JP4984259B2 - サンプル保持機構 - Google Patents
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Description
120――枠体内周縁部
130,330,430,530,630――ブッシングユニット
132,232,332,432,532,632――ピストン
134,334,434――シリンダー
136――バネ体
138,238,338――V字溝
140――板状枠体で囲まれた領域
180,480,580,680――シリコンウェーハ
190,195――形状対称軸線
333――突起
336,436――コイルバネ
350――二又フォーク
700――サンプル保持機構
750,850――加熱サセプタ−
755――基台
760,860――赤外線顕微鏡ヘッド
765,865――モニター
770――プレス板
780――上側ウェーハ
785――下側ウェーハ
790――支持体
795,895――微動機構
800――サンプルホルダー
805――受け縁部
810――静電チャック
815――静電チャック用電源
880――上側サンプルウェーハ
882――モニター領域
885――下側サンプルウェーハ
Claims (7)
- 板状枠体とプッシングユニットとで構成され、板状枠体で囲まれた領域にプッシングユニットによって基板サンプルを保持するためのサンプル保持機構であって、
前記プッシングユニットは、一端が閉じられたシリンダーと、シリンダー内に収容されたバネ体と、シリンダー内で摺動・回転可能であってシリンダーの開放端から突き出るピストン先端にV字溝又は十字型V字溝を持つピストンとで構成され、ピストンによるバネ体の圧縮が始まる時点においては、シリンダーの開放端からピストンの一部が所定長さだけ突き出ている構造であって、
前記ピストンが摺動する軸方向線と前記板状枠体の表面(又は裏面)とが平行、かつ、前記板状枠体で囲まれた領域にピストンの所定長さを突き出した状態でプッシングユニットの一部又は全部を板状枠体に3個以上埋設・固定し、
前記プッシングユニットが有するバネ体の復元力によりピストンの先端で基板サンプルの外周縁部端面を押圧することによって基板サンプルを保持し、
また、基板サンプルの各外周縁部端面を押圧する力の総和(ベクトル和)と基板サンプルに作用する偶力の総和(ベクトル和)が、ともに零となるような位置に前記プッシングユニットを配置し、
さらに、前記板状枠体で囲まれた領域中に装着された前記基板サンプルの表面を含む仮想平面と基板サンプルの裏面を含む仮想平面とで規定される二つの仮想平面で挟まれた領域の中に板状枠体(プッシングユニットを含む)が収まっていることを特徴とするサンプル保持機構。 - ピストンの先端形状を先鋭な針状としたことを特徴とする請求項1に記載のサンプル保持機構。
- プッシングユニットに内装されているバネ体をコイルバネとしたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のサンプル保持機構。
- 基板サンプルを保持した状態において露出しているピストン側面の部分にフォーク状ジグの引掛け用突起又は溝を設け、
V字溝又は十字型V字溝を有するピストンについてはV字溝の谷線に対応させた位置に2個若しくは4個の突起を、又は2本若しくは4本の溝を設けたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のサンプル保持機構。 - 保持すべき基板サンプルが2本の直行する平面形状対称軸を有しており、基板サンプルの2本の直行する平面形状対称軸の延長線上の所定位置にプッシングユニットを配設して基板サンプルを保持することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のサンプル保持機構。
- 各ピストンの先端と基板サンプル外周縁部端面との接触点を1点であると仮定したとき、これらの仮定した点を順次結んで得られる多角形を想定し、
各ピストンによって保持されている基板サンプルの重心を上記想定多角形を含む平面内に投影したときに、基板サンプルの重心が想定多角形の内側に存在し、好ましくは、基板サンプルの上記投影重心と上記想定多角形の重心とが、大略、一致することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のサンプル保持機構。 - 金属材料若しくはセラミックス材料、又は前記の二つの材料を組み合わせて構成したことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のサンプル保持機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008121976A JP4984259B2 (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | サンプル保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008121976A JP4984259B2 (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | サンプル保持機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009272464A JP2009272464A (ja) | 2009-11-19 |
JP4984259B2 true JP4984259B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=41438761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008121976A Expired - Fee Related JP4984259B2 (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | サンプル保持機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4984259B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5581923B2 (ja) * | 2010-09-10 | 2014-09-03 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体ウエハを支持する支持具及び支持具を用いて半導体ウエハを支持する方法 |
CN102437283A (zh) * | 2011-12-19 | 2012-05-02 | 南京中电熊猫晶体科技有限公司 | 一种可提高加工精度的石英晶体加工托盘 |
JP6036610B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2016-11-30 | 株式会社Jvcケンウッド | 製造装置、及び製造方法 |
JP2016115881A (ja) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | 京セラ株式会社 | 発光素子搭載用基板および発光装置 |
CN107787522A (zh) * | 2015-04-24 | 2018-03-09 | 康宁股份有限公司 | 基板保持器 |
KR102412773B1 (ko) * | 2015-11-27 | 2022-06-24 | 주식회사 케이씨텍 | 화학 기계적 연마 시스템의 웨이퍼 로딩 장치 |
JP6820000B2 (ja) * | 2016-11-17 | 2021-01-27 | ヒューグル開発株式会社 | ウエハ拡張装置 |
KR102330274B1 (ko) * | 2017-05-31 | 2021-11-24 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 거치대 및 이를 구비한 기판 처리 장치 |
CN112466808B (zh) * | 2021-02-01 | 2021-05-25 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种夹持晶圆的部件及机构 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6454046U (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-04 | ||
JP2505998Y2 (ja) * | 1990-03-16 | 1996-08-07 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板搬送用治具 |
JPH0482852U (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-20 | ||
JPH0521582A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-29 | Fujitsu Ltd | ウエハーホルダ |
JP2639246B2 (ja) * | 1991-08-30 | 1997-08-06 | 凸版印刷株式会社 | 基板位置決め装置 |
JPH07106409A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-04-21 | Hitachi Ltd | 板状物の保持治具 |
JPH07142561A (ja) * | 1993-11-18 | 1995-06-02 | Sony Corp | ウエハの保持装置 |
JPH08125004A (ja) * | 1994-10-27 | 1996-05-17 | Sony Corp | ウエハホルダ及びこれを使用したウエハ目視検査装置 |
JP3307129B2 (ja) * | 1994-12-28 | 2002-07-24 | 日産自動車株式会社 | 陽極接合装置 |
JP2891894B2 (ja) * | 1995-03-30 | 1999-05-17 | 大陽東洋酸素株式会社 | 基板回転装置 |
JPH1022357A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-23 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
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JP2005203661A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄板材の測定方法および測定装置 |
JP4671724B2 (ja) * | 2005-03-16 | 2011-04-20 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウェーハの保持用グリッパー及び保持方法並びに形状測定装置 |
JP4578315B2 (ja) * | 2005-05-02 | 2010-11-10 | 信越半導体株式会社 | ウエーハ位置決め用治具及びウエーハ固定用スタンド並びにウエーハ分析方法 |
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JP4247296B1 (ja) * | 2008-02-22 | 2009-04-02 | 三菱重工業株式会社 | 積層接合装置および積層接合方法 |
-
2008
- 2008-05-08 JP JP2008121976A patent/JP4984259B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009272464A (ja) | 2009-11-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110420 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120412 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4984259 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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