JPH10143993A - 記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】スピンドルの軸振れを検出し、記録ヘッドを補
正駆動することによりトラックピッチ変動を低減する記
録装置を提供すること。 【解決手段】記録媒体（３）が載置されたターンテーブ
ル２２を支持するスピンドル２１を回転させレーザ光を
用いて前記記録媒体（３）に情報を記録する記録装置に
おいて、前記ターンテーブル２２の上に前記スピンドル
２１の回転軸を中心に設ける環状パターン（２３）と、
この環状パターン（２３）上に参照光を照射する照射手
段（２４）と、前記環状パターン（２３）にて反射され
た前記参照光を検出する検出手段（２７）と、この検出
手段（２７）の検出結果に基づいて前記環状パターン
（２３）の位置変動を検出する変動検出手段（２７）
と、この変動検出手段（２７）の検出結果に基づいて前
記スピンドル２１の振れを補正する補正手段（２９，３
３）と、を具備。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば光ディスク
原盤にレーザ光を照射して情報の記録を行なう記録装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３８は、従来の光ディスク原盤記録装
置の構成を示す図である。防振台１上には、スピンドル
モータ２が設けられている。このスピンドルモータ２の
回転軸に接続されたターンテーブル上には、光ディスク
原盤３が載置されている。なお光ディスク原盤（光ガラ
ス原盤）３は、ガラス基板上にレジストを塗布したもの
である。

【０００３】また防振台１上には、粗動テーブル４が設
けられている。この粗動テーブル４は、摩擦駆動機構５
の駆動により各レール６，７に沿って矢印（イ）の方
向、すなわち光ディスク原盤３のラジアル方向（半径方
向）に所定の粗動ストロークで移動するものとなってい
る。この粗動テーブル４には、微動テーブル８が設けら
れ、かつこの微動テーブル８に記録ユニット９が設けら
れている。

【０００４】微動テーブル８は、圧電素子の伸縮により
粗動ストロークよりも小さい微動ストロークで微動し、
記録ユニット９を光ディスク３のラジアル方向に微動移
動させるものである。記録ユニット９は、対物レンズお
よびこの対物レンズアクチュエータからなるもので、レ
ーザ光を光ディスク原盤３に集光するものである。

【０００５】一方、防振台１には記録レーザヘッド１０
が設けられている。この記録レーザヘッド１０は、光デ
ィスク原盤３上に照射する記録レーザ光１１を出力する
もので、この記録レーザ光１１は、光電変調器１２、音
響光電変調器１３，１４などからなる記録光学系１５を
介して記録ユニット９に導かれるようになっている。ま
た、レーザ測長システム１６は、粗動テーブル４および
微動テーブル８の各位置をそれぞれ測長する機能を有し
ている。

【０００６】コントローラ１７は、レーザ測長システム
１６により測長された粗動テーブル４および微動テーブ
ル８の各位置を入力し、記録ユニット９の位置が目標位
置になるように粗動テーブル４および微動テーブル８の
駆動をフィードバック制御する機能を有している。

【０００７】このような構成であれば、光ディスク原盤
３はスピンドルモータ２の回転駆動により矢印（ロ）方
向に一定の速度で回転する。それとともに記録ユニット
９は、粗動テーブル４の１粗動ストロークの移動時にお
ける微動テーブル８の縮み動作と、粗動テーブル４の停
止時における微動テーブル８の伸び動作との繰り返し動
作により光ディスク原盤３の半径方向に移動する。

【０００８】このときの粗動テーブル４と微動テーブル
８との各位置は、レーザ測長システム１６によりそれぞ
れ測長されてコントローラ１７に送られる。このコント
ローラ１７は、粗動テーブル４および微動テーブル８の
各位置を入力すると、記録ユニット９の位置が目標位置
になるように粗動テーブル４および微動テーブル８を駆
動制御する。

【０００９】一方、記録レーザヘッド１０から出力され
た記録レーザ光１１は、記録光学系１５を介して記録ユ
ニット９に導かれるので、この記録ユニット９は、光デ
ィスク原盤３のラジアル方向に移動しながら、記録レー
ザ光１１を一定速度で回転する光ディスク原盤３上に照
射する。これにより、光ディスク原盤３上のレジストが
露光され、螺旋状にピット、グルーブ等の情報群が記録
される。

【００１０】上記のような構成をなす従来の光ディスク
原盤記録装置では、レーザ光により光ディスク原盤３表
面にスパイラル状あるいは同心円状のピットやグルーブ
溝のパターンを露光記録する。この記録は、ターンテー
ブルに光ディスク原盤３を載置し、前記ターンテーブル
を回転させながら、記録レーザヘッド１０を光ディスク
原盤３のラジアル方向（半径方向）に走査して行なう。
この際、ターンテーブルのラジアル方向の軸振れすなわ
ち回転軸であるスピンドル２の軸振れがトラックピッチ
変動の要因になる。しかしながら従来の光ディスク原盤
記録装置における回転軸振れ、特に周期性がない非同期
な振れは、トラックピッチ変動の許容値に対して十分小
さいため、無視することができた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところが近年では、デ
ィスク容量の高密度化に伴いトラックピッチ変動の許容
値が従来に比べ小さくなっており、ターンテーブルの軸
振れ、特に非同期な振れが無視できなくなりつつある。
このため、軸振れ自体を小さくするか、あるいは軸振れ
を補正する手段が必要とされている。

【００１２】また、上述した従来の光ディスク原盤記録
装置の記録には、トラックピッチ誤差をはじめとする誤
差の要因として以下のようなものがある。

【００１３】(1)粗・微動テーブルの位置決め誤差、位
置決め分解能不足。

【００１４】(2)スピンドルのラジアル方向の非同期振
れ。

【００１５】(3)ＶＣＭ（Ｖｏｉｃｅ Ｃｏｉｌ Ｍｏ
ｔｏｒ）の運動誤差（非同期クロスアクション：ＶＣＭ
上下動時のＶＣＭの原盤ラジアル方向の非同期振れ誤
差）。ＶＣＭクロスアクション（ＶＣＭ上下動時のＶＣ
Ｍの原盤ラジアル方向の振れ誤差）は、特に非同期成分
（例えばＶＣＭ案内（板ばね）の非同期真直度誤差（繰
り返し再現性のない真直度誤差）、あるいは非同期ピッ
チング（繰り返し再現性のないピッチング））が隣接間
トラックピッチ誤差に影響する。

【００１６】(4)フォーカス制御誤差。

【００１７】(5)記録レーザヘッドへ供給する冷却水に
起因する記録ユニット（対物レンズ、対物レンズアクチ
ュエータ）の振動。

【００１８】(6)フォーカス制御時のＶＣＭの上下動に
よる記録ユニットの振動。

【００１９】(7)光軸変動。

【００２０】これらの誤差を軽減することが記録の高精
度化につながる。上記のように、従来では記録中にＶＣ
Ｍ非同期クロスアクション及びスピンドルのラジアル方
向の非同期振れが補正されることがなかった。

【００２１】本発明の目的は、下記の記録装置を提供す
ることにある。

【００２２】(1) スピンドルの軸振れを検出し、記録ヘ
ッドを補正駆動することによりトラックピッチ変動を低
減する記録装置。

【００２３】(2) ＶＣＭの非同期振れを検出し、記録ヘ
ッドを補正駆動することによりトラックピッチ変動を低
減する記録装置。

【００２４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明の記録装置は以下の如く構成さ
れている。

【００２５】（１）本発明の記録装置は、記録媒体が載
置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転さ
せレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記録
装置において、前記ターンテーブルの上に前記スピンド
ルの回転軸を中心に設ける環状パターンと、この環状パ
ターン上に参照光を照射する照射手段と、前記環状パタ
ーンにて反射された前記参照光を検出する検出手段と、
この検出手段の検出結果に基づいて前記環状パターンの
位置変動を検出する変動検出手段と、この変動検出手段
の検出結果に基づいて前記スピンドルの振れを補正する
補正手段と、から構成されている。

【００２６】（２）本発明の記録装置は、記録媒体が載
置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転さ
せレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記録
装置において、前記ターンテーブルの側面から離間配置
され、自身と前記ターンテーブルの側面とのなす距離を
測定する少なくとも一つのＳＴＭ探針と、このＳＴＭ探
針による測定結果を基に、前記スピンドルの振れを補償
する補償手段と、から構成されている。

【００２７】（３）本発明の記録装置は、記録媒体が載
置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転さ
せレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記録
装置において、前記ターンテーブルを挟んでかつ前記タ
ーンテーブルの回転中心から所定距離離間して前記ター
ンテーブルの側面に対向配置され、自身と前記ターンテ
ーブルの側面とのなす距離を測定する一対のＳＴＭ探針
と、これらＳＴＭ探針の測定結果を基に、前記スピンド
ルの振れを補償する補償手段と、から構成されている。

【００２８】（４）本発明の記録装置は、記録媒体が載
置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転さ
せレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記録
装置において、各々が前記ターンテーブルの回転中心か
ら同一の所定距離をなし、前記スピンドルの回転軸と平
行な方向に並設され、自身と前記ターンテーブルの側面
とのなす距離を測定する少なくとも二つのＳＴＭ探針
と、これらＳＴＭ探針の測定結果を基に、前記スピンド
ルの振れを補償する補償手段と、から構成されている。

【００２９】（５）本発明の記録装置は、記録媒体が載
置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転さ
せレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記録
装置において、前記ターンテーブルの側面に設けられた
鋭角状の突起部材と、前記ターンテーブルの回転中心か
ら所定距離離間して配置され、自身と前記突起部材との
なす距離を測定するＳＴＭ探針と、このＳＴＭ探針の測
定結果を基に、前記スピンドルの振れを補償する補償手
段と、から構成されている。

【００３０】（６）本発明の記録装置は、記録媒体が載
置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転さ
せレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記録
装置において、前記ターンテーブル側面に、前記ターン
テーブルの回転軸方向に並設された鋭角状の複数の突起
部材と、これら複数の突起部材のそれぞれに固有に対向
し、かつ前記ターンテーブルの回転中心から所定距離を
なすよう配置され、自身と対応する前記突起部材とのな
す距離を測定する複数のＳＴＭ探針と、これら複数のＳ
ＴＭ探針の測定結果を基に、前記スピンドルの振れを補
償する補償手段と、から構成されている。

【００３１】（７）本発明の記録装置は、記録媒体が載
置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転さ
せレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記録
装置において、前記ターンテーブルの中心部付近に設け
られた結晶構造を有する被測定部材と、この被測定部材
に対向し、前記被測定部材から所定距離をなすよう配置
され、前記被測定部材をトラッキングするＳＴＭ探針
と、このＳＴＭ探針でトラッキングを行なった際に生じ
る前記ＳＴＭ探針の移動軌跡を基に、前記スピンドルの
振れを補償する補償手段と、から構成されている。

【００３２】（８）本発明の記録装置は、記録媒体が載
置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転さ
せレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記録
装置において、前記ターンテーブル側面の円周方向に設
けられ、結晶構造を有する少なくとも三つの被測定部材
と、これら被測定部材のそれぞれに固有に対向し、かつ
前記ターンテーブルの回転中心から所定距離をなすよう
配置され、自身と対応する前記結晶格子をトラッキング
する複数のＳＴＭ探針と、これらＳＴＭ探針のトラッキ
ング結果を基に前記スピンドルの振れを補償する補償手
段と、から構成されている。

【００３３】（９）本発明の記録装置は、記録媒体が載
置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転さ
せレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記録
装置において、前記ターンテーブルを挟んでかつ前記タ
ーンテーブルの回転中心から所定距離離間して前記ター
ンテーブルの側面に対向配置され、前記ターンテーブル
の側面へレーザ光を照射するとともに、前記側面からの
反射光を受光することで前記ターンテーブルの位置を検
出する一組のレーザ干渉計と、これらレーザ干渉計で検
出された位置を基に、前記スピンドルの振れを補償する
補償手段と、から構成されている。

【００３４】（１０）本発明の記録装置は、記録媒体が
載置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転
させレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記
録装置において、前記ターンテーブルの側面から所定距
離をなすよう配置され、自身と前記ターンテーブルの側
面とのなす距離の変位を測定する変位計と、前記ターン
テーブルに対して前記変位計と対向し、前記変位計の測
定結果に基づき前記ターンテーブルに載置された前記記
録媒体を中心軸方向へ押圧する押圧手段と、から構成さ
れている。

【００３５】（１１）本発明の記録装置は、記録媒体が
載置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転
させレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記
録装置において、前記ターンテーブルの回転中心から所
定距離をなすよう配置され前記側面に対向する平面を有
する部材と、前記ターンテーブルに内蔵され、自身と前
記部材とのなす距離の変位を測定する変位計と、この変
位計の測定結果を基に、前記スピンドルの振れを測定す
る測定手段と、から構成されている。

【００３６】（１２）本発明の記録装置は、記録媒体が
載置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転
させレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記
録装置において、前記ターンテーブルの側面に沿って配
置され前記側面と対向する鏡面を有する部材と、前記タ
ーンテーブルに内蔵され、前記ターンテーブルの回転に
伴い前記部材へレーザ光を照射するとともに、前記部材
からの反射光を受光することで前記ターンテーブルの位
置を検出するレーザ干渉計と、このレーザ干渉計で検出
された位置を基に、前記スピンドルの振れを測定する測
定手段と、から構成されている。

【００３７】（１３）本発明の記録装置は、記録媒体が
載置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転
させレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記
録装置において、前記ターンテーブルと別体に設けら
れ、前記ターンテーブルの上面に対してほぼ垂直をなす
平面を有する部材と、前記平面に対向するよう、前記記
録媒体に情報を記録する記録ユニットにおける前記スピ
ンドルの回転軸と平行な方向に並設され、自身と前記平
面とのなす距離を測定する二つのＳＴＭ探針と、前記部
材と前記記録ユニットとを保持する保持部材と、前記二
つのＳＴＭ探針の測定結果を基に、前記記録ユニットの
クロスアクションを測定する測定手段と、から構成され
ている。

【００３８】（１４）本発明の記録装置は上記（１３）
に記載の装置であって、かつ前記部材の平面が前記スピ
ンドルの回転軸に対してなす角度を調節する調節手段を
備えている。

【００３９】（１５）本発明の記録装置は、記録媒体が
載置されたターンテーブルを支持するスピンドルを回転
させレーザ光を用いて前記記録媒体に情報を記録する記
録装置において、前記記録媒体に情報を記録する記録ユ
ニット上に、前記ターンテーブルの半径方向に並置さ
れ、光を反射する複数の反射部材と、これら複数の反射
部材のそれぞれに対応し、前記それぞれの反射部材にレ
ーザ光を照射するレーザ発振器と、前記反射部材からの
反射光を受光することで前記記録ユニットの位置を検出
するレーザ干渉計と、このレーザ干渉計で検出された位
置を基に、前記記録ユニットのクロスアクションを測定
する測定手段と、から構成されている。

【００４０】上記手段を講じた結果、それぞれ次のよう
な作用が生じる。

【００４１】（１）本発明の記録装置によれば、非同期
振れを打ち消す方向に記録ユニットを補正駆動すること
が可能になり、トラックピッチ変動を低減させることが
できる。

【００４２】（２）本発明の記録装置によれば、非同期
振れを記録ユニットの微動機構にフィードバックするこ
とで、トラックピッチ誤差を補正することができる。

【００４３】（３）本発明の記録装置によれば、非同期
振れを記録ユニットの微動機構にフィードバックするこ
とで、トラックピッチ誤差の補正がより一層精確に行な
える。 （４）本発明の記録装置によれば、非同期振れを記録ユ
ニットの微動機構にフィードバックすることで、トラッ
クピッチ誤差の補正がより一層精確に行なえる。 （５）本発明の記録装置によれば、非同期振れを記録ユ
ニットの微動機構にフィードバックすることで、トラッ
クピッチ誤差を補正することができる。

【００４４】（６）本発明の記録装置によれば、非同期
振れを記録ユニットの微動機構にフィードバックするこ
とで、トラックピッチ誤差の補正がより一層精確に行な
える。 （７）本発明の記録装置によれば、非同期振れを記録ユ
ニットの微動機構にフィードバックすることで、トラッ
クピッチ誤差を補正することができる。

【００４５】（８）本発明の記録装置によれば、非同期
振れを記録ユニットの微動機構にフィードバックするこ
とで、トラックピッチ誤差の補正がより一層精確に行な
える。 （９）本発明の記録装置によれば、非同期振れを記録ユ
ニットの微動機構にフィードバックすることで、トラッ
クピッチ誤差の補正がより一層精確に行なえる。 （１０）本発明の記録装置によれば、非同期振れの測定
レンジを小さくすることで分解能の高い非同期振れ測定
が可能になり、非同期振れ補正を高精度に行なうことが
できる。

【００４６】（１１）本発明の記録装置によれば、非同
期振れを記録ユニットの微動機構にフィードバックする
ことで、トラックピッチ誤差を補正することができる。

【００４７】（１２）本発明の記録装置によれば、非同
期振れを記録ユニットの微動機構にフィードバックする
ことで、トラックピッチ誤差の補正がより一層精確に行
なえる。

【００４８】（１３）本発明の記録装置によれば、クロ
スアクションを記録ユニットの微動機構にフィードバッ
クすることで、記録誤差の補正がより一層精確に行なえ
る。

【００４９】（１４）本発明の記録装置によれば、記録
ユニットの上下方向への運動線と前記平面が平行をなす
よう調整できる。

【００５０】（１５）本発明の記録装置によれば、クロ
スアクションを記録ユニットの微動機構にフィードバッ
クすることで、記録誤差の補正がより一層精確に行なえ
る。

【００５１】

【発明の実施の形態】

（第１の実施の形態）図１の（ａ）は、本発明の第１の
実施の形態に係る光ディスク原盤記録装置における補正
機構の構成を示す図である。図１の（ａ）において、ス
ピンドル２１に支持されたターンテーブル２２上には光
ディスク原盤（ガラス原盤）３が載置されており、ター
ンテーブル２２が回転することにより光ディスク原盤３
が回転する。またターンテーブル２２の表面には、その
中心点がターンテーブル２２の回転中心軸と一致する環
状のリファレンス用リング２３が設けられている。

【００５２】２４はレーザ光源であり、このレーザ光源
２４から発生されたレーザ光はハーフミラー２５を介
し、対物レンズ２６に達する。対物レンズ２６は、レー
ザ光をリング２３の位置に集光するように固定された光
ピックであり、リング２３からの戻り光は対物レンズ２
６およびハーフミラー２５を介して４分割デテクタ２７
に受け入れられる。

【００５３】また、４分割デテクタ２７は増幅アンプ２
８を介して偏差器２９に接続されている。偏差器２９に
は、後述する記録ヘッド３０の目標軌道位置情報の発生
源３１と後述する送りヘッド３２の制御コントローラ３
３とが接続されている。制御コントローラ３３には送り
ヘッド３２が接続されており、送りヘッド３２には記録
ヘッド３０が備えられている。送りヘッド３２は制御コ
ントローラ３３の制御により光ディスク原盤３のラジア
ル方向へ移動するものであり、送りヘッド３２に備えら
れた記録ヘッド３０はガラス原盤３上に記録レーザ光３
４を照射するものである。

【００５４】なお図１の（ａ）において、スピンドル２
１、ターンテーブル２２、光ディスク原盤３、ハーフミ
ラー２６、４分割デテクタ２７、送りヘッド３２、記録
ヘッド３０は各々断面図を示している。

【００５５】図１の（ｂ）は、４分割デテクタ２７の作
用を説明するための図である。４分割デテクタ２７は光
ディスク原盤３のラジアル方向に４分割されている。タ
ーンテーブル２２のアキシャル方向の変動を十分小さく
し、デテクタ信号への影響を無視できるようにすれば、
４分割デテクタ２７から発生される図中ａを示す信号と
ｂを示す信号の差信号はラジアル方向の変動に対応する
信号になる。

【００５６】すなわち、４分割デテクタ２７はリング２
３からの反射光の強度分布を基に、ラジアル方向におい
て反射光のコントラストが高い方向と低い方向との差を
示す信号を出力する。この差信号はアンプ２８で増幅さ
れ、偏差器２９に入力する。なお、４分割デテクタ２７
に代え、ラジアル方向に２分割された２分割デテクタを
用いることもできる。

【００５７】発生源３１から発生された記録ヘッド３０
の目標軌道位置情報を示す信号は、偏差器２９にてアン
プ２８から入力した上記差信号と加算され、コントロー
ラ３３に入力される。コントローラ３３は、スピンドル
２１およびターンテーブル２２を介して光ディスク原盤
３を回転させながら、記録ヘッド３０の送り機構３２を
前記目標軌道位置情報に基づき原盤３のラジアル方向に
走査させる。これにより、記録ヘッド３０にて原盤３上
にスパイラル状のパターンが描画される。このとき、送
り機構３２の目標軌道位置が上記差信号に基づいて補正
されているので、ラジアル方向の変動分が補正された状
態で描画がなされることになる。

【００５８】以上のように本第１の実施の形態に係る光
ディスク原盤記録装置は、ターンテーブル２２の軸振れ
を計測し補正する手段を有している。すなわち、中心軸
がガラス原盤３の回転中心軸と一致するリファレンス用
リング２３が設けられたターンテーブル２２を備え、リ
ファレンス用リング２３のラジアル方向への位置変動を
計測する光ピックアップ機能を有する４分割デテクタ２
７により、記録時のターンテーブル２２のラジアル方向
の軸振れを計測する。そして、この計測値を基に記録ヘ
ッド３０の軌道位置を補正駆動することにより、ターン
テーブル２２の回転振れに伴うトラックピッチ変動を低
減させることができる。

【００５９】このようにして、回転するターンテーブル
２２に対して固定された対物レンズ２６を介してターン
テーブル２２上に描かれたリファレンスリング２３へレ
ーザ光を照射し、その戻り光の強度分布を４分割デテク
タ２７で検出することで、リファレンスリング２３のラ
ジアル方向への変動、すなわちターンテーブル２２のラ
ジアル方向の軸振れを検出することができる。そして、
この検出値を基に前記軸振れに起因する変動を打ち消す
方向へ記録ヘッド３０を備えた送り機構３２を駆動する
ことで、トラックピッチ変動を低減させることができ
る。

【００６０】（第２の実施の形態）本第２の実施の形態
に係る光ディスク原盤記録装置の主な構成は、図３８に
示したものと同様である。

【００６１】図２の（ａ）および（ｂ）は、光ディスク
原盤記録装置におけるＳＴＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｔｕ
ｎｎｅｌｉｎｇ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いたスピ
ンドル非同期振れ測定機構の概観図であり、（ａ）は斜
視図、（ｂ）は平面図である。図２に示す機構では、防
振台１上にスピンドル（ターンテーブルを有している）
２０が回転可能に備えられており、このスピンドル２０
上には光ディスク原盤３が載置されている。

【００６２】防振台１上には治具４１が備えられてお
り、治具４１にはインチワームモータ４２が取り付けら
れている。また、インチワームモータ４２には圧電チュ
ーブ４３を介してＳＴＭ探針４４が取り付けられてい
る。このＳＴＭ探針４４は、その先端がスピンドル２０
のターンテーブル側面と所定距離をなすよう配置されて
いる。さらに図２の（ｂ）に示すように、ＳＴＭ探針４
４とスピンドル２０にはバイアス電圧回路４５が接続さ
れているとともに、トンネル電流増幅回路４６を介して
図示しないコンピュータが接続されている。

【００６３】図２に示すように、スピンドル２０側面と
ＳＴＭ探針４４とのなす距離をＳＴＭ探針４４を用いて
測定し、その測定値について前記コンピュータにて前記
所定距離と比較することにより、スピンドル２０のラジ
アル方向の振れすなわちスピンドル非同期振れをオング
ストローム（０．１ｎｍ）オーダで測定することが可能
になる。

【００６４】図３の（ａ）は、二つのＳＴＭを用いたス
ピンドル非同期振れおよび軸倒れ測定機構の概観図であ
る。図３の（ａ）において、図２の（ａ），（ｂ）と同
一な部分には同一符号を付してある。

【００６５】図３の（ａ）に示すように、スピンドル２
０のターンテーブルに対して対向させて二つのＳＴＭ探
針４４Ａ，４４Ｂを配置している。これらＳＴＭ探針４
４Ａ，４４Ｂは、各先端が前記ターンテーブル側面と所
定距離をなすよう配置されている。そして、スピンドル
２０側面と二つのＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂとのなす距
離をそれぞれＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂを用いて測定
し、各測定値について前記コンピュータにて前記所定距
離と比較することにより、スピンドル２０のラジアル方
向の振れを測定する。

【００６６】そして、二つのＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂ
の測定値の和がゼロになるとき（一方の測定値を＋の
値、他方の測定値を−の値とした場合）の一つのＳＴＭ
探針４４Ａの測定値を真値として用いることにより、非
同期振れ測定の信頼性を向上させることができる。この
真値を非同期振れデータとして用いることで精確な軸振
れの補正を行なうことができる。原理的には、軸振れが
ない場合図３の（ｂ）に示すＰ1 〜Ｐ3 以外の点のよう
に、二つのＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂの測定値の和はゼ
ロになるため、信頼性が高いものとして非同期振れデー
タとして採用する。また和がゼロでない場合は、測定値
の信頼性が低いものとし、非同期振れデータとして採用
しない。

【００６７】（第３の実施の形態）本第３の実施の形態
に係る光ディスク原盤記録装置の主な構成は、図３８に
示したものと同様である。

【００６８】図４は、本発明の第３の実施の形態に係る
光ディスク原盤記録装置における二つのＳＴＭを用いた
スピンドル非同期振れおよび軸倒れ測定・補正機構の概
観図である。図４において図２，図３と同一な部分には
同一符号を付してある。

【００６９】図４において、スピンドル２０上には光デ
ィスク原盤３が載置されている。スピンドル２０におけ
るターンテーブルの側面と対向する位置に、上下方向へ
スピンドル２０の回転軸と平行をなすよう二つのインチ
ワームモータ４２Ａ，４２Ｂが配置されている。これら
インチワームモータ４２Ａ，４２Ｂには、それぞれ圧電
チューブ４３Ａ，４３Ｂを介してＳＴＭ探針４４Ａ，４
４Ｂが取り付けられている。これらＳＴＭ探針４４Ａ，
４４Ｂは、各先端がスピンドル２０のターンテーブル側
面から同一の所定距離をなすよう、すなわち各先端がス
ピンドル２０の回転中心から同一の所定距離をなすよう
配置されている。さらに、ＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂと
スピンドル２０にはバイアス電圧回路４５が接続されて
いるとともに、それぞれトンネル電流増幅回路４６Ａ，
４６Ｂを介して図示しないコンピュータが接続されてい
る。

【００７０】このように、スピンドル２０の回転軸と平
行に配置された二つのＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂからの
測定値（絶対値）を比較し、上記図３の（ｂ）に示した
ように、それら二つの値が一致しないときのデータを排
除し、一致したときの値を用いることにより、非同期振
れの測定信頼性を向上させることができる。

【００７１】図５は、スピンドル２０の軸倒れに起因す
るトラックピッチ記録誤差を説明するための図である。
図５に示すように、二つの検出値を用いることによりス
ピンドル２０の軸の倒れ角も測定でき、トラックピッチ
記録誤差の補正を微動テーブル８を通して行なうことが
できる。図５に示すように、スピンドル２０軸の倒れ角
がθ1 のとき、トラックピッチ誤差（Ｅ3 ）は、スピン
ドル２０の倒れがスピンドル２０中心を軸にして発生し
ているものとすると、次式（１）のように表わすことが
できる。

【００７２】 Ｅ3 ＝Ｌp ´−Ｌp ＝Ｌp θ1 ・θ1 ＝Ｌp θ1 ² …（１） （第４の実施の形態）本第４の実施の形態に係る光ディ
スク原盤記録装置の主な構成は、図３８に示したものと
同様である。

【００７３】図６の（ａ）は、本発明の第４の実施の形
態に係る光ディスク原盤記録装置におけるスピンドル２
０のターンテーブルにターゲットを取り付けた場合の、
ＳＴＭを用いたスピンドル非同期振れ測定機構の概観図
である。

【００７４】図６の（ａ）において、スピンドル２０上
には光ディスク原盤３が載置されている。スピンドル２
０におけるターンテーブルの側面には、一つの鋭利な凸
状（三角錐状）のターゲット５０が設けられている。前
記ターンテーブルの側面と対向する位置に、インチワー
ムモータ４２が配置されている。このインチワームモー
タ４２には、圧電チューブ４３を介してＳＴＭ探針４４
が取り付けられている。このＳＴＭ探針４４は、その先
端がターゲット５０の先端と対向しターゲット５０の先
端と所定距離をなすよう配置されている。さらに、ＳＴ
Ｍ探針４４とスピンドル２０にはバイアス電圧回路４５
が接続されているとともに、トンネル電流増幅回路４６
を介して図示しないコンピュータが接続されている。

【００７５】図６の（ｂ）は、ターンテーブルに二つの
ターゲットを取り付けた場合の、ＳＴＭを用いたスピン
ドル非同期振れ測定機構の概観図である。図６の（ｂ）
において図６の（ａ）と同一な部分には同一符号を付し
てあり、以下図６の（ａ）と異なる部分のみを述べる。

【００７６】スピンドル２０におけるターンテーブルの
側面には、上下方向に列をなすよう二つのターゲット５
０Ａ，５０Ｂが取り付けられている。また、前記ターン
テーブルの側面と対向する位置に、上下方向へスピンド
ル２０の回転軸と平行をなし、それぞれターゲット５０
Ａ，５０Ｂと対応するよう、二つのインチワームモータ
４２Ａ，４２Ｂが配置されている。これらインチワーム
モータ４２Ａ，４２Ｂには、それぞれ圧電チューブ４３
Ａ，４３Ｂを介してＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂが取り付
けられている。これらＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂは、そ
れぞれターゲット５０Ａ，５０Ｂの先端と対向しターゲ
ット５０Ａ，５０Ｂの先端と所定距離をなすよう配置さ
れている。

【００７７】図６の（ａ）（ｂ）に示すように、ターン
テーブルの側面に鋭利な凸状のターゲットを取り付け、
前記ターンテーブルが一回転する毎に送られてくるター
ゲットのスピンドルラジアル方向の振れを、ＳＴＭ探針
を用いて測定することにより、スピンドル非同期振れを
オングストローム（０．１ｎｍ）オーダで測定すること
が可能になる。また、ターゲットの凸部をトラッキング
させて制御を行なうことにより、スピンドルのアキシャ
ル方向振れに起因する非同期振れ測定誤差を軽減でき
る。

【００７８】なお、ターンテーブルの側面に、上下方向
に列をなすよう三つ以上のターゲットを取り付け、前記
ターンテーブルの側面と対向する位置に、上下方向へス
ピンドル２０の回転軸と平行をなし各ターゲットと対応
するよう、三つ以上のＳＴＭ探針を配置し、測定を行な
うようにしてもよい。

【００７９】（第５の実施の形態）図７は、上記第５の
実施の形態に示したスピンドル非同期振れ測定用ターゲ
ットのＳＴＭ探針によるオンマシン加工の様子を示す図
である。図７において図６と同一な部分には同一符号を
付してある。図７に示すようにこの機構は、光ディスク
原盤３、スピンドル２０、ターゲット５０、パルス電圧
印加回路４５、ＳＴＭ探針４４、圧電チューブ４３、イ
ンチワームモータ４２などから構成されている。

【００８０】図７に示す機構では、ＳＴＭ探針４４を三
次元方向に駆動しながら、ＳＴＭ探針４４にパルス電圧
発生回路４５を介してパルス状の電圧を印加する。そし
て、スピンドル２０のターンテーブル側面に取り付けら
れた所望の鋭角な凸部を有するターゲット５０をＳＴＭ
加工する（オンマシン加工）。このターゲット５０をス
ピンドル非同期振れ測定用ターゲットとすることで、非
常に鋭角な凸形状をターゲットとすることができ、非同
期振れ測定精度を向上させることができる。

【００８１】なお原子トラッキングは、ＳＴＭ探針４４
を後述する圧電チューブを用いて小径で回転させ、転進
一回転後の次の探針４４の移動方向（φ）は、次式
（２）から計算する。

【００８２】

【数１】

【００８３】ここで、ω：探針回転角速度［ｒａｄ／
ｓ］、Ｉｔ：トンネル電流である。原子トラッキングと
は、ＳＴＭ探針を用いて例えば原子ピークを追跡する方
法である。探針の先端は原子間距離よりも小さな半径
（例えば０．０２ｎｍ）で直線もしくは回転運動してお
り、１周期ごとに原子がなす傾斜の最も急峻な方向を算
出する。この傾斜の算出結果に基づき、最も傾斜が急峻
である方向へ探針を動かす。この連続によって、探針は
ターゲットを追跡する。この探針を動かす量に基づいて
フィードバック信号を微動回路にかけることにより、振
れの補償を行なうことができる。

【００８４】なお、トラッキング速度および精度を向上
させるために、以下図８〜図１５に示すような種々の諸
方法が考えられる。後述する図８〜図１５に示すよう
に、原子トラッキング方法に関してはＳＴＭ探針４４、
トンネル電流増幅回路４６、バイアス電圧回路４５、参
照用格子５１、圧電チューブ５２などから構成される。 （第６の実施の形態）図８は、前述したＳＴＭ探針によ
る原子トラッキングの第１の方法を説明するための図で
ある。図８において、圧電チューブ４３には一本のＳＴ
Ｍ探針４４が取り付けられている。ＳＴＭ探針４４には
トンネル電流増幅回路４６を介して図示しないコンピュ
ータが接続されている。また、ＳＴＭ探針４４と参照用
格子５１にはバイアス電圧回路４５が接続されている。

【００８５】図８に示すように、ＳＴＭ探針４４はその
先端が参照用格子５１上で円を描くよう回転する。この
ＳＴＭ探針４４の回転半径を大小に変化させることで、
粗トラッキングあるいは精トラッキングに切り替えるこ
とができる。なお、ＳＴＭ探針４４が大半径で回転する
とき、ＳＴＭ探針４の移動速度が大きくなり（応答速度
が大きくなる）粗トラッキングになり、精度が劣化す
る。また、ＳＴＭ探針４４が小半径で回転するとき、探
針４４の移動速度が小さくなり（応答速度が小さくな
る）精トラッキングになり、精度が良くなる。

【００８６】（第７の実施の形態）図９は、ＳＴＭ探針
による原子トラッキングの第２の方法を説明するための
図である。図９において、圧電チューブ４３には複数
（四本）のＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄ
が円環状をなすよう取り付けられている。

【００８７】図９に示すように、複数の探針４４Ａ〜４
４Ｄを円環状に配置し、円環状をなす各探針４４Ａ〜４
４Ｄに流れるトンネル電流を用いて原子トラッキングを
行なうことにより、上記図８に示したように一本の探針
４４を回転させる必要がなくなるため、トラッキングの
速度を向上させることができる。

【００８８】（第８の実施の形態）図１０は、ＳＴＭ探
針による原子トラッキングの第３の方法を説明するため
の図である。図１０において、円筒状の圧電チューブ４
３には複数（四本）のＳＴＭ探針４４Ａ〜４４Ｄが円環
状をなすよう取り付けられているとともに、圧電チュー
ブ４３はその周囲を圧電チューブ５２で包囲されてい
る。

【００８９】図１０に示すように、アクチュエータであ
る圧電チューブ５２を半径方向に伸縮させることで、圧
電チューブ５２の内側に嵌合させて設けた圧電チューブ
４３が半径方向に伸縮する。これに伴い、円環状に配置
された複数の探針４４Ａ〜４４Ｄの環半径が変化する。
このように、ＳＴＭ探針４４Ａ〜４４Ｄの回転半径を大
小に変化させることで、粗トラッキングあるいは精トラ
ッキングに切り替えることができる。

【００９０】なお前述したように、ＳＴＭ探針が大半径
で回転するとき、ＳＴＭ探針の移動速度が大きくなり
（応答速度が大きくなる）粗トラッキングになり、精度
が劣化する。また、ＳＴＭ探針が小半径で回転すると
き、ＳＴＭ探針の移動速度が小さくなり（応答速度が小
さくなる）精トラッキングになり、精度が良くなる。こ
れら粗トラッキングと精トラッキングとを切り替え使い
分けることで、原子トラッキング速度の向上、精度の向
上が可能になる。

【００９１】（第９の実施の形態）図１１は、ＳＴＭ探
針による原子トラッキングの第４の方法を説明するため
の図である。図１１に示すように、円環状に配置された
複数の圧電チューブ４３Ａ〜４３Ｄと各圧電チューブ４
３Ａ〜４３Ｄに取り付けられたＳＴＭ探針４４Ａ〜４４
Ｂを各々内側に傾かせることにより、圧電チューブを用
いるためのスペースの確保が容易になり、またＳＴＭ探
針の組み立て集積化も容易に行なうことができる。

【００９２】（第１０の実施の形態）図１２は、ＳＴＭ
探針による原子トラッキングの第５の方法を説明するた
めの図である。図１２に示すように、複数のＳＴＭ探針
４４Ａ〜４４Ｇが二重の円環状をなすよう配置されてい
る。これにより、粗トラッキングである外輪の円環状探
針４４Ａ〜４４Ｄと精トラッキングである内輪の円環状
探針４４Ｅ〜４４Ｈを一つのトラッキングヘッドにより
実現でき、粗・微トラッキングを切り替えることで、原
子トラッキング速度の向上を図ることができる。

【００９３】（第１１の実施の形態）図１３は、ＳＴＭ
探針による原子トラッキングの第６の方法を説明するた
めの図である。図１３において円筒状の圧電チューブ４
３には、複数（四本）のトラッキング方向算出用ＳＴＭ
探針４４１Ａ〜４４１Ｄが円環状をなすよう取り付けら
れているとともに、その円の中心に一本の位置検出用Ｓ
ＴＭ探針４４２が取り付けられている。

【００９４】このように探針回転中のトンネル電流を用
いた原子トラッキングにおいて、複数のトラッキング方
向算出用ＳＴＭ探針４４１Ａ〜４４１Ｄと一つの位置検
出専用ＳＴＭ探針４４２を備えることにより、探針にト
ラッキング方向算出用と位置検出用とを兼ねさせたとき
の探針回転による位置検出誤差を無くすことができ、原
子トラッキングの信頼性を向上させることができる。

【００９５】（第１２の実施の形態）図１４は、ＳＴＭ
探針による原子トラッキングの第７の方法を説明するた
めの図である。図１４において、複数（四本）の圧電チ
ューブ４３Ａ〜４３Ｄは円環状をなすよう配置されてお
り、各圧電チューブ４３Ａ〜４３ＤにはそれぞれＳＴＭ
探針４４Ａ〜４４Ｄが取り付けられている。

【００９６】図１４に示すように、各ＳＴＭ探針４４Ａ
〜４４Ｄを回転させることにより、各ＳＴＭ探針４４Ａ
〜４４Ｄにトラッキングを行なわせる。そして、トラッ
キングの方向が一致したときのみ、その方向にトラッキ
ングユニットを移動させることにより、トラッキングの
信頼性を向上させることができる。

【００９７】（第１３の実施の形態）図１５は、ＳＴＭ
探針による原子トラッキングの第８の方法を説明するた
めの図である。図１５に示すように、圧電チューブ４３
の横断面上に円環状に配置された複数のＳＴＭ探針４４
Ａ〜４４Ｄは各々回転しているので、これら各ＳＴＭ探
針４４Ａ〜４４Ｄの回転軌跡により精の原子トラッキン
グを行なうことができる。それとともに、複数のＳＴＭ
探針４４Ａ〜４４Ｄ全体でその軌跡がほぼ円状をなすよ
う回転させる。このように、複数のＳＴＭ探針４４Ａ〜
４４Ｄ全体でその軌跡が円状に近似できるような多角形
状になるよう、各ＳＴＭ探針４４Ａ〜４４Ｄを直線運動
させることにより、粗の原子トラッキングを行なうこと
ができる。

【００９８】上記図１４，図１５に示すように、粗トラ
ッキングのときは複数のＳＴＭ探針を探針全体でその軌
跡が円状に近似できるような多角形状になるよう、各Ｓ
ＴＭ探針を直線運動させる。また微トラッキングのとき
は複数のＳＴＭ探針を各々回転させることにより、粗・
微トラッキングを切り替え、これにより原子トラッキン
グ速度の向上を図ることができる。

【００９９】（第１４の実施の形態）図１６は、スピン
ドル回転中心付近に取り付けられた、結晶構造を有する
被測定部材である参照用結晶格子に、ＳＴＭをトラッキ
ングさせることによりスピンドル非同期振れを測定する
機構を示す概観図である。図１６において、スピンドル
２０のターンテーブル上には光ディスク原盤３が載置さ
れている。前記ターンテーブルの中心部付近には参照用
結晶格子５１が設けられている。

【０１００】なお、参照用結晶格子は結晶であり、格子
欠陥が起こりにくいもの、例えばグラファイトからな
る。例えば、鋳物やアモルファスのような非結晶構造の
物体を原子トラッキングしようとしても、原子の配列が
不規則であったり、原子間距離が原子の直径を超えてい
たり、あるいは走査回転半径より近い場合などがあるた
め、原子のピークを正しく追跡することができなくなる
場合がある。結晶構造を有する材料をトラッキングのタ
ーゲットとすることにより、このような結晶構造の乱れ
が規則正しい配列に改善され、トラッキングエラーの起
こりにくい制御系を構築することが可能となる。

【０１０１】前記ターンテーブル上方には、圧電チュー
ブ４３に取り付けられたＳＴＭ探針４４が配置してい
る。圧電チューブ４３は治具５３に支持されており、こ
の治具５３は防振台１上に設けられている。ＳＴＭ探針
４４は、その先端が参照用結晶格子５１と所定距離をな
すよう配置されている。ＳＴＭ探針４４と参照用結晶格
子５１にはバイアス電圧回路４５が接続されているとと
もに、ＳＴＭ探針４４にはトンネル電流増幅回路４６を
介して図示しないコンピュータが接続されている。ま
た、前記ターンテーブルの上方には記録ユニット９が配
置している。

【０１０２】図１６に示すように、ＳＴＭを用いてスピ
ンドル２０におけるターンテーブルの中心部に取り付け
られた参照用結晶格子５１中の原子（または凸状ターゲ
ットでもよい）をトラッキングし、スピンドルが回転す
る周毎の探針の移動する軌跡を比較することにより、ス
ピンドル２０の非同期振れがオングストローム（０．１
ｎｍ）オーダで測定可能になる。

【０１０３】（第１５の実施の形態）図１７は、ＳＴＭ
トラッキングを用いたスピンドル姿勢測定によるスピン
ドル非同期振れ測定機構の概観図である。図１７に示す
ように、スピンドル２０のターンテーブル側面にほぼ均
等な間隔をもって三つの参照用結晶格子（あるいは凸状
ターゲット）５１Ａ〜５１Ｃ（５１Ｃは不図示）が設け
られている。前記ターンテーブルの周囲における三つの
参照用結晶格子５１Ａ〜５１Ｃに対応する位置に、各々
圧電チューブ４３Ａ〜４３Ｃを介してＳＴＭ探針４４Ａ
〜４４Ｃが配置している。これらＳＴＭ探針４４Ａ〜４
４Ｃは、各先端が対応する前記参照用結晶格子と所定距
離をなすよう配置されている。

【０１０４】図１７に示すように、三つのＳＴＭ探針４
４Ａ〜４４Ｃを用いてターンテーブル２０に取り付けら
れた三つの参照用結晶格子（あるいは凸状ターゲット）
５１Ａ〜５１Ｃをトラッキングする。これにより、図示
しないコンピュータにより三つの参照用結晶格子５１Ａ
〜５１Ｃの空間的位置が認識でき、スピンドル２０の三
次元的姿勢を算出できる。これにより、スピンドル２０
の非同期振れ、面振れが測定可能になり、これらの測定
値を非同期振れ補正のためにフィードバックできる。ま
た、光ディスク原盤３の平面度がスピンドル２０の面振
れより極端に小さい場合は、フォーカス制御にフィード
バックすることができる。

【０１０５】なお、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡：不導体の
測定も可能。これに対してＳＴＭは導体のみの測定が可
能）ユニットを用いると、スピンドルに上記図８〜図１
５に示したＳＴＭ測定のような接地ないし電圧印加の必
要がなくなる。よって、接地（または電圧印加：ブラ
シ）に起因するスピンドルの回転精度劣化のおそれがな
くなる。ＡＦＭ測定時に、スピンドルの回転に伴う風流
がＡＦＭカンチレバーを動かし、測定値に影響を及ぼす
場合があるが、この場合は第１６の実施の形態に示すよ
うに実施する。

【０１０６】（第１６の実施の形態）図１８は、ＡＦＭ
（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）
によるスピンドル非同期振れ測定機構の概観図である。
図１８において、防振台１にはスピンドル２０が備えら
れている。スピンドル２０上には光ディスク原盤３が載
置されている。防振台１上のスピンドル２０両端付近に
は、治具５４Ａ，５４Ｂが備えられている。治具５４
Ａ，５４Ｂには、それぞれＡＦＭ測定ユニット５５Ａ，
５５Ｂが取り付けられている。また、ＡＦＭ測定ユニッ
ト５５Ａ，５５Ｂにはコンピュータ６０が接続されてい
る。

【０１０７】スピンドル２０上方には記録ヘッド３０が
配置されており、この記録ヘッド３０には微動テーブル
８を介して粗動テーブル４が接続されている。コンピュ
ータ５５は、ドライバ５６を介して微動テーブル４に接
続されている。

【０１０８】図１８に示すように、二つのＡＦＭをスピ
ンドル２０を中心としてして対向させて配置しており、
これらＡＦＭはターンテーブルの軸振れに伴い原子間力
によりターンテーブル方向へ移動する。それら移動量を
測定し、各測定値の差分をとることで、ＡＦＭカンチレ
バーの風流に起因する測定誤差を相殺することができ
る。

【０１０９】（第２〜第１６の実施の形態の作用効果） (1) トラッキング誤差０．５［ｒａｄ］を確保する原子
トラッキングの最大応答速度ｖは、次式（３）のように
表わせる。

【０１１０】ｖ＝７×ｒ×ω［ｎｍ／ｓ］ …（３） ここで、ｒは探針回転半径［Ａ（オングストロー
ム）］，ωは探針回転角速度［ｒａｄ／ｓ］である。

【０１１１】図６に示すスピンドル非同期振れ測定の場
合、スピンドル非同期振れ測定誤差Ｅ1 はターゲットの
移動速度に比例して増えるものとして、スピンドル回転
数をｎ［ｒｐｍ］、原盤半径を１１０［ｍｍ］としたと
き、次式（４）に示すようになる。

【０１１２】 Ｅ1 ＝１１０×１０⁶ ×０．５×（２π・ｎ／６０）／（７×ｒ×ω） ［ｍｍ］ …（４） (2) 図１６に示すようにスピンドル回転中心部に位置す
る参照用格子（または凸状のターゲット）をトラッキン
グして非同期振れを測定する場合、スピンドル非同期振
れの測定誤差Ｅ2 は、スピンドル回転数をｎ［ｒｐ
ｍ］、スピンドル中心と被トラッキング参照用格子の距
離をＲ［ｍｍ］のとき、上記Ｅ1 と同様にスピンドル非
同期振れ測定誤差がターゲットの移動速度に比例して増
えるものとして、次式（５）に示すようになる。

【０１１３】 Ｅ2 ＝Ｒ×１０⁶ ×０．５×（２π・ｎ／６０）／（７×ｒ×ω） ［ｎｍ］ …（５） (3) ＳＴＭのトラッキング精度を０．５［ｒａｄ］とす
ると、図１７に示すスピンドルの姿勢の測定誤差Ｅ3
は、原盤半径を１１０［ｍｍ］としたとき、上記Ｅ1 ，
Ｅ2 と同様に次式（６）に示すようになる。

【０１１４】 Ｅ3 ＝１１０×１０⁶ ×０．５×（２π・ｎ／６０）／（７×ｒ×ω） ［ｎｍ］ …（６） このとき、スピンドル軸倒れによるトラッキング誤差の
補正分解能Ｅ4 は、２０ｍｍ＜Ｒ（＝記録半径）＜６０
ｍｍとし、図５に示したと同様にスピンドルの倒れがス
ピンドル中心を軸にして発生しているとすると、図６の
（ｃ）を参照し次式（７）に示すようになる。

【０１１５】 Ｅ4 ＝Ｌｔ×（θｔ）² ＝Ｌｔ×（Ｅ6 ／Ｌｔ）² ＝［１１０×１０⁶ ×０．５×（２π・ｎ／６０） ／（７×ｒ×ω）］² ／Ｌｔ［ｎｍ］ …（７） (4) 原子に代わるターゲットの形状に関しては、ターゲ
ット凸部の曲率が原子レベル（０．１〜０．２ｎｍ）で
あることが望ましい。これ以上の曲率Ｒｔを有する場合
は、その大きさに比例してトラッキング誤差Ｅ5 が増加
する。すなわち、このトラッキング誤差Ｅ5 は次式
（８）に示すようになる。

【０１１６】 Ｅ5 ＝Ｒｄ×（Ｒｔ／０．１）×０．５×（２π・ｎ／６０） ／（７×ｒ×ω）［ｎｍ］ …（８） ここで、Ｒｄは原盤半径（ｍｍ），Ｒｔはターゲットの
凸部曲率（ｎｍ）である。

【０１１７】(5) 図４，図６の（ｂ）に示す構成におい
て、二つのＳＴＭ探針のなす距離をｌ1 ＝１０［ｍ
ｍ］、スピンドル下方に備えられたスピンドルモータ
（不図示）の重心と光ディスク原盤とのなす距離を１５
０［ｍｍ］、前記スピンドルモータ底部と前記光ディス
ク原盤とのなす距離を３００［ｍｍ］とする。この場
合、スピンドルの振れは非同期で１０［ｎｍ］程度なの
で、二つのＳＴＭ探針に求められる分解能ｘr は、スピ
ンドルが重心回りでθ分非同期に振れるとすると、次式
（９）（１０）に示すようになる。

【０１１８】 θ＝１０［ｎｍ］／１５０［ｍｍ］ ＝１０［ｎｍ］／１５０×１０⁶ ［ｎｍ］ ［ｒａｄ］ …（９）

【数２】

【０１１９】一般のＳＴＭの分解能は０．１［ｎｍ］程
度であるので、上記のような構成にてスピンドルの軸振
れの測定・補正を行なうことは十分可能である。

【０１２０】（変形例）上述した原子トラッキングにお
ける被トラッキング対象は、原子に限らず、例えば鋭角
な凸状のターゲットを用いることもできる。

【０１２１】また、上述した原子トラッキングでは、針
を運動させ原子ピークの傾斜の最も急峻な方向を算出す
るが、針を動かしてピークを追跡するのでなく、スピン
ドル或いはターンテーブルを動かして追跡させることに
より、サブナノラジアンオーダーの補正を行なう方法も
適用できる。このときＶＣＭに対して設けられている微
動装置をＳＴＭに設けることにより装置を構成する。

【０１２２】（第１７の実施の形態）本第１７の実施の
形態に係る光ディスク原盤記録装置の主な構成は、図３
８に示したものと同様である。図３８において、防振台
１上には、スピンドルモータ２が設けられている。この
スピンドルモータ２の回転軸に接続されたターンテーブ
ル上には、光ディスク原盤３が載置されている。なお光
ディスク原盤（光ガラス原盤）３は、ガラス基板上にレ
ジストを塗布したものである。

【０１２３】また防振台１上には、粗動テーブル４が設
けられている。この粗動テーブル４は、摩擦駆動機構５
の駆動により各レール６，７に沿って矢印（イ）の方
向、すなわち光ディスク原盤３のラジアル方向（半径方
向）に所定の粗動ストロークで移動するものとなってい
る。この粗動テーブル４には、微動テーブル８が設けら
れ、かつこの微動テーブル８に記録ユニット９が設けら
れている。

【０１２４】微動テーブル８は、圧電素子の伸縮により
粗動ストロークよりも小さい微動ストロークで微動し、
記録ユニット９を光ディスク３のラジアル方向に微動移
動させるものである。記録ユニット９は、対物レンズお
よびこの対物レンズアクチュエータからなるもので、レ
ーザ光を光ディスク原盤３に集光するものである。

【０１２５】一方、防振台１には記録レーザヘッド１０
が設けられている。この記録レーザヘッド１０は、光デ
ィスク原盤３上に照射する記録レーザ光１１を出力する
もので、この記録レーザ光１１は、光電変調器１２、音
響光電変調器１３，１４などからなる記録光学系１５を
介して記録ユニット９に導かれるようになっている。ま
た、レーザ測長システム１６は、粗動テーブル４および
微動テーブル８の各位置をそれぞれ測長する機能を有し
ている。

【０１２６】コントローラ１７は、レーザ測長システム
１６により測長された粗動テーブル４および微動テーブ
ル８の各位置を入力し、記録ユニット９の位置が目標位
置になるように粗動テーブル４および微動テーブル８の
駆動をフィードバック制御する機能を有している。

【０１２７】図１９は、本第１７の実施の形態にてその
構成の要旨が適用されるスピンドル非同期振れ測定機構
の概観図である。スピンドル２０上には光ディスク原盤
３が載置されており、スピンドル２０の側面付近には、
非接触変位計（またはレーザ干渉計）６１が配置されて
いる。この非接触変位計６１は、その先端がスピンドル
１３のターンテーブル側面と所定距離をなすよう配置さ
れている。

【０１２８】図示しないスピンドルモータによりスピン
ドル２０を回転させ、スピンドルゼロ相をトリガにし、
非接触変位計６１で検出されるターンテーブルの側面と
非接触変位計６１との間の距離データを図示しないコン
ピュータに取り込む。これにより、スピンドル２０が１
回転する毎にスピンドル周回部の特定の一点の位置の変
動が検出され、この変動をスピンドル非同期振れとして
いる（後に図２７を参照し述べる）。

【０１２９】図２０は、本第１７の実施の形態にてその
構成の要旨が適用されるスピンドル非同期振れ補正シス
テムのブロック図である。図２０において、粗動テーブ
ル４には第１のミラー６２が設けられている。この第１
のミラー６２に対して第１のレーザ測長システム６３が
配置されている。この第１のレーザ測長システム６３
は、レーザ干渉計を用いたもので、第１のミラー６２に
対してレーザ光を出力し、その反射レーザ光を受光して
第１のミラー６２の位置すなわち粗動テーブル４の位置
を測長する機能を有している。

【０１３０】また、微動テーブル８の先端部に設けられ
た支持体６４には、第２のミラー６５が設けられてい
る。この第２のミラー６５には、第２のレーザ測長シス
テム６６が対向配置されている。この第２のレーザ測長
システム６６は、レーザ干渉計を用いたもので、第２の
ミラー６５に対してレーザ光を出力し、その反射レーザ
光を受光して第２のミラー６５の位置すなわち記録ユニ
ット９の位置を測長する機能を有している。

【０１３１】コンピュータ６７は、粗動テーブル４に対
する目標位置指令を偏差器６８に発する機能を有してい
る。この偏差器６８は、目標位置指令と第１のレーザ測
長システム６３により測長された粗動テーブル４の位置
との偏差を求めてドライバ６９に送る機能を有してい
る。

【０１３２】またコンピュータ６７は、微動テーブル８
に対する目標位置指令を偏差器７０に発する機能を有し
ている。この偏差器７０は、目標位置指令と第２のレー
ザ測長システム６６により測長された微動テーブル８の
先端位置との偏差を求めてドライバ７１に送る機能を有
している。またコンピュータ６７は、微動テーブル８の
伸縮制御および粗動機構の送り動作を繰り返して記録ユ
ニット９を光ディスク原盤３のラジアル方向に移動する
機能を有している。

【０１３３】さらにコンピュータ６７は、第１のレーザ
測長システム６３により測長された第１のミラー６２の
位置、第２のレーザ測長システム６６により測長された
第２のミラー６５の位置を入力し、これら位置、微動テ
ーブル８の印加電圧、微動テーブル８の感度に基づい
て、粗動テーブル４のピッチングを算出する機能を有し
ている。

【０１３４】図２１の（ａ）および（ｂ）は、二つのレ
ーザ干渉計を用いたスピンドル非同期振れ測定機構の概
観図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は斜視図である。
図２１に示すように、スピンドル２０上には光ディスク
原盤３が載置されている。またスピンドル１３の両側に
は、レーザ干渉計８０Ａ，８０Ｂがスピンドルの中心軸
と一直線状をなし、ターンテーブルの側面と所定距離を
なすよう配置されている。

【０１３５】図２１の（ｂ）に示すように、レーザヘッ
ド８１から発生されたレーザ光はベンダ８２Ａ〜８２
Ｄ，レーザ干渉計８０Ａ，８０Ｂ等を介して、鏡面であ
るスピンドル２０の側面に対して二方向から対向してレ
ーザ光を照射する。そして、スピンドル２０からの反射
光をレーザ干渉計８０Ａ，８０Ｂで受光することによ
り、スピンドル２０の位置を測定する。これら二つのレ
ーザ干渉計８０Ａ，８０Ｂで測定された位置を基に、前
記スピンドルの非同期振れを測定できる。またこれら二
つの測定値の差をとることで、環境（温度、気圧、湿
度）に起因するレーザの測長値の乱れを相殺できる。レ
ーザ干渉計８０Ａ，８０Ｂを通過した反射光はそれぞれ
レシーバ８３Ａ，８３Ｂに受光される。

【０１３６】図２２の（ａ）はレーザ干渉計８０Ａの測
定値を示す図であり、図２２の（ｂ）はレーザ干渉計８
０Ｂの測定値を示す図である。これらの測定値につい
て、図２２の（ｃ）に示すようにスピンドル回転ごとの
測定値（Ａ−Ｂ／２）を基準曲線と比較し、その差をス
ピンドル非同期振れと定義する。

【０１３７】これにより、スピンドル非同期振れ測定の
高精度化が可能になる。ここで、基準曲線はスピンドル
２０におけるターンテーブルの形状誤差を含んだ任意の
スピンドル１回転分のレーザ測長値である。このスピン
ドル非同期振れ値を上記図２０に示した系で微動テーブ
ル８にフィードバックし、トラックピッチ誤差を補正す
る。

【０１３８】（第１８の実施の形態）図２３は、四つの
非接触変位計を用いたスピンドル非同期振れ測定機構の
概観図である。図３に示すようにスピンドル２０周辺に
おいて、スピンドル２０に対する微動テーブル８の送り
方向およびそれと直交する方向に四つの非接触変位計８
４Ａ，８４Ｂ，８４Ｃ、８４Ｄが配置されている。これ
ら四つの非接触変位計８４Ａ〜８４Ｄは、各先端がター
ンテーブルと所定距離をなすよう配置されている。

【０１３９】これら四つの非接触変位計８４Ａ〜８４Ｄ
により、スピンドル２０のテーブル送り方向および送り
方向に直交する方向の非同期振れを測定し、微動テーブ
ル８へそれらの検出値をフィードバックすることで、記
録ヘッド位置の補正を行なう。

【０１４０】図２４は、四つの相直交する非接触変位計
１４を用いた場合のトラックピッチ誤差の算出を説明す
るための図である。図２４において、ｌ1 はテーブル送
り方向と直交成分のスピンドル非同期振れ、ｌ2 はスピ
ンドル非同期振れ（送り方向と直交成分）によりずれて
記録されたピットの半径値、ｌ3 はｌ3 ＝ｅ＝ｌ2 −ｒ
となるトラックピッチ誤差、ｒは目標とされたピットの
半径値である。これらから、次式（１１）〜（１４）が
導かれる。

【０１４１】

【数３】

【０１４２】ｒ／ｌ2 ＝ｃｏｓθ …（１２） ｌ2 ＝ｒ／ｃｏｓθ …（１３） ｅ＝ｌ3 ＝ｌ2 −ｒ＝ｒ／ｃｏｓθ−ｒ ＝ｒ｛１／ｃｏｓ（ｌ1 ／ｒ）−１｝ …（１４） 図２３に示すように、四つの非接触変位計８４Ａ〜８４
Ｄの非同期振れ検出値をｅ１，ｅ２，ｅ３，ｅ４とした
とき、トラックピッチ誤差ｅは、図２４から次式（１
５）に示すようになる。

【０１４３】 ｅ＝（ｅ１＋ｅ２）／２ ＋ｒ×｛１／［ｃｏｓ（（ｅ３＋ｅ４）／２ｒ）］−１｝ …（１５） この値ｅを微動テーブル８にフィードバックすること
で、記録誤差の補正が可能になる。

【０１４４】（第１９の実施の形態）図２５は、センタ
リング用センサを兼ねたスピンドル非同期振れ測定用セ
ンサを備えた記録装置の概観図である。図２５に示すよ
うに、防振台１上にスピンドル２０が備えられており、
このスピンドル２０上に光ディスク原盤３が載置されて
いる。スピンドル２０の両側の防振台１上には各々支持
台８５Ａ，８５Ｂに支持された非接触変位計８６とセン
タリング用プッシャー８７がスピンドル２０方向を向き
対向して配置されている。非接触変位計８６は、自身と
スピンドル２０のターンテーブルの側面とのなす距離の
変位を測定するものである。非接触変位計８６とセンタ
リング用プッシャー８７は、各先端がスピンドル２０の
ターンテーブル側面と所定距離をなすよう配置されてい
る。

【０１４５】センタリング機構とは、図示しないスピン
ドルモータによりスピンドル２０を回しながらセンサに
より光ディスク原盤３の周位置を検出し、光ディスク原
盤３の外周をプッシャー８７を用いて少しずつ押し込
み、最終的に光ディスク原盤３のセンタをスピンドル２
０のセンタに合わせ込む機構である。この際、プッシャ
ー８７は、非接触変位計８６の測定結果を基に押し込み
を行なう。光ディスク原盤３の側面が鏡面状態に保たれ
ている場合、図２５に示すように、スピンドル２０の非
同期振れ測定センサ８６をセンタリング用センサとして
兼ねさせることで、センタリング用センサを省く構成と
することができ、装置の省スペース化、安価化が可能に
なる。

【０１４６】また、センタリング中のスピンドル同期振
れをモニタしておき、この同期振れが最小となるように
センタリングを行なうことで、非同期振れの測定レンジ
を小さくし、ひいては分解能の高い非同期振れ測定が可
能になり、非同期振れ補正を高精度に行なうことができ
る。

【０１４７】（第２０の実施の形態）図２６は、非接触
変位計またはレーザ干渉計を内蔵したスピンドルを用い
たスピンドル非同期振れ測定機構の概観図である。ま
た、図２７は非接触変位計を用いた場合のスピンドル非
同期振れ測定を説明するための図である。

【０１４８】図２６に示すように、防振台１上にスピン
ドル２０が備えられており、このスピンドル２０上に光
ディスク原盤３が載置されている。スピンドル２０には
非接触変位計（またはレーザ干渉計）８８が内蔵されて
おり、この非接触変位計８８はスピンドル２０の側面方
向を向いている。また、スピンドル２０の側部の防振台
１上には治具８９が配置しており、治具８９上部には基
準平面（ミラー）９０が支持されている。この基準平面
（ミラー）９０は、スピンドル２０のターンテーブル側
面と所定距離をなすよう配置されている。

【０１４９】図２６に示すように、静電容量型などの非
接触変位計８８をスピンドル２０に内蔵させ、基準平面
（ミラー）９０をスピンドル２０外に配置し、スピンド
ル一回転ごとの非接触変位計８８と基準平面９０との間
の距離を測定することにより、図２７に示すように非同
期振れを測定できる。なお一般に、非接触変位計による
誤差が１［ｎｍ］、レーザ干渉計による誤差が１．２５
［ｎｍ］であるのに対し、非同期振れの希望誤差は５
［ｎｍ］程度であるので、十分測定可能である。上記に
おいて、非接触変位計８８に接続されるケーブル９１の
ねじれが懸念されるが、無線またはコネクタ部にスリッ
プリング等を設けた回転可能なケーブルを用いること
で、ケーブルのねじれを回避できる。

【０１５０】（第２１の実施の形態）図２８の（ａ）お
よび（ｂ）は、レーザ干渉計を用いた場合のスピンドル
非同期振れ測定機構を示す図であり、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は側断面図である。図８に示すように、レーザ干
渉計９２をスピンドル２０に内蔵させ、円筒状の基準ミ
ラー９３をスピンドル２０のターンテーブルの周囲にタ
ーンテーブル側面と所定距離をなすよう配置する。レー
ザヘッド９４から照射されたレーザ光はミラー９５およ
びレーザ干渉計９２を介して基準ミラー９３に達する。
基準ミラー９３で反射したレーザ光は、レーザ干渉計９
２およびミラー９５を介してレシーバ９６に受入れられ
る。

【０１５１】スピンドル２０が一回転する際、レーザ干
渉計９２によりターンテーブル全周についてレーザ干渉
計９２と基準ミラー９３との間の距離を測定することに
より、スピンドル２０の位置を検出し、非同期振れを測
定できる。

【０１５２】図２９は、上記のスピンドル非同期振れ測
定を説明するための図である。図２９に示す測定値と同
期振れとから、次式（１６）により非同期振れが導かれ
る。

【０１５３】

【数４】

【０１５４】図２８に示したようにレーザ干渉計を用い
た場合、レーザ光を用いているため、上記図２６に示し
たケーブルのひきまわしの問題がないという利点があ
る。

【０１５５】（第１７〜第２１の実施の形態の作用効
果）上述したように、図２３に示した四つのセンサ（８
４Ａ〜８４Ｄ）の非同期振れ検出値をｅ１，ｅ２，ｅ
３，ｅ４としたとき、トラックピッチ誤差ｅは図２４か
ら次式（１７）により導かれる。

【０１５６】 ｅ＝（ｅ１＋ｅ２）／２ ＋ｒ×｛１／［ｃｏｓ（（ｅ３＋ｅ４）／２ｒ）］−１｝ …（１７） この値ｅを微動テーブルにフィードバックすることで、
記録誤差の補正が可能になる。

【０１５７】実際は、記録ヘッド送り方向と直交する方
向の非同期振れに起因するトラヒックピッチ誤差は、送
り方向の非同期振れに起因する誤差に比べてはるかに小
さいので、記録ユニット送り方向と直交する方向の非同
期振れの測定は記録補正というよりも一種の異常（例え
ば原盤の吸着不良による回転中の原盤のずれ）監視とい
う位置付けになる。

【０１５８】（第２２の実施の形態）本第２２の実施の
形態に係る光ディスク原盤記録装置の主な構成は、図３
８に示したものとほぼ同様である。

【０１５９】図３０は、ＳＴＭを用いたＶＣＭ（対物レ
ンズアクチュエータ）非同期クロスアクション測定・補
正機構を示す側面図である。図３０において、記録ユニ
ット９には圧電チューブ４３Ａ，４３Ｂを介してＳＴＭ
探針４４Ａ，４４Ｂが備えられている。また記録ユニッ
ト９は変位計１００を介して門型の治具１０１の一内壁
に取り付けられている。治具１０１の他内壁には切り欠
きヒンジ１０２が取り付けられており、この切り欠きヒ
ンジ１０２の切り欠き部にアクチュエータ１０３が備え
られている。また切り欠きヒンジ１０２におけるＳＴＭ
探針４４Ａ，４４Ｂと対向する面には、基準平面（ミラ
ー）１０４が設けられている。

【０１６０】さらに、ＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂにはバ
イアス電圧回路４５が接続されているとともに、それぞ
れトンネル電流増幅回路４６Ａ，４６Ｂを介して図示し
ないコンピュータが接続されている。また、治具１０１
の一外壁に微動テーブル８を介して粗動テーブル４が取
り付けられている。微動テーブル８には前記コンピュー
タがアンプ１０５を介して接続されている。記録ユニッ
ト９の下方にはターンテーブルを有するスピンドル２０
が配置しており、このターンテーブルには光ディスク原
盤３が載置されている。スピンドル２０が図示しないス
ピンドルモータにより回転することで、光ディスク原盤
３が回転する。

【０１６１】ＶＣＭクロスアクションすなわちＶＣＭ上
下動時のＶＣＭの原盤ラジアル方向の振れ誤差は、特に
非同期成分例えばＶＣＭ案内（板ばね）の非同期真直度
誤差あるいは非同期ピッチングが隣接間トラックピッチ
誤差に影響する。図３０に示す構成により、基準ミラー
１０４と二つのＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂを用いて非同
期クロスアクションを測定する。そしてその測定値を、
記録ユニット９をアクチュエータにより送り方向に微小
変位させる微動テーブル８にフィードバックして補正す
る。このとき、ミラー面がＶＣＭ（記録ユニット９）の
運動線と平行になるように、アクチュエータ１０３と切
り欠きヒンジ１０２を用いて予め調整する。すなわち、
アクチュエータ１０３と切り欠きヒンジ１０２により平
面であるミラー面を動かすことで、このミラー面とＶＣ
Ｍ（記録ユニット９）の運動線言い換えればスピンドル
の回転軸とのなす角度を調整できる。

【０１６２】図３１は、図３０に示したＳＴＭを用いた
ＶＣＭ非同期クロスアクション測定・補正機構を適用し
たＶＣＭ非同期クロスアクション補正システムのブロッ
ク図である。図３１は図２０に示した構成と同一な部分
が多いので、図３１において図２０と同一な部分には同
一符号を付し、説明を省略する。

【０１６３】図３１において、基準ミラー１０４と二つ
のＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂにはバイアス電圧回路４５
が接続されている。また、基準ミラー１０４と二つのＳ
ＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂは、各々増幅器４６Ａ，４６Ｂ
を介してコンピュータ６７に接続されている。またアク
チュエータ１０３はコンピュータ６７に接続されてい
る。

【０１６４】図３２の（ａ）〜（ｄ）は、ＳＴＭを用い
たＶＣＭ非同期真直度誤差、非同期ピッチングの算出を
説明するための図である。図３２の（ｂ）において、Ｄ
１は、図３０および図３１に示した一方のＳＴＭ探針４
４Ａにて検出されたトンネル電流から換算した、ＳＴＭ
探針４４Ａと基準ミラー１０４との間の距離である。ま
た図３２の（ｃ）において、Ｄ２は図３１に示した他方
のＳＴＭ探針４４Ｂにて検出されたトンネル電流から換
算した、ＳＴＭ探針４４Ｂと基準ミラー１０４との間の
距離であり、Ｌｓは二つのＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂの
間の距離である。

【０１６５】非同期真直度誤差に関しては、図３２の
（ａ）に示すように、記録中にＳＴＭ探針４４Ａまたは
ＳＴＭ探針４４Ｂにおける検出トンネル電流から換算し
たＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂと基準ミラー１０４との間
の距離と記録前に予め算出したＶＣＭを上下動させたと
きのＶＣＭ位置に対するＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂと基
準ミラー１０４と間の距離曲線とをコンピュータ６７に
より比較し、その差を非同期真直度誤差とする。

【０１６６】非同期ピッチングに関しては、図３２の
（ｄ）に示すように、記録前に予め算出したＶＣＭを上
下動させたときのＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂと基準ミラ
ー１０４との間の距離を基にＶＣＭ位置に対する同期ピ
ッチング（Ｐｉ＝（Ｄ１−Ｄ２）／Ｌｓ）曲線を測定し
ておき、記録中のＳＴＭ探針４４Ａ，４４Ｂ〜基準ミラ
ー１０４間の距離からコンピュータ６７により算出した
ピッチング（Ｐ＝（Ｄ１−Ｄ２）／Ｌｓ）とＰｉの差
（Ｐ−Ｐｉ）を非同期ピッチング（Ｐｎ）とする。な
お、ＶＣＭの上下方向の位置はリニアスケールなどから
なる変位計１００により測定する。

【０１６７】（第２３の実施の形態）図３３は、レーザ
干渉計を用いたＶＣＭ非同期クロスアクション測定・補
正機構を示す図である。図３３において、記録ユニット
９には干渉計１１０が備えられている。また、記録ユニ
ット９の上面には二つのレーザ反射ミラー１１１、１１
２が配置されている。記録ユニット９は変位計１００を
介して門型の治具１１３の一内壁に取り付けられてい
る。治具１１３の他内壁上方にはレシーバ１１４が取り
付けられており、内壁下方の干渉計１１０と対向する位
置には反射ミラー１１５が取り付けられている。

【０１６８】また、治具１１３の一外壁に微動テーブル
８を介して粗動テーブル４が取り付けられており、微動
テーブル８に前記コンピュータ６７がアンプ１０５を介
して接続されている。記録ユニット９の下方にはターン
テーブルを有するスピンドル２０が配置されており、こ
のスピンドル２０には光ディスク原盤３が載置されてい
る。スピンドル２０が回転することにより、光ディスク
原盤３が回転する。

【０１６９】さらに、干渉計１１０、反射ミラー１１
１，１１２上方の治具１１３にはそれぞれ干渉計１１
０、反射ミラー１１１，１１２と対応するよう三つの孔
１１６、１１７、１１８が設けられている。孔１１６、
１１７、１１８上方にはそれぞれベンダ１１９、干渉計
１２０、干渉計１２１が配置されている。レーザヘッド
１２２から照射されたレーザ光は、スプリッタ１２３，
１２４，１２５，１１９、干渉計１２０，１２１等を介
し、反射ミラー１１１，１１２、干渉計１１０に達す
る。反射ミラー１１１，１１２で反射されたレーザ光は
それぞれ干渉計１２０，１２１を介してレシーバ１２
６，１２７に受入れられる。また干渉計１１０で反射し
たレーザ光はレシーバ１１４に受入れられる。

【０１７０】本第２３の実施の形態に係るＶＣＭ非同期
クロスアクション測定・補正機構は、二つのレーザ反射
ミラー１１１，１１２を図３３に示すように配置し、レ
ーザ干渉により非同期ピッチングを測定する。さらに、
レーザ干渉計１１０をＶＣＭ（記録ユニット９）に備え
ることで非同期直度誤差を測定し、これらの検出値を微
動テーブル８にフィードバックし、記録誤差を補正す
る。

【０１７１】図３４は、図３３に示したレーザ干渉計を
用いたＶＣＭ非同期クロスアクション測定・補正機構を
適用したＶＣＭ非同期クロスアクション補正システムの
ブロック図である。図３４は図２０に示した構成と同一
な部分が多いので、図３４において図２０と同一な部分
には同一符号を付し、説明を省略する。図３４におい
て、記録ユニット９は干渉計２６、レシーバ２７を介し
てコンピュータ６７に接続されているとともに、第１の
ミラー６２，第２のミラー６５は、それぞれ干渉計２
６、レシーバ２７を介して偏差器６８，７０に接続され
ている。

【０１７２】図３５の（ａ）〜（ｄ）は、レーザ干渉計
を用いたＶＣＭ非同期真直度誤差、非同期ピッチングの
算出を説明するための図である。図３５の（ｂ）におい
て、Ｄ１は図３に示した干渉計１１８とミラー１１１と
の間の距離である。図３５の（ｃ）において、Ｄ２は干
渉計１１９とミラー１１２との間の距離であり、Ｌｍは
ミラー１１１の中心とミラー１１２の中心との間の距離
である。

【０１７３】非同期真直度誤差に関しては、図３５の
（ａ）に示すように、記録中に換算した干渉計１１０と
基準ミラー１１５との間の距離と記録前に予め算出した
ＶＣＭを上下動させたときのＶＣＭ位置に対する干渉計
１１０と基準ミラー１１５との間の距離曲線とを比較
し、その差を非同期真直度誤差とする。

【０１７４】非同期ピッチングに関しては図３５の
（ｄ）に示すように、記録前に予め換算したＶＣＭを上
下動させたときのミラー１１１と干渉計１１８との間の
距離、ミラー１１２と干渉計１１９との間の距離を基
に、ＶＣＭ位置に対する同期ピッチング（Ｐｉ′＝（Ｌ
１−Ｌ２）／Ｌｍ）曲線を測定しておき、記録中に算出
した干渉計１１０と基準ミラー１１５との間の距離から
算出したピッチング（Ｐｍ）とＰｉ′の差（Ｐｍ−Ｐ
ｉ′）を非同期ピッチング（Ｐｎ′）とする。なお、Ｖ
ＣＭの上下方向の位置はリニアスケールなどからなる変
位計１００により測定する。なお、それぞれ三つ以上の
レーザ反射ミラーターゲット、干渉計、レシーバ等を設
け、測定を行なうようにしてもよい。

【０１７５】（第２４の実施の形態）図３６は、フォー
カス制御用粗動機構を備えたスピンドルを用いたフォー
カス制御のブロック図である。図３６において図２０と
同一な部分には同一符号を付している。図３６において
粗動テーブル４には第１のミラー６２が設けられてい
る。この第１のミラー６２に対して第１のレーザ測長シ
ステム６３が配置されている。この第１のレーザ測長シ
ステム６３は、レーザ干渉計を用いたもので、第１のミ
ラー６２に対してレーザ光を出力し、その反射レーザ光
を受光して第１のミラー６２の位置すなわち粗動テーブ
ル４の位置を測長する機能を有している。また、微動テ
ーブル８には第２のミラー６５が設けられている。この
第２のミラー６５には、第２のレーザ測長システム６６
が対向配置されている。この第２のレーザ測長システム
６６は、レーザ干渉計を用いたもので、第２のミラー６
５に対してレーザ光を出力し、その反射レーザ光を受光
して第２のミラー６５の位置すなわち記録ユニット９の
位置を測長する機能を有している。

【０１７６】コンピュータ６７は、粗動テーブル４に対
する目標位置指令を偏差器６８に発する機能を有してい
る。この偏差器６８は、目標位置指令と第１のレーザ測
長システム６３により測長された粗動テーブル４の位置
との偏差を求めてドライバ６９に送る機能を有してい
る。

【０１７７】またコンピュータ６７は、微動テーブル８
に対する目標位置指令を偏差器７０に発する機能を有し
ている。この偏差器７０は、目標位置指令と第２のレー
ザ測長システム６６により測長された微動テーブル８の
先端位置との偏差を求めてドライバ７１に送る機能を有
している。またコンピュータ６７は、微動テーブル８の
伸縮制御および粗動機構の送り動作を繰り返して記録ユ
ニット９を光ディスク原盤３のラジアル方向に移動する
機能を有している。

【０１７８】さらにコンピュータ６７は、第１のレーザ
測長システム６３により測長された第１のミラー６２の
位置、第２のレーザ測長システム６６により測長された
第２のミラー６５の位置を入力し、これら位置、微動テ
ーブル８の印加電圧、微動テーブル８の感度に基づい
て、粗動テーブル４のピッチングを算出する機能を有し
ている。

【０１７９】非点収差系１３０は増幅器１３１を介して
記録ヘッド９に接続されている。また、スピンドル２０
にはアクチュエータ１３２が取り付けられており、コン
ピュータ６７がライバ１３３を介してアクチュエータ１
３２に接続している。

【０１８０】図３６に示す機構は、フォーカスサーボ系
をスピンドル２０に備えており、粗動テーブル４および
対物レンズアクチュエータを搭載する微動テーブル８を
有している。記録前（光ディスク原盤３セッティング
後）に光ディスク原盤３を一周回転させ、そのときのス
ピンドルアキシャル方向の振れを非点収差系１３０を用
いて測定する。

【０１８１】この測定結果を同期振れとし、記録中にそ
の同期的な面振れを粗動テーブル４へフィードフォワー
ドし、微動テーブル８の動作範囲を小さくすることによ
り、微動テーブル８に圧電素子等を用いることができる
ようになる。これにより、微動テーブル８のストロー
ク、姿勢誤差およびフォーカス制御時の微動テーブル８
のテーブル送り方向の振動を小さくできる。またフォー
カス系を圧電素子等の微動機構とすることにより、フォ
ーカス系の小形軽量化が可能になり、フォーカス制御の
高精度化・高剛性化が可能になる。

【０１８２】（第２２〜２４の実施の形態の作用効果） (1) ＳＴＭの縦分解能は０．０１ｎｍオーダであるの
で、上記図３０に示すように二本のＳＴＭ探針４４Ａ，
４４Ｂ間の距離を１０ｍｍとすると、ＶＣＭ非同期ピッ
チングθは、次式（１８）で表される。

【０１８３】 θ＝０．０１×１０^-6／１０＝１０^-9＝１［ｎｒａｄ］ …（１８） このような分解能で測定が可能になる。

【０１８４】(2) また非同期真直度誤差Ｅ0 は、ＳＴＭ
の縦分解能と同じく０．０１ｎｍオーダで測定可能なの
で、ＶＣＭの非同期クロスアクションによるトラックピ
ッチ誤差Ｅ1 は、ＶＣＭ非同期ピッチングと非同期真直
度誤差から、記録ユニットと光ディスク原盤との間の距
離Ｌ０を１［ｍｍ］とすると、次式（１９）で表され
る。

【０１８５】 Ｅ1 ＝Ｌ０・θ＋Ｅ0 ＝１０⁶ ×１０^-9＋０．０１ ＝０．０１１＝０．０１［ｎｍ］ …（１９） このオーダで測定、補正が可能になる。

【０１８６】(3) 検出分解能２．５ｎｍのレーザ干渉シ
ステムを用いた場合、反射ミラー間の距離Ｌ１を３０
［ｍｍ］とすると、ＶＣＭ非同期ピッチングＥ2 、非同
期真直度誤差Ｅ3 の測定分解能は次式（２０）（２１）
で表される。

【０１８７】 Ｅ2 ＝１．２５［ｎｍ］／３０［ｍｍ］＝０．４×１０^-7 ＝０．０４［μｒａｄ］ …（２０） Ｅ3 ＝１．２５［ｎｍ］ …（２１） すると、非同期クロスアクションに起因する記録誤差の
補正分解能Ｅ4 は図３７から、記録ヘッドと光ディスク
原盤との間の距離Ｌ０を１［ｎｍ］とすると、次式（２
２）で表される。

【０１８８】 Ｅ4 ＝Ｌ０・Ｅ2 ＋Ｅ3 ＝１０⁶ ×０．４×１０^-7［ｎｍ］＋１．２５［ｎｍ］ ＝１．２９［ｎｍ］ …（２２） と表される。

【０１８９】

【発明の効果】本発明によれば、下記の記録装置を提供
できる。

【０１９０】(1) スピンドルの軸振れを検出し、記録ヘ
ッドを補正駆動することによりトラックピッチ変動を低
減する記録装置。

【０１９１】(2) ＶＣＭの非同期振れを検出し、記録ヘ
ッドを補正駆動することによりトラックピッチ変動を低
減する記録装置。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る図であり、
（ａ）は光ディスク原盤記録装置における補正機構の構
成を示す図、（ｂ）は４分割デテクタの作用を説明する
ための図。

【図２】本発明の第２の実施の形態に係る光ディスク原
盤記録装置におけるＳＴＭを用いたスピンドル非同期振
れ測定機構の概観図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は
平面図。

【図３】本発明の第２の実施の形態に係る図であり、
（ａ）は二つのＳＴＭを用いたスピンドル非同期振れお
よび軸倒れ測定機構の概観図、（ｂ）は二つのＳＴＭ探
針の測定値を示す図。

【図４】本発明の第３の実施の形態に係る光ディスク原
盤記録装置における二つのＳＴＭを用いたスピンドル非
同期振れおよび軸倒れ測定・補正機構の概観図。

【図５】本発明の第３の実施の形態に係るスピンドルの
軸倒れに起因するトラックピッチ記録誤差を説明するた
めの図。

【図６】本発明の第４の実施の形態に係る図であり、
（ａ）は光ディスク原盤記録装置におけるスピンドルの
ターンテーブルにターゲットを取り付けた場合の、ＳＴ
Ｍを用いたスピンドル非同期振れ測定機構の概観図、
（ｂ）はターンテーブルに二つのターゲットを取り付け
た場合の、ＳＴＭを用いたスピンドル非同期振れ測定機
構の概観図、（ｃ）はスピンドル軸倒れによるトラッキ
ング誤差の補正分解能を示す図。

【図７】本発明の第５の実施の形態に係るスピンドル非
同期振れ測定用ターゲットのＳＴＭ探針によるオンマシ
ン加工の様子を示す図。

【図８】本発明の第６の実施の形態に係るＳＴＭ探針に
よる原子トラッキングの第１の方法を説明するための
図。

【図９】本発明の第７の実施の形態に係るＳＴＭ探針に
よる原子トラッキングの第２の方法を説明するための
図。

【図１０】本発明の第８の実施の形態に係るＳＴＭ探針
による原子トラッキングの第３の方法を説明するための
図。

【図１１】本発明の第９の実施の形態に係るＳＴＭ探針
による原子トラッキングの第４の方法を説明するための
図。

【図１２】本発明の第１０の実施の形態に係るＳＴＭ探
針による原子トラッキングの第５の方法を説明するため
の図。

【図１３】本発明の第１１の実施の形態に係るＳＴＭ探
針による原子トラッキングの第６の方法を説明するため
の図。

【図１４】本発明の第１２の実施の形態に係るＳＴＭ探
針による原子トラッキングの第７の方法を説明するため
の図。

【図１５】本発明の第１３の実施の形態に係るＳＴＭ探
針による原子トラッキングの第８の方法を説明するため
の図。

【図１６】本発明の第１４の実施の形態に係るスピンド
ル回転中心付近に取り付けられた参照用格子にＳＴＭを
トラッキングさせることによりスピンドル非同期振れを
測定する機構を示す概観図。

【図１７】本発明の第１５の実施の形態に係るＳＴＭト
ラッキングを用いたスピンドル姿勢測定によるスピンド
ル非同期振れ測定機構の概観図。

【図１８】本発明の第１６の実施の形態に係るＡＦＭに
よるスピンドル非同期振れ測定機構の概観図。

【図１９】本発明の第１７の実施の形態にてその構成の
要旨が適用されるスピンドル非同期振れ測定機構の概観
図。

【図２０】本発明の第１７の実施の形態にてその構成の
要旨が適用されるスピンドル非同期振れ補正システムの
ブロック図。

【図２１】本発明の第１７の実施の形態に係る二つのレ
ーザ干渉計を用いたスピンドル非同期振れ測定機構の概
観図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は斜視図。

【図２２】本発明の第１７の実施の形態に係る図であ
り、（ａ）は一方のレーザ干渉計の測定値を示す図、
（ｂ）は他方のレーザ干渉計の測定値を示す図、（ｃ）
はスピンドル回転ごとの測定値（Ａ−Ｂ／２）を基準曲
線と比較した図。

【図２３】本発明の第１８の実施の形態に係る四つの非
接触変位計を用いたスピンドル非同期振れ測定機構の概
観図。

【図２４】本発明の第１８の実施の形態に係る四つの相
直交する非接触変位計を用いた場合のトラックピッチ誤
差の算出を説明するための図。

【図２５】本発明の第１９の実施の形態に係るセンタリ
ング用センサを兼ねたスピンドル非同期振れ測定用セン
サを備えた記録装置の概観図。

【図２６】本発明の第２０の実施の形態に係る非接触変
位計またはレーザ干渉計を内蔵したスピンドルを用いた
スピンドル非同期振れ測定機構の概観図。

【図２７】本発明の第２０の実施の形態に係る非接触変
位計を用いた場合のスピンドル非同期振れ測定を説明す
るための図。

【図２８】本発明の第２１の実施の形態に係るレーザ干
渉計を用いた場合のスピンドル非同期振れ測定機構を示
す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側断面図。

【図２９】本発明の第２１の実施の形態に係るスピンド
ル非同期振れ測定を説明するための図。

【図３０】本発明の第２２の実施の形態に係るＳＴＭを
用いたＶＣＭ（対物レンズアクチュエータ）非同期クロ
スアクション測定・補正機構を示す側面図。

【図３１】本発明の第２２の実施の形態に係るＳＴＭを
用いたＶＣＭ非同期クロスアクション測定・補正機構を
適用したＶＣＭ非同期クロスアクション補正システムの
ブロック図。

【図３２】本発明の第２２の実施の形態に係るＳＴＭを
用いたＶＣＭ非同期真直度誤差、非同期ピッチングの算
出を説明するための図。

【図３３】本発明の第２３の実施の形態に係るレーザ干
渉計を用いたＶＣＭ非同期クロスアクション測定・補正
機構を示す図。

【図３４】本発明の第２３の実施の形態に係るレーザ干
渉計を用いたＶＣＭ非同期クロスアクション測定・補正
機構を適用したＶＣＭ非同期クロスアクション補正シス
テムのブロック図。

【図３５】本発明の第２３の実施の形態に係るレーザ干
渉計を用いたＶＣＭ非同期真直度誤差、非同期ピッチン
グの算出を説明するための図。

【図３６】本発明の第２４の実施の形態に係るフォーカ
ス制御用粗動機構を備えたスピンドルを用いたフォーカ
ス制御のブロック図。

【図３７】本発明の第２４の実施の形態に係る非同期ク
ロスアクションに起因する記録誤差の補正分解能を表わ
すための図。

【図３８】従来例および実施の形態に係る光ディスク原
盤記録装置の構成を示す図。

【符号の説明】

３…光ディスク原盤（光ガラス原盤） ２０…スピンドル（ターンテーブルを有している） ２１…スピンドル ２２…ターンテーブル ２３…リファレンス用リング ２４…レーザ光源 ２７…４分割デテクタ ２９…偏差器 ３０…記録ヘッド ３１…発生源 ３２…送りヘッド ３３…制御コントローラ ４４…ＳＴＭ探針 ５０…ターゲット ５１…参照用格子 ６０…コンピュータ ６１…非接触変位計（またはレーザ干渉計） ６７…コンピュータ ８０Ａ…レーザ干渉計 ８０Ｂ…レーザ干渉計 ８１…レーザヘッド ８３Ａ…レシーバ ８３Ｂ…レシーバ ８４Ａ〜８４Ｄ…非接触変位計 ８６…非接触変位計 ８７…センタリング用プッシャー ８８…非接触変位計（またはレーザ干渉計） ９０…基準平面（ミラー） ９２…レーザ干渉計 ９３…基準ミラー １０２…切り欠きヒンジ １３２…アクチュエータ

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】記録媒体が載置されたターンテーブルを支
   持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記録
   媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルの上に前記スピンドルの回転軸を中
   心に設ける環状パターンと、 この環状パターン上に参照光を照射する照射手段と、 前記環状パターンにて反射された前記参照光を検出する
   検出手段と、 この検出手段の検出結果に基づいて前記環状パターンの
   位置変動を検出する変動検出手段と、 この変動検出手段の検出結果に基づいて前記スピンドル
   の振れを補正する補正手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
2. 【請求項２】記録媒体が載置されたターンテーブルを支
   持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記録
   媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルの側面から離間配置され、自身と前
   記ターンテーブルの側面とのなす距離を測定する少なく
   とも一つのＳＴＭ探針と、 このＳＴＭ探針による測定結果を基に、前記スピンドル
   の振れを補償する補償手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
3. 【請求項３】記録媒体が載置されたターンテーブルを支
   持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記録
   媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルを挟んでかつ前記ターンテーブルの
   回転中心から所定距離離間して前記ターンテーブルの側
   面に対向配置され、自身と前記ターンテーブルの側面と
   のなす距離を測定する一対のＳＴＭ探針と、 これらＳＴＭ探針の測定結果を基に、前記スピンドルの
   振れを補償する補償手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
4. 【請求項４】記録媒体が載置されたターンテーブルを支
   持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記録
   媒体に情報を記録する記録装置において、 各々が前記ターンテーブルの回転中心から同一の所定距
   離をなし、前記スピンドルの回転軸と平行な方向に並設
   され、自身と前記ターンテーブルの側面とのなす距離を
   測定する少なくとも二つのＳＴＭ探針と、 これらＳＴＭ探針の測定結果を基に、前記スピンドルの
   振れを補償する補償手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
5. 【請求項５】記録媒体が載置されたターンテーブルを支
   持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記録
   媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルの側面に設けられた鋭角状の突起部
   材と、 前記ターンテーブルの回転中心から所定距離離間して配
   置され、自身と前記突起部材とのなす距離を測定するＳ
   ＴＭ探針と、 このＳＴＭ探針の測定結果を基に、前記スピンドルの振
   れを補償する補償手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
6. 【請求項６】記録媒体が載置されたターンテーブルを支
   持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記録
   媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブル側面に、前記ターンテーブルの回転
   軸方向に並設された鋭角状の複数の突起部材と、 これら複数の突起部材のそれぞれに固有に対向し、かつ
   前記ターンテーブルの回転中心から所定距離をなすよう
   配置され、自身と対応する前記突起部材とのなす距離を
   測定する複数のＳＴＭ探針と、 これら複数のＳＴＭ探針の測定結果を基に、前記スピン
   ドルの振れを補償する補償手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
7. 【請求項７】記録媒体が載置されたターンテーブルを支
   持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記録
   媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルの中心部付近に設けられた結晶構造
   を有する被測定部材と、 この被測定部材に対向し、前記被測定部材から所定距離
   をなすよう配置され、前記被測定部材をトラッキングす
   るＳＴＭ探針と、 このＳＴＭ探針でトラッキングを行なった際に生じる前
   記ＳＴＭ探針の移動軌跡を基に、前記スピンドルの振れ
   を補償する補償手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
8. 【請求項８】記録媒体が載置されたターンテーブルを支
   持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記録
   媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブル側面の円周方向に設けられ、結晶構
   造を有する少なくとも三つの被測定部材と、 これら被測定部材のそれぞれに固有に対向し、かつ前記
   ターンテーブルの回転中心から所定距離をなすよう配置
   され、自身と対応する前記結晶格子をトラッキングする
   複数のＳＴＭ探針と、 これらＳＴＭ探針のトラッキング結果を基に前記スピン
   ドルの振れを補償する補償手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
9. 【請求項９】記録媒体が載置されたターンテーブルを支
   持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記録
   媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルを挟んでかつ前記ターンテーブルの
   回転中心から所定距離離間して前記ターンテーブルの側
   面に対向配置され、前記ターンテーブルの側面へレーザ
   光を照射するとともに、前記側面からの反射光を受光す
   ることで前記ターンテーブルの位置を検出する一組のレ
   ーザ干渉計と、 これらレーザ干渉計で検出された位置を基に、前記スピ
   ンドルの振れを補償する補償手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
10. 【請求項１０】記録媒体が載置されたターンテーブルを
    支持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記
    録媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルの側面から所定距離をなすよう配置
    され、自身と前記ターンテーブルの側面とのなす距離の
    変位を測定する変位計と、 前記ターンテーブルに対して前記変位計と対向し、前記
    変位計の測定結果に基づき前記ターンテーブルに載置さ
    れた前記記録媒体を中心軸方向へ押圧する押圧手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
11. 【請求項１１】記録媒体が載置されたターンテーブルを
    支持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記
    録媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルの回転中心から所定距離をなすよう
    配置され前記側面に対向する平面を有する部材と、 前記ターンテーブルに内蔵され、自身と前記部材とのな
    す距離の変位を測定する変位計と、 この変位計の測定結果を基に、前記スピンドルの振れを
    測定する測定手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
12. 【請求項１２】記録媒体が載置されたターンテーブルを
    支持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記
    録媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルの側面に沿って配置され前記側面と
    対向する鏡面を有する部材と、 前記ターンテーブルに内蔵され、前記ターンテーブルの
    回転に伴い前記部材へレーザ光を照射するとともに、前
    記部材からの反射光を受光することで前記ターンテーブ
    ルの位置を検出するレーザ干渉計と、 このレーザ干渉計で検出された位置を基に、前記スピン
    ドルの振れを測定する測定手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
13. 【請求項１３】記録媒体が載置されたターンテーブルを
    支持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記
    録媒体に情報を記録する記録装置において、 前記ターンテーブルと別体に設けられ、前記ターンテー
    ブルの上面に対してほぼ垂直をなす平面を有する部材
    と、 前記平面に対向するよう、前記記録媒体に情報を記録す
    る記録ユニットにおける前記スピンドルの回転軸と平行
    な方向に並設され、自身と前記平面とのなす距離を測定
    する二つのＳＴＭ探針と、 前記部材と前記記録ユニットとを保持する保持部材と、 前記二つのＳＴＭ探針の測定結果を基に、前記記録ユニ
    ットのクロスアクションを測定する測定手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。
14. 【請求項１４】前記部材の平面が前記スピンドルの回転
    軸に対してなす角度を調節する調節手段を備えたことを
    特徴とする請求項１３に記載の記録装置。
15. 【請求項１５】記録媒体が載置されたターンテーブルを
    支持するスピンドルを回転させレーザ光を用いて前記記
    録媒体に情報を記録する記録装置において、 前記記録媒体に情報を記録する記録ユニット上に、前記
    ターンテーブルの半径方向に並置され、光を反射する複
    数の反射部材と、 これら複数の反射部材のそれぞれに対応し、前記それぞ
    れの反射部材にレーザ光を照射するレーザ発振器と、 前記反射部材からの反射光を受光することで前記記録ユ
    ニットの位置を検出するレーザ干渉計と、 このレーザ干渉計で検出された位置を基に、前記記録ユ
    ニットのクロスアクションを測定する測定手段と、 を具備したことを特徴とする記録装置。