KR100235217B1 - 선형 액츄에이터 - Google Patents

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KR100235217B1
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마사유키 호소노
히로시 미야치
요시테루 우에노
도시오 사토
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다까다 요시유끼
에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

선형 액츄에이터(20)는 슬라이드 테이블(24)의 바닥면상에서 돌출하도록 길이방향을 따라 형성된 가이드 섹션(84), 메인 실린더 몸체(22)의 상면에서 소정의 간격으로 서로 대향하여 이격된 한쌍의 가이드블럭(28a,28b), 슬라이드 테이블(24)의 한측으로 부터 또는 메인 실린더 몸체(22)의 한측으로 부터 임의의 부착방향으로 메인 실린더 몸체(22)를 다른 부재에 부착하기 위한 부착구멍(40a,40b), 그리고 슬라이드 테이블(24)의 변위량을 조절하기 위한 조절볼트(90)로 구성되어 있다.

Description

선형 액츄에이터{LINEAR ACTUATOR}
발명의 분야
본 발명은 가압된 유체를 유체 입/출구 포트를 통해 도입하므로서 메인 실린더 몸체의 축선방향을 따라 슬라이드 테이블을 왕복시키기 위한 선형 액츄에이터에 관한 것이다.
관련기술의 설명
선형 액츄에이터, 예를들면 유압작동 실린더는 공작물을 이송하기 위한 수단으로서 사용되었다. 선형 액츄에이터는 메인 실린더 몸체를 따라 선형으로 왕복되는 슬라이드 테이블로 구성되어 슬라이드 테이블상에 위치하는 공작물은 이송된다.
종래의 선형 액츄에이터는 예를들면 일본 실개평 5-42716호에 개시된 기술개념을 근거로 하고 있다. 도 39a 및 도 39b에 도시된 바와같이, 유압작동실린더(1)는 메인 실린더 몸체(2)와 길이방향을 따라서 메인 실린더 몸체(2)의 상면에 돌출하도록 형성된 가이드레일(3)로 구성되어 있다.
유압작동실린더(1)는 실린더챔버에 수용된 피스톤의 변위 작용에 따라서 가이드레일(3)을 따라 미끄럼 가능하게 변위되는 슬라이드 테이블(4)을 포함하고 있다. 예시하지 않은 복수의 베어링 볼의 구름을 위한 볼 순환구멍(도시생략)은 슬라이드 테이블(4)의 길이방향을 따라 슬라이드 테이블(4)에 형성되어 있다. 공작물을 부착하기 위한 나사구멍(5a 내지 5d)은 슬라이드 테이블(4)의 상면을 통해 형성되어 있다. 메인 실린더 몸체(2)를 다른 부재(도시생략)에 부착하고 체결하기 위한 한쌍의 부착구멍(6a,6b)이 메인 실린더 몸체(2)상에 대각선으로 위치한 코너에 형성되어 있다.
도 39a 및 39b에 도시된 유압작동실린더(1)의 경우에, 그가로방향으로 메인 실린더 몸체(2)의 폭(L)은 L
Figure pat00001
L1+(L2×2)(L1:가이드레일(3)의 폭, L2:부착구멍(6a, 6b)의 직경)로 나타낸다. 말하자면, 메인 실린더 몸체(2)의 폭(L)은 가이드레일(3)의 폭(L1)을 2개의 부착구멍(6a,6b)의 직경(L2)에 부가하므로서 얻어진 값을 대략 갖추고 있다. 이러한 장치에서, 슬라이드 테이블(4)의 강도가 감소되기 때문에 가이드레일(3)의 폭(L1)을 줄이는 것은 불가능하다. 결과적으로, 메인 실린더 몸체(2)의 폭(L)은 가이드레일(3)의 폭(L1)을 부착구멍(6a,6b)의 직경(L2)에 더하므로서 얻어진 값을 갖추고 있다.
상기한 바와같이, 이러한 종래의 기술에 관한 유압작동 실린더(1)의 경우에, 메인 실린더 몸체(2)의 폭(L)은 가이드레일(3)의 폭(L1)의 영향으로 인해 줄어들 수 없다. 결과적으로,유압작동실린더(1)는 불편한데, 여기에서 전체적인 실린더장치는 소형이고 경량으로 될 수 없다.
다른 종래 기술의 선형 액츄에이터는 예를들면 일본 실개평 6-43302호에 개시된 기술개념을 근거로 하고 있다. 도 40에 도시된 바와같이, 유압작동실린더(7)는 실린더몸체(8)와 테이블(10)로 구성되어 있다. 실린더몸체(8)는 여기에 형성된 실린더챔버를 포함하고 있다. 테이블(10)은 실린더몸체(8)의 상면에 체결된 선형가이드(9)의 안내작용에 따라서 실린더몸체(8)의 축선방향을 따라 이동가능하다. 제 1돌출부(11)는 실린더몸체(8)의 가로방향으로 위치한 한끝에서 상향으로 돌출하여 형성되어 있다. 제 2 및 제 3돌출부(12,13)는 테이블(10)의 가로방향으로 위치한 하나의 측면에서 측방향으로 돌출하여 형성되어 제 1돌출부(11)가 제 2 및 제 3돌출부(12,13)사이에 자리 잡는다.
이러한 장치에서, 제 2 및 제 3돌출부(12,13) 각각에 나사체결되는 볼트(14,15)는 제 1돌출부(11)에 대하여 접합한다. 그러므로, 테이블(10)의 운동의 끝위치는 조절된다. 테이블(10)이 운동량은 볼트(14,15)의 나사체결량을 조절하므로서 조절된다.
하지만, 도 40에 도시된 종래의 유압작동실린더(7)의 경우에 테이블(10)의 운동량을 조절하는 기능을 하는 제1 내지 제 3돌출부(11,12,13)는 유압작동실린더(7)의 가로방향을 따라 바깥쪽으로 돌출하여 형성되어 있다. 따라서, 유압작동실린더(7)는 불편한데, 여기에서 테이블(10)을 포함하는 유압작동실린더(7)의 가로방향으로 폭(L)을 줄일 수 없고, 전체적인 실린더장치는 상기한 종래의 기술에 관한 유압작동실린더(1)와 동일한 방식으로 소형이고 경량으로 될 수 없다.
더욱이, 도 39a,39b 및 도 40에 도시된 종래기술에 관한 유압작동실린더(1,7)의 경우에, 선형가이드(9)의 폭(L 3 )과 가이드레일(3)의 폭(L1)은 메인 실린더 몸체(실린더몸체)(2,8)의 폭(L)과 비교하여 비교적 작게 형성된다. 이러한 이유로, 슬라이드 테이블(4,10)의 선형정밀성이 슬라이드 테이블(테이블)(4,10)에 수평으로 적용된 부하에 의해 저하되는 단점이 발생한다.
다른 종래기술의 선형 액츄에이터가 예를들면 일본 실개평 6-47708호에 개시된 기술개념을 근거로 하고 잇다. 도 41 및 도 42에 도시된 바와같이, 유압작동실린더(16)는 그 중앙부분에서 돌출하도록 형성된 선형구름베어링(16a)을 포함하는 메인 실린더 몸체(17)와, 선형구름베어링(16a)의 안내작용에 따라서, 선형으로 왕복되는 테이블(18)로 구성되어 있다.
영구자석(18a)이 테이블(18)의 한 측면에 체결된다. 가이드레일(18c)은 한쌍의 나사(18b,18b)의 도움으로 메인 실린더 몸체(17)의 한측면에 체결된다. 길다란 홈(18d)이 축선방향을 따라 가이드레일(18c)에 형성되어 있다. 테이블(18)의 위치는 길다란 홈(18d)의 소정의 위치에 설치된 자기(magnetic)접근 스위치(19)를 사용하므로서 영구자석(18a)의 자기작용을 감지하므로서 검출된다.
예시되지 않은 튜브 피팅을 나사체결하고 파이핑 튜브(도시생략)를 연결하는 한쌍의 유압공급포트(19a,19a)(하나는 예시하지 않음)는 메인 실린더 몸체(17)의 한측면에 가이드레일(18c)에 근접한 위치에 형성되어 있다.
하지만, 유압작동실린더(16)의 경우에, 자기접근스위치(19)가 설치되는 가이드레일(18c)은 나사(18b,18b)에 의해 메인 실린더 몸체(17)의 한측면에 체결된다. 따라서, 메인 실린더 몸체(17)의 측면에 나사(18b,18b)를 나사체결하는 나사구멍을 형성할 필요가 있다. 그러므로, 실린더챔버의 내벽면과 메인 실린더 몸체(17)(도 42참조)의 외벽면 사이의 두께(M)는 나사구멍을 뚫기 위해서 두껍게 형성될 필요가 있다. 결과적으로 메인 실린더 몸체(17)의 가로방향으로 폭(W)을 줄이는 것은 불가능하다. 그러므로, 전체적인 장치가 소형이고 경량으로 될 수 없다는 어려움이 야기된다.
종래기술에 관한 유압 작동실린더(16)의 경우에, 메인 실린더 몸체(17)의 유압공급포트(19a,19a)에 파이핑 튜브를 연결하기 위해서 튜브피팅이 나사체결될때, 유압공급포트(19a,19a)에 비하여 바깥으로 돌출하는 가이드레일(18c)이 장애가 되며 그러므로 파이핑작용이 복잡해져서 불편함이 야기된다.
(발명의 개요)
본 발명의 전체적인 목적은 메인 실린더 몸체의 가로방향으로 폭을 줄일 수 있고 전체적인 장치가 소형이고 경량으로 되는 선형 액츄에이터를 제공하는 것이다.
본 발명의 주된 목적은 부하가 슬라이드 테이블에 실제로 수평으로 적용될 지라도 슬라이드 테이블의 선형정밀성을 유지할 수 있는 선형 액츄에이터를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적으로 파이핑 작업을 편리하게 수행할 수 있는 선형 액츄에이터를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 슬라이드 테이블의 선형정밀성을 저하시키지 않고 메인 실린더 몸체의 가로방향으로 폭을 감소시킬 수 있는 선형 액츄에이터를 제공하는 것이다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징 및 장점은 본 발명의 바람직한 실시예가 예시를 통해 도시된 이하 설명으로 부터 더욱 명백해 질 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 선형 액츄에이터를 예시하는 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 선형 액츄에이터를 예시하는 전개사시도,
도 3은 도 1에 도시된 선형 액츄에이터를 예시하는 평면도,
도 4는 도 3의 선 IV-IV에 따른 수직 단면도,
도 5는 도 1의 선 V-V에 따른 측단면도,
도 6은 도 4의 선 VI-VI에 따른 수직단면도,
도 7은 도 6의 선 VII-VII에 따른 측단면도,
도 8은 본 발명의 제 2실시예에 따른 선형 액츄에이터를 예시하는 수직단면도,
도 9는 도 8의 선 IX-IX에 따른 측단면도,
도 10은 본 발명의 제 3실시예에 따른 선형 액츄에이터의 평면도,
도 11은 도 10의 선 XI-XI에 따른 수직단면도,
도 12는 도 11의 선 XII-XII에 따른 수직단면도,
도 13은 도 12의 선 XIII-XIII에 따른 측단면도,
도 14는 본 발명의 제 4실시예에 따른 선형 액츄에이터의 평면도,
도 15는 도 14의 선 XV-XV에 따른 수직단면도,
도 16은 도 15의 선 XVI-XVI에 따른 수직단면도,
도 17은 도 16의 선 XVII-XVII에 따른 측단면도,
도 18은 본 발명의 제 5실시예에 따른 선형 액츄에이터의 사시도,
도 19는 도 18에 도시된 선형 액츄에이터의 전개사시도,
도 20는 도 18에 도시된 선형 액츄에이터를 구성하기 위한 가이드 기구를 예시하는 전개사시도,
도 21는 도 18에 도시된 선형 액츄에이터의 평면도,
도 22는 도 21의 선 XXII-XXII에 따른 수직단면도,
도 23는 도 22의 선 XXIII-XXIII에 따른 측단면도,
도 24는 본 발명의 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터의 사시도,
도 25는 도 24에 도시된 선형 액츄에이터의 전개사시도,
도 26는 도 24에 도시된 선형 액츄에이터의 평면도,
도 27은 도 24에 도시된 선형 액츄에이터의 측면도,
도 28은 도 26의 선 XXVIII-XXVIII에 따른 수직 단면도,
도 29는 도 24의 선 XXIX-XXIX에 따른 측단면도,
도 30은 도 29의 선 XXX-XXX에 따른 수직단면도,
도 31은 도 30의 선 XXXI-XXXI에 따른 측단면도,
도 32는 본 발명의 제 7실시예에 따른 선형 액츄에이터의 전개사시도,
도 33은 도 32에 도시된 선형 액츄에이터의 측단면도,
도 34는 도 33의 선 XXXIV-XXXIV에 따른 수직단면도,
도 35의 도 33의 선 XXXV-XXXV에 따른 수직단면도,
도 36은 본 발명의 제 8실시예에 따른 선형 액츄에이터의 전개사시도,
도 37은 도 36에 도시된 선형 액츄에이터의 측단면도,
도 38은 도 37의 선 XXXVIII-XXXVIII에 따른 수직단면도,
도 39a는 종래기술의 선형 액츄에이터의 평면도,
도 39b는 그 측면도,
도 40은 다른 종래기술의 선형 액츄에이터의 사시도,
도 41은 다른 종래기술의 선형 액츄에이터의 사시도,
도 42는 다른 종래기술의 선형 액츄에이터의 측면도.
(바람직한 실시예의 상세한 설명)
도 1을 참조하면, 20은 본 발명의 제1실시예에 따른 선형 액츄에이터를 표시하고 있다. 선형 액츄에이터(20)는 실린더기구를 구성하기 위해 메인 실린더 몸체(22), 메인 실린더 몸체(22)의 길이방향을 따라 선형으로 왕복가능한 슬라이드 테이블(24), 그리고 메인 실린더 몸체(22)의 길이방향을 따라 슬라이드 테이블(24)을 매끄럽게 왕복시키는 가이드기구(26)(도 2참조)로 구성되어 있다.
도 2에 도시된 바와같이, 소정의 간격으로 분리되어 있고 그리고 가로방향을 따라 서로 대향한 한쌍의 가이드블럭(28a,29b)이 메인 실린더 몸체(22)와 일체로 형성되어 메인 실린더 몸체(22)의 상면에 돌출해 있다. 나중에 설명될 볼구름홈(32a,32b)과 볼순환구멍(30a,30b)은 각각 길이방향을 따라서 가이드블럭쌍(28a,28b)에 형성되어 있다.
나사(34)에 의해 평행육면체 스토퍼 블럭(36)을 고정하기위해 구비된 위치결정 오목부(38)가 가이드블럭쌍(28a,28b)사이에서 대략 중앙위치에 형성되어 있다. 축선에 실제로 수직인 방향으로 메인 실린더 몸체(22)를 통해 관통되는 한쌍의 부착구멍(40a,40b)이 위치결정 오목부(38)(도 4참조)에 밀접한 위치에 형성되어 있다. 길이방향을 따라서 메인 실린더 몸체(22)를 통해 관통된 관통구멍(42)이 메인 실린더 몸체(22)에 형성되어 있다(도 5참조). 관통구멍(42)은 메인 실린더 몸체(22)의 축선으로 부터 하나의 가이드블럭(28a)쪽으로 소정의 거리 편향되어 있다.
도 5에 도시된 바와같이, 피스톤(48)과 피스톤로드(50)는 관통구멍(42)에 수용되어 있다. 피스톤(48)은 그 외주 표면에 댐퍼(46)와 시일링(44)으로 설치되어 있다. 피스톤로드(48)는 피스톤(48)에 연결되어 있다. 관통구멍(42)의 한끝은 리테이닝 링(52)의 도움으로 설치된 엔드캡(54)에 의해 기밀방식으로 폐쇄되어 있다. 피스톤로드(50)의 외주면을 둘러싸기 위한 환형벌지(bulge)(55)가 관통구멍(42)의 다른 끝에 형성되어 있다. 관통구멍(42)의 다른 끝은 칼라(66)에 의해 기밀방식으로 폐쇄되고 로드패킹(58)은 리테이닝 링(57)의 도움으로 관통구멍(42)과 연통하는 구멍(56)에 유지되어 있다.
본 실시예에서, 실린더챔버(62a,62b)는 관통구멍(42)을 폐쇄하기 위한 엔드 캡(54)과 환형벌지(55)에 의해 형성된다. 실린더챔버(62a,62b)는 각각 메인 실린더 몸체(22)의 한측면을 통해 형성된 한쌍의 유체 입/출구포트(64a,64b)와 연통하도록 형성되어 있다. 유동부시(68)가 로크너트(66)를 통해서 피스톤로드(50)의 전방끝에 연결되어 있다.
슬라이드 테이블(24)은 나사에 의해 수직으로 체결되는 엔드 플레이트(74)와 테이블(72)로 구성되어 한쌍의 볼트(70a,70b)의 도움으로 L자형 단면을 제공한다. 유동부시(68)는 엔드 플레이트(74)에 형성된 반원형 구멍(76)에 의해 유지된다. 버퍼부재(78)(도 2참조)는 엔드 플레이트(74)에 형성된 구멍에 삽입된다. 버퍼부재(78)는 슬라이드 테이블(24)의 변위 구역내에서 하나의 끝위치에서 엔드 플레이트(74)가 메인 실린더 몸체(22)의 끝면에 대하여 접합할 때 발생되는 충격을 완화하는 기능을 한다.
테이블(72)은 메인 실린더 몸체(22)의 부착구멍(40a,40b)과 연통하고 상응하는 한쌍의 관통구멍(82a,82b)과 4개의 공작물 유지구멍(80a 내지 80d)으로 형성된다. 그러므로, 메인 실린더 몸체(22)는 테이블(72)의 상면측으로 부터 관통구멍(82a,82b)을 통해서 예시하지 않은 볼트를 체결하므로서 부착구멍(40a,40b)내로 서로 부착될 수 있다. 대안으로서, 메인 실린더 몸체(22)는 메인 실린더 몸체(22)의 바닥면측으로 부터 부착구멍(40a,40b)내로 볼트를 체결하여 직접 부착될 수 있다. 상기한 바와같이, 조작자는 선형 액츄에이터(20)의 부착방향을 상하방향 임의로 선택할 수 있다.
길이방향을 따라 뻗어 있는 가이드섹션(84)은 일체로 형성되어 슬라이드 테이블(24)의 바닥면의 중앙부분에 돌출해 있다. 볼구름홈(86a,86b)은 가이드섹션(84)의 가로방향으로 위치한 대향측면을 통해 길이방향을 따라 형성되어 있다. 스토퍼 블럭(36)의 모양에 상응하고 그리고 축선방향을 따라 소정의 길이 뻗어 있는 절결부(88)는 가이드섹션(84)(도 4 및 도 6참조)에 형성되어 있다. 슬라이드 테이블(24)을 위한 변위량 조절부재로서 작용하는 조절볼트(90)는 로크너트(92)의 도움으로 절결부(88)의 한끝에 나사체결되어 있다. 버퍼부재(94)는 예를들면 우레탄과 같은 고무로 구성되어 조절볼트(90)의 전방끝에 설치된다.
본 실시예에서, 조절볼트(90)는 슬라이드 테이블(24)과 일체로 변위된다. 슬라이드 테이블(24)의 변위량은 스토퍼 블럭(36)(도 4참조)에 대하여 버퍼부재(94)의 접합에 의해 조절된다. 조절볼트(90)와 버퍼부재(94)는 슬라이드 테이블(24)(도 3참조)의 가로방향으로 대략 중앙부분에 그리고 끝쪽에 구비된다. 따라서 슬라이드 테이블(24)이 변위의 끝위치에 도달할때 슬라이드 테이블(24)에 적용된 임의의 가압부하를 감소시킬 수 있다. 결과적으로 선형가이드로서 작용하는 복수의 베어링 볼(104)은 가압부하에 의해 야기괸 임의의 모멘트 작용이 방지될 수 있다.
도 2에 도시된 바와같이 가이드기구(26)는 확장방식으로 메인 실린더 몸체(22)와 일체로 형성된 가이드블럭쌍(28a,28b)과 나사(96)에 의해 각각 가이드블럭(28a,28b)의 양끝에 설치된 커버(98a,98b)와 스크래퍼(100a,100b)로 구성되어 있다. 길이방향을 따라 가이드블럭(28a,28b)을 통해 돌출한 볼순환 구멍(30a,30b)은 가이드블럭(28a,28b)에 형성되어 있다. 길이방향을 따라 뻗어 있는 볼구름홈(32a,32b)은 가이드블럭(28a,28b)의 상호대향한 내벽면에 형성되어 있다.
가이드기구(26)는 볼순환구멍(30a,30b)과 볼구름홈(32a,32b)사이에 각각 연통하도록 가이드블록(28a,28b)의 양끝에 설치된 리턴가이드(102)와, 볼 순환구멍(30a,30b)과 볼구름홈(32a,32b)을 따라 구르는 복수의 베어링 볼(104)로 더 구성되어 있다. 오목부(106)는 커버(98a,98b)상에 형성되는데, 이것은 볼순환구멍(30a,30b)과 볼구름홈(32a,32b)을 연결하고 그리고 베어링 볼(104)을 위한 순환트랙으로서 작용한다.
본 발명의 제 1실시예에 따른 선형 액츄에이터(20)는 상기한 바와같이 기본적으로 구성되어 있다. 다음에, 그 작용, 기능 및 효과가 설명될 것이다.
먼저, 가압된 유체가 예시되지 않은 유압공급원으로 부터 하나의 유체 입/출구포트(64b)내로 유입된다. 이러한 상태에서 다른 유체 입/출구포트(64a)는 예시되지 않은 방향제어밸브를 작동시켜 대기에 개방된다.
가압유체는 유체 입/출구포트(64b)와 연통하는 하나의 실린더챔버(62b)에 공급되고 그리고 이것은 화살표(X1)(도 5참조)방향으로 피스톤(48)을 가압한다. 피스톤로드(50)와 결합되는 엔드 플레이트(74)는 피스톤(48)의 가압작용에 따라서, 화살표(X1)방향으로 변위된다. 슬라이드 테이블(24)은 베어링 볼(104)의 구름작용에 따라서 엔드 플레이트(74)와 일체로 변위된다.
슬라이드 테이블(24)과 함께 변위되는 조절볼트(90)에 설치되는 버퍼부재(94)는 슬라이드 테이블(24)의 변위과정동안에 화살표(X1)방향으로 스토퍼 블럭(36)에 대하여 접합된다. 그러므로, 슬라이드 테이블(24)은 변위구역의 끝위치 도달한다. 본 실시예에서, 슬라이드 테이블(24)의 변위량은 로크너트(92)를 풀고 조절볼트(90)의 나사체결량을 조절하므로서 증감가능하게 변할 수 있다.
슬라이드 테이블(24)이 상기한 방향과 반대방향으로 변위할때, 가압된 유체는 다른 유체 입/출구포트(64a)에 공급된다. 공급된 가압유체는 다른 실린더챔버(62a)내로 유입되고 그리고 이것은 피스톤(48)을 화살표(X2)의 방향으로 가압한다. 슬라이드 테이블(24)은 피스톤(48)의 가압작용에 따라서 피스톤로드(50)와 결합하는 엔드 플레이트(74)의 도움으로 화살표(X2)방향으로 변위된다. 슬라이드 테이블(24)은 엔드 플레이트(74)상에 구비된 버퍼부재(78)가 메인 실린더 몸체(22)의 끝면에 대하여 접합할 때 변위구역의 끝 위치에 도달한다.
제 1실시예에 따른 선형 액츄에이터(20)의 경우에, 가이드섹션(84)은 슬라이드 테이블(24)의 바닥면의 중앙부분상에 길이방향을 따라 확장방식으로 일체로 형성된다. 더욱이, 베어링 볼(104)을 통해 가이드섹션(84)과 미끄럼가능하게 접촉되는 가이드블럭(28a,28b)은 메인 실린더 몸체(22)의 상면에 확장방식으로 일체로 형성된다. 그러므로, 도 39a 및 도 39b에 도시된 종래의 기술과 달리, 부착구멍(40a,40b)은 가로방향으로 가이드섹션(84)의 폭(H)에 의해 영향받지 않고 메인 실린더 몸체(22)의 원하는 위치에 구멍뚫려 있다(도 6참조).
상기한 바와같이, 가로방향으로 메인 실린더 몸체(22)의 폭(H)은 종래의 기술과 비교하여 본 실시예에 따른 선형 액츄에이터(20)에서 줄어들 수 있다. 결과적으로 전체적인 장치는 소형이고 경량으로 될 수 있다.
본 실시예에 따른 선형 액츄에이터(20)의 경우에, 슬라이드 테이블(24)을 위한 변위량 조절부재로서 작용하는 조절볼트(90)는 슬라이드 테이블(24)의 바닥면의 대략중앙부분에 형성된 절결부(88)와 일치하여 구비되어 있다. 따라서, 가로방향으로 메인 실린더 몸체(22)의 폭(H)은 제 1 내지 제 3돌출부(11,12,13)가 슬라이드 테이블(24)의 한측면으로 부터 바깥으로 돌출하는 도 40에 도시된 다른 종래의 기술과 비교하여 더 줄어들 수 있다. 더욱이, 슬라이드 테이블(24)의 변위구역에서 끝위치에서 발생한 가압부하를 감소시킬 수 있다. 그러므로, 공작물을 안정된 방식으로 이송할 수 있다.
다음에, 본 발명의 제 2실시예에 따른 선형 액츄에이터(110)가 도 8 및 도 9에 도시되어 있다. 아래의 실시예에서, 동일한 구성요소는 동일한 부호가 부여되고 그리고 단지 다른 구성 요소만을 설명할 것이다.
제 1실시예에 따른 선형 액츄에이터(20)의 경우에, 볼순환구멍(30a,30b)은 각각의 가이드블럭(28a,28b)에 형성된다. 하지만, 제 2실시예에 따른 선형 액츄에이터(110)는 한쌍의 볼순환구멍(112a,112b)이 볼구름홈(86a,86b)에 실제로 평행한 슬라이드 테이블(24)의 가이드섹션(84)에 형성되어 있는 점에서 제 1실시예에 따른 선형 액츄에이터(20)와 다르다.
결과적으로 다음의 차이가 발생한다. 말하자면, 제 1실시예에 따른 선형 액츄에이터(20)는 복수의 베어링 볼(104)이 가이드섹션(84)과 가이드블럭(28a,28b)사이에서 슬라이딩 섹션을 통해서 슬라이드 테이블(24)의 외부에서 순환하도록 구성되어 있다. 이에 반해, 제 2실시예에 따른 선형 액츄에이터(110)의 경우에, 베어링 볼(104)은 가이드섹션(84)과 가이드블럭(28a,28b)사이에서 슬라이딩 섹션을 통해 슬라이드 테이블(24)의 내부에서 순환한다.
다음에, 본 발명의 제 3실시예에 따른 선형 액츄에이터(120)가 도 10 내지 도 13에 도시되어 있다.
도 12에 도시된 바와같이, 제 3실시예에 따른 선형 액츄에이터(120)는 다음점에서 제 1 및 제2실시예에 따른 선형 액츄에이터(20,110)와 다르다. 말하자면, 가이드섹션(122)이 메인 실린더 몸체(22)의 상면에서 중앙부분에 축선방향을 따라서 돌출하도록 형성되어 있다. 더욱이, 가이드블럭(126a,126b)은 각각 슬라이드 테이블(124)의 가로방향으로 양끝에서 돌출하도록 형성되어 있다.
결과적으로, 제 3실시예에 따른 선형 액츄에이터(120)의 경우에, 복수의 베어링 볼(104)은 가이드블럭(126a,126b)과 가이드섹션(122)사이에서 슬라이딩 섹션을 통해 메인 실린더 몸체(22)의 외부에서 순환한다. 128은 슬라이드 테이블(124)의 한끝에 나사체결된 조절볼트(90)를 유지하기 위한 홀딩블럭을 나타낸다.
제 1 및 제 2실시예에 따른 선형 액츄에이터(20,110)의 경우에, 스토퍼 블럭(36)은 메인 실린더 몸체(22)로부터 분리되어 형성되어 있고 그리고 전자는 나사에 의해 후자에 체결되어 있다. 하지만, 제 3실시예에 다른 선형 액츄에이터는 절결부(130)가 메인 실린더 몸체(22)의 가이드섹션(122)을 절결하여 형성되고 그리고 스토퍼 블럭(132)이 메인 실린더 몸체(도 11참조)와 일체로 형성되는 점에서 제 1 및 제 2실시예에 따른 선형 액츄에이터(20,110)와 다르다.
다음에, 본 발명의 제 4실시예에 따른 선형 액츄에이터(140)가 도 14 내지 도 17을 참조로 도시되어 있다.
도 16에 도시되어 있는 바와같이, 제 4실시예에 따른 선형 액츄에이터(140)의 경우에, 한쌍의 볼순환구멍(142a,142b)이 메인 실린더 몸체(22)의 가이드섹션(122)에 형성되어 있다. 그러므로 베어링 볼(104)은 가이드블럭(126a,126b)과 가이드섹션(122)사이에서 슬라이딩 섹션을 통해서 메인 실린더 몸체(22)의 내부에서 순환한다.
제 2 내지 제 4실시예에 따른 선형 액츄에이터(110,120,140)는 제 1실시예에 따른 선형 액츄에이터(20)의 기능과 작용효과와 동등하며, 그 설명은 생략한다.
다음에, 본 발명의 제 5실시예에 따른 선형 액츄에이터(220)가 도 18 내지 도 23에 도시되어 있다. 선형 액츄에이터(220)는 메인 실린더 몸체(222), 메인 실린더 몸체(222)의 길이방향을 따라서 선형으로 왕복가능한 슬라이드 테이블(224), 그리고 메인 실린더 몸체(222)와 슬라이드 테이블(224)사이에 배치되고 한쌍의 핀부재(유지부재)(226a,226b)에 의해 메인 실린더 몸체(222)상에 유지된 가이드기구(228)로 구성되어 있다(도 19참조).
도 19 및 도 20에 도시된 바와같이 한끝이 둥근형상을 갖추고 좌우로 측면으로 긴 오목부(230)는 메인 실린더 몸체(222)의 상면을 따라 형성되어 있다. 핀부재(226a,226b)를 삽입하기 위한 한쌍의 핀삽입구멍(232a,232b)이 오목부(230)에 형성되어 있고 그리고 소정의 간격을 두고 서로이격되어 있다. 가이드기구(228)를 메인 실린더 몸체(222)에 부착하기 위한 한쌍의 부착구멍(234a,234b)이 핀삽입구멍(232a,232b)에 인접한 위치에서 메인 실린더 몸체(222)를 통해서 관통하도록 형성되어 있다.
센서를 부착하기 위한 2개의 스트립의 길다란 홈(236a,236b)이 메인 실린더 몸체(222)의 한측면을 따라 길이방향으로 형성되어 있다. 변위량 조절부재(240)가 메인 실린더 몸체(222)의 다른 측면에 나사로 체결되어 있다. 나중에 설명할 스토퍼 블럭(238)은 슬라이드 테이블(224)의 변위량을 조절하기 위해서 변위량 조절부재(240)에 대하여 접합할 수 있게 되어 있다. 예시되지 않은 센서는 센서부착의 길다란 홈(236a,236b)에서 소정의 위치에 체결되어 있다.
도 21에 도시한 바와같이, 변위량 조절부재(240)는 블럭부재(242), 블럭부재(242)의 구멍에 나사체결 되고 블럭부재(242)에 너트(244)에 의해 체결된 나사부재(246), 그리고 나사부재(246)의 한끝에 부착된 댐퍼부재(247)로 구성되어 있다. 슬라이드 테이블(224)의 변위량은 블럭부재(242)에 대하여 나사부재(246)의 나사체결량을 증감하여 조절될 수 있다.
서로 축선방향으로 나란히 되어 있는 한쌍의 관통구멍(243a,243b)(도 22참조)이 메인 실린더 몸체(222)내에 형성된다. 실린더기구는 각각 관통구멍(243a,243b)(도 23참조)에 구비되어 있다. 각각의 실린더기구는 실제로 동일한 형상을 갖추고, 형성되어 있는데, 각각은 외주면에 형성된 자석부재(247)의 시일링(245)을 포함하는 피스톤(248)과, 피스톤(248)에 연결된 피스톤로드(250)로 구성되어 있다.
관통구멍(243a,243b)의 각각의 한끝은 리테이닝 링(252)과 함께 설치된 엔드 캡(254)에 의해 기밀방식으로 폐쇄되어 있다. 관통구멍(243a,243b)의 각각의 다른 끝은 링부재(256), 로드 패킹(258), 그리고 리테이닝 링(252)의 도움으로 유지되는 칼라(260)에 의해 기밀방식으로 폐쇄되어 있다. O링(262)이 칼라(260)의 외주면을 따라 형성된 환형홈에 끼워져 있다.
본 실시예에서, 제 1및 제 2실린더챔버(264a,264b)는 엔드캡(254)과 관통구멍쌍(243a,243b)각각을 폐쇄하기 위한 칼라(260)에 의해 서로 나란히 형성되어 있다. 제 1 및 제 2실린더챔버(264a,264b)는 이들이 각각 연통로(266a,266b)와 연통하도록 형성되어 있다. 한쌍의 유체 입/출구포트(268a,268b)가 메인 실린더 몸체(222)의 한측면을 통해 형성되어 있다. 유체 입/출구포트(268a,268b)는 이들이 제 2실린더챔버(264b)와 연통하도록 형성되어 있다. 유동 부시(270)는 나사부재를 통해서 피스톤로드(250)의 전방끝에 연결된다.
도 18에 도시된 바와같이, 슬라이드 테이블(224)은 나사로 서로 수직으로 체결하는 엔드 플레이트(276)와 메인테이블몸체(274)로 구성되어 한쌍의 볼트(272a,272b)를 통해 실제로 L자형 단면을 갖춘다. 유동부시(270)는 엔드 플레이트(276)에 형성된 반원형 구멍에 의해 유지된다.
예시되지 않은 버퍼부재는 엔드 플레이트(276)에 부착되어 있다. 버퍼부재는 엔드 플레이트(276)가 슬라이드 테이블(224)의 변위구역의 한끝 위치에서 메인 실린더 몸체(222)의 끝면에 대하여 접합할때 발생하는 충격을 완화하는 기능을 한다. 4개의 공작물 유지구멍(278a 내지 278d)이 메인테이블몸체(274)에 형성된다.
도 19에 도시된 바와같이, 메인테이블몸체(274)는 길이방향을 따라서 일체로 돌출한 한쌍의 가이드섹션(280)으로 형성되어 있다. 볼구름홈(282a,282b)은 가이드섹션(280)의 대향 내벽면을 따라 길이방향으로 형성되어 있다. 스토퍼 블럭(238)은 메인테이블몸체(274)의 한측면에 나사로 체결되어 있다. 스토퍼 블럭(238)은 슬라이드 테이블(224)과 일체로 변위한다. 슬라이드 테이블(224)의 변위량은 스토퍼 블럭(238)에 대하여 접합되는 댐퍼부재(247)에 의해 조절된다.
도 20에 도시된 바와같이, 슬라이드 테이블(224)을 안내하기 위한 가이드기구(228)는 축선에 실제로 수직인 방향으로 넓은 평편한 가이드블럭(284), 한쌍의 볼 리턴부재(286), 커버부재(288), 각각 가이드블럭(284)의 길이방향으로 위치한 양끝에 설치한 스크래퍼(290), 그리고 메인 실린더 몸체(222)상에서 가이드블럭(284)을 위치시키고 유지하는 한쌍의 핀부재(226a,226b)로 구성되어 있다. 각각의 커버부재(288)는 볼리턴부재(286)와 협력하여 구르는 베어링 볼(292)을 순환시키기 위한 반원형 볼리턴홈(294)으로 형성되어 있다.
볼구름홈(296a,296b)은 가이드블럭(284)의 양측면을 따라 길이방향으로 형성되어 있다. 길이방향으로 가이드블럭(284)을 통해 관통된 한쌍의 볼순환구멍(298)이 볼구름홈(296a,296b)에 인접하여 위치해 있고 볼순환구멍(298)은 소정의 간격으로 서로 이격되어 있다. 연속 볼순환 통로가 가이드섹션(280)의 볼구름홈(282a,282b), 가이드블럭(284)의 볼구름홈(296a,296b), 그리고 커버부재(288)의 볼리턴홈(294)에 의해 형성되어 있다. 복수의 베어링 볼(292)이 볼순환통로를 따라 구른다.
직사각형의돌출부(300a,300b)가 가이드블럭(284)의 길이방향으로 위치한 양끝에 일체로 형성되어 있다. 돌출부(300a,300b)의 형성은 소정의 간격으로 서로 이격된 한쌍의 부착구멍(302a,302b)사이에서거리(P)를 증가시킬 수 있게 한다.
가이드블럭(284)은 그 바닥면에 핀부재쌍(226a,226b)을 삽입하기 위한 핀삽입구멍(304a,304b)으로 형성되어 있고 핀삽입구멍(304a,304b)은 소정의 간격으로 서로 이격되어 있다. 가이드블럭(284)을 통해 나사체결되고 관통된 한쌍의 부착구멍(302a,302b)이 핀삽입구멍(304a,304b)에 인접한 위치에 형성되어 있다. 나중에 설명하는 바와같이, 가이드블럭(284)을 포함하는 가이드기구(228)은 부착구멍(302a,302b)의 나사로 결합되는 볼트부재(306)에 의해 메인 실린더 몸체(222)의 상면에 부착된다.
제 5실시예에 따른 선형 액츄에이터(220)는 상기한 바와같이 기본적으로 구성되어 있다. 다음에 그작용, 기능 및 효과를 설명한다.
가압된 유체는 예시되지 않은 유압공급원으로부터 하나의 유체 입/출구포트(268b)내로 유입된다. 이러한 상태에서 다른 유체입/출구포트(268a)가 예시되지 않은 방향제어밸브를 작동시키므로서 대기에 개방된다.
가압된 유체는 제 2실린더챔버(264b)에 연속적으로 공급되고 그리고 제 1실린더챔버(264a)는 유체 입/출구포트(268b)와 연통하며 화살표(X1)(도 23참조)방향으로 피스톤(248)을 가압한다. 피스톤로드(250)와 결합되는 유동부시(270)는 피스톤(248)의 가압작용에 따라서 화살표(X1)방향으로 변위된다. 슬라이드 테이블(224)은 베어링 볼(292)의 구름작용에 따라서 엔드 플레이트(27b)와 일체로 변위된다.
스토퍼 블럭(238)은 화살표(X1)방향쪽으로 슬라이드 테이블(224)의 변위과정동안에 슬라이드 테이블(224)과 함께 변위된다. 스토퍼 블럭(238)이 나사부재(246)상에 설치된 댐퍼부재(247)에 대하여 접합할때, 변위의 끝위치에 도달한다. 본 실시예에서, 슬라이드 테이블(224)의 변위량은 나사부재의 나사체결량을 조절하고 그리고 너트(244)를 풀므로서 증감변화될 수 있다.
슬라이드 테이블(224)이 상기한 방향과 반대방향으로 변위될때, 가압된 유체는 유체 입/출구포트(268a)에 공급된다. 공급된 가압유체는 제 2실린더챔버(264b)와 제 1실린더챔버(264a)내로 연속유입되고, 피스톤(248)을 화살표(X2)로 표시된 방향으로 가압한다. 엔드 플레이트(276)와 슬라이드 테이블(224)은 피스톤(248)의 가압작용에 따라서 피스톤로드(250)와 결합되는 유동부시(270)의 도움으로 화살표(X2)로 표시된 방향으로 일체로 변위한다. 예시하지 않은 버퍼부재가 엔드 플레이트(276)에 구비되어 메인 실린더 몸체(222)의 끝면에 대하여 접합할때, 슬라이드 테이블(224)은 도 18에 예시된 최초위치로 복귀한다.
다음에, 가이드기구(228)를 메인 실린더 몸체(222)에 조립하는 단계에 관해 설명하다.
핀부재(226a,226b)는 가이드블럭(284)의 바닥면에 구멍이 뚫린 그리고 소정의 간격으로 서로 이격된 핀삽입구멍쌍(304a,304b)내에 삽입되고 그리고 메인 실린더 몸체(222)의 상면에 구멍이 뚫린 핀 삽입구멍쌍(232a,232b)내로 각각 삽입된다. 그러므로 가이드블럭(284)을 포함하는 가이드기구(228)는 메인 실린더 몸체(222)의 오목부(230)에 위치하여 체결된다. 볼트부재(306)는 메인 실린더 몸체(222)를 통해 관통하도록 형성된 부착구멍쌍(234a,234b)내에 삽입된다. 각각의 볼트부재(306)는 가이드블럭(284)의 부착구멍(302a,302b)의 각각의 나사내로 나사체결되는 한끝에서 나사로 새겨져 있다. 그러므로, 가이드기구(228)는 메인 실린더 몸체(222)에 나사에 의해 체결된다.
상기한 바와같이, 가이드기구(228)를 구성하는 가이드블럭(284)은 큰 분리간격(피치P)을 가지고 형성된 부착구멍(302a,302b)내로 나사체결되는 볼트부재(306)와 핀삽입구멍(304a,304b)내로 삽입되는 핀부재(226a,226b)의 협력에 따라서 메인 실린더 몸체(222)에 체결된다.
도 22에 도시한 바와같이, 본 실시예에 따른 선형 액츄에이터(220)는 메인 실린더 몸체(222)의 폭(L)에 대한 가이드기구(228)의 폭(L4)의 비율을 증가시키므로서 도 39a, 도 39b 및 도 40에 도시된 종래기술과 관련된 선형 가이드(9)와 가이드레일(3)과 비교하여 넓게 형성되는 가이드기구(228)를 포함하고 있다. 핀부재(226a,226b)는 메인 실린더 몸체(222)에 가이드기구(228)를 부착하기 위해 볼트부재(306)에 더하여 메인 실린더 몸체(222)와 가이드블럭(284)사이에 배치된다.
그러므로, 슬라이드 테이블(224)은 부하(F1,F2)가 실제로 슬라이드 테이블(224)(도 22참조)에 수평으로 적용될지라도 안정된 방식으로 지지된다. 따라서, 슬라이드 테이블(224)은 매끄럽게 왕복되는 한편 슬라이드 테이블(224)의 선형정밀성이 유지된다. 결과적으로 공작물은 슬라이드 테이블(224)에 의해 안정된 방식으로 이송될 수 있다.
다음에, 본 발명의 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)가 도 24 내지 도 31에 도시되어 있다. 선형 액츄에이터(320)는 메인 실린더 몸체(322), 메인 실린더 몸체(322)의 길이방향을 따라 선형적으로 왕복가능한 슬라이드 테이블(324), 메인 실린더 몸체(322)의 한측면에 나사로 체결된 센서부착레일(블럭부재), 그리고 메인 실린더 몸체(322)의 다른측면에 그리고 센서부착레일(326)에 반대로 나사에 의해 체결되는 플레이트(폐쇄플레이트)(327)로 구성되어 있다.
도 24 및 도 31에 도시된 바와같이, 한쌍의 상호대향한 가이드블럭(328a,328b)은 메인 실린더 몸체(322)와 일체로 형성되어 메인 실린더 몸체(322)의 상면에 돌출한다. 복수의 베어링 볼(329)이 구르기 위한 무한 순환 트랙을 구성하는 볼구름홈(332a,332b)과 볼순환구멍(330a,330b)은 각각 길이방향을 따라 가이드블럭쌍(328a,328b)에 형성된다.
도 28에 도시된 바와같이, 평행육면체, 모양의 스토퍼 블럭(336)은 가이드블럭쌍(328a,328b)사이에서 실제로 중앙위치에 한쌍의 나사(334)에 의해 고정된다. 축선과 실제로 수직인 방향으로 메인 실린더 몸체(322)를 통해서 관통되는 한쌍의 부착구멍(340a,340b)이 스토퍼 블럭(336)에 밀접한 위치에 형성되어 있다.
도 29에 도시된 바와같이, 축선방향으로 서로 평행하게 나란히 배치된 한쌍의 관통구멍(342a,342b)이 메인 실린더 몸체(322)에 형성되어 있다. 관통구멍(342a,342b)은 실제로 원통형을 갖춘 그리고 외주에 시일링(344)과 댐퍼(346)를 갖추도록 각각 형성된 피스톤(348)과, 피스톤에 각각 연결된 피스톤로드(350)를 수용하고 있다.
각각의 관통구멍(342a,342b)은 리테이닝 링(352)과 함께 설치된 엔드 캡(354)에 의해 기밀방식으로 한끝에서 폐쇄되어 있다. 각각의 관통구멍(342a,342b)의 다른 끝은 피스톤로드(350)의 외주면과 미끄럼 가능하게 접촉된 환형벌지(356)에 의해 폐쇄된다. 환형벌지(356)를 통해 외부로 노출된 피스톤로드(350)는 리테이닝 링의 도움으로 메인 실린더 몸체(322)에 의해 유지된 칼라(360)와 로드 패킹(358)에 의해 밀봉되어 있다.
본 실시예에서, 제 1실린더챔버(362a,362b)와 제 2실린더챔버(363a,363b)는 각각 관통구멍쌍(342a,342b)을 폐쇄하기 위해 환형벌지(356)와 엔드캡(354)에 의해 실제로 형성되어 있다. 제 1실린더챔버(362a,362b)와 제 2실린더챔버(363a,363b)는 연통로(367a,367b)를 통해 서로 연통하도록 형성되어 있다.
제 1유체 입/출구포트(364a,364b)와 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)쌍은 각각 메인 실린더 몸체(322)의 양측면에 서로 대향하여 대칭축선으로서 메인 실린더 몸체(322)의 축선과 대칭적으로 축선방향으로 배열되어 있다. 제 1유체 입/출구포트(364a,364b)는 각각 제 1실린더챔버(362a,362b)와 연통하도록 형성되어 있다. 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)는 각각 제 2실린더챔버(363a,363b)와 연통하도록 형성되어 있다. 유동부시(368)는 로크너트(366)에 의해 피스톤로드(350)의 전방끝에 연결되어 있다.
도 30에 도시된 바와같이, 메인 실린더 몸체(322)에 센서부착레일(326)과 플레이트(327)를 설치하기 위한 한쌍의 홈(369a,369b)이 메인 실린더 몸체(322)의 대향 양측면을 따라 형성되어 있다. 홈쌍(369a,369b)은 각각 축선방향으로 대칭적으로 형성되어 있다.
도 24에 도시된 바와같이, 슬라이드 테이블(324)은 한쌍의 볼트(370a,370b)로 실제로 L자형 단면을 갖추도록 실제로 수직으로 나사로 체결되어 있는 엔드 플레이트(374)와 테이블(372)로 구성되어 있다. 유동부시(368)는 엔드 플레이트(374)에 형성된 반원형구멍(376)에 의해 형성되어 있다. 예시되지 않은 버퍼부재가 엔드 플레이트(374)에 형성된 구멍에 삽입되어 있다. 버퍼부재는 엔드 플레이트(374)가 슬라이드 테이블(324)의 변위의 하나의 끝위치에서 메인 실린더 몸체(322)의 끝면에 대하여 접합할때 발생되는 충격을 완화하는 작용을 한다.
테이블(372)은 메인 실린더 몸체(322)(도 24 및 도 26참조)의 부착구멍(340a,340b)과 연통하고 대응하는 한쌍의 관통구멍(382a,382b)과 4개의 공작물 유지구멍(380a 내지 380d)으로 형성되어 있다. 본 실시예에서, 메인 실린더 몸체(322)는 테이블(372)의 상면측으로 부터 관통구멍(382a,382b)을 통해 부착구멍(340a,340b)내로 예시하지 않은 볼트를 체결하여 다른 부재에 부착될 수 있다. 대안으로서, 메인 실린더 몸체(322)는 메인 실린더 몸체(322)(도 28참조)의 바닥면측으로 부터 부착구멍(340a,340b)내로 볼트를 직접 체결하므로서 부착될 수 있다. 상기한 바와같이, 조작자는 선형 액츄에이터(320)의 부착방향을 상하방향으로 선택할 수 있다.
도 30에 도시된 바와같이, 길이방향으로 뻗은 한쌍의 가이드섹션(384a,384b)은 일체로 형성되어 슬라이드 테이블(324)의 하면에 돌출한다. 볼구름홈(386a,386b)은 가이드섹션(384a,384b)의 대향측면상에서 길이방향을 따라서 형성되어 있다. 스토퍼 블럭(336)의 모양에 대응하는 축선방향을 따라 소정의 길이 뻗어 있는 절결부(388)는 소정의 거리간격으로 서로 이격된 한쌍의 가이드섹션(384a,384b)사이에 형성되어 있다(도 28 및 도 30참조).
도 28에 도시된 바와같이, 슬라이드 테이블(324)을 위한 변위량 조절 부재로서 작용하는 조절볼트(390)는 로크너트(392)에 의해 절결부(388)의 한끝에서 나사체결 되어 있다. 예를들면 우레탄과 같은 고무로 이루어진 버퍼부재(394)는 조절볼트(390)의 전방끝에 설치되어 있다.
본 실시예에서, 조절볼트(390)는 슬라이드 테이블(324)과 일체로 변위된다. 슬라이드 테이블(324)의 변위량은 스토퍼 블럭(336)에 대하여 버퍼부재(394)의 접합에 의해 조절된다. 조절볼트(390)와 버퍼부재(394)는 길이방향을 따라 슬라이드 테이블(324)의 한끝의 중앙부분에 대략 구비되어 있다. 따라서, 조절볼트(390)와 버퍼부재(394)는 슬라이드 테이블(324)이 변위의 끝위치에 도달할때 슬라이드 테이블(324)에 적용된 임의의 가압력을 감소시키는 작용을 한다. 결과적으로 슬라이드 테이블(324)상에 위치되는 예시되어 않은 공작물은 임의의 가압되는 부하의 전달이 방지될 수 있다.
메인 실린더 몸체(322)의 축선방향을 따라 슬라이드 테이블(324)을 안내하기 위한 가이드기구는 슬라이드 테이블(324)의 하면에 돌출하도록 형성되어 있고 한쌍의 볼구름홈이 양측면의 상호대향한 면에 형성된 가이드섹션(384a,384b)과, 메인 실린더 몸체(322)의 상면에 돌출하도록 일체로 형성되고 볼순화구멍(330a,330b)과 볼구름홈(332a,332b)과 각각 함께 형성된 가이드섹션(384a,384b)에 의해 분리되는 가이드블럭쌍(328a,328b)으로 구성되어 있다. 커버(396a,396b)와 예시되지 않은 스크래퍼는 각각 가이드블럭(328a,328b)의 양끝에 나사로 체결되어 있다.
도 25에 도시된 바와같이, 센서부착레일(326)과 플레이트(327)는 메인 실린더 몸체(322)의 양측면상에 서로 대향 방식으로 탈착가능하게 구비되어 있다. 길이방향을 따라 서로 실제로 평행하게 2개의 스트립의 길다란 홈(398a,398b)이 센서부착레일(326)의 한측면상에 형성되어 있다. 예시되지 않은 센서가 길다란 홈(398a,398b)에서 소정의 위치에 선택적으로 체결되어 있다. 단면이 ＜자 모양으로 된 절결부(400)가 센서부착레일(326)의 다른측면에 길이방향을 따라 형성되어 있다. 절결부(400)의 설치는 나중에 설명하는 자석부재를 매끄럽게 변위시킬 수 있게 한다.
센서부착레일(326)과 메인 실린더 몸체(322)상의 플레이트(327)를 유지하기 위해서 홈(369a,369b)의 단면형상에 상응하여 폭이 넓은 단차 섹션을 갖춘 로킹섹션(locking sections)(402a,402b)이 각각 센서부착레일(326)과 플레이트(327)상에 길이방향을 따라 형성되어 있다.
본 실시예에서, 로킹섹션(402a,402b)은 홈(369a,369b)의 끝으로 부터 삽입되어 있고 로킹섹션(402a,402b)은 홈(369a,369b)을 따라 미끄러지도록 되어 있다. 그러므로, 센서부착레일(326)과 플레이트(327)는 메인 실린더 몸체에 편리하게 설치되거나 또는 센서부착레일(326)과 플레이트(327)는 메인 실린더 몸체(322)로부터 편리하게 탈착될 수 있다. 상기한 바와같이, 센서부착레일(326)과 플레이트(327)는 이들이 각각의 홈(369a,369b)에 선택적으로 설치되고 그리고 이들이 서로 교환가능하도록 형성되어 있다.
도 25 및 도 29에 도시된 바와같이, 센서부착레일(326)과 플런저(327)는 각각 길이방향에 실제로 수직인 방향으로 센서부착레일(326)과 플레이트(327)를 통해 관통되는 한쌍의 나사구멍(404)으로 형성된다. 나사구멍(404)은 소정의 간격으로 서로 이격되어 있고 각각은 환형 단차 섹션을 갖추고 있다. 실제로 경사진 전방끝을 갖춘 작은 나사(고정부재)(406,408)가 각각의 나사구멍(404)내로 체결된다.
센서부착레일(326)내로 체결되는 작은나사(406)는 측면방향을 따라 작은 나사(406)를 통해 관통되는 통로(410)를 갖추고 있다(도 29참조). 통로(410)는 각각 제1유체 입/출구포트(364a,364b)(또는 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)와 연통하도록 형성되어 있다. 플레이트(327)내로 체결되는 작은나사(408)는 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)(또는 제 1유체 입/출구포트(364a,364b))를 폐쇄하는 작용을 한다.
환형돌출부(412)는 작은나사(406,408)의 전방끝에 형성되어 있다. 센서부착레일(326)과 플레이트(327)는 환형돌출부(412)를 제1유체 입/출구포트(364a,364b)또는 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)내에 각각 삽입하여 끼우므로서 메인 실린더 몸체(322)의 측면에 위치시키고 설치할 수 있다. 삼각형 단면을 갖춘 O링(414)은 기밀방식으로 그 연결부를 유지하기 위해서 작은나사(406,408)의 환형돌출부(412)의 각각에 설치되어 있다. 도 25에 도시된 바와같이, 작은나사(406,408)는 센서부착레일(326)과 플레이트(327)의 내측으로부터 각각의 나사구멍(404)내로 체결된다.
도 25 및 도 27에 도시된 바와같이, 금속고정구(418)는 메인 실린더 몸체(322)의 측면에 나사(416)로 체결된다. 끝이 수직으로 그리고 측면으로 4개의 방향으로 위치하는 금속고정구(418)의 부분이 원통형 자석부재(422)가 유지되는 멈춤쇠(420)를 형성하도록 구부러져 있다. 본 실시예에서 자석부재(422)는 센서부착레일(326)을 따라 형성된 ＜자형 단면을 갖춘 절결부(400)와 대면하도록 배열되어 있다.
본 발명의 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)는 상기한 바와같이 기본적으로 구성되어 있다. 다음에, 그작용 기능 및 효과가 설명될 것이다.
먼저, 조작자는 센서부착레일(326)이 메인 실린더 몸체(322)의 한측면에 설치되고 플레이트(327)가 메인 실린더 몸체(322)의 다른측면에 설치되도록 선택한다. 본 실시예에서, 센서부착레일(326)과 플레이트(327)는 이들을 한쌍의 홈(369a,369b)내로 삽입하여 끼우는 한편 메인 실린더 몸체(322)의 측면에서 동일한 형상을 갖추도록 형성된 한쌍의 홈(369a,369b)을 따라 로킹섹션(402a,402b)을 미끄러지므로서 메인 실린더 몸체(322)에 통상 설치될 수 있다.
센서부착레일(326)과 플레이트(327)가 메인 실린더 몸체(322)에 설치될 때, 작은나사쌍(406,408)은 센서부착레일(326)과 플레이트(327)의 내면으로부터 나사체결된다(도 25참조). 작은나사(406,408)의 전방끝에 형성된 환형돌출부(412)는 각각 제 1유체 입/출구포트(364a,364b)및 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)내에 삽입되어 끼워진다. 그러므로 센서부착레일(326)과 플레이트(327)는 메인 실린더 몸체(322)의 소정의 위치에 위치하고 유지된다(도 29참조).
결과적으로 예시되지 않은 튜브피팅이 센서부착레일(326)의 나사구멍(404)내로 체결된다. 이러한 과정 동안에 나사구멍(404)의 모든 주위에서 바깥쪽으로 돌출하는 장애물은 없다. 그러므로, 튜브피팅은 종래의 기술에 비하여 편리하게 설치될 수 있다.
상기한 바와같이 사전조작을 한 후에 예시되지 않은 유압 공급원으로부터 공급된 가압된 유체는 작은나사(406)에서 통로(410)를 통해 하나의 제 1유체 입/출구포트(364b)내로 유입된다. 이러한 상태에서, 다른 유체 입/출구포트(364a)는 예시하지 않은 방향제어밸브를 작동시키므로서 대기로 개방된다.
가압된 유체는 제 1유체 입/출구포트(364b)와 연통하는 제 1실린더챔버(362b)로 공급되고 화살표(X1)(도 29참조)방향으로 피스톤(348)을 가압한다. 피스톤로드(350)와 결합되는 엔드 플레이트(374)는 피스톤(348)의 가압작용에 따라서 화살표(X1)방향으로 변위된다. 슬라이드 테이블(324)은 베어링 볼(329)의 구름작용에 따라서 엔드 플레이트(374)와 일체로 변위된다.
슬라이드 테이블(324)과 함께 변위되는 조절볼트(390)에 설치된 버퍼부재(394)는 화살표(X1)방향쪽으로 슬라이드 테이블(324)의 변위과정동안에 스토퍼 블럭(336)에 대하여 접합한다. 그러므로, 슬라이드 테이블(324)은 변위의 끝위치에 도달한다. 본 실시예에서, 슬라이드 테이블(324)의 변위량은 로크너트(392)를 풀고 그리고 조절볼트(390)의 나사체결량을 조절하므로서 증감적으로 변화될 수 있다.
슬라이드 테이블(324)이 상기한 방향과 반대방향으로 변위될 때, 가압된 유체는 다른 제 1 입/출구포트(364a)에 공급된다. 공급된 가압유체는 다른 제 1실린더챔버(362a)내로 도입되고 그리고 피스톤(348)을 화살표(X2)방향으로 가압한다. 슬라이드 테이블(324)은 피스톤(348)의 가압작용에 따라서 피스톤로드(350)와 결합되는 엔드 플레이트(374)의 도움으로 화살표(X2)방향으로 변위된다. 슬라이드 테이블(324)은 엔드 플레이트(374)상에 구비된 예시되지 않은 버퍼부재가 메인 실린더 몸체(322)의 끝면에 접합할때 변위의 끝위치에 도달한다.
본 발명의 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)의 경우에, 센서부착레일(326)은 메인 실린더 몸체(322)에 나사로 체결되지 않는다. 대신, 센서부착레일(326)은 홈(369a,369b)을 따라서 센서부착레일(326)의 로킹섹션(402a)을 삽입하고 끼우므로서 메인 실린더 몸체(322)의 홈(369a,369b)에 편리하게 설치할 수 있다. 제 1 및 제 2실린더챔버(362a,362b)의 내벽면과 메인 실린더 몸체(322)(도 30참조)의 외벽면 사이의 두께(L5)는 종래의 기술에 비해 얇게 형성될 수 있다.
상기한 바와같이, 본 발명의 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)의 경우에, 제 1및 제 2실린더챔버(362b,363b)의 내벽면과 메인 실린더 몸체(322)의 외벽면 사이의 두께(L5)는 종래기술에 비하여 얇게 형성될 수 있다. 따라서, 가로방향으로 메인 실린더 몸체(322)의 폭(W1)은 줄어들 수 있다. 결과적으로 전체적인 장치가 소형이고 경량으로 될 수 있다.
본 발명의 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)의 경우에, 파이핑 작용이 수행될때 제 1유체 입/출구포트(364a,364b)와 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)의 모든 주위에 바깥쪽으로 돌출한 장애물이 없다. 그러므로 튜브피팅은 제 1유체 입/출구포트(364a,364b)및 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)에 편리하게 연결될 수 있다.
다음에, 본 발명의 제 7실시예에 따른 선형 액츄에이터(430)가 도 32 내지 도 35에 도시되어 있다. 다음 실시예에서, 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)와 동일한 요소는 동일번호를 부여하고, 그리고 단지 다른 구성요소만 설명할 것이다.
제 7실시예에 따른 선형 액츄에이터(430)의 경우에, 센서부착레일(442)은 각각 한끝에서 감소된 직경을 갖춘 오리피스(432)를 갖추고 있고 그리고 제 1유체 입/출구포트(364a,364b)(제 2유체 입/출구포트(365a,365b))와 연통하는 한쌍의 제 1나사구멍(434)과, 각각 전방끝에서 경사진 섹션(436)을 갖춘 작은나사(438)가 나사체결된 한쌍의 제 2나사구멍(440)으로 구비되어 있다.
말하자면, 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)의 경우에, 작은나사(406)는 통로(410)를 갖추어서 작은나사(406)는 센서부착레일(326)을 메인 실린더 몸체(322)에 고정하는 작용과 가압된 유체를 제 1유체 입/출구포트(364a,364b)(제 2유체 입/출구포트(365a,365b))에 공급하는 작용 양자를 갖추고 있다. 하지만, 제 7실시예 따른 선형 액츄에이터(430)는 각각의 작용이 서로 분리되어 있다는 점에서 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)와 다르다.
본 실시예에서, 유압공급원과 연통하는 튜브를 연결하기 위한 예시되지 않은 튜브피팅은 제 1나사구멍(434)내로 체결된다. 한편, 작은나사(438)는 제 2나사구멍(440)내로 체결된다. 경사진 섹션(436)은 작은나사(438)의 나사작용에 따라서 메인 실린더 몸체(322)의 외벽면을 가압한다. 그러므로, 센서부착레일(442)은 메인 실린더 몸체(322)상에 위치하고 유지된다.
작은나사(438)를 체결하기위한 나사구멍(446)은 플레이트(444)를 관통하여 형성되어 있다. 플레이트(444)는 나사구멍(446)내로 체결된 작은나사(438)에 의해 메인 실린더 몸체(322)상에서 소정의 위치에 위치하고 유지된다.
부호(448)는 링모양 시일패킹을 나타낸다. 센서부착레일(442)의 원형 오목부(449)에 설치되는 시일패킹(448)은 기밀방식으로 오리피스(432)와 제 1유체 입/출구포트(364a,364b)(제 2유체 입/출구포트(365a,365b))사이에서 커넥팅 섹션을 유지하는 기능을 한다. 한편, 플레이트(444)의 원형오목부(449)에 설치된 시일패킹(448)은 기밀방식으로 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)(제 1유체 입/출구포트(364a,364b))를 폐쇄하는 작용을 한다.
다음에 본 발명의 제 8실시예에 따른 선형 액츄에이터(450)가 도 36 내지 도 38에 도시되어 있다.
제 8실시예에 따른 선형 액츄에이터(450)의 경우에, 센서부착레일(458)은 각각이 한끝에서 감소된 직경으로 된 오리피스(452)를 갖추고 있고 그리고 제 1유체 입/출구포트(364a,364b)(제 2유체 입/출구포트(365a,365b))와 연통하는 한쌍의 나사구멍(454)과 한쌍의 볼트 부착구멍(456)으로 형성되어 나사구멍(454)과 볼트 부착구멍은 센서부착레일(458)을 통해 관통되어 있다. 한쌍의 고정블럭(460)이 분리되어 형성되어 있는데, 이것은 메인 실린더 몸체(322)의 홈(369a,369b)을 따라 삽입되고 끼워져 있다. 홈(369a,369b)의 모양에 대응하여 수직방향으로 폭이 넓은 로킹 섹션(462)은 고정블럭(460)의 각각에 형성되어 있다.
본 실시예에서, 고정블럭쌍(460)은 볼트 부착구멍(456)내로 삽입된 볼트(464)를 사용하여 체결된다. 그러므로, 센서부착레일(458)은 메인 실린더 몸체(322)상에 위치하고 유지된다.
작은나사(438)를 체결하기 위한 나사구멍(468)은 플레이트(466)를 통해 관통하도록 형성된다. 작은나사(438)는 나사구멍(468)내로 체결된다. 제 2유체 입/출구포트(365a,365b)(제 1유체 입/출구포트(364a,364b))는 작은나사(438)의 전방끝과 결합되는 패킹(470)에 의해 기밀방식으로 폐쇄된다.
제 7실시예에 따른 선형 액츄에이터(430)와 제 8실시예에 따른 선형 액츄에이터(450)는 작은나사와 볼트가 센서부착레일(442)과 플레이트(44)의 외면으로 부터 부착되는 점에서 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)와 다르다.
제 7 및 제 8실시예에 다른 선형 액츄에이터(430,450)는 제 6실시예에 따른 선형 액츄에이터(320)의 기능, 작용효과가 동일하고 그 설명은 생략한다.
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Claims (20)

  1. 관통구멍(42)에 형성된 실린더챔버(62a,62b)를 따라서 미끄럼가능하게 배치된 피스톤(48)의 변위작용에 의해 슬라이드 테이블(24)을 왕복시키기 위해서, 축선방향으로 메인 실린더 몸체(22)를 통해 관통되는 관통구멍(42)이 형성된 상기 메인 실린더 몸체(22)를 포함하는 실린더기구;
    상기 슬라이드 테이블(24)의 바닥면 또는 상기 메인 실린더 몸체(22)의 상면에서 돌출하도록 상기 축선방향을 따라 형성된 가이드섹션(84)과, 상기 메인 실린더 몸체(22)의 상기 상면에 또는 상기 슬라이드 테이블(24)의 상기 바닥면에 소정의 간격으로 서로 대향하여 이격되어 형성된 한쌍의 가이드블럭(28a,28b)을 포함하는 상기 메인 실린더 몸체(22)의 상기 축선방향을 따라 상기 슬라이드 테이블(24)을 안내하기 위한 가이드기구(26);
    상기 슬라이드 테이블(24)의 한측면으로부터, 또는 상기 메인 실린더 몸체(22)의 한측면으로부터 임의의 부착방향으로 메인 실린더 몸체(22)를 다른 부재에 선택적으로 부착하기 위한 부착부재; 및
    상기 슬라이드 테이블(24)과 상기 메인 실린더 몸체(22)중의 하나에 형성된 절결부(88)에 구비되어 상기 메인 실린더 몸체(22)의 상면과 상기 슬라이드 테이블(24)의 하측 사이에 공간을 제공하는, 상기 슬라이드 테이블(24)의 변위량을 조절하기 위한 변위량 조절부재(90); 로 구성되며, 상기 변위량 조절부재(90)는, 상기 슬라이드 테이블(24)상에 실질적인 중간위치에 연결되어 있으며, 상기 축선방향 및 상기 절결부(88)를 따라 상기 슬라이드 테이블(24)과 일체로 변위가능한 조절볼트(80)로 더 구성되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 변위량 조절부재는 상기 조절볼트(90)의 접합에 따라서 상기 슬라이드 테이블(24)의 변위량을 조절하기 위한 스토퍼 블럭(36)으로 구성되어 있으며, 상기 슬라이드 테이블(24)의 상기 변위량은 상기 조절볼트(90)의 나사체결량의 증감에 따라서 조절되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 부착부재는 상기 슬라이드 테이블(24)의 실제로 중앙위치에서 형성된 관통구멍(82a,82b)과, 상기 관통구멍(82a,82b)과 연통하며 상기 메인 실린더 몸체(22)의 상기 축선방향에 실제로 수직방향으로 상기 메인 실린더 몸체(22)를 통해 관통하도록 형성된 부착구멍(40a,40b)을 포함하고 있고, 그리고 상기 메인 실린더 몸체(22)에 형성된 관통구멍(42)이 가로방향으로 측면쪽으로 상기 메인 실린더 몸체(22)의 축선으로 부터 소정으 거리만큼 편위되어 형성된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  4. 제 2 항에 있어서, 탄성부재로 이루어진 버퍼부재(94)가 상기 스토퍼 블럭(36)에 대하여 접합된 상기 조절볼트(90)의 한끝에 구비된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 가이드기구(26)는 상기 가이드블럭(28a,28b)과 상기 가이드섹션(84)을 따라 형성된 무한순환트랙을 통해 구르기 위한 구름요소(104)를 포함하고 있고, 그리고 상기 무한순환트랙은 볼순환구멍(30a,30b)과 볼구름홈(32a,32b,86a,86b)에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 가이드기구(26)는 상기 슬라이드 테이블(24)의 상기 바닥면상에서 돌출하도록 형성된 상기 가이드섹션(84)과, 상기 가이드섹션(84)이 가이드블럭사이에 배치되어 상기 메인 실린더 몸체(22)의 상기 상면에서 상기 소정의 간격으로 서로 대향하여 이격된 상기 가이드블럭쌍(28a,28b)을 포함하고 있고, 여기에서 상기 볼구름홈(32a,32b,86a,86b)은 각각 상기 구름요소(104)를 통해 미끄럼 가능한 상기 가이드섹션(84)과 상기 가이드블럭(28a,28b)사이에서 슬라이딩 섹션에 형성되고 그리고 상기 볼순환구멍(30a,30b)은 상기 각각의 가이드블럭(28a,28b)에서 상기 축선방향을 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 가이드기구(26)는 상기 슬라이드 테이블(24)의 상기 바닥면에서 돌출하도록 형성된 상기 가이드섹션(84)과, 상기 가이드섹션(84)이 중간에 위치한 상태로 상기 메인 실린더 몸체(22)의 상기 상면상에 소정의 거리를 두고 상호 이격되어 대향형성된 상기 가이드블럭쌍(28a,28b)을 포함하고 있으며, 여기에서 상기 볼구름홈(32a,32b,86a,86b)은 각각 상기 구름요소(104)를 통해 미끄럼가능한 상기 가이드섹션(84)과 상기 가이드블럭(28a,28b) 사이에서 슬라이딩 섹션에 형성되고, 상기 볼순환구멍(30a,30b)은 상기 가이드섹션(84)을 통해 실질적으로 상호평행하게 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 가이드기구(26)는 상기 메인 실린더 몸체(22)의 상기 상면상에서 돌출하도록 형성된 상기 가이드섹션(122)과, 상기 슬라이드 테이블(124)의 상기 바닥면 상에서 소정의 간격으로 서로 대향하여 이격된 상기 가이드블럭쌍(126a,126b)을 포함하고 있고, 여기에서 상기 볼구름홈은 각각 구름요소(104)를 통해 미끄럼가능한 상기 가이드섹션(122)과 상기 가이드블럭 사이에서 슬라이딩 섹션에 형성되어 있고, 그리고 상기 볼순환구멍은 상기 축선방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 축선방향으로 뻗어 있는 한쌍의 볼순환구멍(142a, 142b)이 상기 가이드섹션(122)을 통해 서로 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  10. 실린더챔버(264a,264b)가 형성된 메인 실린더 몸체(222);
    상기 메인 실린더 몸체(222)의 축선방향을 따라 왕복가능한 슬라이드 테이블(224);
    상기 실린더챔버(264a,264b)를 따라 미끄럼 가능하게 배치된 피스톤(248)의 변위작용에 따라서 상기 슬라이드 테이블(224)을 왕복시키기 위한 실린더기구;
    상기 메인 실린더 몸체(222)의 상기 축선방향을 따라 상기 슬라이드 테이블(224)을 안내하기 위해 상기 메인 실린더 몸체(222)에 부착되어 있고 그리고 구름작용에 따라 복수의 구름요소(292)를 순환시키기 위한 통로로 형성된 편평한 가이드블럭(284)을 갖춘 가이드기구(228); 및
    상기 메인 실린더 몸체(222)상에 상기 가이드블럭(284)을 유지하기 위해 상기 메인 실린더 몸체(222)와 상기 가이드블럭(284)사이에 배치된 유지부재(226a, 226b)로 구성되며, 상기 유지부재는 상기 가이드블럭(284)을 상기 메인 실린더 몸체(222)에 나사식으로 부착하는 볼트부재쌍과 상기 메인 실린더 몸체(222) 및 상기 가이드블럭(284) 각각에 형성된 핀삽입구멍(232a,232b)에 삽입되어 끼워지는 핀부재쌍(226a,226b)으로 구성되고, 상기 핀부재(226a,226b)는 상기 볼트부재가 위치하는 축선에서 측방향으로 오프셋되어 있는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 축선방향을 따라 한쌍의 돌출부(300a,300b)가 그 각각이 상기 가이드블럭(284)의 한끝에서 형성된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  12. 제 10 항에 있어서, 상기 메인 실린더 몸체(222)는 상기 슬라이드 테이블(224)의 변위량을 조절하기 위해 변위량 조절부재(240)로 구비된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  13. 유체 입/출구포트(364a,364b,365a,365b)와 연통하는 실린더챔버(362a,362b, 363a,363b)와, 축선방향을 따라 뻗어 있도록 측면에 형성된 홈(369a,369b)을 포함하는 메인 실린더 몸체(322);
    상기 메인 실린더 몸체(322)의 상기 축선방향을 따라 왕복가능한 슬라이드 테이블(324);
    상기 실린더챔버(362a,362b,363a,363b)를 따라 미끄럼가능하게 배열된 피스톤(348)의 변위작용에 따라서 상기 슬라이드 테이블(324)을 왕복시키는 실린더기구; 및
    소정의 위치에 센서를 설치하기 위해 길다란 홈(398a,398b)이 형성되고 그리고 상기 홈(369a,369b)중의 하나를 따라 삽입되어 끼워지고 상기 홈(369a,369b)중의 하나에 의해 유지되도록 로킹섹션(402a,402b)을 구비하며, 상기 메인 실린더 몸체(322)의 상기 측면상에서 소정의 위치에 자신을 고정하기 위한 고정부재를 포함하는 블럭부재(326); 로 구성되며,
    상기 고정부재는 상기 블럭부재(326)를 관통하도록 형성된 구멍내로 삽입되는 부착부재를 포함하고, 상기 유체 입/출구포트와 연통하는 통로가 상기 부착부재를 통해 형성된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 고정부재는 고정블럭(460)이 볼트(464)에 의해 체결되도록 나사구멍(404)내로 나사체결되는 작은나사(406,408)중의 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  15. 제 13 항에 있어서, 상기 로킹섹션(402a,402b)은 상기 블럭부재(326)와 일체로 형성되고, 상기 로킹섹션(402a,40b)은 상기 블럭부재(326)로부터 분리되어 구비된 고정블럭(460)상에 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  16. 유체 입/출구포트(364a,364b,365a,365b)와 연통하는 실린더챔버(362a,362b, 363a,363b)와, 축선방향을 따라 뻗어 있도록 측면에 형성된 홈(369a,369b)을 포함하는 메인 실린더 몸체(322);
    상기 메인 실린더 몸체(322)의 상기 축선방향을 따라 왕복가능한 슬라이드 테이블(324);
    상기 실린더챔버(362a,362b,363a,363b)를 따라 미끄럼가능하게 배열된 피스톤(348)의 변위작용에 따라서 상기 슬라이드 테이블(324)을 왕복시키는 실린더기구; 및
    소정의 위치에 센서를 설치하기 위해 길다란 홈(398a,398b)이 형성되고 그리고 상기 홈(369a,369b)중의 하나를 따라 삽입되어 끼워지고 상기 홈(369a,369b)중의 하나에 의해 유지되도록 로킹섹션(402a,402b)을 구비하는 블럭부재; 로 구성되며,
    상기 홈(369a,369b)은 상기 메인 실린더 몸체(322)의 상기 서로 대향한 측면쌍에 형성되어 있고 상기 블럭부재(326)는 고정부재에 의해 상기 메인 실린더 몸체(322)의 상기 측면중 하나에서 상기 홈(369a,369b)에 고정되고, 상기 유체 입/출구포트(364a,364b,365a, 365b)를 폐쇄하기 위한 폐쇄플레이트(327)는 상기 측면중 다른 하나에서 상기 홈(369a,369b)에 고정되며 그리고 상기 블럭부재(326)와 상기 폐쇄플레이트(327)는 서로 교환가능한 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  17. 제 13 항에 있어서, 상기 블럭부재(326)의 한측면은 절결부를 갖추어 형성되어 상기 슬라이드 테이블(324)에 고정된 자석부재(422)가 상기 절결부에 면하는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  18. 제 13 항에 있어서, 상기 메인 실린더 몸체(322)의 축선방향을 따라 상기 슬라이드 테이블(324)을 안내하기 위한 가이드기구가 상기 메인 실린더 몸체(322)와 상기 슬라이드 테이블(324)사이에 구비된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  19. 제 13 항에 있어서, 상기 슬라이드 테이블(324)의 한끝에서 중앙위치에 구비된, 상기 슬라이드 테이블(324)의 변위량을 조절하기위한 변위량 조절부재(390)로 더 구성된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
  20. 제 13 항에 있어서, 상기 슬라이드 테이블(324)의 한측으로 부터 또는 상기 메인 실린더 몸체(322)의 한측으로 부터 임의의 부착방향으로 상기 메인 실린더 몸체(322)를 다른 부재에 선택적으로 부착하기 위한 부착부재(340)로 더 구성된 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
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