KR100857710B1 - 카셋트 보관고의 운용방법 - Google Patents

카셋트 보관고의 운용방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법은, 입고된 카셋트를 카셋트 보관고에 보관함에 있어, 상기 카셋트 보관고의 빈 선반 중에서 최상단부터 열 순서에 맞추어 순차적으로 입고된 카셋트를 보관하는 점에 그 특징이 있다.
또한, 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법의 다른 실시 예는, 입고된 카셋트를 보관하기 위하여 (M 열 N 단의 선반으로 구성된)보관고의 빈 선반을 검색함에 있어, 선반 제일 상단(N 단)의 열 순서(1 열~M 열)에 따라 빈 선반의 존재 여부를 검색하며, 순차적으로 다음 하단의 열 순서(1 열~M 열)에 따라 빈 선반에 대한 검색을 반복적으로 수행하는 단계; 및 검색된 상기 카셋트 보관고의 빈 선반 중에서, 최상단 우선 보관 방식으로 카셋트가 보관될 위치를 선정하여, 최상단부터 열 순서에 맞추어 입고된 카셋트를 순차적으로 보관하는 단계; 를 포함하는 점에 그 특징이 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 액정표시장치 제조용 기판이 탑재된 카셋트에 대하여 보관고에 보관되어 있는 동안 오염에 대한 노출을 감소시킴으로써, 액정표시장치의 수율을 향상시킬 수 있으며, 불량 발생을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.

Description

카셋트 보관고의 운용방법{Operating method for cassette stocker}
도 1은 일반적인 카셋트 보관고의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 일반적인 카셋트 보관고에서의 내부 공기 흐름을 나타낸 도면.
도 3은 일반적인 카셋트 보관고에서의 선반의 위치에 따른 내부 공기 오염 상태를 개념적으로 나타낸 도면.
도 4는 종래 카셋트 보관고에서의 카셋트 보관 위치 선정 기준을 설명하기 위한 도면.
도 5는 종래 카셋트 보관고에서 카셋트의 출고/입고가 반복되는 경우에 카셋트 보관 위치 선정 기준을 설명하기 위한 도면.
도 6은 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여, 카셋트 보관 위치가 선정되는 기준을 설명하기 위한 도면.
도 7은 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여, 카셋트의 출고/입고가 반복되는 경우에 카세트 보관 위치가 선정되는 기준을 설명하기 위한 도면.
도 8은 종래의 카셋트 보관고 운용방법 및 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여 카셋트가 보관되는 경우에 있어, 수율 변화와 주불량 유형별 변화를 나타낸 도면.
도 9는 종래의 카셋트 보관고 운용방법 및 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여 카셋트가 보관되는 경우에 있어, 소스/드레인 전극 패턴 불량 발생에 대한 평균치 분석 및 산포 유의차 분석을 나타낸 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110, 120... 보관고 선반 130... 레일
140... 랙 마스터
본 발명은 카셋트 보관고(Cassette Stocker)의 운용방법에 관한 것으로서, 특히 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display) 제조용 기판이 탑재된 카셋트에 대하여 보관고에 보관된 동안 오염에 대한 노출을 감소시킬 수 있는 카셋트 보관고의 운용방법에 관한 것이다.
일반적으로, 화상 정보를 화면에 나타내는 화면 표시 장치들 중에서 브라운관 표시 장치(혹은 CRT:Cathode Ray Tube)가 지금까지 가장 많이 사용되어 왔는데, 이것은 표시 면적에 비해 부피가 크고 무겁기 때문에 사용하는데 많은 불편함이 따랐다.
이에 따라, 표시 면적이 크더라도 그 두께가 얇아서 어느 장소에서든지 쉽게 설치하여 사용할 수 있는 박막형 평판 표시 장치가 개발되었고, 점점 브라운관 표시 장치를 대체하고 있다. 특히, 박막 트랜지스터형 액정표시장치(TFT-LCD:Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)는 표시 해상도가 다른 평판 표시 장치보 다 뛰어나고, 동화상을 구현할 때 그 품질이 브라운관에 비할 만큼 반응 속도가 빠른 특성을 나타내고 있다.
한편 알려진 바와 같이, 이러한 액정표시장치는 그 제조과정에서 많은 단계의 공정을 거치게 되는데, 그러한 여러 단계의 공정이 진행되는 동안 중간 단계의 결과물들(일부 단계가 진행된 액정표시장치 제조용 기판)은 카셋트에 탑재되어 청정룸(Clean Room)인 보관고에 보관되게 된다. 그리고, 보관고에 보관된 카셋트는 필요에 따라 출고되어 다음 제조 공정을 거치게 되며, 또한 새로운 카셋트가 보관고에 입고되어 보관되며 다음 공정을 기다리게 된다.
도 1은 이와 같은 일반적인 카셋트 보관고의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 일반적인 카셋트 보관고는 하부 중앙에 마련된 레일(130)을 따라 직선 운동하며 카셋트를 보관/추출하는 로봇인 랙 마스터(140)와, 상기 랙 마스터(140)에 의해서 운송되는 카셋트를 보관하는 보관고 선반(110)(120)을 포함하여 구성된다.
그리고, 도면에는 도시하지 아니하였으나, 카셋트가 보관되는 상기 보관고 선반(110)(120)의 벽쪽에는 공기필터가 내장된 팬필터유닛(FFU:Fan Filter Unit)이 설치되어 있으며 이를 통하여 청정 공기를 공급시키고, 상기 랙 마스터(140)로부터 발진되는 입자(particle)가 상기 보관고 선반(110)(120)쪽으로 유입되는 것을 방어하고 있다. 또한 카셋트 보관고에는, 내부 공기를 신속히 하부로 배출하기 위해 아래쪽 억세스 플로어(access floor)의 구멍으로 차압을 형성하여, 도 2에 나타낸 바 와 같이, 하부로 공기가 빠져 나가도록 설계가 되어 있다. 도 2는 일반적인 카셋트 보관고에서의 내부 공기 흐름을 나타낸 도면이다.
도 1은 카셋트 보관고의 윗쪽에서 보는 관점에서 도시한 것이며, 도 2는 도1에 표시된 A 방향에서 보는 관점에서 도시한 것이다. 즉, 카셋트 보관고의 내부에는 상기 팬필터유닛(FFU)에서 공급되는 공기가 아래로 배송되게끔 설계되어, 도 2에 도시된 바와 같은 공기 흐름이 형성됨으로써, 상기 랙 마스터(140)의 자체 동작에서 발진되는 입자 및 카셋트 자체 입자 등이 모두 아래로 하강되게 된다.
이에 따라, 카셋트 보관고 내부에서 발진되는 입자들이 아래로 하강되게 됨으로써, 도 3에 나타낸 바와 같이, 카셋트 보관고 내부의 아랫 영역에는 상대적으로 오염도가 증가되게 된다. 이때, 특히 최하단인 제1단에 보관된 카셋트의 경우에는 오염된 공기에 노출될 수 있는 위험도가 증가되게 된다. 도 3은 일반적인 카셋트 보관고에서의 선반의 위치에 따른 내부 공기 오염 상태를 개념적으로 나타낸 도면이다.
또한, 카셋트 보관고의 아랫 쪽에 위치한 상기 랙 마스터(140)의 전원 공급 장치인 트롤리 라인(trolley line)에서 발생되는 입자도 상기 랙 마스터(140)의 구동 시에 와류 등에 의해 부상됨으로서, 최하단(제1단)에 보관된 카셋트를 오염시킬 가능성이 증대되게 된다.
한편, 종래에는 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같은 방법을 통하여, 카셋트 보관고에 입고되는 카셋트의 보관 위치를 선정하도록 하고 있다. 도 4는 종래 카셋트 보관고에서의 카셋트 보관 위치 선정 기준을 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 종래 카셋트 보관고에서 카셋트의 출고/입고가 반복되는 경우에 카셋트 보관 위치 선정 기준을 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 도 4에 나타낸 바와 같이, 카셋트 보관고의 보관고 선반(110)이 모두 비어 있는 상태에서 보관될 카셋트가 입고되면, 제1열의 제1단(①), 제2단(②), 제3단(③), 제4단(④), 제5단(⑤)의 순서에 의하여 상기 보관고 선반(110)에 카셋트가 순차적으로 보관되게 된다. 이와 같은 상기 보관고 선반(110)에 카셋트가 보관될 위치 선정을 통하여, 상기 보관고 선반(110)의 제1열에 마련된 선반이 모두 채워지게 되면, 다음에는 제2열, 제3열에 마련된 선반의 하단부터 순차적으로 카셋트가 채워지게 된다(⑥~⑫). 여기서는 상기 보관고 선반(110)이 7열*5단으로 구성된 경우에 대하여 설명하였으나, 그 열 및 단의 배열은 다양하게 변형될 수 있음은 자명하다 할 것이다.
그리고, 상기 보관고 선반(110)에 보관된 카셋트들은 다음 제조 공정에 투입되기 위하여 출고가 되게 되는데, 이는 입고된 순서에 따라 순차적으로 출고가 되는 것이 아니라, 관리 프로그램에 따라 요청되는 카셋트를 상기 랙 마스터(140)가 출고시키게 되며, 상기 랙 마스터(140)에 의하여 선택된 카셋트는 입출고 콘베어(미도시)에 의하여 다음 공정 단계로 전달되게 된다.
이와 같은 카셋트 출고가 발생되면(예컨대, ②번 및 ⑥번 카셋트에 대한 출고가 진행되었다고 하자. 이에 따라 제1열 제2단 및 제2열 제1단에 빈 선반이 발생되게 된다.), 다음 입고되는 카셋트는 ⑫번째 카셋트가 보관된 제3열 제2단에 이어서 제3열 제3단에 보관되는 것이 아니라, 상기 보관고 선반(110)의 현재 저장 상태 에 대한 정보 파악을 통하여, 새로 입고된 카셋트가 보관될 상기 보관고 선반(110)의 위치를 선정하게 된다.
이때, 도 5에 나타낸 바와 같이, 새로 입고되는 ⑬번째 카셋트는 제1열 제2단에 보관되게 되며, ⑭번째 입고되는 카셋트는 제2열 제1단에 보관되게 된다. 즉, 종래 카셋트 보관고의 운용방법에 의하면, 도 4를 참조하여 설명된 바와 같이, 우선적으로 열에 대하여 가중치를 부여하고, 그 후에 단에 대한 가중치를 부여하여 새로 입고된 카셋트가 보관될 선반의 위치를 선정하게 된다.
이에 따라, 우선적으로 제1열에 대한 검색을 통하여 제2단이 비어 있으므로, ⑬번째 입고된 카셋트는 제1열 제2단의 위치에 보관되게 되는 것이다. 그리고, ⑬번째 카셋트의 보관위치가 제1열 제2단으로 결정됨에 따라 제1열의 모든 선반은 카셋트로 채워지게 된다. 이어서 ⑭번째 카셋트는, 제1열의 모든 단에 카셋트가 입고되어 있으므로 제2열에서 빈 단을 검색하게 되고, 빈 선반으로 검색되어지는 제2열 제1단에 입고되게 되는 것이다.
그런데, 이와 같은 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여 카셋트가 보관될 선반의 위치가 결정되게 되는 경우에는, 열의 위치에 우선순위를 부여하며 각 열의 하단부터 카셋트를 보관하게 됨으로써, 최하단인 제1단에 카셋트가 입고되는 빈도 수가 많아지게 된다. 이에 따라, 최하단인 제1단에 보관되는 카셋트는 상대적으로 오염도가 높은 공기에 노출되게 된다. 그리고, 오염도가 높은 공기에 노출된 카셋트를 이용하여 액정표시장치를 제조하는 경우에는, 상단에 보관되었던 카셋트를 이용하여 제조되는 액정표시장치에 비하여 상대적으로 많은 불량이 발생되는 것으로 보고되고 있다.
본 발명은, 액정표시장치 제조용 기판이 탑재된 카셋트에 대하여 보관고에 보관되어 있는 동안 오염에 대한 노출을 감소시킬 수 있는 카셋트 보관고의 운용방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법은, 입고된 카셋트를 카셋트 보관고에 보관함에 있어, 상기 카셋트 보관고의 빈 선반 중에서 최상단부터 열 순서에 맞추어 순차적으로 입고된 카셋트를 보관하는 점에 그 특징이 있다.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법의 다른 실시 예는, 입고된 카셋트를 보관하기 위하여 (M 열 N 단의 선반으로 구성된)보관고의 빈 선반을 검색함에 있어, 선반 제일 상단(N 단)의 열 순서(1 열~M 열)에 따라 빈 선반의 존재 여부를 검색하며, 순차적으로 다음 하단의 열 순서(1 열~M 열)에 따라 빈 선반에 대한 검색을 반복적으로 수행하는 단계; 및 검색된 상기 카셋트 보관고의 빈 선반 중에서, 최상단 우선 보관 방식으로 카셋트가 보관될 위치를 선정하여, 최상단부터 열 순서에 맞추어 입고된 카셋트를 순차적으로 보관하는 단계; 를 포함하는 점에 그 특징이 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 액정표시장치 제조용 기판이 탑재된 카셋트에 대하여 보관고에 보관되어 있는 동안 오염에 대한 노출을 감소시킴으로써, 액정표 시장치의 수율을 향상시킬 수 있으며, 불량 발생을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.
본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법을 설명함에 있어, 카셋트 보관고의 구조 및 공기의 흐름상태(downflow)는 종래기술에서 설명된 카셋트 보관고의 구조 및 공기의 흐름상태(downflow)와 동일한 경우를 기준으로 설명하기로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세히 설명한다.
도 6은 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여, 카셋트 보관 위치가 선정되는 기준을 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여, 카셋트의 출고/입고가 반복되는 경우에 카세트 보관 위치가 선정되는 기준을 설명하기 위한 도면이다.
먼저 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하면, 도 6에 나타낸 바와 같이, 카셋트 보관고의 보관고 선반(110)이 모두 비어 있는 상태에서 보관될 카셋트가 입고되면, 단에 대한 가중치 부여를 통해, 제1열의 제5단(①), 제2열의 제5단(②), 제3열의 제5단(③), 제4열의 제5단(④), 제5열의 제5단(⑤), 제6열의 제5단(⑥), 제7열의 제5단(⑦)의 순서에 의하여 상기 보관고 선반(110)에 카셋트가 순차적으로 보관되게 된다. 이와 같은 상기 보관고 선반(110)에 카셋트가 보관될 위치 선정을 통하여, 상기 보관고 선반(110)의 각열의 제5단에 마련된 선반이 모두 채워지게 되면, 다음에는 제4단, 제3단에 마련된 선반의 낮은 열부터 순차적으로 카셋트가 채워지게 된다(⑧~⑫). 여기서는 상기 보관고 선반(110)이 7열*5단으로 구성된 경우에 대하여 설명하였으나, 그 열 및 단의 배열은 다양하게 변형될 수 있음은 자명하다 할 것이다.
그리고, 상기 보관고 선반(110)에 보관된 카셋트들은 다음 제조 공정에 투입되기 위하여 출고가 되게 되는데, 이는 입고된 순서에 따라 순차적으로 출고가 되는 것이 아니라, 관리 프로그램에 따라 요청되는 카셋트를 상기 랙 마스터(140)가 출고시키게 되며, 상기 랙 마스터(140)에 의하여 선택된 카셋트는 입출고 콘베어(미도시)에 의하여 다음 공정 단계로 전달되게 된다.
이와 같은 카셋트 출고가 발생되면(예컨대, ④번 및 ⑧번 카셋트에 대한 출고가 진행되었다고 하자. 이에 따라 제4열 제5단 및 제1열 제4단에 빈 선반이 발생되게 된다.), 다음 입고되는 카셋트는 ⑫번째 카셋트가 보관된 제5열 제4단에 이어서 제6열 제4단에 보관되는 것이 아니라, 상기 보관고 선반(110)의 현재 저장 상태에 대한 정보 파악을 통하여, 새로 입고된 카셋트가 보관될 상기 보관고 선반(110)의 위치를 선정하게 된다.
이때, 도 7에 나타낸 바와 같이, 새로 입고되는 ⑬번째 카셋트는 제4열 제5단에 보관되게 되며, ⑭번째 입고되는 카셋트는 제1열 제4단에 보관되게 된다. 즉, 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하면, 도 6을 참조하여 설명된 바와 같이, 우선적으로 단에 대하여 가중치를 부여하고, 그 후에 열에 대한 가중치를 부여하여 새로 입고된 카셋트가 보관될 선반의 위치를 선정하게 된다.
이에 따라, 우선적으로 카셋트 보관고(110)의 최상단인 제5단에 대한 검색을 통하여 제4열이 비어 있으므로, ⑬번째 입고된 카셋트는 제4열 제5단의 위치에 보관되게 되는 것이다. 그리고, ⑬번째 카셋트의 보관위치가 제4열 제5단으로 결정됨에 따라 최상단인 제5단의 모든 선반은 카셋트로 채워지게 된다. 이어서 ⑭번째 카 셋트는, 제5단의 모든 열에 카셋트가 입고되어 있으므로 최상단의 다음 아랫단인 제4단에서 빈 열을 검색하게 되고, 빈 선반으로 검색되어지는 제1열 제4단에 입고되게 되는 것이다.
이와 같은 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여, 입고되는 카셋트가 보관될 위치가 선정되게 되므로, 항상 상기 카셋트 보관고(110)의 하단 보다는 상단에 카셋트가 주로 보관되게 된다. 즉, 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법은 최상단 우선 보관 방식으로서, 5단 선반에 카셋트를 모두 보관 후 그 다음 단인 4단에 수평으로 카셋트를 보관하는 방식이다. 이에 따라, 새로운 카셋트가 입고되면, 최상단으로부터 순차적으로 내려오면서 빈 선반의 위치를 검색하기 때문에, 새로 입고된 카셋트는 윗 단부터 채워지게 된다.
이와 같이, 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하면, 상단부터 카셋트가 보관되게 됨으로써, 상대적으로 공기의 오염도가 높은 하단에는 카셋트가 보관되는 빈도 수가 낮아지게 된다. 그리고, 오염도가 높은 공기에 노출되는 카셋트의 빈도 수가 낮아지게 됨에 따라, 이와 같이 보관된 카셋트를 이용하여 액정표시장치를 제조하는 경우에는, 종래 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여 보관되었던 카셋트를 이용하여 제조되는 액정표시장치에 비하여 상대적으로 적은 불량이 발생될 수 있게 된다.
이하에서는 종래의 카셋트 보관고 운용방법에 의하여 카셋트가 보관되는 경우와, 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여 카셋트가 보관되는 경우에 대한 결과 비교를 간략하게 설명해 보기로 한다.
먼저, 도 8은 종래의 카셋트 보관고 운용방법 및 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여 카셋트가 보관되는 경우에 있어, 보관방법 변화에 따른 수율 변화와 주불량 유형별 변화를 나타낸 도면이다.
도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이, 카셋트 보관고의 운용방법이 변경됨에 따라 액정표시장치의 TFT 공정 수율(yield)이 91.7%에서 92.9%로 증가됨으로써, 종래 운용방법에 의한 카셋트 보관 경우에 비하여 1.2%의 제조 수율이 보다 증가됨을 알 수 있었다.
또한, 도 8의 (b)에 나타낸 바와 같이, 주불량이 발생되는 각 유형별 비교에 있어서도 불량 발생이 감소함을 알 수 있었다. 예컨대, 반도체 활성층 형성 불량(ACT)에 있어서는 개선전/후의 불량 발생이 2.1%에서 1.6%로 변화됨으로써 0.5% 불량 발생율이 감소되는 것으로 나타났다. 또한, 소스/드레인 패턴 형성 불량(S/D)에 있어서는 개선전/후의 불량 발생이 2.1%에서 1.2%로 변화됨으로써 0.8% 불량 발생율이 감소되는 것으로 나타났으며, 데이터(소스/드레인) 라인 오픈 불량(DO)에 있어서는 개선전/후의 불량 발생이 3.4%에서 1.9%로 변화됨으로써 1.5%의 불량 발생율이 감소되는 것으로 나타났다.
이와 같이, 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여, 카셋트 보관고에 보관되는 카셋트의 위치가 상단 우선 보관으로 변경됨으로써, 전반적으로 각 공정별 불량 발생이 감소되며 제조 수율이 향상되는 것을 알 수 있다.
그리고, 도 9는 종래의 카셋트 보관고 운용방법 및 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하여 카셋트가 보관되는 경우에 있어, 소스/드레인 전극 패 턴 불량 발생에 대한 평균치 분석 및 산포 유의차 분석을 나타낸 도면이다.
도 9의 (a)는 불량 발생에 대한 평균치 분석을 나타낸 것이며, (b)는 불량 발생에 대한 산포 유의차 분석을 나타낸 것이다. 이에 의하면, 카셋트 보관고의 운용방법 개선전/후에 있어 불량 발생율이 감소된 것을 알 수 있으며, 산포 유의차 분석 결과로부터 'P-value' 값이 0.05보다 작으므로(도 9의 (b)에서는 0.000으로 분석되었다) 유의차가 있는 것으로 나타났으며, 개선 효과가 확실하게 나타남을 알 수 있다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명에 따른 카셋트 보관고의 운용방법에 의하면, 액정표시장치 제조용 기판이 탑재된 카셋트에 대하여 보관고에 보관되어 있는 동안 오염에 대한 노출을 감소시킴으로써, 액정표시장치의 수율을 향상시킬 수 있으며, 불량 발생을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.

Claims (2)

  1. 삭제
  2. 입고된 카셋트를 보관하기 위하여 (M 열 N 단의 선반으로 구성된)보관고의 빈 선반을 검색함에 있어, 선반 제일 상단(N 단)의 열 순서(1 열~M 열)에 따라 빈 선반의 존재 여부를 검색하며, 순차적으로 다음 하단의 열 순서(1 열~M 열)에 따라 빈 선반에 대한 검색을 반복적으로 수행하는 단계; 및
    검색된 상기 카셋트 보관고의 빈 선반 중에서, 최상단 우선 보관 방식으로 카셋트가 보관될 위치를 선정하여, 최상단부터 열 순서에 맞추어 입고된 카셋트를 순차적으로 보관하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 카셋트 보관고의 운용방법.
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