KR970063044A - 박막 자기헤드 - Google Patents

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Abstract

실드갭 길이가 극히 짧은 초고밀도 자기기록용 박막 자기헤드를 제공한다.
자기저항 소자부는 도체층에 의해, 상부 실드부 및 하부실드부에 접합되어 있고, 상기 상부 실드부 및 하부 실드부를 통해, 상기 자기저항 소자부에 전류가 흐르는 구성을 구비하며, 상기 상부 실드부 및 하부 실드부는 리드부로서도 기능한다.

Description

박막 자기헤드
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 박막 자기헤드의 부분단면도.

Claims (26)

  1. 상부 실드부와, 하부 실드부와, 상기 상부 실드부와 상기 하부 실드부간에, 자기저항 소자부를 구비하고, 상기 자기저항 소자부는 도체층에 의해, 상기 상부 실드부 및 하부 실드부에 접합되어 있고, 상기 상부 실드부 및 하부 실드부를 통해, 상기 자기저항 소자부에 전류가 흐르는 박막 자기헤드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 자기저항 소자부는 거대 자기저항 효과를 나타내는 다층구조를 가지는 박막 자기헤드.
  3. 제2항에 있어서, 상기 다층구조의 막면에 실질적으로 수적인 방향으로, 상기 전류가 흐르는 박막 자기헤드.
  4. 제2항, 또는 제3항에 있어서, 상기 다층구조는 연자성막을 구비하며, 상기 연자성막의 자화용이 축은 검지하여야 할 자계의 방향과 실질적으로 직교하고 있는 박막 자기헤드.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다층구조는 경질자성막과, 연자성막, 상기 경질자성막과 상기 연자성막 간에 형성된 비자성막을 구비하며, 상기 경질자성막의 자화용이 축은 검지하여야할 자계의 방향과 실질적으로 일치하고 있는 박막 자기헤드.
  6. 제5항에 있어서, 상기 비자성막과 상기 경질자성막과의 계면과, 상기 비자성막과 상기 연자성막의 계면의 적어도 한쪽의 계면에, Co를 주성분으로 하는 두께 0.1 내지 1nm의 계면자성막을 또한 구비하는 박막 자기헤드.
  7. 제6항에 있어서, 상기 자기저항 소자부는 상기 다층구조를 여러개 구비하는 박막 자기헤드.
  8. 제7항에 있어서, 상기 자기저항 소자부는 상기 여러개의 다층구조간에 또한 비자성막을 구비하는 박막 자기헤드.
  9. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다층구조는 금속 반강자성막과, 상기 금속 반강자성막과 자기적으로 결합한 제1의 자성막과, 연자성막과, 상기 제1의 자성막과 상기 연자성막간에 형성된 비자성막을 이 순서대로 가지며, 상기 제1의 자성막의 자화용이 축은 검지하여야 할 자계의 방향과 실질적으로 일치하고 있는 박막 자기헤드.
  10. 제9항에 있어서, 상기 다층구조는 상기 비자성막과 상기 제1의 자성막과의 계면과, 상기 비자성막과 상기 연자성막의 계면과의 적어도 한쪽의 계면에, Co를 주성분으로 하는 두께 0.11 내지 1nm의 계면자성막을 또한 구비하는 박막 자기헤드.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 가지저항 소자부는 상기 다층구조를 여러개 구비하는 박막 자기헤드.
  12. 제11항에 있어서, 상기 자기저항 소자부는 상기 다수의 다층구조간에 또한 비자성막을 구비하는 박막 자기헤드.
  13. 제5항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 비자성막은 제1의 비자성막과, 제2의 비자성막과, 상기 제1의 비자성막과 제2의 비자성막에 끼워 지지된 제3의 비자성막을 구비하며, 상기 제2의 비자성막은 두께 0.1 내지 1nm로서, 상기 제1의 비자성막과 제2의 비자성막과는 다른 재료로 구성되어 박막 자기헤드.
  14. 제4항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연자성막은 NixCoY Fez를 주성분으로 하고, 원자조성비로 X는 0.6 내지 0.9, y는 0 내지 0.4, Z는 0 내지 0.3인 박막 자기헤드.
  15. 제4항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연자성막은 NixCoY´Fez´를 주성분으로 하고, 원자조성비로 X´는 0 내지 0.4, Y´는, 0.2 내지 0.95, Z´는 0 내지 0.5인 박막 자기헤드.
  16. 제4항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연자성막은 비정질재료로 형성되어 있는 박막 자기헤드.
  17. 제5항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 비자성막은 Cu, Ag 및 Au중 어느 하나로 형성되어 있는 박막 자기헤드.
  18. 제13항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 비자성막이 Cu로 형성되어 있고, 제2의 비자성막이 Ag로 형성되어 있는 박막 자기헤드.
  19. 제5항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 비자성막이 산화물박막인 박막 자기헤드.
  20. 제19항에 있어서, 상기 산화물 박막은 산화알루미늄으로 형성되어 있는 박막 자기헤드.
  21. 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 경질 자성막은 주성분으로서 Co를 함유하는 재료로 형성되어 있는 박막 자기헤드.
  22. 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 경질자성막의 잔류자화와 포화자화의 비가 0.7 이상인 박막 자기헤드.
  23. 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속 반강자성막은 NiMn, IrMn, 및 PtMn의 어느 것인가로 형성되어 있는 박막 자기헤드.
  24. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 다층구조는 한쌍의 자성막과 상기 한쌍의 자성막간에 끼워 지지된 비자성막을 구비하며, 상기 한쌍의 자성막은 반강자성교환 결합되어 있는 한쌍의 연자성막인 박막 자기헤드.
  25. 제24항에 있어서, 상기 자기저항 소자부는 상기 다층구조를 여러개 구비하는 박막 자기헤드.
  26. 제24항 또는 제25항에 있어서, 상기 비자성막은 Cu, Ag 및 Au 중 어느 하나로 형성되어 있는 박막 자기헤드.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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