JP3227033B2 - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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- JP3227033B2 JP3227033B2 JP17110793A JP17110793A JP3227033B2 JP 3227033 B2 JP3227033 B2 JP 3227033B2 JP 17110793 A JP17110793 A JP 17110793A JP 17110793 A JP17110793 A JP 17110793A JP 3227033 B2 JP3227033 B2 JP 3227033B2
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- Japan
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- wafer
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置、特に半
導体製造装置に於けるウェーハ搬送装置に関するもので
ある。
導体製造装置に於けるウェーハ搬送装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】図３に於いて半導体製造装置に於ける従
来のウェーハ搬送装置を説明する。
来のウェーハ搬送装置を説明する。
【０００３】図中、１はカセット授受装置、２はカセッ
トストッカ、３はウェーハ移載機、４はボートエレベー
タを示す。
トストッカ、３はウェーハ移載機、４はボートエレベー
タを示す。
【０００４】前記カセット授受装置１は昇降可能なカセ
ット受台５を有し、該カセット受台５は２個のウェーハ
カセット６を並列に受載可能であり、前記カセットスト
ッカ２に対して進退可能である。
ット受台５を有し、該カセット受台５は２個のウェーハ
カセット６を並列に受載可能であり、前記カセットスト
ッカ２に対して進退可能である。
【０００５】前記カセットストッカ２は２列複段（図で
は４段を示す）のカセット棚７を有し、該カセット棚７
はスライドステージ１６上に横行可能に設けられ、カセ
ット棚７の横行で前記ウェーハ移載機３に対峙する棚の
列が変更される様になっている。又、特に図示しないが
前記カセットストッカ２の上方に必要に応じてバッファ
カセットストッカが設けられる。
は４段を示す）のカセット棚７を有し、該カセット棚７
はスライドステージ１６上に横行可能に設けられ、カセ
ット棚７の横行で前記ウェーハ移載機３に対峙する棚の
列が変更される様になっている。又、特に図示しないが
前記カセットストッカ２の上方に必要に応じてバッファ
カセットストッカが設けられる。
【０００６】前記ウェーハ移載機３は昇降可能な昇降ス
テージ８を有し、該昇降ステージ８には回転座９が回転
自在に設けられ、該回転座９には複数のウェーハチャッ
ク１０を有するチャッキングヘッド１１が水平方向に移
動可能に設けられている。
テージ８を有し、該昇降ステージ８には回転座９が回転
自在に設けられ、該回転座９には複数のウェーハチャッ
ク１０を有するチャッキングヘッド１１が水平方向に移
動可能に設けられている。
【０００７】前記ボートエレベータ４は昇降可能なボー
トアーム１２を有し、該ボートアーム１２にはボート受
座１３が設けられ、該ボート受座１３にはボート１４が
乗載可能となっている。該ボート１４にはウェーハ１５
が水平姿勢で多段に保持される。
トアーム１２を有し、該ボートアーム１２にはボート受
座１３が設けられ、該ボート受座１３にはボート１４が
乗載可能となっている。該ボート１４にはウェーハ１５
が水平姿勢で多段に保持される。
【０００８】半導体製造装置の外部と内部間のウェーハ
１５の搬送は、ウェーハ１５をウェーハカセット６に装
填状態で行われる。
１５の搬送は、ウェーハ１５をウェーハカセット６に装
填状態で行われる。
【０００９】ウェーハ１５が装填されたウェーハカセッ
ト６を前記カセット受台５に乗置する。前記カセット授
受装置１は前記カセット受台５を昇降させ、カセット受
台５を前記カセット棚７の空棚に対峙させ、前記ウェー
ハカセット６をカセット棚７に挿入載置する。
ト６を前記カセット受台５に乗置する。前記カセット授
受装置１は前記カセット受台５を昇降させ、カセット受
台５を前記カセット棚７の空棚に対峙させ、前記ウェー
ハカセット６をカセット棚７に挿入載置する。
【００１０】カセットストッカ２は、ウェーハ１５移載
の対象となるカセット棚７中のウェーハカセット６が決
定すると前記カセット棚７を横行させ、前記対象となる
ウェーハカセット６を前記チャッキングヘッド１１に対
峙させる。
の対象となるカセット棚７中のウェーハカセット６が決
定すると前記カセット棚７を横行させ、前記対象となる
ウェーハカセット６を前記チャッキングヘッド１１に対
峙させる。
【００１１】前記ウェーハ移載機３は前記昇降ステージ
８の昇降、回転座９の回転、チャッキングヘッド１１の
水平移動の動作の組合わせで、ウェーハ１５を前記ボー
ト１４に移載する。対象となるウェーハカセット６を変
更する場合は、図４に示す様にカセット棚７の同一高さ
の段のウェーハカセットについて列を変えウェーハの搬
送を行い、次に上段、或は下段に移行していく。該カセ
ット棚７の横行動作中はウェーハの搬送は休止する。
８の昇降、回転座９の回転、チャッキングヘッド１１の
水平移動の動作の組合わせで、ウェーハ１５を前記ボー
ト１４に移載する。対象となるウェーハカセット６を変
更する場合は、図４に示す様にカセット棚７の同一高さ
の段のウェーハカセットについて列を変えウェーハの搬
送を行い、次に上段、或は下段に移行していく。該カセ
ット棚７の横行動作中はウェーハの搬送は休止する。
【００１２】ボート１４へのウェーハ１５の移載が完了
すると、前記ボートエレベータ４はボートアーム１２を
上昇させ、ボート１４を図示しない反応炉に装入し、ウ
ェーハ１５の処理を行う。
すると、前記ボートエレベータ４はボートアーム１２を
上昇させ、ボート１４を図示しない反応炉に装入し、ウ
ェーハ１５の処理を行う。
【００１３】処理完了後、前記ボートアーム１２を下降
させ、前記ウェーハ１５のボート１４への移載手順と逆
を行い、ウェーハ１５をウェーハカセット授受装置のウ
ェーハカセット６へ搬送する。
させ、前記ウェーハ１５のボート１４への移載手順と逆
を行い、ウェーハ１５をウェーハカセット授受装置のウ
ェーハカセット６へ搬送する。
【００１４】上記した様に、前記ウェーハ移載機３の移
載動作には前記カセット棚７の横行動作が伴うので、前
記ウェーハ移載機３がウェーハ移載中は、カセット授受
装置１のウェーハカセット６の授受作動は休止し、カセ
ット授受装置１のウェーハカセット６の授受作動中はウ
ェーハ移載機３のウェーハ移載作動は休止する。
載動作には前記カセット棚７の横行動作が伴うので、前
記ウェーハ移載機３がウェーハ移載中は、カセット授受
装置１のウェーハカセット６の授受作動は休止し、カセ
ット授受装置１のウェーハカセット６の授受作動中はウ
ェーハ移載機３のウェーハ移載作動は休止する。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】上記した様に、カセッ
ト棚７の横行動作中は、ウェーハ移載機３の移載動作は
休止し、而も各段のウェーハの搬送毎に前記カセット棚
７の横行動作を伴い、更にカセット授受装置１、ウェー
ハ移載機３のいずれか一方の動作中は、他方が休止して
いる状態になるので、これら休止時間がウェーハの搬送
時間を増大させるという問題を生じており、生産効率に
も影響している。
ト棚７の横行動作中は、ウェーハ移載機３の移載動作は
休止し、而も各段のウェーハの搬送毎に前記カセット棚
７の横行動作を伴い、更にカセット授受装置１、ウェー
ハ移載機３のいずれか一方の動作中は、他方が休止して
いる状態になるので、これら休止時間がウェーハの搬送
時間を増大させるという問題を生じており、生産効率に
も影響している。
【００１６】又、前記装置では、カセット棚７の左右の
ウェーハカセット６を入替えることができない構造であ
るので、装置としてカセット棚の列が固定してしまう。
この為、図５に示す様に半導体製造装置１０１，１０
２，１０３のラインＡに対して，半導体製造装置１０
４，１０５，１０６のラインＢを対向させる様に設備し
た場合、ラインＡとラインＢとではカセット棚７の列の
左右が逆になってしまう。この為、図６の様にウェーハ
カセット６の外部搬送装置１０７をラインＡを基準とし
て動作させると、ラインＢに対しては、外部搬送装置１
０７の流れと各棚に対するアクセス方向とが逆になり、
搬送効率が著しく低下するという問題があった。
ウェーハカセット６を入替えることができない構造であ
るので、装置としてカセット棚の列が固定してしまう。
この為、図５に示す様に半導体製造装置１０１，１０
２，１０３のラインＡに対して，半導体製造装置１０
４，１０５，１０６のラインＢを対向させる様に設備し
た場合、ラインＡとラインＢとではカセット棚７の列の
左右が逆になってしまう。この為、図６の様にウェーハ
カセット６の外部搬送装置１０７をラインＡを基準とし
て動作させると、ラインＢに対しては、外部搬送装置１
０７の流れと各棚に対するアクセス方向とが逆になり、
搬送効率が著しく低下するという問題があった。
【００１７】本発明は斯かる実情に鑑み、ウェーハ搬送
時の待ち時間を解消し、又搬送動作の休止時間を減少さ
せウェーハ搬送時間の短縮を図るものである。
時の待ち時間を解消し、又搬送動作の休止時間を減少さ
せウェーハ搬送時間の短縮を図るものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明は、カセットスト
ッカに対してウェーハ移載機、カセット授受装置を少な
くとも具備する半導体製造装置に於いて、前記カセット
授受装置を前記カセットストッカに対して横行可能と
し、該カセットストッカが複数段複数列のウェーハカセ
ット収納棚を有し、前記ウェーハ移載機が前記カセット
棚の固定された所定の列に対して移載動作を行う半導体
製造装置に係るものである。
ッカに対してウェーハ移載機、カセット授受装置を少な
くとも具備する半導体製造装置に於いて、前記カセット
授受装置を前記カセットストッカに対して横行可能と
し、該カセットストッカが複数段複数列のウェーハカセ
ット収納棚を有し、前記ウェーハ移載機が前記カセット
棚の固定された所定の列に対して移載動作を行う半導体
製造装置に係るものである。
【００１９】
【作用】カセット授受装置を横行可能とし、カセットス
トッカを固定にできるので、該カセットストッカに対す
るウェーハ移載機、カセット授受装置の搬送動作を併行
して行える。
トッカを固定にできるので、該カセットストッカに対す
るウェーハ移載機、カセット授受装置の搬送動作を併行
して行える。
【００２０】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００２１】図１、図２中、図３中で示したものと同一
のものには同符号を付し、その説明を省略する。
のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【００２２】カセットストッカ１７のカセット棚２０は
脚板１８を介してベース１９に固定立設され、前記カセ
ット棚２０は３列４段の棚を有している。前記カセット
ストッカ１７の上方には３列４段の棚を有するバッファ
カセットストッカ２１が設けられている。該バッファカ
セットストッカ２１、前記カセットストッカ１７に対峙
させ、カセット授受装置３０が設けられる。
脚板１８を介してベース１９に固定立設され、前記カセ
ット棚２０は３列４段の棚を有している。前記カセット
ストッカ１７の上方には３列４段の棚を有するバッファ
カセットストッカ２１が設けられている。該バッファカ
セットストッカ２１、前記カセットストッカ１７に対峙
させ、カセット授受装置３０が設けられる。
【００２３】該カセット授受装置３０について説明す
る。
る。
【００２４】前記ベース１９に前記カセット棚２０と平
行にスクリューロッド２２を回転自在に設け、該スクリ
ューロッド２２にはスライドモータ２３を連結する。前
記スクリューロッド２２にエレベータユニット２４の下
端を螺合させ、該エレベータユニット２４の中途部にサ
ポートブロック２５を固着し、該サポートブロック２５
は前記バッファカセットストッカ２１の下端に設けたサ
ポートガイド２６に摺動自在に係合させる。
行にスクリューロッド２２を回転自在に設け、該スクリ
ューロッド２２にはスライドモータ２３を連結する。前
記スクリューロッド２２にエレベータユニット２４の下
端を螺合させ、該エレベータユニット２４の中途部にサ
ポートブロック２５を固着し、該サポートブロック２５
は前記バッファカセットストッカ２１の下端に設けたサ
ポートガイド２６に摺動自在に係合させる。
【００２５】前記エレベータユニット２４に昇降台２７
を昇降可能に設け、該昇降台２７の左右に１対のロボッ
トアーム２８を設け、該ロボットアーム２８の先端には
ウェーハカセット受載板（図示せず）を設ける。該各ロ
ボットアーム２８は独立して前記カセット棚２０に対し
直線的に伸縮可能で前記エレベータユニット２４とロボ
ットアーム２８との協働でウェーハカセット６を前記カ
セット棚２０に収納、払出し可能となっている。尚、図
中２９は反応炉を示す。
を昇降可能に設け、該昇降台２７の左右に１対のロボッ
トアーム２８を設け、該ロボットアーム２８の先端には
ウェーハカセット受載板（図示せず）を設ける。該各ロ
ボットアーム２８は独立して前記カセット棚２０に対し
直線的に伸縮可能で前記エレベータユニット２４とロボ
ットアーム２８との協働でウェーハカセット６を前記カ
セット棚２０に収納、払出し可能となっている。尚、図
中２９は反応炉を示す。
【００２６】以下、作動を説明する。
【００２７】ウェーハ移載機３が移送動作の対象とする
のは、前記カセット棚２０の中央の列に固定される。
のは、前記カセット棚２０の中央の列に固定される。
【００２８】前記スライドモータ２３の駆動により前記
スクリューロッド２２を介して前記エレベータユニット
２４が横行する。この横行動作に於いて該エレベータユ
ニット２４は前記サポートブロック２５と前記サポート
ガイド２６の係合により転倒、傾斜が防止される。エレ
ベータユニット２４の横行動作と、前記ロボットアーム
２８の伸縮動作、更に前記昇降台２７の昇降動作の協動
で左右いずれかの列から未処理ウェーハのウェーハカセ
ット６を中央の列に、中央の処理済みウェーハのウェー
ハカセット６を左右いずれか他方の列に搬送する。
スクリューロッド２２を介して前記エレベータユニット
２４が横行する。この横行動作に於いて該エレベータユ
ニット２４は前記サポートブロック２５と前記サポート
ガイド２６の係合により転倒、傾斜が防止される。エレ
ベータユニット２４の横行動作と、前記ロボットアーム
２８の伸縮動作、更に前記昇降台２７の昇降動作の協動
で左右いずれかの列から未処理ウェーハのウェーハカセ
ット６を中央の列に、中央の処理済みウェーハのウェー
ハカセット６を左右いずれか他方の列に搬送する。
【００２９】前記ウェーハ移載機３はカセット棚２０の
中央の列の全ての段に対して移載作業を行い、前記カセ
ット授受装置３０も前記カセット棚２０の全段、全列に
対して搬送作業を行う。而して、前記ウェーハ移載機３
とカセット授受装置３０の作業対象段を異ならせ、相互
に干渉しない様にすると前記ウェーハ移載機３とカセッ
ト授受装置３０は同時に作業を行うことができる。
中央の列の全ての段に対して移載作業を行い、前記カセ
ット授受装置３０も前記カセット棚２０の全段、全列に
対して搬送作業を行う。而して、前記ウェーハ移載機３
とカセット授受装置３０の作業対象段を異ならせ、相互
に干渉しない様にすると前記ウェーハ移載機３とカセッ
ト授受装置３０は同時に作業を行うことができる。
【００３０】更に、前記カセット授受装置３０は外部搬
送装置１０７とのウェーハカセット６の授受を行い、処
理済みウェーハのウェーハカセット６を前記外部搬送装
置１０７に渡し、未処理ウェーハのウェーハカセット６
を該外部搬送装置１０７より受取り、カセットストッカ
１７或はバッファカセットストッカ２１に収納する。更
に、該バッファカセットストッカ２１から前記カセット
ストッカ１７への未処理ウェーハのウェーハカセット６
の搬送を行う。
送装置１０７とのウェーハカセット６の授受を行い、処
理済みウェーハのウェーハカセット６を前記外部搬送装
置１０７に渡し、未処理ウェーハのウェーハカセット６
を該外部搬送装置１０７より受取り、カセットストッカ
１７或はバッファカセットストッカ２１に収納する。更
に、該バッファカセットストッカ２１から前記カセット
ストッカ１７への未処理ウェーハのウェーハカセット６
の搬送を行う。
【００３１】尚、カセット授受装置３０のウェーハカセ
ット６の搬送は左右のロボットアーム２８で２個同時に
行うこともでき、左右いずれかのロボットアーム２８で
１個のみ行うこことも可能である。而して、カセット授
受装置３０はウェーハカセットの入替えが自由に行え、
ウェーハ移載機３とカセット授受装置３０は相互の動作
に制約されることなく併行して、作動を行うことができ
る。
ット６の搬送は左右のロボットアーム２８で２個同時に
行うこともでき、左右いずれかのロボットアーム２８で
１個のみ行うこことも可能である。而して、カセット授
受装置３０はウェーハカセットの入替えが自由に行え、
ウェーハ移載機３とカセット授受装置３０は相互の動作
に制約されることなく併行して、作動を行うことができ
る。
【００３２】尚、上記実施例ではカセット棚２０は３
列、４段であったが、４列、５段以上であってもよく、
又前記ロボットアームは１組であっても３組以上あって
も良い。
列、４段であったが、４列、５段以上であってもよく、
又前記ロボットアームは１組であっても３組以上あって
も良い。
【００３３】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、下記の
優れた効果を発揮する。
優れた効果を発揮する。
【００３４】 カセット棚が固定であるので、ウェー
ハ移載機、カセット授受装置が併行して作動を行うこと
ができ、搬送効率が向上する。
ハ移載機、カセット授受装置が併行して作動を行うこと
ができ、搬送効率が向上する。
【００３５】 カセット棚が固定であるので、カセッ
ト棚の占有空間を全てウェーハカセットの収納空間に当
てることができ、ウェーハカセットの収納個数が増大す
る。
ト棚の占有空間を全てウェーハカセットの収納空間に当
てることができ、ウェーハカセットの収納個数が増大す
る。
【００３６】 カセット棚が固定であるので、ウェー
ハ移載機とカセット棚との位置調整が容易である。
ハ移載機とカセット棚との位置調整が容易である。
【００３７】 カセット棚内でウェーハカセットを入
替えられるので、半導体製造設備のライン構成に自由度
が増し、外部搬送機器とのウェーハカセット授受能率が
向上する。
替えられるので、半導体製造設備のライン構成に自由度
が増し、外部搬送機器とのウェーハカセット授受能率が
向上する。
【図１】本発明の一実施例を示す前方からの斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明の一実施例を示す後方からの斜視図であ
る。
る。
【図３】従来例の説明図である。
【図４】従来例の作動説明図である。
【図５】従来例と外部搬送装置との関連を示す説明図で
ある。
ある。
【図６】従来例と外部搬送装置との関連を示す説明図で
ある。
ある。
３ ウェーハ移載機 ６ ウェーハカセット １７ カセットストッカ ２０ カセット棚 ２１ バッファカセットストッカ ２２ スクリューロッド ２４ エレベータユニット ２７ 昇降台 ２８ ロボットアーム ３０ カセット授受装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−40084（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 1/00 541 H01L 21/68
Claims (1)
- 【請求項１】 カセットストッカに対してウェーハ移載
機、カセット授受装置を少なくとも具備する半導体製造
装置に於いて、前記カセット授受装置を前記カセットス
トッカに対して横行可能とし、該カセットストッカが複
数段複数列のウェーハカセット収納棚を有し、前記ウェ
ーハ移載機が前記カセット棚の固定された所定の列に対
して移載動作を行うことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17110793A JP3227033B2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17110793A JP3227033B2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH072309A JPH072309A (ja) | 1995-01-06 |
| JP3227033B2 true JP3227033B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=15917106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17110793A Expired - Lifetime JP3227033B2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3227033B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1159829A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法 |
| JP5318005B2 (ja) | 2010-03-10 | 2013-10-16 | 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ | 基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法 |
| JP5586739B2 (ja) * | 2013-05-23 | 2014-09-10 | 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ | 基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法 |
-
1993
- 1993-06-17 JP JP17110793A patent/JP3227033B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH072309A (ja) | 1995-01-06 |
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