JP2003222104A - リニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】簡単な構成によって廉価に製造することができ
るとともに、組み付け作業性の向上を図る。 【解決手段】アクチュエータボディ１２の内部に設けら
れ、圧力流体の作用下に変位するピストン４６と、前記
ピストン４６と一体的に連結され、直線状に変位するス
ライドテーブル２０と、該スライドテーブル２０に螺合
され、且つピストン４６の係合孔５２に軸部６２が挿入
されるロッド５８と、前記アクチュエータボディ１２の
端部に連結されたエンドブロック１６ａ、１６ｂと、前
記エンドブロック１６ａ、１６ｂの端面に設けられ、ス
ライドテーブル２０の変位量を調整するストッパ７０
ａ、７０ｂとを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体出入ポートか
ら圧力流体を導入することにより、アクチュエータボデ
ィの軸線方向に沿ってスライダを往復動作させるリニア
アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ワーク等の搬送手段としてリ
ニアアクチュエータが用いられている。

【０００３】例えば、実用新案登録第２６０７４８６号
公報には、この種の従来技術に係るリニアアクチュエー
タが開示されている。図１３に示すように、このリニア
アクチュエータ１では、シリンダ本体２の内部に一対の
シリンダ室３ａ、３ｂが形成され、該シリンダ室３ａ、
３ｂに連通する長孔４がシリンダ本体２の上面から下面
にかけて貫通して形成されている。前記シリンダ室３
ａ、３ｂの内部には、それぞれ別個独立の一対のピスト
ン５ａ、５ｂがそれぞれ摺動自在に挿入され、前記一対
のピストン５ａ、５ｂの間にはシリンダ本体２の下方側
から鉛直方向に沿って挿入されるロッド６が介装されて
いる。

【０００４】前記ロッド６は、シリンダ本体２の上面に
軸線方向に変位自在に配設されるテーブル７と一体的に
連結されている。また、シリンダ本体２の端部には、シ
リンダ室３ａ、３ｂを閉塞するエンドカバー８ａ、８ｂ
がそれぞれ装着されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術に係るリニアアクチュエータ１では、コストの
削減および組み付け作業性の向上を図るために部品点数
の削減が要請されている。

【０００６】また、シリンダ本体２の下面まで長孔４が
貫通して開口しているため、前記長孔４より塵埃等がシ
リンダ室３ａ、３ｂの内部に進入するとともに、シリン
ダ室３ａ、３ｂの内部で発生した塵埃等が長孔４を通じ
て外部に排出されるという問題がある。

【０００７】さらに、シリンダ室３ａ、３ｂの内周面に
は、摺動するピストン５ａ、５ｂの外周面の摺動抵抗を
低減するために別途仕上げ加工を行っているが、加工作
業が煩雑であるとともに、加工コストが高いという問題
がある。

【０００８】本発明は、前記の要請に応じるべくなされ
たものであり、簡単な構成によって廉価に製造すること
ができるとともに、組み付け作業性の向上を図ることが
可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入す
ることにより、ボディの軸線方向に沿ってスライダを往
復動作させるリニアアクチュエータであって、軸線方向
に沿って貫通する貫通孔を有するとともに、前記貫通孔
と連通する開口部が前記スライダ側の側面に形成される
ボディと、前記貫通孔の内部に軸線方向に沿って変位自
在に設けられる単一のピストンと、前記スライダの動作
方向に対して略直交する方向に連結され、且つ前記ピス
トンの軸線方向に対して略直交する方向に形成される係
合孔に前記開口部を介して挿入されるロッドと、を備え
ることを特徴とする。

【００１０】本発明によれば、流体出入ポートから圧力
流体を導入することにより該圧力流体の作用下に単一の
ピストンを変位させ、該ピストンと一体的に装着された
ロッドを介してスライダをボディの軸線方向に沿って往
復動作させている。

【００１１】そして、スライダと略直交して一体的に連
結されたロッドを開口部を介して単一のピストンの係合
孔に挿入することにより、前記スライダとピストンとを
一体的に組み付ける。従って、簡便に前記スライダとピ
ストンとを一体的に組み付けることができるため、組み
付け作業性の向上を図ることができる。

【００１２】また、前記係合孔を、挿入される前記ロッ
ドの直径より大きな直径で形成することにより、ロッド
を挿入する際、より一層容易に挿入することができる。
また、ピストンとスライダとが同一軸線上で変位しない
場合においても、該ピストンとスライダとの変位のずれ
を吸収し、スライダを円滑に変位させることができる。

【００１３】さらに、前記係合孔の直径を、前記ピスト
ンの軸線方向の寸法より軸線方向と直交する方向の寸法
を大きく形成することにより、スライダとピストンとの
変位のずれをより一層好適に吸収することができる。

【００１４】さらにまた、前記貫通孔の内部に円筒部材
を挿入し、前記円筒部材の内壁に沿って前記ピストンを
摺動自在に設けることにより、ピストンが摺動する貫通
孔の内周面の加工が不要となるため、製造工程を簡略化
し、製造時間の短縮を図ることができる。

【００１５】さらにまた、前記ボディのスライダ側と反
対の側面に前記ボディの軸線と同一軸線上に２箇所以上
の位置決め用孔を形成することにより、孔部が同一軸線
上に形成されるため、ボディの位置決めがより一層容易
となる。

【００１６】さらにまた、前記ピストンを樹脂製材料に
よって一体的に形成することにより、簡便に組み付けが
できるとともに、部品点数を削減することができるた
め、コストの削減を図ることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明に係るリニアアクチュエー
タについて好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照し
ながら以下詳細に説明する。

【００１８】図１において、参照符号１０は、本発明の
実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。

【００１９】このリニアアクチュエータ１０は、基本的
には、直方体状のアクチュエータボディ（ボディ）１２
と、該アクチュエータボディ１２の軸線方向に沿った両
端部にねじ１４を介して連結される一組のエンドブロッ
ク１６ａ、１６ｂと、前記アクチュエータボディ１２の
上面部に膨出して一体的に形成されたガイド部１８に沿
って直線状に往復動作するスライドテーブル（スライ
ダ）２０とから構成される。

【００２０】アクチュエータボディ１２の上面部には、
略半長円状の切欠部２２が４箇所に形成され、前記切欠
部２２には底面部まで貫通する取付用孔部２４が形成さ
れている（図５および図８参照）。また、アクチュエー
タボディ１２の上面には、後述するロッド５８が自在に
変位するための略長円状の開口部２６が形成されている
（図２および図１０参照）。

【００２１】さらに、図２に示されるように、アクチュ
エータボディ１２の内部には、軸線方向に沿って、且つ
前記開口部２６に連通する断面略円形状の貫通孔２８が
形成される。そして、前記アクチュエータボディ１２の
底面部には、図７に示されるように、略長孔形状の位置
決め孔３０ａと、略円形状の位置決め孔３０ｂとがアク
チュエータボディ１２の軸線と同一軸線上に形成されて
いる。前記位置決め孔３０ａ、３０ｂを設けることによ
り、リニアアクチュエータ１０を図示しない平面上に設
置する際、前記平面上に設置された図示しない位置決め
ピン等を介して確実にリニアアクチュエータ１０の位置
決めを行うことができる。

【００２２】さらにまた、図１に示されるように、アク
チュエータボディ１２の側面部には、軸線方向に沿って
略平行に延在する二条のセンサ取付用溝３２ａ、３２ｂ
を有するレール部材３４がアクチュエータボディ１２の
ねじ穴３５（図１０参照）に螺合されるねじ３６を介し
て装着される。

【００２３】センサ取付用溝３２ａ、３２ｂが形成され
たレール部材３４の反対側の側面には、軸線方向に沿っ
て断面三角形状の凹部３８が形成されている（図３およ
び図４参照）。

【００２４】前記エンドブロック１６ａ、１６ｂには、
図２に示されるように、アクチュエータボディ１２の軸
線方向に沿ってねじ穴４０ａ、４０ｂが形成され、前記
ねじ穴４０ａ、４０ｂにねじ部を有する栓部材４２ａ、
４２ｂが螺合されることにより閉塞されている。なお、
前記ねじ穴４０ａ、４０ｂは、後述する流体出入ポート
６６ａ、６６ｂに連通するとともに、軸線方向に沿っ
て、且つねじ穴４０ａ、４０ｂより縮径するオリフィス
４４ａ、４４ｂを介して貫通孔２８と連通している。

【００２５】前記アクチュエータボディ１２の貫通孔２
８には、開口部２６からエンドブロック１６ａ、１６ｂ
側にそれぞれ一組の円筒部材４５ａ、４５ｂが内嵌され
ている。前記円筒部材４５ａ、４５ｂは、エンドブロッ
ク１６ａ、１６ｂの内部にも所定長突出して内嵌されて
いる。なお、前記円筒部材４５ａ、４５ｂによってアク
チュエータボディ１２の位置決め孔３０ａ、３０ｂが閉
塞されるため、外部から塵埃等が貫通孔２８の内部に進
入してピストン４６の摺動抵抗になることが防止される
とともに、貫通孔２８の内部で発生した塵埃等が外部に
排出されることもない。

【００２６】また、図９に示されるように、一般的にア
クチュエータボディ１２と貫通孔２８との間の肉厚Ａが
アクチュエータボディ１２の他の部分の肉厚と比較して
薄いため、位置決め孔３０ａ（３０ｂ）をアクチュエー
タボディ１２の軸線上に沿った底面に形成すると、貫通
孔２８と貫通してしまう。その結果、貫通孔２８の内部
の気密が位置決め孔３０ａ（３０ｂ）を介して漏出して
しまい保持することができないため、前記肉厚Ａより肉
厚の厚いアクチュエータボディ１２の軸線から所定間隔
離間した位置に位置決め孔３０ａ（３０ｂ）を形成して
いる。しかし、位置決め孔３０ａ（３０ｂ）がアクチュ
エータボディ１２の軸線と同一軸線上ではないため、リ
ニアアクチュエータ１０を取り付ける際に取り付けの方
向性が発生し、アクチュエータボディ１２が載置される
平面上に設けられる図示しない位置決めピン等の位置の
設定が煩雑である。

【００２７】図８に示されるように、本実施の形態で
は、アクチュエータボディ１２と同一軸線上に位置決め
孔３０ａ（３０ｂ）を形成した際、貫通孔２８の内部に
設けられた円筒部材４５ａ（４５ｂ）によって位置決め
孔３０ａ（３０ｂ）が閉塞されるため、貫通孔２８の内
部の気密が確実に保持される。また、アクチュエータボ
ディ１２の略中央である同一軸線上に位置決め孔３０ａ
（３０ｂ）を形成することにより、アクチュエータボデ
ィ１２を軸線に対して左右対称とすることができる。そ
の結果、平面上の図示しない位置決めピン等に対してア
クチュエータボディ１２を取り付ける際の取り付けの方
向性を考慮する必要がなく、簡便に位置決めをすること
ができる。

【００２８】前記円筒部材４５ａ、４５ｂの内部には、
圧力流体の作用下に軸線方向に沿って矢印ＸまたはＹ方
向に進退自在に略円筒状のピストン４６が配設されてい
る。

【００２９】また、従来、貫通孔２８の内周面に対して
ピストン４６の摺動抵抗を抑制するために仕上げ加工を
行っていたが、金属製板材等からなる円筒部材４５ａ、
４５ｂを貫通孔２８に内嵌することによって貫通孔２８
の内周面に対する加工が不要となる。その結果、煩雑か
つコストのかかる加工工程が不要となるため、製造時間
の短縮を図ることができる。

【００３０】前記ピストン４６の両端部には、前記円筒
部材４５ａ、４５ｂの内周直径と略同等に拡径したフラ
ンジ部４８ａ、４８ｂが形成され、該フランジ部４８
ａ、４８ｂが円筒部材４５ａ、４５ｂの内部を摺動す
る。また、該フランジ部４８ａ、４８ｂの外周面の環状
溝を介してシール部材５０が装着され、該シール部材５
０によって後述する圧力室７７ａ、７７ｂの気密が保持
される。

【００３１】ピストン４６の両端面の略中央部には、略
六角形状の調整用穴５１ａ、５１ｂがそれぞれ形成され
る。ピストン４６を円筒部材４５ａ、４５ｂの内部に挿
入した際、図示しない工具を前記調整用穴５１ａ、５１
ｂに挿入して回転させることにより、ピストン４６が円
筒部材４５ａ、４５ｂの内周面に沿って回転する。その
結果、スライドテーブル２０と一体的に連結されたロッ
ド５８を後述する係合孔５２に挿入する際、該係合孔５
２の位置とロッド５８の位置とを確実に合わせることが
できるため、組み付け時において係合孔５２に対してロ
ッド５８の後述する軸部６２を容易に挿入することがで
きる。

【００３２】ピストン４６の略中央部には、ピストン４
６の軸線方向と略直交する方向に係合孔５２が貫通して
形成される。前記係合孔５２には、ピストン４６の外周
面側がそれぞれ所定長だけ拡径したガイド孔５４が形成
される。その結果、ロッド５８をガイド孔５４に挿入す
る際、容易に挿入することができる。

【００３３】また、図６に示されるように、前記係合孔
５２は断面略長孔形状に形成され、ピストン４６の軸線
方向に沿った寸法Ｂに対して、軸線方向に略直交する寸
法Ｃの方が若干大きく形成される（Ｂ＜Ｃ）。すなわ
ち、円筒部材４５ａ、４５ｂの内部を軸線方向に沿って
摺動するピストン４６とガイド部１８の上面を軌道溝７
８ａ、７８ｂに装着されたボールベアリング７６を介し
て軸線方向に沿って変位するスライドテーブル２０とが
同一軸線上に変位しない場合、図１３に示されるよう
に、従来のピストン５ａ、５ｂに対して一体的にロッド
６を連結しているテーブル７が、該テーブル７の図示し
ない軌道溝、図示しないガイド部の軌道溝およびボール
ベアリング間に生じる摺動抵抗によって変位しなくなる
おそれがある。

【００３４】その際、本発明では、係合孔５２を略長孔
形状としてロッド５８の軸部６２に対してクリアランス
を設けることにより、スライドテーブル２０とピストン
４６とが同一軸線上に変位しない際においても、スライ
ドテーブル２０とピストン４６との変位のずれをクリア
ランスで吸収し、スライドテーブル２０を円滑に変位さ
せることができる。

【００３５】さらに詳細には、スライドテーブル２０と
ピストン４６との変位のずれは、ピストン４６の軸線方
向と略直交する方向により大きく生じるため、係合孔５
２をピストン４６の軸線方向に沿った寸法Ｂより軸線に
対して略直交する寸法Ｃの方を若干大きく形成している
（Ｂ＜Ｃ）。

【００３６】なお、ピストン４６の軸線方向に沿った寸
法Ｂと軸線に対して略直交する寸法Ｃとを同一寸法とし
て形成してもよい（Ｂ＝Ｃ）。

【００３７】さらに、樹脂製材料からなるピストン４６
は、樹脂成形により一体的に形成され、外周面より所定
長突出し、且つ所定角度離間したリブ５６が形成される
（図３および図１１参照）。外周面にリブ５６を設ける
ことにより、ピストン４６を樹脂成形する際に発生する
変形を防止することができる。また、前記リブ５６が円
筒部材４５ａ、４５ｂの内部を摺動することにより、ピ
ストン４６が円筒部材４５ａ、４５ｂの内部を変位する
際の摺動抵抗を抑制することができるとともに、ピスト
ン４６の軽量化を図ることができる。なお、前記ピスト
ン４６は、樹脂製材料にのみ限定されるものではなく、
金属製材料を用いて金属射出成形や鋳造等によって形成
してもよい。すなわち、ピストン４６の係合孔５２を切
削加工によって形成すると加工が煩雑であるため、金型
を用いた製造方法によって形成することにより、安価に
且つ簡便に製造することができる。

【００３８】なお、前記ピストン４６は円柱形状に限定
されるものではなく、柱状の部材であれば種々の形状で
形成してもよい。

【００３９】金属製材料からなるロッド５８の一端部に
は、図１１に示されるように、略円盤状の頭部６０が形
成され、他端部には該頭部６０より縮径した軸部６２が
形成される。前記頭部６０と軸部６２との間には、ねじ
部６４が形成され、スライドテーブル２０の後述するロ
ッド取付孔８６に螺合される。その結果、スライドテー
ブル２０とロッド５８とが一体的に連結される。

【００４０】また、前記軸部６２は、図２に示されるよ
うに、ガイド部１８の開口部２６を介してピストン４６
の係合孔５２に挿入される。すなわち、ロッド５８は、
ピストン４６に対して該ピストン４６の軸線方向に係止
された状態となる。なお、ロッド５８の軸部６２の直径
を係合孔５２の直径より若干小さく形成してクリアラン
スを設けることにより、組み付け時においてロッド５８
をガイド孔５４を介して係合孔５２に挿入することが容
易となる。

【００４１】アクチュエータボディ１２に連結されるエ
ンドブロック１６ａ、１６ｂの側面部には、流体出入ポ
ート６６ａ、６６ｂが形成され（図１０参照）、該流体
出入ポート６６ａ、６６ｂは、連通路６８ａ、６８ｂを
介してねじ穴４０ａ、４０ｂの内部に連通している（図
２参照）。

【００４２】また、図２に示されるように、エンドブロ
ック１６ａ、１６ｂの一端面には、スライドテーブル２
０の変位量を調整するためのストッパ７０ａ、７０ｂが
螺入され、前記ストッパ７０ａ、７０ｂのねじ込み量を
増減させることによりスライドテーブル２０の変位量が
調整される。また、ストッパ７０ａ、７０ｂに螺合され
るロックナット７２ａ、７２ｂの螺回作用下にストッパ
７０ａ、７０ｂの変位が規制される。

【００４３】さらに、前記ストッパ７０ａ、７０ｂと対
向する後述するエンドカバー８２ａ、８２ｂの端面に装
着される緩衝部材７４（図１０参照）によって、スライ
ドテーブル２０が当接する際に該スライドテーブル２０
に付与される衝撃が緩和される。

【００４４】スライドテーブル２０とガイド部１８との
摺動部位には、該スライドテーブル２０を円滑に往復動
作させるための複数のボールベアリング７６が介装さ
れ、該ボールベアリング７６は、ガイド部１８およびス
ライドテーブル２０の内壁面にそれぞれ対向して形成さ
れた軌道溝７８ａ、７８ｂに沿って転動しながら、後述
する循環穴９３ａ、９３ｂを介して循環する（図３およ
び図１２参照）。

【００４５】図２に示されるように、前記ピストン４６
の各端面とエンドブロック１６ａ、１６ｂとによって、
該ピストン４６の直径に対応する圧力室７７ａ、７７ｂ
がそれぞれ画成され、前記圧力室７７ａ、７７ｂは、エ
ンドブロック１６ａ、１６ｂのオリフィス４４ａ、４４
ｂにそれぞれ連通している。前記圧力室７７ａ、７７ｂ
にオリフィス４４ａ、４４ｂを介して圧力流体が導入さ
れることにより、前記圧力流体はピストン４６の各端面
を押圧する。従って、ピストン４６は、アクチュエータ
ボディ１２の円筒部材４５ａ、４５ｂの内周面に沿って
摺動変位する。前記ピストン４６が円筒部材４５ａ、４
５ｂの内周面に沿って進退変位することにより、該ピス
トン４６の係合孔５２に挿入されたロッド５８を介して
スライドテーブル２０が矢印ＸまたはＹ方向に往復動作
する。

【００４６】スライドテーブル２０は、図１２に示され
るように、断面略コの字状に形成されたテーブルブロッ
ク７９と、該テーブルブロック７９の変位方向に沿った
両端部にねじ部材８０を介して装着される一対のエンド
カバー８２ａ、８２ｂおよびスクレーパ８４ａ、８４ｂ
とを有する。

【００４７】また、前記テーブルブロック７９の上面の
略中央部には、ロッド取付孔８６が形成されている。ロ
ッド取付孔８６は、その上面にロッド５８の頭部６０と
略同一直径に形成される拡径部８８と、該拡径部８８よ
り縮径し、ロッド５８と螺合されるねじ部９０とからな
る。なお、拡径部８８の深さは、ロッド５８の頭部６０
が格納された際に、スライドテーブル２０の上面から外
部に突出することがないように設定される。

【００４８】また、テーブルブロック７９の上面には、
軸線方向に沿って一直線上に位置決め孔９１ａ、９１ｂ
がロッド取付孔８６より所定間隔離間して形成されてい
る。また、前記位置決め孔９１ａ、９１ｂから所定間隔
離間した両側にはワーク取付孔９２が４箇所に形成さ
れ、図示しないワークをボルト等を介して連結する際、
ワークとテーブルブロック７９の位置決め孔９１ａ、９
１ｂとを図示しない位置決めピンを介して位置決めする
ことにより、容易にワークを位置決めすることができ
る。

【００４９】さらに、前記テーブルブロック７９には変
位方向に沿って貫通する一対の循環穴９３ａ、９３ｂが
形成され、ボールベアリング７６は軌道溝７８ａ、７８
ｂに沿って転動するとともに循環穴９３ａ、９３ｂを介
して循環する。前記テーブルブロック７９の端面には、
ボールベアリング７６が転動する際に前記軌道溝７８
ａ、７８ｂと循環穴９３ａ、９３ｂとを媒介する一対の
リターンガイド９４ａ、９４ｂが設けられている。

【００５０】また、テーブルブロック７９の側面部に
は、図３および図４に示されるように、断面コ字状の取
付用金具９６を介して保持された磁石９８がレール部材
３４の凹部３８に臨むように設けられている。前記取付
用金具９６は、ねじ部材１００をテーブルブロック７９
のねじ穴１０２に螺合することにより固定されている。

【００５１】その結果、テーブルブロック７９と一体的
に変位する磁石９８の磁界を、センサ取付用溝３２ａ、
３２ｂに装着された図示しないセンサによって検知する
ことにより、スライドテーブル２０の位置を検出するこ
とができる。

【００５２】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュ
エータ１０は、基本的には以上のように構成されるもの
であり、次にその動作並びに作用効果について説明す
る。

【００５３】先ず、スライドテーブル２０とピストン４
６とロッド５８の組み付け方法について説明する。

【００５４】図１０に示されるように、スライドテーブ
ル２０の略中央部のロッド取付孔８６に上方からロッド
５８を挿入して螺合することにより、ロッド５８とスラ
イドテーブル２０とを一体的に連結する。その際、ロッ
ド５８の頭部６０は、ロッド取付孔８６の拡径部８８に
格納されるため、スライドテーブル２０の上面から外部
に突出することがない（図２および図３参照）。

【００５５】次に、スライドテーブル２０と一体的に連
結されたロッド５８を、アクチュエータボディ１２の略
長円状の開口部２６を介して該スライドテーブル２０が
上方となるようにピストン４６の係合孔５２に挿入する
（図１０参照）。なお、係合孔５２は外周側が拡径され
ているガイド孔５４を有するため、軸部６２の挿入がよ
り一層容易となる。

【００５６】最後に、ロッド５８の軸部６２が係合孔５
２に挿入された状態で、スライドテーブル２０をアクチ
ュエータボディ１２のガイド部１８の上面に載置する。

【００５７】以上により、本実施の形態では、スライド
テーブル２０と一体的に連結されたロッド５８の軸部６
２をピストン４６の係合孔５２に挿入することにより、
簡便にピストン４６にロッド５８を挿入させることがで
きるため、組み付け作業性を向上させることができる。

【００５８】また、係合孔５２とロッド５８の軸部６２
との間に若干のクリアランスを設けておくことにより、
該ロッド５８を係合孔５２に挿入する際、より一層容易
に挿入することができる。また、ピストン４６とスライ
ドテーブル２０とが同一軸線上で変位しない場合におい
ても、前記クリアランスによって該ピストン４６とスラ
イドテーブル２０との変位のずれを吸収し、スライドテ
ーブル２０を円滑に変位させることができる。

【００５９】さらに、ロッド５８は、略長円状の開口部
２６を介してピストン４６に挿入されており、開口部２
６がロッド５８のガイドとして機能するため、スライド
テーブル２０をより一層確実に直線状に往復動作させる
ことができる。

【００６０】このように組み付けられたリニアアクチュ
エータ１０においては、図示しない流体圧供給源から圧
力流体（例えば、圧縮空気）を一方の流体出入ポート６
６ａに導入する。この場合、他方の流体出入ポート６６
ｂは、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態にして
おく。

【００６１】前記圧力流体は、前記流体出入ポート６６
ａに連通する連通路６８ａを介してねじ穴４０ａ内に供
給される（図２参照）。さらに、圧力流体は、前記ねじ
穴４０ａに連通するオリフィス４４ａを介してピストン
４６によって閉塞された圧力室７７ａに導入され、該ピ
ストン４６の端面を押圧する。従って、圧力流体に押圧
されるピストン４６は、シール部材５０によって圧力室
７７ａが気密に保持された状態を維持しながらエンドブ
ロック１６ａから離間する方向（矢印Ｙ方向）に摺動変
位する。この結果、ピストン４６の係合孔５２に挿入さ
れたロッド５８を介してスライドテーブル２０が矢印Ｙ
方向に変位する。なお、この場合、ピストン４６によっ
て閉塞された圧力室７７ｂは大気開放された状態にあ
る。

【００６２】前記矢印Ｙ方向に向かって変位するスライ
ドテーブル２０は、ストッパ７０ｂに緩衝部材７４が当
接することにより変位終端位置が規制され、一方、セン
サ取付用溝３２ａ、３２ｂに装着された図示しないセン
サが磁石９８の磁界を検知することにより、スライドテ
ーブル２０の位置が検出される。

【００６３】前記とは逆方向（矢印Ｘ方向）にスライド
テーブル２０を変位させる場合には、他方の流体出入ポ
ート６６ｂに圧力流体を供給する。前記供給された圧力
流体は、ねじ穴４０ｂおよびオリフィス４４ｂを介して
圧力室７７ｂに導入され、ピストン４６の端面を押圧す
ることにより、該ピストン４６を矢印Ｘ方向に変位させ
る。この結果、ピストン４６の係合孔５２に挿入された
ロッド５８を介してスライドテーブル２０が矢印Ｘ方向
に変位する。

【００６４】以上のように、本実施の形態では、スライ
ドテーブル２０の略中央部に一体的に連結されたロッド
５８の軸部６２をピストン４６の係合孔５２に挿入する
という簡便な作業のみでスライドテーブル２０とピスト
ン４６とを軸線方向に係止することができる。その結
果、スライドテーブル２０とピストン４６との組み付け
作業性の向上を図ることができる。

【００６５】また、貫通孔２８の内部に装着されるピス
トン４６を一体形状とすることにより部品点数を減少さ
せ、廉価に製造することが可能となる。

【００６６】さらに、ロッド５８が挿入される係合孔５
２の直径を該ロッド５８の軸部６２の直径より大きく、
且つ長孔形状に形成することにより、軸部６２の挿入が
より一層容易になるとともに、ロッド５８の軸心がずれ
た場合においても前記軸心の偏心を吸収することができ
る。

【００６７】さらにまた、アクチュエータボディ１２の
貫通孔２８に円筒部材４５ａ、４５ｂを内嵌することに
より、アクチュエータボディ１２の位置決め孔３０ａ、
３０ｂが閉塞されるため、外部から塵埃等が貫通孔２８
の内部に進入してピストン４６の摺動抵抗になることが
防止されるとともに、貫通孔２８の内部で発生した塵埃
等が外部に排出されることもない。また、アクチュエー
タボディ１２の貫通孔２８に円筒部材４５ａ、４５ｂを
内嵌することにより、貫通孔２８の内周面に対する加工
が不要となるため、製造時間の短縮を図ることができ
る。

【００６８】さらにまた、アクチュエータボディ１２の
底面に位置決め孔３０ａ、３０ｂを同一軸線上に設ける
ことにより、アクチュエータボディ１２を軸線に対して
左右対称とすることができるため、平面上の図示しない
位置決めピン等に対してアクチュエータボディ１２を取
り付ける際の取り付けの方向性を考慮する必要がなく、
簡便に位置決めをすることができる。

【００６９】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００７０】すなわち、スライダと略直交して一体的に
連結されたロッドをピストンの係合孔に挿入することに
より、前記スライダとピストンとをロッドを介して簡便
に組み付けることができるため、組み付け作業性の向上
を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエー
タの斜視図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。

【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図であ
る。

【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った縦断面図である。

【図５】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエー
タのスライドテーブルを取り外した状態の平面図であ
る。

【図６】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエー
タの係合孔に軸部が挿入された状態の拡大図である。

【図７】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエー
タの底面図である。

【図８】図２のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った縦断面図
である。

【図９】図８の比較例である縦断面図である。

【図１０】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエ
ータからスライドテーブルを取り外した状態の分解斜視
図である。

【図１１】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエ
ータのロッドとピストンの分解斜視図である。

【図１２】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエ
ータを構成するスライドテーブルの分解斜視図である。

【図１３】従来技術に係るリニアアクチュエータの縦断
面図である。

【符号の説明】

１０…リニアアクチュエータ １２…アクチュエ
ータボディ １６ａ、１６ｂ…エンドブロック １８…ガイド部 ２０…スライドテーブル ２６…開口部 ２８…貫通孔 ３２ａ、３２ｂ…
センサ取付用溝 ４２ａ、４２ｂ…栓部材 ４５ａ、４５ｂ…
円筒部材 ４６…ピストン ４８ａ、４８ｂ…
フランジ部 ５２…係合孔 ６６ａ、６６ｂ…
流体出入ポート ６８ａ、６８ｂ…連通路 ７０ａ、７０ｂ…
ストッパ ７４…緩衝部材 ７６…ボールベア
リング ７７ａ、７７ｂ…圧力室 ７８ａ、７８ｂ…
軌道溝 ７９…テーブルブロック ８２ａ、８２ｂ…
エンドカバー ８４ａ、８４ｂ…スクレーパ ８６…ロッド取付
孔 ９４ａ、９４ｂ…リターンガイド ９６…取付用金具 ９８…磁石

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 年森 良裕 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 (72)発明者 唯野 晃 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H081 AA03 BB01 CC20 CC23 DD06 DD12 HH04

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体出入ポートから圧力流体を導入するこ
   とにより、ボディの軸線方向に沿ってスライダを往復動
   作させるリニアアクチュエータであって、 軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するとともに、前
   記貫通孔と連通する開口部が前記スライダ側の側面に形
   成されるボディと、 前記貫通孔の内部に軸線方向に沿って変位自在に設けら
   れる単一のピストンと、 前記スライダの動作方向に対して略直交する方向に連結
   され、且つ前記ピストンの軸線方向に対して略直交する
   方向に形成される係合孔に前記開口部を介して挿入され
   るロッドと、 を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 【請求項２】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
   いて、 前記係合孔は、挿入される前記ロッドの直径より大きな
   直径で形成されることを特徴とするリニアアクチュエー
   タ。
3. 【請求項３】請求項１または２記載のリニアアクチュエ
   ータにおいて、 前記係合孔の直径は、前記ピストンの軸線方向の寸法よ
   り軸線方向と直交する方向の寸法が大きく形成されるこ
   とを特徴とするリニアアクチュエータ。
4. 【請求項４】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
   いて、 前記ピストンは、樹脂製材料によって一体的に形成され
   ることを特徴とするリニアアクチュエータ。
5. 【請求項５】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
   いて、 前記貫通孔の内部には、円筒部材が挿入され、前記円筒
   部材の内壁に沿って前記ピストンが摺動自在に設けられ
   ることを特徴とするリニアアクチュエータ。
6. 【請求項６】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
   いて、 前記ボディのスライダ側と反対の側面には前記ボディの
   軸線と同一軸線上に２箇所以上の位置決め用孔が形成さ
   れることを特徴とするリニアアクチュエータ。