JP3655367B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、アクチュエータボデイの軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、ワーク等の搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。このリニアアクチュエータは、シリンダボデイに沿って移動テーブルを直線状に往復運動させることにより、前記移動テーブルに載置されたワークを搬送することができる。
【0003】
従来技術に係るリニアアクチュエータとしては、例えば、実開平5−42716号公報に開示された技術的思想がある。図19に示される流体圧シリンダは、シリンダ本体1と、前記シリンダ本体1の内部に水平に且つ直列に並設された一対のシリンダ室2、3と、前記シリンダ室2、3の間に設けられ、前記シリンダ室2、3に連通し、前記シリンダ本体1の上面に開口し、前記開口の長手方向を前記シリンダ室2、3が並んだ方向と同一の方向に向けた長孔4と、前記シリンダ室2、3に連通する一対の圧力供給ポート(図示せず)と、前記シリンダ室2、3に往復動自在に挿入され、同時に同一方向へ移動する一対のピストン5、6と、前記ピストン5、6の間に非接着で挟持され、中心線を垂直に向けて配置され、前記長孔4内を前記ピストン5、6にしたがって移動するロッド7と、前記シリンダ本体1の上方に配置され、前記ロッド7に接続されたテーブル18と、前記テーブル18に組み込まれた循環ボールベアリング(図示せず)と、前記シリンダ本体1に設けられ、前記循環ボールベアリングに係合する軌道溝(図示せず)とから構成される。なお、図中、参照符号8、9はエンドカバーを、参照符号14、15は圧力室を夫々示している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来技術に係る流体圧シリンダでは、ピストン5、6が往復動作するシリンダ室2、3をシリンダ本体1内に画成された貫通孔によって形成している。この場合、前記シリンダ本体1は循環ボールベアリングのガイド部材として機能するものであり、耐摩耗性の観点から該シリンダ本体1は高硬度の素材によって形成される必要がある。一般的には、鉄鋼を熱処理して高硬度を得ている。このために、施される熱処理によってシリンダ室2、3に歪みが生じ、熱処理した後、前記歪みを矯正するために研削加工が必要となる。この結果、製造作業が煩雑となり、製造コストが高騰するという不都合がある。
【0005】
また、前記流体圧シリンダでは、ピストン5、6に対して非接着状態で線接触に挟持されたロッド7を介して該ピストン5、6の往復動作をテーブル18に伝達している。このため、例えば、ワーク等の重量によってテーブル18に荷重が付与された場合、前記荷重は相互に直交するピストン5、6とロッド7との結合部位に伝達される。その際、ロッド7はピストン5、6に対し非接着状態で線接触に挟持されているだけであり、長時間の使用によって前記ピストン5、6とロッド7との接触面が摩耗し、テーブル18の移動精度が劣化するという不都合がある。
【0006】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたものであり、簡単な構成によって廉価に製造することができるとともに、テーブルの移動精度が劣化することなく耐久性の向上を図ることが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、アクチュエータボデイの軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであって、軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するとともに、上面部に開口部が画成されたアクチュエータボデイと、前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿った両端部に連結される一組のエンドブロックと、前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、前記アクチュエータボデイの貫通孔に沿って延在するように前記夫々のエンドブロックに連結固定され、前記流体出入ポートに連通する通路を有する一組の円筒部材と、屈曲する端縁部を有し、前記開口部を介して前記スライドテーブルの底面部に略直交して連結され、該スライドテーブルに伴って変位するジョイント部材と、前記夫々の円筒部材の外周面を気密に囲繞し且つ前記円筒部材の外周面に沿って進退自在に設けられ、前記ジョイント部材が面接触して当接することにより前記スライドテーブルと一体的に変位する一組のカバー部材と、前記アクチュエータボデイの上面部の端縁側に前記開口部と略平行に形成され、前記ジョイント部材の端縁部が係合する一対の長孔と、夫々のカバー部材によって閉塞され、前記円筒部材の通路に連通する一組の圧力室と、を備えることを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、一方の流体出入ポートから導入された圧力流体が、円筒部材の通路を介してカバー部材によって閉塞された一方の圧力室に供給される。前記圧力流体はジョイント部材に対し面接触するカバー部材の内壁面を押圧し、この押圧力によってジョイント部材を変位させる。従って、前記ジョイント部材に連結されたスライドテーブルがアクチュエータボデイの軸線方向に沿って変位する。また、前記アクチュエータボデイの上面部に形成された一対の長孔が、前記ジョイント部材の端縁部と係合してガイド孔として機能するために、前記ジョイント部材は、前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿って直線的に安定して変位することが可能となり、前記ジョイント部材が当接して押圧されるカバー部材は、円筒部材の外周面に沿って、円滑に進退動作することができる。
【0009】
さらに、他方の流体出入ポートから圧力流体を導入し、他方の圧力室に圧力流体を供給することにより、前記とは逆方向にスライドテーブルが変位する。このようにして、スライドテーブルを往復動作させることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0011】
図1は、本発明の第1実施形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【0012】
このリニアアクチュエータ20は、図1に示されるように、基本的には、直方体状のアクチュエータボデイ22と、前記アクチュエータボデイ22の長手方向に沿った両端部にねじ23を介して連結固定される一組のエンドブロック24、26と、前記アクチュエータボデイ22の上面部に膨出して一体的に形成されたガイド部28に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル30とから構成される。
【0013】
アクチュエータボデイ22の上面部には略半長円状の切欠部32が4箇所形成され、前記切欠部32には底面部まで貫通する取付用孔部34が画成されている。また、アクチュエータボデイ22の上面の中央部に設けられたガイド部28には、後述するジョイント部材36が自在に変位するための開口部38(図2および図6参照)が画成されている。さらに、前記アクチュエータボデイ22の上面部の端縁側には、前記開口部38と略平行に一対の長孔40a、40bが画成され、前記一対の長孔40a、40bはジョイント部材36の屈曲する端縁部42が係合してガイド孔として機能する。前記アクチュエータボデイ22の底面部には、略長方形状の一対の窓部44a、44bと、略正方形状の大なる窓部44cとが画成されている(図5参照)。さらにまた、アクチュエータボデイ22の内部には、軸線方向に沿って、且つ前記開口部38、長孔40a、40bおよび窓部44a〜44cに夫々連通する貫通孔46が画成されている。なお、前記貫通孔46は、アクチュエータボデイ22の軸線方向に沿った両端部側に夫々形成された断面略円形状の円形部と、アクチュエータボデイ22の略中央に形成された空洞部とを含む。
【0014】
前記エンドブロック24、26にはアクチュエータボデイ22の軸線方向に沿って貫通する孔部47が画成され、前記孔部47は先端部に雄ねじ部48を有する栓部材50によって閉塞されている。なお、前記栓部材50の中心部には、軸線方向に沿って画成され、後述する流体出入ポート60a、60bに連通する通路51が画成されている。前記アクチュエータボデイ22の貫通孔46の円形部には、該貫通孔46の直径よりも若干小なる直径からなり、且つ軸線方向に沿って貫通する通路52が画成された一対の円筒部材54a、54b(筒状部材)が配設され、前記円筒部材54a、54bの通路52に雄ねじ部48を介して栓部材50が内嵌されることにより、前記通路51と通路52とが連通する。
【0015】
すなわち、夫々の円筒部材54a、54bは、栓部材50によってエンドブロック24、26に連結支持されるとともに、前記円筒部材54a、54bの外周面がアクチュエータボデイ22の貫通孔46の内壁面と接触することなく、所定間隔からなる環状間隙56が画成されている。この場合、各円筒部材54a、54bと栓部材50との結合部位には、気密性を保持するためにリング状のシール部材58が配設されている。前記エンドブロック24、26の側面部には流体出入ポート60a、60bが画成され、前記流体出入ポート60a、60bは通路62を介して栓部材50の通路51に連通している(図4参照)。
【0016】
なお、前記エンドブロック24、26の一側面には、図示しないセンサ(例えば、オートスイッチ等)を装着するためのセンサ取付用溝64が画成され、前記センサ取付用溝64は、アクチュエータボデイ22の軸線方向と略平行に所定長にわたって形成されている(図1および図4参照)。さらに、前記エンドブロック24、26には、スライドテーブル30の移動量を微調整するための調整用ねじ66が設けられている(図1参照)。
【0017】
スライドテーブル30とガイド部28との摺動部位には、該スライドテーブル30を円滑に往復動作させるための複数のボールベアリング68が介装され、前記ボールベアリング68はガイド部28およびスライドテーブル30の内壁面に夫々対向して画成された軌道溝70a、70bに沿って転動しながら、後述する循環穴71を介して循環する(図3並びに図7参照)。前記スライドテーブル30の底面部には、ボルト部材72を介して断面山形状のジョイント部材36が連結されている。前記ジョイント部材36の中央の頂部74は、アクチュエータボデイ22の上面に形成された開口部38から露呈するように形成され、ボルト部材72によってスライドテーブル30の底面部に一体的に固定される。さらに、前記頂部74に近接するジョイント部材36の端縁部42は上方に向かって屈曲して形成され、前記端縁部42はアクチュエータボデイ22の一対の長孔40a、40bから突出してスライドテーブル30の底面部に当接するように形成されている。前記スライドテーブル30と直交するジョイント部材36の側壁面には、貫通孔46の軸線方向に沿って延在し断面略コの字状を呈する一対のカバー部材76a、76bが相互に対向するように設けられている。前記ジョイント部材36は、カバー部材76a、76bに対し非接着状態で面接触して挟持されている。前記カバー部材76a、76bは、シール部材77a、77bを介して円筒部材54a、54bの外周面を気密に囲繞するとともに、該円筒部材54a、54bの軸線方向に沿って矢印XまたはY方向に進退自在に設けられている。なお、前記円筒部材54a、54bは円筒の形状に限定されるものではなく、筒状の部材であれば種々の形状で形成してもよい。また、前記カバー部材76a、76bも前記筒状部材の形状に対応し、その外周面を囲繞するような形状であればよい。
【0018】
前記カバー部材76a、76bと円筒部材54a、54bとによって、該円筒部材54a、54bの直径に対応する圧力室78a、78bが画成され、前記圧力室78a、78bは円筒部材54a、54bを貫通する通路52に連通している。前記圧力室78a、78bに通路52を介して圧力流体が導入されることにより、前記圧力流体はカバー部材76a、76bの内壁面を押圧する。従って、カバー部材76a、76bは、アクチュエータボデイ22の貫通孔46と円筒部材54a、54bの外周面とによって画成された環状間隙56に沿って摺動変位する。前記カバー部材76a、76bが円筒部材54a、54bの外周面に沿って進退変位することにより、該カバー部材76a、76bに面接触状態で挟持されたジョイント部材36を介してスライドテーブル30が矢印XまたはY方向に往復動作する。
【0019】
スライドテーブル30は、図7に示されるように、断面略コの字状に形成されたテーブルブロック80と、前記テーブルブロック80の移動方向に沿った両端部にねじ部材82を介して装着される一対のエンドカバー84a、84bおよびスクレーパ86a、86bとを有する。前記テーブルブロック80には移動方向に沿って貫通する一対の循環穴71が形成され、ボールベアリング68は軌道溝70a、70bに沿って転動するとともに循環穴71を介して循環する。前記テーブルブロック80の端面には、ボールベアリング68が転動する際に前記軌道溝70a、70bと循環穴71とを媒介する一対のリターンガイド88a、88bが設けられている。夫々のエンドカバー84a、84bには、スライドテーブル30の移動終端位置において発生する衝撃を調整用ねじ66に当接することによって緩和するショックアブソーバ90が設けられ、さらに、センサ取付用溝64に装着される図示しないセンサによってスライドテーブル30の移動位置を検出するための磁石92が設けられている。
【0020】
本発明の第1実施形態に係るリニアアクチュエータ20は基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0021】
先ず、図示しない流体圧供給源から圧力流体を一方の流体出入ポート60aに導入する。この場合、他方の流体出入ポート60bは、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態にしておく。
【0022】
前記圧力流体は前記流体出入ポート60aに連通する通路62を介して栓部材50の通路51内に供給される(図4参照)。さらに、圧力流体は、前記通路51に連通する円筒部材54aを貫通する通路52を介してカバー部材76aによって閉塞された圧力室78aに導入され、カバー部材76aの内壁面を押圧する。従って、圧力流体に押圧される一方のカバー部材76aは、シール部材77aによって圧力室78aが気密に保持された状態を維持しながら円筒部材54aから離間する方向(矢印X方向)に摺動変位する。この結果、一対のカバー部材76a、76bに面接触状態で挟持されたジョイント部材36を介してスライドテーブル30が矢印X方向に移動する。なお、この場合、他方のカバー部材76bによって閉塞された圧力室78bは大気開放された状態にあるため、前記カバー部材76bは、円筒部材54bの外周面に沿って接近する方向に移動する。前記矢印X方向に向かって移動するスライドテーブル30は、調整用ねじ66にショックアブソーバ90が当接することにより移動終端位置が規制され、一方、センサ取付用溝64に装着された図示しないセンサが磁石92の磁気作用を検知することにより、スライドテーブル30の位置が検出される。
【0023】
前記とは逆方向にスライドテーブル30を移動させる場合には、他方の流体出入ポート60bに圧力流体を供給する。前記供給された圧力流体は、円筒部材54bの通路52を介して圧力室78bに導入され、カバー部材76bの内壁面を押圧することにより該カバー部材76bを矢印Y方向に移動させる。この結果、一対のカバー部材76a、76bに挟持されたジョイント部材36を介してスライドテーブル30が矢印Y方向に移動する。なお、その他の動作は前記と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
【0024】
第1実施形態に係るリニアアクチュエータ20では、ガイド部28をアクチュエータボデイ22と一体的に形成するとともに、前記アクチュエータボデイ22に画成された貫通孔46に対し、円筒部材54a、54bが連結固定されたエンドブロック24、26を挿入し、さらに、ジョイント部材36と面接触する一対のカバー部材76a、76bを夫々円筒部材54a、54bに係合するように組み付けるだけでよく、簡便に製造することができることから製造コストの低減化を図ることが可能となる。
【0025】
また、第1実施形態に係るリニアアクチュエータ20では、ボルト部材72を介してスライドテーブル30に肉厚に形成されたジョイント部材36を一体的に連結して剛性を高めているとともに、前記ジョイント部材36はカバー部材76a、76bに対し非接着状態で面接触して挟持されている。このため、前記スライドテーブル30に荷重が付与された場合であっても、前記荷重が伝達されるスライドテーブル30とジョイント部材36の連結部位が強固に結合され、さらにジョイント部材36とカバー部材76a、76bとの接触面積が大きいことから、前記ジョイント部材36とカバー部材76a、76bとの接触面に摩耗が発生しない。この結果、スライドテーブル30の移動精度を劣化させることなく、しかも耐久性を向上させることができる。
【0026】
次に、本発明の第2実施形態に係るリニアアクチュエータ100を図8乃至図12に示す。なお、以下に示す実施形態では、第1実施形態に示すリニアアクチュエータ20と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【0027】
このリニアアクチュエータ100は、図8に示されるように、直方体状のアクチュエータボデイ102と、前記アクチュエータボデイ102の長手方向に沿った両端部にねじ23を介してそれぞれ連結固定される一組のエンドブロック104、106と、前記アクチュエータボデイ102の上面部に膨出して一体的に形成されたガイド部28に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル30とから構成される。なお、前記エンドブロック104、106の隅角部には、ショックアブソーバ90に当接してスライドテーブル30の変位量を規制するとともに、ナット部材105の螺回作用下に前記変位量を自在に調整するストッパ107がそれぞれ設けられる。
【0028】
アクチュエータボデイ102の上面部には略半長円状の切欠部32が4箇所形成され、前記切欠部32には底面部まで貫通する取付用孔部34が画成される。また、アクチュエータボデイ102の上面部には、ジョイント部材108が自在に変位するための略長円状の第1開口部110が画成され、反対側の底面部には前記第1開口部110に対応する略長円状の第2開口部112が画成される(図9参照)。さらに、アクチュエータボデイ102の内部には、軸線方向に沿って、且つ前記第1および第2開口部110、112にそれぞれ連通する断面略円形状の貫通孔114が画成される(図10参照)。さらにまた、アクチュエータボデイ102の短手方向に沿った相互に対向する両側面部には、軸線方向に沿って略平行に延在する二条のセンサ取付用溝116a、116bが画成されたレール部材117(図15参照)を保持するための一組の取付用孔部118a、118bが画成される。
【0029】
エンドブロック104、106には、それぞれ、貫通孔114に沿って突出する円筒部120a、120bが一体的に形成され、前記円筒部120a(120b)には軸線方向に沿って貫通する孔部122が画成される(図9参照)。前記孔部122の一端部は螺入された栓部材124によって閉塞され、他端部には縮径するオリフィス126が形成される。
【0030】
また、エンドブロック104、106の側面部にはそれぞれ流体出入ポート60a、60bが画成され、前記流体出入ポート60a、60bは軸線方向と略直交する方向に延在する通路62を介して前記孔部122に連通するように形成されている(図12参照)。
【0031】
さらに、前記円筒部120a(120b)の外周面には環状溝を介してシール部材128が嵌合され、前記シール部材128は、後述するカバー部材76a、76bに摺接することにより前記カバー部材76a、76bによって画成される圧力室78a、78bを気密に保持する機能を営む。なお、前記流体圧出入ポート60a、60bに代替して、栓部材124が取り外された開口部を介してそれぞれの圧力室78a、78bに圧力流体を供給してもよい(図9の破線参照)。
【0032】
スライドテーブル30の底面部には、前記スライドテーブル30に螺合されたボルト部材130を介して角筒状のジョイント部材132が一体的に固定される(図11参照)。前記ジョイント部材132の側壁面には、貫通孔114の軸線方向に沿って延在し断面略コの字状を呈する一対のカバー部材76a、76bが相互に対向して設けられる(図9参照)。前記ジョイント部材132は、カバー部材76a、76bに対し非接着状態で面接触して挟持されている。なお、前記カバー部材76a、76bは、圧力室78a、78bに供給される圧力流体の作用下に円筒部120a、120bに沿って矢印XまたはY方向に進退自在に設けられる。
【0033】
第2実施形態に係るリニアアクチュエータ100では、エンドブロック104、106と円筒部120a、120bとをそれぞれ一体的に形成することにより部品点数を減少させ、廉価に製造することが可能となる。なお、その他の構成および作用効果は第1実施形態と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
【0034】
次に、本発明の第3実施形態に係るリニアアクチュエータ140を図13乃至図15に示す。
【0035】
第3実施形態に係るリニアアクチュエータ140は、以下の点で第2実施形態のリニアアクチュエータ100と構成的に異なる。すなわち、前記リニアアクチュエータ140は、アクチュエータボデイ102に画成された取付用孔部118a、118bにねじ部材142a、142bを螺入し、センサ取付用溝116a、116bが画成されたレール部材117をいずれか一方の側面部に選択的に且つ着脱自在に装着することができる。
【0036】
なお、前記センサ取付用溝116a、116bの所定部位に装着されたセンサ144a、144bによって、スライドテーブル30に設けられた磁石92から発生する磁束を検知し該スライドテーブル30の移動位置を検出することができる。その他の構成および作用効果は、第2実施形態と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
【0037】
次に、本発明の第4実施形態に係るリニアアクチュエータ150を図16乃至図18に示す。
【0038】
前記リニアアクチュエータ150は、以下の点で第3実施形態に係るリニアアクチュエータ140と異なり、その他の構成並びに作用効果は同様であるためその詳細な説明を省略する。
【0039】
すなわち、このリニアアクチュエータ150は、第1に、センサ取付用溝116a、116bが画成されたレール部材152の反対側の側面に長手方向に沿って断面略くの字状の凹部154が画成されている点、第2に、磁石156を保持する平板状のブラケット158が前記凹部154に対向するスライドテーブル30の側面部に図示しないボルト部材を介して締結されている点で異なる。なお、略円柱状を呈する磁石156は、前記ブラケット158に形成された複数の爪片160によって外部に露呈するように保持される。
【0040】
このように、センサ144a、144bによって磁気作用が検知される磁石156をスライドテーブル30の側面部にレール部材152の方向に露呈させて取着するとともに、前記レール部材152に凹部154を画成して前記磁石156を凹部154に臨ませることにより、前記磁石156とセンサ144a、144bとを近接して配置することができる。この結果、センサ144a、144bの検出精度を向上させることが可能となる。
【0041】
【発明の効果】
本発明に係るリニアアクチュエータによれば、以下の効果が得られる。
【0042】
すなわち、アクチュエータボデイに画成された貫通孔に沿って、夫々円筒部材が連結固定された一組のエンドブロックを挿入し、さらに、ジョイント部材に対し面接触する一組のカバー部材を夫々円筒部材に係合するように組み付けて簡便に製造することができることから、製造コストの低減化を図ることが可能となる。
【0043】
また、本発明に係るリニアアクチュエータでは、スライドテーブルにジョイント部材を一体的に連結して剛性を高めているとともに、前記ジョイント部材は一組のカバー部材に対して面接触して挟持されている。このため、前記スライドテーブルに荷重が付与された場合であっても、前記荷重が伝達されるスライドテーブルとジョイント部材の連結部位が強固に結合され、さらにジョイント部材とカバー部材との接触面積が大きいことから、前記ジョイント部材とカバー部材との接触面に摩耗が発生しない。この結果、スライドテーブルの移動精度を劣化させることなく、しかも耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図2】図1のII−II線に沿った縦断面図である。
【図3】図2のIII−III線に沿った縦断面図である。
【図4】図2のIV−IV線に沿った縦断面図である。
【図5】図1に示すリニアアクチュエータの底面図である。
【図6】図1に示すリニアアクチュエータからスライドテーブルを取り外した状態の斜視図である。
【図7】図1に示すリニアアクチュエータを構成するスライドテーブルの分解斜視図である。
【図8】本発明の第2実施形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図9】図8のIX−IX線に沿った縦断面図である。
【図10】図9のX−X線に沿った縦断面図である。
【図11】図9のXI−XI線に沿った縦断面図である。
【図12】図9のXII−XIIに沿った縦断面図である。
【図13】本発明の第3実施形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図14】図13に示すリニアアクチュエータの側面図である。
【図15】図14のXV−XV線に沿った縦断面図である。
【図16】本発明の第4実施形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図17】図16に示すリニアアクチュエータの側面図である。
【図18】図16に示すリニアアクチュエータを構成するスライドテーブルの側面部に締結され、磁石を保持するブラケットの斜視図である。
【図19】従来技術に係る流体圧シリンダの断面図である。
【符号の説明】
20、100、140、150…リニアアクチュエータ
22、102…アクチュエータボデイ
24、26、104、106…エンドブロック
28…ガイド部 30…スライドテーブル
36、132…ジョイント部材 38、110、112…開口部
44a〜44c…窓部 46、114…貫通孔
50、124…栓部材 51、52、62…通路
54a、54b…円筒部材 60a、60b…流体出入ポート
64、116a、116b…センサ取付用溝
66…調整用ねじ 68…ボールベアリング
72、130…ボルト部材 76a、76b…カバー部材
78a、78b…圧力室 90…ショックアブソーバ
92、156…磁石 120a、120b…円筒部
122…孔部 117、152…レール部材
118a、118b…取付用孔部 154…凹部
158…ブラケット
Claims (9)
- 流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、アクチュエータボデイの軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであって、
軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するとともに、上面部に開口部が画成されたアクチュエータボデイと、
前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿った両端部に連結される一組のエンドブロックと、
前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記アクチュエータボデイの貫通孔に沿って延在するように前記夫々のエンドブロックに連結固定され、前記流体出入ポートに連通する通路を有する一組の円筒部材と、
屈曲する端縁部を有し、前記開口部を介して前記スライドテーブルの底面部に略直交して連結され、該スライドテーブルに伴って変位するジョイント部材と、
前記夫々の円筒部材の外周面を気密に囲繞し且つ前記円筒部材の外周面に沿って進退自在に設けられ、前記ジョイント部材が面接触して当接することにより前記スライドテーブルと一体的に変位する一組のカバー部材と、
前記アクチュエータボデイの上面部の端縁側に前記開口部と略平行に形成され、前記ジョイント部材の端縁部が係合する一対の長孔と、
夫々のカバー部材によって閉塞され、前記円筒部材の通路に連通する一組の圧力室と、
を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、アクチュエータボデイの上面部には、ボールベアリングの軌道溝を有するガイド部が膨出して一体的に形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、エンドブロックの一側面部には、センサ取付用の長溝が画成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、エンドブロックにスライドテーブルの変位量を調節する変位量調節手段を設けることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルの長手方向に沿った端面に、エンドブロックに当接する際の衝撃を緩和する緩衝手段を夫々設けることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルの長手方向に沿った端面にセンサ検出用の磁石を装着することを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、エンドブロックと円筒部材とを一体的に形成することを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、アクチュエータボデイの短手方向に沿った両側面部には、センサ取付用溝が画成されたレール部材をいずれか一方の側面部に選択的に且つ着脱自在に設けることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項8記載のリニアアクチュエータにおいて、センサ取付用溝が画成されたレール部材の反対側の面に長手方向に沿って延在する凹部を画成し、前記凹部にはスライドテーブルの側面部にブラケットを介して保持された磁石が臨むことを特徴とするリニアアクチュエータ。
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