KR20060044607A

KR20060044607A - 온도센서 일체형 압력센서

Info

Publication number: KR20060044607A
Application number: KR1020050023956A
Authority: KR
Inventors: 규타로 하야시; 게이지 호리바
Original assignee: 가부시키가이샤 덴소
Priority date: 2004-03-25
Filing date: 2005-03-23
Publication date: 2006-05-16
Also published as: DE102005013818B4; CN100348960C; FR2868162A1; JP2005274412A; US20050210990A1; FR2868162B1; US7216546B2; CN1673703A; KR100605028B1; DE102005013818A1

Abstract

본 발명에 따른 온도센서 일체형 압력센서(100)는, 케이스(10), 터미널(11), 압력검출소자(20), 포트부(30) 및, 온도검출소자(40)를 포함한다. 상기 터미널(11)은 인서트 몰딩에 의해 상기 케이스(10)에 조립되고 외부장치에 접속가능하다. 상기 압력검출소자(20)는 상기 터미널과 전기적으로 접속되고 상기 케이스(10)내에 수용된다. 압력전달매체가 통과하여 상기 압력검출소자(20)로 안내되는 압력수용홀(31)을 구비하는 상기 포트부(30)는 상기 케이스(10)와 접속된다. 상기 온도검출소자(40)는 상기 터미널(11)과 전기적으로 접속되고 상기 압력수용홀(31)에 배치된다. 각 터미널(11)의 일부분은 상기 압력수용홀(31)을 통과하게 되고 상기 온도검출소자(40)로 연장된다. 상기 연장된 부분(11a)은 상기 케이스(10)의 인서트 몰딩부로서 형성되고 상기 케이스(10)를 형성하는 재료에 의해 지지된다.

케이스, 터미널, 압력검출소자, 포트부, 온도검출소자, 압력센서.

Description

온도센서 일체형 압력센서{PRESSURE SENSOR HAVING INTEGRATED TEMPERATURE SENSOR}

도1은 본 발명의 실시예에 따른 압력센서를 나타낸 단면도.

도2는 도1의 II-II선에 따른 압력센서의 포트부부를 나타낸 단면도.

도3a는 본 실시예의 변형에 따른 압력센서를 나타낸 부분 단면도.

도3b는 본 실시예의 다른 변형에 따른 압력센서를 나타낸 부분 단면도.

도4는 종래 기술에 따른 압력센서를 나타낸 단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10 : 케이스 10a : 실링부재

11 : 터미널 11a : 연장부

20 : 압력검출소자 30 : 포트부

31 : 압력수용홀 32 : 구획판

40 : 온도검출소자 100 : 압력센서

본 발명은 온도센서 일체형 압력센서에 관한 것이다.

도4에서 나타낸 바와 같은 온도센서 일체형 압력센서는 일본 특허출원 제2003-75019호에 제안되었다.

상기 압력센서(900)는 흡입 매니폴드(manifold)에서 압력과, 흡기 온도를 측정하기 위해 자동차에서 사용된다. 자동차 엔진은 그 측정값을 지시하는 신호에 근거하여 제어된다.

센서 케이스(910)는 압력을 검출하는 압력검출소자(920)를 포함하는 몰드 아이씨(mold IC)(921)를 포함한다. 상기 몰드 아이씨(921)는 리드프레임(lead frame)(922)을 통해 터미널(911)에 전기적으로 접속된다. 상기 터미널(911)은 외부 처리 회로로 압력신호를 출력하기 위해 제공된다. 상기 케이스(910)에는 포트부(930)가 연결되어 압력검출챔버는 상기 케이스(910)와 상기 포트부(930)로 형성된다. 상기 포트부(930)는 구획판(932)으로 상기 포트부(930)의 내부를 구획함으로써 형성되는 2개의 압력수용홀(931)을 구비한다.

상기 압력수용홀(931) 중 하나는 압력전달매체가 상기 압력검출소자(920)로 안내되는 매체안내홀(931a)로서 제공된다. 상기 압력수용홀(931) 중 다른 하나는 리드선(924)이 그 내부에 배치되는 온도검출소자수용홀(931b)로서 제공된다. 상기 리드선(924)은 용접에 의해 전기적 및 기계적으로 상기 터미널(911)에 접속된다. 온도검출소자(940)는 상기 리드선(924)의 단부 근방에 배치된다.

수지로 된 충격흡수부재(925)는 상기 온도검출소자(940)와 상기 리드선(924)의 진동을 감소시키기 위해 상기 리드선(924) 둘레의 상기 온도검출소자수용홀(931b)에 배치된다. 상기 충격흡수부재(925)가 제공되지 않을 경우, 상기 온도검출소자(940)는 단지 리드선(924)에 의해서만 지지된다. 이에 따라, 상기 압력센서(900)가 진동하는 경우 상기 온도검출소자(940)는 지지점인 상기 리드선(924)과 상기 터미널(911) 사이의 접속점(923)과 함께 진동하게 된다.

이러한 경우에, 응력은 상기 접속점(923)에 반복적으로 작용되고 상기 리드선(924)은 상기 포트부(930)의 내부벽에 접촉하게 된다. 이에 따라, 상기 리드선(924)은 손상된다. 상기 리드선(924)은 상기 충격흡수부재(925)에 의해 안정적으로 지지된다. 따라서, 상기 온도검출소자(940)와 리드선(924)의 진동은 감소되고 그에 대한 내구성은 향상될 수 있다.

상기 리드선(924)은 부식이나 이물질로부터 보호되기 위해 관 또는 코팅부재로 덮이게 되므로 측정환경에서 노출되지 않는다. 상기 접속점(923)은 보호용 포팅(potting)부재(926)로 덮여진다. 즉, 상기 압력센서(900)은 리드선(924)을 보호하기 위한 관 또는 코팅부재와, 상기 접속점(923)을 보호하기 위한 포팅부재(926) 및, 상기 리드선(924)를 지지하기 위한 충격흡수부재(925)를 필요로 하는 문제점이 있고, 상기 리드선(924)은 온도검출소자(940)의 진동저항을 확보하기 위하여 복잡한 구성을 필요로 하는 문제점이 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 본 발명의 목적은, 간단한 구성으로 온도검출소자의 진동을 방지할 수 있는 온도센서 일체형 압력센서를 제공하는 것이다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 제공되는 압력센서는, 케이스, 터미널, 압력검출소자, 포트부 및, 온도검출소자를 포함한다.

상기 터미널은 인서트 몰딩에 의해 상기 케이스에 조립되고 외부장치에 접속가능하다. 압력을 검출하기 위한 상기 압력검출소자는 상기 터미널에 전기적으로 접속되고 상기 케이스내에 수용된다. 압력전달매체가 통과하여 압력검출소자로 안내되는 압력수용홀을 구비하는 상기 포트부는 상기 케이스에 접속된다. 상기 압력전달매체의 온도를 검출하는 상기 온도검출소자는 상기 터미널에 전기적으로 접속되고 상기 압력수용홀내에 배치된다.

각 터미널의 일부는 상기 압력수용홀을 통과하게 되고 상기 온도검출소자에 연장된다. 상기 터미널의 일부는 연장부라고 불리운다. 상기 연장부는 상기 온도검출소자에 전기적으로 접속된다. 상기 연장부는 상기 케이스의 인서트 몰딩부로서 형성되고 상기 케이스를 형성하는 재료에 의해 지지된다. 이러한 구성으로, 상기 터미널의 연장부는 리드선으로서 기능을 한다. 따라서, 리드선은 필요하지 않게 되고 상기 리드선의 접속점은 제거된다.

상기 연장부는 상기 연장부를 형성하는 재료에 의해 지지된다. 이에 따라, 상기 연장부는 부식 또는 이물질로부터 보호되고 강화된다. 진동과 환경에 대한 상 기 연장부의 내구성은 확보된다. 게다가, 상기 연장부는 상기 케이스가 형성되는 때와 동시에 쉽게 형성된다. 이에 따라, 상기 연장부의 베이스 둘레의 포팅부재 또는 도4에 나타낸 충격흡수부재(925)와 같이 상기 연장부를 지지하기 위한 지지부재는 불필요하게 된다. 이와 같이, 단순한 구성에 의해 온도검출소자의 진동은 방지된다.

본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다.

이하, 본 발명의 다양한 실시예들을 첨부된 도면들에 의거하여 설명하면 다음과 같다. 도면에서, 동일 부호들은 동일 구성요소 및 장치에 대해 사용된다.

도1에 나타낸 바와 같이, 압력센서(100)는 센서케이스(10), 터미널(terminal)(11), 압력검출소자(20), 포트부(30), 및 온도검출소자(40)를 포함한다. 상기 터미널(11)은 외부장치에 접속가능하고 인서트 몰딩(insert molding)에 의해 상기 케이스(10)에 조립된다. 상기 압력검출소자(20)는 압력을 검출한다. 상기 압력검출소자(20)는 상기 터미널(11)에 전기적으로 접속되고, 상기 케이스(10)내에 수용되어 고정된다. 상기 포트부(30)는 압력전달매체가 통과하여 상기 압력검출소자(20)로 안내되는 압력수용홀(31)을 구비한다. 상기 온도검출소자(40)는 상기 압력전달매체의 온도를 검출한다. 상기 온도검출소자(40)는 상기 압력수용홀(31)에 배치되고 상기 터미널(11)에 전기적으로 접속된다.

상기 케이스(10)는 폴리페닐렌설파이드(polyphenylene sulfide;PPS), 폴리부틸렌테레프탈레이트(polybutylene terephthalate;PBT), 및 에폭시(epoxy) 수지와 같은 수지로 제조된다. 상기 케이스(10)는 상기 압력검출소자(20)가 배치되는 홈(12)을 구비한다. 상기 터미널(11)은 구리와 42-합금과 같은 전도성 재료로 제조된다. 상기 제1터미널(11)의 일단부는 상기 홈(12)에서 노출된다. 상기 터미널(11)의 노출부는 금도금이 되어 있어서 접착패드로서 기능을 한다. 상기 제1터미널(11)의 타단부와 상기 제2터미널(11)의 일단부는 상기 케이스(10)의 개구부(13)에서 노출된다. 상기 단부들은 커넥터(미도시)를 포함하는 외부장치에 접속이 가능하다. 상기 개구부(13) 둘레의 케이스의 일부분과 상기 터미널의 단부들은 상기 압력센서(100)의 커넥터로서 기능을 한다.

상기 압력검출소자(20)는 압력을 검출하고 상기 압력값에 대응하는 전기적 신호를 출력한다. 상기 압력검출소자(20)는 반도체 센서칩과 상기 센서칩을 지지하는 유리 기재(base)로 구성된다. 상기 센서칩은 피에조 저항(piezo-resistance) 효과, 다이아프램(diaphram), 및 브리지 회로(bridge circuit)에 사용되는 칩으로 알려져 있지만 이에 제한되지는 않는다. 상기 다이아프램은 압력이 그 최상면에 작용될 때 변형한다. 상기 브리지 회로는 확산 저항기들로 구성된다.

상기 압력검출소자(20)는 실리콘 고무(미도시)와 같은 접착제로 상기 홈(12)의 저면에 접착된다. 상기 압력검출소자(20)의 입력 및 출력 터미널(미도시)은 금 또는 알루미늄으로 제조된 접착선을 경유하여 상기 터미널(11)의 접착패드에 전기적으로 접속된다. 상기 압력검출소자(20)는 상기 터미널(11)에 전기적으로 접속되 고 상기 케이스(10)에 수용된다.

상기 홈(12)은 플루오린 겔(fluorine gel)과 플루오린 고무와 같은 전기적 절연성과 화학적 내구성을 가지는 실링부재(15)로 채워진다. 상기 실링부재(15)는 상기 터미널(11)과 상기 케이스(10) 사이의 틈을 실링하고, 상기 압력검출소자(20)와 상기 접착선(14)을 감싸 보호한다. 상기 압력검출소자(20), 상기 터미널(11), 상기 접착선(14), 상기 압력검출소자(20)와 접착선(14) 사이의 접속점, 및 상기 터미널(11)과 상기 접착선(14) 사이의 접속점은 상기 실링부재(15)로 덮여지고, 화학작용으로부터 보호되며, 전기적으로 절연되고, 부식으로부터 보호된다.

상기 실링부재(15)는 2층구조를 가진다. 하층은 상기 터미널(11)과 상기 케이스(10) 사이의 틈으로부터 기포를 감소시키기 위하여 높은 화학적 내구성을 가지는 재료로 제조된다. 플루오린 고무는 상기 실링부재(15)의 하층용으로 사용될 수 있다. 상층은 상기 압력검출소자(20)와 접착선(14)에 보다 작은 응력이 작용하도록 하기 위해 낮은 화학적 내구성을 가지는 재료로 제조된다. 플루오린 겔 또는 플루오로실리콘 겔은 상기 실링부재(15)의 상층용으로 사용될 수 있다.

상기 포트부(30)는 상기 케이스(10)에 접속되어 상기 홈(12)을 덮는다. 압력감지챔버(16)는 상기 케이스(10)와 포트부(30)에 의해 형성된다. 상기 포트부(30)는 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT) 및 폴리페닐렌설파이드(PPS)와 같이 열저항을 가지는 수지로 제조된다. 상기 포트부(30)는 높은 화학적 내구성과 탄성을 가지는 접착제(17)로 상기 케이스(10)에 부착된다. 상기 접착제(17)로서 경화 에폭시 수지가 사용될 수 있다. 상기 포트부(30)는 상기 케이스(10)로부터 보호되고, 그 단부 로부터 상기 압력감지챔버(16)까지 통하는 압력수용홀(31)을 구비한다.

상기 압력수용홀(31)은 구획판(32)에 의해 2부분으로 구획된다. 상기 구획판(32)은 상기 압력전달매체가 안내되는 경로(도1에서 흰색 화살표로 나타낸)를 따라 배치된다. 상기 압력수용홀(31)의 한 부분은 압력을 측정하기 위해 상기 압력검출소자(20)의 압력수용표면으로 상기 압력전달매체가 안내되는 매체안내홀(31a)로서 사용된다. 상기 압력수용홀(31)의 다른 부분은 상기 온도검출소자가 그 내부에 배치되는 온도검출소자수용홀(31b)로서 사용된다.

오-링(33)은 상기 포트부(30) 둘레에 배치된다. 상기 압력센서(100)는 대상물(미도시)의 센서 설치부에 기밀하게 설치될 수 있다. 상기 매체안내홀(31a)과 상기 온도검출소자수용홀(31b)은 상기 포트부(30) 내부의 압력감지챔버(16)에서 합류된다. 상기 구획판(32)은 상기 포트부(30)가 형성될 때 상기 포트부(30)와 일체로 형성된다.

각 터미널(11)의 일부는 상기 압력수용홀(31)을 통과하게 되고 상기 온도검출소자(40)로 연장된다. 상기 터미널(11)의 연장된 부분은 연장부(11a)라 칭한다. 상기 온도검출소자(40)는 각 터미널(11)의 연장부(11a) 단부에 전기적으로 접속된다.

상기 연장부(11a)는 상기 터미널(11)의 일부를 굽히고 상기 압력수용홀(31)을 통과할 수 있도록 마감됨으로써 형성된다. 상기 터미널(11)은 상기 연장부(11a)가 온도검출소자수용홀(31b)을 통과할 수 있도록 배치된다. 상기 연장부(11a)는 인서트 몰딩에 의해 상기 케이스에 조립된다. 즉, 상기 케이스(10)의 인서트 몰딩부 로서 형성되고 상기 케이스(10)를 형성하는 재료에 의해 지지된다.

상기 온도검출소자(40)는 정특성 서미스터 소자로 이루어진다. 상기 온도검출소자(40)는 땜납으로 상기 연장부(11a)에 전기적으로 접속된다. 상기 연장부(11a)는 인서트 몰딩에 의해 상기 케이스(10)에 조립되고 상기 케이스(10)를 형성하는 재료에 의해 지지된다. 상기 온도검출소자(40)는 상기 케이스(10)를 형성하는 재료에 의해 보호된다. 상기 케이스(10)는 상기 연장부(11a)의 단부에 상기 온도검출소자(40)를 접속하고, 상기 터미널(11)과 함께 몰딩됨으로써 제공된다.

이하, 상기 압력센서(100)를 제조하는 방법에 대해 설명하면 다음과 같다.

상기 케이스(10)는 연장부(11a)의 단부에 상기 온도검출소자(40)를 접속하고, 상기 터미널(11)과 함께 몰딩됨으로써 제공된다. 상기 압력검출소자(20)는 접착제로 상기 케이스(10)의 홈(12)에 부착된다. 상기 접착선(14)을 통하여 상기 터미널(11)과 상기 압력검출소자(20)를 접속하도록 상기 접착선(14)은 상기 터미널(11)과 상기 압력검출소자(20) 사이에서 접속된다. 상기 홈(12)이 상기 실링부재(15)로 채워지도록 상기 실링부재(15)는 상기 홈(12)에 분사되고, 열경화처리를 통해 열적으로 경화된다.

상기 포트부(30)는 상기 케이스(10)와 연결되기 위해 접착제(17)로 상기 케이스(10)에 부착되어 상기 연장부(11a)는 온도검출소자수용홀(31b)에 삽입된다. 이에 따라, 상기 압력센서(100)는 완성된다.

상기 압력센서(100)는 자동차의 흡입 매니폴드용 흡기 압력센서로서 사용될 수 있다. 이러한 경우에, 상기 압력수용홀(31)이 압력검출소자(20)에 의해 흡기 압 력(부압)을 검출하기 위한 상기 흡입 매니폴드와 통하도록 상기 압력센서(100)는 자동차내에 설치된다.

흰색 화살표로 표시된 바와 같이 상기 압력센서(100) 내부 방향으로 압력이 작용될 경우 압력전달매체는 상기 매체안내홀(31a)을 통해 상기 압력검출소자(20)의 압력수용표면으로 안내된다. 상기 압력검출소자(20)는 압력을 검출하고 상기 압력값에 대응하는 전기신호를 출력한다. 상기 전기신호는 상기 접착선(14)과 터미널(11)을 통하여 외부장치로 출력된다. 상기 압력전달매체의 온도는 압력전달매체의 경로 근방에 배치된 상기 온도검출소자(40)에 의해 검출된다. 상기 검출된 온도를 나타내는 신호는 상기 연장부(11a)를 통하여 외부장치로 출력된다.

상기 압력센서(100)에서, 상기 터미널(11)의 부품들은 상기 압력수용홀(31)을 통과하게 되고 상기 온도검출소자(40)에 전기적으로 접속된다. 상기 연장부(11a)는 리드선으로서 기능을 한다. 이에 따라, 상기 압력센서(100)는 리드선을 필요로 하지 않는다. 또한, 압력센서(100)는 도4에 나타낸 종래기술에서 사용된 리드선의 접속점을 보호하기 위한 포팅부재를 필요로 하지 않는다.

상기 연장부(11a)는 상기 케이스(10)를 형성하는 재료에 의해 지지되므로 부식이나 이물질로부터 보호된다. 또한, 상기 연장부(11a)는 상기 재료에 의해 강화되므로 진동이나 환경에 대한 내구성을 확보할 수 있다. 상기 연장부(11a)는 상기 케이스(10)가 형성될 경우와 동시에 용이하게 형성된다. 이에 따라, 상기 연장부(11a)의 베이스 둘레의 포팅부재 또는 상기 연장부(11a)를 지지하기 위한 충격흡수부재(925)와 같은 지지부재는 불필요하다. 상기 온도검출소자(40)의 진동은 상기 압력센서(100)에서의 간단한 구성을 통해 적절하게 방지된다.

상기 압력센서(100)의 구성이 단순화되기 때문에 상기 압력센서(100)의 제조공정은 단순화될 수 있다. 즉, 상기 압력센서(100)는 낮은 비용으로 제공될 수 있다. 또한, 상기 온도검출소자(40)는 상기 압력수용홀(31) 내부에서 상기 구획판(32)에 의해 구획된 작은 공간내에 배치된다. 이로 인해, 상기 온도검출소자(40)는 진동으로 인해 위치가 크게 변하지 않고, 변위가 발생하더라도 그 변위량은 작다.

본 발명은 도면에 나타내고 상기한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상으로부터 벗어남이 없이 다양한 방법으로 구현될 수 있다. 예를 들면, 상기 온도검출소자가 배치되는 상기 연장부(11a)의 일부분은 도3a에 나타낸 바와 같이 상기 케이스(10)가 형성된 후, 실링부재(10a)로 실링될 수도 있다. 상기 실링부재(10a)는 상기 케이스(10)의 재료와 동일한 재료 또는 에폭시 수지를 포함하는 다른 재료로 제조될 수 있다. 상기 연장부(11a)의 일부분은 실링없이 노출될 수도 있다. 상기 터미널(11)이 인서트 몰딩에 의해 상기 케이스(10)에 조립될 수 있는 한, 상기 케이스(10)는 수지 이외의 다른 재료로 제조될 수 있다.

각 터미널(11)의 일부가 상기 케이스(10)를 형성하는 재료로 실링되는 상기 연장부(11a)를 구비하고 상기 온도검출소자(40)는 상기 연장부(11a)의 단부에 접속되는 한, 상기 압력수용홀(31)은 상기 구획판(32) 없이 형성될 수 있다. 이와 같이, 상기 연장부(11a)의 진동 저항은 간단한 구성에 의해 적절하게 제공되기 때문에 상기 리드선과 상기 리드선을 보호하는 부재들은 생략된다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 온도센서 일체형 압력센서에 의하면, 연장부는 케이스를 형성하는 재료에 의해 지지되므로 부식이나 이물질로부터 보호되고 상기 연장부는 상기 재료에 의해 강화되므로 진동이나 환경에 대한 저항이 보상되며 상기 연장부는 상기 케이스가 형성되는 때와 동시에 쉽게 형성됨에 따라, 상기 연장부의 베이스 둘레의 포팅부재 또는 상기 연장부를 지지하기 위한 충격흡수부재와 같은 지지부재는 불필요하게 되고 온도검출소자의 진동은 압력센서에서 단순한 구성에 의해 적절하게 방지될 수 있는 효과가 있다.

또한, 상기 온도검출소자는 상기 압력수용홀 내부에서 구획판에 의해 구획된 작은 공간내에 배치되기 때문에, 상기 온도검출소자는 진동으로 인해 위치가 크게 변하지 않게 되고 변위가 발생하더라도 그 변위량은 작게 되는 효과가 있다.

아울러, 연장부가 종래의 리드선으로서 기능을 함에 따라 압력센서에는 리드선이 필요하지 않게 되고 리드선의 접속점을 보호하기 위한 포팅부재를 필요로 하지 않게 되기 때문에, 상기 압력센서의 구성이 단순화되어 상기 압력센서의 제조공정은 단순화될 수 있으며 이에 따라 상기 압력센서는 낮은 비용으로 제공될 수 있는 효과가 있다.

Claims

케이스;

인서트 몰딩에 의해 상기 케이스에 조립되고 외부장치에 접속가능한 터미널;

상기 터미널에 전기적으로 접속되고 상기 케이스내에 수용되어 압력을 검출하기 위한 압력검출소자;

상기 케이스에 접속되고 압력전달매체가 통과하여 압력검출소자로 안내되는 압력수용홀을 구비하는 포트부; 및

상기 터미널에 전기적으로 접속되고 상기 압력수용홀내에 배치되어 상기 압력전달매체의 온도를 검출하기 위한 온도검출소자;

를 포함하고,

상기 터미널은 상기 압력수용홀을 통과하게 되고 상기 온도검출소자에 연장되는 연장부를 구비하며,

상기 터미널의 연장부는 상기 케이스의 인서트 몰딩부로서 형성되고 상기 케이스를 형성하는 재료에 의해 지지되고,

상기 터미널의 연장부는 상기 온도검출소자에 전기적으로 접속되는

온도센서 일체형 압력센서.
제1항에 있어서,

상기 케이스는,

수지(resin)로 이루어지는

온도센서 일체형 압력센서.
제1항에 있어서,

상기 압력수용홀내에 구획판을 더 포함하고,

상기 구획판은 상기 압력전달매체가 안내되는 경로를 따라 배치되어 상기 압력수용홀의 적어도 한 부분은 상기 구획판에 의해 구획되며,

상기 온도검출소자는 상기 구획판에 의해 구획된 공간내에 배치되는

온도센서 일체형 압력센서.
제1항에 있어서,

상기 온도검출소자는,

상기 터미널의 연장부의 단부에 배치되고 상기 케이스를 형성하는 재료에 의해 지지되는

온도센서 일체형 압력센서.
제1항에 있어서,

상기 연장부는 노출단을 구비하고,

상기 온도검출소자는 상기 노출단에 배치되는

온도센서 일체형 압력센서.
제1항에 있어서,

상기 연장부는 노출단을 구비하고,

상기 온도검출소자는 상기 노출단에 배치되며,

상기 노출단과 상기 온도검출소자는 실링부재에 의해 실링되는

온도센서 일체형 압력센서.