JPH09141533A - リニアアクチュエータ - Google Patents
リニアアクチュエータInfo
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- JPH09141533A JPH09141533A JP30462795A JP30462795A JPH09141533A JP H09141533 A JPH09141533 A JP H09141533A JP 30462795 A JP30462795 A JP 30462795A JP 30462795 A JP30462795 A JP 30462795A JP H09141533 A JPH09141533 A JP H09141533A
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- slide table
- linear actuator
- guide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】スライドテーブルの移動量調整手段を設け、し
かも前記スライドテーブルの直線精度を劣化させること
なくシリンダ本体の短手方向の幅Ｈを縮小して装置全体
の小型・軽量化を図ることにある。 【解決手段】リニアアクチュエータ２０は、スライドテ
ーブル２４の底面部に長手方向に沿って膨出形成された
ガイド部８４と、シリンダ本体２２の上面部に所定間隔
離間し且つ相互に対向して形成された一組のガイドブロ
ック２８ａ、２８ｂと、前記スライドテーブル２４側ま
たは前記シリンダ本体２２側からのいずれか一方の方向
から前記シリンダ本体２２を他の部材に取り付けること
が可能な取付用孔部４０ａ、４０ｂと、スライドテーブ
ル２４の変位量を調整するアジャスタボルト９０とを備
える。
かも前記スライドテーブルの直線精度を劣化させること
なくシリンダ本体の短手方向の幅Ｈを縮小して装置全体
の小型・軽量化を図ることにある。 【解決手段】リニアアクチュエータ２０は、スライドテ
ーブル２４の底面部に長手方向に沿って膨出形成された
ガイド部８４と、シリンダ本体２２の上面部に所定間隔
離間し且つ相互に対向して形成された一組のガイドブロ
ック２８ａ、２８ｂと、前記スライドテーブル２４側ま
たは前記シリンダ本体２２側からのいずれか一方の方向
から前記シリンダ本体２２を他の部材に取り付けること
が可能な取付用孔部４０ａ、４０ｂと、スライドテーブ
ル２４の変位量を調整するアジャスタボルト９０とを備
える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体出入ポートか
ら圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線
方向に沿ってスライドテーブルを往復運動させるリニア
アクチュエータに関する。
ら圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線
方向に沿ってスライドテーブルを往復運動させるリニア
アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ワーク等の搬送手段としてリ
ニアアクチュエータが用いられている。このリニアアク
チュエータは、シリンダ本体に沿ってスライドテーブル
を直線状に往復運動させることにより、前記スライドテ
ーブルに載置されたワークを搬送している。
ニアアクチュエータが用いられている。このリニアアク
チュエータは、シリンダ本体に沿ってスライドテーブル
を直線状に往復運動させることにより、前記スライドテ
ーブルに載置されたワークを搬送している。
【０００３】従来技術に係るリニアアクチュエータとし
ては、例えば、実開平５−４２７１６号公報に開示され
た技術的思想がある。この流体圧シリンダ１は、図１８
Ａおよび図１８Ｂに示されるように、シリンダ本体２を
有し、前記シリンダ本体２の上面部には長手方向に沿っ
てガイドレール３が膨出形成される。前記流体圧シリン
ダ１には、シリンダ室に収装されたピストンの変位作用
下に前記ガイドレール３に沿って摺動変位するスライド
テーブル４が設けられる。前記スライドテーブル４に
は、図示しない複数のボールベアリングが転動するボー
ル循環穴（図示せず）が該スライドテーブル４の長手方
向に沿って画成され、さらに、スライドテーブル４の上
面部にはワーク取付用のねじ穴５ａ〜５ｄが画成されて
いる。なお、前記シリンダ本体２の対角線上に位置する
角部には、該シリンダ本体２を図示しない他の部材に取
り付けて固定するための一組の取付用孔部６ａ、６ｂが
画成されている。
ては、例えば、実開平５−４２７１６号公報に開示され
た技術的思想がある。この流体圧シリンダ１は、図１８
Ａおよび図１８Ｂに示されるように、シリンダ本体２を
有し、前記シリンダ本体２の上面部には長手方向に沿っ
てガイドレール３が膨出形成される。前記流体圧シリン
ダ１には、シリンダ室に収装されたピストンの変位作用
下に前記ガイドレール３に沿って摺動変位するスライド
テーブル４が設けられる。前記スライドテーブル４に
は、図示しない複数のボールベアリングが転動するボー
ル循環穴（図示せず）が該スライドテーブル４の長手方
向に沿って画成され、さらに、スライドテーブル４の上
面部にはワーク取付用のねじ穴５ａ〜５ｄが画成されて
いる。なお、前記シリンダ本体２の対角線上に位置する
角部には、該シリンダ本体２を図示しない他の部材に取
り付けて固定するための一組の取付用孔部６ａ、６ｂが
画成されている。
【０００４】他の従来技術に係るリニアアクチュエータ
としては、例えば、実開平６−４３３０２号公報に開示
された技術的思想がある。この流体圧シリンダ７は、図
１９に示されるように、内部にシリンダ室が設けられた
シリンダボデイ８と、前記シリンダボデイ８の上面部に
固設されたリニアガイド９の案内作用下に前記シリンダ
ボデイ８の軸線方向に沿って移動するテーブル１０とを
有する。前記シリンダボデイ８の短手方向に沿った一端
部には第１張出し部１１が上方に向かって膨出形成さ
れ、前記テーブル１０の短手方向に沿った一側面部には
前記第１張出し部１１を挟むように第２張出し部１２お
よび第３張出し部１３が横方向に向かって膨出形成され
る。
としては、例えば、実開平６−４３３０２号公報に開示
された技術的思想がある。この流体圧シリンダ７は、図
１９に示されるように、内部にシリンダ室が設けられた
シリンダボデイ８と、前記シリンダボデイ８の上面部に
固設されたリニアガイド９の案内作用下に前記シリンダ
ボデイ８の軸線方向に沿って移動するテーブル１０とを
有する。前記シリンダボデイ８の短手方向に沿った一端
部には第１張出し部１１が上方に向かって膨出形成さ
れ、前記テーブル１０の短手方向に沿った一側面部には
前記第１張出し部１１を挟むように第２張出し部１２お
よび第３張出し部１３が横方向に向かって膨出形成され
る。
【０００５】この場合、前記第２張出し部１２および第
３張出し部１３にそれぞれねじ込まれたボルト１４、１
５が第１張出し部１１に当接することによりテーブル１
０の移動終端位置が規制され、前記ボルト１４、１５の
ねじ込み量を調整することによりテーブル１０の移動量
を調整している。
３張出し部１３にそれぞれねじ込まれたボルト１４、１
５が第１張出し部１１に当接することによりテーブル１
０の移動終端位置が規制され、前記ボルト１４、１５の
ねじ込み量を調整することによりテーブル１０の移動量
を調整している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図１８Ａおよび図１８
Ｂに示す流体圧シリンダ１において、シリンダ本体２の
短手方向の幅Ｌは、Ｌ≒Ｌ1 ＋（Ｌ2 ×２）と表され
（Ｌ1 ；ガイドレール３の幅、Ｌ2 ；取付用孔部６ａ、
６ｂの直径）、概略、ガイドレール３の幅Ｌ1 と２個の
取付用孔部６ａ、６ｂの直径Ｌ2 とを加算した値とな
る。この場合、スライドテーブル４の剛性が低下するこ
とからガイドレール３の幅Ｌ1 を縮小することができ
ず、結局、シリンダ本体２の幅Ｌは、前記ガイドレール
３の幅Ｌ1 に取付用孔部６ａ、６ｂの直径Ｌ2 を加算し
た値となる。
Ｂに示す流体圧シリンダ１において、シリンダ本体２の
短手方向の幅Ｌは、Ｌ≒Ｌ1 ＋（Ｌ2 ×２）と表され
（Ｌ1 ；ガイドレール３の幅、Ｌ2 ；取付用孔部６ａ、
６ｂの直径）、概略、ガイドレール３の幅Ｌ1 と２個の
取付用孔部６ａ、６ｂの直径Ｌ2 とを加算した値とな
る。この場合、スライドテーブル４の剛性が低下するこ
とからガイドレール３の幅Ｌ1 を縮小することができ
ず、結局、シリンダ本体２の幅Ｌは、前記ガイドレール
３の幅Ｌ1 に取付用孔部６ａ、６ｂの直径Ｌ2 を加算し
た値となる。
【０００７】このように、この従来技術に係る流体圧シ
リンダ１では、前記ガイドレール３の幅Ｌ1 に影響され
てシリンダ本体２の幅Ｌを縮小することができず、この
結果、シリンダ装置全体の小型・軽量化を達成すること
ができないという不都合がある。また、図１９に示す他
の従来技術に係る流体圧シリンダ７では、テーブル１０
の移動量を調整する機能を営む第１〜第３張出し部１
１、１２、１３が、該流体圧シリンダ７の短手方向に沿
って外部に突出して形成されているため、前記した従来
技術と同様に、テーブル１０を含む流体圧シリンダ７の
短手方向の幅Ｌを縮小することができず、シリンダ装置
全体の小型・軽量化を達成することができないという不
都合がある。
リンダ１では、前記ガイドレール３の幅Ｌ1 に影響され
てシリンダ本体２の幅Ｌを縮小することができず、この
結果、シリンダ装置全体の小型・軽量化を達成すること
ができないという不都合がある。また、図１９に示す他
の従来技術に係る流体圧シリンダ７では、テーブル１０
の移動量を調整する機能を営む第１〜第３張出し部１
１、１２、１３が、該流体圧シリンダ７の短手方向に沿
って外部に突出して形成されているため、前記した従来
技術と同様に、テーブル１０を含む流体圧シリンダ７の
短手方向の幅Ｌを縮小することができず、シリンダ装置
全体の小型・軽量化を達成することができないという不
都合がある。
【０００８】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであり、スライドテーブルの変位量調整手
段を設け、しかも前記スライドテーブルの直線精度を劣
化させることなくシリンダ本体の短手方向の幅を縮小し
て装置全体の小型・軽量化を図ることが可能なリニアア
クチュエータを提供することを目的とする。
なされたものであり、スライドテーブルの変位量調整手
段を設け、しかも前記スライドテーブルの直線精度を劣
化させることなくシリンダ本体の短手方向の幅を縮小し
て装置全体の小型・軽量化を図ることが可能なリニアア
クチュエータを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入す
ることにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライ
ドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであ
って、軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するシリン
ダ本体を有し、前記貫通孔内に画成されたシリンダ室に
沿って摺動自在に配設されるピストンの変位作用下に前
記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記スライドテーブルの底面部またはシリンダ本体の上
面部に長手方向に沿って膨出形成されたガイド部と、シ
リンダ本体の上面部またはスライドテーブルの底面部に
所定間隔離間し且つ相互に対向して形成された一組のガ
イドブロックとを有し、前記スライドテーブルをシリン
ダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、前記
シリンダ本体を他の部材に取り付ける方向が前記スライ
ドテーブル側または前記シリンダ本体側のいずれの方向
からでも選択自在に設けられた取付手段と、前記スライ
ドテーブルと前記シリンダ本体との間に画成された切欠
部に設けられ、該スライドテーブルの変位量を調整する
変位量調整手段と、を備えることを特徴とする。
めに、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入す
ることにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライ
ドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであ
って、軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するシリン
ダ本体を有し、前記貫通孔内に画成されたシリンダ室に
沿って摺動自在に配設されるピストンの変位作用下に前
記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記スライドテーブルの底面部またはシリンダ本体の上
面部に長手方向に沿って膨出形成されたガイド部と、シ
リンダ本体の上面部またはスライドテーブルの底面部に
所定間隔離間し且つ相互に対向して形成された一組のガ
イドブロックとを有し、前記スライドテーブルをシリン
ダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、前記
シリンダ本体を他の部材に取り付ける方向が前記スライ
ドテーブル側または前記シリンダ本体側のいずれの方向
からでも選択自在に設けられた取付手段と、前記スライ
ドテーブルと前記シリンダ本体との間に画成された切欠
部に設けられ、該スライドテーブルの変位量を調整する
変位量調整手段と、を備えることを特徴とする。
【００１０】この場合、前記変位量調整手段は、スライ
ドテーブルに連結され切欠部を介して前記スライドテー
ブルと一体的に変位するアジャスタボルトと、前記アジ
ャスタボルトが当接することにより該スライドテーブル
の変位量を規制するストッパブロックとを有し、前記ア
ジャスタボルトのねじ込み量の増減作用下にスライドテ
ーブルの変位量が調整される。
ドテーブルに連結され切欠部を介して前記スライドテー
ブルと一体的に変位するアジャスタボルトと、前記アジ
ャスタボルトが当接することにより該スライドテーブル
の変位量を規制するストッパブロックとを有し、前記ア
ジャスタボルトのねじ込み量の増減作用下にスライドテ
ーブルの変位量が調整される。
【００１１】また、前記取付手段は、スライドテーブル
の略中央部に画成された通し穴と、前記通し穴に連通す
るとともに、シリンダ本体の軸線方向と略直交する方向
に貫通して形成された取付用孔部とを有し、シリンダ本
体の内部に画成された貫通孔は、前記シリンダ本体の軸
線から短手方向側に向かって所定距離偏位して形成され
る。
の略中央部に画成された通し穴と、前記通し穴に連通す
るとともに、シリンダ本体の軸線方向と略直交する方向
に貫通して形成された取付用孔部とを有し、シリンダ本
体の内部に画成された貫通孔は、前記シリンダ本体の軸
線から短手方向側に向かって所定距離偏位して形成され
る。
【００１２】さらに、前記ガイド機構は、ガイド部およ
びガイドブロックに形成された無限循環軌道を転動する
転動部材を有し、前記無限循環軌道はボール循環穴とボ
ール転動溝とによって画成される。本発明によれば、ス
ライドテーブルの底面部またはシリンダ本体の上面部に
長手方向に沿って膨出形成されたガイド部と、シリンダ
本体の上面部またはスライドテーブルの底面部に所定間
隔離間し且つ相互に対向して形成された一組のガイドブ
ロックとを設けることにより、スライドテーブルの直線
精度を劣化させることなくシリンダ本体の短手方向の幅
を縮小して装置全体の小型・軽量化を図ることができ
る。
びガイドブロックに形成された無限循環軌道を転動する
転動部材を有し、前記無限循環軌道はボール循環穴とボ
ール転動溝とによって画成される。本発明によれば、ス
ライドテーブルの底面部またはシリンダ本体の上面部に
長手方向に沿って膨出形成されたガイド部と、シリンダ
本体の上面部またはスライドテーブルの底面部に所定間
隔離間し且つ相互に対向して形成された一組のガイドブ
ロックとを設けることにより、スライドテーブルの直線
精度を劣化させることなくシリンダ本体の短手方向の幅
を縮小して装置全体の小型・軽量化を図ることができ
る。
【００１３】また、前記シリンダ本体を他の部材に取り
付ける方向が、前記スライドテーブル側または前記シリ
ンダ本体側のいずれの方向からでも選択自在に設けられ
ることにより、取付方向の自由度が増大する。さらに、
前記スライドテーブルと前記シリンダ本体との間に変位
量調整手段を設けることにより、シリンダ本体の短手方
向の幅を増大させることなく、スライドテーブルの変位
量を簡便に調整することができる。
付ける方向が、前記スライドテーブル側または前記シリ
ンダ本体側のいずれの方向からでも選択自在に設けられ
ることにより、取付方向の自由度が増大する。さらに、
前記スライドテーブルと前記シリンダ本体との間に変位
量調整手段を設けることにより、シリンダ本体の短手方
向の幅を増大させることなく、スライドテーブルの変位
量を簡便に調整することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明に係るリニアアクチュエー
タについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照
しながら以下詳細に説明する。図１において参照数字２
０は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュ
エータを示し、このリニアアクチュエータ２０は、シリ
ンダ機構を構成するシリンダ本体２２と、前記シリンダ
本体２２の長手方向に沿って直線状に往復動作するスラ
イドテーブル２４と、前記スライドテーブル２４をシリ
ンダ本体２２の長手方向に沿って円滑に往復動作させる
ためのガイド機構２６（図２参照）とを有する。
タについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照
しながら以下詳細に説明する。図１において参照数字２
０は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュ
エータを示し、このリニアアクチュエータ２０は、シリ
ンダ機構を構成するシリンダ本体２２と、前記シリンダ
本体２２の長手方向に沿って直線状に往復動作するスラ
イドテーブル２４と、前記スライドテーブル２４をシリ
ンダ本体２２の長手方向に沿って円滑に往復動作させる
ためのガイド機構２６（図２参照）とを有する。
【００１５】図２に示されるように、前記シリンダ本体
２２の上面部には、所定間隔離間し短手方向に沿って相
互に対向する一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂが該
シリンダ本体２２と一体的に膨出形成され、前記一対の
ガイドブロック２８ａ、２８ｂには、後述するボール循
環穴３０ａ、３０ｂおよびボール転動溝３２ａ、３２ｂ
が長手方向に沿ってそれぞれ画成される。
２２の上面部には、所定間隔離間し短手方向に沿って相
互に対向する一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂが該
シリンダ本体２２と一体的に膨出形成され、前記一対の
ガイドブロック２８ａ、２８ｂには、後述するボール循
環穴３０ａ、３０ｂおよびボール転動溝３２ａ、３２ｂ
が長手方向に沿ってそれぞれ画成される。
【００１６】また、前記一対のガイドブロック２８ａ、
２８ｂ間の略中央部にはねじ３４を介して直方体状のス
トッパブロック３６を固設するための位置決め用凹部３
８が画成され、前記位置決め用凹部３８に近接する部位
には、軸線と略直交する方向に貫通する一組の取付用孔
部４０ａ、４０ｂが画成される（図４参照）。さらに、
前記シリンダ本体２２の内部には、該シリンダ本体２２
の軸線から一方のガイドブロック２８ａ側に所定距離偏
位し、長手方向に沿って貫通する貫通孔４２が画成され
る（図５参照）。
２８ｂ間の略中央部にはねじ３４を介して直方体状のス
トッパブロック３６を固設するための位置決め用凹部３
８が画成され、前記位置決め用凹部３８に近接する部位
には、軸線と略直交する方向に貫通する一組の取付用孔
部４０ａ、４０ｂが画成される（図４参照）。さらに、
前記シリンダ本体２２の内部には、該シリンダ本体２２
の軸線から一方のガイドブロック２８ａ側に所定距離偏
位し、長手方向に沿って貫通する貫通孔４２が画成され
る（図５参照）。
【００１７】前記貫通孔４２内には、図５に示されるよ
うに、外周面にシールリング４４およびダンパ４６が装
着されたピストン４８と、前記ピストン４８に連結され
たピストンロッド５０とが収装される。前記貫通孔４２
の一端部は、止め輪５２を介して装着されるエンドキャ
ップ５４によって気密に閉塞され、前記貫通孔４２の他
端部は、ピストンロッド５０の外周面を囲繞する環状凸
部５５が形成されるとともに、前記貫通孔４２に連通す
る孔部５６に止め輪５７を介して保持されたロッドパッ
キン５８およびカラー６０によって気密に閉塞される。
うに、外周面にシールリング４４およびダンパ４６が装
着されたピストン４８と、前記ピストン４８に連結され
たピストンロッド５０とが収装される。前記貫通孔４２
の一端部は、止め輪５２を介して装着されるエンドキャ
ップ５４によって気密に閉塞され、前記貫通孔４２の他
端部は、ピストンロッド５０の外周面を囲繞する環状凸
部５５が形成されるとともに、前記貫通孔４２に連通す
る孔部５６に止め輪５７を介して保持されたロッドパッ
キン５８およびカラー６０によって気密に閉塞される。
【００１８】この場合、前記貫通孔４２を閉塞するエン
ドキャップ５４と環状凸部５５とによってシリンダ室６
２ａ、６２ｂが画成され、前記シリンダ室６２ａ、６２
ｂは、シリンダ本体２２の一側面部に画成された一対の
流体出入ポート６４ａ、６４ｂにそれぞれ連通するよう
に形成される。なお、前記ピストンロッド５０の先端部
にはロックナット６６を介してフローティングブッシュ
６８が連結される。
ドキャップ５４と環状凸部５５とによってシリンダ室６
２ａ、６２ｂが画成され、前記シリンダ室６２ａ、６２
ｂは、シリンダ本体２２の一側面部に画成された一対の
流体出入ポート６４ａ、６４ｂにそれぞれ連通するよう
に形成される。なお、前記ピストンロッド５０の先端部
にはロックナット６６を介してフローティングブッシュ
６８が連結される。
【００１９】スライドテーブル２４は、一組のボルト７
０ａ、７０ｂを介して断面略Ｌ字状に直交してねじ締結
されるテーブル７２とエンドプレート７４とから構成さ
れ、前記エンドプレート７４に画成された半円形状の孔
部７６を介してフローティングブッシュ６８が保持され
る。なお、前記エンドプレート７４に画成された孔部内
に緩衝部材７８（図２参照）が挿入され、前記緩衝部材
７８はスライドテーブル２４の一方の変位領域の終端位
置においてエンドプレート７４がシリンダ本体２２の端
面に当接する際に発生する衝撃を緩和する機能を営む。
０ａ、７０ｂを介して断面略Ｌ字状に直交してねじ締結
されるテーブル７２とエンドプレート７４とから構成さ
れ、前記エンドプレート７４に画成された半円形状の孔
部７６を介してフローティングブッシュ６８が保持され
る。なお、前記エンドプレート７４に画成された孔部内
に緩衝部材７８（図２参照）が挿入され、前記緩衝部材
７８はスライドテーブル２４の一方の変位領域の終端位
置においてエンドプレート７４がシリンダ本体２２の端
面に当接する際に発生する衝撃を緩和する機能を営む。
【００２０】前記テーブル７２には、４個のワーク保持
用孔部８０ａ〜８０ｄと、シリンダ本体２２の取付用孔
部４０ａ、４０ｂに対応し且つ連通する一組の通し穴８
２ａ、８２ｂが画成される。従って、前記通し穴８２
ａ、８２ｂを通じてテーブル７２の上面側から図示しな
いボルトを取付用孔部４０ａ、４０ｂに螺入してシリン
ダ本体２２を他の部材に取り付け、あるいはシリンダ本
体２２の底面側からボルトを取付用孔部４０ａ、４０ｂ
に直接螺入して取り付けることも可能である。このよう
に、作業者は、リニアアクチュエータ２０の取付方向を
上方向または下方向のいずれかを選択することができ
る。
用孔部８０ａ〜８０ｄと、シリンダ本体２２の取付用孔
部４０ａ、４０ｂに対応し且つ連通する一組の通し穴８
２ａ、８２ｂが画成される。従って、前記通し穴８２
ａ、８２ｂを通じてテーブル７２の上面側から図示しな
いボルトを取付用孔部４０ａ、４０ｂに螺入してシリン
ダ本体２２を他の部材に取り付け、あるいはシリンダ本
体２２の底面側からボルトを取付用孔部４０ａ、４０ｂ
に直接螺入して取り付けることも可能である。このよう
に、作業者は、リニアアクチュエータ２０の取付方向を
上方向または下方向のいずれかを選択することができ
る。
【００２１】スライドテーブル２４の底面部中央には、
長手方向に沿って延在するガイド部８４が一体的に膨出
形成され、前記ガイド部８４の短手方向の対向する側面
部には、長手方向に沿ってボール転動溝８６ａ、８６ｂ
が画成される。また、ガイド部８４には、ストッパブロ
ック３６の形状に対応し軸線方向に沿って所定長だけ延
在する切欠部８８が形成される（図４並びに図６参
照）。前記切欠部８８の一端部には、スライドテーブル
２４の変位量調整手段として機能するアジャスタボルト
９０がロックナット９２を介して螺入され、前記アジャ
スタボルト９０の先端部には、例えば、ウレタン等のゴ
ムからなる緩衝部材９４が装着される。
長手方向に沿って延在するガイド部８４が一体的に膨出
形成され、前記ガイド部８４の短手方向の対向する側面
部には、長手方向に沿ってボール転動溝８６ａ、８６ｂ
が画成される。また、ガイド部８４には、ストッパブロ
ック３６の形状に対応し軸線方向に沿って所定長だけ延
在する切欠部８８が形成される（図４並びに図６参
照）。前記切欠部８８の一端部には、スライドテーブル
２４の変位量調整手段として機能するアジャスタボルト
９０がロックナット９２を介して螺入され、前記アジャ
スタボルト９０の先端部には、例えば、ウレタン等のゴ
ムからなる緩衝部材９４が装着される。
【００２２】この場合、アジャスタボルト９０はスライ
ドテーブル２４と一体的に変位し、緩衝部材９４がスト
ッパブロック３６に当接することにより、スライドテー
ブル２４の変位量が規制される（図４参照）。また、前
記アジャスタボルト９０および緩衝部材９４をスライド
テーブル２４の端部側且つ短手方向の略中央部に軸線方
向に沿って設けているため（図３参照）、スライドテー
ブル２４が変位終端位置に到達する際に前記スライドテ
ーブル２４に付与される偏荷重を減少させることができ
る。この結果、リニアガイドとして機能する複数のボー
ルベアリング（転動部材）１０４に対して偏荷重による
モーメントが作用することを阻止することができる。
ドテーブル２４と一体的に変位し、緩衝部材９４がスト
ッパブロック３６に当接することにより、スライドテー
ブル２４の変位量が規制される（図４参照）。また、前
記アジャスタボルト９０および緩衝部材９４をスライド
テーブル２４の端部側且つ短手方向の略中央部に軸線方
向に沿って設けているため（図３参照）、スライドテー
ブル２４が変位終端位置に到達する際に前記スライドテ
ーブル２４に付与される偏荷重を減少させることができ
る。この結果、リニアガイドとして機能する複数のボー
ルベアリング（転動部材）１０４に対して偏荷重による
モーメントが作用することを阻止することができる。
【００２３】ガイド機構２６は、図２に示されるよう
に、シリンダ本体２２と一体的に膨出形成された一対の
ガイドブロック２８ａ、２８ｂと、ねじ９６を介して前
記ガイドブロック２８ａ、２８ｂの両端部にそれぞれ装
着されるカバー９８ａ、９８ｂおよびスクレーパ１００
ａ、１００ｂとを含む。前記ガイドブロック２８ａ、２
８ｂには長手方向に沿って貫通するボール循環穴３０
ａ、３０ｂが画成され、該ガイドブロック２８ａ、２８
ｂの相互に対向する内壁面には長手方向に沿って延在す
るボール転動溝３２ａ、３２ｂが画成される。
に、シリンダ本体２２と一体的に膨出形成された一対の
ガイドブロック２８ａ、２８ｂと、ねじ９６を介して前
記ガイドブロック２８ａ、２８ｂの両端部にそれぞれ装
着されるカバー９８ａ、９８ｂおよびスクレーパ１００
ａ、１００ｂとを含む。前記ガイドブロック２８ａ、２
８ｂには長手方向に沿って貫通するボール循環穴３０
ａ、３０ｂが画成され、該ガイドブロック２８ａ、２８
ｂの相互に対向する内壁面には長手方向に沿って延在す
るボール転動溝３２ａ、３２ｂが画成される。
【００２４】また、前記ガイド機構２６は、前記ガイド
ブロック２８ａ、２８ｂの両端部にそれぞれ装着され、
前記ボール循環穴３０ａ、３０ｂとボール転動溝３２
ａ、３２ｂとを媒介するリターンガイド１０２と、前記
ボール循環穴３０ａ、３０ｂおよびボール転動溝３２
ａ、３２ｂに沿って転動する複数のボールベアリング１
０４とを有する。なお、前記カバー９８ａ、９８ｂには
ボール循環穴３０ａ、３０ｂとボール転動溝３２ａ、３
２ｂとを連結し、ボールベアリング１０４の循環軌道と
しての機能を営む凹部１０６が画成される。
ブロック２８ａ、２８ｂの両端部にそれぞれ装着され、
前記ボール循環穴３０ａ、３０ｂとボール転動溝３２
ａ、３２ｂとを媒介するリターンガイド１０２と、前記
ボール循環穴３０ａ、３０ｂおよびボール転動溝３２
ａ、３２ｂに沿って転動する複数のボールベアリング１
０４とを有する。なお、前記カバー９８ａ、９８ｂには
ボール循環穴３０ａ、３０ｂとボール転動溝３２ａ、３
２ｂとを連結し、ボールベアリング１０４の循環軌道と
しての機能を営む凹部１０６が画成される。
【００２５】本発明の第１の実施の形態に係るリニアア
クチュエータ２０は、基本的には以上のように構成され
るものであり、次にその動作並びに作用効果について説
明する。まず、図示しない流体圧供給源から圧力流体を
一方の流体出入ポート６４ｂに導入する。この場合、他
方の流体出入ポート６４ａは、図示しない切換弁の操作
下に大気開放状態にしておく。
クチュエータ２０は、基本的には以上のように構成され
るものであり、次にその動作並びに作用効果について説
明する。まず、図示しない流体圧供給源から圧力流体を
一方の流体出入ポート６４ｂに導入する。この場合、他
方の流体出入ポート６４ａは、図示しない切換弁の操作
下に大気開放状態にしておく。
【００２６】前記圧力流体は、前記流体出入ポート６４
ｂに連通する一方のシリンダ室６２ｂに供給され、ピス
トン４８を矢印Ｘ1 方向に押圧する（図５参照）。前記
ピストン４８の押圧作用下にピストンロッド５０に係合
するエンドプレート７４が矢印Ｘ1 方向に変位し、ボー
ルベアリング１０４の転動作用下に前記エンドプレート
７４と一体的にスライドテーブル２４が変位する。
ｂに連通する一方のシリンダ室６２ｂに供給され、ピス
トン４８を矢印Ｘ1 方向に押圧する（図５参照）。前記
ピストン４８の押圧作用下にピストンロッド５０に係合
するエンドプレート７４が矢印Ｘ1 方向に変位し、ボー
ルベアリング１０４の転動作用下に前記エンドプレート
７４と一体的にスライドテーブル２４が変位する。
【００２７】前記スライドテーブル２４が矢印Ｘ1 方向
に向かって変位する過程において、該スライドテーブル
２４に伴って変位するアジャスタボルト９０に装着され
た緩衝部材９４がストッパブロック３６に当接すること
により変位領域の終端位置に至る。この場合、ロックナ
ット９２を緩めてアジャスタボルト９０のねじ込み量を
調整することにより、スライドテーブル２４の変位量を
増減変更することが可能である。
に向かって変位する過程において、該スライドテーブル
２４に伴って変位するアジャスタボルト９０に装着され
た緩衝部材９４がストッパブロック３６に当接すること
により変位領域の終端位置に至る。この場合、ロックナ
ット９２を緩めてアジャスタボルト９０のねじ込み量を
調整することにより、スライドテーブル２４の変位量を
増減変更することが可能である。
【００２８】前記とは逆方向にスライドテーブル２４を
変位させる場合には、他方の流体出入ポート６４ａに圧
力流体を供給する。前記供給された圧力流体は他方のシ
リンダ室６２ａに導入され、ピストン４８を矢印Ｘ2 方
向に向かって押圧する。前記ピストン４８の押圧作用下
に、ピストンロッド５０に係合するエンドプレート７４
を介してスライドテーブル２４が矢印Ｘ2 方向に変位
し、エンドプレート７４に設けられた緩衝部材７８がシ
リンダ本体２２の端面に当接することにより変位領域の
終端位置に至る。
変位させる場合には、他方の流体出入ポート６４ａに圧
力流体を供給する。前記供給された圧力流体は他方のシ
リンダ室６２ａに導入され、ピストン４８を矢印Ｘ2 方
向に向かって押圧する。前記ピストン４８の押圧作用下
に、ピストンロッド５０に係合するエンドプレート７４
を介してスライドテーブル２４が矢印Ｘ2 方向に変位
し、エンドプレート７４に設けられた緩衝部材７８がシ
リンダ本体２２の端面に当接することにより変位領域の
終端位置に至る。
【００２９】第１の実施の形態に係るリニアアクチュエ
ータ２０では、ガイド部８４をスライドテーブル２４の
底面部中央の長手方向に沿って一体的に膨出形成し、一
方、ボールベアリング１０４を介して前記ガイド部８４
と摺接するガイドブロック２８ａ、２８ｂをシリンダ本
体２２の上面部に一体的に膨出形成している。従って、
図１８Ａおよび図１８Ｂに示される従来技術と異なり、
前記ガイド部８４の短手方向の幅Ｈ（図６参照）に影響
されることがなく、シリンダ本体２２の所望の位置に取
付用孔部４０ａ、４０ｂを穿設することができる。
ータ２０では、ガイド部８４をスライドテーブル２４の
底面部中央の長手方向に沿って一体的に膨出形成し、一
方、ボールベアリング１０４を介して前記ガイド部８４
と摺接するガイドブロック２８ａ、２８ｂをシリンダ本
体２２の上面部に一体的に膨出形成している。従って、
図１８Ａおよび図１８Ｂに示される従来技術と異なり、
前記ガイド部８４の短手方向の幅Ｈ（図６参照）に影響
されることがなく、シリンダ本体２２の所望の位置に取
付用孔部４０ａ、４０ｂを穿設することができる。
【００３０】このように、本実施の形態に係るリニアア
クチュエータ２０では、従来技術と比較して、シリンダ
本体２２の短手方向の幅Ｈを縮小することができ、この
結果、装置全体の小型・軽量化を図ることが可能とな
る。また、本実施の形態に係るリニアアクチュエータ２
０では、スライドテーブル２４の変位量調整手段として
機能するアジャスタボルト９０がスライドテーブル２４
の底面部の略中央部に形成された切欠部８８を介して設
けられているため、スライドテーブル２４の一側面から
外部に向かって第１〜第３張出し部１１、１２、１３を
突出させている図１９に示される他の従来技術と比較し
て、より一層、シリンダ本体２２の短手方向の幅Ｈを縮
小することができる。また、スライドテーブル２４の変
位領域の終端位置において発生する偏荷重を減少させる
ことができ、ワークを安定して搬送することが可能とな
る。
クチュエータ２０では、従来技術と比較して、シリンダ
本体２２の短手方向の幅Ｈを縮小することができ、この
結果、装置全体の小型・軽量化を図ることが可能とな
る。また、本実施の形態に係るリニアアクチュエータ２
０では、スライドテーブル２４の変位量調整手段として
機能するアジャスタボルト９０がスライドテーブル２４
の底面部の略中央部に形成された切欠部８８を介して設
けられているため、スライドテーブル２４の一側面から
外部に向かって第１〜第３張出し部１１、１２、１３を
突出させている図１９に示される他の従来技術と比較し
て、より一層、シリンダ本体２２の短手方向の幅Ｈを縮
小することができる。また、スライドテーブル２４の変
位領域の終端位置において発生する偏荷重を減少させる
ことができ、ワークを安定して搬送することが可能とな
る。
【００３１】次に、本発明の第２の実施の形態に係るリ
ニアアクチュエータ１１０を図８および図９に示す。な
お、以下の実施の形態において、同一の構成要素には同
一の参照符号を付し、異なる構成要素についてのみ説明
する。第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２
０では、各ガイドブロック２８ａ、２８ｂにそれぞれボ
ール循環穴３０ａ、３０ｂを画成しているのに対し、第
２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１１０で
は、スライドテーブル２４のガイド部８４の内部にボー
ル転動溝８６ａ、８６ｂと略平行に一組のボール循環穴
１１２ａ、１１２ｂを画成している点で異なる。
ニアアクチュエータ１１０を図８および図９に示す。な
お、以下の実施の形態において、同一の構成要素には同
一の参照符号を付し、異なる構成要素についてのみ説明
する。第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２
０では、各ガイドブロック２８ａ、２８ｂにそれぞれボ
ール循環穴３０ａ、３０ｂを画成しているのに対し、第
２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１１０で
は、スライドテーブル２４のガイド部８４の内部にボー
ル転動溝８６ａ、８６ｂと略平行に一組のボール循環穴
１１２ａ、１１２ｂを画成している点で異なる。
【００３２】この結果、第１の実施の形態に係るリニア
アクチュエータ２０では、複数のボールベアリング１０
４がガイド部８４とガイドブロック２８ａ、２８ｂとの
摺動部位を経由してシリンダ本体２２の外側を循環する
ように構成しているのに対し、第２の実施の形態に係る
リニアアクチュエータ１１０では、ボールベアリング１
０４がガイド部８４とガイドブロック２８ａ、２８ｂと
の摺動部位を経由してスライドテーブル２４の内側を循
環する。
アクチュエータ２０では、複数のボールベアリング１０
４がガイド部８４とガイドブロック２８ａ、２８ｂとの
摺動部位を経由してシリンダ本体２２の外側を循環する
ように構成しているのに対し、第２の実施の形態に係る
リニアアクチュエータ１１０では、ボールベアリング１
０４がガイド部８４とガイドブロック２８ａ、２８ｂと
の摺動部位を経由してスライドテーブル２４の内側を循
環する。
【００３３】次に、本発明の第３の実施の形態に係るリ
ニアアクチュエータ１２０を図１０〜図１３に示す。第
３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１２０で
は、図１２に示されるように、シリンダ本体２２の上面
部の中央部に軸線方向に沿ってガイド部１２２を膨出形
成するとともに、スライドテーブル１２４の短手方向に
沿った両端部にそれぞれガイドブロック１２６ａ、１２
６ｂを膨出形成している点で第１および第２の実施の形
態に係るリニアアクチュエータ２０、１１０と異なる。
ニアアクチュエータ１２０を図１０〜図１３に示す。第
３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１２０で
は、図１２に示されるように、シリンダ本体２２の上面
部の中央部に軸線方向に沿ってガイド部１２２を膨出形
成するとともに、スライドテーブル１２４の短手方向に
沿った両端部にそれぞれガイドブロック１２６ａ、１２
６ｂを膨出形成している点で第１および第２の実施の形
態に係るリニアアクチュエータ２０、１１０と異なる。
【００３４】この結果、第３の実施の形態に係るリニア
アクチュエータ１２０では、複数のボールベアリング１
０４がガイドブロック１２６ａ、１２６ｂとガイド部１
２２との摺動部位を経由してスライドテーブル１２４の
外側を循環する。なお、参照符号１２８は、スライドテ
ーブル１２４の一端部にねじ止めされ、アジャスタボル
ト９０を保持する保持ブロックである。
アクチュエータ１２０では、複数のボールベアリング１
０４がガイドブロック１２６ａ、１２６ｂとガイド部１
２２との摺動部位を経由してスライドテーブル１２４の
外側を循環する。なお、参照符号１２８は、スライドテ
ーブル１２４の一端部にねじ止めされ、アジャスタボル
ト９０を保持する保持ブロックである。
【００３５】また、第１および第２の実施の形態に係る
リニアアクチュエータ２０、１１０では、ストッパブロ
ック３６をシリンダ本体２２と別体で形成しねじ止めし
ているのに対し、第３の実施の形態に係るリニアアクチ
ュエータ１２０では、シリンダ本体２２のガイド部１２
２を切り欠いて切欠部１３０を形成するとともにストッ
パブロック１３２をシリンダ本体２２と一体的に形成し
ている点で異なる（図１１参照）。
リニアアクチュエータ２０、１１０では、ストッパブロ
ック３６をシリンダ本体２２と別体で形成しねじ止めし
ているのに対し、第３の実施の形態に係るリニアアクチ
ュエータ１２０では、シリンダ本体２２のガイド部１２
２を切り欠いて切欠部１３０を形成するとともにストッ
パブロック１３２をシリンダ本体２２と一体的に形成し
ている点で異なる（図１１参照）。
【００３６】次に、本発明の第４の実施の形態に係るリ
ニアアクチュエータ１４０を図１４〜図１７に示す。第
４の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１４０で
は、図１６に示されるように、シリンダ本体２２のガイ
ド部１２２に一組のボール循環穴１４２ａ、１４２ｂを
画成することにより、ボールベアリング１０４がガイド
ブロック１２６ａ、１２６ｂとガイド部１２２との摺動
部位を経由してシリンダ本体２２の内側を経由する。
ニアアクチュエータ１４０を図１４〜図１７に示す。第
４の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１４０で
は、図１６に示されるように、シリンダ本体２２のガイ
ド部１２２に一組のボール循環穴１４２ａ、１４２ｂを
画成することにより、ボールベアリング１０４がガイド
ブロック１２６ａ、１２６ｂとガイド部１２２との摺動
部位を経由してシリンダ本体２２の内側を経由する。
【００３７】なお、第２〜第４の実施の形態に係るリニ
アアクチュエータ１１０、１２０、１４０の作用効果
は、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０
と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
アアクチュエータ１１０、１２０、１４０の作用効果
は、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０
と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
【００３８】
【発明の効果】本発明に係るリニアアクチュエータによ
れば、以下の効果が得られる。すなわち、スライドテー
ブルの直線精度を劣化させることなくシリンダ本体の短
手方向の幅を縮小して装置全体の小型・軽量化を図るこ
とができる。また、前記シリンダ本体を他の部材に取り
付ける取付方向の自由度を増大させることができる。
れば、以下の効果が得られる。すなわち、スライドテー
ブルの直線精度を劣化させることなくシリンダ本体の短
手方向の幅を縮小して装置全体の小型・軽量化を図るこ
とができる。また、前記シリンダ本体を他の部材に取り
付ける取付方向の自由度を増大させることができる。
【００３９】さらに、シリンダ本体の短手方向の幅を増
大させることなく、スライドテーブルの変位量調整手段
を設けることができる。この場合、前記変位量調整手段
をシリンダ本体とスライドテーブルとの間に設けること
により、前記スライドテーブルの変位領域の終端位置で
発生する偏荷重を減少させることができる。
大させることなく、スライドテーブルの変位量調整手段
を設けることができる。この場合、前記変位量調整手段
をシリンダ本体とスライドテーブルとの間に設けること
により、前記スライドテーブルの変位領域の終端位置で
発生する偏荷重を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチ
ュエータの斜視図である。
ュエータの斜視図である。
【図２】図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図
である。
である。
【図３】図１に示すリニアアクチュエータの平面図であ
る。
る。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図であ
る。
る。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチ
ュエータの断面図である。
ュエータの断面図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係るリニアアク
チュエータの平面図である。
チュエータの平面図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線に沿った断面図であ
る。
る。
【図１２】図１１のＸＩＩ−ＸＩＩに沿った断面図であ
る。
る。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿った断面
図である。
図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態に係るリニアアク
チュエータの平面図である。
チュエータの平面図である。
【図１５】図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿った断面図であ
る。
る。
【図１６】図１５のＸＶＩ−ＸＶＩ線に沿った断面図で
ある。
ある。
【図１７】図１６のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線に沿った断面
図である。
図である。
【図１８】従来技術に係るリニアアクチュエータを示
し、図１８Ａは、その平面図、図１８Ｂは、その側面図
である。
し、図１８Ａは、その平面図、図１８Ｂは、その側面図
である。
【図１９】他の従来技術に係るリニアクチュエータの斜
視図である。
視図である。
２０、１１０、１２０、１４０…リニアアクチュエータ ２２…シリンダ本体 ２４、１２４
…スライドテーブル ２６…ガイド機構 ２８ａ、２８ｂ、１２６ａ、１２６ｂ…ガイドブロック ３０ａ、３０ｂ、１１２ａ、１１２ｂ、１４２ａ、１４
２ｂ…ボール循環穴 ３２ａ、３２ｂ、８６ａ、８６ｂ…ボール転動溝 ３６、１３２…ストッパブロック ４０ａ、４０
ｂ…取付用孔部 ４２…貫通孔 ４８…ピスト
ン ５０…ピストンロッド ６２ａ、６２
ｂ…シリンダ室 ６４ａ、６４ｂ…流体出入ポート ７２…テーブ
ル ７４…エンドプレート ８２ａ、８２
ｂ…通し穴 ８４、１２２…ガイド部 ８８、１３０
…切欠部 ７８、９４…緩衝部材
…スライドテーブル ２６…ガイド機構 ２８ａ、２８ｂ、１２６ａ、１２６ｂ…ガイドブロック ３０ａ、３０ｂ、１１２ａ、１１２ｂ、１４２ａ、１４
２ｂ…ボール循環穴 ３２ａ、３２ｂ、８６ａ、８６ｂ…ボール転動溝 ３６、１３２…ストッパブロック ４０ａ、４０
ｂ…取付用孔部 ４２…貫通孔 ４８…ピスト
ン ５０…ピストンロッド ６２ａ、６２
ｂ…シリンダ室 ６４ａ、６４ｂ…流体出入ポート ７２…テーブ
ル ７４…エンドプレート ８２ａ、８２
ｂ…通し穴 ８４、１２２…ガイド部 ８８、１３０
…切欠部 ７８、９４…緩衝部材
Claims (9)
- 【請求項１】流体出入ポートから圧力流体を導入するこ
とにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテ
ーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであっ
て、 軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するシリンダ本体
を有し、前記貫通孔内に画成されたシリンダ室に沿って
摺動自在に配設されるピストンの変位作用下に前記スラ
イドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、 前記スライドテーブルの底面部またはシリンダ本体の上
面部に長手方向に沿って膨出形成されたガイド部と、シ
リンダ本体の上面部またはスライドテーブルの底面部に
所定間隔離間し且つ相互に対向して形成された一組のガ
イドブロックとを有し、前記スライドテーブルをシリン
ダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、 前記シリンダ本体を他の部材に取り付ける方向が前記ス
ライドテーブル側または前記シリンダ本体側のいずれの
方向からでも選択自在に設けられた取付手段と、 前記スライドテーブルと前記シリンダ本体との間に画成
された切欠部に設けられ、該スライドテーブルの変位量
を調整する変位量調整手段と、 を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項２】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
いて、変位量調整手段は、スライドテーブルの軸線方向
に沿った略中央部に連結され、切欠部を介して前記スラ
イドテーブルと一体的に変位するアジャスタボルトと、
前記アジャスタボルトが当接することにより該スライド
テーブルの変位量を規制するストッパブロックとを有
し、前記アジャスタボルトのねじ込み量の増減作用下に
スライドテーブルの変位量を調整することを特徴とする
リニアアクチュエータ。 - 【請求項３】請求項１または２記載のリニアアクチュエ
ータにおいて、取付手段は、スライドテーブルの略中央
部に画成された通し穴と、前記通し穴に連通するととも
に、シリンダ本体の軸線方向と略直交する方向に貫通し
て形成された取付用孔部とを有し、シリンダ本体の内部
に画成された貫通孔は、前記シリンダ本体の軸線から短
手方向側に向かって所定距離偏位して形成されることを
特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項４】請求項２記載のリニアアクチュエータにお
いて、ストッパブロックに当接するアジャスタボルトの
一端部には、弾性体からなる緩衝部材が設けられること
を特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項５】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
いて、ガイド機構は、ガイド部およびガイドブロックに
形成された無限循環軌道を転動する転動部材を有し、前
記無限循環軌道はボール循環穴とボール転動溝とによっ
て画成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項６】請求項５記載のリニアアクチュエータにお
いて、ガイド機構は、スライドテーブルの底面部に膨出
形成されたガイド部と、前記ガイド部を間にして所定距
離離間してシリンダ本体の上面部に相互に対向して形成
された一組のガイドブロックとを有し、転動部材を介し
て摺動するガイド部とガイドブロックとの摺動部位にボ
ール転動溝をそれぞれ形成するとともに、各ガイドブロ
ックの軸線方向に沿ってボール循環穴を画成することを
特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項７】請求項６記載のリニアアクチュエータにお
いて、各ガイドブロックの軸線方向に沿って画成される
ボール循環穴に代替して、一組のボール循環穴をガイド
部の軸線方向に沿って略平行に画成することを特徴とす
るリニアアクチュエータ。 - 【請求項８】請求項５記載のリニアアクチュエータにお
いて、ガイド機構は、シリンダ本体の上面部に膨出形成
されたガイド部と、前記ガイド部を間にしてスライドテ
ーブルの底面部に所定距離離間して相互に対向して形成
された一組のガイドブロックとを有し、転動部材を介し
て摺動するガイド部とガイドブロックとの摺動部位にボ
ール転動溝をそれぞれ形成するとともに、各ガイドブロ
ックの軸線方向に沿ってボール循環穴を画成することを
特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項９】請求項８記載のリニアアクチュエータにお
いて、各ガイドブロックの軸線方向に沿って画成される
ボール循環穴に代替して、一組のボール循環穴をガイド
部の軸線方向に沿って略平行に画成することを特徴とす
るリニアアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30462795A JPH09141533A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | リニアアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30462795A JPH09141533A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | リニアアクチュエータ |
Publications (1)
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- 1995-11-22 JP JP30462795A patent/JPH09141533A/ja active Pending
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