JPH09115151A - 円盤状基板にレーザービーム露光処理を施す装置 - Google Patents
円盤状基板にレーザービーム露光処理を施す装置Info
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- JPH09115151A JPH09115151A JP25972796A JP25972796A JPH09115151A JP H09115151 A JPH09115151 A JP H09115151A JP 25972796 A JP25972796 A JP 25972796A JP 25972796 A JP25972796 A JP 25972796A JP H09115151 A JPH09115151 A JP H09115151A
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- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 経費を極力僅少にして半径方向運動の高い均
等特性、ひいては高いトラック精度を得るように構成す
る。 【解決手段】 レーザービーム対物レンズ１１に対する
送り台２の相対的な位置を決定するために測定装置１３
が配置されており、かつ基板受座４に対する前記レーザ
ービーム対物レンズ１１の相対的な位置を微修正するた
めに前記レーザービーム対物レンズ１１又は前記送り台
２が、センサ１４の信号により制御される調整駆動装置
１８によって半径方向駆動装置１２に対して相対的にシ
フト可能に配置されている。
等特性、ひいては高いトラック精度を得るように構成す
る。 【解決手段】 レーザービーム対物レンズ１１に対する
送り台２の相対的な位置を決定するために測定装置１３
が配置されており、かつ基板受座４に対する前記レーザ
ービーム対物レンズ１１の相対的な位置を微修正するた
めに前記レーザービーム対物レンズ１１又は前記送り台
２が、センサ１４の信号により制御される調整駆動装置
１８によって半径方向駆動装置１２に対して相対的にシ
フト可能に配置されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホルダー内に配置
されたレーザービーム対物レンズと、作業テーブル内で
半径方向駆動装置によって前記レーザービーム対物レン
ズに対して直角な横方向に移動可能でありかつ回転駆動
装置によって駆動可能なスピンドル上に配置した基板受
座を備えた送り台とを有する形式の、円盤状基板にレー
ザービーム露光処理を施す装置に関するものである。
されたレーザービーム対物レンズと、作業テーブル内で
半径方向駆動装置によって前記レーザービーム対物レン
ズに対して直角な横方向に移動可能でありかつ回転駆動
装置によって駆動可能なスピンドル上に配置した基板受
座を備えた送り台とを有する形式の、円盤状基板にレー
ザービーム露光処理を施す装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光学的に情報を読出し可能な情報担体、
例えばコンパクトディスク、を製造するためのマスター
ディスクを製造するためには、マスターディスクのスパ
イラル状に経過するトラック上にレーザービームによっ
てデジタル情報に相応してピットを、精確に確定された
位置に位置決めすることが必要である。このために従来
の装置では、できるだけ均等特性の回転駆動装置と半径
方向駆動装置が装備されてきた。しかしながら、僅か数
ｎｍのトラック精度偏差しか許容されないので、不良品
出しを僅かにして高品質のマスターディスクを製造する
には半径方向駆動装置の均等特性では往々にして不充分
な場合がある。測定系によって半径方向運動の不均等性
を検出しようとする場合には、回転信号発生器、部分的
には又、レーザー干渉計が使用されている。しかしなが
ら回転信号発生器による位置解像は比較的低いので、該
回転信号発生器はこのような適用例の要望を充足するこ
とができない。レーザー干渉計は高価であり、かつ、そ
の測定精度に関しては環境の影響を受け易く、該影響
は、高い経費をかけてしか、かつ仮に高い経費をかけた
としても、不充分にしか補償することができない。
例えばコンパクトディスク、を製造するためのマスター
ディスクを製造するためには、マスターディスクのスパ
イラル状に経過するトラック上にレーザービームによっ
てデジタル情報に相応してピットを、精確に確定された
位置に位置決めすることが必要である。このために従来
の装置では、できるだけ均等特性の回転駆動装置と半径
方向駆動装置が装備されてきた。しかしながら、僅か数
ｎｍのトラック精度偏差しか許容されないので、不良品
出しを僅かにして高品質のマスターディスクを製造する
には半径方向駆動装置の均等特性では往々にして不充分
な場合がある。測定系によって半径方向運動の不均等性
を検出しようとする場合には、回転信号発生器、部分的
には又、レーザー干渉計が使用されている。しかしなが
ら回転信号発生器による位置解像は比較的低いので、該
回転信号発生器はこのような適用例の要望を充足するこ
とができない。レーザー干渉計は高価であり、かつ、そ
の測定精度に関しては環境の影響を受け易く、該影響
は、高い経費をかけてしか、かつ仮に高い経費をかけた
としても、不充分にしか補償することができない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の装置を改良し、経費を極力僅少にして半
径方向運動の高い均等特性、ひいては高いトラック精度
を得るように構成することである。
で述べた形式の装置を改良し、経費を極力僅少にして半
径方向運動の高い均等特性、ひいては高いトラック精度
を得るように構成することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の構成手段は、レーザービーム対物レンズに対
する送り台の相対的な位置を決定するために測定装置が
配置されており、かつ基板受座に対する前記レーザービ
ーム対物レンズの相対的な位置を微修正するために前記
レーザービーム対物レンズ又は前記送り台が、センサの
信号により制御される調整駆動装置によって半径方向駆
動装置に対して相対的にシフト可能に配置されている点
にある。
の本発明の構成手段は、レーザービーム対物レンズに対
する送り台の相対的な位置を決定するために測定装置が
配置されており、かつ基板受座に対する前記レーザービ
ーム対物レンズの相対的な位置を微修正するために前記
レーザービーム対物レンズ又は前記送り台が、センサの
信号により制御される調整駆動装置によって半径方向駆
動装置に対して相対的にシフト可能に配置されている点
にある。
【０００５】
【作用】前記のような測定装置を採用すれば、基板のレ
ーザービーム露光処理中に、基板に対するレーザービー
ム対物レンズの相対的な位置を半径方向で精確に決定す
ることが可能になる。これに基づいて、半径方向運動に
微調整運動を重畳させることによって、半径方向送りの
誤差を自動的に修正することが可能になる。これによっ
て、比較的僅かな経費で著しく高いトラック精度が得ら
れる。本発明の装置を使用すれば、特に高いメモリ密度
を有するＣＤを生産することが可能である。それという
のは本発明の装置は、±１０ｎｍという特に狭いトレラ
ンスに基づいて、特に僅かなトラック間隔を許容するか
らである。
ーザービーム露光処理中に、基板に対するレーザービー
ム対物レンズの相対的な位置を半径方向で精確に決定す
ることが可能になる。これに基づいて、半径方向運動に
微調整運動を重畳させることによって、半径方向送りの
誤差を自動的に修正することが可能になる。これによっ
て、比較的僅かな経費で著しく高いトラック精度が得ら
れる。本発明の装置を使用すれば、特に高いメモリ密度
を有するＣＤを生産することが可能である。それという
のは本発明の装置は、±１０ｎｍという特に狭いトレラ
ンスに基づいて、特に僅かなトラック間隔を許容するか
らである。
【０００６】
【発明の実施の形態】測定装置が、作業テーブル又は送
り台に固定されていて該送り台の運動方向に延在する測
定スケールと、該測定スケールに対向して送り台又は作
業テーブルに固定されていて前記測定スケールを走査す
るセンサとから構成されている場合には、本発明の装置
の構成は特に単純なものとなる。
り台に固定されていて該送り台の運動方向に延在する測
定スケールと、該測定スケールに対向して送り台又は作
業テーブルに固定されていて前記測定スケールを走査す
るセンサとから構成されている場合には、本発明の装置
の構成は特に単純なものとなる。
【０００７】本発明の別の構成によれば測定装置を位相
格子式測定系として構成することによって、半径方向の
運動を特に精確に検出することが可能である。
格子式測定系として構成することによって、半径方向の
運動を特に精確に検出することが可能である。
【０００８】しかし又、測定装置をレーザー干渉計とし
て構成することも可能である。
て構成することも可能である。
【０００９】このような測定装置の場合には、環境補償
という欠点は、レーザー干渉計が、レーザービーム対物
レンズに固定された基準ミラーと、基板受座より上位で
送り台上に配置された可動ミラーとを備えた差動レーザ
ー干渉計として構成することによって、補償することが
できる。
という欠点は、レーザー干渉計が、レーザービーム対物
レンズに固定された基準ミラーと、基板受座より上位で
送り台上に配置された可動ミラーとを備えた差動レーザ
ー干渉計として構成することによって、補償することが
できる。
【００１０】本発明で重要な点は、送り台とレーザービ
ーム対物レンズとの間で半径方向の相対運動を生ぜしめ
ることである。この相対運動は位置誤差を補正するため
に著しく迅速に行われねばならないので、この場合可能
な限り僅かな質量を運動させるのが有利である。これを
達成させるために本発明の特に有利な実施形態では、レ
ーザービーム対物レンズは送り台の運動方向に調整駆動
装置によって制限範囲内を調整移動可能である。レーザ
ービーム対物レンズの調整移動によって、送り台の調整
移動に対比して著しく大きな動力学的効率が得られる。
ーム対物レンズとの間で半径方向の相対運動を生ぜしめ
ることである。この相対運動は位置誤差を補正するため
に著しく迅速に行われねばならないので、この場合可能
な限り僅かな質量を運動させるのが有利である。これを
達成させるために本発明の特に有利な実施形態では、レ
ーザービーム対物レンズは送り台の運動方向に調整駆動
装置によって制限範囲内を調整移動可能である。レーザ
ービーム対物レンズの調整移動によって、送り台の調整
移動に対比して著しく大きな動力学的効率が得られる。
【００１１】測定精度を更に高めるために、センサが、
レーザービーム対物レンズの可能な限り近くで該レーザ
ービーム対物レンズのホルダーに固定され、かつ測定ス
ケールが、基板受座のスピンドルの可能な限り近くで送
り台に固定されているのが有利である。
レーザービーム対物レンズの可能な限り近くで該レーザ
ービーム対物レンズのホルダーに固定され、かつ測定ス
ケールが、基板受座のスピンドルの可能な限り近くで送
り台に固定されているのが有利である。
【００１２】レーザービーム対物レンズ又は送り台の位
置を修正するための調整駆動装置が圧電変換器である場
合には、所要の微調整運動は特に迅速かつ精密に行われ
る。
置を修正するための調整駆動装置が圧電変換器である場
合には、所要の微調整運動は特に迅速かつ精密に行われ
る。
【００１３】弾性に起因した調整運動に関する不精度
は、圧電変換器を固体ジョイントテーブルに設けること
によって、比較的僅少な経費で排除することができる。
は、圧電変換器を固体ジョイントテーブルに設けること
によって、比較的僅少な経費で排除することができる。
【００１４】前記固体ジョイントテーブルは種々の態様
で構成することができる。光学的なデータ担体を製造す
る適用例の場合に申し分なく高い調整精度を有する構造
的に特に単純な実施形態は、固体ジョイントテーブル
が、１つの構成部材に固定すべき閉じたフレームを有
し、該フレームの内部には、複数のジョイントによって
連結された１つのインナー部材が配置されており、圧電
変換器が一側では前記フレームに、他側では前記インナ
ー部材に支持されており、かつ前記インナー部材が圧縮
ばねを介して前記圧電変換器に対して予荷重をかけられ
ている点にある。
で構成することができる。光学的なデータ担体を製造す
る適用例の場合に申し分なく高い調整精度を有する構造
的に特に単純な実施形態は、固体ジョイントテーブル
が、１つの構成部材に固定すべき閉じたフレームを有
し、該フレームの内部には、複数のジョイントによって
連結された１つのインナー部材が配置されており、圧電
変換器が一側では前記フレームに、他側では前記インナ
ー部材に支持されており、かつ前記インナー部材が圧縮
ばねを介して前記圧電変換器に対して予荷重をかけられ
ている点にある。
【００１５】本発明の別の構成によれば、圧電変換器が
夫々１つの球を介してフレームとインナー部材とに支持
され、かつ圧縮ばねが同じく１つの球を介して前記イン
ナー部材に支持されていることによって、調整誤差を惹
起させる傾斜力は簡単に排除される。
夫々１つの球を介してフレームとインナー部材とに支持
され、かつ圧縮ばねが同じく１つの球を介して前記イン
ナー部材に支持されていることによって、調整誤差を惹
起させる傾斜力は簡単に排除される。
【００１６】固体ジョイントテーブルを特にコンパクト
に構成するために、インナー部材は盲孔を有し、該盲孔
内に圧電変換器が嵌合している。
に構成するために、インナー部材は盲孔を有し、該盲孔
内に圧電変換器が嵌合している。
【００１７】
【実施例】次に図面に基づいて本発明の実施例を詳説す
る。
る。
【００１８】図１に示した作業テーブル１内では、送り
台２が空気軸受３に支持されて図平面に対して直角方向
に移動可能である。前記送り台２は基板受座４を有して
おり、該基板受座には、マスターディスクとして使用さ
れる基板５が負圧によって保持されている。基板受座４
はスピンドル６の上端部に設けられており、該スピンド
ル自体は、送り台２の空気軸受（図示せず）内に回転可
能に支承されている。スピンドル６を駆動し、ひいては
基板受座４を駆動するためにはモータ８を装備した回転
駆動装置７が使用され、該回転駆動装置は回転パルス信
号発生器９と共に前記スピンドル６の下端部にフランジ
締結されている。
台２が空気軸受３に支持されて図平面に対して直角方向
に移動可能である。前記送り台２は基板受座４を有して
おり、該基板受座には、マスターディスクとして使用さ
れる基板５が負圧によって保持されている。基板受座４
はスピンドル６の上端部に設けられており、該スピンド
ル自体は、送り台２の空気軸受（図示せず）内に回転可
能に支承されている。スピンドル６を駆動し、ひいては
基板受座４を駆動するためにはモータ８を装備した回転
駆動装置７が使用され、該回転駆動装置は回転パルス信
号発生器９と共に前記スピンドル６の下端部にフランジ
締結されている。
【００１９】作業テーブル１の上には、レーザービーム
対物レンズ１１を保持するブリッジ１０が架橋配置され
ている。
対物レンズ１１を保持するブリッジ１０が架橋配置され
ている。
【００２０】送り台２を移動させるためには、図２に略
示した半径方向駆動装置１２が使用される。該半径方向
駆動装置１２が作動されると、基板５は、レーザービー
ム対物レンズ１１に対して直角な横方向に移動するの
で、該移動と同時に基板受座４を基板５と共に回動する
ことによって、基板５上でピットがスパイラル状のトラ
ックに沿って露光される。
示した半径方向駆動装置１２が使用される。該半径方向
駆動装置１２が作動されると、基板５は、レーザービー
ム対物レンズ１１に対して直角な横方向に移動するの
で、該移動と同時に基板受座４を基板５と共に回動する
ことによって、基板５上でピットがスパイラル状のトラ
ックに沿って露光される。
【００２１】本発明にとって重要な構成要素は測定装置
１３であり、該測定装置は本実施例では、レーザービー
ム対物レンズ１１の可能な限り近くで固定されたセンサ
１４と、作業テーブル１上に固定されていて該作業テー
ブル１の運動方向に方位を整合された測定スケール１５
とを有している。図１から明確に判るように、Ｕ形支持
体１６が基板５にＵ字状に被さって配置されており、か
つ測定スケール１５をセンサ１４の直ぐ前に延在させる
ように構成されている。
１３であり、該測定装置は本実施例では、レーザービー
ム対物レンズ１１の可能な限り近くで固定されたセンサ
１４と、作業テーブル１上に固定されていて該作業テー
ブル１の運動方向に方位を整合された測定スケール１５
とを有している。図１から明確に判るように、Ｕ形支持
体１６が基板５にＵ字状に被さって配置されており、か
つ測定スケール１５をセンサ１４の直ぐ前に延在させる
ように構成されている。
【００２２】レーザービーム対物レンズ１１はホルダー
１７によって保持され、該ホルダーは、圧電変換器を備
えた調整駆動装置１８を有している。これによって作業
テーブル１の送り軸線上におけるレーザービーム対物レ
ンズ１１の微調整運動が得られる。
１７によって保持され、該ホルダーは、圧電変換器を備
えた調整駆動装置１８を有している。これによって作業
テーブル１の送り軸線上におけるレーザービーム対物レ
ンズ１１の微調整運動が得られる。
【００２３】図２から特に判るように測定スケール１５
の方位が送り台２の運動方向に整合されているので、セ
ンサ１４を介して常時、レーザービーム対物レンズ１１
に対する送り台２の相対的な位置に関する精確な情報が
得られる。該位置が、半径方向駆動装置１２の不精度に
起因して目標値に一致しない場合には、調整駆動装置１
８によりレーザービーム対物レンズ１１をシフトするこ
とによって位置が補正される。
の方位が送り台２の運動方向に整合されているので、セ
ンサ１４を介して常時、レーザービーム対物レンズ１１
に対する送り台２の相対的な位置に関する精確な情報が
得られる。該位置が、半径方向駆動装置１２の不精度に
起因して目標値に一致しない場合には、調整駆動装置１
８によりレーザービーム対物レンズ１１をシフトするこ
とによって位置が補正される。
【００２４】図３の断面図では固体ジョイントテーブル
１９が図示されている。該固体ジョイントテーブルは、
閉じたフレーム２０と、該フレーム内部において制限範
囲内をシフト可能に配置されたインナー部材２１とから
成っている。該インナー部材２１は４つの略示したジョ
イント２２によってフレーム２０と連結されている。イ
ンナー部材２１は盲孔２３を有し、該盲孔内には、個々
の圧電素子から成る圧電変換器２４が係合しており、か
つ該圧電変換器は１つの球２５を介して前記盲孔２３の
底に支持され、また別の球２６を介してフレーム２０に
か又は該フレームと固着結合された構成部材に支持され
ている。
１９が図示されている。該固体ジョイントテーブルは、
閉じたフレーム２０と、該フレーム内部において制限範
囲内をシフト可能に配置されたインナー部材２１とから
成っている。該インナー部材２１は４つの略示したジョ
イント２２によってフレーム２０と連結されている。イ
ンナー部材２１は盲孔２３を有し、該盲孔内には、個々
の圧電素子から成る圧電変換器２４が係合しており、か
つ該圧電変換器は１つの球２５を介して前記盲孔２３の
底に支持され、また別の球２６を介してフレーム２０に
か又は該フレームと固着結合された構成部材に支持され
ている。
【００２５】図３の下部範囲に示したように圧縮ばね２
７がフレーム２０の下部域に設けられており、該圧縮ば
ねの下端はフレーム２０に支持され、また上端は球２８
を介してインナー部材２１に支持されており、これによ
って該インナー部材２１は圧電変換器２４に対して予荷
重をかけられている。
７がフレーム２０の下部域に設けられており、該圧縮ば
ねの下端はフレーム２０に支持され、また上端は球２８
を介してインナー部材２１に支持されており、これによ
って該インナー部材２１は圧電変換器２４に対して予荷
重をかけられている。
【００２６】圧電変換器２４が異なった電圧で負荷され
ると、該圧電変換器はその長さをナノメートル範囲で変
化し、従ってフレーム２０に対して相対的にインナー部
材２１をシフトする。例えばフレーム２０を定置に配置
し、かつインナー部材２１をレーザービーム対物レンズ
１１と結合した場合には、前記の構成に基づいてレーザ
ービーム対物レンズ１１の微調整運動が生じる。
ると、該圧電変換器はその長さをナノメートル範囲で変
化し、従ってフレーム２０に対して相対的にインナー部
材２１をシフトする。例えばフレーム２０を定置に配置
し、かつインナー部材２１をレーザービーム対物レンズ
１１と結合した場合には、前記の構成に基づいてレーザ
ービーム対物レンズ１１の微調整運動が生じる。
【図１】本発明によるレーザービーム露光処理装置の側
面図である。
面図である。
【図２】本発明によるレーザービーム露光処理装置の平
面図である。
面図である。
【図３】本発明による固体ジョイントテーブルの断面図
である。
である。
１ 作業テーブル、 ２ 送り台、 ３ 空気軸
受、 ４ 基板受座、 ５ マスターディスクとし
ての基板、 ６ スピンドル、 ７ 回転駆動装
置、 ８ モータ、 ９ 回転パルス信号発生器、
１０ ブリッジ、 １１ レーザービーム対物レ
ンズ、 １２ 半径方向駆動装置、 １３ 測定装
置、 １４ センサ、 １５ 測定スケール、 １
６ Ｕ形支持体、 １７ ホルダー、 １８ 調
整駆動装置、 １９ 固体ジョイントテーブル、 ２
０ フレーム、 ２１ インナー部材、 ２２
ジョイント、 ２３ 盲孔、 ２４ 圧電変換器、
２５，２６ 球、 ２７圧縮ばね、 ２８ 球
受、 ４ 基板受座、 ５ マスターディスクとし
ての基板、 ６ スピンドル、 ７ 回転駆動装
置、 ８ モータ、 ９ 回転パルス信号発生器、
１０ ブリッジ、 １１ レーザービーム対物レ
ンズ、 １２ 半径方向駆動装置、 １３ 測定装
置、 １４ センサ、 １５ 測定スケール、 １
６ Ｕ形支持体、 １７ ホルダー、 １８ 調
整駆動装置、 １９ 固体ジョイントテーブル、 ２
０ フレーム、 ２１ インナー部材、 ２２
ジョイント、 ２３ 盲孔、 ２４ 圧電変換器、
２５，２６ 球、 ２７圧縮ばね、 ２８ 球
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ベルント ヘンゼル ドイツ連邦共和国 エシュボルン リーダ ーバッハー シュトラーセ 13 (72)発明者 フリードリッヒ ホーフマン ドイツ連邦共和国 ビューディンゲン ハ インガルテン 24 (72)発明者 ヘルマン コープ ドイツ連邦共和国 ロネンベルク バッハ ステルツェンヴェーク 10 (72)発明者 パウル カイザー ドイツ連邦共和国 ミュンヘン バランシ ュトラーセ 89エー (72)発明者 エーベルハルト ファイク ドイツ連邦共和国 ミュンヘン パルスベ ルガー シュトラーセ 16 (72)発明者 ラルフ ズュース ドイツ連邦共和国 ミュンヘン タイマー ホーフシュトラーセ 48
Claims (12)
- 【請求項１】 ホルダー（１７）内に配置されたレーザ
ービーム対物レンズ（１１）と、作業テーブル（１）内
で半径方向駆動装置（１２）によって前記レーザービー
ム対物レンズ（１１）に対して直角な横方向に移動可能
でありかつ回転駆動装置（７）によって駆動可能なスピ
ンドル（６）上に配置した基板受座（４）を備えた送り
台（２）とを有する形式の、円盤状基板（５）にレーザ
ービーム露光処理を施す装置において、レーザービーム
対物レンズ（１１）に対する送り台（２）の相対的な位
置を決定するために測定装置（１３）が配置されてお
り、かつ基板受座（４）に対する前記レーザービーム対
物レンズ（１１）の相対的な位置を微修正するために前
記レーザービーム対物レンズ（１１）又は前記送り台
（２）が、センサ（１４）の信号により制御される調整
駆動装置（１８）によって半径方向駆動装置（１２）に
対して相対的にシフト可能に配置されていることを特徴
とする、円盤状基板にレーザービーム露光処理を施す装
置。 - 【請求項２】 測定装置（１３）が、作業テーブル
（１）又は送り台（２）に固定されていて該送り台
（２）の運動方向に延在する測定スケール（１５）と、
該測定スケールに対向して送り台（２）又は作業テーブ
ル（１）に固定されていて前記測定スケール（１５）を
走査するセンサ（１４）とから構成されている、請求項
１記載の装置。 - 【請求項３】 測定装置（１３）が位相格子式測定系で
ある、請求項２記載の装置。 - 【請求項４】 測定装置（１３）がレーザー干渉計であ
る、請求項１記載の装置。 - 【請求項５】 レーザー干渉計が、レーザービーム対物
レンズ（１１）に固定された基準ミラーと、基板受座
（４）より上位で送り台上に配置された可動ミラーとを
備えた差動レーザー干渉計である、請求項４記載の装
置。 - 【請求項６】 レーザービーム対物レンズ（１１）が送
り台（２）の運動方向に調整駆動装置（１８）によって
制限範囲内を調整移動可能である、請求項１から５まで
のいずれか１項記載の装置。 - 【請求項７】 センサ（１４）が、レーザービーム対物
レンズ（１１）の可能な限り近くで該レーザービーム対
物レンズ（１１）のホルダー（１７）に固定され、かつ
測定スケール（１５）が、基板受座（４）のスピンドル
（６）の可能な限り近くで送り台（２）に固定されてい
る、請求項１から６までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項８】 レーザービーム対物レンズ（１１）又は
送り台（２）の位置を修正するための調整駆動装置（１
８）が圧電変換器（２４）である、請求項１から７まで
のいずれか１項記載の装置。 - 【請求項９】 圧電変換器（２４）が、固体ジョイント
テーブル（１９）に設けられている、請求項８記載の装
置。 - 【請求項１０】 固体ジョイントテーブル（１９）が、
１つの構成部材に固定すべき閉じたフレーム（２０）を
有し、該フレームの内部には、複数のジョイント（２
２）によって連結された１つのインナー部材（２１）が
配置されており、圧電変換器（２４）が一側では前記フ
レーム（２０）に、他側では前記インナー部材（２１）
に支持されており、かつ前記インナー部材（２１）が圧
縮ばね（２７）を介して前記圧電変換器（２４）に対し
て予荷重をかけられている、請求項９記載の装置。 - 【請求項１１】 圧電変換器（２４）が夫々１つの球
（２５，２６）を介してフレーム（２０）とインナー部
材（２１）とに支持され、かつ圧縮ばね（２７）が同じ
く１つの球（２８）を介して前記インナー部材（２１）
に支持されている、請求項１０記載の装置。 - 【請求項１２】 インナー部材（２１）が盲孔（２３）
を有し、該盲孔内に圧電変換器（２４）が嵌合してい
る、請求項１０又は１１記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1995137405 DE19537405A1 (de) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | Vorrichtung zum Laserstrahlbelichten eines kreisscheibenförmigen Substrates |
| DE19537405.3 | 1995-10-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09115151A true JPH09115151A (ja) | 1997-05-02 |
Family
ID=7774285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25972796A Pending JPH09115151A (ja) | 1995-10-09 | 1996-09-30 | 円盤状基板にレーザービーム露光処理を施す装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0768650A3 (ja) |
| JP (1) | JPH09115151A (ja) |
| DE (1) | DE19537405A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102280120A (zh) * | 2011-05-26 | 2011-12-14 | 大连运明自动化技术有限公司 | 精密激光平行度调整机 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| NL7713711A (nl) * | 1977-12-12 | 1979-06-14 | Philips Nv | Optisch uitleeseenheid voor het uitlezen van een bewegende informatiedrager, in het bijzonder voor het uitlezen van een videoplaat. |
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-
1995
- 1995-10-09 DE DE1995137405 patent/DE19537405A1/de not_active Ceased
-
1996
- 1996-09-24 EP EP96115283A patent/EP0768650A3/de not_active Withdrawn
- 1996-09-30 JP JP25972796A patent/JPH09115151A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102280120A (zh) * | 2011-05-26 | 2011-12-14 | 大连运明自动化技术有限公司 | 精密激光平行度调整机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19537405A1 (de) | 1997-04-10 |
| EP0768650A3 (de) | 1998-07-22 |
| EP0768650A2 (de) | 1997-04-16 |
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