KR102138991B1 - 코킹 지그, 및 그것을 사용하는 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

돌출 부재를 퇴피시킨 상태에서 날부의 높이를 교정할 수 있음으로써 NC 공작 기계를 적용할 수 있음과 함께, 스페이서 부재의 위치를 보정한 상태에서 구멍의 에지부를 소성 변형시킴으로써 스페이서 부재의 상단부의 높이를 균일하게 할 수 있는 코킹 지그를 제공한다. 코킹 지그(10)는 본체(11)와 날부(12)와 돌출 부재(13)와 가압 부재(14)와 걸림 지지 수단(15)을 구비하고 있다. 돌출 부재(13)는, 걸림 지지 수단(15)에 걸림 지지되지 않는 상태에 있어서, 가압 부재(14)의 가압력에 의하여 선단부(31)를 날끝(12A)으로부터 돌출시킨 돌출 위치(P1)에 보유 지지된다. 걸림 지지 수단(15)에 걸림 지지된 상태에 있어서, 가압 부재(14)의 가압력에 저항하여 선단부(31)를 날끝(12A)보다도 몰입시킨 몰입 위치(P2)에 보유 지지된다.

Description

코킹 지그, 및 그것을 사용하는 제조 방법
본 발명의 실시 형태는, 반도체 웨이퍼의 열처리 등에 사용되는 기판 지지 장치를 가공하는 코킹 지그와, 코킹 지그를 사용하는 기판 지지 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
반도체의 제조 프로세스에 있어서, 웨이퍼 등의 기판을 열처리하기 위하여 가열 기능 등을 가진 기판 지지 장치가 사용되고 있다. 기판 지지 장치는, 히터 유닛을 내장한 플레이트 부재를 구비하며, 플레이트 부재의 상면에 기판을 적재하여 가열한다.
만일, 플레이트 부재에 오염의 원인으로 되는 미립자 등이 존재하고 있으면, 플레이트 부재와 밀착된 기판의 이면에 미립자 등이 부착되어 반도체의 품질이 손상된다. 이와 같은 문제를 해결하기 위하여, 기판과 플레이트 부재 사이에 약간의 틈을 형성하여 기판을 플레이트 부재와 밀착시키지 않고 열처리할 수 있는 기판 지지 장치가 제안되어 있다(예를 들어 특허문헌 1).
일본 특허 제4629574호 공보
이 기판 지지 장치는, 평탄한 상면을 갖는 금속제의 플레이트 부재와, 플레이트 부재의 상면의 복수 부위에 형성된 구멍과, 구멍에 수용된 구형 스페이서 부재를 구비하고 있다. 스페이서 부재는, 그 상단부가 플레이트 부재의 상면으로부터 약간 돌출되어 있으며, 구멍의 개구 에지부를 소성 변형시킨 코킹부에 의하여 빠짐 방지되어 있다.
치수 정밀도가 높은 스페이서 부재를 사용하여, NC 공작 기계에 의하여 균일한 깊이의 구멍을 형성하고 있으면, 플레이트 부재의 상면으로부터 돌출된 스페이서 부재의 상단부의 높이는 균일해질 것이다. 그러나 스페이서 부재가 구멍의 바닥에 맞닿지 않은 상태에서 코킹부를 형성하면, 스페이서 부재와 구멍의 바닥의 간극만큼 스페이서 부재의 상단부의 높이가 변동되어 버린다. 구멍의 바닥에 맞닿게 하기 위하여 작업자의 손으로 스페이서 부재를 그때그때 위치 보정하는 것은 대단히 수고롭다.
본 발명의 목적은, 돌출 부재를 퇴피시킨 상태에서 날부의 높이를 교정할 수 있음으로써 NC 공작 기계를 적용할 수 있음과 함께, 스페이서 부재의 위치를 보정한 상태에서 구멍의 에지부를 소성 변형시킴으로써 스페이서 부재의 상단부의 높이를 균일하게 할 수 있는 코킹 지그를 제공하는 것이다.
실시 형태에 의하면, 코킹 지그는, 원통형 본체와, 날끝이 V형으로 뾰족한 날부와, 돌출 부재와, 가압 부재와, 걸림 지지 수단을 구비하고 있다. 가압 부재는, 돌출 부재를 날부로부터 돌출시키는 방향으로 가압하고 있다. 걸림 지지 수단은 돌출 부재를 본체에 걸림 지지한다. 돌출 부재는 본체에 안으로부터 끼워져 있다. 돌출 부재는, 걸림 지지 수단에 걸림 지지되지 않는 상태에 있어서, 가압 부재의 가압력에 의하여 선단부를 날끝으로부터 돌출시킨 돌출 위치에 보유 지지된다. 걸림 지지 수단에 걸림 지지된 상태에 있어서, 가압 부재의 가압력에 저항하여 선단부를 날끝보다도 몰입시킨 몰입 위치에 보유 지지된다.
이때, 돌출 부재는, 선단부보다도 대직경으로 형성된 숄더부를 더 가져도 된다. 걸림 지지 수단은 걸림 지지 구멍과 걸림 지지 핀을 가져도 된다. 걸림 지지 구멍은, 본체에 형성되어, 본체의 중심축과 직교하는 평면 상에 위치함과 함께, 중심축과 교차하지 않는 현의 위치에 있어서 본체를 관통하고 있다. 걸림 지지 핀은, 걸림 지지 구멍에 삽입되면, 가압 부재가 돌출 부재를 가압하는 방향과는 반대측으로부터 돌출 부재의 숄더부에 맞닿는다.
돌출 부재의 선단부는 기단을 향하여 오목하게 형성되어도 된다. 가압 부재의 가압력에 저항하여 돌출 부재에 미친 하중을 측정하는 하중 센서를 더 구비해도 된다. 하중 센서는, 돌출 부재가 스페이서 부재와 맞닿아 있는지 여부를 검지할 수 있다.
돌출 부재는, 선단으로부터 기단까지 관통하는 관통 구멍을 가져도 된다. 돌출 부재와 접속된 진공원을 더 구비해도 된다. 관통 구멍의 진공도를 측정하는 진공도 센서를 더 구비해도 된다. 진공원이 관통 구멍을 통하여 선단부에 스페이서 부재를 흡착할 수 있다. 진공도 센서에 의하여 선단부에 스페이서 부재가 흡착되어 있는지 여부를 검지할 수 있다. 돌출 부재에 접속된 광 센서를 더 구비해도 된다. 광 센서가 관통 구멍을 통하여 반사율을 측정함으로써, 선단부의 연장 상에 스페이서 부재가 배치되어 있는지 여부를 검지할 수 있다.
실시 형태에 의하면, 반도체 웨이퍼 지지 장치의 제조 방법은 천공 스텝과 스페이서 배치 스텝과 지그 장착 스텝과 지그 위치 보정 스텝과 스페이서 위치 보정 스텝과 코킹 스텝을 구비하고 있다. 천공 스텝에서는 금속제의 플레이트 부재의 평탄한 상면에 복수의 구멍을 형성한다. 스페이서 배치 스텝에서는 구멍에 스페이서 부재를 각각 삽입한다. 지그 장착 스텝에서는 코킹 지그를 NC 공작 기계에 설치한다. 코킹 지그는, 날부와, 날부로부터 돌출되는 방향으로 가압된 돌출 부재를 구비하고 있다. 지그 위치 보정 스텝에서는 돌출 부재를 날부보다도 몰입시킨 상태에서 날부의 높이를 교정한다. 이 교정 결과에 의하여 NC 공작 기계에 소정의 코킹 위치를 설정한다. 스페이서 위치 보정 스텝에서는 돌출 부재를 날끝으로부터 돌출시킨 상태에서 코킹 지그를 하강시킨다. 그리고 스페이서 부재를 돌출 부재로 압박하여 구멍의 바닥에 맞닿게 한다. 코킹 스텝에서는 돌출 부재의 가압력에 저항하여 날부를 코킹 위치까지 더 하강시킨다. 그리고 날부에 의하여 구멍의 에지부를 소성 변형시켜 스페이서 부재를 고정한다.
스페이서 위치 보정 스텝에 있어서, 구멍에 스페이서 부재가 수용되어 있는지 여부를 검지하여, 스페이서 부재가 수용되어 있지 않은 경우, 코킹 스텝으로 나아가지 않고 코킹 지그의 하강을 중단해도 된다.
도 1은, 각 실시 형태에 따른 기판 지지 장치를 도시하는 사시도이다.
도 2는, 도 1에 도시된 스페이서 배치부의 상세를 도시하는 단면도이다.
도 3은, 코킹 지그가 NC 공작 기계에 장착된 상태를 도시하는 사시도이다.
도 4는, 제1 실시 형태의 코킹 지그를 도시하는 단면도이다.
도 5는, 도 3에 도시된 돌출 부재가 몰입 위치에 보유 지지된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 6은, 제1 실시 형태의 코킹 지그를 사용하는 기판 지지 장치의 제조 방법에 포함되는 천공 스텝을 도시하는 단면도이다.
도 7은, 도 6에서 이어지는 스페이서 배치 스텝을 도시하는 단면도이다.
도 8은, 도 7에서 이어지는 지그 위치 보정 스텝을 도시하는 단면도이다.
도 9는, 도 8에서 이어지는 스페이서 위치 보정 스텝의 일부를 도시하는 단면도이다.
도 10은, 도 9에서 이어지는 스페이서 위치 보정 스텝의 일부를 도시하는 단면도이다.
도 11은, 도 10에서 이어지는 코킹 스텝을 도시하는 단면도이다.
도 12는, 본 발명의 제조 방법에 의하여 얻어진 기판 지지 장치의 스페이서 부재의 계산 볼 직경을 나타내는 도면이다.
도 13은, 스페이서 부재의 위치를 보정하지 않고 구멍의 에지부를 소성 변형시킨 기판 지지 장치의 계산 볼 직경을 나타내는 그래프도이다.
도 14는, 도 6에 도시된 구멍의 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 15는, 도 14에 도시된 구멍에 적용된 본 발명의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 16은, 제2 실시 형태의 코킹 지그를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 17은, 제3 실시 형태의 코킹 지그를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 18은, 제4 실시 형태의 코킹 지그를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명에 의하여 제조되는 기판 지지 장치에 대하여 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 의하여 제조되는 기판 지지 장치(1)는, 예를 들어 알루미늄 합금 등의 금속으로 이루어지는 원반형 플레이트 부재(2)를 구비하고 있다. 플레이트 부재(2)는 히터 유닛을 내장하고 있으며, 상면(2A)에 적재된 반도체 웨이퍼 등의 기판을 소정의 온도로 가열할 수 있다.
상면(2A)은 기계 가공 등에 의하여 평탄하게 마무리되어 있으며, 복수의 스페이서 배치부(3)와 복수의 관통 구멍(4)이 형성되어 있다. 관통 구멍(4)에는, 상면(2A)에 적재된 기판을 밀어올리기 위한 이젝트 핀이 하방으로부터 삽입된다.
도 2는, 스페이서 배치부(3)의 상세를 도시하는 단면도이다. 도 2에 도시한 바와 같이 스페이서 배치부(3)는, 상면(2A)에 형성된, 바닥이 있는 구멍(5)과, 이 구멍(5)에 수용된 스페이서 부재(6)와, 스페이서 부재(6)가 구멍(5)으로부터 빠지지 않도록 보유 지지하는 코킹부(7)를 갖고 있다.
스페이서 부재(6)의 일례는 사파이어로 된 구체이다. 또한 스페이서 부재의 재질은 사파이어에 한정되지 않으며, 루비 등의 다른 강옥, 탄화규소, 질화알루미늄 등, 기타 세라믹으로 이루어지는 구체를 사용해도 된다. 원기둥형, 포탄형, 원추형 등, 직경을 갖는 다른 형상이어도 된다. 스페이서 부재(6)의 직경 D1은, 예를 들어 2.000㎜이다. 스페이서 부재(6)가 구형이면, 치수 정밀도가 우수한 부재를 용이하게 조달할 수 있다.
구멍의 바닥(5A)은 반구형의 오목부를 이루고 있다. 구멍(5)의 에지부(5B)는 상방에서 보아 원형이다. 구멍(5)의 내경 D2는 스페이서 부재(6)의 직경 D1보다도 약간 크다. 구멍(5)의 내경 D2는, 플레이트 부재(2)가 냉각되어 열수축하더라도 스페이서 부재(6)의 직경 D1을 하회하지 않는 치수이다. 구멍의 깊이 H1은 스페이서 부재(6)의 직경 D1보다도 약간 작다. 구멍의 깊이 H1은, 예를 들어 1.87 내지 1.88㎜이다.
스페이서 부재(6)의 상단부(6A)는 기판의 이면에 맞닿아 기판과 플레이트 부재(2) 사이에 약간의 틈을 형성한다. 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)는 플레이트 부재(2)의 상면(2A)으로부터 높이 H2만큼 돌출되어 있다. 스페이서 부재(6)의 하단부(6B)를 구멍(5)의 바닥(5A)에 맞닿게 하면, 스페이서 부재(6)의 높이 H2를 정확히 규제할 수 있다.
코킹부(7)는, 후술하는 코킹 지그(10)에 의하여, 에지부(5B)의 개구 폭 D3이 스페이서 부재(6)의 직경 D1보다도 작아지도록 에지부(5B)를 소성 변형시켜 형성되어 있다. 개구 폭 D3은, 플레이트 부재(2)가 가열되어 열팽창하더라도 스페이서 부재(6)의 직경 D1을 초과하지 않는 치수로 형성되어 있다.
도 2에 도시하는 예에서는, 스페이서 배치부(3)는, 평탄한 스폿 페이싱부(8)와, 단면 V형의 홈(9)을 더 갖고 있다. 스폿 페이싱부(8)는 구멍(5)을 둘러싸도록 형성되어 있다. 홈(9)은 코킹부(7)의 외주를 따라 형성되어 있다. 또한 스폿 페이싱부(8) 및 홈(9)은 필수적인 요소는 아니다. 이하의 설명에 있어서, 코킹 지그(10)의 날끝(12A)이 플레이트 부재(2)의 상면(2A)에 접촉한다는 것은, 코킹 지그(10)의 날끝(12A)이 스폿 페이싱부(8)에 접촉하는 경우를 포함한다.
[제1 실시 형태]
본 발명의 제1 실시 형태 코킹 지그(10)에 대하여 도 3 내지 도 6을 참조하여 설명한다.
도 3은, 코킹 지그(10)가 NC 공작 기계(100)에 장착된 상태를 도시하는 사시도이다. 본 실시 형태에 있어서, 도 3에 도시한 바와 같이 제1 방향(좌우 방향) X, 제2 방향(전후 방향) Y, 제3 방향(상하 방향) Z를 정의한다. NC 공작 기계(100)는, 제3 방향 Z로 이동 가능한 주축 헤드(101)와, 제1 및 제2 방향 X, Y로 이동 가능한 테이블(102)을 구비하고 있다.
주축 헤드(101)는 회전 가능한 주축(103)을 구비하고 있다. 주축(103)에는, 제3 방향 Z와 코킹 지그(10)의 길이 방향이 일치하도록 코킹 지그(10)가 고정되어 있다. 코킹 지그(10)에 있어서, NC 공작 기계(100)에 고정되는 측의 일단을 기단(10A), 기단(10A)과는 반대측의 타단을 선단(10B)이라 하고, 기단(10A)에 가까운 측을 기단측, 선단(10B)에 가까운 측을 선단측이라 한다.
도 4 및 도 5는 코킹 지그(10)의 단면도이며, 도 4는, 돌출 부재(13)가 돌출 위치 P1에 보유 지지된 상태, 도 5는, 돌출 부재(13)가 몰입 위치 P2에 보유 지지된 상태를 도시하고 있다. 도 4에 도시한 바와 같이 코킹 지그(10)는, 본체(11)와, 날부(12)와, 돌출 부재(13)와, 가압 부재(14)와, 필요에 따라 사용되는 걸림 지지 수단(15)을 구비하고 있다.
본체(11)는, 코킹 지그(10)의 기단(10A)으로부터 날부(12)까지 연장된 원통형으로 형성되어 있다. 도 4에 도시하는 예에서는, 본체(11)는, 코킹 지그(10)의 기단(10A)을 포함하는 덮개부(21)와, 덮개부(21)에 접속된 직경 확대부(22)와, 덮개부(21)와는 반대측으로부터 직경 확대부(22)에 접속된 직경 축소부(23)를 갖고 있다.
덮개부(21)는 원기둥형으로 형성되며, 선단 근처의 외주면에 수나사(21A)가 설치되어 있다. 덮개부(21)의 기단(10A)과는 반대측의 면에는, 기단(10A)을 향하여 오목한 베어링 구멍(21B)이 형성되어 있다.
직경 확대부(22)는, 덮개부(21)와 동일한 직경의 원통형으로 형성되며, 기단 근처의 내주면에 암나사(22A)가 설치되어 있다. 암나사(22A)는 덮개부(21)의 수나사(21A)와 체결되어 있다. 본체(11)의 덮개부(21)와 직경 확대부(22)에 의하여 내부 공간(24)이 구획되어 있다. 내부 공간(24)은, 기단측이 덮개부(21)에 폐색되고 선단측이 끝이 가늘게 형성됨과 함께, 직경 축소부(23)를 통하여 외부와 연통되어 있다. 내부 공간(24)의 선단 근처에는 경사면(24A)이 형성되어 있다.
직경 축소부(23)는, 직경 확대부(22)보다도 소직경의 원통형으로 형성되며, 직경 확대부(22)와 날부(12)를 접속하고 있다.
날부(12)는 코킹 지그(10)의 선단부를 이루며, 본체(11)의 직경 축소부(23)와 동일한 직경의 원환형으로 형성되어 있다. 날부(12)는, 선단측으로 V형으로 뾰족한 날끝(12A)을 갖고 있다. 돌출 부재(13)가 몰입 위치 P2(도 5에 도시함)에 위치할 때, 날끝(12A)은 코킹 지그(10)의 선단(10B)과 일치한다.
덮개부(21)를 제외한 본체(11)와 날부(12)는, 일체 구조물로서 형성되어 있다. 본체(11) 및 날부(12)의 재질은, 예를 들어 절삭 공구와 마찬가지의 금속이나 세라믹 등이다.
돌출 부재(13)는 봉형으로 형성되며, 본체(11)에 안으로부터 끼워져 있다. 돌출 부재(13)는, 도 4에 나타내는 돌출 위치 P1과, 도 5에 나타내는 몰입 위치 P2로 슬라이드 가능하게 구성되어 있다. 돌출 부재(13)는 선단부(31)와 축부(32)와 기단부(33)와 숄더부(34)와 안내축(35)을 갖고 있다.
선단부(31)는, 가압 부재(14)가 돌출 위치 P1에 위치할 때 본체(11)의 날끝(12A)으로부터 돌출되고, 가압 부재(14)가 몰입 위치 P2에 위치할 때 날끝(12A)보다도 몰입된다. 선단부(31)의 선단면은, 코킹 지그(10)의 기단(10A)을 향하여 중앙이 오목하게 형성되어 있다. 선단부(31)의 선단면은, 가압 부재(14)가 돌출 위치 P1에 위치할 때 코킹 지그(10)의 선단(10B)과 일치한다.
축부(32)는, 선단부(31)와 동일한 직경의 긴 봉형으로 형성되어 있다. 축부(32)는 본체(11)의 직경 축소부(23)에 삽입 관통되어 선단부(31)와 기단부(33)를 접속하고 있다.
기단부(33)는 축부(32)보다도 대직경으로 형성되어 있다. 기단부(33)에는 축부(32)와는 반대측으로부터 가압 부재(14)가 맞닿아 있다. 기단부(33)에는, 축부(32) 근처에 숄더부(34)가 형성되어 있다. 숄더부(34)는, 축부(32)와 매끄럽게 연속되는 원추형으로 형성되어 있다.
안내축(35)은 가압 부재(14)를 관통하여 기단부(33)로부터 본체(11)의 덮개부(21)까지 연장되어 있다. 안내축(35)의 타단은 기단부(33)에 고정되어 있다. 안내축(35)의 일단은 덮개부(21)의 베어링 구멍(21B)에 삽입되어 있다.
도 4에 도시하는 예에서는, 선단부(31), 축부(32), 기단부(33) 및 숄더부(34)의 재질은, 예를 들어 PEEK 수지이다. 치수 정밀도가 우수함과 함께 스페이서 부재(6)에 흠집을 내지 않는 재료라면, PEEK 수지에 한정되지 않고 다양한 재료를 적용할 수 있다. 선단부(31), 축부(32), 기단부(33) 및 숄더부(34)는 일체 구조물로서 형성되어 있다. 안내축(35)은, 예를 들어 금속이다. 또한 안내축(35)을 PEEK 수지 등으로 형성하고, 선단부(31), 축부(32), 기단부(33), 숄더부(34) 및 안내축(35) 모두를 일체 구조물로서 형성할 수도 있다.
가압 부재(14)는 코일 스프링이나 발포 플라스틱 등의 탄성 부재로부터 원통형으로 형성되어 본체(11)의 내부 공간(24)에 수용되어 있다. 가압 부재(14)의 기단측의 단부(14A)는 본체(11)의 덮개부(21)에 지지되어 있다. 선단측의 단부(14B)는 돌출 부재(13)의 기단부(33)에 맞닿아, 돌출 부재(13)를 코킹 지그(10)의 선단(10B)을 향하여 가압하고 있다.
본 발명의 코킹 지그(10)는, 돌출 부재(13)를 본체(11)에 걸림 지지 가능한 걸림 지지 수단(15)을 구비하고 있다. 도 5에 도시한 바와 같이, 걸림 지지 수단(15)은 걸림 지지 구멍(41)과 걸림 지지 핀(42)을 구비하고 있다.
걸림 지지 구멍(41)은 본체(11)의 직경 확대부(22)에 형성되어 있다. 걸림 지지 구멍(41)은, 본체(11)의 중심축과 직교하는 평면 상에 위치하고, 중심축과 교차하지 않는 현의 위치에 있어서 본체(11)를 관통하도록 형성되어 있다. 도 4에 도시하는 예에서는, 걸림 지지 구멍(41)은 경사면(24A)보다도 기단측에 형성되어 있다. 또한 걸림 지지 구멍(41)은 경사면(24A)의 일부를 포함하도록 형성해도 된다. 걸림 지지 핀(42)은, 걸림 지지 구멍(41)보다도 약간 작은 단면을 가진 봉형으로 형성되어 있다.
걸림 지지 핀(42)은, 걸림 지지 구멍(41)에 삽입 관통되었을 때 내부 공간(24)을 횡단하도록 배치되며, 돌출 부재(13)의 숄더부(34)에 선단측으로부터 맞닿는다. 걸림 지지 구멍(41) 및 걸림 지지 핀(42)에 의하여 돌출 부재(13)는, 선단측으로의 이동이 규제되어 본체(11)에 걸림 지지된다.
돌출 부재(13)가 걸림 지지 수단(15)에 의하여 본체(11)에 걸림 지지되었을 때, 돌출 부재(13)의 선단부(31)는, 가압 부재(14)의 가압력에 저항하여 본체(11)의 날끝(12A)보다도 몰입된 몰입 위치 P2에 보유 지지된다.
이상과 같이 구성된 코킹 지그(10)를 사용하여 기판 지지 장치(1)를 제조하는 본 발명의 제조 방법에 대하여 도 6 내지 도 11을 참조하여 설명한다.
기판 지지 장치(1)를 제조하기 위해서는 먼저, 도 6에 도시한 바와 같이, 플레이트 부재(2)의 상면(2A)에 깊이 H1 내경 D2의 구멍(5)과 스폿 페이싱부(8)를 형성한다(천공 스텝). 본 실시 형태에서는 100군데의 구멍(5)을 형성한다. 구멍(5)의 바닥(5A)과 스페이서 부재(6)의 틈을 작게 할 수 있기 때문에, 바람직하게는 바닥(5A)을 반구형으로 형성한다. 또한 바닥(5A)의 형상은 반구형에 한정되지 않으며, 평탄하게 형성해도 되고 원추형으로 형성해도 된다.
구멍(5)과 동수의 스페이서 부재(6)를 준비하고, 도 7에 도시한 바와 같이 구멍(5)에 스페이서 부재(6)를 각각 삽입한다(스페이서 배치 스텝). 이때, 삽입된 스페이서 부재(6)의 하단부(6B)가 구멍(5)의 바닥(5A)에 맞닿아 있지 않고 약간 들떠 있는 경우가 있다.
계속해서, NC 공작 기계(100)의 주축(103)에 코킹 지그(10)를 장착한다. NC 공작 기계(100)의 테이블(102)에 접촉 센서(104)를 적재한다. 도 8에 도시한 바와 같이, NC 공작 기계(100)를 조작하여 주축 헤드(101)를 하강시켜, NC 공작 기계(100)에 장착된 상태의 코킹 지그(10)의 날끝(12A)을 접촉 센서(104)의 상면과 접촉시킨다. 코킹 지그(10)의 날끝(12A)과 NC 공작 기계(100)의 주축 헤드(101)의 상대 위치를 접촉 센서(104)에 의하여 측정하여 NC 공작 기계(100)의 제3 방향 Z의 설정에 반영시킨다(지그 위치 보정 스텝).
이때, 코킹 지그(10)의 돌출 부재(13)는, 날끝(12A)보다도 몰입된 몰입 위치 P2에 보유 지지되어 있으며, 접촉 센서(104)와 간섭하지 않도록 퇴피해 있다. 교정이 종료되면, 걸림 지지 핀(42)을 발취하여 코킹 지그(10)의 돌출 부재(13)를 날끝(12A)으로부터 돌출시킨다.
도 3에 도시한 바와 같이, 도 7에 도시하는 스페이서 배치 스텝에서 준비한 플레이트 부재(2)를 NC 공작 기계(100)의 테이블(102)에 고정하고, 플레이트 부재(2)와 테이블(102)의 상대 위치를 교정한다. 테이블(102)을 제1 및 제2 방향 X, Y으로 이동시켜, 도 9에 도시한 바와 같이, 주축(103)에 고정된 코킹 지그(10)의 중심축과, 구멍(5) 및 스페이서 부재(6)의 중심축을 일치시킨다. 주축 헤드(101)를 하강시켜 코킹 지그(10)를 플레이트 부재(2)의 상면(2A)에 접근시킨다.
그러면, 먼저 돌출 부재(13)의 선단부(31)가 스페이서 부재(6)에 맞닿는다. 돌출 부재(13)는, 스페이서 부재(6)의 하단부(6B)가 구멍(5)의 바닥(5A)에 맞닿는 위치까지 스페이서 부재(6)를 밀어내린다(스페이서 위치 보정 스텝). 또한 주축 헤드(101)를 하강시키면, 도 10에 도시한 바와 같이, 돌출 부재(13)가 가압 부재(14)의 가압력에 저항하여 본체(11)에 몰입하여 날끝(12A)이 플레이트 부재(2)에 접근한다.
이윽고, V형의 날끝(12A)이 플레이트 부재(2)에 파고들어 구멍(5)의 에지부(5B)를 소성 변형시킨다. NC 공작 기계(100)의 주축 헤드(101)가 제3 방향 Z의 소정의 위치까지 하강하면, 날끝(12A)이 소정의 깊이의 홈(9)을 형성한다(코킹 스텝).
이 상태에 있어서, 구멍(5)에는, 스페이서 부재(6)의 빠짐 방지를 이루는 코킹부(7)가 형성되어 있다. 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)는 플레이트 부재(2)의 상면(2A)으로부터 높이 H2만큼 돌출되어 있다.
도 12는, 본 발명의 제조 방법에 의하여 제조된 기판 지지 장치(1)의 계산 볼 직경을 나타내는 그래프도이다. 도 13은, 돌출 부재(13)를 구비하지 않은 코킹 지그를 사용하여 제조된 비교예의 기판 지지 장치의 계산 볼 직경을 나타내는 그래프도이다.
도 13의 비교예 제조 방법에서는, 도 9 및 도 10에 도시하는 스페이서 위치 보정 스텝을 생략하고 있다. 또한 스페이서 부재(6)를 구멍(5)의 바닥(5A)에 맞닿게 하기 위하여, 도 7에 도시하는 스페이서 배치 스텝 후, 수동으로 스페이서 부재(6)를 압박하고 있다.
도 12 및 도 13의 횡축은, 플레이트 부재(2)의 외주로부터 중심을 향하여 소용돌이형으로 헤아린 제1 번째로부터 제100 번째까지의 스페이서 배치부(3)를 나타내고 있다. 종축은, 제1 번째로부터 제100 번째까지의 스페이서 배치부(3)에 대하여, 미리 측정해 둔 구멍(5)의 깊이 H1에 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)의 높이 H2를 더한 계산 볼 직경을 나타내고 있다. 스페이서 부재(6)의 하단부(6B)가 구멍(5)의 바닥(5A)에 맞닿아 있으면, 계산 볼 직경은 스페이서 부재(6)의 직경 2.000㎜와 동등해진다.
비교예의 제조 방법에서는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)의 높이 H2는 구멍(5)의 깊이 H1에 대하여 0.026㎜의 진폭에 수렴하고 있다. 한편, 본 발명의 제조 방법에서는, 도 12에 나타낸 바와 같이, 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)의 높이 H2는 구멍(5)의 깊이 H1에 대하여 0.008㎜의 진폭에 수렴하고 있다.
본 발명에 의하면, 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)의 높이 H2의 진폭을 비교예의 1/3 이하로 억제하고 있다. 즉, 구멍(5)의 깊이 H1에 보다 충실한 형상으로 플레이트 부재(2)의 상면(2A)으로부터 돌출되어 있다.
이상과 같이 구성된 코킹 지그(10), 및 이 코킹 지그(10)를 사용하는 제조 방법에 의하면, 코킹 지그(10)가 돌출 부재(13)를 구비하고 있기 때문에, 돌출 부재(13)에 의하여 스페이서 부재(6)를 구멍(5)의 바닥(5A)에 맞닿은 위치로 보정하면서 구멍(5)의 에지부(5B)를 소성 변형시킬 수 있다. 그 때문에, 도 12에 나타낸 바와 같이, 구멍(5)의 깊이 H1에 충실한 형상으로 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)를 돌출시킬 수 있다.
그런데 비교예의 제조 방법과 같이, 코킹 지그(10)의 돌출 부재(13)를 사용하지 않고 작업자의 손으로 스페이서 부재(6)를 압박하여 스페이서 부재(6)의 하단부(6B)를 구멍(5)의 바닥(5A)에 맞닿게 하는 것도 가능하다. 그러나 스페이서 부재(6)가 작고 가벼우면 작업자가 손으로 만졌을 때, 코킹부(7)가 형성되어 있지 않은 구멍(5)으로부터 스페이서 부재(6)가 빠져나가 분실될 우려가 있다. 또한 본 실시 형태에서 사용한 사파이어 볼과 같이 스페이서 부재(6)가 투명하면, 스페이서 부재(6)의 유무를 눈으로 보아 확인할 수 없다.
만일, 구멍(5)에 스페이서 부재(6)가 수용되어 있지 않은 상태에서 코킹부(7)를 형성하면, 기판 지지 장치(1)가 결함품으로 되어 버린다. 도 11의 코킹부(7)를 형성하는 구멍(5)의 에지부(5B)의 소성 변형은 불가역 변화이기 때문에, 코킹에 실패한 기판 지지 장치(1)는 결함 부위만을 교환하여 재이용할 수 없다. 기판 지지 장치(1) 1대를 통째로 사용할 수 없게 되어 버린다.
본 실시 형태에 의하면, 작업자의 손을 거치지 않고 확실히 스페이서 부재(6)의 하단부(6B)를 구멍(5)의 바닥(5A)에 맞닿게 할 수 있다. 그 때문에, 기판 지지 장치(1)의 결함품의 발생을 억제할 수 있다. 게다가 작업자의 손에 의한 실수를 다른 작업자가 체크하는 공정 수를 삭감할 수도 있다. 그 결과, 비용을 삭감할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 코킹 지그(10)가 걸림 지지 수단(15)을 구비하고 있다. 걸림 지지 수단(15)에 의하여 돌출 부재(13)를 몰입 위치 P2에 보유 지지한 채 NC 공작 기계(100)에 장착할 수 있기 때문에, 돌출 부재(13)를 몰입 위치 P2로 퇴피시킨 상태에서 날부(12)의 날끝(12A)의 높이를 교정하여 NC 공작 기계(100)를 적용할 수 있다. NC 공작 기계(100)를 적용하여 구멍(5)의 에지부(5B)를 소성 변형시킬 수 있기 때문에, 치수 정밀도가 우수한 코킹부(7)를 형성할 수 있다.
돌출 부재(13) 및 걸림 지지 수단(15)을 겸비한 본 실시 형태에 의하면, 돌출 부재(13)에 의하여 스페이서 부재(6)의 높이 위치를 보정한 상태에서 NC 공작 기계(100)를 적용하여 구멍(5)의 에지부(5B)를 소성 변형시킬 수 있기 때문에, 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)의 높이 H2를 균일하게 할 수 있다.
또한 본 실시 형태에서는, 걸림 지지 수단(15)이 걸림 지지 구멍(41) 및 걸림 지지 핀(42)을 조합한 간이한 구성이기 때문에 코킹 지그(10)의 비용 상승을 억제할 수 있다. 걸림 지지 핀(42)을 삽입 발출할 때 덮개부(21)의 수나사(21A)를 풀 필요 등이 없기 때문에, 코킹 지그(10)의 기단(10A)으로부터 날끝(12A)까지의 치수가 변화되지 않는다. 걸림 지지 구멍(41)이 본체(11)에 형성되어 있고 걸림 지지 핀(42)이 기단(10A)이나 날끝(12A)으로부터 돌출되지 않기 때문에, 제3 방향 Z에 있어서의 코킹 지그(10)의 치수를 교정하는 데 방해가 되지 않는다.
본 실시 형태에서는, 돌출 부재(13)가 스페이서 부재(6)보다도 부드러운 재료로 형성되어 있다. 도 10에 도시한 바와 같이 돌출 부재(13)의 선단부(31)로 스페이서 부재(6)를 압박하더라도 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)에 흠집을 내는 일이 없다.
본 실시 형태에서는, 선단부(31)가 기단측을 향하여 오목하게 형성되어 있다. 돌출 부재(13)로 스페이서 부재(6)를 압박하더라도 돌출 부재(13)의 선단부(31)가 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)와 직접 접촉하지 않기 때문에 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)에 흠집을 내는 일이 없다.
도 14 및 도 15는 상술한 제조 방법의 변형예이며, 도 14는 천공 스텝, 도 15는 코킹 스텝을 도시하고 있다.
변형예에서는, 도 14에 도시하는 천공 스텝에 있어서, 스폿 페이싱부(8) 대신 패임부(8A)를 형성한다. 패임부(8A)는, 구멍(5)의 에지부(5B)의 주위에 있어서, 도 15에 도시하는 코킹 스텝에서 날끝(12A)이 하강하는 위치보다도 깊은 곳까지 형성된다.
변형예에서도, 본 실시 형태의 코킹 지그(10)를 사용하여 기판 지지 장치(1)를 제조할 수 있다. 또한 변형예에서는, 날끝(12A)보다도 깊은 패임부(8A)에 의하여, 홈(9)을 형성할 필요가 없어지기 때문에, 본 실시 형태보다도 용이하게 에지부(5B)를 소성 변형시킬 수 있다. 그 때문에, 플레이트 부재(2)가 단단한 금속이더라도 NC 공작 기계(100)나 코킹 지그(10)의 날끝(12A)에 과대한 부하를 가하지 않고 코킹부(7)를 형성할 수 있다.
다음으로, 제2 내지 제4 실시 형태의 코킹 지그 및 그 코킹 지그를 사용하는 제조 방법에 대하여 설명한다. 또한 제1 실시 형태의 코킹 지그의 구성과 동일 또는 유사한 기능을 갖는 구성은 동일한 부호를 붙여, 대응하는 제1 실시 형태의 기재를 참작하기로 하고 여기서의 설명을 생략한다. 또한 하기에 설명하는 것 이외의 구성은 제1 실시 형태와 동일하다.
[제2 실시 형태]
제2 실시 형태에 대하여 도 16을 참조하여 설명한다. 제2 실시 형태는, 코킹 지그(10)가 돌출 부재(13)에 접속된 하중 센서(51)를 구비하는 점이 제1 실시 형태와 상이하다.
제2 실시 형태에서는, 가압 부재(14)의 가압력에 저항하여 돌출 부재(13)에 미친 하중을 하중 센서(51)에 의하여 측정할 수 있다.
돌출 부재(13)의 선단부(31)는 날부(12)의 날끝(12A)보다도 돌출되기 때문에, 도 10에 도시한 바와 같이 구멍(5)에 스페이서 부재(6)가 수용되어 있는 경우, 날끝(12A)이 플레이트 부재(2)의 상면에 맞닿는 것보다도 먼저 돌출 부재(13)가 스페이서 부재(6)에 맞닿아 하중 센서(51)에서 하중이 측정된다.
한편, 도 16에 도시한 바와 같이 구멍(5)에 스페이서 부재(6)가 수용되어 있지 않은 경우, 하중 센서(51)에서 하중이 측정되지 않는다. 하중 센서(51)에서 하중이 측정되는지 여부에 의하여 구멍(5)에 수용된 스페이서 부재(6)의 유무를 검지할 수 있다. 도 10에 도시하는 스페이서 위치 보정 스텝에 있어서, NC 공작 기계(100)의 주축 헤드(101)가 제3 방향 Z의 소정 위치까지 강하했을 때, 구멍(5)에 수용된 스페이서 부재(6)의 유무를 하중 센서(51)에 의하여 검지하여, 도 11에 도시하는 코킹 스텝으로 나아가지 않고 코킹 지그(10)의 하강을 중단해도 된다. 소정의 위치의 일례는, 도 10에 도시한 바와 같이 스페이서 부재(6)의 상단부(6A)에 돌출 부재(13)의 선단부(31)가 이미 맞닿은 위치이며, 날끝(12A)이 플레이트 부재(2)의 상면과 아직 맞닿아 있지 않은 위치이다. 코킹부(7)의 형성은 불가역 변화이기 때문에 실패하면 재생할 수 없어 손실이 커지지만, 제2 실시 형태에 의하면, 하중 센서(51)에 의하여, 코킹부(7)의 형성에 실패한 데 기인하는 손실을 미연에 방지할 수 있다.
[제3 실시 형태]
제3 실시 형태에 대하여 도 17을 참조하여 설명한다. 제3 실시 형태는, 코킹 지그(10)가 진공원(52) 및 진공도 센서(53)를 구비하는 점이 제1 실시 형태와 상이하다.
제3 실시 형태에서는, 돌출 부재(13)가, 선단부(31)로부터 안내축(35)까지 관통하는 관통 구멍(54)을 갖는다. 안내축(35)은 본체(11)의 덮개부(21)를 관통하여, 본체(11)의 외부에 배치된 진공원(52)과 접속된다. 진공원(52)과 돌출 부재(13)를 접속하는 경로에는 진공도 센서(53)가 접속된다. 진공도 센서(53)는 관통 구멍(54)의 내부의 진공도를 측정한다.
제3 실시 형태에 의하면, 돌출 부재(13)가 진공원(52)과 접속되기 때문에 돌출 부재(13)의 선단부(31)에 스페이서 부재(6)를 흡착할 수 있다. 스페이서 부재(6)를 흡착한 상태에서 NC 공작 기계(100)의 주축 헤드(101) 및 테이블(102)을 움직이면, 스페이서 부재(6)를 플레이트 부재(2)의 임의의 스페이서 배치부(3)로 반송할 수 있다. 스페이서 배치부(3)의 위치를 NC 공작 기계(100)에 입력함으로써, 스페이서 배치부(3)의 구멍(5)까지 스페이서 부재(6)를 자동 반송할 수 있다.
또한 흡착한 스페이서 부재(6)를 구멍(5)에 수용하기 위하여 NC 공작 기계(100)의 주축 헤드(101)를 하강시키는 동작과 연속하여 그대로 도 11의 상태까지 주축 헤드(101)를 하강시키면, 스페이서 부재(6)의 반송과 동시에 코킹부(7)를 형성할 수 있다. 즉, 도 7에 도시하는 스페이서 배치 스텝을 생략할 수 있다.
만일 돌출 부재(13)에 흡착된 스페이서 부재(6)가 반송 중에 낙하한 경우, 돌출 부재(13)와 진공원(52)의 경로에 접속된 진공도 센서(53)에 의하여 이를 검지할 수 있다. 이때, 제2 실시 형태와 마찬가지로, 코킹부(7)를 형성하지 않고 장치를 정지하여, 코킹부(7)의 형성에 실패한 데 기인하는 손실을 미연에 방지할 수 있다.
[제4 실시 형태]
제4 실시 형태에 대하여 도 18을 참조하여 설명한다. 제4 실시 형태는, 코킹 지그(10)가 광 센서(55)를 구비하는 점이 제1 실시 형태와 상이하다.
제4 실시 형태에서는, 제3 실시 형태와 마찬가지로, 돌출 부재(13)의 선단부(31)로부터 안내축(35)까지 관통하는 관통 구멍(54)이 돌출 부재(13)에 형성된다. 광 센서(55)는, 관통 구멍(54)을 통하여 돌출 부재(13)의 선단부(31)의 연장 상의 광의 반사율을 측정한다.
제4 실시 형태에 의하면, 광 센서(55)에 의하여 선단부(31)의 연장 상의 스페이서 부재(6)의 유무를 검지할 수 있다. 그 때문에, 제2 및 제3 실시 형태와 마찬가지로, 코킹부(7)의 형성에 실패한 데 기인하는 손실을 미연에 방지할 수 있다.
본 발명의 몇 가지 실시 형태를 설명했지만, 이들 실시 형태는 예로서 제시한 것이며 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 이들 신규의 실시 형태는 그 외의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형예는 발명의 범위나 요지에 포함됨과 함께, 특허 청구범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함된다.
예를 들어 날부를 연속되는 환형으로 구성했지만, 등간격을 벌린 복수(예를 들어 3개)의 날끝을 환형으로 배열하여 구성해도 된다. 그 경우, 날끝의 형상에 맞추어 에지부를 불연속된 환형으로 형성하면 된다. 돌출 부재의 숄더부를 축부와 매끄럽게 연속되는 원추형으로 형성했지만, 축부로부터 직경 방향으로 돌출된 플랜지나 돌기여도 된다.
1: 기판 지지 장치
2: 플레이트 부재
2A: 플레이트 부재의 상면
5: 구멍
5A: 구멍의 바닥
5B: 구멍의 에지부
6: 스페이서 부재
6A: 스페이서 부재의 상단부
10: 코킹 지그
10A: 코킹 지그의 기단
10B: 코킹 지그의 선단
11: 본체
12: 날부
12A: 날부의 날끝
13: 돌출 부재
14: 가압 부재
15: 걸림 지지 수단
31: 돌출 부재의 선단부
34: 돌출 부재의 숄더부
41: 걸림 지지 구멍
42: 걸림 지지 핀
51: 하중 센서
52: 진공원
53: 진공도 센서
54: 관통 구멍
55: 광 센서
100: NC 공작 기계
H2: 스페이서 부재의 상단부의 높이

Claims (9)

  1. 금속제의 플레이트 부재의 평탄한 상면에 형성된 구멍의 에지부를 소성 변형시켜, 상기 구멍에 수용된 스페이서 부재를, 해당 스페이서 부재의 상단부가 상기 상면으로부터 소정의 높이만큼 돌출된 위치에 고정하기 위한 코킹 지그이며,
    원통형 본체와,
    상기 본체의 선단에 설치되고 날끝이 V형으로 뾰족한 날부와,
    상기 본체에 안으로부터 끼워진 돌출 부재와,
    상기 돌출 부재를 상기 날부로부터 돌출시키는 방향으로 가압하는 가압 부재와,
    상기 돌출 부재를 상기 본체에 걸림 지지하는 걸림 지지 수단
    을 구비하고,
    상기 돌출 부재는,
    상기 걸림 지지 수단에 걸림 지지되지 않는 상태에 있어서, 상기 가압 부재의 가압력에 의하여 선단부를 상기 날끝으로부터 돌출시킨 돌출 위치에 보유 지지되고,
    상기 걸림 지지 수단에 걸림 지지된 상태에 있어서, 상기 가압 부재의 가압력에 저항하여 상기 선단부를 상기 날끝보다도 몰입시킨 몰입 위치에 보유 지지되는
    것을 특징으로 하는 코킹 지그.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 돌출 부재는, 상기 선단부보다도 대직경으로 형성된 숄더부를 더 갖고,
    상기 걸림 지지 수단은,
    상기 본체에 형성되어, 상기 본체의 중심축과 직교하는 평면 상에 위치하고, 해당 중심축과 교차하지 않는 현의 위치에 있어서 상기 본체를 관통하는 걸림 지지 구멍과,
    상기 걸림 지지 구멍에 삽입되어, 상기 가압 부재가 상기 돌출 부재를 가압하는 방향과는 반대측으로부터 상기 돌출 부재의 상기 숄더부에 맞닿는 걸림 지지 핀을 갖고 있는
    것을 특징으로 하는 코킹 지그.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 돌출 부재의 상기 선단부는 기단을 향하여 오목하게 형성되어 있는
    것을 특징으로 하는 코킹 지그.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가압 부재의 가압력에 저항하여 상기 돌출 부재에 미친 하중을 측정하는 하중 센서를 더 구비하고,
    상기 하중 센서에 의하여 상기 돌출 부재가 상기 스페이서 부재와 맞닿아 있는지 여부를 검지하는
    것을 특징으로 하는 코킹 지그.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 돌출 부재와 접속된 진공원을 더 구비하고,
    상기 돌출 부재는, 선단으로부터 기단까지 관통하는 관통 구멍을 갖고,
    상기 진공원이 상기 관통 구멍을 통하여 상기 선단부에 상기 스페이서 부재를 흡착하는
    것을 특징으로 하는 코킹 지그.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 관통 구멍의 진공도를 측정하는 진공도 센서를 더 구비하고,
    상기 진공도 센서에 의하여, 상기 선단부에 상기 스페이서 부재가 흡착되어 있는지 여부를 검지하는
    것을 특징으로 하는 코킹 지그.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 돌출 부재에 접속된 광 센서를 더 구비하고,
    상기 돌출 부재는, 선단으로부터 기단까지 관통하는 관통 구멍을 갖고,
    상기 광 센서가 상기 관통 구멍을 통하여 반사율을 측정함으로써, 상기 선단부의 연장 상에 상기 스페이서 부재가 배치되어 있는지 여부를 검지하는
    것을 특징하는 코킹 지그.
  8. 금속제의 플레이트 부재의 평탄한 상면에 복수의 구멍을 형성하는 천공 스텝과,
    상기 구멍에 스페이서 부재를 각각 삽입하는 스페이서 배치 스텝과,
    날부와 해당 날부로부터 돌출되는 방향으로 가압된 돌출 부재를 구비한 코킹 지그를 NC 공작 기계에 설치하는 지그 장착 스텝과,
    상기 돌출 부재를 상기 날부보다도 몰입시킨 상태에서 보유 지지하고, 상기 날부의 높이를 교정하여 상기 NC 공작 기계에 소정의 코킹 위치를 설정하는 지그 위치 보정 스텝과,
    상기 돌출 부재를 상기 날부로부터 돌출시킨 상태에서 상기 코킹 지그를 하강시켜, 상기 스페이서 부재를 상기 돌출 부재로 압박하여 상기 구멍의 바닥에 맞닿게 하는 스페이서 위치 보정 스텝과,
    상기 돌출 부재의 가압력에 저항하여 상기 날부를 상기 코킹 위치까지 더 하강시키고, 해당 날부에 의하여 상기 구멍의 에지부를 소성 변형시켜 상기 스페이서 부재를 고정하는 코킹 스텝
    을 구비한, 기판 지지 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 스페이서 위치 보정 스텝에 있어서, 상기 구멍에 상기 스페이서 부재가 수용되어 있는지 여부를 검지하여, 상기 스페이서 부재가 수용되어 있지 않은 경우, 상기 코킹 스텝으로 나아가지 않고 상기 코킹 지그의 하강을 중단하는 것을 특징으로 하는, 기판 지지 장치의 제조 방법.
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