JP2006194682A - 温度センサ一体型圧力センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 温度センサ一体型圧力センサ装置において、温度検出素子の表面へのオイルや汚れなどの付着をより確実に防止できるようにする。
【解決手段】 外部と接続されるターミナル11がインサート成形されたケース10と、ターミナル11に電気的に接続された状態でケース10に設けられ圧力検出を行う圧力検出素子20と、ケース10に連結され圧力検出素子20へ圧力媒体を導入する圧力導入孔31を有するポート部30と、ターミナル11に電気的に接続された状態で圧力導入孔31に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子40とを備える温度センサ一体型圧力センサ装置100において、温度検出素子40は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 外部と接続されるターミナル11がインサート成形されたケース10と、ターミナル11に電気的に接続された状態でケース10に設けられ圧力検出を行う圧力検出素子20と、ケース10に連結され圧力検出素子20へ圧力媒体を導入する圧力導入孔31を有するポート部30と、ターミナル11に電気的に接続された状態で圧力導入孔31に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子40とを備える温度センサ一体型圧力センサ装置100において、温度検出素子40は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、圧力検出素子および温度検出素子を備える温度センサ一体型圧力センサ装置に関し、特に、温度検出素子の信頼性が向上された温度センサ一体型圧力センサ装置に関する。
従来のこの種の一般的な温度センサ一体型圧力センサ装置は、外部と接続されるターミナルがインサート成形されたケースと、ターミナルに電気的に接続された状態でケースに設けられ圧力検出を行う圧力検出素子と、ケースに連結され圧力検出素子へ圧力媒体を導入する圧力導入孔を有するポート部と、ターミナルに電気的に接続された状態で圧力導入孔に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子とを備えて構成されている(たとえば、特許文献1参照)。
図2は、従来の一般的な温度センサ一体型圧力センサ装置900の概略断面構成を示す図である。
このセンサ装置900は、たとえば車両において、インテークマニホルドの圧力および吸気温度の測定に用いられ、その測定信号に基づいて、車両のエンジンが制御されるものである。
図2に示されるように、センサケース10は、その内部に圧力を検出する圧力検出素子20を備えたモールドIC21を備えており、このモールドIC21は、リードフレーム22を介して圧力信号を外部処理回路に出力するターミナル11に電気的に接続されている。
そして、センサケース10には、当該センサケース10との間で圧力検出室を形成するようにポート部30が接続されている。このポート部30は、仕切り板32により2つに分割された圧力導入孔31を有し、一方は圧力検出素子20に圧力媒体を伝達するための圧力導入孔31aとして構成されている。
そして、仕切り板32により分割された圧力導入孔31の他方には、ターミナル11に接続部23にて溶接などによって電気的・機械的に接続された配線部材としてのリード線24が延設されており、そのリード線24の突出先端付近には温度を検出する温度検出素子40が配置されている。つまり、当該圧力導入孔31の他方は、温度検出素子配置孔31bとして構成されている。
また、この温度センサ一体型圧力センサ装置900においては、温度検出素子配置孔31bの内部において、温度検出素子40とリード線24の振動を抑制するために、リード線24と温度検出素子配置孔31bとの間に樹脂などからなる緩衝部材25を介在させている。
また、このセンサ装置900においては、温度検出素子40やリード線24が測定環境下に剥き出しとならないように、温度検出素子40やリード線24の表面には、測定環境における腐食や汚れなどから保護するチューブやコーティング材などが設けられている。また、リード線24の接続部23を測定環境から保護するために、接続部23はポッティング材26により被覆されている。
特開2004−198394号公報
しかしながら、このような温度センサ一体型圧力センサ装置900をインテークマニホルド内の圧力および吸気温度の測定に用いる場合、インテークマニホルド内は、オイルや汚れなどが流動している環境であり、その中で、温度検出素子40により吸気温度を検出することになる。
このようなオイル、汚れなどが流動する環境にて使用される場合、温度検出素子40にオイルや汚れなどが付着するという問題がある。
従来では、上述したように、温度検出素子40やリード線24の表面には、測定環境における腐食や汚れなどから保護するチューブやコーティング材などが設けられているが、一般的には、温度検出素子40にはポリアミドコーティングを施し、リード線24にはポリイミドチューブを施すという表面加工を採用している。
しかしながら、これら従来のポリアミドやポリイミドによる表面加工では、オイルや汚れの付着を防止することはできず、根本的な解決には至らない。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、温度センサ一体型圧力センサ装置において、温度検出素子の表面へのオイルや汚れなどの付着をより確実に防止できるようにすることを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、外部と接続されるターミナル(11)がインサート成形されたケース(10)と、ターミナル(11)に電気的に接続された状態でケース(10)に設けられ圧力検出を行う圧力検出素子(20)と、ケース(10)に連結され圧力検出素子(20)へ圧力媒体を導入する圧力導入孔(31)を有するポート部(30)と、ターミナル(11)に電気的に接続された状態で圧力導入孔(31)に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子(40)とを備える温度センサ一体型圧力センサ装置において、温度検出素子(40)は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜(50)により被覆されていることを特徴としている。
それによれば、温度検出素子(40)は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜(50)により被覆されているため、従来のポリアミドやポリイミドによる表面加工に比べて、オイルや汚れなどが付着しにくくなる。
よって、本発明によれば、圧力検出素子(20)および温度検出素子(40)を備える温度センサ一体型圧力センサ装置において、温度検出素子(40)の表面へのオイルや汚れなどの付着をより確実に防止することができる。
ここで、請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置において、温度検出素子(40)とターミナル(11)とは、配線部材(24)を介して連結され、この配線部材(24)を介して電気的に接続されており、配線部材(24)もポリテトラフルオロエチレンからなる膜(50)により被覆されていることを特徴としている。
それによれば、温度検出素子(40)に加えて配線部材(24)においても、その表面へのオイルや汚れなどの付着をより確実に防止することができ、好ましい。
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る温度センサ一体型圧力センサ装置100の全体概略断面構成を示す図である。
限定するものではないが、この温度センサ一体型圧力センサ装置100は、たとえば、自動車のインテークマニホールドに取り付けられ、インテークマニホルドの圧力および吸気温度の測定に用いられる吸気圧センサなどに適用することができる。
[構成等]
この圧力センサ装置100は、大きくは、外部と接続されるターミナル11がインサート成形されたケース10と、ターミナル11に電気的に接続された状態でケース10に設けられ圧力検出を行う圧力検出素子20と、このケース10に連結され圧力検出素子20へ圧力媒体を導入する圧力導入孔31を有するポート部30と、ターミナル11に電気的に接続された状態で圧力導入孔31に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子40とを備えて構成されている。
この圧力センサ装置100は、大きくは、外部と接続されるターミナル11がインサート成形されたケース10と、ターミナル11に電気的に接続された状態でケース10に設けられ圧力検出を行う圧力検出素子20と、このケース10に連結され圧力検出素子20へ圧力媒体を導入する圧力導入孔31を有するポート部30と、ターミナル11に電気的に接続された状態で圧力導入孔31に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子40とを備えて構成されている。
ケース10は、たとえば、PPS(ポリフェニレンサルファイド)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成形してなるものである。このケース10の上端面には、圧力検出素子20を搭載するための凹部12が形成されている。
また、ケース10には、外部と接続される複数本の上記ターミナル11がインサート成形により一体的に設けられている。このターミナル11は、たとえば銅や42アロイなどの導電材料よりなるものである。
一部のターミナル11の一端部は、上記凹部12内にて露出した状態となるように配置されている。なお、この一部のターミナル11における凹部12での露出部分には、金メッキなどが施されることにより、ボンディングパッドとして機能するように構成されている。
また、各ターミナル11のうちケース10における開口部13において露出する端部は、図示しない外部機器(外部の配線部材等)に接続可能となっている。つまり、このケース10の開口部13の部分は、当該開口部13に位置する各ターミナル11の端部とともに、本センサ装置100におけるコネクタ部として構成されている。
ケース10の凹部12に搭載された圧力検出素子20は、圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。この圧力検出素子20は、たとえば、半導体よりなるセンサチップとこのセンサチップを保持するガラス台座とにより構成されている。
ここで、上記センサチップは、限定するものではないが、たとえば、シリコン半導体チップなどからなるピエゾ抵抗効果を利用した周知構成のもので、その上面に圧力を受けて歪むダイアフラムおよび拡散抵抗などにより形成されたブリッジ回路などを備えた構成となっている。
この圧力検出素子20は、上記したケース10の凹部12の底面と上記ガラス台座との間に、たとえばシリコーンゴム等の図示しない接着剤を介在させた状態でダイボンディングされている。
また、圧力検出素子20の各入出力端子(図示せず)は、ターミナル11の上記ボンディングパッドに対し金やアルミニウム等のボンディングワイヤ14を介して電気的に接続されている。こうして、圧力検出素子20は、ターミナル11に電気的に接続された状態でケース10に設けられている。
そして、ケース10の凹部12内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴムなどからなる保護部材15が充填されており、この保護部材15によって、ターミナル11とケース10との界面、圧力検出素子20およびボンディングワイヤ14などが封止され、保護されている。
そして、この保護部材15により、圧力検出素子20、ターミナル11、ボンディングワイヤ14、圧力検出素子20とボンディングワイヤ14との接続部、および、ターミナル11とボンディングワイヤ14との接続部が被覆され、薬品からの保護、電気的な絶縁性の確保、並びに防食などが図られている。
図1に示される例では、この保護部材15としては、2層保護構造を採用している。たとえば、下層に位置する保護部材としては、ターミナル11とケース10との界面等からの気泡の発生を抑制するために高弾性率を持ち且つ耐薬品性を有する材料からなるものにできる。限定するものではないが、たとえば、フッ素系のゴム材料などを採用することができる。
また、上層に位置する保護部材としては、圧力検出素子20およびボンディングワイヤ14へ応力を与えないような低弾性率を持ち且つ耐薬品性を有する材料からなるものにできる。限定するものではないが、たとえば、フッ素系のゲル材料やフロロシリコーンゲルなどを採用することができる。
また、ポート部30は、ケース10の凹部12の開口部を覆うようにケース10に対して連結され、このケース10とポート部30との間において圧力検出室16が形成されている。
ポート部30は、たとえば上記ケース10と同様に、PBT、PPSなどの耐熱性を有する樹脂材料からなり、これらの樹脂材料を金型を用いて型成形してなるものである。また、ここでは、ポート部30は、ケース10に対してハードエポキシ樹脂等の耐薬品性に優れ且つ高弾性である接着材17により固定され取り付けられている。
ポート部30は、ケース10とは反対側の方向へ突出しており、その内部には突出先端から上記圧力検出室16に通じる圧力導入孔31が形成されている。
また、図1に示される例では、圧力導入孔31が、仕切り板32によって2分割されている。この仕切り板32は、図中の白抜き矢印に示される圧力媒体の導入方向に沿って形成されている。
そして、仕切り板32によって仕切られた圧力導入孔31は、圧力検出素子20の受圧面まで圧力を測定すべき圧力媒体を伝達するための圧力導入孔31aであり、他方は、その内部に温度検出素子40とつながる配線部材としてのリード線24が配置される温度検出素子配置孔31bである。
なお、圧力導入孔31aおよび温度検出素子配置孔31bは、仕切り板32により、ポート部30の突出先端側では別々の孔になっているが、ポート部30の内部にて、ともに圧力検出室16に合流し一体化している。この仕切り板32は、ポート部30の形成時に一体成形される。
ここで、リード線24は、金属製のワイヤなどからなるものであり、図1に示されるように、ケース10から露出するターミナル11の部分に対して溶接や半田などにより接続されている。
このリード線24とターミナル11との接続部23は、図1に示されており、この接続部23は、当該接続部23を測定環境から保護するために樹脂などからなるポッティング材26により被覆されている。
また、温度検出素子配置孔31bの内部において、リード線24と温度検出素子配置孔31bとの間には、樹脂などからなる緩衝部材25が介在している。この緩衝部材25は、温度検出素子40とリード線24の振動を抑制するために設けられているものである。なお、この緩衝部材25としては、上記特許文献1に記載のものと同様のものを採用することができる。
そして、リード線24は、ケース10側の接続部23から温度検出素子配置孔31bを介してポート部30の先端部付近まで延設されており、圧力導入孔31の先端部付近にて、リード線24と温度検出素子40とが電気的に接続されている。
ここで、温度検出素子40は、抵抗の温度特性を有する通常のサーミスタ素子からなるもので、リード線24と温度検出素子40とは半田や溶接などにより電気的に接合されている。
ここにおいて、本実施形態の温度センサ一体型圧力センサ装置100では、温度検出素子40は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されている。このようなポリテトラフルオロエチレンからなる膜50は、蒸着法などにより温度検出素子40の表面にコーティングすることにより形成することができる。
さらに、好ましくは、温度検出素子40に加えてリード線24もポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されていることが望ましい。図1に示される例では、温度検出素子40およびリード線24の両方の表面に、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50がコーティングされて設けられている。
また、ポート部30の外周部には、Oリング33が設けられ、本センサ装置100は、当該Oリング33を介して図示されないセンサ取付部に対して気密に取り付け可能になっている。
[製造方法等]
かかる温度センサ一体型圧力センサ装置100の製造方法は、たとえば、次の通りである。ターミナル11がインサート成形されたケース10を用意する。
かかる温度センサ一体型圧力センサ装置100の製造方法は、たとえば、次の通りである。ターミナル11がインサート成形されたケース10を用意する。
そして、圧力検出素子20をケース10の凹部12へ接着剤など介して搭載固定し、圧力検出素子20とターミナル11とをの間でワイヤボンディングを行い、これら両者11、20をボンディングワイヤ14により結線する。その後、保護部材15をケース10の凹部12へ注入して充填し、これに熱硬化処理を行うことによって、保護部材15を硬化させる。
次に、ターミナル11とリード線24と温度検出素子40との三部材を溶接やはんだ付けなどにより接続する。
ここで、リード線24と温度検出素子40については、両者を接合した後、蒸着法などにより上記ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50によるコーティングを行う。また、ターミナル11とリード線24との接続部23を、上記ポッティング材26により被覆する。
そして、ポート部30をケース10へ接着材17を介して固定することにより、ポート部30とケース10とを連結する。このとき、リード線24および温度検出素子40を、ポート部30の温度検出素子配置孔31bに挿入するようにして、ポート部30の取り付けを行う。
そして、リード線24と温度検出素子配置孔31bとの間に、緩衝部材25を配設する。こうして、図1に示される本実施形態の温度センサ一体型圧力センサ装置100ができあがる。
そして、本センサ装置100を上記した吸気圧センサに適用する場合には、たとえば自動車におけるインテークマニホールドとポート部30の圧力導入孔31とを連通させた状態とし、圧力検出素子20によって吸気圧(負圧)を検出できるように自動車に搭載される。
それにより、図1に示される白抜き矢印の方向に圧力が印加されると、ポート部30の圧力導入孔31aを通して、ケース10内の圧力検出素子20の受圧面まで圧力媒体が伝達される。
圧力検出素子20は、この圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生し、当該電気信号はボンディングワイヤ14からターミナル11を介して外部へと出力される。
また、圧力媒体の温度が当該圧力媒体の流れに近い位置に配置された温度検出素子40によって検出され、その検出信号は、リード線24からターミナル11を介して外部へと出力される。
[効果等]
ところで、本実施形態によれば、外部と接続されるターミナル11がインサート成形されたケース10と、ターミナル11に電気的に接続された状態でケース10に設けられ圧力検出を行う圧力検出素子20と、ケース10に連結され圧力検出素子20へ圧力媒体を導入する圧力導入孔31を有するポート部30と、ターミナル11に電気的に接続された状態で圧力導入孔31に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子40とを備える温度センサ一体型圧力センサ装置において、温度検出素子40は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されていることを特徴とする温度センサ一体型圧力センサ装置100が提供される。
ところで、本実施形態によれば、外部と接続されるターミナル11がインサート成形されたケース10と、ターミナル11に電気的に接続された状態でケース10に設けられ圧力検出を行う圧力検出素子20と、ケース10に連結され圧力検出素子20へ圧力媒体を導入する圧力導入孔31を有するポート部30と、ターミナル11に電気的に接続された状態で圧力導入孔31に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子40とを備える温度センサ一体型圧力センサ装置において、温度検出素子40は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されていることを特徴とする温度センサ一体型圧力センサ装置100が提供される。
ポリテトラフルオロエチレンは、デュポン社の商品名テフロン(登録商標)でよくしられるものであり、表面が摩擦係数が小さく接着しにくいので離型剤などによく用いられることからもわかるように、汚れなどが付着しにくい。
そして、本実施形態のセンサ装置100によれば、温度検出素子40は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されているため、従来のポリアミドやポリイミドによる表面加工に比べて、オイルや汚れなどが付着しにくくなる。
よって、本実施形態によれば、圧力検出素子20および温度検出素子40を備える温度センサ一体型圧力センサ装置100において、温度検出素子40の表面へのオイルや汚れなどの付着をより確実に防止することができる。
ここで、本実施形態の温度センサ一体型圧力センサ装置100においては、温度検出素子40とターミナル11とは、配線部材としてのリード線24を介して連結されるとともに、これら温度検出素子40とターミナル11とは、このリード線24を介して電気的に接続されており、さらに、リード線24もポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されていることも特徴のひとつである。
それによれば、温度検出素子40に加えてリード線24においても、その表面へのオイルや汚れなどの付着をより確実に防止することができ、好ましい。
(他の実施形態)
なお、上記実施形態では、温度検出素子40とリード線24の両方がポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されていたが、すくなくとも温度検出素子40がポリテトラフルオロエチレンからなる膜50によって被覆されていればよく、場合によっては、リード線24は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50にて被覆されていなくてもよい。
なお、上記実施形態では、温度検出素子40とリード線24の両方がポリテトラフルオロエチレンからなる膜50により被覆されていたが、すくなくとも温度検出素子40がポリテトラフルオロエチレンからなる膜50によって被覆されていればよく、場合によっては、リード線24は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜50にて被覆されていなくてもよい。
また、温度検出素子40とターミナル11とを電気的に接続する配線部材としてはリード線24に限定されるものではない。
また、上記実施形態において、圧力導入孔31を仕切り板32により2分割し、一方の温度検出素子配置孔31bに温度検出素子40を配置した例を示したが、この仕切り板を無くした構成とし、1つの圧力導入孔31からなる構成を採用してもよい。
また、ケース10の構成、ケース10に設けられる圧力検出素子20およびその電気的接続構成、ポート部30の構成などは、上記図1に示される例に限定されるものではなく、用途などに応じて適宜種々の設計変更が可能である。
要するに、本発明は、外部と接続されるターミナルがインサート成形されたケースと、ターミナルに電気的に接続された状態でケースに設けられ圧力検出を行う圧力検出素子と、ケースに連結され圧力検出素子へ圧力媒体を導入する圧力導入孔を有するポート部と、ターミナルに電気的に接続された状態で圧力導入孔に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子とを備える温度センサ一体型圧力センサ装置において、温度検出素子を、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜により被覆したことを要部とするものであり、その他の部分は適宜設計変更が可能である。
10…ケース、11…ターミナル、20…圧力検出素子、
24…配線部材としてのリード線、30…ポート部、31…圧力導入孔、
40…温度検出素子、50…ポリテトラフルオロエチレンからなる膜。
24…配線部材としてのリード線、30…ポート部、31…圧力導入孔、
40…温度検出素子、50…ポリテトラフルオロエチレンからなる膜。
Claims (2)
- 外部と接続されるターミナル(11)がインサート成形されたケース(10)と、
前記ターミナル(11)に電気的に接続された状態で前記ケース(10)に設けられ、圧力検出を行う圧力検出素子(20)と、
前記ケース(10)に連結され、前記圧力検出素子(20)へ圧力媒体を導入する圧力導入孔(31)を有するポート部(30)と、
前記ターミナル(11)に電気的に接続された状態で前記圧力導入孔(31)に設けられ、前記圧力媒体の温度を検出する温度検出素子(40)とを備える温度センサ一体型圧力センサ装置において、
前記温度検出素子(40)は、ポリテトラフルオロエチレンからなる膜(50)により被覆されていることを特徴とする温度センサ一体型圧力センサ装置。 - 前記温度検出素子(40)と前記ターミナル(11)とは、配線部材(24)を介して連結され、この配線部材(24)を介して電気的に接続されており、
前記配線部材(24)もポリテトラフルオロエチレンからなる膜(50)により被覆されていることを特徴とする請求項1に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
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