそのカセット４０をストッカ
棚９６に収納し、作業を完了し、上位計算機５０にその
旨報告する。
【０３１６】次にマニュアル用ポート外シールド扉１１
４について述べる。処理装置３２、３４からの投入要求
があると、上位計算機５０は該当ストッカ３６に収納さ
れているカセット４０から処理可能なカセット４０を探
し出し、出庫の作業指示をストッカ３６に対して送る。
これを受けたストッカコントローラ６４は、ストッカク
レーン８０を用いてストッカ棚９６上にある該当カセッ
ト４０をマニュアル用出口ポート１１８に運ぶ。そし
て、ストッカ３６の操作パネル１２１にマニュアル用出
口ポート１１８上の該当カセット４０の取出を許可する
表示を行なう。
【０３１７】これを見た作業者はマニュアル用ポート外
シールド扉１１４を開けるために操作パネル１２１を操
作する。この操作を受けてストッカコントローラ６４は
このシールド扉１２１を下降させ開く。その後、作業者
がこのカセット４０を同ポートから取出す。作業者は操
作パネル１２１を再度操作することにより開いた状態の
シールド扉１２１を上昇させ閉じ、一連の出庫作業は完
了する。ストッカコントローラ６４は、作業完了報告を
上位計算機５０に対して通信ケーブル５８を通じて行な
う。
【０３１８】またマニュアル用入口ポート１１６を通じ
て作業者の手元にあるカセット４０をストッカ３６へ入
庫する場合には、作業者が操作パネル１２１を操作する
ことにより、ストッカコントローラ６４は閉じられてい
るマニュアル用ポート外シールド扉１１４を下降させ開
く。ストッカコントローラ６４は、カセット４０をマニ
ュアル用入口ポート１１６に置いてもよいことを操作パ
ネル１２１に表示する。これを見た作業者はカセット４
０を同ポート１１６に置き、再度操作パネル１２１を操
作する。この操作によりカセット４０がマニュアル用入
口ポート１１６に置かれたことを知ったストッカ３６
は、マニュアル用ポート外シールド扉１１４を上昇させ
閉じ、ＩＤカード読み書き装置１２０により該当カセッ
ト４０のＩＤカード７２の情報を読取り、そのデータを
通信ケーブル５８を通じて上位計算機５０に報告する。
上位計算機５０はこれにより作業者がカセット４０を運
んできたことを知り、ストッカ３６に対してこのカセッ
ト４０の入庫の作業指示を送る。ストッカ３６はストッ
カクレーン８６を駆使してマニュアル用入口ポート１１
６にあるカセット４０をストッカ棚９６に収納し入庫作
業を完了させる。
【０３１９】最後に、ストッカ間搬送装置用ポート外シ
ールド扉１２２について述べる。搬送元ストッカ３６か
らカセット４０が、ストッカ間搬送装置４２の台車１６
２に載ってストッカ間搬送装置用ポート９８に運ばれて
来る。台車１６２が到着するとストッカ間搬送装置コン
トローラ６６は、ストッカコントローラ６４に通信ケー
ブル５８を通じて台車１６２上のカセット４０をストッ
カ間搬送装置用ポート９８に載置するよう依頼する。
【０３２０】依頼されたストッカ３６は、まずストッカ
間搬送装置用ポート外シールド扉１２２を横へ移動させ
開き、ストッカ間搬送装置用昇降機１２４を駆使してス
トッカ間搬送装置用ポート９８を上の位置へと上昇させ
る。この上昇作業が完了するとストッカコントローラ６
４は台車１６２上のカセット４０を移載機８２を用いて
ストッカ間搬送装置用ポート９８へと運ぶ。続いてスト
ッカコントローラ６４はストッカ間搬送装置用昇降機１
２４を用いてストッカ間搬送装置用ポート９８をカセッ
ト４０を載せたまま下の位置へと移動させる。ストッカ
コントローラ６４は、移動完了後、ストッカ間搬送装置
用ポート外シールド扉１２２を閉じ、カセット４０をス
トッカクレーン８０を用いてストッカ棚９６に収納す
る。これにて一連の作業は完了したこととなり、その旨
ストッカコントローラ６４はストッカ間搬送装置コント
ローラ６６に通信ケーブル５８を通じて報告する。また
ストッカ３６に収納されているカセット４０を台車１６
２に送り出す際には、ストッカ３６はストッカ間搬送装
置コントローラ６６の指示に従い、今述べた逆の手順で
ストッカクレーン８０、ストッカ間搬送装置用ポート外
シールド扉１２２、ストッカ間搬送装置用昇降機１２４
および移載機８２を用いて作業を行なう。
【０３２１】このようにストッカ３６と外雰囲気との接
点となる自動搬送車用入口受渡しポート１０４、自動搬
送車用出口受渡しポート１００、ストッカ間搬送装置用
ポート９８、マニュアル用入口ポート１１６、およびマ
ニュアル用出口ポート１１８のストッカ３６の外周に外
雰囲気をシールドするための扉を設けたことにより、ス
トッカ３６の内部を外部から隔離することができるよう
になった。
【０３２２】従来、ストッカ３６は自動搬送車用入口受
渡しポート１０４、自動搬送車用出口受渡しポート１０
０、ストッカ間搬送装置用ポート９８、マニュアル用入
口ポート１１６、およびマニュアル用出口ポート１１８
を通じて周囲の環境に開放されているため、塵やミスト
がストッカ３６内に進入し、保管されたカセット４０内
のウェハ７０に付着し悪影響を与える可能性があるとい
う問題があった。
【０３２３】しかし上記した構成により、塵やミストが
ストッカ３６内部に混入せず、保管されたカセット４０
に収納されたウェハ７０に悪影響を与えずにすむという
効果が得られる。
【０３２４】上記したストッカ３６は、その内部を外部
から隔離するため、ストッカ間搬送装置用ポート９８に
はストッカ間搬送装置４２側にストッカ間搬送装置用ポ
ート外シールド扉１２２とこのポートを昇降させるスト
ッカ間搬送装置用昇降機１２４を備え、また自動搬送車
用出口受渡しポート１００と自動搬送車用入口受渡しポ
ート１０４には自動搬送車３８側に自動搬送車用ポート
外シールド扉９０を取付け、さらにマニュアル用入口ポ
ート１１６とマニュアル用出口ポート１１８には作業者
側にマニュアル用ポート外シールド扉１１４を備付けて
いた。しかし、これらシールド扉が開いたときには、ス
トッカ３６の内部と外部とは通じ合いシールドされた状
態が破れてしまう。
【０３２５】図４〜図６を参照して、そこでストッカ３
６はストッカ間搬送装置用ポート９８にはストッカ間搬
送装置用ポート外シールド扉１２２とこのポートを昇降
させるストッカ間搬送装置用昇降機１２４に加え、この
ポートのストッカクレーン８０側にストッカ間搬送装置
用ポート内シールド扉１１０を取付け、また自動搬送車
用出口受渡しポート１００と自動搬送車用入口受渡しポ
ート１０４とには自動搬送車用ポート外シールド扉９０
に加えこれらポートのストッカクレーン８０側に自動搬
送車用ポート内シールド扉９２を取付け、さらにマニュ
アル用入口ポート１１６とマニュアル用出口ポート１１
８とにはマニュアル用ポート外シールド扉１１４に加え
これらポートのストッカクレーン８０側にマニュアル用
ポート内シールド扉１１２を備付けた。
【０３２６】以下これらシールド扉の動作について簡単
に説明するが、ストッカ３６の作業がないときにはこれ
らのシールド扉はすべて閉じられた状態にある。
【０３２７】まず自動搬送車用ポート内シールド扉９２
について述べる。処理装置３２、３４からの投入要求が
あると上位計算機５０は該当ストッカ３６に収納されて
いるカセット４０から処理可能なカセット４０を探し出
し、出庫の作業指示をストッカ３６に対して送る。これ
を受けたストッカコントローラ６４は、まず該当の自動
搬送車用ポート内シールド扉９２を下降させ開き、その
後ストッカクレーン８０を用いてストッカ棚９６上にあ
る該当カセット４０を自動搬送車用出口受渡しポート１
００に運ぶ。ストッカクレーン８０による作業が終わる
とストッカコントローラ６４は、開いている自動搬送車
用ポート内シールド扉９２を上昇させ閉じる。自動搬送
車用ポート外シールド扉９０を開け、自動搬送車用出口
受渡しポート１００から自動搬送車用出口ポート８６に
前詰機８４を駆使してカセット４０を移動させる。
【０３２８】また自動搬送車用入口ポート８８上のカセ
ット４０が入庫される場合には、ストッカコントローラ
６４は自動搬送車用ポート外シールド扉９０を開け、自
動搬送車用入口ポート８８上のカセット４０をまず自動
搬送車用入口受渡しポート１０４に前詰機８４を用いて
移動させる。続いて移動が完了し自動搬送車用ポート外
シールド扉９０を閉じると、ストッカコントローラ６４
は自動搬送車用ポート内シールド扉９２を下降させ開
き、ストッカクレーン８０を用いて自動搬送車用入口受
渡しポート１０４上のカセット４０をストッカ棚９６へ
と移動させる。この移動作業が完了するとストッカコン
トローラ６４は、自動搬送車用ポート内シールド扉９２
を上昇させ閉じる。このようにして自動搬送車用入口ポ
ート８８からの一連の入庫作業を完了する。このよう
に、自動搬送車用ポート内シールド扉９２と自動搬送車
用ポート外シールド扉９０のどちらか一方は必ず閉状態
になり、ストッカ３６の内部と外部とが通じることを完
全に防ぐ。
【０３２９】次にマニュアル用ポート内シールド扉１１
２について述べる。処理装置３２、３４からの投入要求
があると上位計算機５０は該当ストッカ３６に収納され
ているカセット４０から処理可能なカセット４０を探し
出し、出庫の作業指示をストッカ３６に対して送る。こ
れを受けたストッカコントローラ６４は、まずマニュア
ル用ポート内シールド扉１１２を下降させ開き、ストッ
カクレーン８０を用いてストッカ棚９６上にある該当カ
セット４０をマニュアル用出口ポート１１８に運ぶ。開
いた状態のマニュアル用ポート内シールド扉１１２を上
昇させ閉じた後、ストッカ３６の操作パネル１２１にマ
ニュアル用出口ポート１１８上の該当カセット４０の取
出を許可する表示を行なう。操作パネル１２１の操作に
従い、ストッカコントローラ６４はマニュアル用ポート
外シールド扉１１４を開け、作業者がこのカセット４０
を同ポートから取出す。
【０３３０】またマニュアル用入口ポート１１６を通じ
て作業者の手元にあるカセット４０をストッカ３６へ入
庫する場合には、作業者による操作パネル１２１の操作
によりストッカコントローラ６４は、マニュアル用ポー
ト外シールド扉１１４を開け、マニュアル用入口ポート
１１６にカセット４０を置かせる。マニュアル用ポート
外シールド扉１１４を閉じた状態でストッカコントロー
ラ６４は、続いてマニュアル用入口ポート１１６に置か
れたカセット４０のＩＤカード７２の情報をＩＤカード
読み書き装置１２０により読取り、そのデータを通信ケ
ーブル５８を通じて上位計算機５０に報告する。上位計
算機５０はこれにより作業者がカセット４０を運ばれて
きたことを知り、ストッカ３６に対してこのカセット４
０の入庫の作業指示を送る。これを受けたストッカコン
トローラ６４は、まずマニュアル用ポート内シールド扉
１１２を下降させ開いた後、ストッカクレーン８０を駆
使してマニュアル用入口ポート１１６にあるカセット４
０をストッカ棚９６に収納する。この収納作業が完了し
た後マニュアル用ポート内シールド扉１１２を上昇させ
て閉じ一連のマニュアル用入口ポートからの入庫作業を
完了する。このようにマニュアル用ポート内シールド扉
１１２とマニュアル用ポート外シールド扉１１４のどち
らか一方は必ず閉状態になり、ストッカ３６の内部と外
部とを通じることを完全に防ぐ。
【０３３１】最後にストッカ間搬送装置用ポート内シー
ルド扉１１０について述べる。搬送元ストッカ３６から
ストッカ間搬送装置４２の台車１６２に載って運ばれて
きたカセット４０はストッカ間搬送装置用ポート外シー
ルド扉１２２、ストッカ間搬送装置用昇降機１２４およ
び移載機８２を駆使してストッカ間搬送装置用ポート９
８に運ばれる。このときストッカ間搬送装置用ポート９
８は下の位置にあり、ストッカ間搬送装置用ポート外シ
ールド扉１２２も閉じられた状態にある。続いてストッ
カ間搬送装置コントローラ６６は、ストッカ間搬送装置
用ポート内シールド扉１１０を下へ移動させ開いた後、
ストッカ間搬送装置用ポート９８上のカセット４０をス
トッカクレーン８０を用いてストッカ棚９６に収納す
る。収納作業が完了するとストッカ間搬送装置用ポート
内シールド扉１１０を元の位置に戻し閉じ、これにて一
連の作業は完了する。
【０３３２】またストッカ３６に収納されているカセッ
ト４０を台車１６２に送り出す際には、ストッカ３６は
ストッカ間搬送装置コントローラ６６の指示の下、今述
べたのと逆の手順でストッカクレーン８０、ストッカ間
搬送装置用ポート内シールド扉１１０、ストッカ間搬送
装置用ポート外シールド扉１２２、ストッカ間搬送装置
用昇降機１２４および移載機８２を用いて作業を行な
う。このようにストッカ間搬送装置用ポート内シールド
扉１１０とストッカ間搬送装置用ポート外シールド扉１
２２のどちらか一方は必ず閉状態になりストッカ３６の
内部と外部とを通じることを完全に防ぐ。
【０３３３】このようにストッカ３６と外界との接点と
なる自動搬送車用入口受渡しポート１０４、自動搬送車
用出口受渡しポート１００、ストッカ間搬送装置用ポー
ト９８、マニュアル用入口ポート１１６、およびマニュ
アル用出口ポート１１８のストッカ３６の外側と内側の
両方にどちらか一方が必ず閉状態である扉を設けたこと
により、ストッカ３６の内部を外部から完全に隔離する
ことができるようになった。
【０３３４】よって、ストッカ３６は自動搬送車用入口
受渡しポート１０４、自動搬送車用出口受渡しポート１
００、ストッカ間搬送装置用ポート９８、マニュアル用
入口ポート１１６、およびマニュアル用出口ポート１１
８を通じて周囲の環境に解放されているため、塵やミス
トがストッカ３６内に進入し、保管されたカセット４０
のウェハ７０に付着し悪影響を与える可能性があるとい
う問題が解消される。
【０３３５】これにより、ストッカ３６の外部の塵やミ
ストがストッカ３６内に混入せず、保管されたカセット
４０に収納されたウェハ７０に悪影響を与えずにすむと
いう効果が得られる。
【０３３６】ストッカ３６は、マニュアル用出口ポート
１１８にカセット４０に装着されたＩＤカード７２のデ
ータを読み書き可能なＩＤカード読み書き装置１２０を
さらに含む。
【０３３７】ストッカ１９０も、マニュアル用出口ポー
ト２１０にカセット４０に装着されたＩＤカード７２の
データを読み書き可能なＩＤカード読み書き装置１２０
をさらに含む。
【０３３８】このマニュアル用出口ポート１１８に取付
けられたＩＤカード読み書き装置１２０について述べ
る。自動搬送車３８が具備されていないストッカ３６と
その処理装置５では、処理装置３２、３４がカセット投
入要求を上位計算機５０に通信ケーブル５８を通じて行
なうと、上位計算機５０はストッカ３６に処理できるカ
セット４０があるか探し、カセット４０がある場合には
出庫作業に移る。出庫作業に移った上位計算機５０は、
ストッカ棚９６上のあるカセット４０をマニュアル用出
口ポート１１８へ搬送する作業指示を、ストッカ３６に
対して、通信ケーブル５８を通じて送る。
【０３３９】これを受けたストッカ３６は、ストッカク
レーン８０を用いて該当のカセット４０をマニュアル用
出口ポート１１８へと運ぶ。ストッカ３６はマニュアル
用出口ポート１１８に備付けられたＩＤカード読み書き
装置１２０を用いて、今運ばれてきたカセット４０のＩ
Ｄカード７２のデータを読込み、その情報を上位計算機
５０に通信ケーブル５８を通じて報告する。
【０３４０】これを受けた上位計算機５０は現物と出庫
作業指示を示したものとの比較照合を行ない、同一性を
認識する。その後、次処理装置３２、３４の装置名をそ
のＩＤカード７２に書込むためＩＤカード書込作業指示
をストッカ３６に対して通信ケーブル５８を通じて送
る。
【０３４１】これを受けたストッカ３６はＩＤカード読
み書き装置１２０にその情報を流し、カセット４０に装
着されたＩＤカード７２に次処理装置３２、３４の装置
名を書込む。書込まれたＩＤカード７２はその装置名を
自身の表示部７４に表示する。この書込作業が完了する
と逆のルートを辿って、上位計算機５０にそのことが報
告される。
【０３４２】これを受けた上位計算機５０は、作業者に
よるカセット４０のマニュアル用出口ポート１１８から
の取出作業を許可するため、作業指示をストッカ３６に
送る。これを受信したストッカ３６は、ストッカ３６の
操作パネル１２１にマニュアル用出口ポート１１８上の
該当カセット４０の取出を許可する表示を行なう。
【０３４３】これを見た作業者は、該当カセット４０を
マニュアル用出口ポート１１８から取出し、取出作業が
完了したことを操作パネル１２１を操作しストッカ３６
に知らせる。これを受けてストッカ３６は出庫作業は完
了したと判断し、その完了報告を上位計算機５０に対し
て通信ケーブル５８を通じて行なう。
【０３４４】カセット４０を取出した作業者は、従来と
異なり投入要求を出した処理装置３２、３４がカセット
４０のＩＤカード７２の表示部７４に表示されているた
め作業者端末５６へ行くことなく、直接その処理装置３
２、３４の該当カセットステージ１７２、１８２へと運
ぶことができる。
【０３４５】このようにストッカ３６のマニュアル用出
口ポート１１８にＩＤカード読み書き装置１２０を取付
けたことにより、カセット４０に装着されたＩＤカード
７２の表示部７４に搬送先である次処理装置３２、３４
の装置名を上位計算機５０は書込めることができるよう
になった。
【０３４６】よって、マニュアル用出口ポート１１８か
らカセット４０を取出したときに作業者はどの処理装置
３２、３４に運んでいけばよいかわからず、その情報を
得るために上位計算機５０の作業者端末５６へ行く必要
があり、作業時間が無駄にかかってしまうという問題が
解消される。
【０３４７】これにより、作業者はカセット４０に装着
されたＩＤカード７２の表示部７４に表示された装置名
を見て、そのカセット４０を直接処理装置３２、３４へ
運ぶことができるようになった。
【０３４８】ＩＤカード７２は、通信部７６をその底面
に配置しており、このＩＤカード７２を利用することに
よりストッカ３６はそのマニュアル用入口ポート１１６
またはマニュアル用出口ポート１１８においてＩＤカー
ド読み書き装置１２０を前述のＩＤカード７２の通信部
７６の位置に対応してカセット受け具２２０の下に配置
することが可能となった。ＩＤカード読み書き装置１２
０は、カセット受け具１３０に作られた通信窓１３２を
通じてＩＤカード７２の底面に備付けられた通信部７６
と通信を行なう。ＩＤカード読み書き装置１２０をカセ
ット受け具２２０の下に配置したことにより、作業者が
マニュアル用入口ポート１１６にカセット４０を置く
際、マニュアル用出口ポート１１８からカセット４０を
取出す際、それらのポートでのカセット４０の載置向き
を、そのＩＤカード７２が作業者側を向く向きとして
も、ＩＤカード読み書き装置１２０がそれらのカセット
４０を置くまた取出すときに従来のように邪魔になるこ
とはない。
【０３４９】このようにストッカ３６のマニュアル用入
口ポート１１６またはマニュアル用出口ポート１１８
に、取付けられるそれらポートのカセット受け具２２０
の下にＩＤカード読み書き装置１２０を配置したことに
より、そこでのカセット４０の載置向きを作業者側を向
くような向きにすることができ、さらにストッカ棚９
６、自動搬送車用入口受渡しポート１０４、自動搬送車
用出口受渡しポート１００、およびストッカ間搬送装置
用ポート９８でのカセット４０の載置向きをすべて外側
向きとすることができた。
【０３５０】よって、ストッカ３６の自動搬送車用入口
ポート８８でのカセット４０の向きと自動搬送車用入口
受渡しポート１０４でのカセット４０の向きが９０°異
なるため、前詰機８４が作業途中に回転作業を行なわな
ければならないという問題が解消される。
【０３５１】また、ストッカ３６の自動搬送車用出口ポ
ート８６でのカセット４０の向きと自動搬送車用出口受
渡しポート１００でのカセット４０の向きが９０°異な
るため、前詰機８４が作業途中に回転作業を行なわなけ
ればならないという問題が解消される。
【０３５２】さらに、マニュアル用入口ポート１１６と
マニュアル用出口ポート１１８に置かれたカセット４０
のＩＤカード７２の向きが作業者作業面を向いていない
ため、同ポートに置かれたカセット４０が何であるかの
確認をするのが困難であるという問題が解消される。
【０３５３】これにより、マニュアル用入口ポート１１
６とマニュアル用出口ポート１１８に置かれたカセット
４０のＩＤカード７２の表示部７４の情報を、作業者が
容易に読むことができる。また自動搬送車用出口受渡し
ポート１００と自動搬送車用出口ポート８６のカセット
４０の載置向きを同一にし、また自動搬送車用入口受渡
しポート１０４と自動搬送車用入口ポート８８のカセッ
ト４０の載置向きを同一にしたことにより、前詰機８４
によるそれらポート間でのカセット４０の移動作業の途
中にカセット４０の向きを９０°回転する必要がなくな
った。
【０３５４】上述の半導体ウェハカセット搬送装置にお
けるカセット４０は、それら工程によっては塵やミスト
等の不純物のウェハ７０への付着を非常に嫌うものとそ
れほどでもないものがあり、ストッカ３６への保管環境
に関する要求も異なる。そこで、保管環境に関して厳し
い要求のある工程のカセット４０を保管するストッカ３
６には、自動搬送車用ポート外シールド扉９０、自動搬
送車用ポート内シールド扉９２、マニュアル用ポート外
シールド扉１１４、マニュアル用ポート内シールド扉１
１２、ストッカ間搬送装置用ポート外シールド扉１２
２、ストッカ間搬送装置用ポート内シールド扉１１０等
のシールド扉を具備したものを用い、それほど厳しい要
求のない工程のカセット４０を保管するストッカ３６に
は、これらシールド扉を具備しないものを用いるように
してもよい。
【０３５５】このように半導体ウェハカセット搬送装置
を構成するストッカ３６、そのストッカ３６が保管する
処理装置３２、３４が行なう工程に応じて、ストッカ３
６のタイプをシールド扉付とシールド扉なしに使い分け
することにより、高価なシールド扉付ストッカ３６の使
用を最小限に抑えながら厳しい保管環境に関する要求を
満足することを可能とした。
【０３５６】半導体の製造においては、ある工程の処理
終了から次の工程の処理開始までの作業時間およびその
間の作業環境を厳しく管理する必要がある工程が長い製
造工程の中にいくつか存在する。そこで半導体ウェハカ
セット搬送装置は、シールド扉付ストッカ３６とシール
ド扉なしストッカ３６を混在して有する。しかも、上位
計算機５０は処理終了から処理完了までの作業時間とそ
の間の作業環境を厳しく管理する製造工程の情報を入力
手段５４から与えらようにしてもよい。厳しく管理され
る製造工程で使用するストッカ３６にはすべてシールド
扉付のものを用い、さらにストッカ間搬送装置４２を用
いるストッカ間の搬送作業および自動搬送車３８を用い
るストッカ３６と処理装置３２、３４間の搬送を他の製
造工程に比べて速やかに行なえるよう優先順位を上げた
搬送制御を行なうようにしてもよい。
【０３５７】この実施の形態では、半導体ウェハカセッ
ト搬送装置はシールド扉付とシールド扉なしストッカ３
６が混在している。さらに上位計算機５０はそれらスト
ッカ３６を、作業環境を厳しく管理する製造工程と、そ
れ以外の工程とで使い分ける。それとともに、ストッカ
間搬送装置４２を用いるストッカ間の搬送作業ならびに
自動搬送車３８を用いるストッカ３６および処理装置３
２、３４間の搬送を他の製造工程に比べて速やかに行な
えるよう優先順位を上げた搬送制御を行なうことができ
る。このため、高価なシールド扉付ストッカ３６の使用
を最小限に抑え、他の工程と同じストッカ間搬送装置４
２と自動搬送車３８を使用しながらも厳しい搬送作業時
間とその作業環境に関する要求を満足することを可能と
した。
【０３５８】
【発明の効果】請求項１〜１０のいずれかに記載の発明
は、収納先に空きがあることを確認するとストッカ間搬
送装置若しくは自動搬送車に搬送作業指示を送信し、ス
トッカに入庫作業指示を送信する。このため、自動搬送
車の上位計算機からの作業指示待ちがなくなる。これに
伴ない、自動搬送車の搬送能力を向上させることができ
る。また、ストッカ間搬送装置の上位計算機からの作業
指示待ちがなくなる。これに伴ない、ストッカ間搬送装
置の搬送能力を向上させることができる。さらに、入庫
の際、作業者が運んできたカセットがストッカマニュア
ル用入口ポートで長時間待たされることがなくなる。
【０３５９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の作用、効果に加えて、自動搬送車用入口ポート
を所定の順序で選択する。これにより、自動搬送車用入
口ポートの使用混み具合にばらつきが生じない。
【０３６０】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の作用、効果に加えて、自動搬送車用入口ポート
を自動搬送車による半導体ウェハカセットの搬送作業が
均等になるように選択する。これにより、自動搬送車用
入口ポートの使用混み具合にばらつきが生じない。
【０３６１】請求項７に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の目的に加えて、ストッカ間で搬送作業を行なう
際、搬送作業に必要な全ての装置が使用可能であること
を確認してから、搬送作業に着手する。これにより、ス
トッカ間搬送装置による半導体ウェハカセットの搬送を
効率的に行なうことができる。
【０３６２】請求項８に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の作用、効果に加えて、ストッカと処理装置との
間で半導体ウェハカセットの搬送作業を行なう際に、搬
送作業に必要な全ての装置が使用可能であることを確認
してから、搬送作業に着手する。これにより、自動搬送
車による半導体ウェハカセットの搬送を効率的に行なう
ことができる。
【０３６３】請求項９に記載の発明は、請求項１に記載
の発明の作用、効果に加えて、マニュアル用入口ポート
からストッカに入庫可能な場合にのみ、ストッカに入庫
作業指示を送信する。これにより、作業者による半導体
ウェハカセットの入庫を効率的に行なうことができる。
請求項１１〜２２のいずれかに記載の発明は、ストッカ
より出庫作業を行なうと、ストッカ内の半導体ウェハカ
セットの在庫情報を更新する。これにより、正確な在庫
の確認をすることができる。このため、無駄な搬送作業
が発生せず、自動搬送車の搬送能力を向上させることが
できる。また、ストッカ間搬送装置の搬送能力を向上さ
せることができる。
【０３６４】請求項１２に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、自動搬送車用出口ポ
ートからの出庫作業時に、自動搬送車用出口ポートを所
定の順序で選択する。このため、自動搬送車用出口ポー
トの使用混み具合にばらつきが発生しない。
【０３６５】請求項１３に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、自動搬送車用出口ポ
ートからの出庫作業時に、自動搬送車用出口ポートを自
動搬送車による半導体ウェハカセットの搬送作業が均等
になるように選択する。このため、自動搬送車用出口ポ
ートの使用混み具合にばらつきが発生しない。
【０３６６】請求項１６に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、ストッカ間で半導体
ウェハカセットの搬送作業を行なう際、搬送作業に必要
な全ての装置が使用可能であることを確認してから搬送
作業に着手する。このため、ストッカ間搬送装置による
半導体ウェハカセットの搬送を効率的に行なうことがで
きる。
【０３６７】請求項１７に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、ストッカから処理装
置へ半導体ウェハカセットの搬送作業を行なう際、搬送
作業に必要な全ての装置が使用可能であることを確認し
てから搬送作業に着手する。このため、自動搬送車によ
る半導体ウェハカセットの搬送を効率的に行なうことが
できる。
【０３６８】請求項１８に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作業、効果に加えて、マニュアル用出口ポ
ートから半導体ウェハカセットを出庫する際、ストッカ
が使用可能であれば、出庫作業に着手する。これによ
り、作業者による半導体ウェハカセットの出庫を効率的
に行なうことができる。
【０３６９】請求項１９に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、マニュアル用出口ポ
ートから半導体ウェハカセットを出庫する際、マニュア
ル用出口ポートを所定の順序で選択する。これにより、
マニュアル用出口ポートの使用混み具合にばらつきが発
生しない。
【０３７０】請求項２０に記載に発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、マニュアル用出口ポ
ートから半導体ウェハカセットを出庫する際、マニュア
ル用出口ポートからの半導体ウェハカセットの出庫が均
等になるようにマニュアル用出口ポートを選択する。こ
れにより、マニュアル用出口ポートの使用混み具合にば
らつきが発生しない。
【０３７１】請求項２１に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明の作用、効果に加えて、半導体ウェハカセッ
トをマニュアル用出口ポートから出庫する際、半導体ウ
ェハカセット上のＩＤカードに取出し許可と、搬送先の
処理装置が書込まれている。よって、それを見れば、搬
送先をその場で確認することができ、作業者の作業効率
が上がる。
【０３７２】請求項２３〜２４のいずれかに記載の発明
は、ストッカから処理装置への半導体ウェハカセットの
搬送作業において、予め自動搬送車用出口ポートからの
半導体ウェハカセットの出庫を予測して、自動搬送車に
搬送作業指示を送信する。このため、自動搬送車の作業
効率を向上させることができる。
【０３７３】請求項２５に記載の発明は、自動搬送車の
作業中の搬送作業の数が上限値を越えない範囲内で、搬
送作業指示を送信する。このため、搬送作業指示が滞る
ことがなくなり、自動搬送車の作業効率を向上させるこ
とができる。
【０３７４】請求項２６に記載の発明は、ストッカに半
導体ウェハカセットを入庫する際、先行する半導体ウェ
ハカセットがあれば、直ちにエラーは発報せず、所定時
間待ち、それでも、先行する半導体ウェハカセットがな
くならなければエラーを発報する。これにより、必要以
上にエラーが発報されることがなくなり、自動搬送車の
作業効率を向上させることができる。
【０３７５】請求項２７に記載の発明は、自動搬送車用
出口ポートに半導体ウェハカセットの払出完了を受けて
から、処理装置からストッカへ戻る半導体ウェハカセッ
トを一対として、自動搬送車に搬送作業指示を送信す
る。このため、自動搬送車が、ストッカから処理装置、
処理装置からストッカの搬送作業の順で作業を行なうこ
とができ、自動搬送車の作業効率を向上させることでき
る。
【０３７６】請求項２８〜３１のいずれかに記載の発明
は、ストッカが持つ半導体ウェハカセットの在庫と、上
位計算機が記憶しているストッカ内の半導体ウェアカセ
ットの在庫とを比較し、在庫の相違を端末に表示する。
これにより、ストッカ内の在庫情報に食い違いが発生し
た場合に、早急に原因を追求することができる。
【０３７７】請求項３２に記載の発明は、マニュアル用
出口ポートに置くことが可能な半導体ウェハカセットの
個数が処理装置が一度に要求する半導体ウェハカセット
の個数との関係で決められている。このため、処理装置
が一度に要求する半導体ウェハカセットを、作業者が一
度に運ぶことができ、作業者の作業効率が上がる。
【０３７８】請求項３３に記載の発明は、請求項３２に
記載の発明の作用、効果に加えて、マニュアル用入口ポ
ートに置くことが可能な半導体カセットの個数は、作業
者が運びやすい２個である。このため、ストッカへの入
庫作業の作業性がよくなる。これに伴ない、マニュアル
用入口ポートの使用混み具合にばらつきが発生しない。
【０３７９】請求項３４に記載の発明は、請求項３２に
記載の発明の作用、効果に加えて、ある処理装置で処理
されたカセットは、いずれのマニュアル用入口ポートか
らも入庫できる。このため、マニュアル用入口ポートの
使用混み具合にばらつきが発生しない。
【０３８０】請求項３５に記載の発明は、請求項３２に
記載の発明の作用、効果に加えて、処理装置が投入要求
する半導体ウェハカセットの個数と、自動搬送車出口ポ
ートに載置可能なカセット個数が所定の関係にある。こ
のため、自動搬送車による搬送が効率的に行なわれ、ひ
いては処理装置の作業効率が上がる。
【０３８１】請求項３６〜３７のいずれかに記載の発明
は、ストッカ内部に塵やミスとが混入するのを防ぐため
のシールド扉を設けた。このため、ストッカ内の半導体
ウェハカセット保管環境を改善することができる。
【０３８２】請求項３８のいずれかに記載の発明は、請
求項３６〜３７のいずれかに記載の発明の作用、効果に
加えて、半導体ウェハカセットの管理の重要性に応じて
シールド付きストッカと、シールドなしストッカとを使
い分ける。これにより、最小限のコストでストッカ内の
半導体ウェハカセットの保管環境を改善することができ
る。
【０３８３】請求項３９に記載の発明は、ＩＤカードの
底面に送受信手段を設けた。これに伴ない、ＩＤカード
読み書き装置をストッカ内部に埋め込むことができ、半
導体ウェハカセットをマニュアル用ポートより入出庫す
る際、ＩＤカード読み書き装置が邪魔にならない。この
ため、ストッカへの半導体ウェハカセットの入庫機構を
簡略化することができる。また、ストッカからの半導体
ウェハカセットの出庫機構を簡略化することができる。
さらに、作業者が、マニュアル用ポートに置かれた半導
体ウェハカセットの種類を容易に確認できるようになっ
た。
【図面の簡単な説明】
【図１】 半導体ウェハカセット搬送装置３０の鳥瞰図
である。
【図２】 半導体ウェハカセット搬送装置３０の鳥瞰図
である。
【図３】 半導体ウェハカセット４０とＩＤカード７２
を説明する図である。
【図４】 ストッカ３６を自動搬送車側面から見た図で
ある。
【図５】 ストッカ３６を作業者側側面から見た図であ
る。
【図６】 ストッカ３６のマニュアル用出口ポートを説
明する図である。
【図７】 ストッカ内のカセット収納場所を説明する図
である。
【図８】 自動搬送車３８の外観図である。
【図９】 ストッカ間搬送装置４２の外観図である。
【図１０】 処理装置３２の外観図である。
【図１１】 処理装置３４の外観図である。
【図１２】 ストッカ１９０を自動搬送車側面から見た
図である。
【図１３】 ストッカ１９０を作業者側側面から見た図
である。
【図１４】 ストッカ１９０のマニュアル用出口ポート
を説明する図である。
【図１５】 従来の半導体ウェハカセット搬送装置２３
０の鳥瞰図である。
【図１６】 従来の半導体ウェハカセット搬送装置２３
０の鳥瞰図である。
【図１７】 半導体ウェハカセット２３０とＩＤカード
２４０を説明する図である。
【図１８】 ストッカ２３４を自動搬送車側面から見た
図である。
【図１９】 ストッカ２３４を作業者側側面から見た図
である。
【図２０】 ストッカ２３４のマニュアル用出口ポート
を説明する図である。
【符号の説明】
３０ 半導体ウェハカセット搬送装置、３２，３４ 処
理装置、３６ ストッカ、３８ 自動搬送車、４０ カ
セット、４２ ストッカ間搬送装置、５０ 上位計算
機、７０ ウェハ、７２ ＩＤカード、７４ 表示部、
７６ 通信部、８０ ストッカクレーン、８２ 移載
機、８４ 前詰機、８６ 自動搬送車用出口ポート、８
８ 自動搬送車用入口ポート、９０ 自動搬送車用ポー
ト外シールド扉、９２ 自動搬送車用ポート内シールド
扉、９４ ストッカパネル、９６ ストッカ棚、１００
自動搬送車用出口受渡しポート、１０４ 自動搬送車
用入口受渡しポート、１１２ マニュアル用ポート内シ
ールド、１１４ マニュアル用ポート外シールド、１１
６ マニュアル用入口ポート、１１８ マニュアル用出
口ポート、１２０ ＩＤカード読み書き装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (54)【発明の名称】 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならび に半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制 御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法

Claims (39)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体ウェハカセットを複数個収納する
    ためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含む半導体ウェハカセット搬送装置におけるストッ
    カ入庫制御方法であって、 前記上位計算機は、前記ストッカで収納可能な最大カセ
    ット数を有しており、前記ストッカ入庫作業制御方法
    は、 収納先の前記ストッカに空きがあることを確認するステ
    ップと、 前記ストッカに空きがある場合に、前記ストッカの収納
    場所を確保するステップと、 前記ストッカ間搬送装置若しくは前記自動搬送車に搬送
    作業指示を送信し、または前記ストッカに入庫作業指示
    を送信するステップとを含む、ストッカ入庫作業制御方
    法。
  2. 【請求項２】 前記ストッカは、前記自動搬送車による
    前記半導体ウェハカセットの入庫のための自動搬送車用
    入口ポートを含み、 前記自動搬送車用入口ポートを所定の順序で選択するス
    テップをさらに含む、請求項１に記載のストッカ入庫作
    業制御方法。
  3. 【請求項３】 前記ストッカは、前記自動搬送車による
    前記半導体ウェハカセットの入庫のための自動搬送車用
    入口ポートを含み、 前記自動搬送車用入口ポートを前記自動搬送車による前
    記半導体ウェハカセットの搬送作業が均等になるように
    選択するステップをさらに含む、請求項１に記載のスト
    ッカ入庫作業制御方法。
  4. 【請求項４】 前記ストッカは、前記自動搬送車による
    前記半導体ウェハカセットの入庫のための複数の自動搬
    送車用入口ポートを含み、 前記上位計算機は、前記複数の自動搬送車用入口ポート
    の各々について作業数および上限値を記憶しており、 前記複数の自動搬送車用入口ポートのうちの１つを前記
    作業数が前記上限値を超える自動搬送車用入口ポート以
    外より選択するステップをさらに含む、請求項１に記載
    のストッカ入庫作業制御方法。
  5. 【請求項５】 前記ストッカは、前記自動搬送車による
    前記半導体ウェハカセットの入庫のための自動搬送車用
    入口ポートを含み、 前記上位計算機は、前記自動搬送車用入口ポートについ
    て使用可能または使用不可能を示すフラグを記憶し、 前記自動搬送車用入口ポートを前記フラグが使用可能を
    示す自動搬送車用入口ポートより選択するステップをさ
    らに含む、請求項１に記載のストッカ入庫作業制御方
    法。
  6. 【請求項６】 前記ストッカは、作業者による前記半導
    体ウェハカセットの入庫のためのマニュアル用入口ポー
    トと、 メッセージ表示手段とを含み、 前記作業者が前記マニュアル用入口ポートより前記半導
    体ウェハカセットを入庫する際、前記ストッカに空きが
    あるか否かを判断するステップと、 前記ストッカに空きがなければ前記メッセージ表示手段
    に空きがないことを表示するステップとをさらに含む、
    請求項１に記載のストッカ入庫作業制御方法。
  7. 【請求項７】 前記上位計算機は、前記ストッカおよび
    前記ストッカ間搬送装置のそれぞれについて使用可能ま
    たは使用不可能を示すフラグを記憶し、 前記ストッカ間で前記半導ウェハカセットの搬送を行な
    う際に、搬送に必要な、搬送元の前記ストッカ、搬送先
    の前記ストッカおよび前記ストッカ間搬送装置の全てが
    使用可能か否かを判断するステップと、 全てが使用可能であれば、前記ストッカ間搬送装置に搬
    送作業指示を送信するステップとをさらに含む、請求項
    １に記載のストッカ入庫作業制御方法。
  8. 【請求項８】 前記上位計算機は、前記ストッカおよび
    前記自動搬送車のそれぞれについて使用可能または使用
    不可能を示すフラグを記憶し、 前記ストッカと前記処理装置との間で前記半導体ウェハ
    カセットの搬送を行なう際に、搬送に必要な、前記スト
    ッカおよび前記自動搬送車の全てが使用可能か否かを判
    断するステップと、 全てが使用可能であれば、前記自動搬送車に搬送作業指
    示を送信するステップとをさらに含む、請求項１に記載
    のストッカ入庫作業制御方法。
  9. 【請求項９】 前記ストッカは、作業者による前記半導
    体ウェハカセットの入庫のためのマニュアル用入口ポー
    トを含み、 前記上位計算機は、前記ストッカについて使用可能また
    は使用不可能を示すフラグを記憶し、 作業者が前記マニュアル用入口ポートから前記ストッカ
    に入庫作業を行なう際に、当該ストッカが使用可能か否
    かを判断するステップと、 使用可能であれば、当該ストッカに入庫作業指示を送信
    するステップとをさらに含む、請求項１に記載のストッ
    カ入庫作業制御方法。
  10. 【請求項１０】 前記上位計算機は、メッセージ出力手
    段をさらに含み、 作業者が前記マニュアル用入口ポートから前記ストッカ
    に入庫作業を行なう際に、当該ストッカが使用不可能で
    あれば、前記メッセージ出力手段に当該ストッカへの入
    庫は不可能であることを表示するステップをさらに含
    む、請求項９に記載のストッカ入庫作業制御方法。
  11. 【請求項１１】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含む半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるス
    トッカ出庫作業制御方法であって、 前記上位計算機は、前記ストッカ内の前記半導体ウェハ
    カセットの在庫情報を有し、前記ストッカ出庫作業制御
    方法は、 前記ストッカより出庫作業を行なうステップと、 前記ストッカより出庫作業を行なう際に、前記ストッカ
    内の前記半導体ウェハカセットの在庫情報を更新するス
    テップを含む、ストッカ出庫作業制御方法。
  12. 【請求項１２】 前記ストッカは、前記自動搬送車によ
    る前記半導体ウェハカセットの出庫のための自動搬送車
    用出口ポートを含み、 前記自動搬送車用出口ポートを所定の順序で選択するス
    テップをさらに含む、請求項１１に記載のストッカ出庫
    作業制御方法。
  13. 【請求項１３】 前記ストッカは、前記自動搬送車によ
    る前記半導体ウェハカセットの出庫のための自動搬送車
    用出口ポートを含み、 前記自動搬送車用出口ポートを前記自動搬送車による前
    記半導体ウェハカセットの搬送作業が均等になるように
    選択するステップをさらに含む、請求項１１に記載のス
    トッカ出庫作業制御方法。
  14. 【請求項１４】 前記ストッカは、前記自動搬送車によ
    る前記半導体ウェハカセットの出庫のための自動搬送車
    用出口ポートを含み、 前記上位計算機は、前記自動搬送車用出口ポートについ
    て作業数および上限値を記憶し、 前記自動搬送車用出口ポートを前記作業数が前記上限値
    を超える自動搬送車用出口ポート以外より選択するステ
    ップをさらに含む、請求項１１に記載のストッカ出庫作
    業制御方法。
  15. 【請求項１５】 前記ストッカは、前記自動搬送車によ
    る前記半導体ウェハカセットの出庫のための自動搬送車
    用出口ポートを含み、 前記上位計算機は、前記自動搬送車用出口ポートについ
    て使用可能または使用不可能を示すフラグを記憶し、 前記自動搬送車用出口ポートを前記フラグが使用可能を
    示す自動搬送車用出口ポートより選択するステップをさ
    らに含む、請求項１１に記載のストッカ出庫作業制御方
    法。
  16. 【請求項１６】 前記上位計算機は、前記ストッカおよ
    び前記ストッカ間搬送装置のそれぞれについて使用可能
    または使用不可能を示すフラグを記憶し、 前記ストッカ間で前記半導体ウェハカセットの搬送を行
    なう際に、搬送に必要な、搬送元の前記ストッカ、搬送
    先の前記ストッカおよび前記ストッカ間搬送装置の全て
    が使用可能か否かを判断するステップと、 全てが使用可能であれば、前記ストッカ間搬送装置に搬
    送作業指示を送信するステップとをさらに含む、請求項
    １１に記載のストッカ出庫作業制御方法。
  17. 【請求項１７】 前記上位計算機は、前記ストッカおよ
    び前記自動搬送車のそれぞれについて使用可能または使
    用不可能を示すフラグを記憶し、 前記ストッカと前記処理装置との間で前記半導体ウェハ
    カセットの搬送を行なう際に、搬送に必要な、前記スト
    ッカおよび前記自動搬送車の全てが使用可能か否かを判
    断するステップと、 全てが使用可能であれば、前記自動搬送車に搬送作業指
    示を送信するステップとをさらに含む、請求項１１に記
    載のストッカ出庫作業制御方法。
  18. 【請求項１８】 前記ストッカは、作業者による前記半
    導体ウェハカセットの出庫のためのマニュアル用出口ポ
    ートを含み、 前記上位計算機は、前記ストッカについて使用可能また
    は使用不可能を示すフラグを記憶し、 作業者が前記マニュアル用出口ポートから前記半導体ウ
    ェハカセットの出庫作業を行なう際に、当該ストッカが
    使用可能か否かを判断するステップと、 使用可能であれば、当該ストッカに出庫作業指示を送信
    するステップとをさらに含む、請求項１１に記載のスト
    ッカ出庫作業制御方法。
  19. 【請求項１９】 前記ストッカは、作業者による前記半
    導体ウェハカセットの出庫のためのマニュアル用出口ポ
    ートを含み、 前記マニュアル用出口ポートを所定の順序で選択し、前
    記半導体ウェハカセットを出庫するステップをさらに含
    む、請求項１１に記載のストッカ出庫作業制御方法。
  20. 【請求項２０】 前記ストッカは、作業者による前記半
    導体ウェハカセットの出庫のためのマニュアル用出口ポ
    ートを含み、 前記マニュアル用出口ポートからの前記半導体ウェハカ
    セットの出庫が均等になるように前記マニュアル用出口
    ポートを選択するステップをさらに含む、請求項１１に
    記載のストッカ出庫作業制御方法。
  21. 【請求項２１】 前記半導体ウェハカセットには、デー
    タを記憶するためのＩＤカードが接続されており、 前記ストッカは、作業者による前記半導体ウェハカセッ
    トの出庫のためのマニュアル用出口ポートと、 メッセージを表示するための表示手段とを含み、 前記マニュアル用出口ポートは、前記ＩＤカードのデー
    タを読書きするためのＩＤカード読書き装置を含み、前
    記ストッカ出庫作業制御方法は、前記半導体ウェハカセ
    ットの出庫作業指示を送信するステップと、 前記マニュアル用出口ポートに払出された前記半導体ウ
    ェハカセットの前記ＩＤカードのデータを前記ＩＤカー
    ド読書き装置を用いて読むステップと、 出庫要求した前記半導体ウェハカセットと前記マニュア
    ル用出口ポートに払出された前記半導体ウェハカセット
    との比較照合を行なうステップと、 出庫要求した前記半導体ウェハカセットと前記マニュア
    ル用出口ポートに払出された前記半導体ウェハカセット
    とが同一である場合に、前記半導体ウェハカセットの前
    記ＩＤカードに搬送先の前記処理装置の名前を書込み、
    作業者に取出し許可を行ない、前記取出し許可を前記表
    示手段に表示するステップとをさらに含む、請求項１１
    に記載のストッカ出庫作業制御方法。
  22. 【請求項２２】 前記ストッカは、前記ストッカ間搬送
    装置による前記半導体ウェハカセットの入出庫のための
    ストッカ間搬送装置用ポートを含み、 前記ストッカ間搬送装置用ポートより前記半導体ウェハ
    カセットを出庫する際に、予め指定した過程を通過した
    か否かを判断するステップと、 前記予め指定した過程を通過した場合に、前記半導体ウ
    ェハカセットの搬送作業指示を前記ストッカ間搬送装置
    に送信するステップとをさらに含む、請求項１１に記載
    のストッカ出庫作業制御方法。
  23. 【請求項２３】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含む半導体ウェハカセット搬送装置で用いられる自
    動搬送車制御方法であって、 前記ストッカは、前記自動搬送車による前記半導体ウェ
    ハカセットの出庫のための自動搬送車用出口ポートを含
    み、 自動搬送車用出口ポートからの前記半導体ウェハカセッ
    トの出庫を予測するステップと、 予測に基づいて前記自動搬送車に搬送作業指示を送信す
    るステップを含む、自動搬送車制御方法。
  24. 【請求項２４】 前記自動搬送車が前記自動搬送車用出
    口ポートに前記半導体ウェハカセットが存在するか否か
    を判断するステップと、 前記自動搬送車用出口ポートに前記半導体ウェハカセッ
    トがない場合、一定時間出庫されるのを待つステップ
    と、 前記一定時間経過後に前記自動搬送車用出口ポートに前
    記半導体ウェハカセットがない場合にエラーを発報する
    ステップとをさらに含む、請求項２３記載に記載の自動
    搬送車制御方法。
  25. 【請求項２５】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含む半導体ウェハカセット搬送装置で用いられる自
    動搬送車制御方法であって、 前記ストッカは、前記自動搬送車による前記半導体ウェ
    ハカセットの出庫のための自動搬送車用出口ポートを含
    み、 前記上位計算機は、前記自動搬送車の作業中の搬送作業
    数および上限値を記憶しており、 前記自動搬送車制御方法は、 前記搬送作業数を更新するステップと、 前記搬送作業数が前記上限値を超えない範囲で、前記自
    動搬送車に搬送作業指示を送信するステップを含む、自
    動搬送車制御方法。
  26. 【請求項２６】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含む半導体ウェハカセット搬送装置で用いられる自
    動搬送車制御方法であって、 前記ストッカは、前記自動搬送車による前記半導体ウェ
    ハカセットの入庫のための自動搬送車用入口ポートを含
    み、 前記半導体ウェハカセットを前記上位計算機の制御のも
    と前記自動走行作業車を用いて前記処理装置から前記自
    動搬送車用入口ポートに搬送するステップと、 前記自動搬送車用入口ポートに前記半導体ウェハカセッ
    トが存在するか否かを判断するステップと、 前記自動搬送車用入口ポートに前記半導体ウェハカセッ
    トが存在する場合、一定時間入庫されるのを待つステッ
    プと、 前記一定時間経過後に前記自動搬送車入口ポートに前記
    半導体ウェハカセットが存在する場合にエラーを発報す
    るステップとを含む、自動搬送車制御方法。
  27. 【請求項２７】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含む半導体ウエハカセット搬送装置で用いられる、
    自動搬送車制御方法であって、 前記ストッカは、前記自動搬送車による前記半導体ウェ
    ハカセットの出庫のための自動搬送車用出口ポートを含
    み、 前記処理装置からの処理完了報告を受けるステップと、 前記処理完了報告を受け、前記自動搬送車用出口ポート
    への払出作業を行なうステップと、 前記自動搬送車用出口ポートより払出の完了を受け、前
    記自動搬送車に、前記処理装置で処理された前記半導体
    ウェハカセットと前記自動搬送車用出口ポートより払出
    された前記半導体ウェハカセットとの搬送作業指示を送
    信するステップとを含む、自動搬送車制御方法。
  28. 【請求項２８】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含む半導体ウェハカセット搬送装置で用いられる、
    ストッカ在庫照合方法であって、 前記上位計算機は、作業者から前記上位計算機に指示を
    送信し、結果を表示するための端末と、 前記ストッカの在庫を記憶するためのストッカ在庫記憶
    手段とを含み、 作業者からの指示を受け、前記ストッカが持つ前記半導
    体ウェハカセットの在庫を問い合わせるステップと、 前記ストッカから前記半導体ウェハカセットの在庫を受
    けるステップと、 前記ストッカより送られてきた在庫と前記ストッカ在庫
    記憶手段に記憶された前記ストッカの在庫とを比較する
    ステップと、 前記ストッカの在庫と前記ストッカ在庫記憶手段に記憶
    された前記ストッカの在庫とが異なる場合、在庫の相違
    を前記端末に表示するステップとを含む、ストッカ在庫
    照合方法。
  29. 【請求項２９】 前記ストッカの在庫と前記ストッカ在
    庫記憶手段に記憶された前記ストッカの在庫とが異なる
    場合、前記ストッカの在庫にはあって前記ストッカ在庫
    記憶手段に記憶された前記ストッカの在庫にはない前記
    半導体ウェハカセットと、前記ストッカの在庫にはなく
    て前記ストッカ在庫記憶手段に記憶された前記ストッカ
    の在庫にはある前記半導体ウェハカセットとを区別して
    在庫の相違を前記端末に表示するステップをさらに含
    む、請求項２８に記載のストッカ在庫照合方法。
  30. 【請求項３０】 作業者からの指示に従い、前記ストッ
    カ在庫記憶手段に記憶された前記ストッカの在庫を前記
    ストッカより送られてきた在庫で書換えるステップをさ
    らに含む、請求項２８〜２９のいずれかに記載のストッ
    カ在庫照合方法。
  31. 【請求項３１】 前記ストッカより送られてきた在庫と
    前記ストッカ在庫記憶手段に記憶された前記ストッカの
    在庫とが異なる場合、在庫の相違を前記ストッカの収納
    場所単位で表示するステップをさらに含む、請求項２８
    〜２９のいずれかに記載のストッカ在庫照合方法。
  32. 【請求項３２】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含み、 前記ストッカは、作業者による前記半導体ウェハカセッ
    トの出庫のためのマニュアル用出口ポートを含み、 前記マニュアル用出口ポートに置くことが可能な前記半
    導体ウェハカセットの個数は前記処理装置が一度に要求
    する前記半導体ウェハカセットの個数との関係で定めら
    れている、半導体ウェハカセット搬送装置。
  33. 【請求項３３】 前記ストッカは、作業者による前記半
    導体ウェハカセット入庫のためのマニュアル用入口ポー
    トをさらに含み、 前記マニュアル用入口ポートに置くことが可能な前記半
    導体ウェハカセットの個数は２個である、請求項３２に
    記載の半導体ウェハカセット搬送装置。
  34. 【請求項３４】 前記マニュアル用入口ポートと前記処
    理装置とが対応付けられていない、請求項３２に記載の
    半導体ウェハカセット搬送装置。
  35. 【請求項３５】 前記自動搬送車用入口ポートに置くこ
    とが可能な前記半導体ウェハカセットの個数は前記処理
    装置が一度に排出要求する前記半導体ウェハカセットの
    個数との関係で定められており、 前記自動搬送車が一度に搬送できる前記半導体ウェハカ
    セットの個数は前記自動搬送車用入口ポートに置くこと
    が可能な前記半導体ウェハカセットの個数および前記自
    動搬送車用出口ポートに置くことが可能な前記半導体ウ
    ェハカセットの個数との関係で定められている、請求項
    ３２に記載の半導体ウェハカセット搬送装置。
  36. 【請求項３６】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含む半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるス
    トッカであって、 前記ストッカ間搬送装置による前記半導体ウェハカセッ
    トの入出庫のためのストッカ間搬送装置用ポートと、 前記自動搬送車による前記半導体ウェハカセットの入庫
    のための自動搬送車用入口ポートと、 前記自動搬送車による前記半導体ウェハカセットの出庫
    のための自動搬送車用出口ポートと、 作業者による前記半導体ウェハカセット入出庫のための
    マニュアル用ポートと、 前記ストッカ間搬送装置用ポートに設けられた第１のシ
    ールド扉と、 前記自動搬送車用入口ポートに設けられた第２のシール
    ド扉と、 前記自動搬送車用出口ポートに設けられた第３のシール
    ド扉と、 前記マニュアル用ポートに設けられた第４のシールド扉
    とを含む、ストッカ。
  37. 【請求項３７】 前記第１のシールド扉、前記第２のシ
    ールド扉、前記第３のシールド扉および前記第４のシー
    ルド扉は、それぞれ２重のシールド扉である、請求項３
    ６に記載のストッカ。
  38. 【請求項３８】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るための複数のストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含み、 前記複数のストッカのうちの少なくとも１つは、請求項
    ３６〜３７のいずれかに記載のストッカである、半導体
    ウェハカセット搬送装置。
  39. 【請求項３９】 半導体ウェハカセットを複数個収納す
    るためのストッカと、 前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置
    と、 前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハ
    カセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、 搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で
    前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのス
    トッカ間搬送装置と、 前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送
    車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機
    とを含み、 前記半導体ウェハカセットには、データを記憶するため
    のＩＤカードが接続されており、 前記ＩＤカードは、データの送受信を行なうために前記
    ＩＤカードの底面に配置された送受信手段を含み、 前記ストッカは、作業者による前記半導体ウェハカセッ
    ト入出庫のためのマニュアル用ポートと、 ＩＤカードと対向して配置され、データの送受信を行な
    うためのＩＤカード読書き装置とを含む、半導体ウェハ
    カセット搬送装置。
JP9214916A 1997-08-08 1997-08-08 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法 Pending JPH1159829A (ja)

Priority Applications (16)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9214916A JPH1159829A (ja) 1997-08-08 1997-08-08 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
US09/035,921 US6129496A (en) 1997-08-08 1998-03-06 Semiconductor wafer cassette transportation apparatus and stocker used therein
US09/035,818 US6050768A (en) 1997-08-08 1998-03-06 Automatic carrier control method in semiconductor wafer cassette transportation apparatus
US09/036,196 US6151533A (en) 1997-08-08 1998-03-06 Collation method of stocker storage in semiconductor wafer cassette transportation apparatus
US09/035,920 US6169935B1 (en) 1997-08-08 1998-03-06 Control method of stocker entry task and stocker exit task in semiconductor wafer cassette transportation apparatus
TW087103547A TW499385B (en) 1997-08-08 1998-03-11 Collation method of stocker storage in semiconductor wafer cassette transportation apparatus
TW087103545A TW407131B (en) 1997-08-08 1998-03-11 Conveying apparatus of semiconductor wafer cassette and the storage device used by the same
TW087103546A TW397800B (en) 1997-08-08 1998-03-11 Automatic carrier control method in semiconductor wafer cassette transportation apparatus
KR1019980011211A KR100283596B1 (ko) 1997-08-08 1998-03-31 반도체 웨이퍼 카셋트 반송장치에서의 자동반송차 제어방법
KR1019980011209A KR100276621B1 (ko) 1997-08-08 1998-03-31 반도체 웨이퍼 카셋트 반송장치에서의 스토커 재고 조합(照合)방법
KR10-1998-0011208A KR100323192B1 (ko) 1997-08-08 1998-03-31 반도체 웨이퍼 카셋트 반송장치에서의 스토커 입고작업 제어방법 및, 스토커 출고작업 제어방법
KR1019980011210A KR100276622B1 (ko) 1997-08-08 1998-03-31 반도체 웨이퍼 카셋트 반송장치 및, 반도체 웨이퍼 카셋트 반송장치에서 이용되는 스토커
DE19816199A DE19816199A1 (de) 1997-08-08 1998-04-09 Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung und darin verwendete Lagerungsvorrichtung
DE19816151A DE19816151B4 (de) 1997-08-08 1998-04-09 Verfahren zur Steuerung eines automatischen Transportierers in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung
DE19816130A DE19816130A1 (de) 1997-08-08 1998-04-09 Steuerverfahren für eine Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabe und eine Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabe, die in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung verwendet werden
DE19816127A DE19816127B4 (de) 1997-08-08 1998-04-09 Vergleichsverfahren für eine Lagerungsvorrichtungslagerung in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9214916A JPH1159829A (ja) 1997-08-08 1997-08-08 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1159829A true JPH1159829A (ja) 1999-03-02

Family

ID=16663713

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9214916A Pending JPH1159829A (ja) 1997-08-08 1997-08-08 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法

Country Status (5)

Country Link
US (4) US6050768A (ja)
JP (1) JPH1159829A (ja)
KR (4) KR100323192B1 (ja)
DE (4) DE19816127B4 (ja)
TW (3) TW407131B (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002362737A (ja) * 2001-06-07 2002-12-18 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法
JP2005310112A (ja) * 2004-02-28 2005-11-04 Applied Materials Inc 基板キャリア・ハンドラの改善された動作のための方法及び装置
JP2006341957A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 物品分類収納システム及びマニピュレーションシステム
JP2009096611A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Asyst Technologies Japan Inc 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
JP2010192855A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
KR20140027105A (ko) * 2011-03-10 2014-03-06 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 생산 효율화 장치, 생산 효율화 방법, 및 컴퓨터 프로그램
JP2014126930A (ja) * 2012-12-25 2014-07-07 Toyota Industries Corp 搬送システム
US8939696B2 (en) 2012-02-22 2015-01-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Automatic carrier transfer for transferring a substrate carrier in a semiconductor manufacturing post-process and method of transferring the substrate carrier using the same
JP2018015885A (ja) * 2016-07-19 2018-02-01 株式会社日本設計工業 多関節型双腕ロボット装置及び多関節型双腕ロボットによる生産システム
WO2018088085A1 (ja) * 2016-11-14 2018-05-17 村田機械株式会社 天井搬送システムとこれに用いる中継搬送装置及び搬送方法
CN109360803A (zh) * 2018-11-16 2019-02-19 罗博特科智能科技股份有限公司 一种电池片料盒输送切换装置

Families Citing this family (104)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6471460B1 (en) * 1996-07-15 2002-10-29 Semitool, Inc. Apparatus for processing a microelectronic workpiece including a workpiece cassette inventory assembly
JPH1159829A (ja) * 1997-08-08 1999-03-02 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
US6368040B1 (en) 1998-02-18 2002-04-09 Tokyo Electron Limited Apparatus for and method of transporting substrates to be processed
AU3054999A (en) * 1998-04-02 1999-10-25 Nikon Corporation Method and apparatus for wafer processing, and method and apparatus for exposure
KR100303445B1 (ko) * 1998-11-04 2002-11-01 삼성전자 주식회사 작업대상물의선택처리시스템및그제어방법
US6223886B1 (en) * 1998-06-24 2001-05-01 Asyst Technologies, Inc. Integrated roller transport pod and asynchronous conveyor
US6533101B2 (en) 1998-06-24 2003-03-18 Asyst Technologies, Inc. Integrated transport carrier and conveyor system
US6405094B1 (en) * 1998-07-10 2002-06-11 Tokyo Electron Limited Apparatus and method of collecting substrates abnormally processed or processed previous to ordinary processing
US6411859B1 (en) * 1998-08-28 2002-06-25 Advanced Micro Devices, Inc. Flow control in a semiconductor fabrication facility
US6205881B1 (en) * 1998-10-13 2001-03-27 Brooks Automation Gmbh Device for controlling the drive of mechanisms operating separately from one another
JP2000118681A (ja) * 1998-10-19 2000-04-25 Shinkawa Ltd トレイ搬送装置及び方法
US6283692B1 (en) * 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US7039495B1 (en) * 1998-12-08 2006-05-02 Advance Micro Devices, Inc. Management of multiple types of empty carriers in automated material handling systems
WO2000051921A1 (en) * 1999-03-05 2000-09-08 Pri Automation, Inc. Material handling and transport system and process
DE19921244A1 (de) * 1999-05-07 2000-11-16 Siemens Ag Anlage zur Bearbeitung von Wafern
DE19922936B4 (de) * 1999-05-19 2004-04-29 Infineon Technologies Ag Anlage zur Bearbeitung von Wafern
JP3365551B2 (ja) * 1999-05-20 2003-01-14 日本電気株式会社 ロット供給システム及びロット供給方法
KR100510066B1 (ko) * 1999-06-30 2005-08-26 주식회사 하이닉스반도체 반도체 생산라인의 스토커 오류 감시 방법
JP3730810B2 (ja) * 1999-07-09 2006-01-05 東京エレクトロン株式会社 容器の移動装置および方法
US6308818B1 (en) * 1999-08-02 2001-10-30 Asyst Technologies, Inc. Transport system with integrated transport carrier and directors
DE19952194A1 (de) * 1999-10-29 2001-05-17 Infineon Technologies Ag Anlage zur Bearbeitung von Wafern
WO2001040087A1 (en) * 1999-12-02 2001-06-07 Asyst Technologies, Inc. Wafer transport system
JP2001267395A (ja) * 2000-01-13 2001-09-28 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウエハキャリア及び半導体ウエハキャリア自動搬送システム並びに半導体装置の製造方法
US6698991B1 (en) * 2000-03-02 2004-03-02 Applied Materials, Inc. Fabrication system with extensible equipment sets
US6506009B1 (en) * 2000-03-16 2003-01-14 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
FI112060B (fi) * 2000-06-21 2003-10-31 Fastems Oy Ab Integroitu käsittelyjärjestelmä työkappaleille ja materiaaleille
KR100609297B1 (ko) * 2000-07-03 2006-08-04 호쿠요덴키 가부시키가이샤 광데이터 전송장치
JP3558012B2 (ja) * 2000-07-04 2004-08-25 村田機械株式会社 搬送システム
US6732003B1 (en) * 2000-08-07 2004-05-04 Data I/O Corporation Feeder/programming/loader system
US6887026B1 (en) * 2000-12-22 2005-05-03 Infineon Technologie Sc300 Gmbh & Co. Kg Semiconductor product container and system for handling a semiconductor product container
US6848876B2 (en) 2001-01-12 2005-02-01 Asyst Technologies, Inc. Workpiece sorter operating with modular bare workpiece stockers and/or closed container stockers
US6516243B2 (en) * 2001-01-16 2003-02-04 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Stocker apparatus affording manual access
US20020164242A1 (en) * 2001-01-26 2002-11-07 Brian Wehrung Control system for transfer and buffering
US6582182B2 (en) * 2001-06-04 2003-06-24 Intrabay Automation, Inc. Semiconductor wafer storage kiosk
US6580967B2 (en) 2001-06-26 2003-06-17 Applied Materials, Inc. Method for providing distributed material management and flow control in an integrated circuit factory
US6685419B2 (en) * 2001-07-10 2004-02-03 Christopher John Bayne Mobile elevator transporter for semi-automatic wafer transfer
US6726429B2 (en) 2002-02-19 2004-04-27 Vertical Solutions, Inc. Local store for a wafer processing station
DE10213885B4 (de) * 2002-03-27 2006-10-12 Infineon Technologies Ag Anlage zur Bearbeitung einer Halbleiterscheibe und Verfahren zum Betreiben einer solchen Anlage
US6881020B2 (en) * 2002-04-26 2005-04-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Pod transfer system having retractable mast and rotatable and vertically movable hoist
EP2790210A3 (en) 2002-06-19 2014-12-31 Murata Machinery, Ltd. Automated material handling system
KR100857710B1 (ko) * 2002-07-09 2008-09-08 엘지디스플레이 주식회사 카셋트 보관고의 운용방법
KR101475662B1 (ko) 2002-10-11 2014-12-24 무라다기카이가부시끼가이샤 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
US20070092359A1 (en) * 2002-10-11 2007-04-26 Brooks Automation, Inc. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
KR20040062137A (ko) * 2002-12-31 2004-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 반송 시스템
US7472737B1 (en) 2003-01-15 2009-01-06 Leannoux Properties Ag L.L.C. Adjustable micro device feeder
US7778721B2 (en) * 2003-01-27 2010-08-17 Applied Materials, Inc. Small lot size lithography bays
US7221993B2 (en) * 2003-01-27 2007-05-22 Applied Materials, Inc. Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools
US7076326B2 (en) * 2003-10-06 2006-07-11 Intel Corporation Proactive staging for distributed material handling
US7218983B2 (en) * 2003-11-06 2007-05-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities
US20050209721A1 (en) * 2003-11-06 2005-09-22 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US7720557B2 (en) * 2003-11-06 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
TWI367192B (en) * 2003-11-13 2012-07-01 Applied Materials Inc Calibration of high speed loader to substrate transport system
US6996448B2 (en) * 2003-12-02 2006-02-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Transport system with multiple-load-port stockers
US7101138B2 (en) * 2003-12-03 2006-09-05 Brooks Automation, Inc. Extractor/buffer
JP4490124B2 (ja) * 2004-01-23 2010-06-23 セイコーエプソン株式会社 搬送状況提示システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体
KR20060043293A (ko) * 2004-02-28 2006-05-15 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판 캐리어 핸들러의 작동을 강화하기 위한 방법 및 장치
US7274971B2 (en) 2004-02-28 2007-09-25 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for electronic device manufacturing system monitoring and control
US7413069B2 (en) * 2004-02-28 2008-08-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility
TWI316044B (en) 2004-02-28 2009-10-21 Applied Materials Inc Methods and apparatus for material control system interface
TWI290272B (en) * 2004-03-12 2007-11-21 Murata Machinery Ltd Moving body system
KR20060001466A (ko) * 2004-06-30 2006-01-06 엘지.필립스 엘시디 주식회사 반송대차 구동시스템
JP4123383B2 (ja) * 2004-08-12 2008-07-23 村田機械株式会社 天井走行車システム
EP1803151B1 (en) 2004-08-23 2011-10-05 Murata Machinery, Ltd. Elevator-based tool loading and buffering system
KR20070049675A (ko) * 2004-08-24 2007-05-11 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 이송 시스템
CN101027767A (zh) * 2004-09-24 2007-08-29 平田机工株式会社 容器输送装置
TWI278416B (en) * 2004-12-09 2007-04-11 Au Optronics Corp Cassette stocker
KR100966434B1 (ko) * 2005-06-20 2010-06-28 엘지디스플레이 주식회사 카세트 적재장비
US20070059153A1 (en) * 2005-09-14 2007-03-15 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for a transport lift assembly
DE202005015118U1 (de) * 2005-09-23 2007-02-08 Kuka Schweissanlagen Gmbh Bearbeitungsanlage
US20070128010A1 (en) * 2005-12-06 2007-06-07 International Business Machines Corporation An apparatus for pod transportation within a semiconductor fabrication facility
JP4904995B2 (ja) * 2006-08-28 2012-03-28 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート装置
US7740437B2 (en) * 2006-09-22 2010-06-22 Asm International N.V. Processing system with increased cassette storage capacity
US20080118334A1 (en) * 2006-11-22 2008-05-22 Bonora Anthony C Variable pitch storage shelves
JP4378655B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品処理設備
DE102007025339A1 (de) * 2007-05-31 2008-12-04 Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale Verfahren und System zum Entfernen leerer Trägerbehälter von Prozessanlagen durch Steuern einer Zuordnung zwischen Steuerungsaufgaben und Trägerbehälter
DE102007035836B4 (de) 2007-07-31 2017-01-26 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Zweidimensionale Transferstation, die als Schnittstelle zwischen einer Prozessanlage und einem Transportsystem dient, und Verfahren zum Betreiben der Station
DE102007035839B4 (de) * 2007-07-31 2017-06-22 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen
WO2009047777A1 (en) * 2007-10-08 2009-04-16 Tata Motors Limited Component tracking system and method of tracking components thereof
US9048274B2 (en) * 2008-12-08 2015-06-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Portable stocker and method of using same
DE202009002523U1 (de) 2009-02-24 2010-07-15 Kuka Systems Gmbh Handhabungseinrichtung
JP4807424B2 (ja) * 2009-03-17 2011-11-02 村田機械株式会社 天井搬送システムと物品の移載方法
JP5463758B2 (ja) * 2009-06-26 2014-04-09 村田機械株式会社 保管庫
TWI496732B (zh) * 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
JP5876837B2 (ja) * 2010-01-08 2016-03-02 ケーエルエー−テンカー コーポレイション 二重トレイ運搬装置
JP4973747B2 (ja) 2010-02-24 2012-07-11 ムラテックオートメーション株式会社 搬送車システム
TWI447059B (zh) * 2012-01-10 2014-08-01 Inotera Memories Inc 晶圓倉儲系統
JP6044467B2 (ja) * 2013-06-26 2016-12-14 株式会社ダイフク 保管システム
NL2011132C2 (en) * 2013-07-10 2015-01-13 Stertil Bv Lifting system for lifting a vehicle and method for operating the lifting system.
AT13986U1 (de) * 2013-09-18 2015-02-15 Knapp Ag Kommissionieranlage mit Pufferschalen aufweisenden Regaleinheiten zum Kommissionieren auf ein Zentralband
US9852936B2 (en) * 2015-01-29 2017-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Load port and method for loading and unloading cassette
WO2017037785A1 (ja) * 2015-08-28 2017-03-09 株式会社日立国際電気 基板処理装置および半導体装置の製造方法
US9688479B1 (en) * 2015-09-21 2017-06-27 Amazon Technologies, Inc. Multiple speed conveyor storage system
US9987747B2 (en) * 2016-05-24 2018-06-05 Semes Co., Ltd. Stocker for receiving cassettes and method of teaching a stocker robot disposed therein
CN106783704A (zh) * 2016-11-15 2017-05-31 江苏智石科技有限公司 一种用于Substrate封装的智能料盒传输***
CN106505025A (zh) * 2016-11-15 2017-03-15 江苏智石科技有限公司 一种用于Substrate封装的料盒智能运输方法
US10406562B2 (en) * 2017-07-21 2019-09-10 Applied Materials, Inc. Automation for rotary sorters
US10910249B2 (en) * 2017-11-13 2021-02-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for automated wafer handling
DE102017222963A1 (de) * 2017-12-15 2019-06-19 Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Transport von Substraten
CN108382782B (zh) * 2018-01-09 2021-02-12 惠科股份有限公司 一种基板的仓储方法和仓储***
JP6817687B2 (ja) * 2019-04-16 2021-01-20 株式会社ファーストリテイリング 在庫管理システム及び在庫管理方法
US11848222B2 (en) * 2020-07-09 2023-12-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. System for a semiconductor fabrication facility and method for operating the same
CN113233163B (zh) * 2021-03-24 2022-11-22 银川隆基光伏科技有限公司 一种切片机上下料***
CN112830177B (zh) * 2021-04-12 2021-10-01 深圳市爱租机科技有限公司 一种基于大数据营销用的服务器转运***
US11676841B2 (en) * 2021-04-16 2023-06-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Overhead hoist transport device and method of using the same

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4162869A (en) * 1976-08-06 1979-07-31 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Unmanned conveying control system
JPS5320264A (en) * 1976-08-06 1978-02-24 Komatsu Ltd Speed controlling method for lift cylinder of fork lift
JPS5320263A (en) * 1976-08-06 1978-02-24 Komatsu Ltd Automatic fork positioning apparatus for use in fork lift
JPS5320267A (en) * 1976-08-06 1978-02-24 Komatsu Ltd Control system for unmanned transportation of cargos
US4974166A (en) * 1987-05-18 1990-11-27 Asyst Technologies, Inc. Processing systems with intelligent article tracking
KR0133681B1 (ko) * 1987-10-12 1998-04-23 후쿠다 켄조오 웨이퍼 캐리어 반송용 처크
US4964776A (en) * 1987-12-01 1990-10-23 Tsubakimoto Chain Co. Article transfer and storage system
JPH01267202A (ja) * 1988-04-20 1989-10-25 Oki Electric Ind Co Ltd ウエハ自動搬送システムにおける搬送制御方法
US5024570A (en) * 1988-09-14 1991-06-18 Fujitsu Limited Continuous semiconductor substrate processing system
JPH02185350A (ja) * 1989-01-12 1990-07-19 Mitsubishi Electric Corp ワーク加工装置
DE3931985A1 (de) * 1989-09-26 1991-04-04 Hls Halbleiter Produktionstech Transportspeicher fuer waferscheiben
JPH0467211A (ja) * 1990-07-06 1992-03-03 Nec Corp 搬送システム
US5582497A (en) * 1992-01-29 1996-12-10 Wing Labo Co., Ltd. Automatic warehouse system
IT1258954B (it) * 1992-06-05 1996-03-11 Dino Galli Sistema per prelevare oggetti da un magazzino rotante mediante un carrello semovente programmato per trasportarli in un'area di lavoro
JPH0616206A (ja) * 1992-07-03 1994-01-25 Shinko Electric Co Ltd クリーンルーム内搬送システム
JP3275390B2 (ja) * 1992-10-06 2002-04-15 神鋼電機株式会社 可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム
JP2792800B2 (ja) * 1992-12-25 1998-09-03 三菱電機株式会社 製造工程管理システム
US5527390A (en) * 1993-03-19 1996-06-18 Tokyo Electron Kabushiki Treatment system including a plurality of treatment apparatus
JP3227033B2 (ja) * 1993-06-17 2001-11-12 株式会社日立国際電気 半導体製造装置
JPH0710212A (ja) * 1993-06-22 1995-01-13 Kokusai Electric Co Ltd ウェーハカセット授受装置
JPH0710266A (ja) * 1993-06-29 1995-01-13 Metsukusu:Kk クリーンルーム用搬送装置
JPH0722490A (ja) * 1993-06-30 1995-01-24 Mitsubishi Electric Corp ロット自動編成装置及び方法
US5570990A (en) * 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
JP2850279B2 (ja) * 1994-02-22 1999-01-27 ティーディーケイ株式会社 クリーン搬送方法及び装置
JPH08188211A (ja) * 1994-11-09 1996-07-23 Honda Motor Co Ltd 自動倉庫における在庫状態の補正方法及びその補正装置と搬送状態の補正方法及びその補正装置
US5696689A (en) * 1994-11-25 1997-12-09 Nippondenso Co., Ltd. Dispatch and conveyer control system for a production control system of a semiconductor substrate
JPH08225117A (ja) 1994-12-22 1996-09-03 Honda Motor Co Ltd 自動倉庫における入庫制御方法及び入庫制御装置
US5818723A (en) * 1994-12-22 1998-10-06 International Business Machines Corporation Quick access data storage library with backup capability
JPH08335539A (ja) * 1995-06-06 1996-12-17 Sony Corp 生産管理装置および生産管理方法
US5751581A (en) * 1995-11-13 1998-05-12 Advanced Micro Devices Material movement server
US5975740A (en) * 1996-05-28 1999-11-02 Applied Materials, Inc. Apparatus, method and medium for enhancing the throughput of a wafer processing facility using a multi-slot cool down chamber and a priority transfer scheme
US5674039A (en) * 1996-07-12 1997-10-07 Fusion Systems Corporation System for transferring articles between controlled environments
US5957648A (en) * 1996-12-11 1999-09-28 Applied Materials, Inc. Factory automation apparatus and method for handling, moving and storing semiconductor wafer carriers
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
JPH1159829A (ja) * 1997-08-08 1999-03-02 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
DE19737839C2 (de) * 1997-08-29 2001-03-08 Siemens Ag Transportsystem

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002362737A (ja) * 2001-06-07 2002-12-18 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法
JP2005310112A (ja) * 2004-02-28 2005-11-04 Applied Materials Inc 基板キャリア・ハンドラの改善された動作のための方法及び装置
JP2006341957A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 物品分類収納システム及びマニピュレーションシステム
JP4735955B2 (ja) * 2005-06-09 2011-07-27 独立行政法人産業技術総合研究所 物品分類収納システム及びマニピュレーションシステム
JP2009096611A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Asyst Technologies Japan Inc 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
JP2010192855A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
KR20140027105A (ko) * 2011-03-10 2014-03-06 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 생산 효율화 장치, 생산 효율화 방법, 및 컴퓨터 프로그램
KR101865984B1 (ko) * 2011-03-10 2018-06-08 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 생산 효율화 장치, 생산 효율화 방법, 및 컴퓨터 프로그램
US8939696B2 (en) 2012-02-22 2015-01-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Automatic carrier transfer for transferring a substrate carrier in a semiconductor manufacturing post-process and method of transferring the substrate carrier using the same
JP2014126930A (ja) * 2012-12-25 2014-07-07 Toyota Industries Corp 搬送システム
JP2018015885A (ja) * 2016-07-19 2018-02-01 株式会社日本設計工業 多関節型双腕ロボット装置及び多関節型双腕ロボットによる生産システム
WO2018088085A1 (ja) * 2016-11-14 2018-05-17 村田機械株式会社 天井搬送システムとこれに用いる中継搬送装置及び搬送方法
CN109937184A (zh) * 2016-11-14 2019-06-25 村田机械株式会社 空中输送***和其中使用的中转输送装置以及输送方法
JPWO2018088085A1 (ja) * 2016-11-14 2019-09-26 村田機械株式会社 天井搬送システムとこれに用いる中継搬送装置及び搬送方法
CN109937184B (zh) * 2016-11-14 2021-09-28 村田机械株式会社 空中输送***和其中使用的中转输送装置以及输送方法
CN109360803A (zh) * 2018-11-16 2019-02-19 罗博特科智能科技股份有限公司 一种电池片料盒输送切换装置
CN109360803B (zh) * 2018-11-16 2024-02-09 罗博特科智能科技股份有限公司 一种电池片料盒输送切换装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW407131B (en) 2000-10-01
TW499385B (en) 2002-08-21
KR100323192B1 (ko) 2004-04-06
KR19990023105A (ko) 1999-03-25
DE19816151B4 (de) 2005-04-28
DE19816199A1 (de) 1999-02-18
US6169935B1 (en) 2001-01-02
KR19990023107A (ko) 1999-03-25
DE19816127A1 (de) 1999-02-18
TW397800B (en) 2000-07-11
US6151533A (en) 2000-11-21
US6050768A (en) 2000-04-18
DE19816130A1 (de) 1999-02-18
KR100276621B1 (ko) 2001-02-01
US6129496A (en) 2000-10-10
DE19816151A1 (de) 1999-02-18
KR19990023104A (ko) 1999-03-25
KR100276622B1 (ko) 2001-02-01
KR19990023106A (ko) 1999-03-25
KR100283596B1 (ko) 2001-04-02
DE19816127B4 (de) 2005-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1159829A (ja) 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
JP4337683B2 (ja) 搬送システム
US6351686B1 (en) Semiconductor device manufacturing apparatus and control method thereof
US6705523B1 (en) System and method for delivering supplies to a production line
JP3669057B2 (ja) ストッカへの搬送システム
JP2968742B2 (ja) 自動保管棚及び自動保管方法
JP5472297B2 (ja) 搬送車システム
EP3848769B1 (en) Conveyance vehicle system
US20080183324A1 (en) Methods and apparatus for white space reduction in a production facility
KR20020047283A (ko) 기판 처리용 유닛
JP3067682B2 (ja) 天井走行車システム
TW200410883A (en) Control device for transfer system
JP2003285906A (ja) 搬送システム
US11791186B2 (en) Conveyance system
JP4895079B2 (ja) 天井走行車システム
JP2006290542A (ja) 搬送システムおよび搬送制御方法
KR100576814B1 (ko) 웨이퍼 캐리어 운반 시스템
JP2002326707A (ja) 自動倉庫
JP7494822B2 (ja) 容器搬送設備
WO2023032622A1 (ja) 保管システム
JP2023139860A (ja) 搬送システム
JP2001151315A (ja) 自動倉庫システムの入庫制御方法
JP2010218380A (ja) 搬送車システム
JP2000255720A (ja) 自動倉庫システム

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060221

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060711